KR101927664B1 - 다소자 분광분석기 - Google Patents

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KR101927664B1
KR101927664B1 KR1020180076152A KR20180076152A KR101927664B1 KR 101927664 B1 KR101927664 B1 KR 101927664B1 KR 1020180076152 A KR1020180076152 A KR 1020180076152A KR 20180076152 A KR20180076152 A KR 20180076152A KR 101927664 B1 KR101927664 B1 KR 101927664B1
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주식회사 신코
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Abstract

본 발명은 분광분석장치에 있어서 분광화오목렌즈에서 모아진 분광 중에 상기 형광측정을 위하여 PMT 측정에 사용하는 1차 오더 또는 -1차 오더의 분광 이외에 남는 다른 하나의 1차 오더 분광을 측정할 수 있는 CCD 측정부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 다소자 분광분석기를 제공한다. 이를 위하여 샘플을 통과한 형광(10) 또는 분광이 슬릿(110)을 통과하여 선형광 형태로 확산되면, 평행광화오목렌즈(200)에서 이를 평행광으로 만들어주고, 회절발에서 각도를 조절하며 측정하고자 하는 주파수의 광을 분광화오목렌즈(400)를 거쳐 주파수 별로 모아. 이들 광들 중에 측정하고자하는 주파수의 분광을 홀을 통하여 PMT에 입사하는 분광측정장치에 있어서, 상기 분광화오목렌즈에서 모아진 분광중에 상기 형광측정을 위하여 PMT 측정에 사용하는 1차 오더 또는 -1차 오더의 분광 이외에 남는 다른 하나의 1차 오더 분광을 측정할 수 있는 CCD 측정부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 다소자 분광분석기를 제공한다. 이러한 구성에 의하여 그동안 측정광 중 일부만 측정에 사용하였던, 1차 오더광을 모두 사용함으로써 특히 고도의 분해능이 필요하지 않거나, 고감도 측정이 필요하지 않는 경우 CCD 소자에서 간단히 전체스펙트럼을 측정할 수 있는 장점이 있고, 아울러 PMT에서 각 파장별로 고도의 측정정밀도를 요구하는 측정을 수행할 수 있는 장점이 있다.

Description

다소자 분광분석기{Multi-Device Spectrophotometer}
본 발명은 형광 또는 분광을 측정하는 분석장치에 있어서, 샘플에서 발생하는 형광 또는 샘플을 통과한 광을 분광하여 측정하는 기술에 관한 것이다.
본 출원발명의 이전에 개시된 선행기술로는 형광 흡광 동시 측정용 분광 광도계가 있다. 상기 형광 흡광 동시 측정용 분광 광도계는 광도계 본체, 상기 본체 내에 장착되는 광원, 상기 광원에서 생성된 광의 진행 경로를 제어하는 광 이송부, 상기 광 이송부의 상측에 놓이는 시료 위에 배치되는 전반사 윈도우, 상기 전반사 윈도우에서 반사된 후 상기 광 이송부를 통과하여 출광된 광을 검출하는 멀티 채널 검출부를 구비하며, 상기 광 이송부는 진행 경로의 길이가 서로 다른 복수개의 광의 진행 경로를 형성하며, 상기 멀티 채널 검출부는 상기 광 이송부에서 서로 길이가 다른 진행 경로를 통과한 후에 유입되는 광을 서로 다른 독립된 광 경로를 사용하여 동시에 분광하는 기술을 개시하고 있다.
등록특허공보 10-1306930
본 발명은 형광 또는 분광을 측정하는 분석장치에 있어서, 샘플에서 발생하는 형광 또는 샘플을 통과한 광을 분광하여 측정하는 기술에 있어서, 도 1에 도시한 샘플을 통과한 광선을 슬릿을 통하여 오목거울로 평광화하고, 회절발을 통하여 측정광의 위치를 조절하고, 다시 오목거울을 사용하여 광을 주파수 파장별로 모아 측정하는 장치에 있어서, 광강도가 센 1오더 또는 -1오더광 중 하나만을 선택하여 사용하는 측정장치를 개선하여 사용하지 안는 1오더광을 측정 소자를 추가하여 한번에 더 많은 정보를 측정하고자 하는 것이다.
