KR101898451B1

KR101898451B1 - Apparatus for manufacturing piezoelectric vibrating device

Info

Publication number: KR101898451B1
Application number: KR1020120057323A
Authority: KR
Inventors: 미노루 이이즈카; 츠요시 쿠사이; 타다히사 시오노; 모토키 와다; 요시히사 아토베
Original assignee: 가부시키가이샤 다이신쿠; 가부시키가이샤 쇼와 신쿠
Priority date: 2011-06-10
Filing date: 2012-05-30
Publication date: 2018-09-13
Also published as: JP2012257152A; TWI575870B; KR20120137237A; JP5757793B2; TW201251319A; CN102820865A; CN102820865B

Abstract

압전 진동 디바이스의 제조장치에서는 진공 분위기 하에서 복수의 밀봉부재를 가열 접합해서 진공 상태의 내부공간을 형성하고, 내부공간에 전자부품 소자를 기밀 밀봉하는 기밀 밀봉실과, 압전 진동 디바이스의 내부공간의 기밀 상태를 검사하는 검사실이 설치되고, 압전 진동 디바이스를 상기 기밀 밀봉실, 상기 검사실의 순서로 반송한다.A manufacturing apparatus for a piezoelectric vibration device includes a hermetic sealing chamber for heating and bonding a plurality of sealing members under a vacuum atmosphere to form an internal space in a vacuum state and hermetically sealing an electronic component element in an internal space; And the piezoelectric vibration device is transported in the order of the airtight sealing chamber and the inspection chamber.

Description

[0001] APPARATUS FOR MANUFACTURING PIEZOELECTRIC VIBRATING DEVICE [0002]

이 출원은 2011년 6월 10일에 일본에서 출원된 특허출원 2011-130085호에 의거하는 우선권을 청구한다. 이것에 언급함으로써 그 모든 내용은 본 출원에 도입하는 것이다.This application claims priority under U.S. Patent Application No. 2011-130085, filed on June 10, 2011, in Japan. The entire contents of which are incorporated herein by reference.

본 발명은 압전 진동 디바이스의 제조장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for manufacturing a piezoelectric vibrating device.

현재, 압전 진동 디바이스로서, 예를 들면 발진기나 수정 진동자 등을 들 수 있다. 이 종류의 압전 진동 디바이스에서는 그 하우징이 대략 직육면체의 패키지로 구성된다. 이 패키지는 세라믹의 베이스와 금속의 캡으로 구성되고, 패키지 내부에는 기밀 밀봉된 내부공간이 형성되어 있다. 또한, 이 패키지 내부에서는 수정 진동편 등의 전자부품 소자가 베이스 상의 전극 패드에 도전성 접합재를 통해서 접합되어 있다. Currently, examples of the piezoelectric vibrating device include an oscillator and a crystal oscillator. In this type of piezoelectric vibrating device, the housing is composed of a substantially rectangular parallelepiped package. The package consists of a ceramic base and a metal cap, and a hermetically sealed inner space is formed inside the package. Further, in this package, electronic component elements such as quartz vibrating elements are bonded to the electrode pads on the base via the conductive bonding material.

이 압전 진동 디바이스를 제조하는 제조공정에는 수정 진동편을 베이스와 뚜껑에 의하여 기밀 밀봉하는 밀봉장치를 사용한 밀봉 공정과, 기밀 상태의 검사를 행하는 기밀 검사장치를 사용한 기밀 검사 공정이 포함된다. 이 중, 기밀 검사 공정은 에어를 이용한 조(粗) 검사인 그로스 리크 검사 공정과, 헬륨 가스를 사용한 미(微) 검사인 헬륨 리크 검사 공정을 갖는다[예를 들면, 특허문헌 1(이하, 일본 특허공개 2007-278914호 공보) 참조].The manufacturing process for manufacturing the piezoelectric vibrating device includes a sealing process using a sealing device that hermetically seals the quartz vibrating element with a base and a lid, and an airtight inspecting process using a hermetic sealing device for inspecting the hermetic state. Among these, the airtight inspecting process has a gross leak inspection process which is a rough inspection using air and a helium leak inspection process which is a microscopic inspection using helium gas (see, for example, Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-278914).

특허문헌 1의 기술은 턴테이블을 갖고, 기밀 검사의 대상 워크가 되는 전자 디바이스(수정 진동자나 IC칩 등)를 환상으로 반송시키면서 그로스 리크 검사와 헬륨 리크 검사를 행한다.The technology of Patent Document 1 has a turntable and conducts gross leak inspection and helium leak inspection while conveying an electronic device (a quartz vibrator, an IC chip, or the like) serving as a work to be subjected to a hermetic inspection in a ring shape.

종래의 기밀 검사 공정은 상기한 바와 같이 2개의 검사 공정(그로스 리크 검사 공정과 헬륨 리크 검사 공정)을 행하므로 기밀 검사 공정을 행하기 위해서 많은 제조 시간을 확보할 필요가 있다. 또한, 기밀 검사장치에서는 기밀 검사를 행하기 위해서 기밀 검사장치 내를 감압할 필요가 있고, 이 감압을 행하는 시간이 많이 걸린다. 특히, 헬륨 리크 검사 공정에서는 헬륨을 패키지 내에 주입하기 위한 시간(예를 들면, 약 1시간)을 필요로 한다.Since the conventional airtight inspecting process carries out two inspecting processes (the gross leak inspection process and the helium leak inspecting process) as described above, it is necessary to secure a large amount of manufacturing time in order to perform the airtight inspecting process. Further, in the airtight inspecting apparatus, it is necessary to depressurize the airtight inspecting apparatus in order to conduct the airtight inspecting, and it takes a long time to perform this decompressing. Particularly, in the helium leak inspection process, it takes a time (for example, about 1 hour) to inject helium into the package.

이와 같이, 특허문헌 1의 기술을 포함하는 종래 기술에서는 기밀 검사 공정을 행하기 위해서 많은 제조 시간이 필요하게 된다.As described above, in the prior art including the technique of Patent Document 1, a lot of manufacturing time is required to perform the airtight inspection process.

그래서, 상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명은 압전 진동 디바이스의 제조에 있어서 압전 진동 디바이스의 기밀 검사에 걸리는 시간을 단축시키는 전자 디바이스의 제조장치를 목적으로 한다.In order to solve the above problems, the present invention aims to provide an apparatus for manufacturing an electronic device that shortens the time taken to inspect the airtightness of the piezoelectric vibrating device in manufacturing the piezoelectric vibrating device.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 압전 진동 디바이스의 제조장치는 복수의 밀봉부재를 접합함으로써 내부공간이 형성되고, 이 내부공간에 압전 진동 소자를 포함하는 1개 이상의 전자부품 소자가 기밀 밀봉되고, 외부에 전기적으로 접속되는 외부단자로서 압전 진동 소자에 접속되는 압전 진동 소자용 외부단자가 형성된 압전 진동 디바이스의 제조장치에 있어서, 진공 분위기 하에서 복수의 밀봉부재를 가열 접합해서 진공 상태의 내부공간을 형성하고, 내부공간에 전자부품 소자를 기밀 밀봉하는 기밀 밀봉실과 압전 진동 디바이스의 내부공간의 기밀 상태를 검사하는 검사실이 설치되고, 압전 진동 디바이스를 상기 기밀 밀봉실, 상기 검사실의 순서로 반송하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, an apparatus for manufacturing a piezoelectric vibrating device according to the present invention is characterized in that an internal space is formed by joining a plurality of sealing members, and one or more electronic component elements including the piezoelectric vibrating element in the internal space are sealed And an external terminal for the piezoelectric vibrating element to be connected to the piezoelectric vibrating element as an external terminal electrically connected to the outside is provided, wherein the plurality of sealing members are heated and bonded under a vacuum atmosphere, An airtight sealing chamber for hermetically sealing the electronic component element in the internal space and an inspection chamber for inspecting the airtightness of the internal space of the piezoelectric vibrating device are provided and the piezoelectric vibration device is transported in the order of the airtight sealing chamber and the inspection chamber .

본 발명에 의하면, 압전 진동 디바이스의 기밀 밀봉을 행하기 위해서 사용하는 진공 상태(감압 상태)의 환경을 압전 진동 디바이스의 검사에도 사용할 수 있으므로, 기밀 검사를 행하기 위해서만 압전 진동 디바이스의 내부공간을 감압할 시간을 요하지 않아 기밀 검사에 걸리는 시간을 단축시키는 것이 가능해진다. 또한, 본 발명에 의하면 종래의 기술과 같이 2개의 검사 공정(그로스 리크 검사 공정과 헬륨 리크 검사 공정)을 행할 필요가 없고, 이 점에 있어서도 기밀 검사에 걸리는 시간을 단축시키는 것이 가능해진다. 또한, 본 발명에 의하면 종래 기술의 밀봉장치를 사용한 압전 진동 디바이스의 기밀 밀봉 공정과 기밀 검사장치를 사용한 압전 진동 디바이스의 기밀 검사 공정을 1개의 제조장치에 의해 실현할 수 있고, 그 결과, 압전 진동 디바이스의 제조 시간의 단축을 꾀하는데에 바람직하다.According to the present invention, since the environment in the vacuum state (reduced pressure state) used for hermetic sealing of the piezoelectric vibrating device can be used for the inspection of the piezoelectric vibrating device, the inner space of the piezoelectric vibrating device can be reduced It is possible to shorten the time required for the airtight inspection. Further, according to the present invention, it is not necessary to perform two inspection steps (gross leakage inspection process and helium leak inspection process) as in the conventional technique, and it is also possible to shorten the time required for the airtight inspection in this respect. According to the present invention, the airtight sealing process of the piezoelectric vibrating device using the sealing device of the prior art and the airtight inspecting process of the piezoelectric vibrating device using the airtight inspecting device can be realized by one manufacturing device. As a result, In order to shorten the manufacturing time of the semiconductor device.

또한, 본 발명에 의하면 상기 기밀 밀봉실에서 내부공간을 기밀 상태로 한 압전 진동 디바이스에 대하여 한번도 외부로 반송하지 않고, 상기 기밀 밀봉실로부터 상기 검사실로 압전 진동 디바이스를 반송하여 상기 검사실에 있어서 압전 진동 디바이스의 내부공간의 기밀 상태의 검사를 행하므로, 그대로 진공 분위기 하에서 기밀 검사를 행하는 것이 가능해진다. 그 결과, 내부공간의 정확한 기밀 검사를 행하는 것이 가능해진다. 이것에 대하여, 종래의 기술과 같이 기밀 밀봉과 기밀 검사를 각각 하면, 한번 대기 중에 압전 진동 디바이스를 반출시키게 되므로 내부공간의 기밀 누설이 있는 불량품의 압전 진동 디바이스에서는 내부공간의 상태가 변화되어 정상적인 기밀 검사를 행할 수 없다.According to the present invention, the piezoelectric vibrating device in which the inner space is made airtight in the hermetic sealing chamber is conveyed from the hermetic sealing chamber to the examination chamber without carrying it once to the outside, The airtightness of the inner space of the device is inspected. Therefore, the airtightness inspection can be performed in a vacuum atmosphere. As a result, accurate airtightness inspection of the inner space can be performed. On the other hand, when the airtight sealing and the airtightness inspection are performed as in the prior art, the piezoelectric vibrating device is taken out of the atmosphere once, so that the state of the internal space of the defective piezoelectric vibrating device, The inspection can not be performed.

상기 구성에 있어서 진공 분위기 하에서 밀봉부재를 예비 가열하는 예비 가열실이 설치되고, 압전 진동 디바이스를 상기 예비 가열실, 상기 기밀 밀봉실, 및 상기 검사실의 순서로 반송해도 좋다.In the above configuration, a preheating chamber for preliminarily heating the sealing member in a vacuum atmosphere may be provided, and the piezoelectric vibrating device may be transported in the order of the preheating chamber, the hermetically sealed chamber, and the test chamber.

이 구성에 있어서 복수의 밀봉부재를 국소 가열에 의해 가열 용융 접합할 경우, 가열 접합하는 상기 기밀 밀봉실의 전실(前室)에 상기 예비 가열실이 설치되어 있기 때문에 밀봉부재의 열변형나 열응력의 악영향을 억제하는 것이 가능해진다. 또한, 복수의 밀봉부재를 분위기 가열에 의해 가열 용융 접합할 경우 밀봉부재를 보다 균일하게 소정의 온도까지 상승시킬 필요가 있다. 본 구성에 의하면 상기 기밀 밀봉실의 전실에 상기 예비 가열실이 설치되어 있기 때문에 상기 기밀 밀봉실에 있어서 밀봉부재를 보다 균일하게 소정의 온도까지 상승시키는 시간을 적게 하는 것이 가능해진다. 그 결과, 상기 예비 가열실이 설치되지 않아 기밀 밀봉실만으로 가열하는 제조장치에 비하여 밀봉 공정의 택트 저감에 더한층 바람직한 것으로 된다.In this configuration, when the plurality of sealing members are heat-fused by local heating, since the preheating chamber is provided in the front chamber of the airtight sealing chamber to be heat bonded, the thermal deformation and the thermal stress Can be suppressed. Further, when the plurality of sealing members are heat-fused by the atmosphere heating, it is necessary to raise the sealing member to a predetermined temperature more uniformly. According to this configuration, since the preheating chamber is provided in the entire chamber of the airtight sealing chamber, it is possible to reduce the time for raising the sealing member to a predetermined temperature more uniformly in the airtight sealing chamber. As a result, the preheating chamber is not provided, so that it is preferable to the tacking of the sealing step as compared with the manufacturing apparatus for heating only the airtight sealing chamber.

상기 구성에 있어서 상기 검사실에서는 압전 진동 디바이스의 내부공간의 기밀 상태의 검사 이외에 압전 진동 소자용 외부단자를 사용한 압전 진동 디바이스의 전기적 특성의 검사를 행해도 좋다.In the above configuration, in the inspection room, the electrical characteristics of the piezoelectric vibrating device using the external terminal for the piezoelectric vibrating element may be inspected in addition to the inspection of the airtight state of the internal space of the piezoelectric vibrating device.

이 경우, 압전 진동 디바이스의 내부공간의 기밀 상태의 검사와, DLD 등의 전기적 특성의 검사를 동시에 행하는 것이 가능해진다. 또한, 압전 진동 디바이스의 전기적 특성의 검사를 행하기 위해서 새롭게 실이나 검사부재를 준비하지 않아도 좋고, 상기 제조장치의 간이화를 꾀하는 것이 가능해진다. 그 결과, 상기 제조장치 이외에 전기적 특성의 검사를 위한 제조장치를 새롭게 설치할 필요가 없어 제조 비용 및 제조 시간을 모두 억제하는 것이 가능해진다.In this case, it is possible to simultaneously inspect the airtightness of the inner space of the piezoelectric vibrating device and the electrical characteristics such as DLD. Further, in order to inspect the electrical characteristics of the piezoelectric vibrating device, it is not necessary to newly prepare the yarn and the inspection member, and the manufacturing apparatus can be simplified. As a result, there is no need to newly provide a manufacturing apparatus for inspecting electrical characteristics other than the manufacturing apparatus, thereby making it possible to suppress both the manufacturing cost and the manufacturing time.

