KR101840006B1 - 다공성 세라믹 에어베어링 - Google Patents

다공성 세라믹 에어베어링 Download PDF

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KR101840006B1
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air
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김오경
김재영
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에프엠이 주식회사
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Abstract

본 발명은 다공성 세라믹 에어베어링에 관한 것으로, 내부에 중공부가 형성되어, 스핀들을 감싸도록 이루어지는 에어베어링을 포함하며, 상기 에어베어링은 상기 스핀들과 인접한 내측이 복수의 기공이 형성된 다공성 세라믹으로 이루어져, 스핀들에 균일하게 공기를 분사할 수 있도록 하며, 이러한 에어베어링이 서로 다른 기공률을 가진 다공성 세라믹을 포함하는 복수의 에어베어링 단위체로 이루어져 스핀들의 공진감소와 더불어 가공의 정밀도를 향상시킬 수 있도록 제공하는 다공성 세라믹 에어베어링이다.

Description

다공성 세라믹 에어베어링{Porous ceramic air bearing}
본 발명은 다공성 세라믹 에어베어링에 관한 것으로, 링 형상의 에어베어링 내부가 다공성 세라믹으로 이루어져, 모터의 스핀들과 직접적인 마찰이 없이도 사용가능한 다공성 세라믹 에어베어링이다.
에어베어링은 모터의 스핀들에 장착되어 많이 사용되고 있으며, 특히 초정밀 기기 및 초고속 공작기계에 많이 장착되어 사용되고 있다. 이와 같은 에어베어링은 비접촉식으로 이루어지기 때문에, 볼베어링과 같은 접촉식 베어링이 가지고 있는 한계인 표면 오차의 영향을 배제할 수 있는 장점이 있다. 그리고 최근 반도체, PCB 및 핸드폰 등과 같은 소재가공 관련 사업에서의 초정밀 가공 수요가 증가함에 따라, 생산자들은 표면 오차의 영향을 배제하여 보다 정밀한 가공이 가능한 에어베어링 스핀들방식을 많이 채택하고 있다.
하지만, 에어베어링 스핀들은 회전축과 고정부사이의 간극이나 공기압력 및 주축 회전속도 등의 조건에 따라 성능이 매우 민감하게 바뀌는 특성이 있다. 특히, 간극 변화에 따른 공기압의 급격한 변화와 정상 상태에서도 존재하는 불균일한 압력 분포는 생산자들에게 해결해야 되는 큰 문제점이었다.
이에 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 한국등록실용신안 제20-0467865호("다공질에어플레이트가 구비된 에어베어링")가 개시되어 있다. 상기한 장치는 도 1에서 도시된 바와 같이 모터(M)의 회전축(1)에 결합된 에어베어링에 있어서, 회전축(1)에 완벽히 고정되는 바디(2), 상기 바디(2)와 일정간격 이격된 롤러(4) 및 상기 바디(2)와 롤러(4) 사이에 구비된 다공질에어플레이트(3)로 이루어져 있다.
위와 같은 장치는 종래의 문제점을 일부 해결할 수는 있으나, 모터의 스핀들에 직접 바디가 장착됨에 따라 성능이 저하되는 단점이 있다. 나아가 모터의 스핀들은 긴 막대 또는 원통형으로 이루어지기 마련이며, 상기한 장치는 길이가 길어짐에 따라 나타나는 진동을 감쇠하는데 있어서는 큰 효과가 없다.
