KR101923178B1 - 강화 유리 식각 마스크 및 이를 이용한 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공방법 - Google Patents

Abstract

터치스크린용 강화 유리 식각 마스크는 터치스크린을 구성하는 도전성 구조물들이 형성된 강화 유리 원판 상에 구비되며, 강화 유리 원판의 식각 영역을 선택적으로 노출하는 도전성 마스크 패턴 및 상기 도전성 마스크 패턴과 전기적으로 연결되고, 연마 입자를 초고속 분출시켜 상기 강화 유리 원판을 식각하는 샌드 블라스트 공정시 발생되는 정전기를 외부로 배출시키는 그라운드 배선을 포함한다. 상술한 구성을 갖는 강화 유리 식각 마스크는 샌드 블라스트 식각 공정을 수행하여 상기 터치스크린용 강화 유리 원판을 가공할 경우 연마 입자의 충돌로 인해 발생된 정전기를 외부로 효과적으로 배출시킬 수 있다.

Description

강화 유리 식각 마스크 및 이를 이용한 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공방법{etching mask for tempered glass and method of processing a tempered glass substrate for touch screens using the same}

본 발명은 강화 유리 기판 가공용 강화 유리 식각 마스크 및 이를 이용한 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 휴대폰 등의 전자기기에 사용되는 터치스크린 일체형 강화 유리 기판을 가공하는데 적용되는 강화 유리 식각 마스크 및 이를 이용한 터치스크린용 강화 유리 기판을 가공하는 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 휴대폰('cellular phone' 또는 '핸드폰'이라고 함), 엠피쓰리(MP3), 개인용 휴대단말기(Personal Digital Assistant, PDA), 스마트폰, 터치 패드 등의 디스플레이장치에는 터치스크린 패널이 적용된다. 상기 터치스크린 패널은 영상표시장치 등의 화면에 나타난 지시 내용을 사람의 손 또는 물체로 선택하여 사용자의 명령을 입력할 수 있도록 한 입력장치이다.

이를 위해, 터치스크린 패널은 영상표시장치의 전면(front face)에 구비되어 사람의 손 또는 물체에 직접 접촉된 접촉위치를 전기적 신호로 변환한다. 이에 따라, 접촉위치에서 선택된 지시 내용이 입력신호로 받아들여진다. 이와 같은 터치스크린 패널은 키보드 및 마우스와 같이 영상표시장치에 연결되어 동작하는 별도의 입력장치를 대체할 수 있기 때문에 그 이용범위가 점차 확장되고 있는 추세이다.

터치스크린이 적용되는 스마트 폰의 경우, 버튼을 없애고 넓은 화면을 구비하며, 사용자는 화면을 가압하여 스마트 폰을 조작하게 된다. 상기 스마트 폰의 화면은 이른바 커버 글라스로 커버되며 상기 커버 글라스 상에는 휴대전화에 필요한 기능인 스피커, 마이크, 카메라 등의 장착에 따른 개구부가 여러 가지 모양으로 형성된다.

이에 따라 터치스크린이 적용되는 스마트 폰의 커버 글라스는 그 표면에 스크래치가 일어나지 않도록 강화 유리가 적용되었고, 강화 유리의 가공에 있어 정밀 치수 제어 및 여러 가지 개구부를 원하는 대로 정확히 형성하는 강화 유리 가공 공정이 적용되었다.

특히, 최근 커버 글라스로 강화 유리 기판 상에 터치스크린용 감지 셀 등이 직접적으로 형성되어 터치스크린 일체형 강화 유리 기판이 사용되고 있다. 상기 터치스크린 일체형 강화 유리 기판은 터치스크린을 구성하는 감지 패턴이 셀 단위 영역으로 형성된 강화 유리 원판을 가공하는 방법을 수행함으로서 제조될 수 있다.

기존에 널리 사용되는 강화 유리를 가공 하는 방법으로는 다이아몬드 휠(diamond wheel)을 사용한 가공 공정, 레이저 가공 공정, 샌드블라스트(sand blast) 가공 공정 등이 사용되고 있다.

상기 다이아몬드 휠을 이용한 가공 공정의 경우, 휠을 돌려가며 강화 유리를 절단하기 때문에 터치스크린용 강화 유리 기판에서 필요로 하는 스피커, 마이크, 카메라의 세부 개구부들을 휠을 돌려 가공하기는 매우 어렵다는 한계를 갖는다.

상기 레이저를 이용한 가공 공정의 경우 절단면이 매끄럽고, 정밀하게 개구를 형성할 수 있는 장점을 갖지만, 절단면에서 열 처리 현상이 발생되면서 상기 강화 유리 절단면이 변색되는 문제가 발생된다. 이로 인해 변색된 부분을 제거하는 후 가공 공정이 별도로 요구되므로 결국 완제품을 양산하는 데에는 상당한 문제를 갖고 있다.

샌드 블라스트 가공 공정의 경우 등록특허 10-1023794호에 개시된 바와 같이 강화 유리 상에 마스크를 형성한 후 상기 강화 유리를 향해 연마재를 고속으로 분사하여 상기 감광성 마스크에 의해 노출된 부분을 충격함으로써 상기 강화 유리 기판을 정확하게 식각할 수 있다.

그러나, 상술한 방법과 같이 감광성 마스크를 이용하여 감지 셀이 셀 단위 영역으로 형성된 강화 유리 원판을 절단 또는 식각할 경우 샌드 블라스트 가공 공정에 적용되는 연마 입자의 정전기로 인해 상기 유리 기판에 형성된 ITO와 같은 투명 전극으로 형성된 감지 패턴, 전극 또는 배선에서 아킹이 발생될 수 있다. 상기 정전기로 인해 발생되는 아킹(Arcing)은 ITO와 같은 투명 전극으로 형성된 감지 패턴, 전극 또는 배선의 손상을 초래하여 최종적으로 형성되는 터치스크린 일체형 유리 기판의 불량을 초래한다.

본 발명의 목적은 강화 유리 원판을 절단 또는 가공 홀을 형성하기 위한 샌드 블라스트 공정시 연마 입자의 충돌로 인해 발생되는 정전기를 외부로 배출시킬 수 있는 구조를 갖는 터치스크린용 강화 유리 식각 마스크를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 상술한 강화 유리 식각 마스크를 이용하여 강화 유리 원판을 물리적으로 식각하는 공정시 발생되는 정전기를 외부로 배출시킴으로서 상기 강화 유리 원판의 셀 단위 영역 상에 형성된 터치스크린 구조물이 전기적으로 손상되는 것을 방지할 수 있는 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공방법을 제공하는데 있다.

