KR101843659B1 - 전극 구조체 및 icp에칭기 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 ICP에칭기용 전극 구조체에 있어서, 유도코일, 유도코일 커넥터, 연접봉 및 슬리브를 포함하고, 그중 유도코일은 절연창 위에 설치되었고, 절연창은 챔버덮개 위에 설치되었고, 연접봉 양단은 각각 유도코일과 유도코일 커넥터에 연결되었고, 슬리브는 금속도체재료를 사용하고 접지 연결되었으며, 슬리브의 한쪽은 엔드캡이고, 다른 한쪽은 개구이며, 슬리브의 엔드캡 위에 천공을 설치하고, 연접봉을 천공 속에 설치하여 엔드캡과 상호 격리하였고, 슬리브 개구가 유도코일을 향해 설치되었고, 유도코일을 슬리브 내에 폐쇄하였다. 본 발명은 유도코일 커넥터가 생성한 전자기마당을 슬리브 밖에 차단하여, 유도코일이 형성한 균일한 전자기마당에 대한 영향을 피하고 에칭 균일성을 보증하였다.

Description

전극 구조체 및 ICP에칭기{An electrode structure for ICP etcher}
본 발명은 반도체 에칭기술 분야에 관한 것으로, 더욱 상세히는 전극 구조체 및 ICP에칭기에 관한 것이다.
ICP(Inductively Coupled Plasma. 유도결합형 플라즈마) 에칭은 에칭 속도가 빠르고 선택도가 높고 면적이 크고 균일성이 양호한 특징이 있기 때문에 고품질 작은 사이즈 라인의 에칭을 진행할 수 있고 비교적 양호한 에칭 상태를 얻을 수 있는, 현재 널리 이용되고 있는 에칭기술의 일종이다.
ICP에칭의 작동원리는 고밀도 플라즈마로 기판 표면을 충격하여 고밀도 플라즈마가 일으킨 화학반응과 충격으로 발생한 물리작용을 이용하여 에칭을 진행하는데 있다. 주로 IPC에칭기 중의 RF 코일 구조를 통해 전자기마당을 형성하고 이 전자기마당을 통해 플라즈마를 생성한다.
도1 - 도3에 도시된 것과 같이, 도1은 종래 기술의 ICP에칭기 중의 챔버덮개 위에 설치된 전극의 입체구조 설명도이고, 도2는 도1 중의 전극의 입체구조 설명도이고, 도3은 도1의 부시구조 설명도이고, 전극(13)은 플라즈마를 생성 및 자극하는 전자기마당에 사용되고, 도시한 바와 같이 유도코일(131), 유도코일 커넥터(132, 134) 및 연접봉(133, 135, connect rods)를 포함하고 있으며, 유도코일 커넥터(132)가 연접봉(133)을 통해 유도코일(131)에 연결되고, 유도코일 커넥터(134)가 연접봉(135)을 통해 유도코일(131)에 연결되며, 유도코일(131)은 절연창(12) 위에 설치되었고, 절연창(12)은 챔버덮개(10) 위에 설치되었고, 사용 과정에서 챔버덮개(10)가 챔버 위에 설치되었고, 유도코일 커넥터(132)가 RF 전원에 연결되었고, 유도코일 커넥터(134)가 접지단과 연결되고, 전원을 연결한 후 유도코일(131)이 RF 전자기마당(electromagnetic field)을 형성하여, 플라즈마 생성에 사용된다. 하지만 이러한 구조에 있어서, 유도코일에 설치한 유도코일 커넥터가 유도코일이 형성한 전자기마당에 영향을 미치기 때문에 생성된 RF전자기마당이 불균일하여 에칭 불균일성을 초래하고, 더 나아가 제품 합격율에 영향을 미친다.
본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 ICP에칭기에 사용되는 전극 구조체 및 ICP에칭기를 제공하여 유도코일이 생성한 전자기마당에 대한 유도코일 커넥터의 영향을 제거하여 전자기마당의 균일성을 향상시키고자 한다.
상기한 목적을 달성하기 위한 구체적인 수단으로서 본 발명은, 유도코일, 유도코일 커넥터, 연접봉 및 슬리브를 포함하는 ICP에칭기용 전극 구조체에 있어서,
유도코일은 절연창 위에 설치되었고, 절연창은 챔버덮개 위에 설치되었으며,
연접봉 양단이 유도코일과 유도코일 커넥터에 연결되었고,
슬리브는 금속도체재료를 사용하고 접지 연결되었으며, 슬리브의 한쪽은 엔드캡이고 다른 한쪽은 개구이며, 슬리브 엔드캡 위에 천공을 설치하고, 연접봉은 천공 속에 설치되어 엔드캡과 상호 격리되었고, 슬리브 개구가 유도코일을 향해 설치되어, 유도코일을 슬리브 속에 폐쇄하였다.