한국등록실용신안 제20-0467865호("다공질에어플레이트가 구비된 에어베어링", 2013,07,02) 한국등록특허 제10-1694769호("에어터빈이 장착된 에어베어링 스핀들", 2017.01.04) 한국등록특허 제10-1596306호("에어 베어링 및 이를 이용한 인장 클램프 어셈블리", 2016.02.16)
본 발명은 다공성 세라믹 에어베어링에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 모터의 스핀들을 따라 배치된 복수의 에어베어링이 형성되어 스핀들의 공진을 감쇠하며, 모터의 스핀들의 길이에 따라 에어베어링의 수를 조절하여 다양한 형상에 접목할 수 있는 다공성 세라믹 에어베어링이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다공성 세라믹 에어베어링은, 내부에 중공부가 형성되어, 스핀들을 감싸도록 이루어지는 다공성 세라믹 에어베어링에 있어서, 상기 스핀들을 감싸도록 형성되며, 복수의 기공이 형성된 다공성 세라믹으로 이루어지는 다공성링과 상기 다공성링의 외측에 형성되며, 길이방향을 따라 연통되도록 이루어지는 공기유로가 형성된 하우징링; 및 상기 다공성링과 상기 하우징링 사이에 형성되되 상기 공기유로로부터 공기가 유입되어 상기 다공성링으로 유출하는 노즐이 형성된 연결링을 포함하며, 상기 다공성링과 상기 연결링은 일체로 이루어지고, 상기 하우징의 내면에 복수의 홈이 형성되되 상기 연결링의 외면에 상기 복수의 홈과 대응하는 적어도 하나 이상의 삽입부가 형성되어, 상기 연결링의 삽입부는 상기 하우징링의 복수의 홈 중 하나의 것에 선택적으로 삽입되어, 상기 공기유로로부터 상기 노즐로 유입되는 공기량을 조절하는 것을 특징으로 할 수 있다.
이때 상기 에어베어링은 제1에어베어링 및 제2에어베어링을 포함한 복수의 에어베어링 단위체가 스핀들의 길이방향을 따라 결합되어 이루어지며, 상기 제1에어베어링 및 제2에어베어링의 각각에 형성된 다공성 세라믹은 서로 다른 기공률을 가진 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 상기 복수의 에어베어링 단위체는 각각 외측에 공기유로가 형성되되, 상기 복수의 에어베어링 단위체가 결합되면 각각에 형성된 공기유로가 연결되는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 상기 에어베어링은 상기 제1에어베어링 및 제2에어베어링이 복수로 이루어져, 복수의 상기 제1에어베어링 및 제2에어베어링이 서로 교번하여 결합되는 것을 특징으로 할 수 있다.
삭제
상기와 같은 구성에 의한 본 발명에 따른 다공성 세라믹 에어베어링은, 스핀들을 따라 배치된 복수의 에어베어링 단위체가 결합하면서 상기 복수의 에어베어링 단위체가 서로 다른 기공률로 이루어져, 스핀들에게 발생되는 공진을 에어베어링에서 배출되는 서로 다른 압력의 공기를 통해 효과적으로 조율할 수 있으며, 스핀들의 길이에 무관하게 에어베어링 단위체의 개수를 변화시켜 사용할 수 있어 사용자에게 큰 편의를 제공한다.
또한 본 발명의 에어베어링 단위체는 복수의 홈이 내면에 형성된 하우징링과 삽입부가 외면에 돌출 형성된 연결링을 포함하여, 복수의 에어베어링 단위체의 각각에 들어가는 공기의 양을 물리적으로 조절할 수 있는 장점이 있으며, 스핀들의 무게나 회전력에 따라 조절할 수 있어서 간편하면서도 효율적인 장점이 있다.
그리고 본 발명은 에어베어링의 내부가 다공성 세라믹으로 이루어져 스핀들에 압축공기가 고르게 분사되어, 에어베어링의 성능이 보다 향상되도록 이루어진다.
도 1은 종래기술에 따른 에어베어링의 단면도
도 2는 본 발명인 다공성 세라믹 에어베어링의 일 실시예에 따른 전체사시도
도 3은 본 발명인 다공성 세라믹 에어베어링의 일 실시예에 따른 에어베어링의 사시도
도 4는 본 발명인 다공성 세라믹 에어베어링의 일 실시예에 따른 복수의 에어베어링 단위체가 결합되는 것을 도시한 정단면도
도 5는 본 발명인 다공성 세라믹 에어베어링의 일 실시예에 따른 에어베어링의 정단면도
도 6은 본 발명인 다공성 세라믹 에어베어링의 일 실시예에 따른 스핀들의 공진을 감쇠하는 에어베어링의 개략도
도 7 내지 도 9는 본 발명인 다공성 세라믹 에어베어링의 일 실시예에 따른 복수의 홈 및 삽입부의 다양한 모드를 도시한 제1에어베어링의 측단면도
도 10은 본 발명인 다공성 세라믹 에어베어링의 다른 실시예에 따른 에어베어링의 사시도
이하 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예에 따른 다공성 세라믹 에어베어링을 상세히 설명한다. 다음에 소개되는 도면들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서 본 발명은 이하 제시되는 도면들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 또한 명세서 전반에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
이때 사용되는 기술 용어 및 과학 용어에 있어서 다른 정의가 없다면, 이 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 통상적으로 이해하고 있는 의미를 가지며, 하기의 설명 및 첨부 도면에서 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 설명은 생략한다.
