KR101899679B1 - Apparatus for holding a sample - Google Patents

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KR101899679B1
KR101899679B1 KR1020160175736A KR20160175736A KR101899679B1 KR 101899679 B1 KR101899679 B1 KR 101899679B1 KR 1020160175736 A KR1020160175736 A KR 1020160175736A KR 20160175736 A KR20160175736 A KR 20160175736A KR 101899679 B1 KR101899679 B1 KR 101899679B1
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moving rod
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이장우
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주식회사 포스코
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치는 시료의 표면에 밀착되는 프레임; 상기 프레임과 연결되어 상기 시료를 상기 프레임에 흡착하는 흡착부; 및 적어도 일부가 상기 프레임에 관통 삽입되고, 일측이 상기 시료와 접촉하는 지지부;를 포함하며, 상기 지지부는 상기 프레임 내에서 상하로 이동 가능하게 배치될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a sample fixing apparatus comprising: a frame closely attached to a surface of a sample; An adsorption unit connected to the frame to adsorb the sample to the frame; And a support portion, at least a portion of which is inserted through the frame, and one side of which is in contact with the sample, and the support portion can be arranged to be movable up and down in the frame.

Description

시료 고정장치{Apparatus for holding a sample}Apparatus for holding a sample

본 발명은 시료 고정장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a sample fixing device.

두께가 비교적 얇은 박판소재는 그 성분 분석을 위해 소재의 표면을 연마토록 한다.A thin sheet of relatively thin material is used to polish the surface of the material for analysis.

연마작업이 완료된 박판소재는 분석장치를 이용하여 연마면의 성분 분석을 진행하게 되며, 분석결과의 신뢰성을 위하여 박판소재를 고정시킬 필요가 있다.For the thin plate material after polishing, analysis of the polished surface is carried out using the analyzer, and it is necessary to fix the thin plate material for reliability of the analysis result.

이때, 연마면의 위치를 변경하여 반복적으로 성분 분석을 진행하게 될 경우, 박판소재의 고정 및 해제에 많은 시간과 노력이 소요된다.At this time, when the component analysis is repeatedly performed by changing the position of the polishing surface, it takes much time and effort to fix and release the thin plate material.

또한, 박판소재는 두께가 비교적 얇기 때문에, 성분 분석과정에서 고전류로 인하여 연마면에 손상이 발생될 우려도 존재한다.
Further, since the thin plate material is relatively thin, there is a possibility that the polishing surface may be damaged due to the high current in the component analysis process.

대한민국등록특허공보 제10-1482417호Korean Registered Patent No. 10-1482417

본 발명의 일 실시예에 따른 목적은, 시료의 분석면을 정확한 위치에서 분석하여 분석결과의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 시료 고정장치를 제공하는 것이다.
An object of an embodiment of the present invention is to provide a sample fixing device capable of analyzing an analysis surface of a sample at an accurate position and improving the reliability of the analysis result.

본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치는 시료의 표면에 밀착되는 프레임; 상기 프레임과 연결되어 상기 시료를 상기 프레임에 흡착하는 흡착부; 및 적어도 일부가 상기 프레임에 관통 삽입되고, 일측이 상기 시료와 접촉하는 지지부;를 포함하며, 상기 지지부는 상기 프레임 내에서 상하로 이동 가능하게 배치될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a sample fixing apparatus comprising: a frame closely attached to a surface of a sample; An adsorption unit connected to the frame to adsorb the sample to the frame; And a support portion, at least a portion of which is inserted through the frame, and one side of which is in contact with the sample, and the support portion can be arranged to be movable up and down in the frame.

본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치의 상기 프레임에는 상기 흡착부에 의해 상기 시료가 상기 프레임에 흡착 고정되도록 복수의 흡착홀이 형성될 수 있다.In the frame of the sample fixing device according to the embodiment of the present invention, a plurality of suction holes may be formed in the frame so that the sample is adsorbed and fixed on the frame by the suction part.

본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치의 상기 프레임에는 상기 지지부가 삽입되도록 상하로 관통된 관통홀이 구비될 수 있다.The frame of the sample fixing device according to an embodiment of the present invention may be provided with a through hole which is vertically penetrated to insert the support portion.

본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치의 상기 지지부의 타측은 상기 프레임의 외부로 돌출되도록 구성될 수 있다.The other side of the support part of the sample fixing device according to an embodiment of the present invention may be configured to protrude to the outside of the frame.

