KR101913738B1 - Wet scrubber using flushing water of dissolved oxygen - Google Patents

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Abstract

본 개선안은 다양한 공정설비에서 발생되는 암모니아성 악취가스 등을 염산과 같은 약품을 이용해 중화하는 것이 아니라 순산소나 산소가 포함된 공기가 용해된 세정수를 이용해 악취성분을 산화시켜 제거할 수 있어 악취제거 효과가 뛰어나고 비용이 절감되며 폐수처리가 용이한 산소가 용해된 세정수를 이용한 습식 스크러버에 관한 것이다.
본 개선안의 바람직한 일 실시예에 따른 산소가 용해된 세정수를 이용한 습식 스크러버는 일측에는 유해가스로 오염된 공기가 흡입되는 흡입펌프가 연결되고 내부에는 상기 흡입펌프에 의해 유입된 공기가 상승 되면서 단계적으로 세정되도록 세정수 배출 및 유해가스의 필터링이 이루어지는 세정수단이 다단으로 구비되며, 상부에는 세정된 공기가 외부로 배기되는 배기관이 구비되되, 하부에는 세정에 사용된 세정수가 저장되는 스크러버 본체와, 일단은 상기 세정수가 저장된 스크러버 본체의 하부에 연결되고 타단은 상기 세정수단 측에 연결되어 세정수를 순환유동시키는 순환관과, 상기 순환관 측에 구비되어 상기 스크러버 본체 하부에 저장된 세정수가 상기 순환관을 따라 강제 순환되게 하는 가압펌프와, 상기 순환관 일측에 연결되되 상기 가압펌프보다 상류에 위치되어 상기 가압펌프에 의해 상기 순환관 내에서 유동되는 세정수에 산소가 공급되게 하는 산소공급수단과, 상기 순환관 측에 구비되되 상기 가압펌프보다 하류에 위치되어 산소가 공급된 상기 세정수의 용존산소량이 최대가 되도록 마이크로버블화가 진행되는 가압탱크가 포함되는 것을 특징으로 한다.This improvement not only neutralizes ammonia odor gas generated from various process facilities by using chemicals such as hydrochloric acid but also can remove odor component by using cleansing water in which pure oxygen or oxygen containing air is dissolved, And more particularly to a wet scrubber using an oxygen-scavenging cleansing water which is excellent in effect and cost-saving and easy to treat wastewater.
In the wet scrubber using oxygen-dissolved cleansing water according to a preferred embodiment of the present invention, a suction pump for sucking air contaminated with noxious gas is connected to one side of the wet scrubber, and air introduced by the suction pump is introduced therein, A scrubber body having an exhaust pipe for exhausting the cleaned air to the outside, and a rinsing water used for rinsing, the rinsing unit being disposed at a lower portion of the scrubber body, A circulation tube connected at one end to a lower portion of the scrubber body in which the washing water is stored and connected at the other end to the side of the washing means to circulate the washing water, and a circulation tube provided at the circulation tube, A pressure pump connected to one side of the circulation pipe, An oxygen supply means disposed upstream of the pressure pump for supplying oxygen to the cleansing water flowing in the circulation pipe by the pressure pump; And the microbubbing progresses so that the dissolved oxygen amount of the washing water becomes maximum.

Description

산소가 용해된 세정수를 이용한 습식 스크러버{WET SCRUBBER USING FLUSHING WATER OF DISSOLVED OXYGEN}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a wet scrubber using oxygen-

본 개선안은 반도체 공장 등 각종 공정설비에서 사용된 후 오염된 가스를 세정수가 공급되는 습식 스크러버를 이용해 세정하는 기술에 관련된 것이다.This improvement relates to a technique for cleaning contaminated gas after use in various process facilities such as a semiconductor factory by using a wet scrubber supplied with washing water.

화학 공정이나 반도체 제조 공정 등에서 배출되는 배기 가스는 유독성, 폭발성 및 부식성이 강하기 때문에 인체에 유해할 뿐만 아니라 그대로 대기 중으로 방출될 경우에는 환경 오염을 유발하는 원인이 되기도 한다.Exhaust gases emitted from chemical processes or semiconductor manufacturing processes are not only harmful to human body due to their high toxicity, explosiveness and corrosiveness, but also cause environmental pollution if they are released into the atmosphere.

따라서, 이러한 배기 가스는 유해성분의 함량을 허용 농도 이하로 낮추는 정화처리 과정이 반드시 필요하며, 이와 같은 독성물질을 제거하는 정화처리 과정을 거친 무해 가스만이 대기 중으로 배출되도록 법적으로 의무화되어 있다.Therefore, such exhaust gas is required to be purified to reduce the content of harmful components below the allowable concentration, and it is legally required that only the harmless gas that has undergone the purification process for removing such toxic substances is discharged to the atmosphere.

반도체 제조 공정 등에서 배출되는 유해성 가스를 처리하는 방법에는 버닝(burning) 방식과 습식(Wetting) 방식이 있다. 버닝 방식은 주로 수소기 등을 함유한 발화성 가스를 고온의 연소실에서 분해, 반응 또는 연소시켜 배기 가스를 처리하는 방식이고, 습식 방식은 주로 수용성 가스를 수조에 저장된 물을 통과시키는 동안 물에 용해하여 배기 가스를 처리하는 방식이다.Methods for treating harmful gases emitted from semiconductor manufacturing processes include burning and wetting methods. The burning method is a method of treating an exhaust gas by decomposing, reacting or burning an ignitable gas containing a hydrogen group or the like in a high temperature combustion chamber. The wet type mainly dissolves a water-soluble gas in water while passing water stored in the water tank And exhaust gas is treated.