부언하여 설명하면, 상기의 방식으로 모아진 측정광은 0 오더광, 1 오더광 2 오더광과 같이 여러개의 광으로 각각 분리되며, 반대방향으로는 -1 오더광, -2 오더광 과 같이 나뉜다. 측정에 사용하는 센서 소자의 위치에 따라 장치마다 1 오더광 또는 -1 오더광을 측정에 사용한다. 반면 측정에 사용하지 않는 1차 오더광은 그냥 버려지게된다. 이러한 1차 오더광을 사용하여 샘플로부터 정보를 좀더 빠르게, 또는 더 많은 정보를 얻고자 하는 것이 본 발명의 목적이다.
상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 본 발명에서는,
샘플을 통과한 형광(10) 또는 분광이 슬릿(110)을 통과하여 선형광 형태로 확산되면, 평행광화오목렌즈(200)에서 이를 평행광으로 만들어주고, 회절발에서 각도를 조절하며 측정하고자 하는 주파수의 광을 분광화오목렌즈(400)를 거쳐 주파수 별로 모아. 이들 광들 중에 측정하고자하는 주파수의 분광을 홀을 통하여 PMT에 입사하는 분광측정장치에 있어서,
상기 분광화오목렌즈에서 모아진 분광중에 상기 형광측정을 위하여 PMT 측정에 사용하는 1차 오더 또는 -1차 오더의 분광 이외에 남는 다른 하나의 1차 오더 분광을 측정할 수 있는 CCD 측정부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 다소자 분광분석기를 제공한다.
또한, 본 발명에서는 상기 형광측정장치를 이용하여 형광을 측정하는 방법은, 상기 회절발을 초기위치로 위치시키는 단계(S1); 및
상기 CCD를 이용하여 형광을 측정하는 단계(S2); 및 상기 회절발을 PMT 소자에서 측정하고자 하는 주파수의 초기위치로 설정하는 회절발시작주파수설정단계(S3); 및 상기 PMT 소자에서 형광측정을 시작하는 단계(S4); 및 상기 회절발을 회전하며 설정된 최종주파수까지 상기 S4단계를 반복하는 주파수스캔단계(S5); 및 상기 S2 단계에서 측정한 CCD 신호와 상기 S3 내지 S5 단계에서 측정한 PMT 신호를 출력하는 신호출력단계(S6)을 포함하는 것을 특징으로 하는 다소자 분광분석기를 제공한다.
또한, 본 발명에서는 상기 S2 단계에서 측정한 CCD 신호와 상기 S3 내지 S5 단계에서 측정한 PMT 신호를 동일 형광주파수에 대한 신호로 매칭하기 위한 CCD 주파수어드레스 캘리프레이션단계(S0)를 상기 S1 단계이전에 수행하는 것을 특징으로 하는 다소자 분광분석기를 제공한다.
또한, 본 발명에서는 상기 S0단계는 회절발의 초기위치에서 측정되는 PMT신호와 상기 S2단계에서 측정된 CCD의 신호 중 가장 왼쪽의 신호와 주파수를 일치시키는 것을 특징으로 하는 다소자 분광분석기를 제공한다.
또한, 본 발명에서는 상기와 다른 구조의 다소자 분광분석기를 제공한다.
또 다른 형태의 다소자 분광분석기는 상기 다소자 분광분석기의 경우 회절발이 회전하는 경우 초기위치에서 설정된 CCD 주파수어드레스가 변하게되어 CCD 상의 신호가 어느 주파수에 해당하는지 알 수 없는 경우가 발생하는 것이어서, CCD에서 측정된 신호의 CCD 주파수어드레스를 확인하기 위한 녹색발광 LED(130)를 적색발광 LED(131)를 상기 슬릿(110)의 슬린라인에 맞추어 더 구비한 것을 특징으로 하는 다소자 분광분석기를 제공한다.