본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치의 상기 지지부의 길이는 상기 프레임의 두께보다 길 수 있다.The length of the support part of the sample fixing device according to an embodiment of the present invention may be longer than the thickness of the frame.

본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치의 상기 지지부는 상기 프레임에 삽입되는 이동로드, 상기 이동로드의 일측에 구비되고 상기 시료와 접촉하는 제1 지지판 및 상기 이동로드의 타측에 구비되는 제2 지지판을 포함할 수 있다.The support portion of the sample fixing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a movable rod inserted into the frame, a first support plate provided on one side of the movable rod and contacting the sample, and a second support plate provided on the other side of the movable rod, And a support plate.

본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치의 상기 제2 지지판은 상기 프레임의 외부로 돌출되도록 구성될 수 있다.The second support plate of the sample fixing device according to an embodiment of the present invention may be configured to protrude to the outside of the frame.

본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치의 상기 프레임에는 상기 이동로드가 삽입되도록 상하로 관통된 관통홀이 구비되고, 상기 관통홀은 상기 이동로드의 직경보다 크고 상기 제1 지지판의 직경보다는 작은 소경부 및 상기 제1 지지판의 직경보다 큰 대경부를 포함할 수 있다.The frame of the sample fixing device according to an embodiment of the present invention is provided with a through hole penetrating vertically so that the moving rod is inserted therein. The through hole is larger than the diameter of the moving rod and smaller than the diameter of the first supporting plate And a large diameter portion that is larger than the diameter of the first support plate.

본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치의 상기 제2 지지판의 직경은 상기 소경부의 직경보다 클 수 있다.
The diameter of the second support plate of the sample fixing device according to an embodiment of the present invention may be larger than the diameter of the small diameter portion.

본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치는, 시료의 성분분석 과정에서 시료를 지지하는 지지력을 향상시킬 수 있으므로, 시료의 분석면을 정확한 위치에서 분석할 수 있다.The sample fixing apparatus according to an embodiment of the present invention can improve the supporting force for supporting the sample in analyzing the components of the sample, so that the analysis plane of the sample can be analyzed at an accurate position.

또한, 분석장치의 스토퍼에 흐르는 전류가 지지부에 의해 간접적으로 시료에 전달되도록 하므로, 고 전류로 인한 시료의 분석면 파손을 방지할 수 있다.In addition, since the current flowing through the stopper of the analyzer is indirectly transferred to the sample by the supporting portion, it is possible to prevent breakage of the analysis surface of the sample due to the high current.

또한, 시료의 성분분석 과정에서 분석 위치를 연속적으로 변경할 수 있으므로, 분석결과의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
In addition, since the analytical position can be continuously changed in the component analysis process of the sample, the reliability of the analysis result can be improved.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치의 사시도이고,
도 2는 도 1의 저면 사시도이고,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치에 시료가 밀착된 모습을 도시한 사시도이고,
도 4는 도 3의 저면 사시도이고,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치에 시료가 밀착되기 전의 모습을 도시한 단면도이고,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치에 시료가 밀착된 모습을 도시한 단면도이고,
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치로 시료를 고정시킨 상태에서 시료의 분석면을 분석하는 모습을 도시한 단면도이다.1 is a perspective view of a sample fixing apparatus according to an embodiment of the present invention,
Fig. 2 is a bottom perspective view of Fig. 1,
FIG. 3 is a perspective view showing a sample closely attached to a sample fixing device according to an embodiment of the present invention,
Fig. 4 is a bottom perspective view of Fig. 3,
FIG. 5 is a sectional view showing a state before a sample is closely attached to a sample fixing apparatus according to an embodiment of the present invention,
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a sample closely attached to a sample fixing device according to an embodiment of the present invention,
FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a state in which a sample is fixed with a sample fixing apparatus according to an embodiment of the present invention, and an analysis surface of the sample is analyzed.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명의 사상은 제시되는 실시예에 제한되지 아니하고, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서 다른 구성요소를 추가, 변경 또는 삭제 등을 통하여, 퇴보적인 다른 발명이나 본 발명 사상의 범위 내에 포함되는 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본원 발명 사상의 범위 내에 포함된다고 할 것이다.
Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the inventive concept. Other embodiments falling within the scope of the inventive concept may be easily suggested, but are also included within the scope of the present invention.

