KR101899111B1 - 얼라인-본딩장치 - Google Patents

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KR101899111B1
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Abstract

연결필름을 평평하게 만들고, 진공상태에서 기판과 부착하는 얼라인-본딩장치가 개시된다.
본 발명의 얼라인-본딩장치는 플랫화장치, 진공얼라인장치를 포함한다.
플랫화장치는 제1인장력인가수단 및 제2인장력인가수단을 포함하도록 구성되어서 연결필름을 평평하게 만들 수 있다.
그리고 위와 같이 평평하게 펴진 연결필름을 얼라인유닛에 고정하는 제2그립유닛은 연결매개체와 볼을 통하여 엑츄에이터와 연결되어 얼라인유닛의 정렬 동작을 방해하지 않는다.

Description

얼라인-본딩장치{Align-bonding apparatus}
본 기술은 얼라인-본딩장치에 관한 것이다.
특히 연결필름을 기판에 본딩을 할 때, 연결필름을 평평하게 펼치고 진공상태챔버 내에서 얼라인을 하여 연결필름을 기판에 본딩하는 얼라인-본딩장치에 관한 것이다.
반도체 또는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting diode Display)를 비롯한 다양한 기술에는 두장의 기판을 본딩하는 본딩공정이 활용되고 있다.
본딩공정은 본딩의 대상이 되는 두개의 기판 중 어느 하나에, 접착제를 도포하거나 또는 접착필름을 본딩하여 나머지 기판을 가압 또는 압박하는 방법으로 구현된다.
위와 같은 상황하에서 최근에는 편리성, 본딩의 안정성 등을 이유로 접착제를 도포하는 방법보다는 접착필름을 본딩하는 방법이 선호되고 있다.
한편, 기판은 미세한 공정들(예를 들면, 에칭공정, 식각공정 등)이 수행되거나 또는 미세한 공정의 수행으로 완성된 결과물로, 정밀한 회로가 설계되어 프린팅되거나, 복수개의 칩(Chip)들이 집적될 수 있어서 정밀하게 얼리인되어 정확한 위치에 기판들이 접착됨은 추후 제품의 성능을 좌우하는 요지가 된다.
기판과 기판을 정밀하게 접착하기 위하여는 기판과 기판의 접착 전, 기판과 접착필름을 정밀하게 접착하는 과정이 매우 중요함은 당연할 것이다.
접착필름을 기판에 접착하기 위하여는 정밀하게 커팅된 접착필름을 플랫하게 핀 후, 진공상태에서 기판과 접착필름을 정렬하고 가압하여 기판과 접착필름을 접착한다.
위와 같은 접착필름을 기판에 본딩하는 공정을 수행하는 얼라인-본딩장치를 구현하기 위해서는 아래와 같은 난관에 부딪히게 된다.
첫번째로 접착필름을 평평하게 펴기 위한 동작을 수행이 어렵다는 것이다.
접착필름은 커팅공정을 거치면서 꾸깃해질 수 있다. 위와 같은 접착필름의 구겨짐은 그 방향을 정확하게 예측될 수 없다. 따라서 접착필름이 어떠한 방향으로 구겨져도 평평하게 하기 위하여는 점착필름을 대각방향으로 잡아 당기는 방법이다.
예를 들어 접착필름이 사각형임을 가정하여 설명하면, 접착필름의 사각형의 특정한 필름을 평평하게 펴기 위하여는 사각형의 모서리를 움켜잡고 사각형의 중심에서 모서리를 향하여 그려지는 대각선 방향으로 잡아당기면 필름이 평평하게 펴지게 된다.
그러나 위와 같은 동작은 관절을 자유의사에 의하여 움직일 수 있는 사람은 매우 용이하게 수행할 수 있는 동작이나, 직선, 회전 운동으로 구현되는 기계에서는 위와 같은 동작으로 기계암으로 수행되기는 다소 복잡하고 어렵다.
두번째로 접착필름을 평평하게 펴고, 진공챔버로 접착필름을 이동시킨 후 진공챔버에서 접착필름을 고정하는 그립퍼가 접착필름을 고정하는 과정에서 접착필름의 평평도가 변경되는 것이다.
즉, 어렵게 플랫화장치에서 접착필름을 평평하게 펴도, 진공챔버 내로 옮겨지는 과정에서 접착필름의 평평도가 변경되는 문제점이 존재한다.
세번째로 진공챔버에서 접착필름을 고정하는 그립퍼는 접착필름을 고정하되 x, y, z로 이동될 수 있어야 한다.
즉, 그립퍼는 접착필름을 진공챔버의 내부에 배치되는 얼라인유닛에 고정하되, 얼라인유닛과 이격되어 배치된 기판의 정확한 위치에 접착필름을 본딩하기 위하여 x, y, z로 제어된 움직임을 수행하는 얼라인유닛의 움직임을 방해하면 안 된다.
삭제
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로 접착필름을 잡아당겨서 평평하게 할 수 있는 얼라인-본딩장치를 제공하는데 목적이 있다.
또한, 본 발명은 접착필름이 평평하게 펴진 후 진공챔버로 이동되어 진공챔버 내에서 다시 고정되어도 접착필름의 평평도가 변화하지 않는 얼라인-본딩장치를 제공하는데 목적이 있다.
또한, 본 발명은 진공챔버 내에 배치된 얼라인유닛에 접착필름을 고정하되 얼라인유닛의 제어된 움직임을 방해하지 않는 얼라인-본딩장치를 제공하는데 목적이 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 연결필름 얼라인-본딩장치는 연결필름이 안착되는 팜(Palm)부; 상기 팜(Palm)부에 설치되며, 상기 연결필름을 그립하는 복수개의 제1그립핸드를 포함하여, 상기 팜(Palm)부에 안착된 연결필름을 적어도 대칭되는 위치에서 그립하여 상기 연결필름을 상기 팜(Palm)부에 고정하는 제1그립유닛; 상기 복수의 제1그립유닛에 제1축을 따라서 제1인장력을 부여하되, 적어도 대칭되는 위치에 배치된 제1그립핸드는 반대방향의 제1인장력을 가하도록 하는 제1인장력인가수단; 상기 제1그립핸드가 상기 연결필름을 그립하고, 상기 제1인장력을 연결필름에 가하도록 유지하며, 상기 제1그립핸드 중 적어도 대칭되는 위치에 배치된 제1그립핸드에 상기 제1축과 교차되는 제2축을 따라 제2인장력을 가하는 제2인장력인가수단;을 포함한다.
