KR101904107B1 - 도너 필름 및 이를 이용한 평판 표시장치의 패턴 형성 방법 - Google Patents

도너 필름 및 이를 이용한 평판 표시장치의 패턴 형성 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 광을 열로 변환하는 광-열 변환층; 상기 광-열 변환층에 배치되어 상기 열에 의해 팽창하는 팽창층; 및 상기 팽창층 하부에 배치되어, 상기 팽창층의 부피 팽창으로 피 전사기판으로 전사되는 전사층;을 포함하는 도너 필름 및 이를 이용한 평판 표시장치의 패턴 형성 방법에 관한 것이다.

Description

도너 필름 및 이를 이용한 평판 표시장치의 패턴 형성 방법{Donor film and method for forming pattern in flat panel display device using the same}
본 발명은 도너 필름 및 평판 표시장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 레이저 전사법에 의해 패턴을 형성하는데 이용되는 도너 필름 및 이를 이용한 평판 표시장치의 패턴 형성방법에 관한 것이다.
최근 정보화 사회에서 평판표시장치는 저소비전력화, 박형화, 경량화 및 고화질화되고 있다. 이와 같은 평판표시장치의 요건을 충족하기 위해 평판 표시장치의 제조기술도 점점 발전하고 있다. 특히, 평판표시장치의 제조 기술 중 패턴 형성 방법에 대한 많은 연구가 이루어지고 있다.
종래 패턴 형성 방법은 주로 포토리쏘그래피(photo-lithography) 공정을 이용하였으나, 포토리쏘그래피 공정은 복잡한 제조공정, 제조 비용의 상승, 환경 오염과 같은 많은 문제점을 가지고 있었다. 특히, 포토리쏘그래피 공정을 통해 평판표시장치 중 유기전계발광표시장치의 유기발광층의 패턴을 형성할 경우, 유기발광층을 형성하는 재질의 한계상 포토리쏘그래피 공정을 이용할 수 없는 문제점이 있었다.
이와 같은 문제점들을 해결하기 위해 평판표시장치의 패턴을 형성하기 위한 새로운 대안으로 레이저 전사법이 개발되었다. 레이저 전사법은 도너기판상에 레이저를 조사하여 도너기판에 구비된 전사층의 전사를 통해 피전사 기판상에 원하는 패턴을 형성하는 방법이다.
도너 기판은 기재층, 기재층상에 배치되며 광을 열로 전환하는 광-열 변환층 및 광-열 변환층상에 배치된 전사층을 포함할 수 있다. 여기서, 광-열 변환층은 층을 구성하기 위한 내구성을 가지는 한편 전사층의 전사를 유도하는 전사 특성을 가져야 한다. 여기서, 광-열 변환층의 내구성만을 고려하면 광-열 변환층의 전사 특성이 저하될 수 있고, 반면 광-열 변환층의 전사 특성만을 고려하면 광-열 변환층의 내구성이 저하되는 문제점이 있었다.
즉, 도너 기판의 광-열 변환층에서 내구성 및 전사 특성은 서로 상반된 특성이기 때문에 이 두 특성을 모두 만족할 수 있는 최적화된 도너 기판의 개발이 시급하다.
