KR101834466B1 - Shelf for supporting wafer-receiving container and cap assembly used therefor - Google Patents

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KR101834466B1
KR101834466B1 KR1020170102038A KR20170102038A KR101834466B1 KR 101834466 B1 KR101834466 B1 KR 101834466B1 KR 1020170102038 A KR1020170102038 A KR 1020170102038A KR 20170102038 A KR20170102038 A KR 20170102038A KR 101834466 B1 KR101834466 B1 KR 101834466B1
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coupling
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장희곤
박종오
김재윤
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Abstract

The present invention provides a shelf to support a wafer reception container preventing a cap assembly from being twisted during a process coupled to a plate; and a cap assembly used for the same. According to the present invention, the shelf comprises: a plate having a through-hole and a plurality of coupling holes formed around the through-hole and formed to allow a wafer reception container to be mounted thereon; a nozzle including a connection part connected to the wafer reception container and coupled to the plate while the connection part is penetrated and inserted into the through-hole; and the cap assembly disposed on the plate to support the wafer reception container while surrounding the connection part and coupled to the plate. The cap assembly includes: a body including a central hole corresponding to the connection part and a plurality of peripheral holes corresponding to the coupling holes, and allowing the wafer reception container to be mounted thereon; a coupling base including a plurality of nut parts corresponding to the peripheral holes and a connection part to connect the nut parts with each other to allow the nut parts to form a single body, coupled to the body, and formed with a material having a strength higher than that of the body; and a coupling piece inserted into the peripheral hole, the nut part, and the coupling hole to allow the body to be coupled to the plate without deformation through the coupling base.

Description

웨이퍼 수용 용기 지지 선반 및 그에 사용되는 캡 조립체{SHELF FOR SUPPORTING WAFER-RECEIVING CONTAINER AND CAP ASSEMBLY USED THEREFOR}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a shelf for supporting a wafer accommodating chamber, and a cap assembly for use therein. BACKGROUND OF THE INVENTION < RTI ID =

본 발명은 웨이퍼 수용 용기 지지 선반 및 그에 사용되는 캡 조립체에 관한 것이다.The present invention relates to a wafer receiving container support shelf and a cap assembly used therein.

일반적으로, 반도체 제조 공정에서는 웨이퍼를 생산하고, 생산된 웨이퍼를 다음 단계로 이송하여 반도체 패키지를 제조하게 된다.Generally, in a semiconductor manufacturing process, a wafer is produced, and the produced wafer is transferred to the next stage to manufacture a semiconductor package.

이때, 생산된 웨이퍼는 바로 다음 단계에 사용되지 못하고 일정 시간 대기한 후에 필요에 따라 순차적으로 다음 단계로 보내진다. 이러한 보관을 위한 설비로서, 선반을 가진 장치가 사용되고 있다.At this time, the produced wafers can not be used in the next step, and after waiting for a certain time, they are sequentially sent to the next step as needed. As a facility for such storage, a device having a shelf is used.

그러나, 이러한 보관 중에 웨이퍼의 표면의 손상되는 경우가 발생한다. 이를 해결하기 위해, 웨이퍼를 보관하는 용기 내에 불활성 가스를 주입하는 방법이 이용된다. 위 가스의 안정적 주입을 위해서는, 선반에 웨이퍼를 보관하는 용기가 놓여지고, 선반과 용기 사이에 누설이 발생하지 않아야 한다. However, the surface of the wafer may be damaged during such storage. To solve this problem, a method of injecting an inert gas into a container for storing a wafer is used. In order to stably inject the gas, the container holding the wafer should be placed on the shelf, and no leakage should occur between the shelf and the container.