상기 구성에 있어서, 상기 검사실에서는 압전 진동 디바이스의 내부공간의 기밀 상태의 검사 이외에 압전 진동 소자용 외부단자를 사용한 압전 진동 디바이스의 온도 특성의 검사를 행해도 좋다.In the above configuration, the temperature characteristic of the piezoelectric vibrating device using the external terminal for the piezoelectric vibrating element may be inspected in addition to the inspection of the airtight state of the internal space of the piezoelectric vibrating device.

이 경우, 압전 진동 디바이스의 내부공간의 기밀 상태의 검사와, 온도 특성의 검사를 동시에 행하는 것이 가능해진다. 그 때문에 압전 진동 디바이스의 온도 특성의 검사를 행하기 위해서 새롭게 실이나 검사부재를 준비하지 않아도 좋고, 상기 제조장치의 간이화를 꾀할 수 있다. 그 결과, 상기 제조장치 이외에 온도 특성의 검사를 위한 제조장치를 새롭게 설치하는 필요가 없어 제조 비용 및 제조 시간을 모두 억제하는 것이 가능해진다. 특히, 상기 기밀 밀봉실에서의 복수의 밀봉부재의 가열 접합에 분위기 가열을 이용했을 경우, 상기 기밀 밀봉실에서는 실내가 고온 상태가 되고, 그에 따라 압전 진동 디바이스도 고온 상태로 되어 있으므로 이 압전 진동 디바이스의 고온 상태를 적극적으로 이용하여 고온 하에 있어서의 압전 진동 디바이스의 온도 특성의 검사를 행할 수 있고, 압전 진동 디바이스의 온도 특성의 검사를 위해서 압전 진동 디바이스를 고온으로 하는 시간을 생략하는 것이 가능해진다.In this case, it is possible to simultaneously inspect the airtight state of the inner space of the piezoelectric vibrating device and the temperature characteristic. Therefore, it is not necessary to newly prepare the yarn or the inspection member to inspect the temperature characteristic of the piezoelectric vibration device, and the manufacturing apparatus can be simplified. As a result, there is no need to newly install a manufacturing apparatus for inspecting the temperature characteristics in addition to the above-described manufacturing apparatus, thereby making it possible to suppress both the manufacturing cost and the manufacturing time. Particularly, when the atmosphere heating is used for the heating and bonding of the plurality of sealing members in the airtight sealing chamber, the room becomes a high temperature state in the airtight sealing chamber and accordingly the piezoelectric vibrating device is also in a high temperature state, The temperature characteristic of the piezoelectric vibrating device under high temperature can be inspected using the high temperature state of the piezoelectric vibrating device actively and the time for making the piezoelectric vibrating device high temperature for inspection of the temperature characteristic of the piezoelectric vibrating device can be omitted.

상기 구성에 있어서, 상기 검사실에는 압전 진동 디바이스의 온도를 미리 설정한 기준 온도로 조정하는 온도 조정부가 설치되어도 좋다.In the above configuration, the test chamber may be provided with a temperature adjusting unit for adjusting the temperature of the piezoelectric vibrating device to a predetermined reference temperature.

이 경우, 복수의 밀봉부재의 접합에 의해 고온으로 된 압전 진동 디바이스의 온도를 낮추는(예를 들면, 상온)데에 바람직하다. 또한, 온도 특성의 검사시의 압전 진동 디바이스의 온도를 제어하는 것에 최적이다.In this case, it is preferable that the temperature of the piezoelectric vibrating device which has been brought to a high temperature by bonding of the plural sealing members is lowered (for example, room temperature). It is also optimum to control the temperature of the piezoelectric vibration device at the time of inspecting the temperature characteristic.

상기 구성에 있어서 상기 검사실에서의 압전 진동 디바이스의 내부공간의 기밀 상태의 검사는 가압에 의한 압전 진동 디바이스의 내부공간의 기밀 상태의 검사를 포함해도 좋다.The inspection of the airtightness of the inner space of the piezoelectric vibrating device in the inspection room may include inspection of the airtightness of the inner space of the piezoelectric vibrating device by pressurization.

이 경우, 가압한 상태에서의 압전 진동 디바이스의 내부공간의 기밀 상태의 검사를 행하므로 기밀 밀봉 누설이 있었을 경우 CI값의 변동량이 비가압 하에 비해서 커진다. 그 때문에, 더욱 정밀도 좋은 기밀 검사를 행하는 것이 가능해진다.In this case, the airtight state of the inner space of the piezoelectric vibrating device under pressure is inspected, so that when the airtight seal leakage occurs, the fluctuation amount of the CI value becomes larger than under the pressure. Therefore, it is possible to carry out airtightness inspection with higher accuracy.

상기 구성에 있어서, 압전 진동 소자는 두께 미끄럼 진동을 행하는 소자이어도 좋다. 여기에서 말하는 두께 미끄럼 진동을 행하는 소자로서 AT컷 수정 진동편이나, BT컷 수정 진동편, SC컷 수정 진동편 등을 들 수 있다. 일반적으로 굴곡 진동을 이용한 압전 진동 소자에서는 진공 분위기와 대기 분위기에 있어서의 CI값 차가 100kΩ 이상이기 때문에 기준 온도(상온)에서의 CI값 측정에서 기밀 양부(良否) 판정을 행하기 쉽지만, 두께 미끄럼 진동을 행하는 소자에서는 이 CI값 차는 수Ω정도 밖에 안되어 기준 온도(상온)에서의 CI값 측정만으로는 기밀 양부 판정은 행할 수 없기 때문에, 본 발명의 전자 디바이스의 제조장치를 이용해서 정확한 기밀 양부 판정을 행한다.In the above configuration, the piezoelectric vibrating element may be an element that performs thickness slip vibration. Examples of the element for performing the thickness slip vibration include an AT cut quartz resonator element, a BT cut quartz resonator element, and an SC cut quartz crystal element. Generally, in a piezoelectric vibrating element using bending vibration, since the difference in CI value between a vacuum atmosphere and an atmospheric atmosphere is not less than 100 k?, It is easy to determine whether the airtightness is good or bad in the CI value measurement at the reference temperature (room temperature) The difference in the CI value is only a few Ω, and it is not possible to determine the airtightness by only measuring the CI value at the reference temperature (room temperature). Therefore, the airtightness correctness determination is performed accurately using the electronic device manufacturing apparatus of the present invention .

도 1은 본 실시형태 1에 의한 내부공간을 공개한 수정 진동자의 개략 측면도이다.
도 2는 본 실시형태 1에 의한 수정 진동자의 제조장치의 개략 구성을 나타낸 블럭도이다.
도 3은 본 실시형태 1에 의한 수정 진동자의 제조장치에서 사용하는 펠릿의 개략 평면도이다.
도 4는 본 실시형태 1에 의한 수정 진동자의 제조장치를 이용하여 CI값을 측정한 결과를 나타내는 데이터이다.
도 5는 압력 변화에 대한 CI값의 변화를 측정한 결과를 나타내는 데이터이다.
도 6은 본 실시의 다른 형태에 의한 내부공간을 공개한 발진기의 개략 측면도이다.
도 7은 본 실시의 다른 형태에 의한 수정 진동자의 제조장치의 개략 구성을 나타낸 블럭도이다.
도 8은 본 실시형태 2에 의한 수정 진동자의 제조장치의 개략 구성을 나타낸 블럭도이다.
도 9는 본 실시형태 3에 의한 수정 진동자의 제조장치의 개략 구성을 나타낸 블럭도이다.
도 10은 실시형태 4에 의한 수정 진동자의 제조장치의 개략 구성을 나타낸 블럭도이다.1 is a schematic side view of a quartz crystal resonator in which an internal space according to the first embodiment is disclosed.
2 is a block diagram showing a schematic configuration of an apparatus for manufacturing a quartz vibrator according to the first embodiment.
3 is a schematic plan view of a pellet used in the apparatus for producing a quartz crystal according to Embodiment 1 of the present invention.
4 is data showing the result of measuring the CI value using the apparatus for producing a quartz crystal according to the first embodiment.
5 is data showing the result of measuring the change of the CI value with respect to the pressure change.
6 is a schematic side view of an oscillator in which an inner space according to another embodiment of the present invention is disclosed.
7 is a block diagram showing a schematic configuration of an apparatus for manufacturing a quartz crystal vibrator according to another embodiment of the present invention.
8 is a block diagram showing a schematic configuration of an apparatus for manufacturing a quartz vibrator according to the second embodiment.
9 is a block diagram showing a schematic configuration of an apparatus for manufacturing a quartz crystal vibrating body according to the third embodiment.
10 is a block diagram showing a schematic configuration of an apparatus for manufacturing a quartz vibrator according to Embodiment 4 of the present invention.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조해서 설명한다. 또한, 이하에 나타내는 실시형태에서는 전자 디바이스로서 압전 진동 디바이스인 수정 진동자의 제조장치에 대하여 설명한다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, an apparatus for manufacturing a quartz crystal vibrator, which is a piezoelectric vibrating device, is described as an electronic device.

<실시형태 1>&Lt; Embodiment 1 >

-수정 진동자(1)-- Crystal oscillator (1) -

수정 진동자(1)에는, 도 1에 나타내는 바와 같이 전자부품 소자인 압전소자의 AT컷 수정 진동편(2)(이하, 수정 진동편이라고 함)과, 수정 진동편(2)을 탑재해 유지하는 베이스(3)(본 발명에서 말하는 밀봉부재)와, 베이스(3)의 일주면(31)에 유지한 수정 진동편(2)을 기밀 밀봉하기 위한 뚜껑(4)(본 발명에서 말하는 밀봉부재)이 설치되어 있다. 이 수정 진동자(1)에서는 베이스(3)와 뚜껑(4)이 접합부재(51)에 의해 가열 용융 접합되어서 본체 하우징(11)이 구성되고, 이 접합에 의해 기밀 밀봉된 본체 하우징(11)의 내부공간(12)이 형성된다. 또한, 본 실시형태에서는 접합부재(51)에 Ag 경납, Ni 도금, Au와 Sn 등의 AuSn 합금, 유리재 등이 사용되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는 밀봉부재로서 베이스(3)와 뚜껑(4)을 예시하고 있다.1, an AT cut quartz resonator element 2 (hereinafter referred to as a quartz crystal element) and a quartz crystal resonator element 2 of a piezoelectric element which is an electronic component element are mounted and held on the quartz crystal vibrator 1 A lid 4 (a sealing member in the present invention) for hermetically sealing the quartz crystal vibrating element 2 held on the main surface 31 of the base 3, a base 3 (a sealing member in the present invention) Is installed. In the quartz vibrator 1, the base 3 and the lid 4 are heat-fused and joined together by the joining member 51 to constitute the main body housing 11. The main body housing 11, which is hermetically sealed by this joining, An internal space 12 is formed. In the present embodiment, Ag solder, Ni plating, AuSn alloy such as Au and Sn, glass or the like is used for the bonding member 51. In the present embodiment, the base 3 and the lid 4 are illustrated as a sealing member.

수정 진동편(2)은 AT컷 수정편의 기판으로 이루어지고, 수정 진동편(2)의 기판은 도 1에 나타내는 바와 같이 원목(solid timber)의 직육면체 형상으로 이루어지고, 이 기판의 양 주면에는 한쌍의 여진 전극(도시생략)이 대향해서 형성되어 있다.The quartz crystal resonator element 2 is composed of a substrate of an AT cut crystal element. The quartz crystal element 2 has a rectangular solid shape as shown in Fig. 1, (Not shown) are formed opposite to each other.

뚜껑(4)은 도 1에 나타내는 바와 같이 원목의 코바르 모재(도전성 재료)로 이루어지고, 이 코바르 모재의 양 주면에 도시하지 않은 니켈층이 형성되고, 뚜껑(4)의 하면(니켈층)의 외주에 AuSn 합금이 형성되어 있다.1, a nickel layer (not shown) is formed on both main surfaces of the copper base material, and the lower surface of the lid 4 (nickel layer The AuSn alloy is formed on the outer periphery of the AuSn alloy.

베이스(3)는 알루미나 등의 세라믹 재료의 기재로 이루어지고, 도 1에 나타내는 바와 같이 저부(32)와, 베이스(3)의 일주면(31)의 주면 외주를 따라 저부(32)로부터 상방으로 연장된 벽부(33)로 구성된 상자형상체로 성형되어 있다.The base 3 is made of a base material made of a ceramic material such as alumina and has a bottom portion 32 and an upper portion 32 extending upward from the bottom portion 32 along the periphery of the main surface of the main surface 31 of the base 3 And is formed into a box-shaped body composed of the extended wall portion 33.

베이스(3)의 타주면(38)에는 외부의 회로기판(도시생략) 등의 외부 기기에 땜납 등의 도전성 접합재(도시생략)를 이용하여 전기적으로 접속하는 압전 진동 소자용 외부단자(34)가 형성되어 있다. 이 압전 진동 소자용 외부단자(34)는 수정 진동편(2)의 여진 전극에 도전성 접합재(52)를 통해서 전기적으로 접속되어 있다.An external terminal 34 for a piezoelectric vibrating element which is electrically connected to external equipment such as an external circuit board (not shown) by using a conductive bonding material (not shown) such as solder is provided on the rubbing surface 38 of the base 3 Respectively. The external terminal 34 for the piezoelectric vibrating element is electrically connected to the excitation electrode of the quartz crystal vibrating element 2 through the conductive bonding material 52.

수정 진동자(1)에서는 도 1에 나타내는 바와 같이 내부공간(12)인 베이스(3)의 저부(32) 상에 도전성 접합재(52)(도전성 수지 접착제, 금속 뱀프 , 도금 뱀프 등)를 통해서 수정 진동편(2)이 접합됨과 아울러 전기적으로 접속되어 있다(전기 기계적으로 접합되어 있다).1, the quartz crystal vibrator 1 is provided with a quartz crystal resonator 2 on the bottom 32 of the base 3 as the internal space 12 through a conductive bonding material 52 (a conductive resin adhesive, a metal bump or a plating bump) (2) are joined together and electrically connected (electromechanically joined).