본 발명은 레이저 전사법에 의해 패턴을 형성하기 위해 이용되는 도너 필름 및 이를 이용한 평판 표시장치의 패턴 형성방법에서 발생할 수 있는 문제점을 해결하기 위한 것으로, 구체적으로 내구성 및 전사특성을 모두 만족할 수 있는 도너 필름 및 이를 이용한 평판 표시장치의 패턴 형성방법을 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명에 따른 해결 수단의 도너 필름을 제공한다. 본 발명에 따른 도너 필름은 광을 열로 변환하는 광-열 변환층; 상기 광-열 변환층에 배치되어 상기 열에 의해 팽창하는 팽창층; 및 상기 팽창층 하부에 배치되어, 상기 팽창층의 부피 팽창으로 피 전사기판으로 전사되는 전사층;을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 또 하나의 해결 수단의 평판표시장치의 패턴 형성방법을 제공한다. 본 발명에 따른 평판표시장치의 패턴 형성방법은 베이스 부재를 제공하는 단계; 상기 베이스 부재 상에 광을 열로 변환하는 광-열 변환층, 상기 광-열 변환층에 배치되어 상기 열에 의해 팽창하는 팽창층, 및 상기 팽창층 하부에 배치되어 상기 팽창층의 팽창으로 피 기판으로 전사되는 전사층을 포함한 도너 필름을 제공하는 단계; 및 상기 도너 필름 상의 일정 영역에 레이저를 조사하여 상기 일정 영역과 대응된 상기 전사층을 상기 베이스 부재 상으로 전사하여 패턴을 형성하는 단계;를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 도너 필름은 광을 열로 전환하는 역할만을 수행하는 광-열 변환층과 전사 특성을 갖는 팽창층을 구비함에 따라 광-열 변환층의 내구성을 유지하며 도너 필름의 전사 특성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 도너 필름은 부피팽창에 의해 전사층을 전사시키는 팽창층을 더 구비함에 따라, 선택적인 전사가 가능하여 패턴 형성시 불량을 최소화할 수 있어 패턴 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 도너 필름은 우수한 내구성을 갖는 광-열 변환층을 구비함에 따라, 도너 필름의 핸들링이 용이하며, 광-열 변환층 자체가 기재층의 역할을 할 수 있어, 별도의 기재층을 생략할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 도너 필름의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 도너 필름의 단면도이다.
도 3 내지 도 5는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조 공정을 설명하기 위한 단면도들이다.
본 발명의 실시예들은 도너필름 및 평판표시장치의 도면을 참고하여 상세하게 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되어지는 것이다.
따라서, 본 발명은 이하 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고, 도면들에 있어서, 장치의 크기 및 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 도너 필름의 단면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 도너 필름(100)은 광-열 변환층(111), 팽창층(112) 및 전사층(113)을 포함할 수 있다.
광-열 변환층(Light to heat conversional layer;LTHC, 111)은 광을 열로 전환하는 역할을 한다. 광-열 변환층(111)은 3 관능기 레진(tri-functional resin), 방사선 흡수체(radiation absorber) 및 개시제를 포함하는 조성물로부터 형성될 수 있다. 여기서, 레진에 결합된 3 관능기는 경화공정에서 반응하여 레진을 서로 연결하여 필름을 형성하는 역할을 할 수 있다. 이때, 레진은 3 관능기를 가지므로, 광-열 변환층(111)의 경화도는 증가하고, 결국 광-열 변환층(111)의 내구성은 증대될 수 있다. 즉, 3 관능기 레진으로부터 형성된 광-열 변환층(111)은 높은 경화도를 가지게 되어, 광-열 변환층(111) 자체의 내구성 및 치수 안정성을 확보할 수 있다.
또한, 광-열 변환층(111) 자체가 필름으로써의 높은 내구성을 가짐에 따라, 별도의 기재층없이 핸들링이 가능할 수 있다. 이에 따라, 도너 필름(100)은 별도의 기재층을 생략할 수 있다.
여기서, 레진은 광-열 변환층을 구성하는 주된 물질로써, 아크릴계 레진 또는 알키드계 레진일 수 있다. 또한, 레진에 결합된 3관능기는 서로 동일하거나 서로 다를 수 있다. 이때, 관능기의 예로서는 COOH, CHO, SO3H 및 SO2H등일 수 있다.
방사선 흡수체는 광을 열로 전환하는 역할을 하는 것으로, 레진 내에 균일하게 분산되어 있을 수 있다. 여기서, 방사선 흡수체의 예로서는 카본 블랙, 금속 산화물 및 금속 황화물등일 수 있다. 또한, 방사선 흡수체의 다른 예로서는 유기계 또는 무기계의 안료를 이용할 수 있다. 또한, 방사선 흡수체의 또 다른 예로서는 유기계 또는 무기계의 염료를 이용할 수 있다.
개시제는 3 관능기 레진의 경화반응을 유도하는 역할을 하는 것으로, 광개시제 또는 열 경화 개시제일 수 있다. 여기서, 개시제의 재질의 예로서는 벤조인계 개시제, 아세토페논계 개시제, 안트라퀴논류계 개시제, 티오크산톤류 개시제 및 벤조페논계 개시제등을 이용할 수 있으나, 본 발명의 실시예에서 이를 한정하는 것은 아니다.
이에 더하여, 광-열 변환층(111)을 형성하기 위한 조성물은 첨가제, 예컨대 계면 활성제 및 분산안정제등이 더 포함될 수도 있다.