반도체 공정에서 사용되는 수용성 가스로는 암모니아(NH3)가 있으며, 암모니아 가스는 독성이 있고 물, 알콜, 벤젠, 아세톤에 녹으며 특히, 물에 대하여 용해도가 89.9% 정도로 매우 높은 성질이 있다. 이와 같은 성질을 갖는 암모니아 가스는 독성이 강하기 때문에 반도체 박막 제조 공정중 미반응 상태의 암모니아 가스는 대기중에 무단방출할 수 없고 반드시 법적 기준을 만족시키도록 재처리되어야 하는데 주로 습식 스크러버가 사용되고 있다.Ammonia (NH3) is used as a water-soluble gas used in the semiconductor process. Ammonia gas is toxic and soluble in water, alcohol, benzene and acetone. Especially, its solubility in water is as high as 89.9%. Since the ammonia gas having such properties is highly toxic, the unreacted ammonia gas in the semiconductor thin film manufacturing process can not be released into the atmosphere and must be reprocessed to meet legal standards. A wet scrubber is mainly used.

그런데 기존의 습식 스크러버는 암모니아와 반응하는 염산과 같은 약품을 사용해 염화암모늄 형태의 침전물이 생성되도록 하는데, 이러한 방법은 암모니아 특유의 악취가 효과적으로 제거되지 못하는 단점과, 염산의 처리에 들어가는 비용이 추가적으로 사용된다는 단점, 그리고 염화암모늄 형태의 침전물 처리공정이 별도로 추가되어야 한다는 단점 등이 있었다.However, existing wet scrubbers cause ammonium chloride-type sediments using chemicals such as hydrochloric acid, which react with ammonia. This method is disadvantageous in that odor specific to ammonia can not be effectively removed and the cost of hydrochloric acid is additionally used And a disadvantage that an ammonium chloride-type precipitate treatment process must be separately added.

특허문헌 1: 대한민국 특허등록 제10-0866163호(2008.10.24)Patent Document 1: Korean Patent Registration No. 10-0866163 (October 24, 2008) 특허문헌 2: 대한민국 특허등록 제10-0485313호(2005.04.15)Patent Document 2: Korean Patent Registration No. 10-0485313 (Apr. 15, 2005) 특허문헌 3: 대한민국 특허공개 제10-1998-0017536호(1998.06.05)Patent Document 3: Korean Patent Publication No. 10-1998-0017536 (Jun. 1998)

따라서 본 개선안의 목적은 다양한 공정설비에서 발생되는 암모니아성 악취가스 등을 염산과 같은 약품을 이용해 중화하는 것이 아니라 순산소나 산소가 포함된 공기가 용해된 세정수를 이용해 악취성분을 산화시켜 제거할 수 있어 악취제거 효과가 뛰어나고 비용이 절감되며 폐수처리가 용이한 산소가 용해된 세정수를 이용한 습식 스크러버를 제공하는 것이다.Therefore, the purpose of this improvement is not to neutralize the ammonia odor gas generated in various process facilities by using chemicals such as hydrochloric acid but to oxidize and remove odor components by using cleansing water in which oxygen containing air is dissolved. Which is excellent in the odor removing effect, has a reduced cost, and is easy to treat wastewater, and a wet scrubber using oxygen-dissolved cleansing water.

전술한 본 개선안의 목적은 일측에는 유해가스로 오염된 공기가 흡입되는 흡입펌프가 연결되고 내부에는 상기 흡입펌프에 의해 유입된 공기가 상승 되면서 단계적으로 세정되도록 세정수 배출 및 유해가스의 필터링이 이루어지는 세정수단이 다단으로 구비되며, 상부에는 세정된 공기가 외부로 배기되는 배기관이 구비되되, 하부에는 세정에 사용된 세정수가 저장되는 스크러버 본체와, 일단은 상기 세정수가 저장된 스크러버 본체의 하부에 연결되고 타단은 상기 가압펌프와 상기 가압탱크를 거쳐 상기 세정수단 측에 연결되어 세정수를 순환유동시키는 순환관과, 상기 순환관 측에 구비되어 상기 스크러버 본체 하부에 저장된 세정수가 상기 순환관을 따라 강제 순환되게 하는 가압펌프와, 상기 순환관 일측에 연결되되 상기 가압펌프보다 상류에 위치되어 상기 가압펌프에 의해 상기 순환관 내에서 유동되는 세정수에 산소가 공급되게 하는 산소공급수단과, 상기 순환관 측에 구비되되 상기 가압펌프보다 하류에 위치되어 산소가 공급된 상기 세정수의 용존산소량이 최대가 되도록 마이크로버블화가 진행되는 가압탱크가 포함되는 것을 특징으로 하는 산소가 용해된 세정수를 이용한 습식 스크러버를 제공함에 의해 달성된다.The main object of the present invention is to provide a vacuum cleaner which is capable of cleaning exhaust gas and harmful gas so that the air sucked by the polluted air is sucked in one side, A scrubber body having a plurality of cleaning means in a plurality of stages and having an exhaust pipe through which cleaned air is exhausted to the outside, and a cleaning water used for cleaning is disposed in a lower portion thereof, and a scrubber body having one end connected to a lower portion of the scrubber body, And the other end is connected to the side of the cleaning means through the pressurizing pump and the pressurizing tank to circulate the washing water. The washing water stored in the lower portion of the scrubber body, which is provided on the circulation tube, A pressure pump connected to one side of the circulation pipe, An oxygen supply means for supplying oxygen to the cleansing water flowing in the circulation tube by the pressurizing pump; and an oxygen supply means provided on the circulation tube for supplying oxygen to the cleansing water, And a pressurized tank in which microbubbing progresses so that the dissolved oxygen amount is maximized. The wet scrubber of the present invention is characterized in that a wet scrubber using oxygen-dissolved cleansing water is provided.