그런데, 용기와 선반 사이의 실링을 위한 개재물이 선반에 조립되는 과정에서 비틀어지게 되면, 상기 개재물의 표면과 용기 사이에 틈새가 발생하여, 상기 용기로 주입된 가스가 상기 틈새를 통해 외부로 누설되는 문제가 발생할 수 있다. 이러한 누설 가스는 용기 주변의 작업자의 건강에 악영향을 미칠 수 있다.However, when the inclusion for sealing between the container and the shelf is twisted in the process of assembling to the shelf, a gap is formed between the surface of the inclusion and the container, and the gas injected into the container leaks out through the gap Problems can arise. Such leakage gas may adversely affect the health of the operator around the vessel.

본 발명의 일 목적은, 웨이퍼 수용 용기를 지지하는 캡 조립체가 플레이트에 결합되는 과정에서 비틀리지 않게 하는, 웨이퍼 수용 용기 지지 선반 및 그에 사용되는 캡 조립체를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a wafer receiving container support shelf and a cap assembly used therein, which makes it unlikely that the cap assembly supporting the wafer receiving container is stuck in the process of being coupled to the plate.

본 발명의 다른 일 목적은, 캡 조립체의 비틀림에 의한 캡 조립체와 웨이퍼 수용 용기 간의 틈새가 발생하지 않게 하여, 그 틈새로 용기에 주입된 가스가 누설되는 일이 구조적으로 방지될 수 있는, 웨이퍼 수용 용기 지지 선반 및 그에 사용되는 캡 조립체를 제공하는 것이다.It is another object of the present invention to provide a wafer accommodating apparatus capable of preventing a gap between a cap assembly and a wafer accommodating container due to twisting of a cap assembly from occurring and structurally preventing leakage of gas injected into the container through the gap. A container supporting shelf and a cap assembly used therefor.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명의 측면에 따른 웨이퍼 수용 용기 지지 선반은, 관통홀과, 상기 관통홀 주위에 형성되는 복수의 결합홀을 구비하고, 웨이퍼 수용 용기가 얹혀지도록 형성되는 플레이트; 상기 웨이퍼 수용 용기에 접속되는 접속부를 구비하고, 상기 접속부가 상기 관통홀에 관통 삽입된 채로 상기 플레이트에 결합되는 노즐; 및 상기 접속부를 감싸면서 상기 웨이퍼 수용 용기를 지지하도록 상기 플레이트 상에 위치하고, 상기 플레이트에 대해 결합되는 캡 조립체를 포함하고, 상기 캡 조립체는, 상기 접속부에 대응하는 중앙홀과, 상기 복수의 결합홀에 대응하는 복수의 주변홀을 구비하고, 상기 웨이퍼 수용 용기가 얹혀지도록 형성되며, 완충성 재질로 형성되는 몸체; 상기 복수의 주변홀에 대응하는 복수의 너트부와, 상기 복수의 너트부가 하나의 단일체를 이루도록 상기 복수의 너트부를 서로에 대해 연결하는 연결부를 구비하고, 상기 몸체에 결합되며, 상기 몸체보다 높은 강도를 갖는 재질로 형성되는 결합 베이스; 및 상기 주변홀, 상기 너트부, 및 상기 결합홀에 삽입되고, 상기 주변홀에 삽입 시에 상기 몸체의 개입 없이 상기 너트부의 상면과 직접 접촉되는 헤드를 가져서 상기 결합 베이스를 매개로 하여 상기 몸체를 변형이 없는 상태로 상기 플레이트에 결합시키는 결합피스를 포함할 수 있다. According to an aspect of the present invention, there is provided a wafer receiving container support shelf including: a through-hole; a plate having a plurality of coupling holes formed around the through-hole; A nozzle connected to the wafer accommodating container and connected to the plate while the connection portion is inserted through the through hole; And a cap assembly disposed on the plate to support the wafer receiving container while surrounding the connection, the cap assembly being coupled to the plate, wherein the cap assembly includes a central hole corresponding to the connection portion, A body formed of a buffer material and having a plurality of peripheral holes corresponding to the wafer accommodating container; A plurality of nut portions corresponding to the plurality of peripheral holes and a connecting portion connecting the plurality of nut portions to each other such that the plurality of nut portions form a unitary body, An engaging base formed of a material having a predetermined thickness; And a head inserted into the peripheral hole, the nut portion, and the coupling hole and having a head directly contacting the upper surface of the nut portion without interposition of the body when inserted into the peripheral hole, And a coupling piece for coupling to the plate without deformation.