그리고, 수정 진동편(2)이 탑재 접합된 베이스(3)가 가열 용융 접합에 의해 접합부재(51)를 통해서 뚜껑(4)에 접합되어서, 도 1에 나타내는 바와 같이 수정 진동편(2)을 기밀 밀봉한 수정 진동자(1)가 제조된다. 여기에서 제조된 수정 진동자(1)는 압전 진동 소자용 외부단자(34)를 통해서 외부의 회로기판에 땜납 등의 도전성 접합재에 의해 실장된다. 또한, 수정 진동편(2)을 베이스(3)에 접합하기 위해서 사용하는 가열 접합으로서 수정 진동편(2)이 탑재 접합된 베이스(3)를 포함하는 공간 전체를 가열해서 베이스(3)에 뚜껑(4)을 가열 용융 접합하는 분위기 가열 접합이나, 수정 진동편(2)이 탑재 접합된 베이스(3)에 뚜껑(4)을 배치하고[또는, 뚜껑(4)에 수정 진동편(2)이 탑재 접합된 베이스(3)를 배치하고], 베이스(3)와 뚜껑(4)의 접합 개소를 국소적으로 직접 가열시켜서 베이스(3)에 뚜껑(4)을 가열 용융 접합하는 국소 가열 접합(예를 들면, 심 용접이나 빔 용접) 등을 들 수 있다.The base 3 to which the quartz crystal vibrating element 2 is bonded is bonded to the lid 4 through the bonding member 51 by heat fusion bonding so that the quartz crystal vibrating element 2 A hermetically sealed crystal vibrator 1 is produced. The quartz vibrator 1 manufactured here is mounted on the external circuit board through the external terminal 34 for the piezoelectric vibrating element by a conductive bonding material such as solder. The entire space including the base 3 on which the quartz crystal vibrating element 2 is mounted and bonded is used as a heating joint used for joining the quartz crystal vibrating element 2 to the base 3, The lid 4 is placed on the base 3 on which the quartz crystal vibrating element 2 is mounted and the quartz vibrating element 2 is placed on the lid 4 The base 3 and the lid 4 are locally directly heated to place the lid 4 on the base 3 by heat fusion bonding For example, seam welding or beam welding).

이어서, 수정 진동자(1)를 제조하는 제조장치(7)에 대해서 도면을 사용하여 설명한다.Next, a manufacturing apparatus 7 for manufacturing the quartz vibrator 1 will be described with reference to the drawings.

-수정 진동자(1)의 제조장치(7)-- Manufacturing apparatus (7) of quartz crystal (1)

본 실시형태에 의한 수정 진동자(1)의 제조장치(7)에서는 가열 접합으로서 베이스(3)와 뚜껑(4)의 분위기 가열 접합을 이용한 제조를 나타내고 있고, 수정 진동편(2)을 베이스(3)와 뚜껑(4)에 의하여 기밀 밀봉하고, 기밀 밀봉한 수정 진동편(2)의 검사를 행한다. The manufacturing apparatus 7 of the quartz vibrator 1 according to the present embodiment shows manufacturing using the atmospheric heat bonding of the base 3 and the lid 4 as the heat bonding and the quartz crystal resonator element 2 is bonded to the base 3 And the lid 4 to inspect the quartz crystal resonator element 2 hermetically sealed.

제조장치(7)에서는, 도 2에 나타내는 바와 같이 복수의 실[도입실(71), 예비 가열실(72), 기밀 밀봉실(73), 검사실(75)]이 연속해서 나란히 설치되고, 수정 진동자(1)를 일방향(도 2에 나타내는 X방향)으로 반송하면서 수정 진동자(1)의 기밀 밀봉 및 검사를 행하는 인라인 방식의 제조장치이다. 여기에서 말하는 연속해서 나란히 있는 구성이란, 한번도 압전 진동 디바이스를 외부로 반송시키지 않고 각 실간을 반송시킬 수 있는 구성을 말한다.2, a plurality of chambers (introduction chambers 71, preheating chambers 72, hermetic sealing chambers 73, and examination chambers 75) are successively provided side by side in the production apparatus 7, Is an inline-type production apparatus for carrying out hermetic sealing and inspection of the quartz vibrator 1 while conveying the vibrator 1 in one direction (X direction shown in Fig. 2). Here, the configuration in which the piezoelectric vibrating device is arranged side by side means that the piezoelectric vibrating device can be transported without carrying the piezoelectric vibrating device to the outside.

구체적으로는, 제조장치(7)에서는 수정 진동자(1)의 반송 방향인 X방향을 따라 도입실(71), 예비 가열실(72), 기밀 밀봉실(73), 검사실(75)이 순차적으로 연속해서 배열되고, 복수의 수정 진동자(1)를 탑재한 1개의 펠릿(8)을 X방향으로 반송하면서 각 실[도입실(71), 예비 가열실(72), 기밀 밀봉실(73), 검사실(75)]에서 제조 처리를 행하는 것이다. 또한, 이 제조장치(7)에서는 도 2에 나타내는 바와 같이 외부와 도입실(71) 사이와, 도입실(71)과 제 1 예비 가열실(721) 사이와, 기밀 밀봉실(73)과 온도 조정실(74) 사이와, 온도 조정실(74)과 검사실(75) 사이와, 검사실(75)과 외부 사이에 게이트 밸브(76)가 각각 설치되어 각 실의 개방과 차단을 가능하게 하고, 각 실 내의 기압을 제어해서 기압 변화를 억제할 수 있다.Specifically, in the manufacturing apparatus 7, the introduction chamber 71, the preheating chamber 72, the hermetic sealing chamber 73, and the inspection chamber 75 are sequentially disposed along the X direction which is the conveying direction of the quartz vibrator 1 The preheating chamber 72, the hermetically sealed chamber 73, and the heat exchanging chamber 71 while continuously conveying one pellet 8 on which the plurality of quartz vibrators 1 are mounted in the X direction, And the manufacturing process is performed in the inspection room 75). 2, the manufacturing apparatus 7 is provided between the introduction chamber 71 and the first preheating chamber 721, between the hermetically sealed chamber 73 and the introduction chamber 71, A gate valve 76 is provided between the adjusting chamber 74 and between the temperature adjusting chamber 74 and the test chamber 75 and between the test chamber 75 and the outside so as to enable opening and closing of the respective chambers, It is possible to suppress the change in air pressure.

여기에서 말하는 펠릿(8)은, 도 3에 나타내는 바와 같이 직육면체로 성형된 플레이트로 구성되고, 이 펠릿(8)에는 매트릭스 형상으로 복수의 수정 진동자(1)가 배치되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는 최대 400개(20개×20개)의 수정 진동자(1)를 펠릿(8)에 배치할 수 있다. 또한, 최대 400개(20개×20개)의 수정 진동자(1)를 탑재 가능한 탑재부(81)는 평면으로 보아 정방형으로 되고, 펠릿(8) 상의 일대각 위치에 시험 기준이 되는 2개의 레퍼런스 워크(82)가 배치되어 있다. 본 실시형태에서는 레퍼런스 워크(82)로서 사전에 양품으로 판단된 수정 진동자를 사용한다.As shown in Fig. 3, the pellet 8 is composed of a plate molded into a rectangular parallelepiped, and a plurality of quartz crystals 1 are arranged in a matrix form in the pellet 8. As shown in Fig. In the present embodiment, up to 400 crystal oscillators (20 x 20) can be arranged in the pellet 8. In addition, the mounting portion 81, which can mount up to 400 crystal oscillators 1 (20 pieces x 20), is square in plan view, and two reference works (82) are disposed. In this embodiment, a quartz crystal judged to be good in advance is used as the reference work 82.

이어서, 복수의 실[도입실(71), 예비 가열실(72), 기밀 밀봉실(73), 온도 조정실(74), 검사실(75)]에 대해서 도 2를 사용하여 설명한다.Next, a plurality of chambers (the introduction chamber 71, the preheating chamber 72, the hermetic sealing chamber 73, the temperature adjusting chamber 74, and the inspection chamber 75) will be described with reference to FIG.

도입실(71)은 펠릿(8)을 제조장치(7)에 반입하는 실이며, 도입실(71)의 X방향의 상류측에 설치한 게이트 밸브(76)를 개방하여 내부공간(12)이 형성되어 있지 않은 수정 진동자(1)[즉, 베이스(3)와 뚜껑(4)이 별도의 부재로 되어 있는 상태의 수정 진동자(1)이며, 편의상, 미기밀 밀봉 상태의 수정 진동자(1)라고도 함]를 복수 탑재한 펠릿(8)을 밖으로부터 반입하고, 펠릿(8)을 반입한 후에 게이트 밸브(76)를 폐쇄한다. 그리고, 게이트 밸브(76)를 폐쇄한 후 도입실(71)의 실내를 기압 제어해서 감압하고, 대기 상태로부터 진공 상태로 기압 변경을 행한다.The introduction chamber 71 is a chamber for bringing the pellet 8 into the manufacturing apparatus 7 and opens the gate valve 76 provided on the upstream side in the X direction of the introduction chamber 71 to open the interior space 12 The quartz crystal vibrator 1 in which the base 3 and the lid 4 are separate members and which is not formed in the hermetically sealed state is also referred to as a quartz crystal vibrator 1 And the gate valve 76 is closed after the pellet 8 is carried in. After the gate valve 76 is closed, the pressure in the chamber of the introduction chamber 71 is controlled to be atmospheric pressure, and atmospheric pressure is changed from a standby state to a vacuum state.

예비 가열실(72)은 펠릿(8) 상의 미기밀 밀봉 상태의 수정 진동자(1)의 온도를 높이는 실이며, 도입실(71)의 X방향의 하류측에 인접하여 제 1 예비 가열실(721)과 제 2 예비 가열실(722)과 제 3 예비 가열실(723)로 구성된다. 제 1 예비 가열실(721)과 제 2 예비 가열실(722)과 제 3 예비 가열실(723)은 X방향을 따라 순차적으로 배치되며, 제 1 예비 가열실(721)이 도입실(71)에 인접하고, 제 1 예비 가열실(721)과 도입실(71) 사이는 개폐 가능한 게이트 밸브(76)에 의해 칸막이되어 있다. 예비 가열실(72)[제 1 예비 가열실(721)과 제 2 예비 가열실(722)과 제 3 예비 가열실(723)]에서는 실내가 진공 상태(진공 분위기)로 되어 있고, 제 1 예비 가열실(721)과 제 2 예비 가열실(722)과 제 3 예비 가열실(723)에서는 각각 미리 설정한 기준 온도로 설정되어 있다. 이 예비 가열실(72)에서는 도입실(71)의 실내가 진공 상태(진공 분위기)로 된 후에 도입실(71)의 X방향 하류측의 게이트 밸브(76)를 개방하여 도입실(71)로부터 펠릿(8)을 반입하고, 펠릿(8)을 반입한 후에 게이트 밸브(76)를 폐쇄한다. 그리고, 게이트 밸브(76)를 폐쇄한 후 펠릿(8)을 제 1 예비 가열실(721), 제 2 예비 가열실(722), 및 제 3 예비 가열실(723)의 순서로 반송시킴으로써 펠릿(8) 상의 미기밀 밀봉 상태의 수정 진동자(1)를 단계적으로 가열시켜서 미기밀 밀봉 상태의 수정 진동자(1)의 온도를 원하는 온도로 한다. 또한, 예비 가열실(72)의 기준 온도는 250∼290℃로 설정되어 있다.The preheating chamber 72 is a chamber for raising the temperature of the quartz crystal vibrator 1 in a hermetically sealed state on the pellet 8 and is adjacent to the downstream side of the introduction chamber 71 in the X direction and is connected to the first preheating chamber 721 A second preheating chamber 722, and a third preheating chamber 723. The first preheating chamber 721, the second preheating chamber 722 and the third preheating chamber 723 are sequentially arranged along the X direction, and the first preheating chamber 721 is disposed in the introduction chamber 71, And the first preheating chamber 721 and the introduction chamber 71 are partitioned by a gate valve 76 which can be opened and closed. In the preheating chamber 72 (the first preheating chamber 721, the second preheating chamber 722, and the third preheating chamber 723), the room is in a vacuum state (vacuum atmosphere) In the heating chamber 721, the second preheating chamber 722, and the third preheating chamber 723, preset reference temperatures are set. In the preheating chamber 72, after the chamber of the introduction chamber 71 is evacuated (vacuum atmosphere), the gate valve 76 on the downstream side in the X direction of the introduction chamber 71 is opened, The pellet 8 is carried in and the gate valve 76 is closed after the pellet 8 is carried. After the gate valve 76 is closed and the pellet 8 is transported in the order of the first preheating chamber 721, the second preheating chamber 722 and the third preheating chamber 723, 8) is stepwise heated to bring the temperature of the quartz crystal vibrating body 1 in a hermetically sealed state to a desired temperature. The reference temperature of the preheating chamber 72 is set to 250 to 290 ° C.

기밀 밀봉실(73)은 베이스(3)와 뚜껑(4)을 접합해서 수정 진동편(2)을 기밀 밀봉하는 실이며, 예비 가열실(72)[구체적으로는, 제 3 예비 가열실(723)]의 X방향의 하류측에 인접한다. 기밀 밀봉실(73)에서는 예비 가열실(72)과 마찬가지로 실내가 진공 상태(진공 분위기)로 되고 있고, 미리 설정한 기준 온도로 설정되어 있다. 이 기밀 밀봉실(73)에서는 진공 분위기 하의 예비 가열실(72)로부터 펠릿(8)을 반입하고, 펠릿(8) 상의 미기밀 밀봉 상태의 수정 진동자(1)를 접합부재(51)가 용융되는 용융 온도보다 높은 온도까지 가열한다. 그리고, 기밀 밀봉실(73)에 있어서 베이스(3)와 뚜껑(4)을 접합부재(51)를 통해서 가열 용융함으로써 접합하고, 베이스(3)에 탑재한 수정 진동편(2)을 내부공간(12)에 기밀 밀봉한다. 또한, 기밀 밀봉실(73)의 기준 온도는 약 300∼약 330℃로 설정되고, 기밀 밀봉실(73)에 있어서 수정 진동자(1)를 약 280℃로 가열한다. 또한, 본 명세서에서는 기밀 밀봉실(73)에서의 수정 진동자(1)[및 미기밀 밀봉 상태의 수정 진동자(1)]의 가열에 대한 상기 예비 가열실(72)에서의 미기밀 밀봉 상태의 수정 진동자(1)의 가열을 예비 가열이라고 한다.The airtight sealing chamber 73 is a chamber in which the base 3 and the lid 4 are bonded to each other to hermetically seal the quartz crystal resonator element 2. The preheating chamber 72 (specifically, the third preheating chamber 723 ) In the X direction. In the airtight sealing chamber 73, the room is set in a vacuum state (vacuum atmosphere) like the preheating chamber 72, and is set to a preset reference temperature. In the airtight sealing chamber 73, the pellet 8 is carried in from the preheating chamber 72 under a vacuum atmosphere and the quartz quartz crystal vibrator 1 in the hermetically sealed state on the pellet 8 is melted To a temperature higher than the melting temperature. The base 3 and the lid 4 are bonded to each other by heating and melting through the joining member 51 in the airtight sealing chamber 73 and the quartz vibrating reed 2 mounted on the base 3 is joined to the inner space 12). The reference temperature of the airtight sealing chamber 73 is set at about 300 to about 330 DEG C and the quartz crystal 1 is heated to about 280 DEG C in the airtight sealing chamber 73. [ In this specification, modification of the airtight sealing state in the preheating chamber 72 for heating the quartz crystal 1 (and the quartz crystal vibrating element 1 in a hermetically sealed state) in the airtight sealing chamber 73 Heating of the vibrator 1 is referred to as preliminary heating.