상술한 목적을 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 터치스크린용 강화 유리 식각 마스크는 터치스크린을 구성하는 도전성 구조물들이 형성된 강화 유리 원판 상에 구비되며, 강화 유리 원판의 식각 영역을 선택적으로 노출하는 도전성 마스크 패턴 및 상기 도전성 마스크 패턴과 전기적으로 연결되고, 연마 입자를 초고속 분출시켜 상기 강화 유리 원판을 식각하는 샌드 블라스트 공정시 발생되는 정전기를 외부로 배출시키는 그라운드 배선을 포함한다.

상술한 다른 목적을 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공방법은 터치스크린을 구성하는 도전성 구조물들이 형성된 강화 유리 원판을 마련하는 단계와, 상기 강화 유리 원판의 식각 영역을 선택적으로 노출하는 도전성 마스크 패턴 및 상기 도전성 마스크 패턴과 전기적으로 연결되어 샌드 블라스트 공정시 발생되는 정전기를 외부로 배출시키는 그라운드 배선을 포함하는 강화 유리 식각 마스크를 상기 강화 유리 원판 상에 배치시키는 단계와, 샌드 블라스트 공정을 수행하여 강화 유리 식각 마스크에 노출된 강화 유리 원판을 식각하는 동시에 상기 샌드 블라스트 공정시 연마 입자의 충돌로 인해 발생되는 정전기를 외부로 배출시키는 단계를 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 일 실시예들에 있어서, 상기 도전성 마스크 패턴과 그라운드 배선은 접지 패드에 의해 전기적으로 연결되고, 상기 접지 패드는 도전성 자석 또는 금속패드일 수 있다.

본 발명에 따른 일 실시예들에 있어서, 상기 도전성 마스크 패턴은 상기 강화 유리 원판과 대응되는 크기를 갖고, 강화 유리 원판에 형성하고자 하는 개구들과 대응되는 가공 홀들이 형성된 금속 마스크 패턴일 수 있다.

상술한 다른 목적을 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공 방법은 터치스크린을 구성하는 도전성 구조물들이 단위 셀 영역으로 각각 구분되어 형성된 강화 유리 원판을 마련하는 단계와, 상기 강화 유리 원판의 단위 셀 영역 상에 각각 배치되어 식각 영역을 선택적으로 노출하는 도전성 마스크 패턴들 및 접지 패드에 의해 도전성 마스크 패턴들과 전기적으로 연결되며 샌드 블라스트 공정시 발생되는 정전기를 외부로 배출시키는 적어도 하나의 그라운드 배선을 포함하는 강화 유리 식각 마스크를 상기 강화 유리 원판 상에 배치시키는 단계와, 상기 강화 유리 식각 마스크를 이용한 제1 샌드 블라스트 식각 공정을 수행하여 상기 강화 유리 원판에 가공 홀들을 형성하는 단계와, 상기 강화 유리 식각 마스크를 이용한 제2 샌드 블라스트 식각 공정을 수행하여 가공 홀들이 형성된 강화 유리 원판을 제1 방향으로 절단하는 단계 및 상기 강화 유리 식각마스크를 이용한 제3 샌드 블라스트 식각 공정을 수행하여 제1 방향으로 절단된 강화 유리 기판을 제1 방향과 수직하는 제2 방향으로 절단하는 단계를 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 일 실시예들에 있어서, 상기 도전성 마스크 패턴은 상기 강화 유리 원판이 단위 셀 영역으로 절단됨으로서 형성되는 강화 유리 기판들과 각각 대응되는 크기를 갖고, 상기 강화 유리 기판에 형성하고자 하는 개구와 대응되는 가공 홀이 형성된 복수의 금속 마스크 패턴일 수 있다.

본 발명에 따른 일 실시예들에 있어서, 상기 복수의 금속 마스크 패턴은 제1 방향 또는 제2 방향으로 상기 복수의 도전성 마스크 패턴들을 상부를 통과하는 적어도 하나의 그라운드 배선에 의해 서로 전기적으로 연결될 수 있다.

본 발명에 따른 일 실시예들에 있어서, 상기 제2 샌드 블라스트 공정을 수행하여 강화 유리 원판을 제1 방향으로 식각할 경우 상기 그라운드 배선은 제1 방향으로 배열된 도전성 마스크 패턴들이 서로 전기적으로 연결되도록 배치될 수 있다.

본 발명에 따른 일 실시예들에 있어서, 상기 제3 샌드 블라스트 공정을 수행하여 강화 유리 원판을 제2 방향으로 식각할 경우 상기 그라운드 배선은 제2 방향으로 배열된 도전성 마스크 패턴들이 서로 전기적으로 연결되도록 배치될 수 있다.

본 발명에 따른 일 실시예들에 있어서, 상기 제3 샌드 블라스트 식각공정이 수행됨으로 인해 형성된 강화 유리 기판의 절단면에 존재하는 미세크랙을 제거하는 화학적 식각공정을 더 수행할 수 있다.

본 발명에 따른 터치스크린용 강화 유리 식각 마스크는 도전성 구조물들이 각각 구분되어 형성된 강화 유리 원판 상에 구비되는 도전성 마스크 패턴 및 상기 도전성 마스크 패턴과 전기적으로 연결되어 정전기를 외부로 배출시키는 그라운드 배선을 포함하고 있어 샌드 블라스트 공정을 수행하여 상기 터치스크린용 강화 유리 원판을 가공할 경우 연마 입자의 충돌로 인해 발생된 정전기를 외부로 효과적으로 배출시킬 수 있다.

또한, 터치스크린 강화 유리의 가공 방법은 상술한 식각 마스크를 이용하여 ITO등의 도전성 구조물이 각 셀 영역으로 형성된 강화 유리 원판을 식각하는 공정을 수행할 경우 발생되는 정전기를 외부로 배출시킬 수 있다. 상기 정전기의 배출은 식각 공정시 강화 유리 원판에 셀 단위 영역으로 형성된 터치스크린 구조물이 전기적으로 손상되는 것을 방지할 수 있다. 이로 인해, 식각 공정이 수행된 터치스크린용 강화 유리 기판은 그 내부에 포함된 상기 도전성 구조물에서 아킹 현상으로 인한 제품의 불량이 발생되지 않아 그 생산성이 향상될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 터치스크린용 강화 유리 식각 마스크를 설명하기 위한 도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 터치스크린용 강화 유리 식각 마스크를 설명하기 위한 도이다.
도 3은 본 발명의 도 1에 도시된 강화 유리 식각 마스크를 이용한 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공 방법을 설명하기 위한 공정 흐름도이다.
도 4a 내지 4c는 도 3에 도시된 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 5는 본 발명의 도 2에 도시된 강화 유리 식각 마스크를 이용한 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공 방법을 설명하기 위한 공정 흐름도이다.
도 6a 내지 6f는 도 5에 도시된 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공방법을 설명하기 위한 단면도들이다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 터치스크린용 강화 유리 식각 마스크 및 이를 이용한 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공방법에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

터치스크린용 강화 유리 식각 마스크

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 터치스크린용 강화 유리 식각 마스크를 설명하기 위한 도이다.