이에 더하여, 광-열 변환층(111)은 2 관능기 레진을 더 포함할 수 있다. 여기서, 2 관능기 레진은 변환된 열에 의해 팽창되어, 후술될 팽창층(112)의 팽창을 보조하여, 전사 특성을 향상시키는 역할을 할 수 있다.
여기서, 레진에 결합된 2 관능기는 서로 동일하거나 서로 다를 수 있다. 이때, 관능기의 예로서는 COOH, CHO, SO3H 및 SO2H등일 수 있다. 또한, 레진의 예로서는 아크릴계 레진 또는 알키드계 레진일 수 있다.
팽창층(112)은 광-열 변환층(111)으로부터 제공된 열에 의해 팽창되어, 도너 필름(100)으로부터 후술될 전사층(113)을 피전사 기판으로 전사시키는 역할을 할 수 있다. 여기서, 팽창층(112)은 2 관능기 레진(di-functional resin) 및 개시제를 포함하는 조성물로부터 형성될 수 있다. 레진은 광-열 변환층(111)을 구성하는 주된 물질로써, 아크릴계 레진 또는 알키드계 레진일 수 있다. 또한, 레진에 결합된 2관능기는 서로 동일하거나 서로 다를 수 있다. 이때, 관능기의 예로서는 COOH, CHO, SO3H 및 SO2H등일 수 있다.
여기서, 레진에 결합된 2 관능기는 경화공정에서 서로 레진들을 서로 연결하는 역할을 할 수 있다. 이때, 2 관능기 레진으로부터 형성된 팽창층(112)은 3 관능기 레진으로 형성되는 필름에 비해 낮은 경화도를 가질 수 있다. 이에 따라, 2 관능기 레진으로부터 형성된 팽창층(112)은 열에 의해 부피 팽창될 수 있으며, 점착 특성과 접착 특성을 모두 가질 수 있다. 즉, 팽창층(112)은 광-열 변환층(111)과 접착되어 있으며 전사층(113)과 점착되어 있을 수 있다. 이에 따라, 팽창층(112)은 열에 의해 팽창되어, 팽창층(112)에 점착된 전사층(113)은 분리되며 피전사 기판상으로 전사될 수 있다.
이에 더하여, 팽창층(112)은 광-열 변환층(111)과 후술될 전사층(113) 사이에 개재됨에 따라 광-열 변환층(111)에서의 열이 전사층(113)에 직접적으로 전달되는 것을 방지하여, 전사층(113)이 열에 의해 손상되는 것이 방지될 수 있다. 또한 팽창층(112)은 광-열 변환층(111)에 포함된 물질, 특히 방사선 흡수체가 전사층(113)을 오염시키는 것을 방지할 수 있다.
여기서, 팽창층(112)은 광-열 변환층(111)의 두께에 대해 0.1 내지 1배의 두께를 가질 수 있다. 이때, 팽창층(112)의 두께가 광-열 변환층(111)의 두께에 대해 0.1 배 미만일 경우, 팽창층(112) 자체의 내구성이 저하될 수 있으며, 부피 팽창으로 전사층(113)을 전사시키는 전사 기능을 수행하지 못할 수 있다. 또한, 팽창층(112)의 두께가 광-열 변환층(111)의 두께에 대해 0.1 배 미만일 경우, 광-열 변환층(111)의 표면 조도를 커버할 수 없게 되어, 팽창층(112)상에 배치되는 후술될 전사층의 표면조도 또한 영향을 받을 수 있으므로, 전사층의 표면 조도가 불균일해질 수 있다. 이로 인해, 레이저 전사시 불균일한 열전달을 일으켜 패턴 정밀도 및 패턴 불량을 야기할 수 있다.
반면, 팽창층(112)의 두께가 광-열 변환층(111)의 두께에 대해 1배를 초과할 경우, 광-열 변환층(111)의 열이 팽창층(112)의 전체 두께에 전달되지 않아 부피 팽창이 잘 이루어지지 않게 되어, 전사층(113)을 전사 시키는 전사 기능을 수행하지 못할 수 있다.