선택적으로, 엔드캡 위 천공의 구경이 연접봉 직경보다 크기 때문에 천공과 연접봉 사이에 간격이 존재하게 되어 연접봉과 엔드캡 사이의 상호 격리를 실현한다.
선택적으로, 천공과 연접봉 사이에 절연 슬리브를 설치하여 연접봉과 엔드캡을 상호 격리시킨다.
선택적으로, 상기 슬리브의 개구 부근에 플랜지를 설치하여, 플랜지를 통해 슬리브를 챔버덮개 위에 고정하고, 플랜지를 챔버덮개에 접촉시키어, 챔버덮개를 통하여 슬리브를 접지시킨다.
선택적으로, 클램프도 포함하며, 상기 슬리브 개구 부근에 플랜지를 설치하여, 플랜지를 통해 슬리브를 절연창 위에 고정하고, 클램프를 슬리브 외벽 위에 설치하여 챔버덮개와 접촉시키고, 챔버덮개와 클램프를 통해 슬리브를 접지시킨다.
선택적으로, 슬리브 금속재료는 Cu, Al, Ag 또는 이러한 금속의 혼합체, 또는 자기차폐 금속재료를 사용한다.
선택적으로, 상기 유도코일은 원형 고리모양이고 상기 슬리브는 원통형이다.
선택적으로, 상기 연접봉 중 슬리브 내부에 위치한 부분은 유도코일에 수직되게 배치되었다.
선택적으로, 유도코일과 연결된 연접봉은 제1연접봉과 제2연접봉을 포함하며, 제1연접봉은 제1유도코일 커넥터을 통해 RF 전원과 연결되었고, 제2연접봉은 제2유도코일 커넥터을 통해 접지단과 연결되었다.
또한 본 발명은 상기 임의의 전극 구조체를 포함한 ICP에칭기를 제공하고 있다.
상기한 바와 같은 본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명 실시예에서 개시한 ICP에칭기용 전극 구조체 및 ICP에칭기에 있어서, 금속재질의 슬리브를 설치하였고, 이 슬리브의 한쪽을 엔드캡에 설치하여, 엔드캡 위의 천공을 통해 연접봉을 그 속에 설치하고, 슬리브의 다른 한쪽 개구를 유도코일을 향해 설치하여, 유도코일을 슬리브 내부에 폐쇄하였기 때문에, 유도코일 커넥터를 슬리브 밖에 설치할 수 있게 되었으며, 슬리브가 접지된 금속재료를 사용하였기 때문에 패러데이 차폐 슬리브를 형성하고, 유도코일 커넥터가 생성한 전자기마당을 슬리브 밖에 차폐하여, 유도코일에 의해 생성된 균일한 전자기마당에 대한 영향을 피하여 에칭 균일성을 보증한다.
본 발명 실시예 또는 종래 기술의 기술방안을 보다 명확하게 설명하기 위해서, 실시예 또는 종래 기술의 설명에 필요한 도면에 대해 다음과 같이 간단히 설명하는 바, 분명한 점은, 하기에 설명한 도면은 본 발명의 부분적 실시예에 속하며, 본 분야의 일반 기술자는 창조적 노력을 거치지 않고 이러한 도면에 기초하여 기타 도면을 작성할 수 있다.
도1은 종래 기술에 의한 ICP에칭기에서 챔버덮개 위에 설치한 전극의 입체구조 설명도이다.
도2는 도1 중의 전극의 입체구조 설명도이다.
도3은 도1의 평면도이다.
도4는 본 발명의 실시예에 의한 ICP에칭기 전극 구조체의 입체구조 설명도이다.
도5는 도4의 투시 입체구조 설명도이다.
도6은 도4의 평면도이다.
상술한 본 발명 실시예의 목적, 기술방안 및 장점은 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해질 것이다. 이하, 본 발명 실시예의 도면을 참조하여 본 발명 실시예의 기술방안에 대해 명확하고 완전한 설명을 진행하고자 하는 바, 분명한 것은 이러한 실시예는 본 발명의 부분적 실시예에 지나지 않으며 모든 실시예를 포함하지는 않았다. 본 분야의 일반 기술자가 본 발명에 따른 실시예에 근거하여 창조적인 노력이 없이 취득한 기타 실시예는 전부 본 발명의 보호범위에 속한다.