여기서, 연결필름 얼라인-본딩장치는, 베이스부; 일측이 상기 베이스부에 연결되고, 타측이 상기 팜(Palm)부에 연결되는 암부; 상기 암부에 형성되어 상기 암부가 설정된 회전이 가능하도록 하는 관절부; 상기 팜(Palm)부의 일측에 배치되는 진공챔버를 포함하고, 상기 관절부, 제1인장력인가수단 및 제2인장력인가수단을 제어하되 적어도 제2인장력인가수단은 상기 팜(Palm)부가 상기 관절부에 의하여 회전 이동하여 진공챔버에 배치되면 동작하도록 제어하는 제어부를 포함한다.
여기서, 제1그립유닛은, 상기 팜(Palm)부의 타측면에서 제1축을 따라 슬라이드 이동 가능하도록 설치되고, 설정된 길이를 가지는 제1바; 상기 제1바의 슬라이드 이동을 전달받아 회전운동으로 변경하는 회전매개체; 상기 회전매개체를 사이에 두고 설치되며, 상기 회전매개체의 회전운동을 직선 운동으로 변경하여 상기 회전매개체의 회전에 따라 대칭되는 방향으로 상기 제1축을 따라 슬라이드 이동하는 제2바 및 제3바; 상기 제2바와 제3바에 힌지결합되어 상기 제2바 및 제3바가 슬라이드 이동되면 상기 연결필름을 그립하는 그립핸드를 포함한다.
여기서, 제1인장력인가수단은, 상기 제1바를 제1축을 따라 이동하도록 구동력을 가하는 제1실린더; 상기 제1실린더에 구동에 의하여 상기 제1축을 따라 이동되는 상기 제2바 또는 제3바 중 적어도 어느 하나에는, 일측이 상기 팜(Palm)부와 연결되고 타측이 제2바 또는 제3바 중 적어도 어느 하나와 연결되어 슬라이드가 상기 제1실린더에 의하여 이동되는 방향과 반대방향으로 잡아당기며 인장력을 가하는 인장수단과 연결된 것을 특징으로 포함한다.
여기서, 제2인장력인가수단은, 제2축을 따라 이동 가능한 구동력을 가하는 제2실린더; 상기 팜(Palm)부의 타측면에 설치되되, 상기 제1그립유닛이 상기 제1축으로 슬라이드 이동되도록 설치되며 상기 제2실린더의 구동력을 인가받아 제2축으로 슬라이드 이동되는 슬라이드플레이트를 포함한다.
여기서, 설정된 형상으로 상기 진공챔버 내에서 상기 연결필름이 안착되며, 제어된 동작으로 수평 이동되어 얼라인 동작을 수행하는 얼라인유닛; 상기 팜(Palm)부에 안착된 연결필름이 얼라인유닛에 안착되면 상기 연결필름을 상기 얼라인유닛에 고정하는 복수의 제2그립핸드를 포함하는 제2그립유닛 및 상기 제2그립핸드에 제3인장력을 가하여 상기 연결필름을 평평하게 하는 제3인장력인가수단을 포함한다.
여기서, 제2그립유닛은, 상기 얼라인유닛의 외측면을 따라 이동될 수 있는 가이드바; 상기 가이드바에 연결되어 상기 가이드바의 이동에 따라 상기 연결필름을 그립할 수 있는 제2그립핸드; 상기 진공챔버의 외부에 설치된 복수개의 엑츄에이터; 상기 진공챔버를 관통하며 설치되되 상기 엑츄에이터에 의하여 상, 하 이동될 수 있는 제1수직이동봉; 일측이 상기 제1수직이동봉과 연결되고 타측이 상기 가이드바와 연결되어 상기 제1수직이동봉의 이동을 상기 가이드바에 전달하되 상기 제1수직이동봉 또는 가이드바 중 적어도 어느 하나의 연결은 수평방향의 움직임에는 구속되지 않도록 연결하여 상기 얼라인유닛이 얼라인 동작을 수행할 때 상기 얼라인유닛의 이동을 제한하지 않는 연결매개체를 포함한다.
여기서, 제3인장력인가수단은, 상기 진공챔버의 외측에 설치된 엑츄에이터; 상기 진공챔버를 관통하며 설치되고, 상기 엑츄에이터에 의하여 상, 하로 이동되는 제2수직이동봉; 일측이 상기 제2수직이동봉과 연결되고 타측이 상기 제2그립핸드와 연결되어 상기 제2수직이동봉의 이동을 회전동작으로 연결하여 상기 제2그립핸드에 제3인장력을 가하는 인장링크연결체; 및 상기 제2수직이동봉과 상기 엑츄에이터 사이에 설치되어 상기 얼라인유닛이 얼라인 동작을 수행하는 경우, 상기 엑츄에이터와 상기 제2수직이동봉을 수평방향의 움직임에는 구속되지 않도록 허용하는 볼;을 포함한다.
본 발명의 얼라인-본딩장치는 접착필름을 평평하게 만들 수 있어서 기판에 정확하게 본딩할 수 있다.
또한, 본 발명의 얼라인-본딩장치는 평평하게 펴진 접착필름이 진공챔버 내로 이동되어 다시 진공챔버 내에서 고정되어도 접착필름의 평평도가 변화되지 않아서 접착필름을 기판에 정확하게 본딩할 수 있다.
또한, 본 발명의 얼라인-본딩장치는 접착필름을 기판의 위치에 맞게 얼라인하는 얼라인유닛에 고정하면서도 그 움직임을 방해하지 않아서 접착필름을 기판에 정확하게 본딩할 수 있다.
도 1은 본 발명의 얼라인-본딩장치의 실시예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명의 제1그립유닛, 제1인장력인가수단, 제2인장력인가수단의 일부를 분해 도시한 것이다.
도 3a는 본 발명의 제1그립유닛, 제1인장력인가수단, 제2인장력인가수단이 동작되기 전 상태를 도시한 것이고, 도 3b는 본 발명의 제1인장력인가수단이 동작된 상태를 도시한 것이고, 도 3c는 본 발명의 제2인장력인가수단이 동작된 상태를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명의 진공챔버가 미도시된 진공얼라인장치의 일측면을 도시한 것이다.
도 5는 본 발명의 진공챔버가 미도시된 진공얼라인장치의 타측면을 도시한 것이다.
도 6은 본 발명의 가이드바의 돌출연결부, 제1수직이동봉, 연결매개체를 확도 도시한 것이다.
도 7은 본 발명의 볼 및 수직이동봉을 도시한 것이다.
도 8a는 제2그립유닛이 동작되는 상태를 도시한 것이고, 도 8b는 본 발명의 제3인장력인가수단의 동작을 도시한 것이다.
이하, 본 발명의 일실시예를 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 그러나 이는 본 발명의 범위를 한정하려고 의도된 것은 아니다.
각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 것일 뿐이고, 본 발명의 범위를 한정하는 것이 아니다.