온도 조정실(74)은 수정 진동자(1)의 온도를 미리 설정한 기준 온도(본 실시형태에서는 상온인 약 25℃)로 조정하는 실이며, 기밀 밀봉실(73)의 X방향의 하류측에 인접한다. 이 온도 조정실(74)에서는 온도 조정부(도시생략)로서 펠티에 소자나 냉각판 등이 설치되어 있다. 이와 같이 기밀 밀봉실(73)과 검사실(75) 사이에 온도 조정실(74)을 설치함으로써 기밀 밀봉실(73)에서 분위기 가열에 의한 베이스(3)와 뚜껑(4)의 가열 접합에 의해 고온으로 되어 있는 수정 진동자(1)의 온도를 낮출 수 있다. 구체적으로는, 온도 조정실(74)에서는 수정 진동자(1)의 온도를 상온인 약 25℃로 낮추는 온도 조정을 행한다.The temperature adjusting chamber 74 is a chamber for adjusting the temperature of the quartz crystal vibrator 1 to a predetermined reference temperature (about 25 deg. C in the present embodiment) do. In the temperature adjusting chamber 74, a Peltier element, a cooling plate, and the like are provided as a temperature adjusting portion (not shown). By providing the temperature adjusting chamber 74 between the hermetic sealing chamber 73 and the test chamber 75 as described above, the temperature of the base 3 and the lid 4 can be increased by heating the atmosphere in the hermetic sealing chamber 73 to a high temperature The temperature of the quartz crystal vibrator 1 can be lowered. Specifically, in the temperature adjusting chamber 74, temperature adjustment is performed to lower the temperature of the quartz crystal vibrator 1 to about 25 캜 which is an ordinary temperature.

검사실(75)은 기밀 밀봉실(73)에서 기밀 밀봉한 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 기밀 상태를 검사하는 실이며, 온도 조정실(74)의 X방향의 하류측에 인접하고, 제 1 검사실(751)과 제 2 검사실(752)로 구성된다. 제 1 검사실(751)과 제 2 검사실(752)은 X방향을 따라 순서대로 배치되고, 제 1 검사실(751)이 온도 조정실(74)에 인접하고, 온도 조정실(74)과 제 1 검사실(751) 사이는 개폐 가능한 게이트 밸브(76)에 의해 칸막이되어 있다.The test chamber 75 is a chamber for inspecting the airtightness of the inner space 12 of the quartz crystal vibrator 1 hermetically sealed in the hermetic sealing chamber 73 and is adjacent to the downstream side of the temperature adjusting chamber 74 in the X direction, A first test chamber 751 and a second test chamber 752. [ The first test chamber 751 and the second test chamber 752 are arranged in order along the X direction and the first test chamber 751 is adjacent to the temperature control chamber 74 and the temperature control chamber 74 and the first test chamber 751 Are partitioned by a gate valve 76 that can be opened and closed.

제 1 검사실(751)에서는 진공 분위기 하에서 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 기밀 상태를 검사한다. 구체적으로는, 제 1 검사실(751)에서는 실내를 진공 상태로 하고, 온도 조정실(74)에서 약 25℃의 상온까지 수정 진동자(1)의 온도를 낮춘 후에 검사실(75)의 X방향의 상류측에 설치한 게이트 밸브(76)를 개방하여 온도 조정실(74)로부터 펠릿(8)을 반입하고, 펠릿(8)을 반입한 후에 게이트 밸브(76)를 폐쇄한다. 그리고, 게이트 밸브(76)를 폐쇄한 후 진공 분위기 하에서 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 기밀 상태의 검사[수정 진동자(1)의 CI값의 측정]를 행한다. 이 검사가 1회째의 측정이 되고, 이 1회째의 측정 결과와, 하기의 제 2 검사실(752)에 있어서의 2회째의 측정에 의해 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 기밀 상태의 검사를 행한다. 또한, 기밀 상태의 검사에서는 한쌍의 프로브 핀(도시생략)을 사용하고, 프로브 핀을 수정 진동자(1)의 압전 진동 소자용 외부단자(34)에 접속해서 수정 진동자(1)의 CI값을 측정한다.In the first test chamber 751, the airtight state of the inner space 12 of the quartz crystal vibrator 1 is inspected under a vacuum atmosphere. Specifically, in the first test chamber 751, the chamber is evacuated and the temperature of the quartz crystal 1 is lowered to the room temperature of about 25 ° C in the temperature adjusting chamber 74, The gate valve 76 is opened and the pellet 8 is carried in from the temperature adjusting chamber 74 and the gate valve 76 is closed after the pellet 8 is loaded. After the gate valve 76 is closed, the airtight state of the inner space 12 of the quartz crystal vibrator 1 (measurement of the CI value of the quartz crystal vibrator 1) is performed under a vacuum atmosphere. This inspection is performed for the first time and the first measurement result and the second measurement in the second inspection room 752 described below are used to determine the airtight state of the inner space 12 of the quartz crystal vibrator 1 Inspection is performed. The probe pin is connected to the external terminal 34 for the piezoelectric vibrating element of the crystal oscillator 1 to measure the CI value of the crystal oscillator 1 do.

이어서, 제 2 검사실(752)에서는 제 2 검사실(752)의 X방향의 상류측에 설치한 게이트 밸브(76)를 개방하여 제 1 검사실(751)로부터 펠릿(8)을 반입하고, 펠릿(8)을 반입한 후에 게이트 밸브(76)를 폐쇄한다. 그리고, 게이트 밸브(76)를 폐쇄한 후 실내를 대기 개방하고, 제 1 검사실(751)에서의 검사와 같은 온도(약 25℃)로 되어 있는 수정 진동자(1)에 대하여 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 기밀 상태의 검사[수정 진동자(1)의 CI값의 측정]를 행한다. 이 검사가 2회째의 측정이 된다. 2회째의 측정에서는 상기 제1회째의 측정과 마찬가지로, 기밀 상태의 검사에서는 한쌍의 프로브 핀을 사용하고, 프로브 핀을 수정 진동자(1)의 압전 진동 소자용 외부단자(34)에 접속해서 수정 진동자(1)의 CI값을 측정한다.Next, in the second test chamber 752, the gate valve 76 provided on the upstream side in the X direction of the second test chamber 752 is opened to transfer the pellet 8 from the first test chamber 751, and the pellet 8 The gate valve 76 is closed. After the gate valve 76 is closed and the chamber is opened to the atmosphere and the temperature of the quartz crystal 1 at the same temperature (about 25 DEG C) as that in the first examination room 751 is measured, (Measurement of the CI value of the crystal oscillator 1) of the inner space 12 is performed. This test is the second measurement. In the second measurement, a pair of probe pins are used in the inspection of the airtight state, and the probe pins are connected to the external terminals 34 for the piezoelectric vibrating element of the quartz vibrator 1, (1) is measured.

그리고, 기밀 검사 종료 후에 제 2 검사실(752)의 X방향의 하류측에 설치한 게이트 밸브(76)를 개방하여 펠릿(8)을 밖으로 반출한다. 펠릿(8)을 밖으로 반출한 후에 게이트 밸브(76)를 폐쇄하여 이 제조장치(7)에 의한 복수의 수정 진동자(1)의 제조를 끝낸다.After the completion of the airtight inspection, the gate valve 76 provided on the downstream side in the X direction of the second inspection chamber 752 is opened to discharge the pellet 8 out. The pellet 8 is taken out and then the gate valve 76 is closed to end the manufacture of the plurality of quartz crystal vibrators 1 by the manufacturing apparatus 7. [

또한, 예비 가열실(72), 기밀 밀봉실(73), 온도 조정실(74), 및 검사실(75)에 있어서의 펠릿(8) 상의 수정 진동자(1)의 온도의 측정은 다음과 같이 행한다. 우선, 레퍼런스 워크(82)와 시험을 행하는 검사 대상인 수정 진동자(1)의 발진 주파수의 측정을 행한다. 그리고, 레퍼런스 워크(82)의 발진 주파수의 값으로부터 제조장치(7)의 제어부(도시생략)에서 기준 온도에 대한 실질 온도의 오차를 산출하고, 이 산출한 오차에 의거하여 각 실에 있어서의 수정 진동자(1)의 온도 제어를 행한다. 또한, 수정 진동자(1)의 온도의 측정은 상기와 같은 레퍼런스 워크(82)를 사용하는 것에 한정되는 것은 아니고, 온도 센서를 사용하는 측정이어도 좋다.The temperature of the quartz crystal 1 on the pellet 8 in the preheating chamber 72, the hermetic sealing chamber 73, the temperature adjusting chamber 74 and the examination chamber 75 is measured as follows. First, the oscillation frequency of the reference work 82 and the crystal oscillator 1 to be inspected to be tested is measured. Based on the value of the oscillation frequency of the reference work 82, the control unit (not shown) of the manufacturing apparatus 7 calculates an error of the actual temperature with respect to the reference temperature, and based on the calculated error, The temperature of the vibrator 1 is controlled. The measurement of the temperature of the quartz crystal 1 is not limited to the use of the reference work 82 as described above, and measurement using a temperature sensor may be used.

이어서, 본 실시형태 1에 의한 제조장치(7)를 사용하여 수정 진동자(1)(평면 치수 : 3.2×2.5㎜)의 CI값을 실측했다(실험했다). 그 데이터를 도 4에 나타낸다. 이 도4에서는 도 2에 나타내는 제조장치(7)의 제 2 검사실(752)에서 수정 진동자(1)의 CI값을 실측한 결과를 나타내고, 가로축을 시간축으로 하고, 세로축을 CI값의 변화량(ΔCI)으로 한다. 본 실험에서는 사전에 미리 헬륨 리크 검사에서 리크가 없는 것을 확인한 2개의 수정 진동자(1)와, 동(同) 검사에서 리크가 있는 것을 확인한 6개의 수정 진동자(1)를 준비하고, 8개의 수정 진동자(1)를 펠릿(8)에 탑재하여 상기 제조방법에 의해 8개의 수정 진동자(1)의 CI값을 동시에 측정했다. 또한, 본 실험에서는 리크가 없는 수정 진동자(1)에 번호 1∼2를 붙이고, 리크가 있는 수정 진동자(1)에 번호 3∼8을 붙인다. Then, the CI value of the quartz vibrator 1 (plane dimension: 3.2 x 2.5 mm) was measured (experimented) by using the manufacturing apparatus 7 according to the first embodiment. The data is shown in Fig. 4 shows the result of actually measuring the CI value of the quartz crystal 1 in the second test chamber 752 of the manufacturing apparatus 7 shown in Fig. 2. The horizontal axis represents the time axis and the vertical axis represents the variation amount of the CI value (ΔCI ). In this experiment, two quartz crystal vibrators (1) confirmed to be free of leaks in advance and six quartz crystal vibrators (1) confirmed to be leaking in the same test were prepared in advance, and eight quartz crystals (1) was mounted on the pellet (8), and the CI values of the eight quartz crystal vibrators (1) were simultaneously measured by the above manufacturing method. In this experiment, numbers 1 to 2 are attached to the quartz crystal vibrator 1 having no leakage, and numbers 3 to 8 are attached to the quartz crystal vibrator 1 having a leak.

이 실험에 의하면, 도 4에 나타내는 바와 같이 번호 3∼8의 리크가 있는 수정 진동자(1)는 시간의 경과와 함께 CI값이 변화된다. 이에 대하여, 번호 1, 2의 리크가 없는 수정 진동자(1)는 시간이 경과해도 CI값이 변화되지 않는다. 즉, 리크가 있는 수정 진동자(1)만의 CI값이 변동하고, 이것으로부터 상기 제조장치(7)에 의하면 기밀 검사를 확실하게 행할 수 있다. 또한, 도 4에서는 실험을 위해서 제 2 검사실(752)에 있어서의 CI값의 변화량을 경시적으로 관측하고 있지만, 실제로는 제 2 검사실(752)에 반입하고나서 일정 시간 경과 후에 측정한 CI값과 제 1 검사실(751)에서 측정한 CI값을 비교하고, CI값의 변화량에 의해 리크의 유무를 검사(기밀 검사)한다.According to this experiment, as shown in Fig. 4, the quartz crystal resonator 1 having leaked numbers 3 to 8 has the CI value changed with the lapse of time. On the other hand, the CI value of the quartz crystal vibrator 1 having no leak of Nos. 1 and 2 does not change over time. That is, the CI value of only the quartz crystal vibrator 1 having a leak fluctuates, so that the manufacturing apparatus 7 can surely perform the airtightness inspection. In FIG. 4, the amount of change in the CI value in the second test chamber 752 is observed over time for the purpose of experimentation. Actually, however, the CI value measured after the lapse of a predetermined time from the second test chamber 752 The CI values measured in the first examination room 751 are compared, and the presence or absence of leakage is checked (confidential inspection) by the amount of change in the CI value.

본 발명에 의하면 수정 진동자(1)의 기밀 밀봉을 행하기 위해서 사용하는 진공 상태(감압 상태)의 환경을 수정 진동자(1)의 검사에도 사용할 수 있으므로, 기밀 검사를 행하기 위해서만 수정 진동자(1)의 내부공간(12)을 감압할 시간을 필요로 하지 않아 기밀 검사에 걸리는 시간을 단축시킬 수 있다. 또한, 본 실시형태에 의하면 종래의 기술과 같이 2개의 검사 공정(그로스 리크 검사 공정과 헬륨 리크 검사 공정)을 행할 필요가 없고, 이 점에 있어서도 기밀 검사에 걸리는 시간을 단축시킬 수 있다. 또한, 본 실시형태에 의하면 종래의 기술의 밀봉장치를 사용한 기밀 밀봉 공정과 기밀 검사장치를 사용한 기밀 검사 공정을 1개의 제조장치에 의해 실현할 수 있고, 그 결과, 수정 진동자(1)의 제조 시간의 단축을 꾀하는데에 바람직하다. According to the present invention, since the environment of the vacuum state (reduced pressure state) used for the hermetic sealing of the quartz crystal vibrator 1 can be used for the inspection of the quartz crystal vibrator 1, It is possible to shorten the time required for the airtight inspection because it is not necessary to reduce the time for depressurizing the inner space 12 of the airtight container. Further, according to the present embodiment, it is not necessary to perform two inspection steps (the gross leak inspection process and the helium leak inspection process) as in the conventional technique, and the time required for the airtight inspection can be shortened also in this respect. According to this embodiment, the hermetic sealing step using the sealing device of the prior art and the airtight inspecting step using the airtight inspecting device can be realized by one manufacturing device. As a result, It is preferable to shorten the time.