또한, 본 발명에서는 상기 형광측정장치를 이용하여 형광을 측정하는 방법은, 상기 회절발을 초기위치로 위치시키는 단계(SA1); 및 상기 회절발을 PMT 소자에서 측정하고자 하는 주파수의 초기위치로 설정하는 회절발시작주파수설정단계(SA2); 및 상기 PMT 소자에서 형광을 측정하는 단계(SA3); 및 상기 CCD 소자에서 형광을 측정하는 단계(SA4); 및 상기 상기 녹색발광 LED와 적색발광 LED를 동시에 켜고, 상기 CCD 소자에서 신호를 측정하는 CCD 주파수어드레스측정단계(SA5); 및 상기 SA4 단계에서 측정한 CCD 형광신호중 상기 PMT에서 측정한 주파수를 상기 SA5 단계에서 측정한 CCD 상의 녹색발광 LED와 적색발광 LED의 신호로 부터 CCD 촬영소자의 메모리 어드레스를 계산하여 신호를 찾아내는 주파수계산단계(SA6); 및 상기 회절발을 회전하며 설정된 최종주파수까지 상기 SA3 내지 SA6 단계를 반복하는 주파수스캔단계(SA7); 및 상기 CCD에서 측정한 신호와 상기 PMT에서 측정한 신호를 형광주파수에 맞추어 출력하는 신호출력단계(SA8)을 포함하는 것을 특징으로 하는다소자 분광분석기를 제공한다.
상기와 같은 구성에 의하여 그동안 일부만 측정에 사용하였던, 1차 오더광을 모두 사용함으로써 특히 고도의 분해능이 필요하지 않거나, 고감도 측정이 필요하지 않는 경우 상기 실시예1의 구성으로 간단히 전체스펙트럼을 측정할 수 있는 장점이 있고, 아울러 각 파장별로 고도의 측정정밀도를 요구하는 측정을 수행할 수 있으며, 이러한 정보도 감도와 주파수 선택성이 상이한 2개의 소자에서 각각 측정함으로써 실험실 측정에서의 정밀도와 실용화 입장에서의 정밀도를 동시에 검사해볼 수 있는 잇점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시예 1의 도면
도 2는 본 발명의 실시예 1의 문제점 도면
도 3은 본 발명의 실시예 2의 도면
도 4는 본 발명의 신호를 더 증폭하기위한 실린더리컬 렌즈의 동작 원리이다.
본 발명의 구체적인 작용효과를 도면을 이용하여 설명하면 하기와 같다.
본 발명의 기본 구조는 기존에 한쪽만 사용하였던 1차오더 광을 모두 사용하고자 하는 것이고, 기존에 1차 오더광을 한쪽만 사용할 수 밖에 없었던 문제를 해결하고자 하는 것이다.
<실시예 1>
도 1은 본 발명의 형광 또는 분광 분석장치의 모식도 이다. 샘플을 통과한 빛을 슬릿을 통과시켜 빛을 평면화하고, 평면화한 빛은 오목거울을 사용하여 평행광화하고, 회절발과 오목거울로 파장별로 빛을 모아 측정한다. 이때 오목거울로 파장별로 광을 모으는 과정에서 0차 오더, ± 1차 오더, ± 2차 오더 등의 광이 발생한다. 가장 신호가 크고 측정하기 좋은 광이 ± 1차 오더광이므로 측정에는 ± 1차 오더 광이 사용된다. 그러나, 측정에 사용된 1차 오더광 이외에도 사용하지 않는 반대쪽 1차 오더광이 있다. 이를 이용하고자 하는 것이 본 발명의 목적이다.
반대쪽의 1차 오더광 위치에 CCD를 설치하면 여러 파장의 신호를 한번에 받을 수 있는 장점이 있다.
