KR101881799B1 - 집속 이온빔 장치용 샘플 홀더 및 이를 이용한 샘플링 방법 - Google Patents

집속 이온빔 장치용 샘플 홀더 및 이를 이용한 샘플링 방법 Download PDF

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Abstract

집속 이온빔(Focused Ion Beam; FIB) 장치용 샘플 홀더 및 이를 이용하는 샘플링 방법이 개시된다. 상기 집속 이온빔 장치용 샘플 홀더는, 벌크 샘플의 부착을 허용하는 제1 면과, 상기 제1 면에서의 벌크 샘플로부터 분리된 샘플이 부착될 MEMS 칩이 위치하며, 상기 제1 면과 이루는 각이 90°보다 큰 제2 면과, 상기 제1 면 및 상기 제2 면 각각과 예각을 이루며, 스테이지에 고정시키기 위한 로드부가 형성되는 바닥면을 포함한다. 그리하여,본 발명은 FIB 장비에서 MEMS 칩을 이용하여 MEMS 샘플링을 수행하기 위한 개선된 구조의 샘플 홀더를 제공함으로써, MEMS 칩을 샘플 홀더 상에 위치시켜 샘플링을 수행하는 FIB 장비에서 MEMS 샘플링 과정에서 틸트(tilt) 각도의 제약으로 인한 최종 밀링 과정에서의 샘플 변형 및 긴 작업시간 문제를 해결할 수 있고, 이미지 포커싱이 제대로 되지 않아 정확하고 정밀한 밀링이 어려울 뿐만 아니라 MEMS 칩의 에지가 이온빔의 경로를 막아서 최종 밀링이 어려워지는 문제를 해결할 수 있다.
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Title
인용발명 1 : 유튜브 동영상(DENSsolutions-FIB Lamella Preparation Demonstration(캡쳐 사진)), URL : https://www.youtube.com/watch?v=AgpznxDzAhM(2015.05.22.) *

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