이하에서는 설명의 편의를 위하여 플랫화장치를 설명할 때에는 도 3a, 3b, 3c를 기준으로 제1축은 x축, 제2축은 y축, 제1축을 기준으로는 우측을 +, 좌측을 -로, 제2축을 기준으로는 상측을 +, 하측을 -로 설명하도록 하겠다.
또한, 진공얼라인장치를 설명할 때는 도 8a, 8b를 기준으로 제1축은 x축, 제2축은 y축, 제3축은 z축으로 명명하여 설명하며, 제1축을 기준으로는 우측을 +, 좌측을 -로, 제2축을 기준으로는 전방측을 +, 후방측을 - , 제3축을 기준으로 상측을 +, 하측을 -로 설명하도록 하겠다.
도 1은 본 발명의 얼라인-본딩장치의 실시예를 도시한 것이다.
본 발명의 일실시예에 의한 얼라인-본딩장치는 플랫화장치(1000)와 진공얼라인장치(2000)를 포함한다.
얼라인-본딩장치는 연결필름을 평평하게 펴고, 진공에서 얼라인과정을 거쳐서 기판에 정확하게 부착하는 장치이다.
연결필름은 접착필름과 접착필름을 보호하는 보호필름으로 구성된 필름이다.
여기서, 연결필름은 본 발명에서 생략된 커팅공정이 완료된 필름을 의미하는데, 여기서는 설명의 편의를 위하여 기판의 형상이 원형으로 형성되어 접착필름이 원형으로 커팅되고, 커팅된 접착필름이 배치된 사각형의 보호필름을 통칭하여 명명하도록 하겠다.
그러나 본 발명을 해석할 때 위와 같은 형상 및 구성에 한정되어 해석되지 않음은 당연할 것이다.
도 2는 본 발명의 제1그립유닛, 제1인장력인가수단, 제2인장력인가수단의 일부를 분해 도시한 것이다.
플랫화장치(1000)는 제1그립유닛(200), 제1인장력인가수단(300), 제2인장력인가수단(400)으로 연결필름을 평평하게 펴고, 진공챔버(600)로 연결필름을 전달하는 장치이다.
진공얼라인장치(2000)는 진공챔버(600) 내에서 플랫화장치(1000)로부터 평평하게 펴진 연결필름을 전달받고, 고정하며, 연결필름을 기판에 맞추어 얼라인한 후 연결필름을 기판에 부착하는 장치이다.
플랫화장치(1000)는 베이스부(100), 암부(110), 관절부, 팜(Palm)부(120), 제1그립유닛(200), 제1인장력인가수단(300), 제2인장력인가수단(400) 및 제어부를 포함한다.
베이스부(100)는 플랫화장치(1000)를 지지하는 역할을 하는 것으로, 지면 또는 다른 것과 맞닿아서 지지하는 역할을 한다.
일예시로 베이스부(100)는 육면체 형상의 케이싱일 수 있다.
베이스부(100)의 내부에는 각종 전자장치가 설치될 수 있다.
암부(110)는 일측이 베이스부(100)에 연결되고 타측이 팜(Palm)부(120)와 연결될 수 있다.
일예시적으로 암부(110)는 설정된 기울기 각도를 가지고 형성될 수 있으며, 설정된 길이를 가지며 형성될 수 있다.
관절부는 암부(110), 베이스부(100)와 암부(110) 사이 또는 암부(110)와 팜(Palm)부(120) 사이에 설치될 수 있다.
관절부는 설치된 대상체들을 설정된 범위만큼 회전할 수 있도록 허용한다. 즉, 일예시적으로 암부(110)는 제1암부(110-1)와 제2암부(110-2)로 구분될 수 있고, 제1암부(110-1)와 제2암부(110-1) 사이에 관절부가 설치되어 제1암부(110-1)와 제2암부(110-1)는 상호 회전을 할 수 있다.
또한, 관절부는 암부(110)와 베이스부(100) 사이에 설치되어, 암부(110)가 베이스부(100)를 기준으로 회전할 수 있도록 하며, 암부(110)와 팜(Palm)부(120) 사이에 설치되어, 팜(Palm)부(120)가 암부(110)를 기준으로 회전할 수 있도록 한다.
위와 같이 관절부의 존재로 인하여, 암부(110) 및 팜(Palm)부(120)는 회전을 하게되어 커팅 공정이 수행된 연결필름을 전달받을 수 있고, 그 후 연결필름을 평평하게 핀 후 진공얼라인장치(2000)로 전달할 수 있다.
팜(Palm)부(120)는 일측면에 연결필름이 안착될 수 있다.
팜(Palm)부(120)는 제1팜(Palm)부(121) 및 제2팜(Palm)부(122)로 구성된다.
제1팜(Palm)부(121)는 암부(110)와 연결된다. 제1팜(Palm)부(121)와 암부(110) 사이에는 전술한 관절부가 설치될 수 있다.
제2팜(Palm)부(122)는 일측면에 연결필름이 안착될 수 있다. 제2팜(Palm)부(122)는 제1팜(Palm)부(121)에 연결되어 사각의 형상으로 형성되되 모서리가 절개된 형태로 형성될 수 있다. 이렇게 절개된 상태로 형성된다. 제2팜(Palm)부(122)의 절개된 부분에는 제1그립핸드(250)가 배치되어 연결필름을 그립할 수 있다.
제1그립유닛(200)은 팜(Palm)부(120)에 설치되고, 연결필름을 그립하는 제1그립핸드(250)를 포함한다. 제1그립핸드(250)는 연결필름을 적어도 대칭되는 위치에서 그립한다. 즉, 제1그립핸드(250)는 사각형으로 형성된 연결필름의 모서리를 그립한다.
제1인장력인가수단(300)은 제1그립핸드(250)에 제1축을 따라 제1인장력을 부여하는 수단이다.
도 3a, 3b, 3c를 통하여 이를 설명하면, 연결필름을 그립한 제1그립핸드(250)를 x축방향을 따라 연결필름을 피는 방향으로 인장력을 부여하여 연결필름을 평평하게 한다.
제2인장력인가수단(400)은 제2그립핸드(820)에 제2축방향으로 제2인장력을 가하는 수단이다.
즉, 연결필름을 기준으로 제1인장력인가수단(300) 및 제2인장력인가수단(400)을 통한 연결필름을 평평하게 하는 것을 살펴보면, 사각형으로 형성된 연결필름의 4개의 모서리를 그립한 제1그립핸드(250)가 각각 대칭되는 x축방향으로 인장력을 받아서 연결필름을 펴고, 그 후 대칭되는 y축방향으로 인장력을 받아서 연결필름을 펴도록 한다.
제어부는 제1인장력인가수단(300) 및 제2인장력인가수단(400)을 제어한다. 따라서, 연결필름이 x축방향으로 펴지고 난 후, y축방향으로 펴지도록 제1인장력인가수단(300)을 동작한 후 제2인장력인가수단(400)이 동작되도록 제어한다.