또한, 각 실시예의 도면에 나타나는 동일한 사상의 범위 내의 기능이 동일한 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 설명한다.
The same reference numerals are used to designate the same components in the same reference numerals in the drawings of the embodiments.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 저면 사시도이다.FIG. 1 is a perspective view of a sample fixing apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a bottom perspective view of FIG. 1. FIG.

또한, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치에 시료가 밀착된 모습을 도시한 사시도이고, 도 4는 도 3의 저면 사시도이다.FIG. 3 is a perspective view showing a sample closely attached to a sample fixing device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a bottom perspective view of FIG. 3.

또한, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치에 시료가 밀착되기 전의 모습을 도시한 단면도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치에 시료가 밀착된 모습을 도시한 단면도이다.FIG. 5 is a cross-sectional view showing a state before a sample is closely attached to a sample fixing apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 6 is a view showing a state where a sample is closely attached to a sample fixing apparatus according to an embodiment of the present invention Fig.

또한, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치로 시료를 고정시킨 상태에서 시료의 분석면을 분석하는 모습을 도시한 단면도이다.
FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a state in which a sample is fixed with a sample fixing apparatus according to an embodiment of the present invention, and the analysis plane of the sample is analyzed.

도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치(100)는, 박판소재(40, 이하, 시료라 함)에 밀착되는 프레임(10), 시료(40)가 프레임(10)에 밀착되도록 시료(40)를 흡착하는 흡착부(20) 및 일측이 시료(40)와 접촉하며 프레임(10)에 관통 삽입되는 지지부(30)를 포함한다.
1 to 6, a sample fixing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a frame 10 which is in close contact with a thin plate material (hereinafter, referred to as a sample) 40, a sample 40, A suction unit 20 for absorbing the sample 40 so as to be in close contact with the sample 10 and a support 30 which is inserted into the frame 10 through one side thereof in contact with the sample 40.

프레임(10)은 흡착대상인 시료(40)와 대응되는 형상일 수 있다. 일 예로, 프레임(10)은 소정의 두께를 갖는 판 형상일 수 있다.The frame 10 may have a shape corresponding to the sample 40 to be adsorbed. For example, the frame 10 may be in the form of a plate having a predetermined thickness.

프레임(10)은 평면 모양이 사각형 또는 원형으로 형성되나, 이에 한정되지 않으며, 시료(40)의 형상과 대응되는 형상으로 제공될 수 있다.The frame 10 is formed in a square or circular shape in a plan view, but is not limited thereto and may be provided in a shape corresponding to the shape of the sample 40.

프레임(10)은 비자성체로 제공될 수 있으며, 일 예로 아크릴 재질일 수 있다.The frame 10 may be provided with a non-magnetic material, and may be an acrylic material, for example.

프레임(10)의 하면에는 시료(40)에 에어흡착력이 작용할 수 있도록 흡착홀(11)이 형성되고, 프레임(10)의 내부에는 흡착홀(11)과 연통되며 흡착부(20)와 연결되는 연통홀(13)이 형성될 수 있다.A suction hole 11 is formed on the lower surface of the frame 10 so that an air adsorption force can be applied to the sample 40. The frame 10 communicates with the suction hole 11 and is connected to the suction unit 20 A communication hole 13 may be formed.

흡착홀(11)은 프레임(10)의 하면에 복수개가 이격 형성될 수 있다.A plurality of suction holes 11 may be formed on the lower surface of the frame 10.

한편, 프레임(10)에는 프레임(10)을 상하로 관통하는 관통홀(15)이 복수개 이격 형성될 수 있으며, 관통홀(15)에는 지지부(30)가 삽입될 수 있다.
A plurality of through holes 15 may be formed in the frame 10 so as to penetrate through the frame 10. The support portion 30 may be inserted into the through hole 15. [

흡착부(20)는 에어흡착력을 제공할 수 있는 펌프(21), 연통홀(13)과 펌프(21) 사이를 연결하는 소켓(23)을 포함할 수 있다.The adsorption section 20 may include a pump 21 capable of providing air adsorption force and a socket 23 connecting between the communication hole 13 and the pump 21.

소켓(23)은 프레임(10)의 일 측면에 결합될 수 있다. 또한, 소켓(23)은 일측이 프레임(10)의 일 측면에 결합되고, 타측이 펌프(21)와 결합되어 연통홀(13)과 펌프(21) 사이를 연결할 수 있다.The socket 23 can be coupled to one side of the frame 10. One side of the socket 23 is coupled to one side of the frame 10 and the other side is coupled to the pump 21 to connect the communication hole 13 and the pump 21.