도 1을 참조하면, 터치스크린용 강화 유리 식각 마스크(100)는 식각 대상체(10) 상에 구비되는 도전성 마스크 패턴(110), 상기 도전성 마스크 패턴과 전기적으로 연결되는 그라운드 배선(120) 및 상기 도전성 마스크 패턴에 상기 그라운드 배선을 연결 또는 고정시키는 접지 패드(130)를 포함하는 구성을 갖는다.

구체적으로 강화 유리 식각 마스크(100)는 식각 대상체(10)를 디스플레이 장치에서 요구되는 형상 및 크기를 갖도록 가공하기 위해 식각하고자 하는 부분을 선택적으로 노출시키도록 식각 대상체(10) 상에 배치된다.

본 실시예에 있어서, 식각 대상체(10)는 터치스크린을 구성하는 도전성 구조물들이 단위 셀 영역으로 각각 구분되어 형성된 강화 유리 원판인 것이 바람직하다. 상기 강화 유리 원판 상에 형성된 터치스크린을 구성하는 구조물(미도시)은 강화 유리 원판을 단위 셀 영역의 크기로 절단하는 공정을 수행하기 전에 강화 유리 원판의 단위 셀 영역에 각각 형성된다. 여기서 단위 셀 영역의 크기는 최종적으로 제조하고자 하는 터치 패널 또는 터치스크린의 크기를 나타낸다. 일 예로서, 도전성 구조물은 강화 유리 원판 상의 각 단위 셀 영역에 위치하는 ITO와 같은 투명 전극으로 형성된 감지 패턴들, 절연막 패턴, 접지전극을 포함하는 터치 패널용 도전성 패턴이 적층된 구조물일 수 있다. 상기 구조물은 공지되어 있는 기술을 적용하여 형성될 수 있기 때문에 구체적인 설명은 생략하였다.

도전성 마스크 패턴(110)은 터치스크린용 강화 유리 식각 마스크(100)의 몸체에 해당하며, 터치스크린을 구성하는 도전성 구조물들이 단위 셀 영역으로 각각 구분되어 형성된 강화 유리 원판 상에 배치되며, 강화 유리 원판의 식각 영역을 선택적으로 노출하는 형상을 갖는다.

일 실시예들에 있어서, 상기 도전성 마스크 패턴(110)은 상기 강화 유리 원판과 대응되는 크기를 갖고, 강화 유리 원판에 형성하고자 하는 가공 홀과 대응되는 개구(112)가 형성된 금속 마스크 패턴일 수 있다.

일 예로서, 도전성 마스크 패턴(110)은 전기 전도도가 우수한 동시에 샌드 블라스트 연마 입자에 대하여 내 식각성을 갖는 금속으로 형성할 수 있다. 특히, 도전성 마스크 패턴(110)은 자성을 가질 수 있는 금속으로 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 도전성 마스크 패턴(110)은 상기 강화 유리 원판에 형성하고자하는 가공 홀들과 대응되는 개구(112)들이 형성된 구조를 가질 수 있다. 상기 가공 홀들은 스마트 폰 또는 스마트 패드에 존재하는 스피커 홀 또는 조작 버튼이 존재하는 홀에 대응될 수 있다.

그라운드 배선(120)은 접지 패드(130)를 통해 도전성 마스크 패턴(110)과 전기적으로 연결되며, 연마 입자를 초고속 분출시켜 상기 강화 유리 원판을 식각하는 샌드 블라스트 공정시 연마 입자의 충돌로 인해 발생되는 정전기를 도전성 마스크 패턴(110)으로부터 도입 받아 외부로 배출시키는 금속 배선이다. 본 실시예에서, 그라운드 배선(120)은 그 일단이 접지 패드(130)에 의해 상기 도전성 마스크 패턴(110)과 전기적으로 연결되고, 그 타단은 정전기를 배출할 수 있는 대상체(미도시)에 그라운드 되도록 접지된다.

일 실시예들 중에서, 그라운드 배선(120)은 전기 전도도가 우수한 금속으로 이루어질 수 있고, 상기 마스크 패턴과 동일한 재질로 이루어질 수 있다. 또한, 상기 그라운드 배선은 상기 도전성 마스크 패턴에 적어도 하나가 접지될 수 있다.

접지 패드(130)는 도전성 마스크 패턴에 그라운드 배선을 전기적으로 연결시키는 접지점 또는 접지 접합체이다. 일 예로서, 상기 접지 패드(130)는 상기 도전성 마스크 패턴(110)과 같이 도전성 특성을 갖는 금속으로 이루어질 수 있다.

일 예로서, 상기 접지 패드(130)는 상기 도전성 마스크 패턴(110)과 접합이 자유로운 도전성 자석일 수 있다. 또한, 상기 접지 패드(130)는 전기 전도가 우수한 금속 패드일 수 있다. 상기 금속 패드의 경우 도전성 접착제 또는 용접에 의해 상기 도전성 마스크 패턴에 고정될 수 있다.

다른 예로서, 접지 패드(130)는 상기 도전성 마스크 패턴에 전기적으로 연결되는 그라운드 배선의 수에 따라 적용되는 수가 달라질 수 있다.

상술한 구성을 갖는 터치스크린용 강화 유리 식각 마스크(100)는 도전성 구조물들이 각각 구분되어 형성된 강화 유리 원판을 샌드 블라스트 식각하는 공정시 적용되어 연마 입자의 충돌로 인해 발생되는 정전기를 외부로 효과적으로 배출시킬 수 있다. 이로 인해, 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공 공정에서 터치스크린을 구성하는 구조물에 포함된 배선에서 아킹 현상이 발생되는 것을 방지하여 터치스크린의 불량을 최소화시킬 수 있다.

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 터치스크린용 강화 유리 식각 마스크를 설명하기 위한 도이다.

도 2를 참조하면, 본 실시예의 터치스크린용 강화 유리 식각 마스크(200)는 식각 대상체(20) 상에 구비되는 복수의 도전성 마스크 패턴들(210), 상기 도전성 마스크 패턴들과 전기적으로 연결되는 둘 이상의 그라운드 배선(220) 및 상기 도전성 마스크 패턴과 상기 그라운드 배선을 연결 또는 고정시키는 접지 패드(230)를 포함하는 구성을 갖는다.

