KR101930296B1 - 액정표시장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 기판; 상기 기판 상에서 서로 교차되도록 배열된 게이트 라인 및 데이터 라인; 상기 게이트 라인 및 데이터 라인이 교차하는 영역에 형성되는 박막 트랜지스터; 상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되는 화소 전극; 상기 화소 전극과 함께 전계를 형성시키는 공통 전극; 및 상기 화소 전극 및 공통 전극 중 적어도 하나의 전극의 하면에 형성된 반사 조절층을 포함하여 이루어진 액정표시장치에 관한 것으로서,
본 발명은 화소 전극 또는 공통 전극을 불투명한 금속으로 형성하여 블랙 휘도를 증진시킴으로써 명암비를 향상시킴과 더불어 상기 불투명한 금속으로 이루어진 화소 전극 또는 공통 전극의 하면에 반사 조절층을 형성함으로써 외부광이 반사되는 정도를 적절히 조절하여 화면이 무지개와 같은 형상으로 보이는 문제를 해소할 수 있고, 또한, 또한 상기 반사 조절층을 구성하는 재료로서 상기 화소 전극 또는 공통 전극을 구성하는 불투명한 금속과 식각율이 상이한 재료를 이용함으로써 포토리소그라피 공정시 갈바닉(Galvanic) 효과에 의해서 보다 미세한 패턴을 얻을 수 있다.

Description

액정표시장치{Liquid crystal display device}
본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 화소 전극 또는 공통 전극의 재료로서 불투명 금속을 이용하는 액정표시장치에 관한 것이다.
액정표시장치는 동작 전압이 낮아 소비 전력이 적고 휴대용으로 쓰일 수 있는 등의 이점으로 노트북 컴퓨터, 모니터, 우주선, 항공기 등에 이르기까지 응용분야가 넓고 다양하다.
액정표시장치는 하부기판, 상부기판, 및 상기 양 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하여 구성되며, 전계 인가 유무에 따라 액정층의 배열이 조절되고 그에 따라 광의 투과도가 조절되어 화상이 표시되는 장치이다.
이하, 도면을 참조로 종래의 액정표시장치에 대해서 설명하기로 한다.
도 1은 종래의 액정표시장치의 개략적인 단면도이다.
도 1에서 알 수 있듯이, 종래의 액정표시장치는, 하부 기판(10), 상부 기판(20), 및 상기 양 기판(10, 20) 사이에 형성된 액정층(30)을 포함하여 이루어진다.
상기 하부 기판(10) 상에는 박막 트랜지스터와 같은 어레이(Array)층(12)이 형성되어 있고, 상기 어레이층(12) 상에는 공통 전극(14)과 화소 전극(16)이 서로 교대로 형성되어 양자 사이에 수평 전계를 형성시킨다.
상기 상부 기판(20) 상에는 차광층(22)이 형성되어 있고, 상기 차광층(22) 사이에 컬러 필터층(24)이 형성되어 있고, 상기 컬러 필터층(24) 상에 오버 코트층(26)이 형성되어 있다.
이와 같은 종래의 액정표시장치는 명암비(Contrast ratio)를 향상시키기 위해서, 상기 공통 전극(14)과 화소 전극(16)의 재료로서 불투명금속을 이용하는 경우가 있다. 즉, 상기 공통 전극(14)과 화소 전극(16)의 재료로 불투명한 금속을 이용하게 되면 블랙(Black) 휘도가 좋아 액정표시장치의 명암비가 향상될 수 있다.
그러나, 이와 같은 종래의 액정표시장치는 다음과 같은 문제가 있다.
우선, 상기 공통 전극(14)과 화소 전극(16)의 재료로 불투명한 금속을 이용하게 되면, 외부광이 상기 공통 전극(14)과 화소 전극(16)에서 반사될 수 있고, 그 경우 화면이 무지개와 같은 형상으로 보이게 되어 화질이 저하되는 문제가 있다.