도 3a는 본 발명의 제1그립유닛, 제1인장력인가수단, 제2인장력인가수단이 동작되기 전 상태를 도시한 것이고, 도 3b는 본 발명의 제1인장력인가수단이 동작된 상태를 도시한 것이고, 도 3c는 본 발명의 제2인장력인가수단이 동작된 상태를 도시한 것이다.
제1그립유닛(200)은 팜(Palm)부(120)의 타측면에 설치된다.
보다 정확하게는 제2팜(Palm)부(122)의 타측면에 설치된다.
제1그립유닛(200)은 제2바(230), 중간연결바(220), 제2바(230), 제3바(240), 회전매개체(260)를 포함한다.
제1그립유닛(200)의 각각의 구성은 링크연결체(270)로 연결된다.
제2바(230)는 팜(Palm)부(120)의 종방향을 따라서 팜(Palm)부(120)의 타측면에 배치된다. 제2바(230)는 후술할 제1실린더(310)에 의하여 x축을 따라서 일방향 또는 타방향으로 슬라이드 이동될 수 있다.
제2바(230)의 일측 단부와 타측 단부에는 "ㄴ"의 형태로 형성된 중간연결바(220)가 각각 설치될 수 있다.
중간연결바(220)는 제2바(230)의 일측 단부, 타측 단부에 연결되어 제2바(230)의 슬라이드 이동에 의하여 슬라이드 이동될 수 있다.
중간연결바(220)는 제1직선바(221)와 제1직선바(221)의 단부에서 제1직선바(221)와 수직방향으로 연결되는 제2직선바(222)로 구성될 수 있다.
제1직선바(221)의 일측은 제2바(230)와 연결되고, 타측은 제2직선바(222)와 연결될 수 있다.
여기서, 실시예에 의하는 경우, 제2바(230)와 중간연결바(220)는 별도의 피스가 아닌 하나의 피스로 형성될 수 있다.
제2바(230)는 중간연결바(220)와 연결되어 슬라이드 이동되도록 연결될 수 있다. 즉, 제2직선바(222)에 연결될 수 있다.
제2바(230)는 제1그립핸드(250)가 일측에 연결되고, 타측에는 회전매개체(260)와 링크연결체(270)를 통하여 연결된다.
여기서, 제1그립핸드(250)는 제2바(230)와 힌지결합되도록 연결된다. 즉, 제1그립핸드(250)는 제2바(230)가 -x축으로 이동되면 힌지결합을 축으로 회전하여 연결필름을 그립한다.
링크연결체(270)는 일측과 타측에 힌지결합을 통하여 회전 가능하도록 구성을 연결한다.
회전매개체(260)는 직선적 움직임을 회전운동으로 연결하는 역할을 하여서 제2바(230)의 슬라이드 이동을 회전운동으로 변형하여 제3바(240)에 전달하는 역할을 한다.
여기서, 회전매개체(260)는 제2바(230)와 제3바(240)와 각각 연결되되 링크연결체(270)를 통하여 연결되어 있다. 여기서, 링크연결체(270)는 제2바(230)와 제3바(240)에 연결된 원형의 회전매개체(260)에 연결되되 각각 대칭되는 위치에 연결되어 있다.
즉, 제2바(230)와 연결된 링크연결체(270)가 회전매개체(260)의 어느 한 부분과 연결되면 제3바(240)와 연결된 링크연결체(270)는 회전매개체(260)에서 제2바(230)와 연결된 링크연결체(270)가 연결된 부분과 대칭되는 위치에 고정된다.
따라서 제2바(230)가 -x축으로 이동되면 회전매개체(260)는 반시계방향으로 회전을 하고, 위와 같은 회전은 다시 링크연결체(270)를 통하여 제3바(240)를 +x축으로 이동되도록 연결할 수 있다.
제3바(240)는 제1그립핸드(250)와 일측에서 연결되고, 타측이 링크연결체(270)를 통하여 회전매개체(260)와 연결된다.
제3바(240)의 일측에 연결된 제1그립핸드(250) 또한, 제2바(230)와 마찬가지로 힌지결합으로 연결된다.
제3바(240)와 연결된 제1그립핸드(250)는 제2바(230)와 연결된 제2그립핸드(820)와 동일한 역할을 한다.
여기서, 제2바(230)와 제3바(240)는 회전매개체(260)를 사이에 두고 배치된다.
이러한 연결을 통하여 제2바(230)와 제3바(240)는 대칭적으로 반대로 이동될 수 있다.
즉, 제2바(230)가 -x축을 따라 이동하면, 제3바(240)는 +x축을 따라 이동된다.
제1인장력인가수단(300)은 제1실린더(310)와, 제1인장수단(320)을 포함하여 구성된다.
제1실린더(310)는 팜(Palm)부(120)의 타측면에 배치된다. 정확하게는 제1팜(Palm)부(121)의 타측면에 배치된다. 제1실린더(310)는 +, - x축으로 설정된 간격을 반복 운동할 수 있는 구동력을 가한다.
여기서, 제1실린더(310)는 전술한 제2바(230)에 연결되어 제2바(230)를 이동시킨다.
제1인장수단(320)은 일측이 팜(Palm)부(120)에 고정되고 타측이 제3바(240)와 연결되어 있다. 제1인장수단(320)은 제3바(240)가 이동되는 반대방향으로 인장력을 부여한다.
즉, 제3바(240)가 +x축을 따라 이동을 하면 -x축으로 제3바(240)를 당기는 역할을 한다.
이를 통하여 본 발명의 플랫화장치(1000)는 제1인장력을 가하여 연결필름을 평평하게 할 수 있다.
제2인장력인가수단(400)은 제2실린더(410), 슬라이드이동바(420), 슬라이드플레이트(430), 중간회전매개체(440) 및 제2인장수단(450)를 포함한다.
제2실린더(410)는 팜(Palm)부(120)의 타측면에 배치된다. 보다 정확하게는 제1팜(Palm)부(121)의 타측면에서 제1실린더(310)와 이격되어 설치된다.
제2실린더(410)는 제1실린더(310)와 마찬가지로 +, - x축으로 설정된 간격을 반복 운동할 수 있는 구동력을 가한다.
슬라이드이동바(420)는 일측이 제2실린더(410)와 연결되어 x축을 따라 이동될 수 있다.
슬라이드이동바(420)는 제2바(230)와 교차되도록 배치된다. 여기서, 슬라이드이동바(420)와 제2바(230)는 각각의 슬라이드 이동을 방해하지 않도록 연결된다.
즉, 슬라이드이동바(420)는 제1슬라이드이동바(421)와 제2슬라이드이동바(422)로 구성될 수 있으며, 제1슬라이드이동바(421)는 팜(Palm)부(120)의 타측면과 이격된 상태로 설치될 수 있다.