본 개선안의 바람직한 특징에 따르면 상기 세정수단은, 상기 스크러버 본체 내부의 중앙 하측에 위치되되 하측의 제 1 거름망과 상측의 제 1 폴링으로 구성되는 제 1 세정부와, 상기 제 1 세정부로부터 상부방향으로 소정거리 이격 된 위치에 설치되되 상기 순환관과 연결되는 하측의 제 1 세정수 배출관과 그 상부의 제 2 거름망 그리고 그 상부의 제 2 폴링으로 구성되는 제 2 세정부와, 상기 제 2 세정부로부터 상부방향으로 소정간격 이격 된 위치에 설치되되 상기 순환관과 연결되는 하측의 제 2 세정수 배출관과 그 상부의 제 3 거름망 그리고 그 상부의 제 3 폴링으로 구성되는 제 3 세정부가 포함되는 것으로 한다.According to a preferred aspect of the present invention, the cleaning means comprises a first cleaner portion positioned at a lower center of the inside of the scrubber body, the first cleaner portion being composed of a first filtering net on the lower side and a first poling on the upper side, A second washing unit installed at a position spaced by a predetermined distance from the circulation pipe and connected to the circulation pipe, a second washing water discharge pipe on the lower side connected to the circulation pipe, And a third washing unit including a lower third washing water discharge pipe connected to the circulation pipe, a third filtering cell disposed above the second washing water discharge pipe, and a third pollination unit disposed above the second washing water discharge pipe. do.

본 개선안의 바람직한 특징에 따르면 상기 스크러버 본체의 외측에는 제 1 투시창, 제 2 투시창, 제 3 투시창 및 제 4 투시창이 구비되되, 상기 제 1 투시창은 상기 스크러버 본체의 하부에 저장된 세정수의 수위 확인이 가능하도록 상기 제 1 세정부의 하측에 위치되고, 상기 제 2 투시창은 상기 제 1 세정부 및 제 2 세정부 사이에 위치되며, 상기 제 3 투시창은 상기 제 2 세정부 및 제 3 세정부 사이에 위치되고, 상기 제 4 투시창은 상기 제 3 세정부 및 배기관 사이에 위치되는 것으로 한다.According to a preferred aspect of the present invention, a scrubber body is provided with a first, a second, a third, and a fourth, And the second window is positioned between the first and second taxi windows and the third window is located between the second taxi and the third taxi, And the fourth window is positioned between the third cleaner and the exhaust pipe.

본 개선안의 바람직한 특징에 따르면 상기 산소공급수단은, 상기 순환관 일측에 그 일단이 연결되는 산소공급관과, 상기 산소공급관의 타단에 산소공급 가능하게 구비되는 산소공급탱크와, 상기 산소공급관 상에 구비되며 상기 가압펌프에 의한 상기 세정수의 유동여부에 따라 상기 산소공급탱크 내부의 산소가 상기 순환관 내부로 공급되게 하는 이젝터가 포함되는 것으로 한다.According to a preferred aspect of the present invention, the oxygen supply means includes an oxygen supply pipe having one end connected to one end of the circulation pipe, an oxygen supply tank provided at the other end of the oxygen supply pipe so as to supply oxygen, And an ejector for allowing oxygen in the oxygen supply tank to be supplied into the circulation tube according to whether the washing water flows through the pressurizing pump.

본 개선안의 바람직한 특징에 따르면 상기 산소공급탱크 내에는 액체산소 또는 산소가 포함된 공기가 저장되는 것으로 한다.According to a preferred feature of the present invention, the oxygen-containing tank contains air containing oxygen or oxygen.

이상에서와 같은 본 개선안의 바람직한 일 실시예에 따른 산소가 용해된 세정수를 이용한 습식 스크러버는 다양한 공정설비에서 발생되는 암모니아성 악취가스 등을 염산과 같은 약품을 이용해 중화하는 것이 아니라 순산소나 산소가 포함된 공기가 용해된 세정수를 이용해 악취성분을 산화시켜 제거할 수 있어 악취제거 효과가 뛰어나고 비용이 절감되며 폐수처리가 용이한 탁월한 장점을 갖는다.As described above, the wet scrubber using oxygen-dissolved cleansing water according to one preferred embodiment of the present invention does not neutralize ammonia odor gas generated in various process equipments by using chemicals such as hydrochloric acid, It is possible to oxidize and remove odorous components by using the cleansing water in which the air is dissolved, which is advantageous in that the odor removing effect is excellent, the cost is reduced, and the wastewater treatment is easy.

도 1은 본 개선안의 일 실시예에 따른 산소가 용해된 세정수를 이용한 습식 스크러버의 개략도.
도 2는 본 개선안의 일 실시예에 따른 산소가 용해된 세정수를 이용한 습식 스크러버의 작동도.1 is a schematic view of a wet scrubber using oxygen-dissolved cleansing water according to one embodiment of the present improvement;
2 is an operational view of a wet scrubber using oxygen-dissolved cleansing water according to an embodiment of the present improvement.