상기 식각 대상체(20)는 터치스크린을 구성하는 도전성 구조물들이 단위 셀 영역으로 각각 구분되어 형성된 강화 유리 원판이다. 상기 식각 대상체에 대한 구체적인 설명은 도 1의 상세한 설명에서 설명하였기에 생략한다.

도전성 마스크 패턴(210)은 상기 강화 유리 원판이 단위 셀 영역으로 절단됨으로서 형성되는 강화 유리 기판들과 각각 대응되는 크기를 가지면서 강화 유리 기판에 형성하고자 하는 가공 홀과 대응되는 개구(212)가 형성된 금속 마스크 패턴이다. 일 예로서, 상기 도전성 마스크 패턴(210)은 단위 셀 영역과 대응되는 크기를 갖는 금속 마스크 패턴일 수 있다.

본 실시예의 식각 마스크(200)는 상기 강화 유리 원판 상에 정의 되는 단위 셀 영역의 개수와 동일한 개수의 도전성 마스크 패턴(210)들이 적용된다. 일 예로서, 상기 강화 유리 원판에 12개의 단위 셀 영역이 정의될 경우 상기 도전성 마스크 패턴(210) 또한 12개가 구비되는 것이 바람직하다.

그라운드 배선(220)은 접지 패드(230)를 통해 도전성 마스크 패턴(210)들을 전기적으로 서로 연결시키는 동시에, 연마 입자를 초고속 분출시켜 상기 강화 유리 원판을 식각하는 샌드 블라스트 공정시 연마 입자의 충돌로 인해 발생되는 정전기를 도전성 마스크 패턴(210)으로부터 도입 받아 외부로 배출시키는 금속 배선이다. 본 실시예에 따른 그라운드 배선(220)은 접지 패드(230)들에 의해 상기 각각의 도전성 마스크 패턴(120)들과 전기적으로 연결되고, 그 타단은 정전기를 배출할 수 있는 대상체에 그라운드 되도록 접지된다.

일 실시예들에 따르면, 그라운드 배선(220)은 전기 전도가 우수한 금속으로 이루어질 수 있고, 상기 도전성 마스크 패턴(210)의 재질과 동일한 재질로 이루어질 수 있다. 본 실시예의 그라운드 배선(220)은 하나 이상 구비되며, 상기 도전성 마스크 패턴들을 서로 전기적으로 연결되도록 배치될 수 있다.

접지 패드(230)는 도전성 마스크 패턴(210)에 그라운드 배선(220)을 전기적으로 연결시키는 접지점 또는 접지 접합체이다. 본 실시예에서는 상기 접지 패드(230)는 상기 도전성 마스크 패턴(210)과 접합이 자유로운 도전성 자석일 수 있다. 또한, 상기 접지 패드(230)는 전기 전도가 우수한 금속 패드일 수 있다. 상기 금속 패드의 경우 도전성 접착제 또는 용접에 의해 상기 도전성 마스크 패턴에 고정될 수 있다.

또한, 접지 패드(230)는 본 실시예의 강화 유리 식각 마스크(200)에 적용되는 도전성 마스크 패턴(210)들과 대응되는 수로 구비된다.

상술한 구성을 갖는 터치스크린용 강화 유리 식각 마스크(200)는 도전성 구조물들이 각각 구분되어 형성된 강화 유리 원판을 샌드 블라스트 식각하는 공정시 적용되어 연마 입자의 충돌로 인해 발생되는 정전기를 외부로 효과적으로 배출시킬 수 있다. 이로 인해, 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공 공정에서 터치스크린을 구성하는 구조물에 포함된 배선에서 아킹 현상이 발생되는 것을 방지하여 터치스크린의 불량을 최소화시킬 수 있다.

터치스크린용 강화 유리 기판의 가공 1

도 3은 본 발명의 도 1에 도시된 강화 유리 식각 마스크를 이용한 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공 방법을 설명하기 위한 공정 흐름도이고, 도 4a 내지 4d는 도 3에 도시된 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공방법을 설명하기 위한 단면도들이다.

도 3 및 도 4a를 참조하면, 먼저 터치스크린을 구성하는 구조물(11)들이 단위 셀 영역(R)으로 각각 형성된 강화 유리 원판(10)을 마련한다.(S110)

S110 단계에 있어서, 강화 유리 원판(10)은 사용 목적에 따라 크기와 두께가 달라질 수 있다. 예를 들면, 상기 강화 유리 원판(10)은 약 370㎜ ㅧ 470㎜ 의 크기를 가지며, 약 0.5 내지 3㎜의 두께를 가질 수 있다.

일 예로서, 강화 유리 원판(10)은 일반 유리 기판을 연화 온도에 가까운 670℃ 내지 710℃로 가열하고 압축해 냉각공기로 급냉시켜 강화 유리 표면부를 압축, 변형시키고 내부를 인장 변형시켜 강화된 강화 유리 기판이다. 다른 예로, 상기 강화 유리 원판은 일반 유리 기판을 KNO3 용액에 담근 뒤 약 400 내지 450℃의 온도로 약 3 내지 18시간 정도 가열하는 공정에 의해 수행될 수 있다.

상기 터치스크린을 구성하는 구조물(11)은 강화 처리된 강화 유리 원판(10)의 단위 셀 영역에 형성된다. 특히, 상기 터치스크린을 구성하는 구조물(11)은 강화 유리 원판을 단위 셀 영역의 크기로 절단하는 공정을 수행하기 전에 강화 유리 원판(10)의 단위 셀 영역에 복수개가 각각 형성된다. 여기서 단위 셀 영역의 크기는 최종적으로 제조하고자 하는 터치 패널 또는 터치스크린의 크기를 나타낸다.

일 예로서, 구조물(11)은 강화 유리 원판(10) 상의 각 단위 셀 영역에 위치하는 ITO와 같은 투명 전극으로 형성된 감지 패턴들, 절연막 패턴, 접지전극을 포함하는 터치 패널용 도전성 마스크 패턴들이 적층된 구조물일 수 있다. 상기 구조물은 공지되어 있는 기술을 적용하여 형성될 수 있기 때문에 구체적인 설명은 생략하였다.

도 3 및 도 4b를 참조하면, 구조물(11)이 형성된 강화 유리 원판(10) 상에 강화 유리 식각 마스크(100)를 배치시킨다.(S120)

S120 단계에 있어서, 도 1에 도시된 강화 유리 식각 마스크(100)는 강화 유리 원판(10)을 터치스크린 패널에서 요구되는 형상을 갖는 동시에 식각 영역만을 노출하도록 상기 강화 유리 원판(10) 상에 배치된다.