또한, 본 실시형태에 의하면 기밀 밀봉실(73)에서 내부공간(12)을 기밀 상태로 한 수정 진동자(1)에 대하여 한번도 외부로 반송하지 않고 기밀 밀봉실(73)로부터 제 1 검사실(751)로 수정 진동자(1)을 반송하고, 제 1 검사실(751)에 있어서 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 기밀 상태의 검사를 행하므로, 그대로 진공 분위기 하에서 1회째의 기밀 검사[수정 진동자(1)의 CI값의 측정]를 행할 수 있다. 그 후에 제 1 검사실(751)로부터 제 2 검사실(752)로 수정 진동자(1)를 반송하고, 제 2 검사실(752)에 있어서 대기 분위기 하에서 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 2회째의 기밀 검사[수정 진동자(1)의 CI값의 측정]를 행하고, 이들 검사 결과의 차를 비교할[수정 진동자(1)의 CI값의 변동량을 인식할) 수 있다. 그 결과, 수정 진동자(1)의 기밀 밀봉 후에 내부공간의 기밀 누설이 있는 불량품의 수정 진동자(1)이어도, 이들 검사 결과의 차를 비교함[수정 진동자(1)의 CI값의 변동량을 인식함)으로써 내부공간(12)의 정확한 기밀 검사를 행할 수 있다. 이것에 대하여, 종래의 기술과 같이 기밀 밀봉과 기밀 검사를 각각 하면, 한번 대기 중에 수정 진동자 등의 압전 진동 디바이스를 반출하게 되므로 내부공간의 기밀 누설이 있는 불량품인 수정 진동자 등의 압전 진동 디바이스에서는 내부공간의 상태가 변화되어 정상적인 기밀 검사를 행할 수 없다.According to the present embodiment, in the hermetic sealing chamber 73, the hermetically sealed chamber 73 is moved from the hermetically sealed chamber 73 to the first examination chamber 751 without being once conveyed to the quartz crystal vibrator 1, Since the quartz oscillator 1 is conveyed and the inside space 12 of the quartz vibrator 1 is inspected for the airtight state in the first test chamber 751, (Measurement of CI value of (1)] can be performed. Thereafter, the quartz crystal oscillator 1 is transferred from the first test chamber 751 to the second test chamber 752 and the second test chamber 752 is moved to the second test chamber 752 in the inner space 12 of the quartz crystal vibrator 1 (To measure the CI value of the quartz crystal 1), and to compare the difference between the results of the inspection (to recognize the variation in the CI value of the quartz crystal 1). As a result, even if the quartz crystal vibrator 1 is a defective quartz crystal 1 having a leaked air-tightness in the inner space after the hermetic sealing of the quartz crystal vibrator 1, the difference between these inspection results is compared (the amount of variation of the CI value of the quartz crystal 1 is recognized So that accurate airtightness inspection of the inner space 12 can be performed. On the other hand, in the piezoelectric vibrating device such as a quartz crystal vibrator or the like which is a defective product having an airtight leakage in the inner space because the piezoelectric vibrating device such as a quartz crystal vibrator is taken out once in the air, The state of the space is changed and normal airtightness inspection can not be performed.

또한, 본 실시형태에 의하면 예비 가열실(72)이 기밀 밀봉실(73)의 전실로서 설치되고, 수정 진동자(1)를 예비 가열실(72), 기밀 밀봉실(73), 및 검사실(75)의 순서로 반송한다. 이 구성에 있어서, 베이스(3)와 뚜껑(4)을 국소 가열에 의해 가열 용융 접합할 경우, 가열 접합하는 기밀 밀봉실(73)의 전실에 예비 가열실(72)이 설치되어 있기 때문에 베이스(3)와 뚜껑(4)의 열왜곡나 열응력의 악영향을 억제할 수 있다. 또한, 본 실시형태에 나타내는 바와 같이 베이스(3)와 뚜껑(4)을 분위기가열에 의해 가열 용융 접합할 경우, 베이스(3)와 뚜껑(4)을 보다 균일하게 소정의 온도까지 상승시킬 필요가 있다. 본 구성에 의하면, 기밀 밀봉실(73)의 전실(반송 전실)로서 예비 가열실(72)이 설치되어 있기 때문에 기밀 밀봉실(73)에 있어서 베이스(3)와 뚜껑(4)을 보다 균일하게 소정의 온도까지 상승시키는 시간을 적게 할 수 있다. 그 결과, 예비 가열실(72)이 설치되지 않고 기밀 밀봉실(73)만으로 가열하는 제조장치에 비하여 밀봉 공정의 택트 저감에 더한층 바람직한 것으로 된다.According to the present embodiment, the preheating chamber 72 is provided as a front chamber of the hermetic sealing chamber 73, and the crystal oscillator 1 is placed in the preheating chamber 72, the hermetic sealing chamber 73, ). In this configuration, when the base 3 and the lid 4 are heat-fused by local heating, since the preheating chamber 72 is provided in the front chamber of the hermetic sealing chamber 73 to be bonded by heating, 3 and the lid 4 can be suppressed from being adversely affected by thermal distortion and thermal stress. It is also necessary to raise the base 3 and the lid 4 more uniformly to a predetermined temperature in the case where the base 3 and the lid 4 are heated and fused by heating the atmosphere as shown in this embodiment have. According to this configuration, since the preheating chamber 72 is provided as the entire chamber (transfer chamber) of the hermetic sealing chamber 73, the base 3 and the lid 4 are more uniformly arranged in the hermetic sealing chamber 73 The time for raising the temperature to a predetermined temperature can be reduced. As a result, it is more preferable than the tact in the sealing process as compared with the manufacturing apparatus in which the preheating chamber 72 is not provided but is heated only in the airtight sealing chamber 73.

또한, 본 실시형태에서는 1번째의 CI값의 측정을 진공 분위기 하에서 행하고 있기 때문에 대기압 또는 그 이상의 압력을 가한 가압 분위기 하에서 1번째의 CI값의 측정을 행할 경우에 비하여 검사 시간을 단축할 수 있는 효과를 갖는다. 도 5에 밀봉 전의 수정 진동자(1)(평면 치수 : 3.2×2.5㎜)를 이용하여 진공조의 압력을 변화시키면서 CI값을 실측한 결과를 나타낸다. 도 5에서는 가로축을 압력으로 하고, 세로축을 CI값의 변화량(ΔCI)으로 한다. 도 5에 나타내는 바와 같이 압력변화 에 대한 CI값의 변화의 비율은 고압측(점성류 영역)에서 작고, 저압측(분자류 영역)에서 큰 것을 알 수 있다. 이것은 수정 진동자(1)의 CI값이 기체와의 마찰에 의해 상승하고, 이 마찰력이 분자류 영역에서는 압력에 비례하고, 점성류 영역에서는 압력의 1/2승에 비례하기 때문이다. 본 실시형태에서는 이 원리에 근거해 가열 밀봉의 진공 분위기를 이용하고 있기 때문에, 도 5에 나타내는 저압측의 분자류 영역에 있어서 CI값의 변화를 측정할 수 있다. 이것에 대하여, 대기압 하에서 1번째의 CI값의 측정을 행할 경우 대기압으로부터 감압 또는 가압 중 어느 한쪽으로 압력 변화를 시킨 후에 2회째의 CI값의 측정을 행할 필요가 있다. 이와 같이, 대기압으로부터 감압 또는 가압 중 어느 한쪽으로 압력 변화를 시켰을 경우, 점성류 영역에서 CI값이 변화되기 때문에 CI값의 변화량이 작아지고, 그 때문에 검사 시간을 길게 할 필요가 있다. 또한, 대기압 이상의 가압 분위기 하에서 1번째의 CI값의 측정을 행할 경우도 같다.Further, in the present embodiment, since the first CI value is measured in a vacuum atmosphere, it is possible to reduce the inspection time as compared with the case where the first CI value is measured under an atmospheric pressure or a higher pressure . 5 shows the result of actually measuring the CI value while changing the pressure of the vacuum chamber using the quartz vibrator 1 (plane dimension: 3.2 x 2.5 mm) before sealing. In Fig. 5, the abscissa represents the pressure and the ordinate represents the change amount (? CI) of the CI value. As shown in FIG. 5, the ratio of the change in the CI value to the pressure change is small in the high pressure side (viscous flow region) and large in the low pressure side (molecular flow region). This is because the CI value of the quartz crystal oscillator 1 rises due to friction with the gas and this frictional force is proportional to the pressure in the molecular flow region and proportional to the 1/2 power of the pressure in the viscous flow region. In the present embodiment, since the vacuum atmosphere of the heat sealing is used based on this principle, the change in the CI value can be measured in the molecular flow region on the low pressure side shown in Fig. On the other hand, when the first CI value is measured under the atmospheric pressure, it is necessary to measure the second CI value after changing the pressure from atmospheric pressure to either depressurization or pressurization. Thus, when the pressure is changed from the atmospheric pressure to either the reduced pressure or the pressurized state, the CI value changes in the viscous flow region, so that the amount of change in the CI value becomes small, and therefore, the inspection time needs to be prolonged. The same is true when the first CI value is measured in a pressurized atmosphere of atmospheric pressure or higher.

상기와 같이, 본 실시형태에 의하면 진공 상태에서 1번째의 CI값의 측정을 행함으로써 CI값의 변화량을 크게 할 수 있고, 그 결과, 대기압 또는 가압 상태로부터 압력 변화를 시킨 형태에 비하여 보다 적은 시간에 기밀 검사를 행할 수 있다.As described above, according to the present embodiment, by measuring the first CI value in the vacuum state, it is possible to increase the amount of change in the CI value, and as a result, the time required for the pressure change from the atmospheric pressure or the pressurized state The airtightness inspection can be performed.

또한, 본 실시형태에서는 1개의 펠릿(8)에 최대 400개의 수정 진동자(1)를 탑재할 수 있지만, 이 수정 진동자(1)의 탑재수는 한정되는 것은 아니고, 임의로 설정할 수 있다. In the present embodiment, up to 400 crystal oscillators 1 can be mounted on one pellet 8, but the number of crystal oscillators 1 to be mounted is not limited and can be set arbitrarily.

또한, 본 실시형태에서 말하는 수정 진동자(1)의 일방향(X방향)의 반송 방향이란 엄밀하게 X방향을 따르는 반송 방향이라는 것은 아니고, 수정 진동자(1)가 순환하는 일없이 수정 진동자(1)의 반송 방향이 한쪽이면 된다.The one direction (X direction) transport direction of the quartz vibrator 1 in the present embodiment is not strictly the transport direction along the X direction, and the transport direction of the quartz crystal 1 The conveying direction may be one side.

또한, 본 실시형태에서는 압전 진동 소자로서 AT컷 수정 진동편(2)을 사용하고 있지만 이것에 한정되는 것은 아니고, 압전 진동 소자는 두께 미끄럼 진동을 행하는 소자이면 된다. 여기에서 말하는 두께 미끄럼 진동을 행하는 소자로서 AT컷 수정 진동편 이외에, BT컷 수정 진동편, SC컷 수정 진동편 등을 들 수 있다. 일반적으로 굴곡 진동을 이용한 압전 진동 소자에서는 진공 분위기와 대기 분위기에 있어서의 CI값 차가 100kΩ 이상이기 때문에 기준 온도(상온)에서의 CI값 측정에서 기밀 양부 판정을 행하기 쉽지만, 두께 미끄럼 진동을 행하는 소자에서는 이 CI값 차는 수Ω정도 밖에 안되어 기준 온도(상온)에서의 CI값 측정만으로는 기밀 양부 판정은 행할 수 없기 때문에 본 실시형태의 제조장치(7)를 이용해서 정확한 기밀 양부 판정을 행한다.In the present embodiment, the AT cut quartz crystal resonator element 2 is used as the piezoelectric vibrating element, but the present invention is not limited to this. The piezoelectric vibrating element may be an element that performs thickness slip vibration. As an element for performing the thickness slip vibration, BT cut quartz resonator element, SC cut quartz resonator element, and the like can be mentioned in addition to the AT cut quartz resonator element. Generally, in a piezoelectric vibrating element using bending vibration, the difference in CI value in a vacuum atmosphere and an atmospheric atmosphere is 100 k? Or more, so it is easy to judge airtightness in CI value measurement at a reference temperature (room temperature). However, The difference in CI value is only a few OMEGA, so that it is not possible to determine the airtightness by only measuring the CI value at the reference temperature (room temperature). Therefore, the airtightness correctness determination is performed accurately using the manufacturing apparatus 7 of the present embodiment.

또한, 본 실시형태에서는 압전 진동 디바이스로서 도 1에 나타내는 수정 진동자(1)를 사용하고 있지만 이것에 한정되는 것은 아니고, 다른 형태의 수정 진동자나 수정 필터, 도 6에 나타내는 바와 같은 발진기(1) 등이어도 좋다. 또한, 도 6에 나타내는 발진기(1)는 본 실시형태와 같은 압전 진동 디바이스이므로, 편의상 수정 진동자와 같은 부호 1을 붙인다. 1 is used as the piezoelectric vibrating device in the present embodiment, the present invention is not limited to this, and other types of quartz vibrators and quartz crystal filters, such as the oscillator 1 shown in Fig. 6 . Since the oscillator 1 shown in Fig. 6 is the same as the piezoelectric vibrating device of the present embodiment, the same reference numeral 1 as the crystal oscillator is used for convenience.

도 6에 나타내는 발진기(1)에서는 수정 진동편(2)과, 수정 진동편(2)과 함께 발진회로를 구성하는 1칩 집적회로 소자(집적회로 소자)인 IC칩(6)(본 발명에서 말하는 전자부품 소자)와, 이들 수정 진동편(2) 및 IC칩(6)을 탑재해 유지하는 베이스(3)와, 베이스(3)의 일주면(31)에 유지한 수정 진동편(2) 및 IC칩(6)을 기밀 밀봉하기 위한 뚜껑(4)이 설치되어 있다. 이 발진기(1)의 내부공간(12)에는 베이스(3)에 단차부(35)가 형성되어 있다.The oscillator 1 shown in Fig. 6 includes a quartz crystal resonator element 2 and an IC chip 6 (an integrated circuit element) constituting an oscillation circuit together with the quartz crystal element 2 A base 3 on which the quartz crystal vibrating element 2 and the IC chip 6 are mounted and held and a quartz crystal vibrating element 2 held on a principal plane 31 of the base 3, And a lid 4 for hermetically sealing the IC chip 6 are provided. A stepped portion 35 is formed in the base 3 in the inner space 12 of the oscillator 1.