전사층(113)은 팽창층(112) 상에 배치되어 있다. 여기서, 전사층(113)의 일부는 팽창층(112)의 부피 팽창으로 팽창층(112)으로부터 분리되어 피전사 기판상에 패턴으로 전사될 수 있다. 이때, 피전사 기판상에 전사된 패턴은 팽창층(112)의 팽창영역, 즉 레이저 조사 영역과 대응된 영역의 전사층(113)이 전사되어 형성될 수 있다. 즉, 팽창층(112)은 선택적으로 부피 팽창을 유도할 수 있어, 패턴 정밀도 및 패턴 불량을 최소화할 수 있다.
전사층(113)은 평판표시장치에 구비된 패턴을 형성하기 위한 재질로 이루어질 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 도너 필름은 광을 열로 전환하는 역할만을 수행하는 광-열 변환층과 전사 특성만을 부여하는 팽창층을 구비함에 따라 광-열 변환층의 내구성을 유지하며 도너 필름의 전사 특성이 향상될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 도너 필름은 부피팽창에 의해 전사층을 전사시키는 팽창층을 더 구비함에 따라 선택적인 전사가 가능하므로 패턴 형성시 불량을 최소화할 수 있어 패턴 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 도너 필름은 우수한 내구성을 갖는 광-열 변환층을 구비함에 따라, 도너 필름의 핸들링이 용이하며, 광-열 변환층 자체가 기재층의 역할을 할 수 있어, 별도의 기재층을 생략할 수 있다.
도 2는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 도너 필름의 단면도이다. 여기서, 기재층을 제외하고, 앞서 서술한 제 1 실시예에 따른 도너 필름의 구성과 동일할 수 있으므로, 제 2 실시예에서 제 1 실시예와 반복된 설명은 생략하기로 한다. 또한, 제 2 실시예에서 제 1 실시예와 동일한 기술 구성에 대해서는 동일한 참조 번호를 부여하기로 한다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 도너 필름(100)은 기재층(S), 광-열 변환층(111), 팽창층(112) 및 전사층(113)을 포함할 수 있다.
기재층(S)은 광-열 변환층(111) 하부에 배치되어 광-열 변환층(111), 팽창층(112) 및 전사층(113)을 지지하는 역할을 할 수 있다. 또한, 기재층(S)은 광-열 변환층(111)의 표면을 보호하는 역할을 할 수도 있다.
기재층(S)은 레이저의 투과가 가능한 재질로 이루어질 수 있다. 여기서, 기재층(S)을 형성하는 재질의 예로서는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리에스테르, 폴리올레핀 및 폴리아크릴등일 수 있다.
광-열 변환층(111)은 3 관능기 레진(tri-functional resin), 방사선 흡수체(radiation absorber) 및 개시제를 포함하는 조성물로부터 형성될 수 있다. 이에 더하여, 광-열 변환층(111)을 형성하기 위한 조성물은 2 관능기 레진(di-functional resin) 및 첨가제를 더 포함할 수 있다.
팽창층(112)은 2 관능기 레진(di-functional resin), 방사선 흡수체(radiation absorber) 및 개시제를 포함하는 조성물로부터 형성될 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시예에서와 같이, 도너 필름(100)은 기재층(S)을 더 구비하여, 도너 필름(100)의 오염 방지 및 핸들링을 더욱 용이하게 할 수 있다.
이하, 도면을 참조하여 상술한 도너 필름을 이용하여 평판표시장치의 패턴 형성방법을 구체적으로 설명하기로 한다. 여기서, 평판표시장치 중 유기전계발광표시장치를 예를 들어 설명하기로 한다.
도 3 내지 도 5는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조 공정을 설명하기 위한 단면도들이다. 여기서, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 제조 공정은 앞서 서술한 제 1 실시예에 따른 도너 필름을 이용하는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 제 2 실시예에 따른 도터 필름을 이용할 수도 있다. 이에 따라, 본발명의 실시예에서 도너 필름의 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 3을 참조하면, 베이스 부재를 제공한다. 여기서, 베이스 부재는 베이스층(210), 베이스층(210) 상에 배치된 제 1 전극(220), 제 1 전극(220)의 에지를 따라 덮으며 베이스층(210) 상에 배치된 버퍼 패턴(230)을 포함할 수 있다.
베이스층(210)은 플라스틱 기판, 플라스틱 필름, 유리기판 및 금속기판 중 어느 하나일 수 있다. 이때, 유기전계발광표시장치가 베이스층(210)을 향해 광을 투과하는 하부 발광식일 경우, 베이스층(210)은 투명한 재질로 이루어질 수 있다. 반면, 유기전계발광표시장치가 후술될 제 2 전극(240) 상으로 광을 방출하는 상부 발광식일 경우, 베이스층은 투명한 재질 또는 불투명한 재질로 형성될 수 있다.