또한, 불투명한 금속을 이용하여 상기 공통 전극(14)과 화소 전극(16)을 형성하기 위해서는 통상적으로 포토리소그라피 공정을 이용하게 되는데, 현재의 기술로는 포토레지스트(PR) 패턴 폭을 줄이는데 한계가 있고, 따라서, 미세한 패턴의 공통 전극(14) 및 화소 전극(16)을 형성하는데 어려움이 있다.
본 발명은 전술한 종래의 문제점을 해결하기 위해 고안된 것으로서, 본 발명은 화소 전극 또는 공통 전극을 불투명한 금속으로 형성하면서도 외부광이 반사되는 것을 방지하여 화질이 개선될 수 있고, 또한 화소 전극 또는 공통 전극이 미세한 패턴으로 형성될 수 있는 액정표시장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해서, 기판; 상기 기판 상에서 서로 교차되도록 배열된 게이트 라인 및 데이터 라인; 상기 게이트 라인 및 데이터 라인이 교차하는 영역에 형성되는 박막 트랜지스터; 상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되는 화소 전극; 상기 화소 전극과 함께 전계를 형성시키는 공통 전극; 및 상기 화소 전극 및 공통 전극 중 적어도 하나의 전극의 하면에 형성된 반사 조절층을 포함하여 이루어진 액정표시장치를 제공한다.
이상과 같은 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명은 화소 전극 또는 공통 전극을 불투명한 금속으로 형성하여 블랙 휘도를 증진시킴으로써 명암비를 향상시킴과 더불어 상기 불투명한 금속으로 이루어진 화소 전극 또는 공통 전극의 하면에 반사 조절층을 형성함으로써 외부광이 반사되는 정도를 적절히 조절하여 화면이 무지개와 같은 형상으로 보이는 문제를 해소할 수 있다.
본 발명은 또한 상기 반사 조절층을 구성하는 재료로서 상기 화소 전극 또는 공통 전극을 구성하는 불투명한 금속과 식각율이 상이한 재료를 이용함으로써 포토리소그라피 공정시 갈바닉(Galvanic) 효과에 의해서 보다 미세한 패턴을 얻을 수 있다.
도 1은 종래의 액정표시장치의 개략적인 단면도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치용 기판의 개략적인 평면도이고, 도 2b는 도 2a의 I-I라인의 단면도이다.
도 3a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치용 기판의 개략적인 평면도이고, 도 3b는 도 3a의 I-I라인의 단면도이다.
이하, 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 상세히 설명하기로 한다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치용 기판의 개략적인 평면도이고, 도 2b는 도 2a의 I-I라인의 단면도이다. 도 2a 및 도 2b는 소위 IPS(In-plane switching) 모드 액정표시장치에 관한 것이다.
도 2a에서 알 수 있듯이, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치는, 기판(100), 게이트 라인(110), 공통 라인(120), 데이터 라인(130), 박막 트랜지스터(T), 화소 전극(140), 공통 전극(150), 및 반사 조절층(160)을 포함하여 이루어진다.
상기 게이트 라인(110)과 공통 라인(120)은 서로 소정 거리를 두면서 상기 기판(100) 상에서 가로 방향으로 배열되어 있다. 상기 게이트 라인(110)과 상기 공통 라인(120)은 서로 동일한 층에서 동일한 물질로 형성될 수 있다.
상기 데이터 라인(130)은 상기 기판(100) 상에서 세로 방향으로 배열되어 있다. 따라서, 상기 게이트 라인(110)과 데이터 라인(130)이 교차 배열되어 화소 영역을 정의하게 된다.
상기 박막 트랜지스터(T)는 상기 게이트 라인(110)과 데이터 라인(130)이 교차하는 영역에 형성되어 액정표시장치의 스위칭 역할을 한다. 이와 같은 박막 트랜지스터(T)는 게이트 전극(112), 반도체층(118), 소스 전극(132), 및 드레인 전극(134)을 포함하여 이루어진다.