소켓(23)에는 연통홀(13)을 개방하거나 밀폐할 수 있도록 구성된 밸브(25)가 구비될 수 있다.The socket (23) may be provided with a valve (25) configured to open or close the communication hole (13).

따라서, 소재는 흡착부(20)의 에어흡착력에 의해 프레임(10)의 하면에 밀착될 수 있으며, 이 상태에서 밸브(25)를 잠그면 시료(40)는 프레임(10)의 하면에 밀착된 상태로 고정될 수 있다.
Therefore, the material can be brought into close contact with the lower surface of the frame 10 by the air suction force of the suction unit 20. When the valve 25 is locked in this state, the sample 40 is in a state of being in close contact with the lower surface of the frame 10 .

지지부(30)는 일측이 시료(40)와 접촉하도록 구성되며, 지지부(30)의 적어도 일부가 프레임(10)에 관통 삽입될 수 있다.The support 30 is configured such that one side is in contact with the sample 40 and at least a part of the support 30 can be inserted through the frame 10.

일 예로, 지지부(30)는 그 길이가 프레임(10)의 두께보다 길게 형성될 수 있다. 따라서, 지지부(30)는 일부가 프레임(10)의 외부로 돌출되도록 프레임(10)에 삽입될 수 있다.For example, the length of the support portion 30 may be longer than the thickness of the frame 10. Therefore, the supporting portion 30 can be inserted into the frame 10 such that a part of the supporting portion 30 protrudes out of the frame 10.

지지부(30)는 프레임(10)에 삽입되는 이동로드(31), 이동로드(31)의 일측에 구비되고 시료(40)와 접촉하는 제1 지지판(33) 및 이동로드(31)의 타측에 구비되는 제2 지지판(35)을 포함할 수 있다.The supporting part 30 includes a moving rod 31 inserted into the frame 10, a first supporting plate 33 provided on one side of the moving rod 31 and contacting the sample 40, And a second support plate 35 provided thereon.

여기서, 이동로드(31)의 일측은 프레임(10)을 기준으로 프레임(10)의 하면과 가까운 측을 의미할 수 있고, 이동로드(31)의 타측은 프레임(10)을 기준으로 프레임(10)의 상면과 가까운 측을 의미할 수 있다.One side of the moving rod 31 may refer to a side near the lower surface of the frame 10 with respect to the frame 10 and the other side of the moving rod 31 may refer to a side of the frame 10 Quot;).

이동로드(31)는 프레임(10)의 관통홀(15)에 삽입되는 구성이며, 제1 지지판(33) 및 제2 지지판(35)은 이동로드(31)가 프레임(10)의 외부로 이탈되지 않도록 하는 스토퍼로서 기능할 수 있다.The first support plate 33 and the second support plate 35 are configured such that the moving rod 31 is moved out of the frame 10 It is possible to function as a stopper.

일 예로, 프레임(10)의 관통홀(15)은, 이동로드(31)의 직경보다 크고 제1 지지판(33)의 직경보다는 작은 소경부(15a) 및 제1 지지판(33)의 직경보다 큰 대경부(15b)를 포함할 수 있다. 대경부(15b)는 소경부(15a)보다 하부에 위치할 수 있다.The through hole 15 of the frame 10 is larger than the diameter of the small diameter portion 15a and the first support plate 33 which is larger than the diameter of the moving rod 31 and smaller than the diameter of the first support plate 33 And a large-diameter portion 15b. The large-diameter portion 15b may be located lower than the small-diameter portion 15a.

즉, 관통홀(15)은 그 내부에 단차 구조를 가질 수 있다.That is, the through hole 15 may have a stepped structure inside.

이동로드(31)는 소경부(15a)에 배치될 수 있고, 제1 지지판(33)은 대경부(15b)에 배치될 수 있으며, 제2 지지판(35)은 프레임(10)의 외부로 돌출되도록 배치될 수 있다.The first support plate 33 can be disposed on the large diameter portion 15b and the second support plate 35 can be disposed on the outer side of the frame 10 Respectively.

제1 지지판(33)의 직경은 대경부(15b)의 직경보다는 작게 구성되고, 제2 지지판(35)의 직경은 소경부(15a)의 직경보다 크게 구성될 수 있다.
The diameter of the first support plate 33 may be smaller than the diameter of the large diameter portion 15b and the diameter of the second support plate 35 may be larger than the diameter of the small diameter portion 15a.