즉, 기존의 PMT 센서를 이용하여 신호를 받는 경우에는 상기 회절발로 주파수를 선택하여 PMT 센서 앞단에 구비된 신호입력 홀을 통하여 입사되는 광의 신호를 측정하였으나, CCD 소자의 경우 Line 형태 또는 Area 형태를 취하고 있어, 주파수별로 선형으로 발생하거나, 평면으로 발생하는 광신호를 1차원 또는 2차원 형태로 동시에 측정할 수 있는 장점이 있다. 반면, CCD 센서는 PMT 센서와 비교하여 감도면에서는 좀 떨어지는 경향이 있다. 본 발명에서는 이를 보완하기 위하여 본 발명에서는 CCD 소자의 표면온도를 쿨링에 의하여 낮주어 신호대 잡음비를 향상시킨 CCD 소자를 사용한다.
상기한 바와 같이 본 발명은 ± 1차 오더의 신호광을 PMT와 CCD 소자에 각각 비추어 동시에 측정하도록 광경로를 구비하여 낮은 감도 신호만으로도 신호측정이 충분한 경우 CCD 소자의 측정값을 이용하여 전체 파장범위의 신호를 한번에 측정하고, 정밀한 고분해능의 측정신호가 필요한 경우에는 PMT소자를 이용할 수 있도록 구성하고 있다.
상기에 기재한 바와 같이 PMT 소자의 측정은 신호광 입력홀에 특정주파수를 통과하도록 상기 회절발을 회전시키는 것이어서, 상기 오목렌즈에서 모아진 측정광 전체의 빛은 각도가 상기 회절발에 의하여 움직이게된다. 따라서, 회절발의 초기위치에서 상기 신호광 측정을 위한 CCD를 광의 분광위치에 맞추어 설치하는 것이 필요하다.
이를 위하여 상기 Line 타입 또는 Area 타입 CCD의 왼쪽끝단을 측정범위 주파수의 한 끝단으로 설정하여 CCD소자의 위치(어드레스)에 따른 측정광의 주파수를 매칭하여 사용한다. 즉 리니어 CCD의 경우에는 0x0000 어드레스는 주파수 200nm. 0x0001 어드레스는 주파수 210nm와 같이 CCD 상의 소자의 위치에 따라 측정된 주파수를 매칭할 수 있다.
Area 타입의 CCD의 경우 상기와 유사하지만, 같은 컬럼의 CCD 라인은 같은 주파수 신호를 측정하는 점에서 차이가 있을 뿐이다.
또한, 신호대 잡음의 비율을 향상시키기 위하여 상기 CCD 앞쪽에 도 4에서 보는 바와 같은 반원의 실린더 형태로 구비되어 라인타입의 신호를 점타입의 신호로 모아주는 실린더리컬 렌즈를 사용하여 광신호를 모아줌으로써 신호대 잡음비를 더욱 개선할 수 있다.
상기 실시예 1의 발명은 회절발의 초기위치에서만 CCD에 모든 주파수의 광을 입사시켜 측정할 수 있으며, 회절발의 위치가 변화되면 광경로가 이동하여 CCD에 측정되는 주파수 범위가 변화되는 단점이 있다.
따라서, PMT 센서와 CCD 센서의 주파수별 신호를 동시에 측정할 수 없는 단점이 있다.
하기의 실시 예 2는 이러한 문제를 좀 더 개선한 것이다.
<실시예 2>
상기에 설명한 바와 같이 PMT 측정을 위해서는 상기 회절발을 주파수 별로 PMT 측정 홀에 신호가 입력될 수 있도록 회전하여야 하는데. 이때 상기 CCD에 입력되는 다른 1차 오더신호도 같이 좌우로 움직이게 된다. 전체의 파장신호는 상기 회절발이 0점 위치에 있을 때 측정하면 되므로 문제가 없으나, 측정광 신호가 좌우로 움직이면, 상기 CCD 이미지센서의 어드레스와 측정된 주파수의 매칭이 어긋나게되어 상기 CCD에서 측정된 신호가 어떤 주파수의 신호인지 알 수 없는 문제가 있다.