도 1에는 본 개선안의 일 실시예에 따른 산소가 용해된 세정수를 이용한 습식 스크러버의 개략도가 도시되고, 도 2에는 본 개선안의 일 실시예에 따른 산소가 용해된 세정수를 이용한 습식 스크러버의 작동도가 도시된다.FIG. 1 is a schematic view of a wet scrubber using oxygen-dissolved cleansing water according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic view of a wet scrubber using oxygen-dissolved cleansing water according to an embodiment of the present invention FIG.

본 개선안의 바람직한 일 실시예에 따른 산소가 용해된 세정수를 이용한 습식 스크러버는 일측에는 유해가스로 오염된 공기가 흡입되는 흡입펌프가 연결되고 내부에는 상기 흡입펌프에 의해 유입된 공기가 상승 되면서 단계적으로 세정되도록 세정수 배출 및 유해가스의 필터링이 이루어지는 세정수단이 다단으로 구비되며, 상부에는 세정된 공기가 외부로 배기되는 배기관이 구비되되, 하부에는 세정에 사용된 세정수가 저장되는 스크러버 본체와, 일단은 상기 세정수가 저장된 스크러버 본체의 하부에 연결되고 타단은 상기 세정수단 측에 연결되어 세정수를 순환유동시키는 순환관과, 상기 순환관 측에 구비되어 상기 스크러버 본체 하부에 저장된 세정수가 상기 순환관을 따라 강제 순환되게 하는 가압펌프와, 상기 순환관 일측에 연결되되 상기 가압펌프보다 상류에 위치되어 상기 가압펌프에 의해 상기 순환관 내에서 유동되는 세정수에 산소가 공급되게 하는 산소공급수단과, 상기 순환관 측에 구비되되 상기 가압펌프보다 하류에 위치되어 산소가 공급된 상기 세정수의 용존산소량이 최대가 되도록 마이크로버블화가 진행되는 가압탱크가 포함된다.In the wet scrubber using oxygen-dissolved cleansing water according to a preferred embodiment of the present invention, a suction pump for sucking air contaminated with noxious gas is connected to one side of the wet scrubber, and air introduced by the suction pump is introduced therein, A scrubber body having an exhaust pipe for exhausting the cleaned air to the outside, and a rinsing water used for rinsing, the rinsing unit being disposed at a lower portion of the scrubber body, A circulation tube connected at one end to a lower portion of the scrubber body in which the washing water is stored and connected at the other end to the side of the washing means to circulate the washing water, and a circulation tube provided at the circulation tube, A pressure pump connected to one side of the circulation pipe, An oxygen supply means disposed upstream of the pressure pump for supplying oxygen to the cleansing water flowing in the circulation pipe by the pressure pump; And the microbubbing progresses so that the dissolved oxygen amount of the washing water is maximized.

이하에는 도 1을 참조하여 본 개선안의 바람직한 일 실시예에 따른 산소가 용해된 세정수를 이용한 습식 스크러버(1)의 구성부재와 그 작동관계에 대해서 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, the constituent members of the wet scrubber 1 using oxygen-dissolved cleansing water according to a preferred embodiment of the present invention and their operation will be described in detail with reference to FIG.

여기서 스크러버 본체(100)는 유해가스로 오염된 공기가 하부에서 상부로 상승되면서 순차적으로 세정처리되며, 이를 위해서 추후에 설명될 구성부재들이 작동 가능하게 설치되는 역할을 하는 것이다.In this case, the scrubber body 100 is sequentially cleaned while the air contaminated with the harmful gas rises from the lower part to the upper part, so that the components to be described later are operatively installed.

이와 같은 스크러버 본체(100)는 그 일측에 유해가스로 오염된 공기가 흡입되는 흡입펌프(110)가 연결되고 내부에는 흡입펌프(110)에 의해 유입된 공기가 상승 되면서 단계적으로 세정되도록 세정수 배출 및 유해가스의 필터링이 이루어지는 세정수단(120)이 다단으로 구비되며, 상부에는 세정된 공기가 외부로 배기되는 배기관(130)이 구비되되, 하부에는 세정에 사용된 세정수가 저장된다. 전술한 스크러버 본체(100)는 공정설비 규모나 처리되는 유해가스의 양에 따라서 다양한 크기로 형성될 수 있다.The scrubber body 100 is connected to a suction pump 110 through which the air contaminated with noxious gas is sucked. At the inside of the scrubber main body 100, the air introduced by the suction pump 110 rises, And a cleaning means 120 for filtering the noxious gas. In the upper portion, an exhaust pipe 130 for exhausting the cleaned air to the outside is provided, and a cleaning water used for cleaning is stored in the lower portion. The scrubber body 100 may be formed in various sizes depending on the size of a process facility and the amount of noxious gas to be treated.