도 5에 도시된 바와 같이, 시료(40)가 프레임(10)의 하면에 밀착되지 않은 상태에서는, 이동로드(31)가 자중에 의해 아래쪽으로 이동할 수 있으며, 이에 따라 제1 지지판(33)은 프레임(10)의 하부로 돌출될 수 있다.5, when the sample 40 is not in close contact with the lower surface of the frame 10, the movable rod 31 can be moved downward by its own weight, And may protrude below the frame 10.

이때, 이동로드(31)가 아래쪽으로 이동하더라도 제2 지지판(35)이 프레임(10)의 상면에 걸리게 되므로 결국 이동로드(31)가 프레임(10)으로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다.At this time, even if the moving rod 31 moves downward, the second supporting plate 35 is caught on the upper surface of the frame 10, so that the moving rod 31 can be prevented from being detached from the frame 10.

또한, 도 6에 도시된 바와 같이, 시료(40)가 프레임(10)의 하면에 밀착되는 경우에는, 프레임(10)의 하부로 돌출된 제1 지지판(33)이 시료(40)에 의해 위로 올려지게 된다. 이때 시료(40)의 표면(예를 들어, 상면)이 프레임(10)의 하면에 밀착되도록 제1 지지판(33)은 프레임(10) 내로 삽입된다.6, when the sample 40 is brought into close contact with the lower surface of the frame 10, the first support plate 33 protruding to the lower portion of the frame 10 is moved upward by the sample 40 . At this time, the first supporting plate 33 is inserted into the frame 10 so that the surface (for example, the upper surface) of the sample 40 is brought into close contact with the lower surface of the frame 10.

즉, 이 경우 제1 지지판(33)은 관통홀(15)의 대경부(15b) 내에 위치하게 된다. 제1 지지판(33)이 대경부(15b) 내로 삽입될 수 있도록 제1 지지판(33)의 상하방향 두께는 대경부(15b)의 상하방향 두께보다 작게 형성될 수 있다.That is, in this case, the first support plate 33 is located in the large-diameter portion 15b of the through-hole 15. [ The thickness of the first support plate 33 in the up and down direction may be smaller than the thickness of the large diameter portion 15b in the up and down direction so that the first support plate 33 can be inserted into the large diameter portion 15b.

제1 지지판(33)이 시료(40)에 의해 위로 올려지게 되면, 이동로드(31)도 위쪽으로 이동하게 되며, 이에 따라 이동로드(31)의 일부가 프레임(10)의 외부로 돌출될 수 있다.When the first supporting plate 33 is lifted up by the sample 40, the moving rod 31 is also moved upward so that a part of the moving rod 31 can be projected to the outside of the frame 10 have.

한편, 제1 지지판(33)의 직경은 소경부(15a)의 직경보다는 크므로, 이동로드(31)가 위쪽으로 이동될 때, 제1 지지판(33)이 관통홀(15)의 단차 구조에 걸릴 수 있고, 결국 이동로드(31)가 프레임(10)으로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
Since the diameter of the first support plate 33 is larger than the diameter of the small diameter portion 15a so that the first support plate 33 is moved in the stepped structure of the through hole 15 when the movable rod 31 is moved upward It is possible to prevent the moving rod 31 from being detached from the frame 10.

다음으로, 도 7을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치(100)로 시료(40)를 고정시킨 상태에서 시료(40)의 분석면을 분석하는 과정을 설명한다.
Next, with reference to FIG. 7, a process of analyzing the analysis surface of the sample 40 in a state where the sample 40 is fixed to the sample fixing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention will be described.

시료(40)의 상면이 프레임(10)의 하면에 밀착 고정된 상태에서, 시료(40)의 분석면(예를 들어, 하면)이 분석장치의 보드(200)에 안착되도록 한다.(For example, a lower surface) of the sample 40 is seated on the board 200 of the analyzer while the upper surface of the sample 40 is closely fixed to the lower surface of the frame 10.

여기서, 보드(200)에는 시료(40)의 분석면이 노출되도록 분석홀(210)이 형성될 수 있다.Here, the analysis hole 210 may be formed in the board 200 so that the analysis surface of the sample 40 is exposed.

시료(40)의 분석면은 제1 지지판(33)에 의해 지지되는 면의 반대 면일 수 있다.The analysis surface of the sample 40 may be the opposite surface of the surface supported by the first support plate 33.