본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위하여, 상기 샘플을 통과한 측정 광신호가 통과하는 슬릿의 한쪽 또는 양쪽 끝단에 녹색과 적색의 광발생장치를 더 구비한다. 상기 광발생장치는 다른 색의 광을 사용할 수 있으며, 단색광의 주파수는 가능한 주파수 범위가 좁은 것이 본 발명의 광 기준점을 잡기에 좋다. 사용 광의 발광 주파수 범위가 큰 경우에는 광학필터를 사용하는 것도 가능하다. 상기 광원은 상기 슬릿과 같은 선상에 사용될 수 있으며, 다른 선상에 옵셋을 두어 사용할 수 있다. 상기 CCD가 라인타입의 경우 슬릿과 동일 선상에 상기 추가 광원을 설치하고, 상기 CCD라 Area 타입의 경우 상기 슬릿과 옵셋을 두고 설치하여 CCD 상에서 기준점을 찾기 수월하도록 구성할 수 있다.
상기 식별가능한 광원은 상기 회절발의 회전에 의하여 상기 CCD에 도달한 광의 위치가 변경되는 경우에도 상기 부가적으로 설치한 식별가능한 광원의 신호를 상기 CCD에서 찾아 현재 CCD에 측정된 측정광의 주파수를 계산할 수 있기 때문이다,
따라서, 상기 부가된 광발생장치는 상기 회절발의 회전 후 잠시 발광하여 CCD 상의 주파수위치를 계산하고, 다시 측정모드로 측정하는 과정을 수행하여 PMT 에서 측정한 주파수와 동일한, 주파수의 광신호를 CCD로 동시에 측정한다. 이렇게 함으로써 CCD에서 측정할 수 있는 광의 최소 밝기와 PMT와 CCD의 신호 크기 비율을 구할 수 있음은 물론이다.
단순히 CCD 측정부를 더 구비한 것 이외에도 본 발명은 상기와 같은 구성에 의하여 실험실 수준에서 정밀하게 측정된 PMT 측정값과 실용화 가능한 수준인 CCD 감도 레벨에서의 신호 측정값을 비교해볼 수 있기 때문에 포터플 장비의 개발과 저가형 장비의 개발에서 PMT 신호에서는 측정할 수 있었지만, CCD 레벨에서는 측정할 수 없었던 신호를 구분하고, 이를 찾아낼 수 있는 방법을 연구할 수 있는 수단을 제공하는 점에서 기존의 방식과 차이가 있으며, 간단한 측정의 경우 고속으로 측정할 수 있는 수단을 제공함은 물론이다.
상기와 같은 작용효과를 가지기 위한 본 발명의 구성은 하기와 같다.
샘플을 통과한 형광(10) 또는 분광이 슬릿(110)을 통과하여 선형광 형태로 확산되면, 평행광화오목렌즈(200)에서 이를 평행광으로 만들어주고, 회절발에서 각도를 조절하며 측정하고자 하는 주파수의 광을 분광화오목렌즈(400)를 거쳐 주파수 별로 모아. 이들 광들 중에 측정하고자하는 주파수의 분광을 홀을 통하여 PMT에 입사하는 분광측정장치에 있어서,
상기 분광화오목렌즈에서 모아진 분광중에 상기 형광측정을 위하여 PMT 측정에 사용하는 1차 오더 또는 -1차 오더의 분광 이외에 남는 다른 하나의 1차 오더 분광을 측정할 수 있는 CCD 측정부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 다소자 분광분석기를 제공한다.