배경기술에서 설명한 바와 같이, 종래 기술에 있어서, ICP에칭기 전극은 유도코일, 유도코일 커넥터 및 이 양자를 연결한 연접봉으로 구성되었고, 그중 유도코일 커넥터가 RF 전원에 연결되었고, 전원을 연결하면 유도코일이 RF전자기마당을 형성하여 플라즈마 생성 및 자극에 사용된다. 하지만 이 구조에 있어서, 유도코일 위에 설치되어 전원과의 연결에 사용되는 유도코일 커넥터가 유도코일이 형성한 전자기마당에 영향을 미치어, 불균일한 RF전자기마당을 형성하며, 이는 플라즈마 균일성에 영향을 미치고, 더 나아가 에칭 균일성과 제품 합격율에 영향을 미치게 된다.
상기 문제점에 근거하여 본 발명에서 개시한 ICP에칭기용 전극 구조체에 있어서, 도4 - 도6에 도시된 것과 같이, 도4는 본 발명 실시예의 전극 구조체의 입체구조 설명도이고, 도5는 도4 중의 슬리브를 투명화 처리한 후의 입체구조 설명도이고, 도6은 도4의 평면도이고, 상기 전극 구조체는 유도코일(231), 유도코일 커넥터(232), 연접봉(233) 및 슬리브(30)를 포함하고 있으며, 그중,
유도코일(231)은 절연창(22) 위에 설치되었고, 절연창(22)은 챔버덮개(20) 위에 설치되었고,
연접봉(233)의 양단은 유도코일(231)과 유도코일 커넥터(232)에 각각 연결되었고,
슬리브(30)는 금속도체재료를 사용하고 접지 연결되었으며, 슬리브(30)의 한쪽은 엔드캡(302)이고, 다른 한쪽은 개구이며, 슬리브의 엔드캡(302) 위에 천공(303)을 설치하고, 연접봉(233)은 천공(303) 속에 설치되어 엔드캡(302)과 상호 격리되며, 슬리브(30)의 개구는 유도코일을 향해 설치되며, 유도코일(231)을 슬리브(30) 속에 폐쇄하였다.
본 발명의 기술방안에 있어서, 금속재질의 슬리브를 설치하였고, 이 슬리브의 한쪽에는 엔드캡을 설치하고, 엔드캡 위의 천공을 통해 연접봉을 그속에 설치하였고, 슬리브의 다른 한쪽 개구는 유도코일을 향해 설치되었고, 유도코일을 슬리브 내부에 폐쇄하였기 때문에, 유도코일 커넥터가 슬리브 밖에 설치되게 되었으며, 슬리브가 접지되고 금속재료이기 때문에 패러데이 차폐 슬리브를 형성하여 유도코일 커넥터에 의해 형성된 전자기마당을 슬리브 밖에 차폐하여, 유도코일이 생성한 균일한 전자기마당에 대한 영향을 피하고, 에칭 균일성을 보증한다.
본 발명의 실시예에서, 도5와 도6에 도시된 것과 같이, 전극은 유도코일(231), 유도코일 커넥터(232) 및 연접봉(233)을 포함하고 있으며, 그중 유도코일 커넥터(232)는 전원과 연결되고, 연접봉(233)을 통해 전원을 유도코일(231)에 연결하고, 유도코일이 RF공률을 접수하여, 플라즈마 자극에 필요한 전자기마당을 생성한다. 이 실시예에서, 유도코일(231)에는 연접봉(233) 뿐만 아니라 연접봉(235)도 연결하었고, 연접봉(233)이 유도코일 커넥터(232)를 통해 RF 전원과 연결되어 있으며, 연접봉(235)이 제2유도코일 커넥터(234)를 통해 접지단과 연결된다.