그리고 전술한 세정수단(120)은, 스크러버 본체(100) 내부의 중앙 하측에 위치되되 하측의 제 1 거름망(121a)과 상측의 제 1 폴링(121b)으로 구성되는 제 1 세정부(121)와, 제 1 세정부(121)로부터 상부방향으로 소정거리 이격 된 위치에 설치되되 순환관(200)과 연결되는 하측의 제 1 세정수 배출관과 그 상부의 제 2 거름망(122a) 그리고 그 상부의 제 2 폴링(122b)으로 구성되는 제 2 세정부(122)와, 제 2 세정부(122)로부터 상부방향으로 소정간격 이격 된 위치에 설치되되 순환관(200)과 연결되는 하측의 제 2 세정수 배출관과 그 상부의 제 3 거름망(123a) 그리고 그 상부의 제 3 폴링(123b)으로 구성되는 제 3 세정부(123)가 포함된다.The cleaning means 120 may include a first cleaner 121 located at the lower center of the inside of the scrubber body 100 and composed of a lower first filtering net 121a and an upper first poll 121b, A first washing water discharge pipe connected to the circulation pipe 200 at a position spaced a predetermined distance from the first washing unit 121 in the upper direction, a second filtering cell 122a disposed above the first washing water discharge pipe, And a second cleaner 122 connected to the circulation pipe 200 at a position spaced upward from the second cleaner 122 by a predetermined distance, And a third cleaner 123 composed of a discharge pipe and a third filtering net 123a thereon and a third polling 123b on the third filtering net 123a.

전술한 세정수단(120)은 본 개선안과 같이 3개의 층으로 구성될 수도 있지만 2개층 또는 4개 층 등으로 다양하게 변경 가능하며 거름망과 폴링은 종래기술에 따른 습식 스크러버에 사용되는 것과 동일한 것으로 하여 더 이상의 상세한 설명은 명세서의 간략화를 위해서 생략하기로 한다.The cleaning means 120 described above may be composed of three layers as in the present invention but may be modified in various ways such as two or four layers. The filtering and poling are the same as those used in the wet scrubber according to the prior art Further details will be omitted for the sake of brevity.

또한 전술한 스크러버 본체(100)의 외측에는 제 1 투시창(140), 제 2 투시창(150), 제 3 투시창(160) 및 제 4 투시창(170)이 구비되되, 제 1 투시창(140)은 스크러버 본체(100)의 하부에 저장된 세정수의 수위 확인이 가능하도록 제 1 세정부(121)의 하측에 위치되고, 제 2 투시창(150)은 제 1 세정부(121) 및 제 2 세정부(122) 사이에 위치되며, 제 3 투시창(160)은 제 2 세정부(122) 및 제 3 세정부(123) 사이에 위치되고, 제 4 투시창(170)은 제 3 세정부(123) 및 배기관(130) 사이에 위치된다. 이러한 투시창은 작업자가 스크러버 본체(100)의 내부를 육안으로 확인할 수 있도록 함으로써 전체 스크러버의 관리를 용이하게 해 준다.The first, second, and third windows 160 and 160 are disposed on the outside of the scrubber body 100. The first and second windows 140, And the second viewing window 150 is located below the first washing unit 121 so that the level of the washing water stored in the lower part of the main body 100 can be checked and the first washing unit 121 and the second washing unit 122 The third viewing window 160 is positioned between the second cleaner section 122 and the third cleaner section 123 and the fourth viewing window 170 is positioned between the third cleaner section 123 and the exhaust pipe 130). Such a sight window allows the operator to visually confirm the inside of the scrubber body 100, thereby facilitating the management of the entire scrubber.

전술한 스크러버 본체(100)의 하부에는 순환관(200)의 일단이 연결되는데, 전술한 순환관(200)은 그 타단이 세정수단(120) 측에 연결되어 세정수를 순환유동시키는 역할을 하는 것이다. 이와 같은 순환관(200)은 스크러버 본체(100)의 하부 일측과 가압펌프(300), 그리고 가압펌프(300)와 가압탱크(500) 사이를 하나의 관으로 연결하되 가압탱크(500)로부터 두 개의 관으로 분기되어 한 개의 관은 제 2 세정부(122)의 직하부에 위치된 상태에서 세정수를 분사하고, 나머지 한 개의 관은 제 3 세정부(123)의 직하부에 위치된 상태에서 세정수를 분사한다.One end of the circulation pipe 200 is connected to the lower part of the scrubber body 100. The other end of the circulation pipe 200 is connected to the side of the cleaning means 120 to circulate the washing water will be. The circulation pipe 200 is connected to one side of the lower part of the scrubber body 100 and the pressurizing pump 300 and the pressurizing pump 300 and the pressurizing tank 500 through a single pipe, One tube is branched into the tubes and the washing water is sprayed in a state in which the tube is positioned directly below the second washing section 122 and the other tube is placed in a position directly below the third washing section 123 The washing water is sprayed.

전술한 순환관(200) 측에는 가압펌프(300)가 구비되는데 전술한 가압펌프(300)는 스크러버 본체(100)의 하부에 저장된 세정수가 순환관(200)을 따라 강제 순환시키는 역할을 하는 것이다. 이와 같은 가압펌프(300)는 습식 스크러버에 사용되는 펌프와 동일한 것으로 하여 더 이상의 상세한 설명은 명세서의 간략화를 위해서 생략하기로 한다.The pressurizing pump 300 described above is provided on the side of the circulation pipe 200. The pressurizing pump 300 serves to forcibly circulate the washing water stored in the lower portion of the scrubber body 100 along the circulation pipe 200. [ The pressurizing pump 300 is the same as the pump used in the wet scrubber, and the detailed description thereof will be omitted for simplification of the description.