또한, 본 발명에서는 상기 형광측정장치를 이용하여 형광을 측정하는 방법은, 상기 회절발을 초기위치로 위치시키는 단계(S1); 및 상기 CCD를 이용하여 형광을 측정하는 단계(S2); 및
상기 회절발을 PMT 소자에서 측정하고자 하는 주파수의 초기위치로 설정하는 회절발시작주파수설정단계(S3); 및 상기 PMT 소자에서 형광측정을 시작하는 단계(S4); 및
상기 회절발을 회전하며 설정된 최종주파수까지 상기 S4단계를 반복하는 주파수스캔단계(S5); 및
상기 S2 단계에서 측정한 CCD 신호와 상기 S3 내지 S5 단계에서 측정한 PMT 신호를 출력하는 신호출력단계(S6)을 포함하는 것을 특징으로 하는 다소자 분광분석기를 제공한다.
또한, 본 발명에서는 상기 S2 단계에서 측정한 CCD 신호와 상기 S3 내지 S5 단계에서 측정한 PMT 신호를 동일 형광주파수에 대한 신호로 매칭하기 위한 CCD 주파수어드레스 캘리프레이션단계(S0)를 상기 S1 단계이전에 수행하는 것을 특징으로 하는 다소자 분광분석기를 제공한다.
또한, 본 발명에서는 상기 S0단계는 회절발의 초기위치에서 측정되는 PMT신호와 상기 S2단계에서 측정된 CCD의 신호 중 가장 왼쪽의 신호와 주파수를 일치시키는 것을 특징으로 하는 다소자 분광분석기를 제공한다.
또한, 본 발명에서는 상기와 다른 구조의 다소자 분광분석기를 제공한다.
다른 형태의 다소자 분광분석기는 상기 다소자 분광분석기의 경우 회절발이 회전하는 경우 초기위치에서 설정된 CCD 주파수어드레스가 변하게되어 CCD 상의 신호가 어느 주파수에 해당하는지 알 수 없는 경우가 발생하는 것이어서, CCD에서 측정된 신호의 CCD 주파수어드레스를 확인하기 위한 녹색발광 LED(130)를 적색발광 LED(131)를 상기 슬릿(110)의 슬린라인에 맞추어 더 구비한 것을 특징으로 하는 다소자 분광분석기를 제공한다.
또한, 본 발명에서는 상기 형광측정장치를 이용하여 형광을 측정하는 방법은, 상기 회절발을 초기위치로 위치시키는 단계(SA1); 및 상기 회절발을 PMT 소자에서 측정하고자 하는 주파수의 초기위치로 설정하는 회절발시작주파수설정단계(SA2); 및 상기 PMT 소자에서 형광을 측정하는 단계(SA3); 및
상기 CCD 소자에서 형광을 측정하는 단계(SA4); 및 상기 상기 녹색발광 LED와 적색발광 LED를 동시에 켜고, 상기 CCD 소자에서 신호를 측정하는 CCD 주파수어드레스측정단계(SA5); 및
상기 SA4 단계에서 측정한 CCD 형광신호중 상기 PMT에서 측정한 주파수를 상기 SA5 단계에서 측정한 CCD 상의 녹색발광 LED와 적색발광 LED의 신호로 부터 CCD 촬영소자의 메모리 어드레스를 계산하여 신호를 찾아내는 주파수계산단계(SA6); 및 상기 회절발을 회전하며 설정된 최종주파수까지 상기 SA3 내지 SA6 단계를 반복하는 주파수스캔단계(SA7); 및 상기 CCD에서 측정한 신호와 상기 PMT에서 측정한 신호를 형광주파수에 맞추어 출력하는 신호출력단계(SA8)을 포함하는 것을 특징으로 하는다소자 분광분석기를 제공한다.