상기 게이트 전극(112)은 상기 게이트 라인(110)에서 분기되어 있고, 상기 소스 전극(132)은 상기 데이터 라인(130)에서 분기되어 있고, 상기 드레인 전극(134)은 상기 소스 전극(132)과 마주하고 있고, 상기 반도체층(118)은 상기 게이트 전극(112)과 소스/드레인 전극(132,134) 사이의 중간층에 형성되어 있다.
상기 화소 전극(140)은 상기 화소 영역 내에 형성되며, 제1 콘택홀(137)을 통해서 상기 박막 트랜지스터(T)의 드레인 전극(134)과 전기적으로 연결되어 있다. 다만, 상기 화소 전극(140)은 상기 제1 콘택홀(137)을 통해서 상기 드레인 전극(134)과 전기적으로 연결되지 않고, 상기 드레인 전극(134)과 직접 연결될 수도 있다. 즉, 상기 드레인 전극(134)에서 연장되어 상기 화소 전극(140)이 구성될 수도 있다.
상기 화소 전극(140)은 불투명 금속으로 이루어질 수 있다. 예로서, 상기 화소 전극(140)은 Mo, Ti, Mo 합금, Ti 합금, MoN, TiN, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, W, Mn, Ag, Au, Cu, 또는 Al 등의 불투명 금속으로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다.
상기 공통 전극(150)은 상기 화소 영역 내에 형성되며, 제2 콘택홀(155)을 통해서 상기 공통 라인(120)과 전기적으로 연결되어 있다. 다만, 상기 공통 전극(150)은 상기 제2 콘택홀(155)을 통해서 상기 공통 라인(120)과 전기적으로 연결되지 않고, 상기 공통 라인(120)과 직접 연결될 수도 있다. 즉, 상기 공통 라인(120)에서 분기되어 상기 공통 전극(150)이 구성될 수도 있다.
상기 공통 전극(150)은 전술한 화소 전극(140)과 마찬가지로 불투명 금속으로 이루어질 수 있다. 예로서, 상기 공통 전극(150)은 Mo, Ti, Mo 합금, Ti 합금, MoN, TiN, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, W, Mn, Ag, Au, Cu, 또는 Al 등의 불투명 금속으로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다.
상기 화소 전극(140)과 공통 전극(150)은 소정 간격으로 이격되어 있어, 양자 사이에서 수평 전계를 형성시키고 그와 같은 수평 전계에 의해서 액정의 배향 방향을 변경시키게 된다. 상기 화소 전극(140)과 공통 전극(150)은 서로 동일한 층에서 동일한 물질로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니고, 서로 상이한 층에서 서로 상이한 물질로 이루어질 수도 있다.
상기 반사 조절층(160)은 상기 화소 전극(140)과 공통 전극(150)의 하면에 형성되어, 상기 화소 전극(140)과 공통 전극(150)에서 반사되는 외부 광의 반사 정도를 조절함으로써, 화면이 무지개와 같은 형상으로 보이는 종래의 문제점을 해소하는 역할을 한다.
이와 같은 역할을 하는 반사 조절층(160)은 소정의 굴절률을 가진 물질을 이용하는 것이 바람직하고, 소정의 두께 범위로 형성하는 것이 바람직한데, 이하에서 각각에 대해서 설명하기로 한다.
우선, 상기 반사 조절층(160)은 상기 화소 전극(140)과 공통 전극(150)을 구성하는 물질보다 굴절률이 작은 것이 바람직하다. 즉, 상기 화소 전극(140)과 공통 전극(150)을 구성하는 불투명 금속의 굴절률보다 굴절률이 작은 물질을 이용하여 상기 화소 전극(140)과 공통 전극(150) 하면에 반사 조절층(160)을 형성하게 되면, 입사되는 외부 광이 상기 화소 전극(140)과 반사 조절층(160)의 계면 및 상기 공통 전극(150)과 반사 조절층(160)의 계면에서 광산란을 일으켜 외부 광의 반사도가 줄어들게 된다.