구체적으로, 강화 유리 식각 마스크(100)의 배치는 먼저 상기 구조물이 형성된 강화 유리 원판(10)상에 가공 홀들을 형성하는 공정을 수행할 수 있는 도전성 마스크 패턴(110)을 배치시킨다. 본 실시예에서, 도전성 마스크 패턴(110)은 상기 강화 유리 원판의 전면에 상기 가공 홀들과 대응되는 개구들이 형성된 금속 마스크이다. 이어서, 도전성 마스크 패턴(110)에 접지 패드(130)와 그라운드 배선(120)을 전기적으로 연결시킨다. 본 실시예의 그라운드 배선은 그 일단이 그라운드 되도록 접지되어 있으며, 연마 입자를 초고속 분출시켜 상기 강화 유리 원판을 식각하는 샌드 블라스트 공정시 연마 입자의 충돌로 인해 발생되는 정전기를 도전성 마스크 패턴(110)으로부터 도입 받아 외부로 배출시키는 금속 배선인 것이 바람직하다. 상기 강화 유리 식각 마스크(100)에 대한 구체적인 설명은 도 1에서 구체적으로 설명하였기에 중복을 피하기 위해 생략한다.

도 3 및 도 4c를 참조하면, 강화 유리 식각 마스크(100)에 노출된 강화 유리 원판(10)을 식각하는 동시에 상기 샌드 블라스트 공정시 연마 입자의 충돌로 인해 발생되는 정전기를 외부로 배출한다.(S130)

S130 단계에 있어서, 강화 유리 식각 마스크(100)를 이용한 강화 유리 원판의 식각은 샌드 블라스트 식각 공정을 수행함으로서 이루어질 수 있다. 샌드 블라스트 식각 공정은 샌드 블라스트 머신을 이용하여 금속 또는 비금속 재질로 이루어진 연마재를 강화 유리 식각 마스크(100)에 노출된 강화 유리 원판의 표면으로 약 7 내지 11kgf의 분사압력으로 분사시킴으로서 수행될 수 있다. 그 결과 강화 유리 기판(10)에는 강화 유리 식각 마스크의 도전성 마스크 패턴에 형상된 개구(112)와 대응되는 형상을 갖는 가공 홀(12)들이 형성될 수 있다. 상기 가공 홀(12)들은 스마트 폰 또는 스마트 패드에 존재하는 스피커 홀 또는 조작 버튼이 존재하는 홀에 대응될 수 있다.

상기 가공 홀(12)들을 형성하기 위한 샌드 블라스트 식각 공정은 초 고속으로 분출되는 연마 입자들이 충돌로 인해 정전기가 발생되나 본 실시예에서 적용되는 식각 마스크의 도전성 마스크 패턴(110)과 그라운드 배선(120)에 의해 발생된 정전기는 바로 외부로 배출된다. 즉, 식각 공정을 수행함으로 인해 발생되는 정전기는 발생과 동시에 상기 식각 마스크(100)에 의해 바로 외부로 배출될 수 있어 터치스크린을 구성하는 구조물(11)에 포함된 배선에서 아킹 현상이 발생되는 것을 미연에 차단할 수 있다.

도 3 및 도 4d를 참조하면, 가공 홀(12)들이 형성된 강화 유리 원판(10)으로부터 강화 유리 식각 마스크를 제거한다.

이후 추가적인 절단 공정 및 세정 공정을 수행하여 강화 유리 일체형 터치스크린, 커버글라스 일체형 터치스크린 및 강화 유리 적용 터치스크린 등으로 사용되는 터치스크린용 강화 유리 기판을 형성할 수 있다.

터치스크린용 강화 유리 기판의 가공 2

도 5는 본 발명의 도 2에 도시된 강화 유리 식각 마스크를 이용한 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공 방법을 설명하기 위한 공정 흐름도이고, 도 6a 내지 6e는 도 4에 도시된 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공방법을 설명하기 위한 단면도들이다.

도 5 및 도 6a를 참조하면, 먼저 터치스크린을 구성하는 구조물(21)들이 단위 셀 영역으로 각각 형성된 강화 유리 원판(20)을 마련한다.(S210)

S210 단계에 있어서, 강화 유리 원판(20)은 사용 목적에 따라 크기와 두께가 달라질 수 있다. 상기 터치스크린을 구성하는 구조물(21)은 강화 유리 원판을 단위 셀 영역의 크기로 절단하는 공정을 수행하기 전에 강화 유리 원판의 단위 셀 영역에 복수개가 각각 형성된다. 여기서 단위 셀 영역의 크기는 최종적으로 제조하고자 하는 터치 패널 또는 터치스크린의 크기를 나타낸다. 일 예로서, 구조물(21)은 강화 유리 원판(20) 상의 각 단위 셀 영역(R)에 위치하는 ITO와 같은 투명 전극으로 형성된 감지 패턴들, 절연막 패턴, 접지전극을 포함하는 터치 패널용 도전성 패턴의 적층 구조물일 수 있다. 상기 구조물은 공지되어 있는 기술을 적용하여 형성될 수 있기 때문에 구체적인 설명은 생략하였다.

도면에 도시하지 않았지만 상기 강화 유리 원판(20) 상에 터치스크린 패널에서 요구되는 단위 셀 영역의 크기 및 가공 홀의 식각 영역을 노출하는 식각 방지 마스크(미도시)가 추가적으로 형성될 수 있다. 상기 식각 방지 마스크는 샌드 블라스트 공정 이후 형성되는 강화 유리 기판을 화학적 식각할 경우 상기 강화 유리 기판의 상면과 저면이 식각되는 것을 방지하기 위해 상기 강화 유리 원판의 양면에 선택적으로 형성되며, 적어도 하나의 층으로 이루어질 수 있다.

도 5 및 도 6b를 참조하면, 구조물(21)이 형성된 강화 유리 원판(20) 상에 강화 유리 식각 마스크(200)를 배치시킨다.(S220)

S220 단계에 있어서, 강화 유리 식각 마스크(200)는 강화 유리 원판(20)을 터치스크린에서 요구되는 형상을 갖으면서 식각 영역만을 선택적으로 노출되도록 상기 강화 유리 원판(20) 상에 배치된다.

구체적으로, 강화 유리 식각 마스크(200)의 배치는 먼저 구조물이 형성된 강화 유리 원판(20)에 가공 홀들을 형성하는 공정과 강화 유리 기판을 절단하는 공정에 동시에 적용될 수 있는 도전성 마스크 패턴(210)을 각각 배치시킨다.