유기전계발광표시장치가 하부 발광식일 경우, 제 1 전극(220)은 투명 도전 물질, 예컨대 ITO 또는 IZO로 형성될 수 있다. 반면, 유기전계발광표시장치가 상부 발광식일 경우, 제 1 전극(220)은 반사 도전 물질, 예컨대 금속으로 형성되거나, 제 1 전극(220)은 투명도전층 및 반사층의 이중 구조로 형성될 수도 있다.
제 1 전극(220)은 각 화소별로 패터닝되어 있을 수 있다. 즉, 도면에는 베이스층(210) 상에 하나의 제 1 전극(220)이 배치된 것으로 도시하였으나, 실질적으로 베이스층(210) 상에 다수의 제 1 전극(220)들이 배치되어 있을 수 있다.
버퍼 패턴(230)은 제 1 전극(220)의 상면 에지를 덮으며 형성되어 있을 수 있다. 이때, 버퍼 패턴(230)은 제 1 전극(220)을 노출하는 개구부를 가질 수 있다. 버퍼 패턴(230)은 후술될 제 1 전극(220)과 제 2 전극(240)간의 쇼트를 방지하는 역할을 할 수 있다. 버퍼 패턴(230)은 유기절연막 또는 무기절연막으로 형성될 수 있다. 이때, 유기절연막을 형성하는 재질의 예로서는 아크릴계 수지 및 이미드계 수지등일 수 있다. 또한, 무기절연막을 형성하는 재질의 예로서는 실리콘 산화물 또는 실리콘 질화물등일 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예에서 버퍼 패턴의 재질을 한정하는 것은 아니다.
이에 더하여, 제 1 전극(220)과 베이스층(210) 사이에 다수의 배선, 예컨대 데이터 배선, 게이트 배선 및 전원 배선이 더 배치될 수 있다. 여기서, 데이터 배선과 게이트 배선은 서로 교차하도록 배치되어 화소를 정의할 수 있다. 또한, 제 1 전극과 베이스층 사이의 각 화소에 스위칭 박막트랜지스터, 구동 박막트랜지스터 및 캐패시터가 더 구비될 수 있다.
도 4를 참조하면, 베이스 부재상에 도너 필름(100)을 제공한다. 여기서, 도너 필름(100)은 광-열 변환층(111), 팽창층(112) 및 전사층(113)을 포함할 수 있다. 여기서, 전사층(113)은 유기발광층을 형성하는 재질로 이루어질 수 있다. 도너 필름(100)은 광-열 변환층(111) 상에 기재층을 더 포함할 수 있다. 이때, 도너 필름(100)의 전사층(113)이 베이스 부재의 제 1 전극(220)과 마주하도록 도너 필름(100)을 베이스 부재상에 배치한다.
이후, 도너 필름(100)의 일정 영역에 레이저를 조사한다. 여기서, 레이저는 스캔 방식 또는 마스크를 이용하여 원하는 영역에 조사될 수 있다. 이때, 도너 필름(100)상에 레이저가 조사되어 광-열 변환층(111)은 광을 열로 전환하여 팽창층(112)으로 전환한다. 이때, 레이저 조사영역과 대응된 팽창층(112)이 열에 의해 부피 팽창된다. 여기서, 팽창된 팽창층(112)과 대응된 전사층이 팽창층(112)의 부피 팽창으로 인해 도너 필름(100)으로부터 분리되며 화소 영역상에 전사된다. 이에 따라, 도너 필름(100)의 전사층(113)의 일부가 전사되어 제 1 전극(220)상에 유기발광패턴(113a)이 형성될 수 있다.
도 5를 참조하면, 레이저 전사법을 통해 유기발광패턴(113a)을 형성한 후, 유기발광패턴(113a)상에 제 2 전극(240)을 형성할 수 있다. 여기서, 유기발광표시장치가 하부발광식일 경우, 제 2 전극(240)은 반사 도전물질, 예컨대 금속으로 형성될 수 있다. 반면, 유기전계발광표시장치가 상부발광식일 경우, 제 2 전극(240)은 투명 도전물질, 예컨대 ITO 또는 IZO로 형성될 수 있다. 제 2 전극(240)은 다수의 화소에 공통으로 배치된 공통전극으로 이용될 수 있다.