즉, 제2바(230)는 팜(Palm)부(120)의 타측면과 맞닿으며 연결되고, 슬라이드이동바(420)는 팜(Palm)부(120)의 타측면에서 이격되어 설치되는데, 이 슬라이드이동바(420)와 팜(Palm)부(120)의 타측면의 이격된 공간에 제2바(230)가 위치될 수 있다.
따라서 제2바(230)와 슬라이드이동바(420)는 상호 이동을 방해하지 않을 수 있다.
제1슬라이드이동바(421)는 제2슬라이드이동바(422)와 연결될 수 있다.
제2슬라이드이동바(422)는 팜(Palm)부(120)의 타측면을 슬라이드 이동되도록 하며, 제1슬라이드이동바(421)와 다르게 이격된 공간이 공간이 존재하지 않도록 설치된다.
슬라이드이동바(420)는 위와 같이 형성되므로, 제2바(230)의 이동을 방해하지 않으면서 안정적으로 팜(Palm)부(120)의 타측면에서 제2실린더(410)의 동작에 따라 슬라이드 이동될 수 있다.
슬라이드이동바(420)의 타측은 중간회전매개체(440)와 연결된다.
여기서, 슬라이드이동바(420)와 중간회전매개체(440)는 전술한 링크연결체(270)를 통하여 연결된다.
중간회전매개체(440)는 회전매개체(260)와 유사한 동작을 수행한다. 즉, 직선운동을 회전운동으로 변환하고 다시 이 회전운동을 다른 방향의 직선운동으로 전달하는 역할을 한다.
여기서, 중간회전매개체(440)는 전술한 회전매개체(260)와는 슬라이드이동바(420)의 +, - x축방향의 운동을 +, - y축방향의 운동으로 전달한다.
슬라이드플레이트(430)는 팜(Palm)부(120)의 타측면에서 슬라이드 이동 가능하도록 설치되고, 일측이 중간회전매개체(440)와 연결된다.
따라서 슬라이드플레이트(430)는 슬라이드이동바(420)가 x축을 따라 이동하는 경우, y축을 따라서 이동될 수 있다.
슬라이드플레이트(430)에는 제1그립유닛(200)이 설치된다.
보다 정확하게는 설명하기 위하여 제1그립유닛(200)을 도 3a, 3b, 3c를 기준으로 살펴보면, 제1그립유닛(200)은 상부와 하부에 대칭되도록 각 구성이 배치되고 설치되는데, 하부에 배치되고 설치된 구성이 슬라이드플레이트(430) 상에 설치된다.
따라서 슬라이드플레이트(430)가 이동되는 경우, 슬라이드플레이트(430) 상에 설치된 제1그립유닛(200)은 슬라이드플레이트(430)와 함께 이동될 수 있다.
제2인장수단(450)은 슬라이드플레이트(430)의 이동을 보조한다.
제2인장수단(450)은 일측이 팜(Palm)부(120)의 타측면에 고정되고 타측이 슬라이드플레이트(430)와 연결된다.
제2인장수단(450)은 전술한 제1인장수단(320)과 마찬가지로 인장력을 부여하는 역할을 하지만, 전술한 제1인장수단(320)은 제3바(240)의 이동을 방해하는 역할을 한다면, 제2인장수단(450)은 슬라이드플레이트(430)의 이동을 보조하는 역할을 한다.
제2인장수단(450)은 도 3을 기준으로 y축을 따라 배치되어 있다.
제2인장수단(450)은 슬라이드플레이트(430)가 +y축방향으로 이동하면 인장력을 -y축으로 가하여 슬라이드플레이트(430)의 이동을 방해한다. 슬라이드플레이트(430)가 반대로 동작하면 제2인장수단(450)은 슬라이드플레이트(430)의 이동을 방해하지 않는다.
위와 같은 제1인장력인가수단(300), 제2인장력인가수단(400)을 통하여 본 발명은 연결필름을 평평하게 펴지도록 하였다. 연결필름이 제1인장력인가수단(300)에 의하여 펴지는 방향벡터와 제2인장력인가수단(400)에 의하여 펴지는 방향벡터의 합은 대각방향으로 작용된다. 따라서, 연결필름은 평평하게 펴질 수 있다.
제어부는 제1실린더(310), 제2실린더(410) 및 관절부와 연결되어 각각을 제어된 움직임으로 제어한다.
제어부는 제1실린더(310)를 동작하고, 관절부를 동작하여 연결필름이 진공챔버(600) 내에 배치되면 제2실린더(410)를 동작하도록 한다.
제어부의 위와 같은 제어된 동작은 최종적으로 진공챔버(600) 내에서 연결필름을 펴도록 하여, 연결필름이 평평하도록 하기 위함이다.
진공챔버(600)는 용어에서 확인할 수 있듯이, 진공으로 유지되는 챔버로 대기압과 괴리된 기압을 가지는 공간이다. 대기압에서 연결필름을 평평하게 펴고, 진공챔버(600) 내로 이동시키면 기압차로 인하여 연결필름의 평평도가 변형되는 문제점이 발생하였다.
제어부는 위와 같은 문제점을 해결하기 위하여 연결필름을 평평하게 펴되, 최종적으로 연결필름은 진공챔버(600) 내에서 평평하게 펴지도록 하였다.
팜(Palm)부(120)에 연결필름이 안착되면 제어부는 제1실린더(310)를 동작한다.
제1실린더(310)가 도 3을 기준으로 -x축을 따라 이동하도록 구동력을 인가하면 제2바(230)는 -x축을 이동하고, 제2바(230)와 연결된 중간연결바(220)도 -x축으로 이동한다. 그러면 중간연결바(220)와 연결된 제2바(230)도 -x축을 따라 이동한다. 그러면 제2바(230)와 연결되어 직선 이동을 회전운동으로 변경하는 회전매개체(260)는 반시계방향으로 회전하고, 회전매개체(260)와 연결되되 제2바(230)와 대칭되는 위치에 연결된 제3바(240)는 +x축을 따라 이동한다.
제2바(230)와 제3바(240)에 연결된 제1그립핸드(250)가 연결필름의 모서리를 움켜잡는다. 이와 동시에 제1인장수단(320)은 제3바(240)를 -x축방향으로 인장력을 가하게 되어, 제3바(240)와 연결된 제1그립핸드(250)가 연결필름에 제1인장력이 가해지게 된다.
위와 같은 동작 후, 제어부는 관절부를 동작시켜 팜(Palm)부(120)가 진공챔버(600) 내로 배치되도록 한다. 팜(Palm)부(120)가 진공챔버(600) 내로 배치되면 제어부는 제2실린더(410)를 동작시킨다.