이 발진기(1)에서는, 도 6에 나타내는 바와 같이 내부공간인 베이스(3)의 단차부(35) 상에 도전성 접합재(52)(도전성 수지 접착제, 금속 뱀프, 도금 뱀프 등) 를 통해서 수정 진동편(2)이 접합됨과 아울러 전기적으로 접속되어 있다(전기 기계적으로 접합되어 있다). 또한, 내부공간(12)인 베이스(3)의 저부(32) 상에 IC칩(6)이 도전성 접합재(52)를 통해서 접합됨과 아울러 전기적으로 접속되어 있다(전기 기계적으로 접합되어 있다). 이와 같이, 내부공간(12)의 베이스(3) 상에서는, 도 6에 나타내는 바와 같이 단차부(35) 상에 접합된 수정 진동편(2)과 저부(32) 상에 접합된 IC칩(6)이 적층된 상태로 배치된다. 그리고, 베이스(3)의 외측면(36)에 수정 진동편(2)의 특성을 측정·검사하는 압전 진동 소자용 외부단자(34)가 형성되고, 베이스(3)의 타주면(38)에 외부의 회로기판(도시생략) 등의 외부기기에 전기적으로 접속하는 외부단자(37)가 형성되어 있다. 이 발진기(1)를 제조장치(7)로 제조할 경우, 검사실(75)에서는 한쌍의 프로브 핀이 압전 진동 소자용 외부단자(34)에 접해서 발진기(1)의 기밀 상태의 검사를 행한다.6, the oscillator 1 is connected to the step portion 35 of the base 3 as an internal space through a conductive bonding material 52 (conductive resin adhesive, metal bump, plating bump, etc.) (2) are electrically connected to each other (electromechanically bonded). The IC chip 6 is bonded to the bottom portion 32 of the base 3 which is the inner space 12 through the conductive bonding material 52 and is electrically connected thereto (electromechanically bonded). 6, the quartz resonator element 2 bonded on the step portion 35 and the IC chip 6 bonded on the bottom portion 32 are formed on the base 3 of the inner space 12, Are arranged in a stacked state. An external terminal 34 for a piezoelectric vibrating element for measuring and inspecting the characteristics of the quartz crystal vibrating element 2 is formed on the outer surface 36 of the base 3, And external terminals 37 electrically connected to external equipment such as an external circuit board (not shown) are formed. When the oscillator 1 is manufactured by the manufacturing apparatus 7, a pair of probe pins are brought into contact with the piezoelectric transducer external terminal 34 in the inspection chamber 75 to inspect the hermetic state of the oscillator 1.

또한, 본 실시형태의 검사실(75)에서는 진공 분위기 하와 대기 분위기 하에 있어서 수정 진동자(1)의 기밀 상태를 검사하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 또한 DLD 등의 전기 특성도 아울러 검사해도 좋다. 이 전기적 특성의 검사는 기밀 검사와 마찬가지로 한쌍의 프로브 핀을 이용하여 행한다. 그 때문에, 전기적 특성의 검사를 행하기 위해서 새롭게 실이나 검사부재를 준비하지 않아도 좋고, 수정 진동자(1)의 제조장치(7)의 간이화를 꾀할 수 있다. 그 결과, 본 제조장치(7) 이외에 전기적 특성의 검사를 위한 제조장치를 새롭게 설치할 필요가 없어 제조 비용 및 제조 시간을 모두 억제할 수 있다. 또한, 검사실(75)에 있어서의 수정 진동자(1)의 DLD 등의 전기 특성의 검사는 진공 분위기 하이여도 대기 분위기 하이여도 어느 쪽의 분위기 하이여도 행할 수 있다.In the inspection chamber 75 of the present embodiment, the airtight state of the quartz vibrator 1 is checked under a vacuum atmosphere and in an air atmosphere. However, the present invention is not limited to this, and electrical characteristics such as DLD may also be inspected. This electrical characteristic is inspected using a pair of probe pins as in the case of the airtight inspection. Therefore, it is not necessary to newly prepare the yarn or the inspection member to perform the inspection of the electrical characteristics, and the manufacturing apparatus 7 of the quartz crystal vibrator 1 can be simplified. As a result, there is no need to newly provide a manufacturing apparatus for inspecting the electrical characteristics other than the present manufacturing apparatus 7, so that both the manufacturing cost and the manufacturing time can be suppressed. The inspection of the electrical characteristics of the quartz crystal oscillator 1 in the laboratory 75, such as DLD, can be performed in a vacuum atmosphere or in an atmospheric atmosphere or in any atmosphere.

또한, 본 실시형태에서는 온도 조정실(74)과 검사실(75)을 나누고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 검사실(75)[구체적으로는 제 1 검사실(751)]에 온도 조정부를 형성해도 좋다. 즉, 검사실(75)이 온도 조정실(74)을 겸해도 좋다.In the present embodiment, the temperature adjusting chamber 74 is divided into the test chamber 75, but the present invention is not limited thereto. The temperature adjusting unit may be formed in the test chamber 75 (specifically, the first test chamber 751). That is, the test chamber 75 may also serve as the temperature adjusting chamber 74.

또한, 본 실시형태에서는 분위기 가열에 의해 베이스(3)와 뚜껑(4)의 가열 용융 접합을 행하고고 있지만 이것에 한정되나 것은 아니고, 기밀 밀봉실(73)에 있어서 심 용접에 의해 베이스(3)와 뚜껑(4)의 접합 개소를 국소적으로 직접 가열시켜서 베이스(3)에 뚜껑(4)을 가열 용융 접합해도 좋다. 이 심 용접에 의한 베이스(3)와 뚜껑(4)의 가열 접합을 채용함으로써 본 실시형태와 달리 기밀 밀봉실(73)의 실내의 온도를 높일 필요가 없고, 도 7에 나타내는 바와 같이 예비 가열실(72)과 온도 조정실(74)을 필요로 하지 않는 제조장치(7)로 수정 진동자(1)의 기밀 밀봉과 검사를 행할 수 있다. 또한, 도 7에 나타내는 제조장치(7)에 의한 제조방법은 본 실시형태 1의 제조장치(7)에 의한 제조방법에 준한다.In the present embodiment, the base 3 and the lid 4 are heat-fused by the atmosphere heating. However, the present invention is not limited to this, and the base 3 may be welded to the hermetic sealing chamber 73 by seam welding, And the lid 4 may be heated and fused to the base 3 by locally heating the joining portion of the lid 4 and the base 4 directly. Unlike the present embodiment, it is not necessary to increase the temperature of the room in the hermetic sealing chamber 73 by employing the heat bonding between the base 3 and the lid 4 by the seam welding. As shown in Fig. 7, The hermetic sealing and inspection of the quartz crystal vibrator 1 can be performed by the manufacturing apparatus 7 that does not require the temperature control chamber 72 and the temperature regulation chamber 74. The manufacturing method of the manufacturing apparatus 7 shown in Fig. 7 is based on the manufacturing method of the manufacturing apparatus 7 of the first embodiment.

<실시형태 2>&Lt; Embodiment 2 >

이어서, 본 실시형태 2에 의한 수정 진동자(1)의 제조장치(7)를 도면을 사용하여 설명한다. 또한, 본 실시형태 2에 의한 수정 진동자(1)의 제조장치(7)는 상기 실시형태 1에 대하여 온도 조정실(74)과 검사실(75)의 관계와, 검사실(75)의 구성이 다르다. 그 때문에, 실시형태 1에 의한 수정 진동자(1)의 제조장치(7)와 동일 구성에 의한 작용 효과 및 변형예는, 실시형태 1에 의한 수정 진동자(1)의 제조장치(7)와 같은 작용 효과 및 변형예를 갖는다. 그래서, 본 실시형태 2에서는 상기 실시형태 1과 다른 점에 대하여 설명하고, 동일한 구성에 대한 설명을 생략한다.Next, a manufacturing apparatus 7 for a quartz crystal vibrator 1 according to Embodiment 2 will be described with reference to the drawings. The manufacturing apparatus 7 for the quartz crystal vibrator 1 according to the second embodiment differs from the first embodiment in the relationship between the temperature adjusting chamber 74 and the test chamber 75 and the configuration of the test chamber 75. [ For this reason, the operation and modification of the quartz crystal vibrator 1 according to the first embodiment that are the same as those of the production apparatus 7 are the same as those of the quartz crystal vibrator 1 manufacturing apparatus 7 according to the first embodiment Effects and variations. Therefore, in the second embodiment, differences from the first embodiment will be described, and a description of the same configuration will be omitted.

본 실시형태에 의한 검사실(75)은, 도 8에 나타내는 바와 같이 제 3 검사실(753)과 제 4 검사실(754)과 제 5 검사실(755)로 구성되고, 제 3 검사실(753)에 있어서 진공 분위기 하에서 고온 상태의 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 온도 특성의 검사를 행하고, 제 4 검사실(754)에 있어서 진공 분위기 하에서 상온 상태의 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 기밀 상태와 온도 특성의 검사를 행하며, 제 5 검사실(755)에 있어서 대기 분위기 하에서 상온 상태의 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 기밀 상태의 검사를 행한다. 또한, 본 실시형태에서는 제 3 검사실(753)과 제 4 검사실(754) 사이에 온도 조정실(74)이 개재되고, 이 온도 조정실(74)에 의해 수정 진동자(1)의 온도를 고온(약 100℃)으로부터 상온(일반적으로는 약 25℃)으로 온도 조정한다.The test chamber 75 according to the present embodiment is constituted by a third test chamber 753, a fourth test chamber 754 and a fifth test chamber 755 as shown in FIG. 8, The temperature characteristic of the inner space 12 of the quartz crystal vibrator 1 at a high temperature under an atmosphere is checked in the fourth test chamber 754 and the temperature characteristic of the inner space 12 of the quartz crystal vibrator 1 at a normal temperature And the airtight state of the inner space 12 of the quartz crystal vibrator 1 at a normal temperature in an atmospheric environment is inspected in the fifth test chamber 755. [ In the present embodiment, a temperature adjusting chamber 74 is interposed between the third test chamber 753 and the fourth test chamber 754, and the temperature of the quartz crystal 1 is adjusted to a high temperature (about 100 Lt; 0 > C) to room temperature (generally about 25 [deg.] C).

제 3 검사실(753)은 기밀 밀봉실(73)[구체적으로는, 제 3 예비 가열실(723)]의 X방향의 하류측에 인접하고, 제 3 검사실(753)의 X방향의 상류측과 하류측에 각각 게이트 밸브(76)가 설치되어 있다. 제 3 검사실(753)에서는 베이스(3)와 뚜껑(4)의 접합에 의해 고온으로 되어 있는 수정 진동자(1)(약 100℃)의 온도 특성을 검사한다. 이 기밀 상태의 검사와 온도 특성의 검사에서는 한쌍의 프로브 핀(도시생략)을 사용하고, 프로브 핀을 수정 진동자(1)의 압전 진동 소자용 외부단자(34)에 접속해서 수정 진동자(1)의 CI값과 그 주파수를 측정한다. 또한, 여기에서의 측정은 온도 특성 검사의 1회째의 측정이 되고, 그리고 하기의 제 4 검사실(754)에 있어서의 검사가 2회째의 측정이 되며, 이들 합계 2회의 측정에 의해 수정 진동자(1)의 온도 특성의 검사를 행한다.The third test chamber 753 is adjacent to the downstream side in the X direction of the hermetically sealed chamber 73 (specifically, the third preheating chamber 723), and is located on the upstream side in the X direction of the third test chamber 753 And a gate valve 76 is provided on the downstream side. In the third test chamber 753, the temperature characteristic of the quartz crystal 1 (about 100 ° C) which is kept at a high temperature by the bonding of the base 3 and the lid 4 is inspected. In the inspection of the airtight state and the temperature characteristics, a pair of probe pins (not shown) are used, and the probe pins are connected to the external terminals 34 for the piezoelectric vibrating element of the quartz vibrator 1, Measure the CI value and its frequency. The measurement in this case is the first measurement of the temperature characteristic inspection, and the inspection in the fourth inspection room 754 is the second measurement, and by these two measurements, the crystal oscillator 1 ) Is inspected.

제 3 검사실(753)에 있어서 고온시의 수정 진동자(1)의 온도 특성의 검사를 종료한 후에 제 3 검사실(753)의 X방향의 하류측에 설치한 게이트 밸브(76)를 개방하여 펠릿(8)을 온도 조정실(74)에 반송한다.The gate valve 76 provided on the downstream side in the X direction of the third inspection chamber 753 is opened after the inspection of the temperature characteristic of the quartz crystal vibrator 1 at the high temperature in the third inspection chamber 753, 8) to the temperature adjusting chamber (74).

온도 조정실(74)에서는 수정 진동자(1)의 온도를 고온인 약 100℃로부터 상온인 약 25℃로 온도 조정한다. 그리고, 수정 진동자(1)의 온도 조정을 끝낸 후에 온도 조정실(74)의 X방향의 하류측에 설치한 게이트 밸브(76)를 개방하여 펠릿(8)을 제 4 검사실(754)에 반송한다.In the temperature adjusting chamber 74, the temperature of the quartz crystal 1 is adjusted from about 100 캜, which is a high temperature, to about 25 캜, which is a normal temperature. After the temperature adjustment of the quartz vibrator 1 is completed, the gate valve 76 provided on the downstream side of the X direction of the temperature adjusting chamber 74 is opened to convey the pellet 8 to the fourth test chamber 754.

제 4 검사실(754)은 온도 조정실(74)의 X방향의 하류측에 인접하고, 제 4 검사실(754)의 X방향의 상류측과 하류측에 각각 게이트 밸브(76)가 설치되어 있다. 제 4 검사실(754)에서는 진공 분위기 하에 있어서의 상온의 수정 진동자(1)의 내부공간의 기밀 상태의 검사와, 상온의 수정 진동자(1)의 온도 특성의 검사를 행한다. 이들 기밀 상태의 검사와 온도 특성의 검사에서는 상기 제 3 검사실(753)과 마찬가지로 한쌍의 프로브 핀(도시생략)을 사용하고, 프로브 핀을 수정 진동자(1)의 압전 진동 소자용 외부단자(34)에 접속해서 수정 진동자(1)의 CI값과 그 주파수를 측정한다.The fourth test chamber 754 is adjacent to the downstream side in the X direction of the temperature control chamber 74 and the gate valve 76 is provided on the upstream side and the downstream side in the X direction of the fourth test chamber 754. The fourth inspection chamber 754 inspects the airtight state of the inner space of the quartz crystal vibrator 1 at room temperature under a vacuum atmosphere and inspects the temperature characteristics of the quartz crystal oscillator 1 at room temperature. As in the third test chamber 753, a pair of probe pins (not shown) are used to inspect the airtight state and the temperature characteristic, and the probe pins are connected to the external terminals 34 for the piezoelectric vibrator of the quartz vibrator 1, And the CI value of the crystal oscillator 1 and the frequency thereof are measured.