특히, 상기 반사 조절층(160)을 구성하는 물질의 굴절률이 작으면 작을수록 상기 외부 광의 반사도를 최소화할 수 있게 될 수 있지만, 본 발명에서는 화면이 무지개와 같이 보이는 문제를 해소할 수 있는 정도이면 충분하고, 그에 따라서, 상기 반사 조절층(160)은 상기 화소 전극(140)과 공통 전극(150)을 구성하는 불투명 금속의 굴절률의 30%이하의 굴절률을 가진 물질을 이용할 수 있다. 즉, 상기 반사 조절층(160)을 구성하는 물질이 상기 화소 전극(140)과 공통 전극(150)을 구성하는 불투명 금속의 굴절률의 30%를 초과하는 굴절률을 가진 경우에는 양자 사이의 굴절률 차이가 너무 작아서 외부 광의 반사도가 커짐으로써 화면이 무지개와 같이 보이는 문제가 발생할 수 있다.
이와 같은 굴절률 범위를 가진 물질들 중에서 투명한 도전성 산화물(Transparent Conductive Oxide: TCO) 또는 투명한 도전성 폴리머를 상기 반사 조절층(160)으로 이용할 수 있다.
상기 반사 조절층(160)으로 이용할 수 있는 투명한 도전성 산화물(TCO)의 예로는 ITO, IZO, AZO, IGZO 등을 들 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다.
다음, 상기와 같이 외부 광의 반사도를 최소화하기 위해서는 상기 반사 조절층(160)의 두께를 두껍게 형성하는 것이 바람직할 수 있다. 즉, 상기 반사 조절층(160)을 두껍게 형성하면, 상기 화소 전극(140)과 반사 조절층(160)의 계면 및 상기 공통 전극(150)과 반사 조절층(160)의 계면에서 외부 광의 광산란율이 증진되어 외부 광의 반사도가 줄어들게 된다. 다만, 앞서 언급한 바와 같이, 본 발명에서는 화면이 무지개와 같이 보이는 문제를 해소할 수 있는 정도이면 충분하고, 그에 따라서, 상기 반사 조절층(160)의 두께는 30Å 이상으로 형성하는 것이 바람직할 수 있다. 즉, 상기 반사 조절층(160)의 두께가 30Å 미만으로 형성될 경우에는 외부 광의 반사도가 커짐으로써 화면이 무지개와 같이 보이는 문제가 발생할 수 있다.
한편, 상기 반사 조절층(160)의 두께는 1000Å 이하로 형성하는 것이 바람직한데, 그 이유는 상기 반사 조절층(160)의 두께가 1000Å 정도가 되면 외부 광의 반사도가 0에 가깝게 될 수 있기 때문이다. 즉, 상기 반사 조절층(160)의 두께가 1000Å를 초과한다 하더라도 외부 광의 반사도는 더 이상 줄어들지 못하고 두께 증가로 인한 공정시간 증가 및 비용 증가만 발생할 수 있기 때문이다.
도 2b를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정표시장치의 단면 구조에 대해서 추가로 설명하면, 도 2b에서 알 수 있듯이, 기판(100) 상에는 게이트 전극(112)이 형성되어 있고, 상기 게이트 전극(112)을 포함한 기판 전면에는 게이트 절연막(115)이 형성되어 있다.
상기 게이트 절연막(115) 상에는 반도체층(118)이 형성되어 있고, 상기 반도체층(118) 상에는 소스 전극(132) 및 드레인 전극(134)이 형성되어 있다. 상기 반도체층(118)은 전자의 이동채널 역할을 하는 액티브층과 상기 액티브층 상에 형성되어 전하의 이동장벽을 낮추는 오믹콘택층을 포함하여 이루어질 수 있다.
이상과 같은 게이트 전극(112), 반도체층(118), 소스 전극(132), 및 드레인 전극(134)을 포함하여 이루어진 박막 트랜지스터의 구성은 다양하게 변경될 수 있다. 예를 들어, 도시된 바와 같이 게이트 전극(112)이 반도체층(118)의 아래에 형성되는 보텀(bottom) 게이트 방식 이외에 게이트 전극(112)이 반도체층(118)의 위에 형성되는 탑(top) 게이트 방식도 적용될 수 있다.