본 실시예에 있어서, 도전성 마스크 패턴(210)은 상기 강화 유리 원판이 단위 셀 영역으로 절단됨으로서 형성되는 강화 유리 기판들과 각각 대응되는 크기를 가지면서 강화 유리 기판(20)에 형성하고자 하는 가공 홀(22)과 대응되는 개구(212)가 형성된 금속 마스크 패턴이다.

이어서, 강화 유리 원판(20)의 단위 셀 영역 상에 각각 배치된 도전성 마스크 패턴(210)들 상에 그라운드 배선을 위치시킨 후 접지 패드(230)를 이용하여 상기 도전성 마스크 패턴(210)과 그라운드 배선(220)을 전기적으로 연결시킨다.

상기 복수의 도전성 마스크 패턴(210)은 제1 방향 또는 제2 방향으로 연장되도록 배치되며, 그 상부를 통과하는 적어도 하나의 그라운드 배선에 의해 서로 전기적으로 연결될 수 있다. 일 예로서, 강화 유리 원판(20)을 제1 방향으로 식각하여 절단할 경우 상기 그라운드 배선(220)은 제1 방향으로 배열된 도전성 마스크 패턴(210)들과 서로 전기적으로 연결되면서 제1 방향으로 연장되도록 배치된다. 일 예로서, 본 실시예의 제1 방향은 세로축 방향을 나타낸다.

다른 예로, 강화 유리 원판을 제2 방향으로 먼저 식각할 경우 상기 그라운드 배선은 제2 방향으로 배열된 도전성 마스크 패턴들과 서로 전기적으로 연결되면서 제2 방향으로 연장되도록 배치될 수 있다.

상기 강화 유리 식각 마스크(200)에 대한 구체적인 설명은 도 2에서 구체적으로 설명하였기에 중복을 피하기 위해 생략한다.

도 5 및 도 6c를 참조하면, 제1 샌드 블라스트 식각 공정을 수행하여 강화 유리 식각 마스크의 도전성 마스크 패턴(210)에 노출된 강화 유리 원판(20a)에 가공 홀(22)들을 형성한다.(S230)

S230 단계에 있어서, 강화 유리 식각 마스크(200)를 이용하여 가공 홀(22)이 형성된 강화 유리 원판(20a)을 형성하는 제1 샌드 블라스트 식각 공정은 샌드 블라스트 머신을 이용하여 금속 또는 비금속 재질로 이루어진 연마재를 노즐을 통해 강화 유리 식각 마스크(200)에 노출된 강화 유리 원판으로 약 7 내지 11kgf의 분사압력으로 초고속 분사함으로서 수행될 수 있다. 상기 가공 홀(22)들은 스마트 폰 또는 스마트 패드에 존재하는 스피커 홀 또는 조작 버튼이 존재하는 홀에 대응될 수 있다.

특히, 본 실시예의 상기 가공 홀들을 형성하기 위한 제1 샌드 블라스트 식각 공정을 수행함으로 인해 발생되는 정전기는 생성과 동시에 상기 식각 마스크에 의해 외부로 배출될 수 있어 상기 도전성 구조물에 포함된 배선에서 아킹의 발생을 방지할 수 있다.

도 5 및 도 6d를 참조하면, 제2 샌드 블라스트 식각 공정을 수행하여 상기 강화 유리 식각마스크(200)에 노출된 강화 유리 원판(20a)을 제1 방향으로 절단한다.(S240)

S240 단계에 있어서, 제2 샌드 블라스트 식각 공정은 가공 홀이 형성된 강화 유리 원판(20a)을 단위 셀 영역 상에 각각 배치된 도전성 마스크 패턴(210)을 식각마스크로 이용하여 제1 방향으로 각각 절단함으로 이루어진다. 그 결과 가공 홀(22)들이 형성된 강화 유리 원판(20a)은 제1 절단면을 갖는 강화 유리 기판(20b)으로 형성된다.

일 예로서, 상기 제1 방향이 도전성 마스크 패턴들의 세로축 방향과 대응될 경우 상기 강화 유리 원판(20a)은 상기 도전성 마스크 패턴의 세로축과 대응되는 측면들을 따라 세로축 방향으로 각각 절단될 수 있다. 그 결과 세로축의 제1 절단면을 갖는 강화 유리 기판(20b)이 형성될 수 있다. 이때, 그라운드 배선(220)은 제2 샌드 블라스트 공정시 손상되지 않도록 제1 방향으로 배열된 도전성 마스크 패턴(210)들 상에서 세로축 방향으로 연장되도록 배치된다.

다른 예로서, 상기 제1 방향이 도전성 마스크 패턴(210)들의 가로축 방향과 대응될 경우 상기 강화 유리 원판(20a)은 상기 도전성 마스크 패턴(210)의 가로축과 대응되는 측면들을 따라 가로축 방향으로 각각 절단될 수 있다.

그 결과 가로축의 제1 절단면을 갖는 강화 유리 기판이 형성될 수 있다. 이때, 그라운드 배선(220)은 제2 샌드블라스트 공정시 절단되지 않도록 제1 방향으로 배열된 도전성 마스크 패턴(210)들 상에서 가로축 방향으로 구비되는 것이 바람직하다.

특히, 본 실시예의 제2 샌드 블라스트 식각 공정을 수행함으로 인해 형성되는 정전기는 S230 단계에서 설명한 바와 같이 생성과 동시에 상기 식각 마스크에 의해 바로 외부로 배출될 수 있다.

도 5 및 도 6e를 참조하면, 제3 샌드 블라스트 식각 공정을 수행하여 상기 강화 유리 식각마스크에 노출된 제1 절단면을 갖는 강화 유리 기판(20b)을 제2 방향으로 각각 절단한다.(S250)

S250 단계에 있어서, 제3 샌드 블라스트 식각 공정은 단위 셀 영역 상에 각각 배치된 도전성 마스크 패턴(210)을 식각마스크로 이용하여 제1 절단면을 갖는 강화 유리 기판(20b)을 상기 제1 방향과 수직하는 제2 방향으로 절단함으로 이루어진다.

그 결과 제1 절단면을 갖는 강화 유리 기판(20b)은 상기 단위 셀 영역과 대응되는 크기를 갖으면서 제1 절단면 및 제2 절단면을 갖는 터치스크린용 예비 강화 유리 기판(20c)으로 형성된다. 여기서, 제1 절단면과 제2 절단면은 서로 수직하게 위치된다.

일 예로서, 강화 유리 기판(20b)의 제1 절단면이 상기 도전성 마스크 패턴의 세로축 방향과 대응될 경우 제3 샌드 블라스트 식각 공정은 상기 도전성 마스크 패턴의 가로축과 대응되는 측면을 따라 상기 강화 유리 기판을 각각 절단함으로서 이루어진다. 이때, 그라운드 배선은 제3 샌드블라스트 공정시 손상되지 않도록 제1 방향과 수직하는 제2 방향으로 연장되도록 배치된다.