그리고 전술한 순환관(200)의 일측에는 산소공급수단(400)이 연결되는데, 이 산소공급수단(400)은 가압펌프(300)의 상류에 위치되어 가압펌프(300)에 의해 순환관(200) 내에서 유동되는 세정수에 산소가 공급되게 하는 역할을 하는 것이다.An oxygen supply means 400 is connected to one side of the circulation pipe 200. The oxygen supply means 400 is located upstream of the pressure pump 300 and is connected to the circulation pipe 200 And the oxygen is supplied to the washing water flowing in the washing water.

이와 같은 산소공급수단(400)은 순환관(200)의 일측, 특히 스크러버 본체(100)의 하부 일측과 가압펌프(300) 사이에 그 일단이 연결되는 산소공급관(410)과, 산소공급관(410)의 타단에 산소공급 가능하게 구비되는 산소공급탱크(420)와, 산소공급관(410) 상에 구비되며 가압펌프(300)에 의한 세정수의 유동여부에 따라 산소공급탱크(420) 내부의 산소가 순환관(200) 내부로 공급되게 하는 이젝터(ejector, 430)가 포함된다.The oxygen supply means 400 includes an oxygen supply pipe 410 having one end connected to one side of the circulation pipe 200, in particular, one side of the lower portion of the scrubber main body 100 and the pressurization pump 300, An oxygen supply tank 420 provided on the other end of the oxygen supply tank 420 so as to be able to supply oxygen to the oxygen supply tank 420; And an ejector 430 for supplying the inside of the circulation pipe 200 to the inside of the circulation pipe 200.

즉, 가압펌프(300)에 의해서 세정수가 순환관(200) 내에서 강제 유동되면 산소공급탱크(420)로부터 공급되어 산소공급관(410) 내에서 유동되는 산소가 이젝터(430)에 의해서 순환관(200) 내부로 공급되며 이 상태로 추후에 설명될 가압탱크(500)까지 유동되게 된다. 이때 전술한 산소공급탱크(420) 내에는 액체산소가 저장될 수도 있고 산소가 포함된 공기가 저장될 수도 있다.That is, when the washing water is forcibly flown in the circulation pipe 200 by the pressurizing pump 300, the oxygen supplied from the oxygen supply tank 420 and flowing in the oxygen supply pipe 410 is discharged by the ejector 430 to the circulation pipe 200, and flows into the pressurizing tank 500, which will be described later. At this time, in the oxygen supply tank 420 described above, liquid oxygen may be stored or air containing oxygen may be stored.

또한 전술한 순환관(200) 측에는 가압탱크(500)가 구비되는데, 이 가압탱크(500)는 전술한 가압펌프(300)보다 하류에 위치되어 산소가 공급된 세정수의 용존산소량이 최대가 되도록 마이크로버블화가 진행되는 역할을 하는 것이다.The pressurizing tank 500 is located downstream of the pressurizing pump 300 to maximize the dissolved oxygen amount of the oxygen-supplied cleansing water. Microbubbing is progressing.

이하에는 도 2를 참조하여 본 개선안의 바람직한 일 실시예에 따른 산소가 용해된 세정수를 이용한 습식 스크러버(1)의 전체적인 작동방법에 대해서 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, the overall operation of the wet scrubber 1 using oxygen-dissolved cleansing water according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG.

흡입펌프(110)에 의해서 유해가스로 오염된 공기가 스크러버 본체(100) 내부로 유입된 뒤 서서히 상승되는데, 제 1 세정부(121), 제 2 세정부(122) 및 제 3 세정부(123)를 순차적으로 지나게 된다.Air contaminated with noxious gas is introduced into the scrubber main body 100 by the suction pump 110 and gradually raised. The first washing part 121, the second washing part 122 and the third washing part 123 ) Sequentially.

먼저 제 1 세정부(121)를 지나면서 1차로 오염물질이 필터링 된 공기는 제 1 세정부(121)와 제 2 세정부(122) 사이에서 제 1 세정수 배출관으로부터 배출되는 세정수에 의해서 1차로 세정된다.First, the air filtered by the pollutant passing through the first washing unit 121 is sucked by the washing water discharged from the first washing water discharge pipe between the first washing unit 121 and the second washing unit 122 It is cleaned by car.

이때 전술한 세정수는 산소공급수단(400)에 의해 공급된 산소와 가압탱크(500) 내에서 마이크로버블화 되어 용존산소량이 극대화되어 있어 오염물질을 빠르게 산화시켜 악취가 제거된다. 여기서 세정수에 염산과 같은 약품이 첨가되지 않아 비용절감이 가능하다.At this time, the washing water described above is microbubbed in the pressurized tank 500 with the oxygen supplied by the oxygen supplying means 400 to maximize the amount of dissolved oxygen, thereby rapidly oxidizing contaminants and removing odors. In this case, chemicals such as hydrochloric acid are not added to the cleansing water, thereby reducing the cost.

그런 다음 제 2 세정부(122)를 지나면서 2차로 오염물질이 필터링 된 공기는 다시 제 2 세정부(122)와 제 3 세정부(123) 사이에서 제 2 세정수 배출관으로부터 배출되는 세정수에 의해서 2차로 세정된다.Then, the air having passed through the second washing section 122 and having the second-order pollutant filtered is again supplied to the washing water discharged from the second washing water discharge pipe between the second washing section 122 and the third washing section 123 . ≪ / RTI >

마찬가지로 제 2 세정수 배출관으로부터 배출되는 세정수는 산소공급수단(400)에 의해 공급된 산소와 가압탱크(500) 내에서 마이크로버블화 되어 용존산소량이 극대화되어 있어 오염물질을 빠르게 산화시켜 악취가 제거되게 한다.Similarly, the washing water discharged from the second washing water discharge pipe is microbubbed in the pressurized tank 500 with the oxygen supplied by the oxygen supplying means 400, thereby maximizing the amount of dissolved oxygen, thereby rapidly oxidizing contaminants, .