부동한 설계에 따라, 유도코일(231)은 평면 유도코일 또는 입체 유도코일을 사용할 수 있으며, 그 모양은 나선형, 점근적 선형, 동심원형, 또는 원형 등이 모두 가능하다. 이 실시예에서, 유도코일(231)은 입체 코일이고, 중심 코일과 외부 코일을 포함하고, 모두 상, 하 2층으로 구성되었으며, 중심 코일은 원형 고리모양에 가까운 1세트의 코일로 구성되었고, 이 코일에는 2개의 서로 교차되는 비 폐쇄 루프가 포함되고, 외부 코일도 원형 고리모양에 가까운 1세트의 코일로 구성되었고, 이 코일에는 2개의 서로 교차되는 비 폐쇄 루프가 포함되고, 중심 코일 내의 비 폐쇄 루프 사이 간격은 외부 코일 내의 비 폐쇄 루프 사이 간격과 다르며, 이 두개 코일 내의 비 폐쇄 루프 사이 간격을 비교하면 중심 코일이 외부 코일 사이 간격보다 크고, 각 세트의 코일들은 연접봉(233)을 통해 유도코일 커넥터(232)에 연결되고, 이 실시예에서, 외부 코일은 1세트이다. 수요에 따라, 외부 코일을 여러 세트 사용할 수 있는 바, 즉 외부 코일의 외부에 다른 한 세트의 코일을 설치하고, 중심 코일과 외부 코일 속의 비 폐쇄 루프는 한 세트 또는 여러 세트일 수 있고, 또는 기타 적합한 구조일 수 있으며, 중심 코일과 외부 코일을 동일한 전원에 연결하거나 또는 서로 다른 전원에 각각 연결할 수 있는 바, 이를 통해 필요한 전자기마당을 생성한다.
전극을 절연창(22) 위에 고정시키어 설치하고, 절연창(22)을 챔버덮개(20) 위에 고정하여 설치하고, 절연창(22)으로 전극과 챔버덮개(20)의 절연 격리를 실현하고, 전극과 챔버덮개(20)를 함께 고정하며, 챔버덮개(20)로 챔버 개구를 덮은 후(도면 미표시), 전극이 챔버 내부를 향하고, 그후 유도코일이 형성한 전자기마당이 플라즈마를 생성 및 자극하여, 챔버 내 기판 위의 에칭 또는 증착 등 공정에 사용된다.
본 발명의 실시예에서, 슬리브(30)도 설치하였는 바, 슬리브(30)는 금속도체재료를 사용하였고 접지 연결되었으며, 슬리브 (30)의 한쪽은 엔드캡(302)이고, 다른 한쪽은 개구이며, 슬리브 엔드캡(302) 위에 천공(303)을 설치하고, 연접봉(233)을 천공(303) 속에 설치하고 엔드캡(302)과 상호 격리하였으며, 슬리브(30)의 개구가 유도코일을 향해 설치되었고, 유도코일(231)을 슬리브(30) 내에 폐쇄한다.
본 발명의 실시예에서, 적어도 연접봉(233) 중 슬리브(30) 내에 있는 부분은 유도코일(231)에 수직되게 배치되어야 하며, 이로써 슬리브 내 자기마당 분포의 균일성을 보증하고, 슬리브 밖에 있는 부분은 슬리브에 의해 차폐되어, 슬리브 내 유도코일이 형성한 자기마당에 영향을 미치지 않고, 슬리브 바깥 부분에 놓인 연접봉의 배치가 제한을 받지 않을 수 있다.
설명이 필요한 점은, 유도코일(231)이 슬리브(30) 내에 폐쇄되었다는 것은 유도코일(231)이 슬리브 내부 공간에 위치하였으나 슬리브와 접촉하거나 연결되지 않았으므로 전기적 연결이 없음을 의미하며, 폐쇄는 슬리브 개구측 및 그 아래 부분의 부품이 폐쇄 연결되어 차폐 기능을 보유한 슬리브를 제공하고, 이 슬리브를 통해 유도코일 커넥터를 슬리브 밖에 설치하고, 슬리브가 접지되고 금속재료를 사용하였기 때문에 패러데이 차폐 슬리브를 형성하여, 유도코일 커넥터가 형성한 전자기마당을 슬리브 밖에 차폐하고, 유도코일이 형성한 균일한 전자기마당에 대한 영향을 피하고 에칭 균일성을 보증한다.
구체적인 실시예에서, 슬리브(30)를 제작하는 금속도체재료는 Al, Cu, Ag 또는 이러한 금속의 혼합체를 사용할 수 있으며 니켈철합금과 같은 자기차폐 금속재료를 사용할 수도 있다.
그중에서 유도코일(231)의 정상적인 작동을 보증하기 위해, 연접봉(233)과 슬리브(30)의 엔드캡(302)은 상호 격리되었으며, 즉 양자 사이에는 전기적 연결이 존재하지 않으며, 일부 실시예에서, 엔드캡(302) 상의 천공(303)의 직경을 비교적 크게 설정하여 엔드캡(302) 상의 천공(303)의 구경을 연접봉(233)의 직경보다 크게 만들 수 있고, 이처럼 연접봉(233)을 천공(303) 속에 설치한 후, 연접봉(233)의 외벽과 천공(303)의 측벽 사이에 일정한 간격을 형성하여, 연접봉(233)과 슬리브(30)의 엔드캡302이 서로 연결되지 않게 하여 양자 사이의 상호 격리를 실현한다.