제 4 검사실(754)에 있어서 진공 분위기 하에 있어서의 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 기밀 상태의 검사와, 상온시의 수정 진동자(1)의 온도 특성의 검사를 종료한 후에 제 4 검사실(754)의 X방향의 하류측에 설치한 게이트 밸브(76)를 개방하여 펠릿(8)을 제 5 검사실(755)에 반송한다.After inspecting the airtight state of the inner space 12 of the quartz crystal vibrator 1 under a vacuum atmosphere in the fourth test chamber 754 and checking the temperature characteristics of the quartz crystal vibrator 1 at a normal temperature, The gate valve 76 provided on the downstream side in the X direction of the test chamber 754 is opened to convey the pellet 8 to the fifth test chamber 755. [

제 5 검사실(755)에서는 대기 분위기 하에서 수정 진동자(1)(상온)의 내부공간(12)의 기밀 상태를 검사한다. 이 제 5 검사실(755)에서는 제 4 검사실(754)로부터 펠릿(8)을 반입한 후에 게이트 밸브(76)를 폐쇄한다. 그리고, 게이트 밸브(76)를 폐쇄한 후 대기 분위기 하에서 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 기밀 상태의 검사를 행한다. 이 기밀 상태의 검사에서는 상기 제 3 검사실(753)과 마찬가지로 한쌍의 프로브 핀(도시생략)을 사용하고, 프로브 핀을 수정 진동자(1)의 압전 진동 소자용 외부단자(34)에 접속해서 수정 진동자(1)의 CI값을 측정한다.In the fifth test chamber 755, the airtight state of the inner space 12 of the quartz crystal 1 (room temperature) is inspected in the atmosphere. In the fifth test chamber 755, the gate valve 76 is closed after bringing the pellet 8 from the fourth test chamber 754. Then, after the gate valve 76 is closed, the airtight state of the internal space 12 of the quartz crystal vibrator 1 is inspected in the atmosphere. A pair of probe pins (not shown) are used in the same manner as in the third test chamber 753 and the probe pins are connected to the external terminals 34 for the piezoelectric vibrating element of the quartz vibrator 1, (1) is measured.

그리고, 제 5 검사실(755)에 있어서 대기 분위기 하에서의 수정 진동자(1)의 기밀 상태의 검사를 종료한 후에 제 5 검사실(755)의 X방향의 하류측에 설치한 게이트 밸브(76)를 개방하여 펠릿(8)을 밖으로 반출하고, 펠릿(8)을 밖으로 반출한 후에 게이트 밸브(76)을 폐쇄하여 이 제조장치(7)에 의한 복수의 수정 진동자(1)의 제조를 끝낸다.After the quiescent state of the quartz crystal oscillator 1 is inspected in the atmosphere of the fifth test chamber 755, the gate valve 76 provided on the downstream side in the X direction of the fifth test chamber 755 is opened The pellet 8 is taken out and the pellet 8 is taken out and then the gate valve 76 is closed to finish the production of the plurality of quartz crystal vibrators 1 by the manufacturing apparatus 7. [

본 실시형태에 의한 수정 진동자(1)의 제조방법에 의하면, 상기 실시형태 1에 의한 제조장치(7)에 의한 작용 효과에 추가해서 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 기밀 상태의 검사와, 수정 진동자(1)의 온도 특성의 검사를 동시에 행할 수 있다. 그 때문에 수정 진동자(1)의 온도 특성의 검사를 행하기 위해서 새롭게 실이나 검사부재를 준비하지 않아도 되어, 수정 진동자(1)의 제조장치(7)의 간이화를 꾀할 수 있다. 그 결과, 본 제조장치(7) 이외에 온도 특성의 검사를 위한 제조장치를 새롭게 설치할 필요가 없어 제조 비용 및 제조 시간을 모두 억제할 수 있다.According to the manufacturing method of the quartz crystal vibrator 1 of the present embodiment, in addition to the operation effects of the manufacturing apparatus 7 according to the first embodiment, the inspection of the airtight state of the inner space 12 of the quartz crystal vibrator 1 And the temperature characteristic of the crystal oscillator 1 can be checked at the same time. Therefore, it is not necessary to newly prepare the yarn or the inspection member for inspecting the temperature characteristic of the quartz vibrator 1, and the manufacturing apparatus 7 of the quartz crystal vibrator 1 can be simplified. As a result, there is no need to newly install a manufacturing apparatus for inspecting the temperature characteristics in addition to the present manufacturing apparatus 7, thereby suppressing both the manufacturing cost and the manufacturing time.

또한, 검사실(75)에 있어서의 수정 진동자(1)의 온도 특성의 검사는 진공 분위기 하이여도 대기 분위기 하이여도 어느 쪽의 분위기 하이여도 행할 수 있지만, 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 기밀 상태의 검사와 수정 진동자(1)의 온도 특성의 검사를 동시에 행할 경우 본 실시형태에 나타내는 제조공정 순으로 된다.The temperature characteristic of the quartz vibrator 1 in the test chamber 75 can be checked either in a vacuum atmosphere or in an atmospheric atmosphere or in any atmosphere, When the inspection of the airtight condition and the inspection of the temperature characteristics of the quartz crystal vibrator 1 are performed at the same time, the manufacturing steps are the same as those of this embodiment.

또한, 본 실시형태에 있어서 수정 진동자(1)의 기밀 상태의 검사를 하지 않고 온도 특성의 검사만을 행하는 것도 가능하다.In the present embodiment, it is also possible to perform only the inspection of the temperature characteristic without inspecting the airtight state of the quartz vibrator 1.

<실시형태 3>&Lt; Embodiment 3 >

이어서, 본 실시형태 3에 의한 수정 진동자(1)의 제조장치(7)를 도면을 사용하여 설명한다. 또한, 본 실시형태 3에 의한 수정 진동자(1)의 제조장치(7)는 상기의 실시형태 1에 대하여 검사실(75)이 다르다. 그 때문에 실시형태 1에 의한 수정 진동자(1)의 제조장치(7)과 동일 구성에 의한 작용 효과 및 변형예는, 실시형태 1에 의한 수정 진동자(1)의 제조장치(7)와 같은 작용 효과 및 변형예를 갖는다. 그래서, 본 실시형태 3에서는 상기의 실시형태 1과 다른 검사실(75)의 구성에 대하여 설명하고, 동일한 구성에 대한 설명을 생략한다.Next, a manufacturing apparatus 7 for a quartz crystal vibrator 1 according to Embodiment 3 will be described with reference to the drawings. The manufacturing apparatus 7 for the quartz crystal vibrator 1 according to the third embodiment differs from the above-described first embodiment in the laboratory 75. For this reason, the operation and effect of the same configuration as that of the production apparatus 7 of the quartz crystal vibrator 1 according to the first embodiment are the same as those of the production apparatus 7 of the quartz crystal vibrator 1 according to the first embodiment And a modification. Therefore, in the third embodiment, the configuration of the examination room 75 different from the first embodiment will be described, and the description of the same configuration will be omitted.

본 실시형태에 의한 검사실(75)은 도 9에 나타내는 바와 같이 제 6 검사실(756)과 제 7 검사실(757)로 구성되고, 제 6 검사실(756) 및 제 7 검사실(757)에 있어서 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 기밀 상태의 검사를 행한다. 또한, 제 6 검사실(756)에서의 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 기밀 상태의 검사는 진공 분위기 하의 실내에서 행하여지고, 제 7 검사실(757)에서의 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 기밀 상태의 검사는 대기압을 초과하는 압력으로 가압된 실내에서 행하여진다. 실내의 가압은, 예를 들면 검사실에 질소 가스를 도입하는 등 적절한 가스를 충전하면 되고, 에어(대기) 도입이어도 된다.The test chamber 75 according to the present embodiment is constituted by a sixth test chamber 756 and a seventh test chamber 757 as shown in FIG. 9, and in the sixth test chamber 756 and the seventh test chamber 757, The airtight state of the inner space 12 of the fuel cell 1 is checked. The airtight state of the inner space 12 of the quartz crystal vibrator 1 in the sixth examination chamber 756 is inspected in the room under a vacuum atmosphere and the inside of the quartz crystal 1 in the seventh examination chamber 757 The inspection of the airtightness of the space 12 is performed in a room pressurized to a pressure exceeding atmospheric pressure. Pressurization of the room can be achieved by, for example, charging a suitable gas such as introducing nitrogen gas into the examination room, or air (atmosphere) introduction.

제 6 검사실(756)은 온도 조정실(74)의 X방향의 하류측에 인접하고, 제 6 검사실(756)의 X방향의 상류측과 하류측에 각각 게이트 밸브(76)가 설치되어 있다. 제 6 검사실(756)에서는 진공 분위기 하에서 수정 진동자(1)의 기밀 상태를 검사한다. 이 제 6 검사실(756)에서는 온도 조정실(74)에서 수정 진동자(1)의 온도를 상온으로 조정한 후에 제 6 검사실(756)의 X방향의 상류측에 설치한 게이트 밸브(76)를 개방하여 온도 조정실(74)로부터 펠릿(8)을 반입하고, 펠릿(8)을 반입한 후에 게이트 밸브(76)를 폐쇄한다. 그리고, 게이트 밸브(76)를 폐쇄한 후 진공 분위기 하에서 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 기밀 상태의 검사를 행한다. 이 기밀 상태의 검사에서는 한쌍의 프로브 핀(도시생략)을 사용하고, 프로브 핀을 수정 진동자(1)의 압전 진동 소자용 외부단자(34)에 접속해서 수정 진동자(1)의 CI값을 측정한다. 이 검사가 1회째의 측정이 되고, 이 1회째의 측정 결과와, 하기의 제 7 검사실(757)에 있어서의 2회째의 측정에 의해 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 기밀 상태의 검사를 행한다.The sixth test chamber 756 is adjacent to the downstream side in the X direction of the temperature adjusting chamber 74 and the gate valve 76 is provided on the upstream side and the downstream side in the X direction of the sixth test chamber 756, respectively. The sixth inspection chamber 756 inspects the airtight state of the quartz vibrator 1 under a vacuum atmosphere. In the sixth test chamber 756, after the temperature of the quartz crystal 1 is adjusted to room temperature in the temperature adjusting chamber 74, the gate valve 76 provided on the upstream side in the X direction of the sixth test chamber 756 is opened The pellet 8 is carried in from the temperature adjusting chamber 74 and the gate valve 76 is closed after the pellet 8 is carried. After the gate valve 76 is closed, the airtight state of the internal space 12 of the quartz vibrator 1 is inspected under a vacuum atmosphere. In this hermetic state inspection, a pair of probe pins (not shown) are used and the CI value of the quartz crystal vibrator 1 is measured by connecting the probe pin to the external terminal 34 for the piezoelectric vibrating element 1 of the quartz vibrator 1 . This inspection is carried out for the first time and the first measurement result and the second measurement in the seventh inspection chamber 757 below are used to determine the airtight state of the inner space 12 of the quartz crystal vibrator 1 Inspection is performed.

이어서, 제 7 검사실(757)에서는 제 7 검사실(757)의 X방향의 상류측에 설치한 게이트 밸브(76)를 개방하여 제 6 검사실(756)로부터 펠릿(8)을 반입하고, 펠릿(8)을 반입한 후에 게이트 밸브(76)를 폐쇄한다. 그리고, 게이트 밸브(76)를 폐쇄한 후 실내를 가압한다. 본 실시형태에서는 약 0.3∼약 0.4㎫로 제 4 검사실(754)의 실내를 가압한다. 그리고, 가압 하에 있어서의 수정 진동자(1)의 기밀 상태의 검사를 행한다. 이 검사가 2회째의 측정이 된다. 2회째의 측정에서는 상기의 제 1회째의 측정과 마찬가지로 기밀 상태의 검사에서는 한쌍의 프로브 핀을 사용하고, 프로브 핀을 수정 진동자(1)의 압전 진동 소자용 외부단자(34)에 접속해서 수정 진동자(1)의 CI값을 측정한다.Next, in the seventh inspection chamber 757, the gate valve 76 provided on the upstream side in the X direction of the seventh inspection chamber 757 is opened to transfer the pellet 8 from the sixth inspection chamber 756, and the pellet 8 The gate valve 76 is closed. After the gate valve 76 is closed, the room is pressurized. In the present embodiment, the inside of the fourth examination room 754 is pressurized at about 0.3 to about 0.4 MPa. Then, the airtight state of the quartz crystal vibrator 1 under pressure is inspected. This test is the second measurement. In the second measurement, a pair of probe pins is used in the airtight state inspection in the same manner as the first measurement described above, and the probe pin is connected to the external terminal 34 for the piezoelectric vibrating element of the quartz vibrator 1, (1) is measured.

그리고, 수정 진동자(1)의 기밀 상태의 검사를 종료한 후에 제 7 검사실(757)의 X방향의 하류측에 설치한 게이트 밸브(76)를 개방하여 펠릿(8)을 밖으로 반출하고, 펠릿(8)을 밖으로 반출한 후에 게이트 밸브(76)를 폐쇄하여 이 제조장치(7)에 의한 복수의 수정 진동자(1)의 제조를 끝낸다.After the inspection of the hermetic state of the quartz vibrator 1 is finished, the gate valve 76 provided on the downstream side in the X direction of the seventh inspection chamber 757 is opened to take out the pellet 8 out, 8), the gate valve 76 is closed, and the manufacturing of the plurality of crystal vibrators 1 by the manufacturing apparatus 7 is finished.

본 실시형태에 의한 수정 진동자(1)의 제조방법에 의하면, 상기 실시형태 1에 의한 제조장치(7)에 의한 작용 효과에 추가해서 가압한 상태에서의 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 기밀 상태의 검사를 행하므로 기밀 밀봉 누설이 있었을 경우 CI값의 변동량이 비가압 하에 비하여 커진다. 그 때문에, 더욱 정밀도가 좋은 기밀 검사를 행할 수 있다.The manufacturing method of the quartz vibrator 1 according to the present embodiment is advantageous in that the inner space 12 of the quartz vibrator 1 in a pressurized state, in addition to the operation effect of the manufacturing apparatus 7 according to the first embodiment, The leakage amount of the CI value is larger than the amount of variation in the CI value. Therefore, airtightness inspection with higher precision can be performed.

<실시형태 4>&Lt; Fourth Embodiment >

이어서, 실시형태 4에 의한 수정 진동자(1)의 제조장치(7)를 도면을 사용하여 설명한다. 실시형태 4에 의한 수정 진동자(1)의 제조장치(7)는 상기 실시형태 1∼3에 의한 수정 진동자(1)의 제조장치(7)에 의한 각 검사를 아울러 갖는 제조장치이다. 그 때문에 실시형태 1∼3에 의한 수정 진동자(1)의 제조장치(7)와 동일 구성에 의한 작용 효과 및 변형예는, 실시형태 1∼3에 의한 수정 진동자(1)의 제조장치(7)와 같은 작용 효과 및 변형예를 갖는다.Next, a manufacturing apparatus 7 for a quartz crystal vibrator 1 according to Embodiment 4 will be described with reference to the drawings. The manufacturing apparatus 7 for the quartz vibrator 1 according to the fourth embodiment is a manufacturing apparatus having the quartz crystal oscillator 1 according to the first to third embodiments described above together with the respective inspections by the manufacturing apparatus 7. For this reason, the operation and modification of the quartz crystal vibrator 1 according to the first to third embodiments are the same as those of the quartz crystal vibrating device 1 according to the first to third embodiments, And a modification example.