<실시예 1>
도 2 및 도 3은 본 발명인 다공성 세라믹 에어베어링의 일 실시예에 관한 것으로, 도 2는 전체사시도를 나타내며, 도 3은 에어베어링의 사시도를 나타낸다. 도 2를 참조하면, 본 발명의 에어베어링(1000)은 제1에어베어링(100) 및 제2에어베어링(200)을 포함한 복수의 에어베어링 단위체로 이루어질 수 있으며, 도 2의 경우에는 총 4개의 에어베어링 단위체(100, 200, 300, 400)가 결합되는 것을 도시한 도면이다. 본 발명은 도 2와 같이 4개의 에어베어링 단위체에 한정하지 않으며, 서로 다른 기공을 가진 적어도 한 쌍의 에어베어링 단위체를 포함한다면, 그 개수를 한정하지 않는다. 부가적으로 설명하자면 도 2의 경우에는 에어베어링 보관부(10)에 에어베어링(1000)이 삽입되는 것을 도시한 것으로, 스핀들에 결합되는 에어베어링은 추후에 보다 상세히 설명한다.
도 3은 상기 복수의 에어베어링 단위체(100, 200, 300, 400)를 보다 명확하게 도시하기 위한 에어베어링(1000)의 사시도로, 도 3을 참조하면 복수의 에어베어링 단위체(100, 200, 300, 400)는 각각 중공부가 형성되어 스핀들(21)을 감싸도록 이루어질 수 있다. 이 중에서 측면이 도시된 제1에어베어링(100)을 대표적으로 설명하자면 다음과 같다.
상기 제1에어베어링(100)은 제1하우징링(110), 제1연결링(120) 및 제1다공성링(130)을 포함하여 이루어질 수 있다. 이때 상기 제1하우징링(110)은 제1에어베어링(100)의 외측을 형성하며 제1다공성링(130)은 제1에어베어링(100)의 내측을 형성한다. 그리고 상기 제1연결링(120)은 상기 제1하우징링(110) 및 제1다공성링(130) 사이에 배치되도록 이루어지며, 상기 제1하우징링(110), 제1연결링(120) 및 제1다공성링(130)은 각각 원통형으로 이루어진다. 이를 간추리자면, 상기 제1하우징링(110)의 내면은 상기 제1연결링(120)의 외면과 맞닿고, 상기 제1연결링(120)의 내면은 상기 제1다공링(130)의 외면과 맞닿는다.
여기서 상기 제1다공성링(130)은 상기 스핀들(21)을 감싸도록 이루어지되, 상기 제1다공성링(130)이 형성하는 중공부의 크기는 상기 스핀들(21)의 크기보다 크도록 형성될 수 있다. 그리고 상기 제1다공성링(130)은 복수의 기공이 형성된 다공성 세라믹으로 이루어져 공기가 중공부로 잘 빠져나가도록 이루어질 수 있다.