다른 일부 실시예에서, 천공(303)과 연접봉(233) 사이에 절연 슬리브(도면중 미표시)를 설치하는 방식을 통하여 연접봉(233)과 엔드캡(302) 사이의 상호 격리를 실현할 수 있고, 절연 슬리브를 연접봉(233) 외벽에 설치할 수 있고, 천공(303)의 내벽에 설치할 수도 있으며, 한 실시예에서, 절연 슬리브는 파이프 슬리브이며, 연접봉(233)의 외벽에 씌워서 설치하고, 다른 한 실시예에서, 절연 슬리브는 보스가 달린 파이프 슬리브이며, 천공(303) 내벽에 끼워서 설치하고, 여기에서 말하는 절연 슬리브 구조는 실시예에 지나지 않으며 본 발명은 이에 국한되지 않는다.
본 발명에 있어서, 슬리브(30)을 접지 연결하고 유도코일(231)을 슬리브(30) 속에 폐쇄하여, 패러데이 차폐 슬리브를 형성해야 하며, ICP에칭기의 챔버덮개(20)를 접지 연결하고, 구조를 간략화하기 위해 본 발명의 실시예에서, 챔버덮개(20)를 통해 슬리브(30)의 접지 연결과 고정을 실현한다. 유도코일이 원형 고리모양인 실시예에서, 슬리브(30)를 원통형으로 하는 것이 바람직하며, 그리하여 폐쇄된 공간 내에서 보다 나은 전자기마당 분포를 제공한다.
구체적으로 일부 실시예에서, 도4에 도시된 것과 같이, 상기 슬리브(30)의 개구 부근에 플랜지(304)를 설치하고, 플랜지(304)를 통해 슬리브(30)를 챔버덮개(20) 위에 고정하고, 플랜지(304)가 챔버덮개(20)와 접촉하고, 챔버덮개(20)를 통해 슬리브(30)를 접지시킨다. 이 실시예에서, 플랜지(304)는 슬리브 개구를 한바퀴 에워싼 환상구조일 수 있으며, 한개 또는 여러 개의 편상 구조일 수 있으며, 플랜지(304) 위에 볼트를 설치하여 챔버덮개(20) 위에 고정할 수 있고, 플랜지(304)와 챔버덮개(20)가 직접 접촉하고 고정되어 연결되었기 때문에 슬리브(30) 개구 부근의 폐쇄를 실현하고, 챔버덮개(20)를 접지 연결하였기 때문에, 슬리브(30)를 고정하는 동시에 슬리브(30)의 접지 연결을 실현한다.
다른 일부 실시예에서, 도4에 도시된 것과 같이, 보다 짜인 구조를 제공하기 위해, 슬리브를 절연창(22) 위에 고정할 수 있고, 슬리브 및 챔버덮개(20)와 모두 접촉 연결하는 클램프를 설치하여, 슬리브의 접지 연결을 실현한다. 구체적으로 상기 슬리브(30)의 개구 부근에 플랜지를 설치하고, 플랜지를 통해 슬리브(30)를 절연창(22) 위에 고정하고, 또한 클램프도 설치하는 바, 클램프를 슬리브 외벽에 설치하고 챔버덮개와 접촉시키어, 챔버덮개와 클램프를 통해 슬리브를 접지시킨다. 이 실시예에서, 플랜지는 슬리브 개구를 한바퀴 에워싼 환상 구조일 수있고, 한개 또는 여러 개의 편상 구조일 수 있으며, 플랜지 위에 볼트를 설치하여 절연창(22)에 고정할 수 있으며, 이를 통해 슬리브 개구 부근의 폐쇄를 실현하고, 클램프는 슬리브와 같거나 부동한 금속도체재료를 사용할 수 있고, 클램프를 통해 슬리브를 챔버덮개(20)에 전기연결하여, 슬리브의 접지연결을 실현하고, 클램프는 슬리브(30)에 억지 끼워맞춤 연결을 할 수 있고, 그후 챔버덮개(20)에 고정한다.