이에 더하여, 도면에는 도시하지 않았으나, 유기전계발광표시장치의 광 효율을 향상시키기 위해, 제 1 전극(220)과 유기발광패턴(113a) 사이 또는 유기발광패턴(113a)과 제 2 전극(240) 사이에 전하 주입층 및 전하 수송층이 더 구비될 수 있다.
또한, 제 2 전극(240)을 형성한 후, 제 1 전극(220), 유기발광패턴(113a) 및 제 2 전극(240)을 포함한 베이스층(210)상에 봉지부재가 합착되어 있을 수 있다. 이에 따라, 제 1 전극(220), 유기발광패턴(113a) 및 제 2 전극(240), 특히 유기발광패턴(113a)은 봉지부재에 의해 외부의 수분 및 산소로부터 차단될 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 레이저 전사법을 통해, 평판표시장치 중 유기전계발광표시장치의 유기발광패턴을 형성하는 것을 한정하여 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 여기서, 본 발명의 실시예에 따른 도너필름의 전사층의 재질 변경으로 평판표시장치의 다른 패턴을 형성하는데 이용될 수 있다. 예컨대, 도너 필름의 전사층이 컬러필터 패턴을 형성하는 재질로 형성하고, 이 도너 필름을 이용한 레이저 전사법을 통해 액정표시장치의 컬러필터 패턴을 형성할 수 있다. 다른 예로써, 도너 필름의 전사층이 컬럼 스페이서를 형성하는 재질로 형성하고, 이 도너 필름을 이용한 레이저 전사법을 통해 액정표시장치의 컬럼 스페이서를 형성할 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시예에서와 같이, 도너필름을 이용한 레이저 전사법을 통해 단순 공정을 통해 평판 표시장치의 패턴을 용이하게 형성할 수 있다.
100 : 도너 필름
111 : 광-열 변환층
112 : 팽창층
113 : 전사층
210 : 베이스층
220 : 제 1 전극
113a : 유기발광패턴
230 : 제 2 전극

Claims (9)

  1. 광을 열로 변환하는 광-열 변환층;
    상기 광-열 변환층에 배치되어 상기 열에 의해 팽창하는 팽창층; 및
    상기 팽창층 하부에 배치되어, 상기 팽창층의 부피 팽창으로 피 전사기판으로 전사되는 전사층;
    을 포함하고,
    상기 광-열 변환층은 3 관능기 레진(tri-functional resin), 방사선 흡수체(radiation absorber) 및 개시제를 포함하는 조성물로부터 형성된 것이고,
    상기 팽창층은 2 관능기 레진(di-functional monomer) 및 개시제를 포함하는 조성물로부터 형성된 도너 필름.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 조성물은 2 관능기 레진(di-functional resin)을 더 포함하는 도너 필름.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 팽창층의 두께는 상기 광-열 변환층의 두께에 대해 0.1 내지 1배의 두께를 갖는 도너 필름.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 광-열 변환층 하부에 기재층이 더 구비되는 도너 필름.
  7. 베이스 부재를 제공하는 단계;
    상기 베이스 부재 상에 광을 열로 변환하는 광-열 변환층, 상기 광-열 변환층에 배치되어 상기 열에 의해 팽창하는 팽창층, 및 상기 팽창층 하부에 배치되어 상기 팽창층의 팽창으로 피 기판으로 전사되는 전사층을 포함한 도너 필름을 제공하는 단계; 및
    상기 도너 필름 상의 일정 영역에 레이저를 조사하여 상기 일정 영역과 대응된 상기 전사층을 상기 베이스 부재 상으로 전사하여 패턴을 형성하는 단계;
    를 포함하고,
    상기 광-열 변환층은 3 관능기 레진(tri-functional resin), 방사선 흡수체(radiation absorber) 및 개시제를 포함하는 조성물로부터 형성되며,
    상기 팽창층은 2 관능기 레진(di-functional resin) 및 개시제를 포함하는 조성물로부터 형성되는 평판 표시장치의 패턴 형성 방법.
  8. 삭제
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 광-열 변환층을 형성하기 위한 조성물은 2 관응기 레진(di-functional resin)을 더 포함하는 평판 표시장치의 패턴 형성 방법.
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