또한 상기 제2에어베어링(200)은 상기 제1에어베어링(100)의 구성과 동일하게 이루어져, 제2하우징링(210), 제2연결링(220) 및 제2다공성링(230)으로 이루어질 수 있다. 여기서 본 발명의 에어베어링은 상기 제1다공성링(130) 및 제2다공성링(130)이 서로 다른 기공률을 가진 것을 특징으로 할 수 있다. 여기서 기공률이란, 다공성링의 원통형상으로 이루어지는 전체부피에서 기공이 형성되는 부피를 통해 계산되는 값으로, 도 3에서는 제1다공성링(130)을 구성하는 하나의 기공이 상기 제2다공성링(230)을 구성하는 하나의 기공보다 작게 형성되어, 서로 고루게 분포된 것을 도시하고 있다. 이에 따라 상기 제1다공성링(130) 및 제2다공성링(230)은 동일한 중공부로 토출되는 공기의 압력이 서로 다루도록 이루어질 수 있다.
이는 상기 제3에어베어링(300) 및 제4에어베어링(400)도 동일하게 이루어질 수 있으며, 하나의 실시예에서는 제3에어베어링(300)이 상기 제1에어베어링(100)과 동일하게 이루어지며, 제4에어베어링(400)이 상기 제2에어베어링(200)과 동일하게 이루어지는 것을 도시한다. 또한 이와 같이 상기 제1에어베어링(100) 및 제2에어베어링(200)은 복수로 이루어져 서로 교번하여 이루어질 수 있다. 그리고 복수의 에어베어링 단위체(100, 200, 300, 400)는 서로 스핀들(21)의 길이방향을 따라 배치되되 서로 측면이 결합되어질 수 있다. 이는 도 4 및 도 5를 참조하여 보다 상세히 설명한다.
도 4 및 도 5는 본 발명인 다공성 세라믹 에어베어링의 일 실시예에 관한 것으로, 도 4는 복수의 에어베어링 단위체가 서로 결합되는 것을 나타내며, 도 5는 결합된 에어베어링의 정단면도를 나타낸다. 도 4를 참조하면, 본 발명의 에어베어링(1000)은 복수의 에어베어링 단위체(100, 200, 300, 400)로 이루어질 수 있으며, 서로 측면이 결합되도록 이루어질 수 있다. 복수의 에어베어링 단위체(100, 200, 300, 400)는 각각 하우징링, 연결링 및 다공성링으로 3중의 링형상으로 이루어지도록 이루어질 수 있으며, 서로 다른 기공률을 가진 다공성링이 교번되도록 배치될 수 있다. 물론 2개의 기공률이 서로 교번하는 것을 포함하여, 3개 이상의 다공성링이 서로 다른 기공률을 가지도록 이루어질 수도 있다.
이어 도 5를 참조하면, 결합된 복수의 에어베어링 단위체(100, 200, 300, 400)는 각각 하우징링에 공기유로(30)가 형성되며, 연결링에는 노즐(40)이 형성될 수 있다. 그리고 각각에 형성된 공기유로(30)는 결합하면 길이방향을 따라 서로 연통되도록 이루어질 수 있으며, 도시되지는 않았지만 별도의 공기주입수단과 연동되어 외부로부터 공기가 이송되도록 할 수 있다. 그리고 상기 노즐(40)은 상기 공기유로(30)로부터 공기가 유입되며, 각각의 다공성링으로 공기를 유출하도록 상기 연결링의 직경방향을 따라 연통되도록 이루어질 수 있다.
도 6은 본 발명인 본 발명인 다공성 세라믹 에어베어링의 일 실시예에 관한 것으로, 도 6은 스핀들의 공진을 감쇠하는 에어베어링의 개략도를 나타낸다. 도 6을 참조하면, 일반적으로 모터부(20)에 형성된 스핀들(21)은 모터의 동력을 전달받아 회전이 이루어지기 때문에, 스핀들(21)의 길이방향을 따라 진동이 발생된다. 이때 발생되는 진동은 스핀들(21)의 길이나 모터의 세기 등으로부터 영향을 받으며, 이와 같이 발생되는 진동 혹은 공진으로 인해서 스핀들의 정밀도가 감소되는 문제점이 있었다. 이에 본 발명은 상기 스핀들(21)의 길이방향을 따라 복수의 에어베어링 단위체(100, 200, 300, 400)로 이루어진 에어베어링(1000)을 제공할 수 있으며, 상기 복수의 에어베어링 단위체는 내측면이 스핀들(21)을 둘러싸도록 다공성링이 형성될 수 있다. 그리고 상기 스핀들(21)의 진동을 감쇠하도록 서로 다른 기공률을 가진 다공성링이 배치될 수 있으며, 상기 복수의 에어베어링 단위체의 길이를 조절함으로써 공진을 감쇠시키도록 이루어질 수 있다.