이로써 본 발명의 실시예 중 ICP에칭기에 사용되는 전극 구조체에 대해 자세한 설명을 하였고, 본 발명은 상기 전극 구조체를 포함한 ICP에칭기를 개시하였고, 상기 전극 구조체는 챔버덮개와 함께 챔버 개구 위에 설치되었고, 챔버 내에 적재대도 설치하여, 가공대기 기판의 적재에 사용하며, 본 발명의 전극 구조체를 사용하였기 때문에 기판 가공시 전자기마당에 대한 유도코일 커넥터의 간섭을 제거하여, 에칭 균일성을 크게 향상시키고, 에칭 품질과 제품 합격율을 향상시키었다.
이상에서 설명한 본 발명은 바람직한 실시예를 상기와 같이 개시하였지만, 그에 의해 본 발명이 한정되는 것이 아니다. 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다. 따라서 본 발명 기술방안의 내용을 벗어나지 않고 본 발명의 기술에 근거하여 상기 실시예에 대해 진행한 모든 간단한 수정, 동등한 변화 및 수식은 전부 본 발명 기술방안의 보호 범위에 속한다.
231:유도코일 232:유도코일 커넥터
233:연접봉 30:슬리브
22:유도창 302:엔드캡
303:천공

Claims (10)

  1. 유도코일, 유도코일 커넥터, 연접봉 및 슬리브를 포함한 ICP에칭기용 전극 구조체에 있어서,
    유도코일은 절연창 위에 설치되었고, 절연창은 챔버덮개 위에 설치되었고,
    연접봉 양단을 유도코일와 유도코일 커넥터에 설치하였고,
    슬리브는 금속도체재료를 사용하고 접지 연결하였으며, 슬리브 한쪽은 엔드캡이고, 다른 한쪽은 개구이고, 슬리브의 엔드캡 위에 천공을 설치하였고, 연접봉을 천공 속에 설치하고 엔드캡과 상호 격리되었으며, 슬리브의 개구가 유도코일을 향해 설치되었고, 유도코일 커넥터에 의해 유도코일을 슬리브 내에 폐쇄하여 유도코일 커넥터에 의해 형성된 전자기 마당이 슬리브의 외면에서 차폐되어 유도코일에서 생성된 전자기 마당에 영향을 주는 것을 차단하는 것을 특징으로 하는 ICP에칭기용 전극 구조체.
  2. 제1항에 있어서,
    엔드캡 위의 천공 구경이 연접봉 직경보다 크므로 천공과 연접봉 사이에 간격이 존재하여 연접봉과 엔드캡 사이의 상호 격리를 실현한 ICP에칭기용 전극 구조체.
  3. 제1항에 있어서,
    천공과 연접봉 사이에 절연 슬리브를 설치하여 연접봉과 엔드캡을 상호 격리시킨 ICP에칭기용 전극 구조체.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 슬리브의 개구 부근에 플랜지를 설치하여, 플랜지를 통해 슬리브를 챔버덮개 위에 고정하고, 플랜지를 챔버덮개에 접촉시키어, 챔버덮개를 통해 슬리브를 접지시킨 ICP에칭기용 전극 구조체.
  5. 제1항에 있어서,
    클램프도 포함하며, 상기 슬리브 개구 부근에 플랜지를 설치하여, 플랜지를 통해 슬리브를 절연창 위에 고정하고, 클램프를 슬리브 외벽 위에 설치하여 챔버덮개와 접촉시키고, 챔버덮개와 클램프를 통해 슬리브를 접지시킨 ICP에칭기용 전극 구조체.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    슬리브 금속재료로서 Cu, Al, Ag 또는 이러한 금속의 혼합체, 또는 자기차폐 금속재료를 사용한 ICP에칭기용 전극 구조체.
  7. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유도코일은 원형 고리모양이고 상기 슬리브는 원통형인 ICP에칭기용 전극 구조체.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 연접봉 중 슬리브 내부에 위치한 부분이 유도코일에 수직되게 배치된 ICP에칭기용 전극 구조체.
  9. 제1항에 있어서,
    유도코일과 연결된 연접봉은 제1연접봉과 제2연접봉을 포함하며, 제1연접봉은 제1유도코일 커넥터을 통해 RF 전원과 연결되었고, 제2연접봉은 제2유도코일 커넥터을 통해 접지단과 연결된 ICP에칭기용 전극 구조체.
  10. ICP에칭기에 있어서,
    제1항 내지 제5항 및 제8항 내지 제9항 중 어느 한 항의 전극 구조체를 포함한 ICP에칭기.
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