상기 소스 전극(132) 및 드레인 전극(134)을 포함한 기판 전면에는 보호막(135)이 형성되어 있다.
상기 보호막(135) 상에는 반사 조절층(160)이 형성되어 있고, 상기 반사 조절층(160) 상에는 화소 전극(140) 또는 공통 전극(150)이 형성되어 있다. 상기 반사 조절층(160) 및 그 위에 형성된 화소 전극(140)은 제1 콘택홀(137)을 통해서 상기 드레인 전극(134)과 전기적으로 연결되어 있다.
여기서, 상기 반사 조절층(160), 화소 전극(140), 및 공통 전극(150)은 포토리소그라피 공정을 통해서 동시에 패턴형성된다. 즉, 상기 보호막(135) 상에 반사 조절층용 금속을 증착하고, 그 후에 화소/공통 전극용 금속을 증착한 후, 포토리소그라피 공정을 통해서 패터닝함으로써, 도시된 바와 같은, 반사 조절층(160), 화소 전극(140), 및 공통 전극(150)을 얻을 수 있다. 이때, 상기 반사 조절층(160)을 구성하는 금속의 식각율과 상기 화소 전극(140) 및 공통 전극(150)을 구성하는 금속의 식각율이 서로 상이할 경우, 상기 포토리소그라피 공정시 갈바닉(Galvanic) 효과에 의해서 보다 미세한 패턴을 얻을 수 있게 된다.
한편, 이상에서는 상기 반사 조절층(160)이 상기 화소 전극(140)과 공통 전극(150) 모두의 하면에 형성된 모습을 도시하였지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니고, 상기 반사 조절층(160)이 상기 화소 전극(140)과 공통 전극(150) 중 어느 하나의 전극 하면에만 형성될 수도 있다. 특히, 상기 화소 전극(140)과 공통 전극(150) 중 어느 하나의 전극이 불투명 금속이 아닌 투명 금속으로 형성될 수도 있으며, 이 경우 투명 금속으로 이루어진 전극에서는 외부광의 반사가 이루어지지 않으므로 그와 같은 투명 금속으로 이루어진 전극의 하면에는 상기 반사 조절층(160)을 형성할 필요가 없다.
도 3a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치용 기판의 개략적인 평면도이고, 도 3b는 도 3a의 I-I라인의 단면도이다. 도 3a 및 도 3b는 소위 FFS(Fringe Field Switching) 모드 액정표시장치에 관한 것이다.
도 3a에서 알 수 있듯이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치는, 기판(100), 게이트 라인(110), 데이터 라인(130), 박막 트랜지스터(T), 화소 전극(140), 공통 전극(150), 및 반사 조절층(160)을 포함하여 이루어진다.
상기 게이트 라인(110)은 상기 기판(100) 상에서 가로 방향으로 배열되어 있고, 상기 데이터 라인(130)은 상기 기판(100) 상에서 세로 방향으로 배열되어 있다. 따라서, 상기 게이트 라인(110)과 데이터 라인(130)이 교차 배열되어 화소 영역을 정의하게 된다.
상기 박막 트랜지스터(T)는 상기 게이트 라인(110)과 데이터 라인(130)이 교차하는 영역에 형성되어 액정표시장치의 스위칭 역할을 한다. 상기 박막 트랜지스터(T)는 게이트 전극(112), 반도체층(118), 소스 전극(132), 및 드레인 전극(134)을 포함하여 이루어지며, 이와 같은 박막 트랜지스터를 구성하는 구성들은 전술한 실시예에서와 동일하므로 그에 대한 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
상기 화소 전극(140)은 상기 화소 영역 내에 형성되며, 제1 콘택홀(137)을 통해서 상기 박막 트랜지스터(T)의 드레인 전극(134)과 전기적으로 연결되어 있다.
상기 화소 전극(140)은 적어도 하나의 슬릿(142)을 구비함으로써 핑거(finger) 형상으로 형성된다.