다른 예로서, 강화 유리 기판(20b)의 제1 절단면이 상기 도전성 마스크 패턴의 가로축 방향과 대응될 경우 제3 샌드 블라스트 식각 공정은 상기 도전성 마스크 패턴의 세로축과 대응되는 측면을 따라 상기 강화 유리 기판을 각각 절단함으로서 이루어질 수 있다.

특히, 본 실시예의 제3 샌드 블라스트 식각 공정을 수행함으로 인해 발생되는 정전기는 S230 단계에서 설명한 바와 같이 생성과 동시에 상기 식각 마스크에 통해 외부로 배출될 수 있다.

도 5를 참조하면, 강화 유리 기판으로부터 상기 강화 유리 식각 마스크를 제거한다. 상기 강화 유리 기판은 단위 셀 영역과 대응되는 크기를 갖는 동시에 제1 절단면 및 제2 절단면을 갖는 터치스크린용 예비 강화 유리 기판이다.

상술한 방법으로 형성된 강화 유리 기판의 경우 제1 절단면 및 제2 절단면에는 미세크랙과 돌출된 부분이 존재할 수 있다. 미세크랙과 돌출된 부분은 터치스크린용 강화 유리 기판의 측면 강도를 저하시켜 터치스크린을 핸들링 하는 공정시 작은 충격에도 손쉽게 손상되는 문제점이 초래한다.

도 5 및 도 6f를 참조하면, 강화 유리 기판의 제1 절단면 및 제2 절단면을 화학적 식각한다.(S260)

S260 단계에 있어서, 미세크랙(미도시) 및 돌출된 부분(미도시)을 제거하기 위한 화학적 식각은 불산을 포함하는 강화 유리 식각액을 제공하여 미세크랙과 돌출된 부분이 존재하는 상기 강화 유리 기판의 제1 및 제2 절단면을 약 100 내지 700㎛ 깊이까지 식각함으로서 이루어질 수 있다.

본 실시예들 중에서, 상기 강화 유리 기판의 제1 절단면 및 제2 절단면의 식각은 단위 셀 영역으로 절단된 터치스크린용 강화 유리 기판을 상기 불산을 포함하는 강화 유리 식각액에 침지시킴으로서 수행될 수 있다. 다른 예로, 제1 절단면 및 제2 절단면의 식각은 단위 셀 영역으로 절단된 터치스크린용 강화 유리 기판에 상기 불산을 포함하는 강화 유리 식각액을 분사시킴으로서 수행될 수 있다.

이때, 상기 강화 유리 식각액은 불산(HF)을 포함하는 혼합 용액일 수 있다. 일 예로, 상기 강화 유리 식각액은 불산 수용액일 수 있다. 다른 예로, 상기 강화 유리 식각액은 불산, 질산 및 물의 혼합 용액일 수 있다. 또 다른 예로, 상기 강화 유리 식각액은 불산, 염산(HCL), 불화수소암모늄(NH4HF2) 및 물의 혼합 용액일 수 있다.

상술한 방법을 통해 제공된 상기 강화 유리 식각액은 상기 제1 절단면 및 제2 절단면에 존재하는 마이크로 크랙을 따라 침투하므로, 상기 강화 유리 식각액은 강화 유리 기판들의 절단면을 식각하면서 상기 마이크로 크랙 및 절단면의 돌출된 부분도 함께 제거한다. 즉, 상기 마이크로 크랙이 존재하는 상기 강화 유리 기판의 절단면을 식각할 경우 절단면의 돌출된 부분은 그 폭이 감소되어 측면 강도 및 굽힘 강도가 확보된 터치스크린용 강화 유리 기판(20d)이 형성될 수 있다.

한편, 상기 터치스크린용 강화 유리 기판(20d)의 양면은 식각 방지 마스크에 의해 보호됨으로 인해 상기 강화 유리 식각액에 의해 식각이 이루어지지 않는다.

이후, 식각마스크 패턴을 제거하는 공정 및 세정공정을 추가적으로 수행하여 측면 충격 강도 및 굽힘 강도가 크게 향상된 터치스크린들을 형성할 수 있다. 일 실시예들에 있어서, 상기 터치스크린은 강화 유리 일체형 터치스크린, 커버글라스 일체형 터치스크린 및 강화 유리 적용 터치스크린 등으로 사용될 수 있다.

상술한 바와 같은 방법으로 형성된 터치스크린 강화 유리 기판의 경우 물리적 절단 공정시 발생된 정전기를 미연에 제거할 수 있어 그 내부에 형성된 배선의 손상을 방지할 수 있다. 또한, 미세크랙과, 절단면에서 돌출된 부분이 제거됨으로서 터치스크린 제조공정에 요구되는 측면 강도가 확보될 수 있다.

상술한 바와 같이, 터치스크린용 강화 유리 식각 마스크는 도전성 구조물들이 각각 구분되어 형성된 강화 유리 원판 상에 구비되는 도전성 마스크 패턴 및 상기 도전성 마스크 패턴과 전기적으로 연결되어 정전기를 외부로 배출시키는 그라운드 배선을 포함하고 있어 샌드 블라스트 공정을 수행하여 상기 터치스크린용 강화 유리 원판을 가공할 경우 연마 입자의 충돌로 인해 발생된 정전기를 외부로 효과적으로 배출시킬 수 있다.

또한, 터치스크린 강화 유리의 가공 방법은 상술한 식각 마스크를 이용하여 ITO등의 도전성 구조물이 각 셀 영역 상에 형성된 강화 유리 원판을 식각할 경우 발생되는 정전기를 외부로 배출시킬 수 있다. 상기 식각 공정시 발생되는 정전기의 배출은 식각 공정이 수행된 상기 강화 유리 원판에 셀 단위 영역으로 형성된 터치스크린 구조물이 전기적으로 손상되는 것을 방지할 수 있다. 이로 인해, 식각 공정이 수행된 터치스크린용 강화 유리 기판은 그 내부에 포함된 상기 도전성 구조물에서 아킹 현상으로 인한 제품의 불량이 발생되지 않아 그 생산성이 향상될 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

10 :강화 유리 원판 11 : 도전성 구조물
100 : 강화 유리 식각 마스크 110 : 도전성 마스크 패턴
120 : 그라운드 배선 130 : 접지 패드

Claims (17)