10 : 샘플을 통과한 빛
20 : 1 오더광
30 : -1 오더광
40 : N 오더광의 형태(선광원 형태임)
50 : 집광된 측정광(점광원으로 모임)
110 : 슬릿
120 : 측정홀
130 : CCD 위치캘리브레이션을 위한 녹색 LED
131 : CCD 위치캘리브레이션을 위한 적색 LED
200 : 평행광 오목거울
300 : 회절발
400 : 주파수별 광수집 오목거울
500 : PMT
510 : CCD 소자
600 : 실린더리컬 렌즈

Claims (7)

  1. 샘플을 통과한 형광(10) 또는 분광이 슬릿(110)을 통과하여 선형광 형태로 확산되면, 평행광화오목렌즈(200)에서 이를 평행광으로 만들어주고, 회절발에서 각도를 조절하며 측정하고자 하는 주파수의 광을 분광화오목렌즈(400)를 거쳐 주파수 별로 모아. 이들 광들 중에 측정하고자하는 주파수의 분광을 홀을 통하여 PMT에 입사하는 분광측정장치에 있어서,
    상기 분광화오목렌즈에서 모아진 분광중에 상기 형광측정을 위하여 PMT 측정에 사용하는 1차 오더 또는 -1차 오더의 분광 이외에 남는 다른 하나의 1차 오더 분광을 측정할 수 있는 CCD; 및
    상기 CCD에서 측정된 신호의 CCD 주파수어드레스를 확인하기 위한 녹색발광 LED(130)와 적색발광 LED(131)를 상기 슬릿(110)의 슬린 라인에 맞추어 더 구비한 것을 특징으로 하는 다소자 분광분석기.
  2. 샘플을 통과한 형광(10) 또는 분광이 슬릿(110)을 통과하여 선형광 형태로 확산되면, 평행광화오목렌즈(200)에서 이를 평행광으로 만들어주고, 회절발에서 각도를 조절하며 측정하고자 하는 주파수의 광을 분광화오목렌즈(400)를 거쳐 주파수 별로 모아. 이들 광들 중에 측정하고자하는 주파수의 분광을 홀을 통하여 PMT에 입사하는 분광측정장치에 있어서,
    상기 분광화오목렌즈에서 모아진 분광중에 상기 형광측정을 위하여 PMT 측정에 사용하는 1차 오더 또는 -1차 오더의 분광 이외에 남는 다른 하나의 1차 오더 분광을 측정할 수 있는 CCD; 및
    상기 CCD에서 측정된 신호의 CCD 주파수어드레스를 확인하기 위한 녹색발광 LED(130)와 적색발광 LED(131)를 상기 슬릿(110)의 슬린 라인과 폭방향으로 옵셋을 두고 더 구비한 것을 특징으로 하는 다소자 분광분석기.
  3. 제1항 또는 제2항에 기재된 다소자 분광분석기를 이용한 형광 또는 분광을 측정하는 방법은,
    상기 회절발을 초기위치로 위치시키는 단계(SA1); 및
    상기 회절발을 PMT 소자에서 측정하고자 하는 주파수의 초기위치로 설정하는 회절발시작주파수설정단계(SA2); 및
    상기 PMT 소자에서 형광을 측정하는 단계(SA3); 및
    상기 CCD 소자에서 형광을 측정하는 단계(SA4); 및
    상기 녹색발광 LED와 적색발광 LED를 동시에 켜고, 상기 CCD 소자에서 신호를 측정하는 CCD 주파수어드레스측정단계(SA5); 및
    상기 SA4 단계에서 측정한 CCD 형광신호중 상기 PMT에서 측정한 주파수를 상기 SA5 단계에서 측정한 CCD 상의 녹색발광 LED와 적색발광 LED의 신호로 부터 CCD 촬영소자의 메모리 어드레스를 계산하여 신호를 찾아내는 주파수계산단계(SA6); 및
    상기 회절발을 회전하며 설정된 최종주파수까지 상기 SA3 내지 SA6 단계를 반복하는 주파수스캔단계(SA7); 및
    상기 CCD에서 측정한 신호와 상기 PMT에서 측정한 신호를 형광주파수에 맞추어 출력하는 신호출력단계(SA8)을 포함하는 것을 특징으로 하는 다소자 분광분석기를 이용한 측정방법.
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