상기 화소 전극(140)은 불투명 금속으로 이루어질 수 있다. 예로서, 상기 화소 전극(140)은 Mo, Ti, Mo 합금, Ti 합금, MoN, TiN, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, W, Mn, Ag, Au, Cu, 또는 Al 등의 불투명 금속으로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다.
상기 공통 전극(150)은 상기 기판(100)의 표시 영역 전면에 형성되어 전체적으로 판(plate) 형상으로 형성되어 있다. 이와 같이 공통 전극(150)이 기판(100)의 표시 영역 전면에 형성되어 있기 때문에, 전술한 실시예와는 달리, 상기 공통 전극(150)은 투명한 도전 물질로 이루어진다.
상기 핑거 형상의 화소 전극(140)과 상기 판 형상의 공통 전극(150)은 소정의 층간 절연막을 사이에 두고 서로 이격되어 있어, 보다 구체적으로는, 상기 공통 전극(150)은 층간 절연막의 아래에 형성되고, 상기 화소 전극(140)은 층간 절연막의 위에 형성되어, 양자 사이에서 프린지 필드(Fringe Field)를 형성시키고 그와 같은 프린지 필드에 의해서 액정의 배향방향을 변경시키게 된다. 이와 같은 구성은 후술하는 도 3b에 따른 단면 구조를 참조하면 보다 용이하게 이해할 수 있을 것이다.
상기 반사 조절층(160)은 상기 화소 전극(140)의 하면에 형성되어, 상기 화소 전극(140)에서 반사되는 외부 광의 반사 정도를 조절함으로써, 화면이 무지개와 같은 형상으로 보이는 종래의 문제점을 해소하는 역할을 한다. 상기 공통 전극(150)은 투명한 도전 물질로 이루어지기 때문에 외부 광이 상기 공통 전극(150)에서 반사되지 않고, 따라서, 상기 공통 전극(150)의 하면에 상기 반사 조절층(160)을 형성할 필요는 없다.
이와 같은 반사 조절층(160)의 구체적인 구성은 전술한 실시예와 동일하다.
즉, 상기 반사 조절층(160)은 상기 화소 전극(140)을 구성하는 물질보다 굴절률이 작은 것이 바람직하고, 특히, 화면이 무지개와 같이 보이는 문제를 해소할 수 있도록 하기 위해서, 상기 반사 조절층(160)은 상기 화소 전극(140)을 구성하는 불투명 금속의 굴절률의 30%이하의 굴절률을 가진 물질을 이용하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 반사 조절층(160)의 식각율은 상기 화소 전극(140)의 식각율과 상이한 것이 바람직하다.
이와 같은 조건을 만족하는 물질들 중에서 ITO, IZO, AZO, IGZO 등과 같은 투명한 도전성 산화물(Transparent Conductive Oxide: TCO) 또는 투명한 도전성 폴리머를 상기 반사 조절층(160)으로 이용할 수 있다.
또한, 외부 광의 반사도를 최소화하기 위해서는 상기 반사 조절층(160)의 두께를 두껍게 형성하는 것이 바람직하며, 특히, 화면이 무지개와 같이 보이는 문제를 해소할 수 있도록 하기 위해서 상기 반사 조절층(160)의 두께는 30Å 이상으로 형성하는 것이 바람직할 수 있고, 또한, 상기 반사 조절층(160)의 두께는 1000Å 이하로 형성하는 것이 두께 증가로 인한 공정시간 증가 및 비용 증가를 방지할 수 있어 바람직하다.