도 7 내지 도 9는 본 발명인 다공성 세라믹 에어베어링의 일 실시예에 관한 것으로, 각각은 삽입부가 복수의 홈에 삽입되는 경우에 나타나는 것을 여러 형태로 도시한 도면이다. 먼저 도 7을 참조하면, 본 발명의 에어베어링 단위체(100)는 하우징링(110)의 내면에 복수의 홈(111, 112, 113)이 형성되고, 연결링(120)의 외면에 삽입부(121)가 돌출 형성되도록 이루어질 수 있다. 이때 도 7은 제1에어베어링(100)의 정단면도로 다른 에어베어링 단위체에도 이러한 구조를 적용할 수 있는 것은 자명하기 때문에, 제1에어베어링(100)을 통해 이러한 결합구조를 보다 상세히 설명한다.
상기 복수의 홈은 도시된 바와 같이 2개 이상의 복수의 홈으로 이루어질 수 있으며, 본 발명의 일 실시예로 3개의 홈(111, 112, 113)이 형성된 하우징링(110)을 통해 상세히 설명한다. 상기 복수의 홈(111, 112, 113)은 상기 하우징링(110)이 연결링(120)과 맞닿는 내면이 함몰 형성될 수 있으며, 도시되지는 않았으나 상기 제1에어베어링(100)의 길이방향을 따라 연장되도록 형성될 수 있다. 또한 상기 삽입부(121)는 상기 연결링(120)이 상기 하우징링(110)과 맞닿는 외면에 형성되되, 상기 복수의 홈(111, 112, 113)과 대응되는 형상으로 이루어질 수 있다. 그리고 앞서 기재한 바와 같이 상기 하우징링(110)에는 길이방향을 따라 공기유로가 형성되되, 상기 연결링(120)에는 공기를 주입하도록 노즐(40)이 형성될 수 있다.
도 7의 경우에는 상기 삽입부(121)가 제1홈(111)에 삽입된 것을, 도 8의 경우에는 상기 삽입부(121)가 제2홈(112)에 삽입된 것을, 도 9의 경우에는 상기 삽입부(121)가 제3홈(113)에 삽입된 것을 각각 도시하고 있다. 이때 상기 삽입부(121) 및 홈의 결합은 상기 하우징링(110) 및 연결링(120)이 길이방향으로 서로 이동되도록 이루어져 착탈가능하게 이루어짐에 따라 가능해질 수 있으며, 별도의 고정수단을 통해 사용시에는 서로 움직이지 않도록 단단히 고정될 수 있다.
그리고 상기 삽입부(121)가 복수의 홈(111, 112, 113) 중에서 선택되는 곳에 삽입되면, 상기 공기유로(30) 및 노즐(40) 간의 공기유량을 조절할 수 있으며, 도 7의 경우는 공기유로(30)의 하부가 상기 노즐(40)과 완전히 맞닿는 것을 도시하며, 도 8의 경우는 상기 제1연결링(120)의 몸체가 상기 공기유로(30)의 하부를 1/3가량 막고 있는 것을, 도 9의 경우에는 상기 제1연결링(120)의 몸체가 상기 공기유로(30)의 하부를 2/3가량 막고 있는 것을 도시하고 있다. 이와 같이 삽입부(121) 및 복수의 홈(111, 112, 113)을 통해 사용자는 별도의 제어가 없어도 손쉽게 해당 부분의 공기유량을 물리적으로 조절할 수 있는 장점이 있다.