1. 터치스크린을 구성하는 도전성 구조물들이 형성된 강화 유리 원판 상에 구비되며, 강화 유리 원판의 식각 영역을 선택적으로 노출하는 도전성 마스크 패턴; 및
   상기 도전성 마스크 패턴과 전기적으로 연결되고, 연마 입자를 초고속 분출시켜 상기 강화 유리 원판을 식각하는 샌드 블라스트 공정시 발생되는 정전기를 외부로 배출시키는 그라운드 배선을 포함하는 강화 유리 식각 마스크.
2. 제 1항에 있어서, 상기 도전성 마스크 패턴과 그라운드 배선은 접지 패드에 의해 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 강화 유리 식각 마스크.
3. 제 2항에 있어서, 상기 접지 패드는 도전성 자석 및 금속 패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 강화 유리 식각 마스크.
4. 제 1항에 있어서, 상기 도전성 마스크 패턴은 상기 강화 유리 원판과 대응되는 크기를 갖고, 강화 유리 원판에 형성하고자 하는 개구들과 대응되는 가공 홀들이 형성된 금속 마스크 패턴인 것을 특징으로 하는 강화 유리 식각 마스크.
5. 제 1항에 있어서, 상기 도전성 마스크 패턴은 상기 강화 유리 원판이 단위 셀 영역으로 절단됨으로서 형성되는 강화 유리 기판들과 각각 대응되는 크기를 갖고, 상기 강화 유리 기판에 형성하고자 하는 개구와 대응되는 가공 홀이 형성된 복수의 금속 마스크 패턴인 것을 특징으로 하는 강화 유리 식각 마스크.
6. 제 5항에 있어서, 상기 복수의 금속 마스크 패턴은 적어도 하나의 그라운드 배선에 의해 서로 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 강화 유리 식각 마스크.
7. 터치스크린을 구성하는 도전성 구조물들이 형성된 강화 유리 원판을 마련하는 단계;
   상기 강화 유리 원판의 식각 영역을 선택적으로 노출하는 도전성 마스크 패턴 및 상기 도전성 마스크 패턴과 전기적으로 연결되어 샌드 블라스트 공정시 발생되는 정전기를 외부로 배출시키는 그라운드 배선을 포함하는 강화 유리 식각 마스크를 상기 강화 유리 원판 상에 배치시키는 단계; 및
   샌드 블라스트 공정을 수행하여 강화 유리 식각 마스크에 노출된 강화 유리 원판을 식각하는 동시에 상기 샌드 블라스트 공정시 연마 입자의 충돌로 인해 발생되는 정전기를 외부로 배출시키는 단계를 포함하는 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공방법.
8. 제 7항에 있어서, 상기 도전성 마스크 패턴은 상기 강화 유리 원판과 대응되는 크기를 갖고, 강화 유리 원판에 형성하고자 하는 가공 홀들과 대응되는 개구가 형성된 금속 마스크 패턴인 것을 특징으로 하는 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공방법.
9. 제 7항에 있어서, 상기 강화 유리 식각 마스크를 제거한 이후 상기 강화 유리 원판을 단위 셀 영역으로 절단하는 단계를 더 수행하는 것을 특징으로 하는 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공방법.
10. 터치스크린을 구성하는 도전성 구조물들이 단위 셀 영역으로 각각 구분되어 형성된 강화 유리 원판을 마련하는 단계;
    상기 강화 유리 원판의 단위 셀 영역 상에 각각 배치되어 식각 영역을 선택적으로 노출하는 도전성 마스크 패턴들 및 접지 패드에 의해 도전성 마스크 패턴들과 전기적으로 연결되며 샌드 블라스트 공정시 발생되는 정전기를 외부로 배출시키는 적어도 하나의 그라운드 배선을 포함하는 강화 유리 식각 마스크를 상기 강화 유리 원판 상에 배치시키는 단계;
    상기 강화 유리 식각 마스크를 이용한 제1 샌드 블라스트 식각 공정을 수행하여 상기 강화 유리 원판에 가공 홀들을 형성하는 단계;
    상기 강화 유리 식각 마스크를 이용한 제2 샌드 블라스트 식각 공정을 수행하여 가공 홀들이 형성된 강화 유리 원판을 제1 방향으로 절단하는 단계; 및
    상기 강화 유리 식각마스크를 이용한 제3 샌드 블라스트 식각 공정을 수행하여 제1 방향으로 절단된 강화 유리 기판을 제1 방향과 수직하는 제2 방향으로 절단함으로서 터치스크린용 강화 유리 기판을 마련하는 단계를 포함하는 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공방법.
11. 제 10항에 있어서, 상기 도전성 마스크 패턴은 상기 강화 유리 원판이 단위 셀 영역으로 절단됨으로서 형성되는 강화 유리 기판들과 각각 대응되는 크기를 갖고, 상기 강화 유리 기판에 형성하고자 하는 개구와 대응되는 가공 홀이 형성된 복수의 금속 마스크 패턴인 것을 특징으로 하는 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공방법.
12. 제 10항에 있어서, 상기 도전성 마스크 패턴들은 제1 방향 또는 제2 방향으로 연장되면서 상기 복수의 도전성 마스크 패턴들의 상부를 통과하는 적어도 하나의 그라운드 배선에 의해 서로 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공방법.
13. 제 10항에 있어서, 상기 제2 샌드 블라스트 공정을 수행하여 강화 유리 원판을 제1 방향으로 식각할 경우 상기 그라운드 배선은 제1 방향으로 배열된 도전성 마스크 패턴들이 서로 전기적으로 연결시키는 것을 특징으로 하는 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공방법.
14. 제 10항에 있어서, 상기 제3 샌드 블라스트 공정을 수행하여 강화 유리 원판을 제2 방향으로 식각할 경우 상기 그라운드 배선은 상기 제2 방향으로 배열된 도전성 마스크 패턴들이 서로 전기적으로 연결시키는 것을 특징으로 하는 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공방법.
15. 제 10항에 있어서, 상기 강화 유리 원판 상에 강화 유리 원판의 절단 부위를 선택적으로 노출하는 식각 방지 마스크를 형성하는 단계를 더 수행하는 것을 특징으로 하는 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공방법.
16. 제 15항에 있어서, 상기 제3 샌드 블라스트 식각공정이 수행되어 형성된 강화 유리 기판의 절단면에 존재하는 미세크랙을 제거하는 화학적 식각공정을 더 수행하는 것을 특징으로 하는 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공방법.
17. 제 10항에 있어서, 제1, 제2 및 제3 샌드 블라스트 식각 공정시 연마 입자의 충돌로 발생된 정전기가 상기 강화 유리 식각마스크를 통해 외부로 배출되는 것을 특징으로 하는 터치스크린용 강화 유리 기판의 가공방법.

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