도 3b를 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치의 단면 구조에 대해서 상세히 설명하면, 도 3b에서 알 수 있듯이, 기판(100) 상에는 게이트 전극(112)이 형성되어 있고, 상기 게이트 전극(112)을 포함한 기판 전면에는 게이트 절연막(115)이 형성되어 있고, 상기 게이트 절연막(115) 상에는 반도체층(118)이 형성되어 있고, 상기 반도체층(118) 상에는 소스 전극(132) 및 드레인 전극(134)이 형성되어 있고, 상기 소스 전극(132) 및 드레인 전극(134)을 포함한 기판 전면에는 보호막(135)이 형성되어 있다. 이상과 같은 구체적인 구성들은 전술한 실시예에서와 동일하므로 그에 대한 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
상기 보호막(135) 상에는 공통 전극(150)이 형성되어 있고, 상기 공통 전극(150) 상에는 층간 절연막(145)이 형성되어 있고, 상기 층간 절연막(145) 상에는 반사 조절층(160)이 형성되어 있고, 상기 반사 조절층(160) 상에는 화소 전극(140)이 형성되어 있다.
상기 반사 조절층(160)과 화소 전극(140)은 제1 콘택홀(137)을 통해서 상기 드레인 전극(134)과 전기적으로 연결되어 있으며, 이를 위해서 상기 층간 절연막(145) 및 보호막(135) 에는 제1 콘택홀(137)이 형성되어 있다. 또한, 상기 화소 전극(140)이 상기 드레인 전극(134)과 전기적으로 연결될 때, 상기 화소 전극(140)이 상기 공통 전극(150)과 연결되면 쇼트(short)가 발생하기 때문에, 상기 공통 전극(150)은 상기 제 1콘택홀(137) 영역에 개구부(152)를 구비하고 있다.
이상은 본 발명에 따른 액정표시장치를 구성하는 하부 기판에 대해서 상세히 설명하였고, 본 발명에 따른 액정표시장치는 상기 하부 기판과 더불어 상부기판 및 양 기판 사이에 형성되는 액정층을 포함하여 이루어진다. 상기 상부 기판은 화소 영역 이외의 영역으로 광이 누설되는 것을 차단하기 위한 차광층, 상기 차광층 사이에 형성된 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 컬러필터층, 상기 컬러필터층 상에 형성된 오버코트층을 포함하여 이루어질 수 있다.
100: 기판 110: 게이트 라인
112: 게이트 전극 115: 게이트 절연막
118: 반도체층 120: 공통 라인
130: 데이터 라인 132: 소스 전극
134: 드레인 전극 135: 보호막
137: 제1 콘택홀 140: 화소 전극
145: 층간 절연막 150: 공통 전극
160: 반사 조절층

Claims (10)

  1. 기판;
    상기 기판 상에서 서로 교차되도록 배열된 게이트 라인 및 데이터 라인;
    상기 게이트 라인 및 데이터 라인이 교차하는 영역에 형성되는 박막 트랜지스터;
    상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되는 화소 전극;
    상기 화소 전극과 함께 전계를 형성시키는 공통 전극; 및
    상기 화소 전극 및 공통 전극 중 적어도 하나의 전극의 하면에 형성된 반사 조절층을 포함하고,
    상기 화소 전극 또는 공통 전극은 불투명 금속으로 이루어지고,
    상기 반사 조절층은, 상기 불투명 금속의 굴절률의 30%이하의 굴절률을 가진, 투명한 도전성 산화물 또는 투명한 도전성 폴리머로 이루어지고, 30Å 내지 1000Å의 두께로 형성되어, 외부광이 상기 불투명 금속과 상기 반사 조절층의 계면에서 광산란을 일으켜 상기 외부광의 반사도를 줄이는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 반사 조절층의 식각율은 그 위에 형성되는 화소 전극 또는 공통 전극의 식각율과 상이한 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 화소 전극 및 공통 전극 중 어느 하나의 전극은 투명한 전극으로 이루어지고 나머지 전극은 불투명한 전극으로 이루어지며, 상기 반사 조절층은 상기 불투명한 전극 하면에 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 화소 전극은 층간 절연막 위에서 불투명한 전극으로 형성되고, 상기 공통 전극은 상기 층간 절연막 아래에서 투명한 전극으로 형성되며, 상기 반사 조절층은 상기 화소 전극의 하면에 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 화소 전극 및 공통 전극은 동일한 물질로 동일한 층에 형성되고, 상기 반사 조절층은 상기 화소 전극 및 공통 전극 모두의 하면에 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
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