<실시예 2>
도 10은 본 발명인 다공성 세라믹 에어베어링의 다른 실시예에 관한 것으로, 도 10은 에어베어링의 사시도를 나타낸다. 도 10을 참조하면, 본 발명의 에어베어링 단위체는 각각 서로 다른 기공률을 가지도록 각각의 다공성링이 형성될 수 있으며, 이는 앞서 기재한 실시예 1과 같이 기공의 크기를 통해 조절할 수도 있고, 유사한 크기의 기공의 분포도에 따라 조절할 수도 있다. 그리고 이 외에도 기공크기가 일정하지 않더라도, 제작 시에 다공성 재료에서 비어있는 부분이 전체 부피에서 차지하는 비율인 기공률을 조절하도록 생산할 수 있다. 그리고 본 발명의 기공은 폐쇄형 기공보다는 기공이 한 방향으로 연신된 로터스형 기공이나 개방형 기공이이 바람직하며, 복수의 에어베어링 단위체 중 적어도 2개 이상이 서로 기공률이 다르다면 제작법에 대해서 한정하지는 아니한다.
이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 도면에 의해 설명되었으나, 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 일 실시예에 한정되는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술되는 특허 청구 범위뿐 아니라 이 특허 청구 범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명의 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
10 : 에어베어링 보관부
20 : 모터부 21 : 스핀들
30 : 공기유로 40 : 노즐
1000 : 에어베어링
100 : 제1에어베어링
110 : 제1하우징링 111, 112, 113 : 홈
120 : 제1연결링 121 : 삽입부
130 : 제1다공성링
200 : 제2에어베어링
210 : 제2하우징링 220 : 제2연결링
230 : 제2다공성링
300 : 제3에어베어링
310 : 제3하우징링 320 : 제3연결링
330 : 제3다공성링
400 : 제4에어베어링
410 : 제4하우징링 420 : 제4연결링
430 : 제4다공성링

Claims (6)

  1. 내부에 중공부가 형성되어, 스핀들을 감싸도록 이루어지는 다공성 세라믹 에어베어링에 있어서,
    상기 스핀들을 감싸도록 형성되며, 복수의 기공이 형성된 다공성 세라믹으로 이루어지는 다공성링;
    상기 다공성링의 외측에 형성되며, 길이방향을 따라 연통되도록 이루어지는 공기유로가 형성된 하우징링; 및
    상기 다공성링과 상기 하우징링 사이에 형성되되 상기 공기유로로부터 공기가 유입되어 상기 다공성링으로 유출하는 노즐이 형성된 연결링;
    을 포함하며,
    상기 다공성링과 상기 연결링은 일체로 이루어지고,
    상기 하우징의 내면에 복수의 홈이 형성되되 상기 연결링의 외면에 상기 복수의 홈과 대응하는 적어도 하나 이상의 삽입부가 형성되어,
    상기 연결링의 삽입부는 상기 하우징링의 복수의 홈 중 하나의 것에 선택적으로 삽입되어, 상기 공기유로로부터 상기 노즐로 유입되는 공기량을 조절하는 것을 특징으로 하는 다공성 세라믹 에어베어링.
  2. 제1항에 있어서, 상기 에어베어링은
    제1에어베어링 및 제2에어베어링을 포함한 복수의 에어베어링 단위체가 스핀들의 길이방향을 따라 결합되어 이루어지며,
    상기 제1에어베어링 및 제2에어베어링의 각각에 형성된 다공성 세라믹은 서로 다른 기공률을 가진 것을 특징으로 하는 다공성 세라믹 에어베어링.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 복수의 에어베어링 단위체는 각각 외측에 공기유로가 형성되되,
    상기 복수의 에어베어링 단위체가 결합되면 각각에 형성된 공기유로가 연결되는 것을 특징으로 하는 다공성 세라믹 에어베어링.
  4. 제2항에 있어서, 상기 에어베어링은
    상기 제1에어베어링 및 제2에어베어링이 복수로 이루어져,
    복수의 상기 제1에어베어링 및 제2에어베어링이 서로 교번하여 결합되는 것을 특징으로 하는 다공성 세라믹 에어베어링.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP4989140B2 (ja) * 2006-07-18 2012-08-01 オイレス工業株式会社 エアスピンドル用駆動装置
US20140374506A1 (en) * 2014-09-08 2014-12-25 Gunnar van der Steur Composite air bearing assembly

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