제2실린더(410)가 도 3을 기준으로 +x축을 따라 이동하도록 구동력을 인가하면 슬라이드이동바(420)는 +x축을 따라 이동하게 된다. 슬라이드이동바(420)의 이동에 의하여 중간회전매개체(440)는 시계방향으로 회전을 하면서 슬라이드플레이트(430)를 -y축방향으로 이동시키는 구동력을 전달한다. 그러면 슬라이드플레이트(430)는 제1그립유닛(200)과 함께 -y축으로 이동하며 연결필름에 제2인장력을 인가한다.
도 4는 본 발명의 진공챔버가 미도시된 진공얼라인장치의 일측면을 도시한 것이다.
도 5는 본 발명의 진공챔버가 미도시된 진공얼라인장치의 타측면을 도시한 것이다.
본 발명의 진공얼라인장치(2000)는 진공챔버(600), 얼라인유닛(700), 제2그립유닛(800), 제3인장력인가수단(900)을 포함하여 구성된다.
진공챔버(600)는 의미 그대로 내부와 외부를 차단하며 내부에 진공이 구현된 챔버이다. 진공챔버(600) 내에는 연결필름이 배치되고 얼라인 동작을 수행하는 얼라인유닛(700)과 얼라인유닛(700)과 이격된 위치에 배치되어 기판이 안착되는 안착체가 배치된다.
안착체는 기판을 배치하고, 얼라인유닛(700)의 얼라인 동작이 종료된 후 기판을 얼라인유닛(700) 방향으로 이동시켜 연결필름이 기판에 본딩될 수 있도록 한다.
진공챔버(600)의 외측에는 x축, y축 및 z축으로 이동될 수 있는 얼라인제어장치(710)가 설치된다. 얼라인유닛(700)은 진공챔버(600) 내부에서얼라인제어장치(710)와 연결되어 얼라인제어장치(710)의 이동에 따라 함께 이동될 수 있다.
얼라인유닛(700)과 얼라인제어장치(710)는 예를 들면 진공챔버(600)의 내, 외를 관통하되 연결봉의 둘레에는 밸로우즈가 설치되어 진공챔버(600)의 내부의 진공을 해하지 않는 연결봉을 통하여 연결될 수 있다. 따라서, 진공챔버(600)의 외부에서, x축, y축 및 z축으로 이동되는 얼라인제어장치(710)의 이동에 따라 얼라인장치는 x축, y축 및 z축으로 이동될 수 있다.
얼라인유닛(700)은 연결필름이 안착될 수 있다. 여기서, 얼라인유닛(700)은 연결필름이 안착되는 안착면이 하부로 향하며 진공챔버(600)의 상부에 배치된다.
전술한 안착체는 기판이 배치되는 안착면이 상부를 향하며 얼라인유닛(700)과 이격되어 진공챔버(600)의 하부에 배치될 수 있다.
여기서, 얼라인제어장치(710)는 일예시적으로 U,V,W 정밀 스테이지일 수 있다.
얼라인유닛(700)은 육면체의 형상으로 형성되며, 외측면을 포함하여 형성될 수 있다.
제2그립유닛(800)은 얼라인유닛(700)에 연결필름이 안착되면 이를 고정하는 역할을 한다.
제2그립유닛(800)은 가이드바(810), 제2그립핸드(820), 복수의 엑츄에이터(830), 제1수직이동봉(840) 및 연결매개체(850)를 포함하여 구성된다.
가이드바(810)는 얼라인유닛(700)의 외측면에 설치되어 외측면을 따라 슬라이드 이동될 수 있도록 설치된다. 즉, +, - Z축을 따라 이동될 수 있다.
제2그립핸드(820)는 가이드바(810)에 설치되어 가이드바(810)의 이동에 따라 함께 이동하며 연결필름을 그립하여 연결필름을 얼라인유닛(700)에 고정한다.
엑츄에이터(830)는 진공챔버(600)의 외부에 설치된다. 엑츄에이터(830)는 구동축을 이용하여 +, - Z축으로 이동될 수 있는 구동력을 전달한다.
엑츄에이터(830)는 일예시적으로 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 2개가 설치될 수 있다. 이는 사각의 형상으로 형성된 연결필름의 모서리를 그립하기 위하여 4개의 제2그립핸드(820)가 필요하며, 4개의 그립핸드는 총 2개의 가이드바(810)에 2개씩 설치되기에 총 2개의 가이드바(810)를 동작하기 위함이다.
그러나 이러한 개수는 통상의 지식을 가지는 자에 의하여 용이한 범위 내에서 변경될 수 있음은 당연하다.
제1수직이동봉(840)은 엑츄에이터(830)와 연결된다. 보다 정확하게는 엑츄에이터(830)의 구동축과 연결된다. 따라서 엑츄에이터(830)에 의하여 +, - Z축을 따라 이동될 수 있다.
여기서, 엑츄에이터(830)의 구동축 및 제1수직이동봉(840)의 둘레에는 전술한 연결봉과 마찬가지로 밸로우즈가 설치되어, 진공챔버(600)의 내부의 진공상태를 해하지 않는다.
도 6은 본 발명의 가이드바의 돌출연결부, 제1수직이동봉, 연결매개체를 확도 도시한 것이다.
연결매개체(850)는 제1수직이동봉(840)과 가이드바(810)를 연결한다. 연결매개체(850)는 제1수직이동봉(840)과 가이드바(810)를 Z축방향의 이동에서는 구속하되, x축, y축, z축으로는 구속시키지 않도록 연결된다.
즉, 연결매개체(850)는 제1수직이동봉(840)과 가이드바(810)의 수평방향의 움직임은 구속하지 않도록 연결한다.
연결매개체(850)는 제1연결매개체(851)와 제2연결매개체(852)로 구성된다.
가이드바(810)는 돌출연결부(811)를 포함하여 형성된다.
제1연결매개체(851)는 제1수직이동봉(840)과 회전가능하도록 연결된다. 제2연결매개체(852)는 제1연결매개체(851)와 회전 가능하도록 연결되고, 가이드바(810)의 돌출연결부(811)와 회전 가능하도록 연결된다.
따라서 얼라인유닛(700)이 얼라인동작을 수행하는 경우, 얼라인유닛(700)의 외측면에 설치된 가이드바(810)와 제2그립핸드(820)도 얼라인동작에 맞추어 x축, y축, z축으로 움직이게 되는데 진공챔버(600)의 외측에 고정되어 설치되는 엑츄에이터(910)와 얼라인 동작을 수행하는 가이드바(810)가 수평방향으로 얼라인 움직임을 허용하는 연결매개체(850)와 연결되는바, 위와 같은 얼라인동작을 방해하지 않는다.