시료(40)의 분석면이 분석장치의 보드(200)에 안착되면, 제1 지지판(33)과 제2 지지판(35)을 각각 상하부 스토퍼(310)로 가압하여 지지부(30)가 시료(40)를 지지할 수 있도록 한다.The first support plate 33 and the second support plate 35 are pressed by the upper and lower stoppers 310 so that the support member 30 is pressed against the sample 40 ).

상하부 스토퍼(310) 중 하부 스토퍼는 분석홀(210)을 통해 시료(40)의 분석면을 아래쪽에서 위쪽을 향하여 가압하고, 상부 스토퍼는 제2 지지판(35)을 위쪽에서 아래쪽으로 가압한다.The lower stopper of the upper and lower stoppers 310 presses the analysis surface of the sample 40 upward from below through the analysis hole 210 and the upper stopper presses the second support plate 35 downward from the upper side.

따라서, 상하부 스토퍼(310)의 가압력에 의해 지지부(30)가 시료(40)를 강하게 지지할 수 있으므로, 시료(40)의 성분분석 과정에서 시료(40)의 분석 위치가 변경되지 않도록 할 수 있다.Therefore, the support portion 30 can strongly support the sample 40 by the pressing force of the upper and lower stoppers 310, so that the analysis position of the sample 40 can be prevented from being changed during the component analysis process of the sample 40 .

또한, 상대적으로 직경이 큰 제1 지지판(33)에 의해 간접적으로 가압하게 되므로, 시료(40)가 파손되는 것을 방지할 수 있으며, 전류가 지지부(30)에 의해 시료(40)에 간접적으로 전달되도록 하므로, 고 전류로 인한 시료(40)의 분석면 파손을 방지할 수 있다.
In addition, since the first supporting plate 33 having a relatively large diameter is indirectly pressurized, the sample 40 can be prevented from being damaged, and the current can be indirectly transmitted to the sample 40 by the supporting portion 30 So that breakage of the analysis surface of the sample 40 due to high current can be prevented.

지지부(30)가 시료(40)를 지지한 상태에서, 스토퍼(310)에 전류를 가하여 시료(40)의 분석면에 대한 성분분석을 진행하게 된다.A current is applied to the stopper 310 to support the analysis of the analytical surface of the sample 40 in a state in which the supporter 30 supports the sample 40.

여기서, 스토퍼(310)에 의한 전류가 시료(40)의 분석면에 전달될 수 있도록 지지부(30)는 자성재질로 형성될 수 있다. 일 예로, 지지부(30)는 스틸재질일 수 있다.
Here, the support portion 30 may be formed of a magnetic material so that the current generated by the stopper 310 can be transmitted to the analysis surface of the sample 40. [ In one example, the support portion 30 may be made of steel.

시료(40)의 분석면의 성분분석이 완료되면, 제1 지지판(33)과 제2 지지판(35)을 가압하고 있던 스토퍼(310)를 해제시키고, 시료(40)의 분석면의 위치를 변경하여 다시 성분분석을 진행하게 된다.When the analysis of the analytical surface of the sample 40 is completed, the stopper 310 which has pressed the first support plate 33 and the second support plate 35 is released and the position of the analysis surface of the sample 40 is changed And the component analysis is performed again.

즉, 시료(40)의 분석면의 위치를 연속적으로 변경하여 분석할 수 있으므로, 분석의 효율성과 분석결과의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
That is, since the position of the analysis surface of the sample 40 can be continuously changed and analyzed, the efficiency of the analysis and the reliability of the analysis result can be improved.

이상의 실시예를 통해, 본 발명의 일 실시예에 따른 시료 고정장치는, 시료의 성분분석 과정에서 시료를 지지하는 지지력을 향상시킬 수 있으므로, 시료의 분석면을 정확한 위치에서 분석할 수 있다.Through the above-described embodiments, the sample fixing apparatus according to the embodiment of the present invention can improve the supporting force for supporting the sample in the component analysis process of the sample, so that the analysis plane of the sample can be analyzed at an accurate position.

또한, 분석장치의 스토퍼에 흐르는 전류가 지지부에 의해 시료에 간접적으로 전달되도록 하므로, 고 전류로 인한 시료의 분석면 파손을 방지할 수 있다.In addition, since the current flowing through the stopper of the analyzer is indirectly transmitted to the sample by the support, breakage of the analysis surface of the sample due to the high current can be prevented.