본 실시형태에 의한 검사실(75)은, 도 10에 나타내는 바와 같이 제 8 검사실(758)과 제 9 검사실(759)이라고 제 10 검사실(7510)로 구성되고, 제 8 검사실(758)에 있어서 진공 분위기 하에서 고온 상태의 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 온도 특성의 검사를 행하고, 제 9 검사실(759)에 있어서 진공 분위기 하에서 상온 상태의 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 기밀 상태와 온도 특성의 검사를 행하고, 제 10 검사실(7510)에 있어서 가압 하에 있어서 상온 상태의 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 기밀 상태의 검사를 행한다. 또한, 본 실시형태에서는 제 8 검사실(758)과 제 9 검사실(759) 사이에 온도 조정실(74)이 개재되고, 이 온도 조정실(74)에 의해 수정 진동자(1)의 온도를 고온(약 100℃)으로부터 상온(약 25℃)으로 온도 조정한다.As shown in FIG. 10, the test chamber 75 according to the present embodiment is constituted by an eighth test chamber 758 and a ninth test chamber 759 and a tenth test chamber 7510. In the eighth test chamber 758, The temperature characteristic of the internal space 12 of the quartz crystal vibrator 1 at a high temperature under the atmosphere is checked in the ninth inspection chamber 759 and the temperature characteristic of the inside space 12 of the quartz crystal vibrator 1 at a normal temperature And the airtight state of the inner space 12 of the quartz crystal vibrator 1 at a normal temperature under pressure is inspected in the tenth inspection chamber 7510. [ In this embodiment, a temperature adjusting chamber 74 is interposed between the eighth test chamber 758 and the ninth test chamber 759, and the temperature of the quartz crystal 1 is adjusted to a high temperature (about 100 Lt; 0 > C) to room temperature (about 25 [deg.] C).

제 8 검사실(758)은 기밀 밀봉실(73)[구체적으로는, 제 3 예비 가열실(723)]의 X방향의 하류측에 인접하고, 제 8 검사실(758)의 X방향의 상류측과 하류측에 각각 게이트 밸브(76)가 설치되어 있다. 제 8 검사실(758)에서는 베이스(3)와 뚜껑(4)의 접합에 의해 고온으로 되어 있는 수정 진동자(1)(약 100℃)의 온도 특성을 검사한다. 이 기밀 상태의 검사와 온도 특성의 검사에서는 한쌍의 프로브 핀(도시생략)을 사용하고, 프로브 핀을 수정 진동자(1)의 압전 진동 소자용 외부단자(34)에 접속해서 수정 진동자(1)의 CI값과 그 주파수를 측정한다. 또한, 여기에서의 측정은 온도 특성의 검사의 1회째의 측정이 되고, 그리고, 하기의 제 9 검사실(759)에 있어서의 검사가 2회째의 측정이 되며, 이들 합계 2회의 측정에 의해 수정 진동자(1)의 온도 특성의 검사를 행한다.The eighth test chamber 758 is adjacent to the downstream side in the X direction of the hermetically sealed chamber 73 (specifically, the third preheating chamber 723), and is adjacent to the upstream side in the X direction of the eighth test chamber 758 And a gate valve 76 is provided on the downstream side. In the eighth test chamber 758, the temperature characteristic of the quartz crystal 1 (approximately 100 ° C) which is heated to high temperature by the bonding of the base 3 and the lid 4 is inspected. In the inspection of the airtight state and the temperature characteristics, a pair of probe pins (not shown) are used, and the probe pins are connected to the external terminals 34 for the piezoelectric vibrating element of the quartz vibrator 1, Measure the CI value and its frequency. The measurement in this case is the first measurement of the inspection of the temperature characteristic and the second measurement in the ninth inspection room 759 described below is performed. (1) is inspected.

제 8 검사실(758)에 있어서 고온시의 수정 진동자(1)의 온도 특성의 검사를 종료한 후에 제 8 검사실(758)의 X방향의 하류측에 설치한 게이트 밸브(76)를 개방하여 펠릿(8)을 온도 조정실(74)로 반송한다. After the inspection of the temperature characteristics of the quartz crystal vibrator 1 at the high temperature is completed in the eighth test chamber 758, the gate valve 76 provided on the downstream side in the X direction of the eighth test chamber 758 is opened to form the pellet 8) to the temperature adjusting chamber (74).

온도 조정실(74)에서는 수정 진동자(1)의 온도를 고온인 약 100℃로부터 상온인 약 25℃로 온도 조정한다. 그리고, 수정 진동자(1)의 온도 조정을 끝낸 후에 온도 조정실(74)의 X방향의 하류측에 설치한 게이트 밸브(76)를 개방하여 펠릿(8)을 제 9 검사실(759)로 반송한다.In the temperature adjusting chamber 74, the temperature of the quartz crystal 1 is adjusted from about 100 캜, which is a high temperature, to about 25 캜, which is a normal temperature. After the temperature adjustment of the quartz vibrator 1 is finished, the gate valve 76 provided on the downstream side in the X direction of the temperature adjusting chamber 74 is opened to convey the pellet 8 to the ninth inspection chamber 759.

제 9 검사실(759)은 온도 조정실(74)의 X방향의 하류측에 인접하고, 제 9 검사실(759)의 X방향의 상류측과 하류측에 각각 게이트 밸브(76)가 설치되어 있다. 제 9 검사실(759)에서는 진공 분위기 하에 있어서의 상온의 수정 진동자(1)의 내부공간의 기밀 상태의 검사와, 상온의 수정 진동자(1)의 온도 특성의 검사를 행한다. 이들 기밀 상태의 검사와 온도 특성의 검사에서는 상기 제 8 검사실(758)과 마찬가지로 한쌍의 프로브 핀(도시생략)을 사용하고, 프로브 핀을 수정 진동자(1)의 압전 진동 소자용 외부단자(34)에 접속해서 수정 진동자(1)의 CI값과 그 주파수를 측정한다.The ninth inspection chamber 759 is adjacent to the downstream side in the X direction of the temperature control chamber 74 and the gate valve 76 is provided on the upstream side and the downstream side of the ninth inspection chamber 759 in the X direction. The ninth inspection chamber 759 inspects the airtight state of the inner space of the quartz crystal vibrator 1 at room temperature under a vacuum atmosphere and inspects the temperature characteristics of the quartz crystal oscillator 1 at room temperature. As in the eighth test chamber 758, a pair of probe pins (not shown) are used to inspect the airtight state and the temperature characteristic. The probe pins are connected to the external terminals 34 for the piezoelectric vibrator of the quartz crystal vibrator 1, And the CI value of the crystal oscillator 1 and the frequency thereof are measured.

제 9 검사실(759)에 있어서 진공 분위기 하에 있어서의 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 기밀 상태의 검사와, 상온시의 수정 진동자(1)의 온도 특성의 검사를 종료한 후에 제 9 검사실(759)의 X방향의 하류측에 설치한 게이트 밸브(76)를 개방하여 펠릿(8)을 제 10 검사실(7510)로 반송한다.After the inspection of the airtight state of the inner space 12 of the quartz vibrator 1 under the vacuum atmosphere and the inspection of the temperature characteristic of the quartz crystal vibrator 1 at the normal temperature are finished in the ninth inspection chamber 759, The gate valve 76 provided on the downstream side in the X direction of the test chamber 759 is opened to convey the pellet 8 to the tenth test chamber 7510. [

제 10 검사실(7510)에서는 가압 분위기 하에서 수정 진동자(1)(상온)의 내부공간(12)의 기밀 상태를 검사한다. 이 제 10 검사실(7510)에서는 제 9 검사실(759)로부터 펠릿(8)을 반입한 후에 게이트 밸브(76)를 폐쇄한다. 그리고, 게이트 밸브(76)를 폐쇄한 후 가압 하에 있어서 수정 진동자(1)의 내부공간(12)의 기밀 상태의 검사를 행한다. 이 기밀 상태의 검사에서는 상기 제 8 검사실(758)과 마찬가지로 한쌍의 프로브 핀(도시생략)을 사용하고, 프로브 핀을 수정 진동자(1)의 압전 진동 소자용 외부단자(34)에 접속해서 수정 진동자(1)의 CI값을 측정한다.In the tenth test chamber 7510, the airtight state of the inner space 12 of the quartz vibrator 1 (room temperature) under a pressurized atmosphere is inspected. In the tenth test chamber 7510, the pellet 8 is carried from the ninth test chamber 759 and then the gate valve 76 is closed. Then, after the gate valve 76 is closed, the airtight state of the inner space 12 of the quartz crystal vibrator 1 is inspected under pressure. As in the eighth test chamber 758, a pair of probe pins (not shown) are used to connect the probe pins to the external terminal 34 for the piezoelectric vibrating element of the quartz crystal vibrator 1, (1) is measured.

그리고, 제 10 검사실(7510)에 있어서 가압 분위기 하에서의 수정 진동자(1)의 기밀 상태의 검사를 종료한 후에 제 10 검사실(7510)의 X방향의 하류측에 설치한 게이트 밸브(76)를 개방하여 펠릿(8)을 밖으로 반출하고, 펠릿(8)을 밖으로 반출한 후에 게이트 밸브(76)를 폐쇄하여 이 제조장치(7)에 의한 복수의 수정 진동자(1)의 제조를 끝낸다.After the inspection of the airtight state of the quartz vibrator 1 under the pressurized atmosphere is completed in the tenth inspection chamber 7510, the gate valve 76 provided on the downstream side in the X direction of the tenth inspection chamber 7510 is opened The pellet 8 is taken out and the pellet 8 is taken out and then the gate valve 76 is closed to end the production of the plurality of quartz crystal vibrators 1 by the manufacturing apparatus 7. [

본 실시형태에 의한 수정 진동자(1)의 제조방법에 의하면, 상기 실시형태 1∼3에 의한 제조장치(7)에 의한 작용 효과 및 그 변형예에 의한 작용 효과를 아울러 갖는다.The manufacturing method of the quartz vibrator 1 according to the present embodiment also has the operation effect of the manufacturing apparatus 7 according to the first to third embodiments and the operation and effect of the modified example.

또한, 본 발명은 압전 진동 디바이스의 제조공정에서 바람직하게 적용할 수 있다. 또한, 본 발명은 그 정신이나 주지 또는 주요한 특징으로부터 일탈하는 일없이 다른 여러가지의 형태로 실시할 수 있다. 그 때문에 상술의 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않고, 한정적으로 해석해서는 안된다. 본 발명의 범위는 특허청구범위에 의해 나타내는 것이며, 명세서 본문에는 하등 구속되지 않는다. 또한, 특허청구범위의 균등 범위에 속하는 변형이나 변경은 모두 본 발명의 범위 내의 것이다.Further, the present invention can be suitably applied in a manufacturing process of a piezoelectric vibration device. In addition, the present invention can be embodied in various other forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. Therefore, the above-described embodiments are merely examples in all respects, and should not be construed restrictively. The scope of the present invention is defined by the appended claims, and is not restricted by the specification. Modifications and variations falling within the scope of the appended claims all fall within the scope of the present invention.

1 : 수정 진동자, 발진기 11 : 본체 하우징
12 : 내부공간 2 : AT컷 수정 진동편
3 : 베이스 31 : 일주면
32 : 저부 33 : 벽부
34 : 압전 진동 소자용 외부단자 35 : 단차부
36 : 외측면 37 : 외부단자
38 : 타주면 4 : 뚜껑
51 : 접합부재 52 : 도전성 접합재
6 : IC칩 7 : 제조장치
71 : 도입실 72 : 예비 가열실
721 : 제 1 예비 가열실 722 : 제 2 예비 가열실
723 : 제 3 예비 가열실 73 : 기밀 밀봉실
74 : 온도 조정실 75 : 검사실
751 : 제 1 검사실 752 : 제 2 검사실
753 : 제 3 검사실 754 : 제 4 검사실
755 : 제 5 검사실 756 : 제 6 검사실
757 : 제 7 검사실 758 : 제 8 검사실
759 : 제 9 검사실 7510 : 제 10 검사실
76 : 게이트 밸브 8 : 펠릿
81 : 탑재부 82 : 레퍼런스 워크1: crystal oscillator, oscillator 11: main housing
12: Internal space 2: AT cut quartz oscillation piece
3: Base 31: One week
32: bottom part 33: wall part
34: external terminal for piezoelectric transducer 35:
36: Outer side 37: External terminal
38: When riding 4: Cover
51: bonding member 52: conductive bonding material
6: IC chip 7: Manufacturing device
71: introduction chamber 72: preheating chamber
721: first preheating chamber 722: second preheating chamber
723: third preheating chamber 73: airtight sealing chamber
74: Temperature control room 75: Laboratory
751: Laboratory 1 752: Laboratory 2
753: Third Laboratory 754: Fourth Laboratory
755: Fifth laboratory 756: Sixth laboratory
757: 7th Laboratory 758: 8th Laboratory
759: 9th Laboratory 7510: 10th Laboratory
76: gate valve 8: pellet
81: mounting part 82: reference work

Claims

Wherein at least one electronic component element including a piezoelectric vibrating element is hermetically sealed in the internal space by bonding a plurality of sealing members to each other and the piezoelectric element is connected to the piezoelectric vibrating element as an external terminal electrically connected to the outside, An apparatus for manufacturing a piezoelectric vibrating device having external terminals for a vibrating element, comprising:
A hermetic sealing chamber for forming an internal space in a vacuum state by heating and bonding the plurality of sealing members in a vacuum atmosphere, hermetically sealing the electronic component element in the internal space,
An inspection chamber for inspecting an airtight state of the internal space of the piezoelectric vibrating device is provided,
The inspection room is provided with a first inspection room for inspecting the airtightness of the inner space of the piezoelectric vibrating device under a vacuum atmosphere and a second inspection room for inspecting the airtightness of the inner space of the piezoelectric vibrating device under an atmosphere of higher pressure than the first inspection room In addition,
Wherein a gate valve is provided between the hermetic sealing chamber and the first examination room and between the first examination room and the second examination room and the hermetic sealing chamber, And the second inspection chamber in the order of the first inspection chamber and the second inspection chamber.

The method according to claim 1,
A preheating chamber for preheating the sealing member in a vacuum atmosphere is provided,
And the piezoelectric vibrating device is transported in the order of the preheating chamber, the hermetically sealed chamber, the first test chamber, and the second test chamber.

The method according to claim 1,
Wherein the inspection room inspects the electrical characteristics of the piezoelectric vibrating device using the external terminal for the piezoelectric vibrating element in addition to the inspection of the airtight state of the internal space of the piezoelectric vibrating device.

The method according to claim 1,
Wherein the inspection chamber inspects the temperature characteristic of the piezoelectric vibrating device using the external terminal for the piezoelectric vibrating element in addition to the inspection of the airtight state of the internal space of the piezoelectric vibrating device.

The method according to claim 1,
And a temperature adjusting chamber for adjusting the temperature of the piezoelectric vibrating device to a preset reference temperature.

The method according to claim 1,
Wherein an inspection of the airtightness of the inner space of the piezoelectric vibrating device is performed in the second inspection room under an atmosphere of atmospheric pressure or higher than that.

The method according to claim 1,
Wherein the piezoelectric vibrating element is an element that performs thickness slip vibration.