제3인장력인가수단(900)은 제2그립핸드(820)에 제3인장력을 가하여 제2그립핸드(820)를 제3인장력을 가하는 방향으로 이동시켜 연결필름을 평평하게 한다.
제3인장력인가수단(900)은 엑츄에이터(910), 제2수직이동봉(920), 인장링크연결체(930)를 포함한다.
엑츄에이터(830)는 진공챔버(600)의 외측에 설치되며, 전술한 제2그립유닛(800)의 엑츄에이터(830)와 동일한 동작을 수행한다.
제2수직이동봉(920)은 제1수직이동봉(840)과 동일한 역할을 한다. 즉, 엑츄에이터(830)에 의하여 +, - z축으로 이동된다.
여기서, 제3인장력인가수단(900)의 엑츄에이터(830)의 구동축 및 제2수직이동봉(920)의 둘레에는 밸로우즈가 설치되어 있다.
인장링크연결체(930)는 제2수직이동봉(920)과 제2그립핸드(820)를 연결하되 제2수직이동봉(920)의 z축이동을 x축이동으로 변경하여 제2그립핸드(820)를 y축으로 이동될 수 있는 힘을 전달한다. 따라서 연결필름에 y축 방향을 따라 인장력을 가할 수 있어서 연결필름을 평평하게 고정할 수 있다.
도 7은 본 발명의 볼 및 수직이동봉을 도시한 것이다.
여기서, 제2수직이동봉(920)과 엑츄에이터(830) 사이에는 볼(940)이 설치되어 있다.
볼(940)은 엑츄에이터(830)와 제2수직이동봉(920)을 z축을 따라 이동하는 것은 구속하되, x축, y축, z축의 이동은 허용한다.
따라서, 진공챔버(600) 외측에서 고정된 엑츄에이터(910)와 x축, y축, z축으로 얼라인 동작을 수행하는 얼라인유닛(700)과 연결된 제2그립핸드(820)를 연결하여도 x축, y축, z축의 이동은 방해하지 않는다.
여기서, 제2수직이동봉(920)과 인장링크연결체(930)를 더욱자세히 살펴보면, 제2수직이동봉(920)은 하측에 수평방향으로 연장된 플랜지부가 형성된다.
이러한 플랜지부에는 링크연결체(270)를 통하여 인장링크연결체(930)와 연결되며 최종적으로 제2그립핸드(820)와 연결된다.
인장링크연결체(930)는 중간회전매개체(440), 링크이동체(932)를 포함한다.
도 8a는 제2그립유닛이 동작되는 상태를 도시한 것이고, 도 8b는 본 발명의 제3인장력인가수단의 동작을 도시한 것이다.
즉, 도 8a, 8b를 통하여 인장링크연결체(930)는 제2수직이동봉(920)에서 연결된 부분에서 제2그립핸드(820)와 연결된 부분으로 시야를 이동하면서 살펴보면, 중간회전매개체(440), 링크이동체(932), 중간회전매개체(440)로 구성된다.
이러한 중간회전매개체(440)와 링크이동체(932) 사이에는 각각 링크연결체(270)를 통하여 연결된다.
여기서, 얼라인유닛(700)이 얼라인 동작을 수행하여도 인가된 제3인장력은 변화되지 않도록 제3인장수단(940)이 설치된다. 보다 정확하게는 제3인장수단(930)은 일측은 얼라인유닛(700)과 연결되어 고정되고, 타측은 링크이동체(932)와 연결되어 얼라인 동작이 수행되어도 제3인장력이 변화되지 않도록 한다.
여기서 제어부는 제2그립유닛(800)의 엑츄에이터(830)와 제2인장력인가수단(900)의 엑츄에이터(910)및 얼라인제어장치(710)와 연결되어 제어된 동작을 수행하도록 제어할 수 있다.
제어부는 연결필름이 얼라인유닛(700)에 배치되면 엑츄에이터(830)를 동작하여 제1수직이동바가 -z축을 이동하도록 한다. 그러면 제1수직이동바와 연결된 연결매개체(850)도 -z축을 따라 이동하고, 연결매개체(850)와 연결된 가이드바(810)도 -z축을 따라 이동하여 제2그립핸드(820)가 연결필름을 그립하여 고정한다.
이후 제어부는 제2인장력인가수단(900)의 엑츄에이터(910)를 동작하도록 한다.
그러면 제2수직이동봉(920)은 -z축으로 이동하게 된다. 그러면 링크연결체(270)를 통하여 연결된 중간회전매개체(440)가 회전을 하며 +x축으로 링크연결체(270)를 통하여 연결된 링크이동체(932)를 끌어당긴다. 링크이동체(932)는 +x축으로 이동하고, 제2그립핸드(820)와 링크연결체(270)를 통하여 연결된 중간회전매개체(440)를 회전시킨다. 중간회전매개체(440)의 회전에 따라 제2그립핸드(820)는 가이드바(810)에 y축을 따라 형성된 가이드를 통하여 +y방향으로 이동되여 연결필름에 제3인장력을 가할 수 있다.
위와 같이 연결필름을 진공챔버(600) 내에서 고정한 후 제3인장력을 가하여 다시 평평하게 핀 상태에서 제어부는 얼라인제어장치(710)에 얼라인 동작을 수행하도록 한다. 여기서, 미도시되어 있지만 진공챔버(600) 내에 설치된 카메라를 통하여 연결필름과 기판의 정렬상태를 실시간으로 확인할 수 있는 카메라가 설치되고 작업자가 수동으로 제어부를 통하여 얼라인제어장치(710)를 조정하여 얼라인 동작이 수행될 수도 있다.
얼라인유닛(700)의 얼라인 동작이 완료되면 안착체가 직선적 움직임으로 상부로 이동하여 연결필름 방향측으로 가압되며 본딩될 수 있다.
본 발명은 특정한 실시 예에 관련하여 도시하고 설명하였지만, 이하의 특허청구범위에 의해 제공되는 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 한도 내에서, 본 발명이 다양하게 개량 및 변화될 수 있다는 것은 당 업계에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 자명할 것이다.