그런 다음 제 3 세정부(123)를 지나면서 마지막으로 오염물질이 필터링 된 공기는 배기관(130)을 통해서 외부로 최종 배기된다.Then, the air that has been finally filtered through the third washing unit 123 is finally exhausted to the outside through the exhaust pipe 130.

세정에 사용된 세정수는 스크러버 본체(100)의 하부에 저장되고 저장된 세정수는 산소공급수단(400) 및 가압탱크(500)에 의해서 용존산소량이 극대화된 상태로 순환관(200)을 따라 연속 순환된다. 일정 기간 또는 일정 횟수 사용된 세정수는 폐수 처리하되 염화암모늄 같은 침전물이 발생되지 않아 그 처리가 용이하다.The washing water used for washing is stored in the lower part of the scrubber body 100 and the washing water stored therein is continuously supplied to the oxygen supplying unit 400 and the pressurizing tank 500 along the circulating pipe 200 in a state where the dissolved oxygen amount is maximized. Lt; / RTI > The washing water used for a certain period or a certain number of times is treated with wastewater, and precipitates such as ammonium chloride are not generated, so that the treatment is easy.

이상에서와 같은 산소가 용해된 세정수를 이용한 습식 스크러버(1)에 의하면 다양한 공정설비에서 발생되는 암모니아성 악취가스 등을 염산과 같은 약품을 이용해 중화하는 것이 아니라 순산소나 산소가 포함된 공기가 용해된 세정수를 이용해 악취성분을 산화시켜 제거할 수 있어 악취제거 효과가 뛰어나고 비용이 절감되며 폐수처리가 용이하다.According to the wet scrubber (1) using oxygen-dissolved cleansing water as described above, the ammonia odor gas generated in various processing facilities is not neutralized by chemicals such as hydrochloric acid but the oxygen containing oxygen or pure oxygen is dissolved It is possible to oxidize and remove the malodorous components using the cleansing water, so that the malodor removing effect is excellent, the cost is reduced, and the wastewater treatment is easy.

본 개선안은 특허청구범위에서 청구하는 청구의 요지를 벗어나지 않고도 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 다양하게 변경 실시될 수 있으므로, 본 개선안의 기술보호범위는 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 않는다.This technical solution can be variously modified by a person having ordinary skill in the art without departing from the gist of the claims claimed in the claims, so that the scope of the technical protection of the present invention is not limited to the specific preferred embodiment It is not limited.

1 : 산소가 용해된 세정수를 이용한 습식 스크러버
100 : 스크러버 본체
110 : 흡입펌프
120 : 세정수단
121 : 제 1 세정부
121a : 제 1 거름망
121b : 제 1 폴링
122 : 제 2 세정부
122a : 제 2 거름망
122b : 제 2 폴링
123 : 제 3 세정부
123a : 제 3 거름망
123b : 제 3 폴링
130 : 배기관
140 : 제 1 투시창
150 : 제 2 투시창
160 : 제 3 투시창
170 : 제 4 투시창
200 : 순환관
300 : 가압펌프
400 : 산소공급수단
410 : 산소공급관
420 : 산소공급탱크
430 : 이젝터
500 : 가압탱크1: Wet scrubber using oxygen-dissolved cleansing water
100: scrubber body
110: Suction pump
120: Cleaning means
121: 1st generation government
121a: 1st filter
121b: First polling
122: Second-tier government
122a: 2nd filter
122b: second polling
123: The third generation government
123a: Third Filter
123b: Third Polling
130: Exhaust pipe
140: First-look window
150: Second window
160: Third-look window
170: Fourth window
200: Circulation tube
300: pressure pump
400: oxygen supply means
410: oxygen supply pipe
420: oxygen supply tank
430: Ejector
500: pressure tank

Claims (3)