또한, 시료의 성분분석 과정에서 분석 위치를 연속적으로 변경할 수 있으므로, 분석결과의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
In addition, since the analytical position can be continuously changed in the component analysis process of the sample, the reliability of the analysis result can be improved.

상기에서는 본 발명에 따른 실시예를 기준으로 본 발명의 구성과 특징을 설명하였으나 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 사상과 범위내에서 다양하게 변경 또는 변형할 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자에게 명백한 것이며, 따라서 이와 같은 변경 또는 변형은 첨부된 특허청구범위에 속함을 밝혀둔다.While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, It will be apparent to those skilled in the art that changes or modifications may fall within the scope of the appended claims.

10: 프레임
11: 흡착홀
13: 연통홀
15: 관통홀
20: 흡착부
21: 펌프
23: 소켓
25: 밸브
30: 지지부
31: 이동로드
33: 제1 지지판
35: 제2 지지판
40: 시료10: frame
11: Adsorption hole
13: communication hole
15: Through hole
20:
21: Pump
23: Socket
25: Valve
30: Support
31: Moving rod
33: first support plate
35: second support plate
40: sample

Claims (9)

시료의 표면에 밀착되는 프레임;
상기 프레임과 연결되어 상기 시료를 상기 프레임에 흡착하는 흡착부; 및
적어도 일부가 상기 프레임에 관통 삽입되고, 일측이 상기 시료와 접촉하는 지지부;를 포함하며,
상기 지지부는 상기 프레임 내에서 상하로 이동 가능하게 배치되고,
상기 지지부는 상기 프레임에 삽입되는 이동로드, 상기 이동로드의 일측에 구비되고 상기 시료와 접촉하는 제1 지지판 및 상기 이동로드의 타측에 구비되는 제2 지지판을 포함하는 시료 고정장치.
A frame adhered to the surface of the sample;
An adsorption unit connected to the frame to adsorb the sample to the frame; And
At least a part of which is inserted into the frame, and one side of which is in contact with the sample,
Wherein the support portion is arranged to be movable up and down in the frame,
Wherein the supporting portion includes a moving rod inserted into the frame, a first supporting plate provided at one side of the moving rod and contacting the sample, and a second supporting plate provided at the other side of the moving rod.
제1항에 있어서,
상기 프레임에는 상기 흡착부에 의해 상기 시료가 상기 프레임에 흡착 고정되도록 복수의 흡착홀이 형성되는 시료 고정장치.
The method according to claim 1,
Wherein a plurality of suction holes are formed in the frame so that the sample is adsorbed and fixed on the frame by the suction unit.
제1항에 있어서,
상기 프레임에는 상기 지지부가 삽입되도록 상하로 관통된 관통홀이 구비되는 시료 고정장치.
The method according to claim 1,
Wherein the frame is provided with a through hole vertically penetrating the support portion.
제1항에 있어서,
상기 지지부의 타측은 상기 프레임의 외부로 돌출되도록 구성된 시료 고정장치.
The method according to claim 1,
And the other side of the supporting portion is projected to the outside of the frame.
제1항에 있어서,
상기 지지부의 길이는 상기 프레임의 두께보다 긴 시료 고정장치.
The method according to claim 1,
And the length of the support portion is longer than the thickness of the frame.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제2 지지판은 상기 프레임의 외부로 돌출되도록 구성된 시료 고정장치.
The method according to claim 1,
And the second support plate protrudes outside the frame.
제1항에 있어서,
상기 프레임에는 상기 이동로드가 삽입되도록 상하로 관통된 관통홀이 구비되고,
상기 관통홀은 상기 이동로드의 직경보다 크고 상기 제1 지지판의 직경보다는 작은 소경부 및 상기 제1 지지판의 직경보다 큰 대경부를 포함하는 시료 고정장치.
The method according to claim 1,
Wherein the frame is provided with a through hole penetrating upwardly and downwardly to insert the moving rod,
Wherein the through hole has a small diameter portion larger than the diameter of the moving rod and smaller than the diameter of the first support plate, and a large diameter portion larger than the diameter of the first support plate.
제8항에 있어서,
상기 제2 지지판의 직경은 상기 소경부의 직경보다 큰 시료 고정장치.
9. The method of claim 8,
Wherein the diameter of the second support plate is larger than the diameter of the small diameter portion.
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