100 : 베이스부 110 : 암부
120 : 팜부 121 : 제1팜부
122 : 제2팜부 200 : 제1그립유닛
210 : 제1바 220 : 중간연결바
221 : 제1직선바 222 : 제2직선바
230 : 제2바 240 : 제3바
250 : 제1그립핸드 260 : 회전매개체
270 : 링크연결체 300 : 제1인장력인가수단
310 : 제1실린더 320 : 제1인장수단
400 : 제2인장력인가수단 410 : 제2실린더
420 : 슬라이드이동바 421 : 제1슬라이드이동바
422 : 제2슬라이드이동바 430 : 슬라이드플레이트
440 : 중간회전매개체 450 : 제2인장수단
600 : 진공챔버 700 : 얼라인유닛
710 : 얼라인제어장치
800 : 제2그립유닛 810 : 가이드바
811 : 돌출연결부 820 : 제2그립핸드
830 : (제2그립유닛 작동) 엑츄에이터
840 : 제1수직이동봉 850 : 연결매개체
851 : 제1연결매개체 852 : 제2연결매개체
900 : 제3인장력인가수단
910 : (제2수직이동봉 작동) 엑츄에이터
920 : 제2수직이동봉 930 : 인장링크연결체
931 : (인장링크연결체의) 중간회전매개체
932 : 링크이동체 940 : 제3인장수단
940 : 볼 1000 : 플랫화장치
2000 : 진공얼라인장치

Claims (8)

  1. 연결필름이 안착되는 팜(Palm)부;
    상기 팜(Palm)부에 설치되며, 상기 연결필름을 그립하는 복수개의 제1그립핸드를 포함하여, 상기 팜(Palm)부에 안착된 연결필름을 적어도 대칭되는 위치에서 그립하여 상기 연결필름을 상기 팜(Palm)부에 고정하는 제1그립유닛;
    상기 복수의 제1그립유닛에 제1축을 따라서 제1인장력을 부여하되, 적어도 대칭되는 위치에 배치된 제1그립핸드는 반대방향의 제1인장력을 가하도록 하는 제1인장력인가수단;
    상기 제1그립핸드가 상기 연결필름을 그립하고, 상기 제1인장력을 연결필름에 가하도록 유지하며, 상기 제1그립핸드 중 적어도 대칭되는 위치에 배치된 제1그립핸드에 상기 제1축과 교차되는 제2축을 따라 제2인장력을 가하는 제2인장력인가수단; 및
    베이스부, 일측이 상기 베이스부에 연결되고, 타측이 상기 팜(Palm)부에 연결되는 암부, 상기 암부에 형성되어 상기 암부가 설정된 회전이 가능하도록 하는 관절부 및 상기 팜(Palm)부의 일측에 배치되는 진공챔버를 포함하고, 상기 관절부, 제1인장력인가수단 및 제2인장력인가수단을 제어하되 적어도 제2인장력인가수단은 상기 팜(Palm)부가 상기 관절부에 의하여 회전 이동하여 진공챔버에 배치되면 동작하도록 제어하는 제어부; 를
    포함하는 연결필름 얼라인-본딩장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1그립유닛은,
    상기 팜(Palm)부의 타측면에서 제1축을 따라 슬라이드 이동 가능하도록 설치되고, 설정된 길이를 가지는 제1바;
    상기 제1바의 슬라이드 이동을 전달받아 회전운동으로 변경하는 회전매개체;
    상기 회전매개체를 사이에 두고 설치되며, 상기 회전매개체의 회전운동을 직선 운동으로 변경하여 상기 회전매개체의 회전에 따라 대칭되는 방향으로 상기 제1축을 따라 슬라이드 이동하는 제2바 및 제3바;
    상기 제2바와 제3바에 힌지결합되어 상기 제2바 및 제3바가 슬라이드 이동되면 상기 연결필름을 그립하는 그립핸드를 포함하는 연결필름 얼라인-본딩장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1인장력인가수단은,
    상기 제1바를 제1축을 따라 이동하도록 구동력을 가하는 제1실린더;
    상기 제1실린더에 구동에 의하여 상기 제1축을 따라 이동되는 상기 제2바 또는 제3바 중 적어도 어느 하나에는, 일측이 상기 팜(Palm)부와 연결되고 타측이 제2바 또는 제3바 중 적어도 어느 하나와 연결되어 슬라이드가 상기 제1실린더에 의하여 이동되는 방향과 반대방향으로 잡아당기며 인장력을 가하는 인장수단과 연결된 것
    을 특징으로 포함하는 연결필름 얼라인-본딩장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 제2인장력인가수단은,
    제2축을 따라 이동 가능한 구동력을 가하는 제2실린더
    상기 팜(Palm)부의 타측면에 설치되되, 상기 제1그립유닛이 상기 제1축으로 슬라이드 이동되도록 설치되며 상기 제2실린더의 구동력을 인가받아 제2축으로 슬라이드 이동되는 슬라이드플레이트
    를 포함하는 연결필름 얼라인-본딩장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 연결필름 얼라인-본딩장치는,
    설정된 형상으로 상기 진공챔버 내에서 상기 연결필름이 안착되며, 제어된 동작으로 수평 이동되어 얼라인 동작을 수행하는 얼라인유닛;
    상기 팜(Palm)부에 안착된 연결필름이 얼라인유닛에 안착되면 상기 연결필름을 상기 얼라인유닛에 고정하는 복수의 제2그립핸드를 포함하는 제2그립유닛 및
    상기 제2그립핸드에 제3인장력을 가하여 상기 연결필름을 평평하게 하는 제3인장력인가수단
    을 포함하는 연결필름 얼라인-본딩장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2그립유닛은,
    상기 얼라인유닛의 외측면을 따라 이동될 수 있는 가이드바;
    상기 가이드바에 연결되어 상기 가이드바의 이동에 따라 상기 연결필름을 그립할 수 있는 제2그립핸드;
    상기 진공챔버의 외부에 설치된 복수개의 엑츄에이터;
    상기 진공챔버를 관통하며 설치되되 상기 엑츄에이터에 의하여 상, 하 이동될 수 있는 제1수직이동봉;
    일측이 상기 제1수직이동봉과 연결되고 타측이 상기 가이드바와 연결되어 상기 제1수직이동봉의 이동을 상기 가이드바에 전달하되 상기 제1수직이동봉 또는 가이드바 중 적어도 어느 하나의 연결은 수평방향의 움직임에는 구속되지 않도록 연결하여 상기 얼라인유닛이 얼라인 동작을 수행할 때 상기 얼라인유닛의 이동을 제한하지 않는 연결매개체
    를 포함하는 연결필름 얼라인-본딩장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제3인장력인가수단은,
    상기 진공챔버의 외측에 설치된 엑츄에이터;
    상기 진공챔버를 관통하며 설치되고, 상기 엑츄에이터에 의하여 상, 하로 이동되는 제2수직이동봉;
    일측이 상기 제2수직이동봉과 연결되고 타측이 상기 제2그립핸드와 연결되어 상기 제2수직이동봉의 이동을 회전동작으로 연결하여 상기 제2그립핸드에 제3인장력을 가하는 인장링크연결체; 및
    상기 제2수직이동봉과 상기 엑츄에이터 사이에 설치되어 상기 얼라인유닛이 얼라인 동작을 수행하는 경우, 상기 엑츄에이터와 상기 제2수직이동봉을 수평방향의 움직임에는 구속되지 않도록 허용하는 볼;
    을 포함하는 연결필름 얼라인-본딩장치.
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