일측에는 유해가스로 오염된 공기가 흡입되는 흡입펌프가 연결되고 내부에는 상기 흡입펌프에 의해 유입된 공기가 상승 되면서 단계적으로 세정되도록 세정수 배출 및 유해가스의 필터링이 이루어지는 세정수단이 다단으로 구비되며, 상부에는 세정된 공기가 외부로 배기되는 배기관이 구비되되, 하부에는 세정에 사용된 세정수가 저장되는 스크러버 본체;
일단은 상기 세정수가 저장된 스크러버 본체의 하부에 연결되고 타단은 가압펌프와 가압탱크를 거쳐 상기 세정수단 측에 연결되어 세정수를 순환유동시키는 순환관;
상기 순환관 측에 구비되어 상기 스크러버 본체 하부에 저장된 세정수가 상기 순환관을 따라 강제 순환되게 하는 가압펌프;
상기 순환관 일측에 연결되되 상기 가압펌프보다 상류에 위치되어 상기 가압펌프에 의해 상기 순환관 내에서 유동되는 세정수에 산소가 공급되게 하는 산소공급수단; 및
상기 순환관 측에 구비되되 상기 가압펌프보다 하류에 위치되어 산소가 공급된 상기 세정수의 용존산소량이 최대가 되도록 마이크로버블화가 진행되는 가압탱크;가 포함되며,
상기 산소공급수단은,
상기 순환관의 일측 중 상기 스크러버 본체의 하부와 상기 가압펌프 사이의 위치에 그 일단이 연결되는 산소공급관;
상기 산소공급관의 타단에 산소공급 가능하게 구비되는 산소공급탱크; 및
상기 산소공급관 상에 구비되며 상기 가압펌프에 의한 상기 세정수의 유동여부에 따라 상기 산소공급탱크 내부의 산소가 상기 순환관 내부로 공급되게 하는 이젝터;가 포함되고,
상기 세정수단은,
상기 스크러버 본체 내부의 중앙 하측에 위치되되 하측의 제 1 거름망과 상측의 제 1 폴링으로 구성되는 제 1 세정부;
상기 제 1 세정부로부터 상부방향으로 소정거리 이격 된 위치에 설치되되 상기 순환관과 연결되는 하측의 제 1 세정수 배출관과 그 상부의 제 2 거름망 그리고 그 상부의 제 2 폴링으로 구성되는 제 2 세정부; 및
상기 제 2 세정부로부터 상부방향으로 소정간격 이격 된 위치에 설치되되 상기 순환관과 연결되는 하측의 제 2 세정수 배출관과 그 상부의 제 3 거름망 그리고 그 상부의 제 3 폴링으로 구성되는 제 3 세정부;가 포함되며,
상기 순환관은 상기 스크러버 본체의 하부 일측과 상기 가압펌프, 그리고 상기 가압펌프와 상기 가압탱크 사이를 하나의 관으로 연결하되 상기 가압탱크로부터 두 개의 관으로 분기되어 이중 한 개의 관은 제 2 세정부의 직하부에 위치된 상태에서 세정수를 분사되고, 나머지 한 개의 관은 제 3 세정부의 직하부에 위치된 상태에서 세정수를 분사하며,
상기 스크러버 본체의 외측에는 제 1 투시창, 제 2 투시창, 제 3 투시창 및 제 4 투시창이 구비되되, 상기 제 1 투시창은 상기 스크러버 본체의 하부에 저장된 세정수의 수위 확인이 가능하도록 상기 제 1 세정부의 하측에 위치되고, 상기 제 2 투시창은 상기 제 1 세정부 및 제 2 세정부 사이에 위치되며, 상기 제 3 투시창은 상기 제 2 세정부 및 제 3 세정부 사이에 위치되고, 상기 제 4 투시창은 상기 제 3 세정부 및 배기관 사이에 위치되며,
상기 산소공급탱크 내에는 액체산소 또는 산소가 포함된 공기가 저장되는 것을 특징으로 하는 산소가 용해된 세정수를 이용한 습식 스크러버.A suction pump for sucking air contaminated with harmful gas is connected to one side, and a washing means for filtering the washing water and filtering the harmful gas so that the air introduced by the suction pump rises in a stepwise manner, A scrubber body having an exhaust pipe for exhausting the cleaned air to the outside, and a rinsing water used for rinsing in the lower part;
A circulation pipe connected to a lower portion of the scrubber body for storing the washing water for one end and connected to the side of the washing means through a pressurizing pump and a pressurizing tank for circulating the washing water;
A pressurizing pump provided on the circulation pipe for allowing the washing water stored in the lower portion of the scrubber body to be forcedly circulated along the circulation pipe;
Oxygen supply means connected to one side of the circulation pipe and upstream of the pressure pump to supply oxygen to the washing water flowing in the circulation pipe by the pressure pump; And
And a pressurization tank provided at the circulation pipe and located downstream of the pressurization pump and microbubbing progressed to maximize the dissolved oxygen amount of the cleansing water supplied with oxygen,
Wherein the oxygen supply means comprises:
An oxygen supply pipe having one end connected to a position between a lower portion of the scrubber body and the pressurizing pump;
An oxygen supply tank provided at the other end of the oxygen supply pipe so as to be able to supply oxygen; And
And an ejector provided on the oxygen supply pipe to supply oxygen in the oxygen supply tank to the inside of the circulation pipe according to whether the cleansing water flows through the pressurization pump,
The cleaning means,
A first cleaner positioned at a lower center of the inside of the scrubber body, the first cleaner configured by a first filtering net on the lower side and a first polling on the upper side;
A first cleaning water discharge pipe connected to the circulation pipe at a position spaced a predetermined distance upward from the first washing unit, a second filtering cell disposed at an upper portion of the first washing water discharge pipe, government; And
A third washing water discharge pipe connected to the circulation pipe at a position spaced a predetermined distance upward from the second washing unit, a third washing water discharge pipe connected to the second washing water discharge pipe, and a third washing water pipe Government,
Wherein the circulation pipe is connected to one side of a lower portion of the scrubber body, the pressurizing pump, and the pressurizing pump and the pressurizing tank by one pipe, the two pipes are branched from the pressurizing tank, And the remaining one pipe injects the washing water in a state of being positioned directly below the third washing unit,
The scrubber body is provided with a first, a second, a third, and a fourth, see-through windows. The first, And the second viewing window is positioned between the first cleaner and the second cleaner and the third window is positioned between the second cleaner and the third cleaner, Is positioned between the third cleaner and the exhaust pipe,
Wherein the oxygen containing tank is filled with liquid oxygen or air containing oxygen. ≪ RTI ID = 0.0 > 11. < / RTI > 삭제delete 삭제delete
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