여기서, 상기 결합피스는, 상기 너트부에 삽입 체결되는 볼트를 포함하고, 상기 몸체는 실리콘 재질로 형성되고, 상기 결합 베이스는 금속 재질로 형성될 수 있다.Here, the coupling piece may include a bolt to be inserted into the nut portion, the body may be formed of a silicon material, and the coupling base may be formed of a metal material.

여기서, 상기 결합 베이스는, 상기 몸체와 인서트 사출되어 상기 몸체와 일체로 형성될 수 있다.Here, the coupling base may be integrally formed with the body by injecting the body and the insert.

여기서, 상기 결합 베이스는, 상기 너트부에서 돌출 형성되고, 상기 주변홀에 끼움 결합되는 끼움 돌기를 더 포함할 수 있다.The coupling base may further include a fitting protrusion protruded from the nut portion and fitted into the peripheral hole.

여기서, 상기 캡 조립체는, 상기 몸체에서 돌출 형성되는 보강 리브를 더 포함하고, 상기 보강 리브는, 상기 주변홀을 감싸도록 형성되는 주변 원형 리브; 및 상기 중앙홀을 감싸도록 형성되는 중앙 원형 리브, 상기 몸체의 윤곽에 대응하여 연장 형성되는 윤곽 리브, 및 상기 중앙홀의 중심에서 방사 방향으로 연장 형성되는 방사 리브 중 어느 하나의 리브를 포함할 수 있다.The cap assembly may further include a reinforcing rib protruding from the body, wherein the reinforcing rib includes a peripheral circular rib formed to surround the peripheral hole; And a central rib formed to surround the central hole, a contour rib extending in correspondence with the contour of the body, and a radial rib extending radially from the center of the central hole, .

여기서, 상기 너트부는, 상기 주변 원형 리브에 대응하도록 배치되고, 상기 연결부는, 상기 어느 하나의 리브에 대응하도록 형성될 수 있다.Here, the nut portion may be disposed to correspond to the peripheral circular rib, and the connection portion may be formed to correspond to one of the ribs.

여기서, 상기 연결부는, 상기 윤곽 리브에 대응하도록 연장되고, 상기 너트부가 내접하는 타원형 링체를 포함할 수 있다. Here, the connecting portion may include an elliptical ring body extending to correspond to the contour ribs, and the nut portion being in contact with the outer circumferential rib.

여기서, 상기 연결부는, 상기 중앙 원형 리브에 대응 형성되는 원형 링체; 및 상기 방사 리브에 대응 형성되어, 상기 원형 링체를 상기 타원형 링체에 연결하는 방사 라인체를 더 포함할 수 있다.Here, the connection portion may include: a circular ring body corresponding to the central circular rib; And a radiating line body formed corresponding to the radiating rib and connecting the circular ring body to the elliptical ring body.

여기서, 상기 너트부와 상기 연결부는, 상기 중앙홀 및 상기 주변홀 각각에 대응하는 복수의 관통홀을 구비하고, 상기 몸체에 대응하는 사이즈를 갖는 타원형 평판체를 형성될 수 있다.Here, the nut portion and the connection portion may include a plurality of through holes corresponding to the center hole and the peripheral holes, respectively, and an elliptical flat plate having a size corresponding to the body may be formed.

상기 어느 하나의 리브는, 상기 연결부가 끼움 결합되는 연결 그루브를 포함하고, 상기 주변 원형 리브는, 상기 너트부가 끼움 결합되는 너트 그루브를 포함하며, 상기 연결 그루브와 상기 너트 그루브는 서로 연통되는 것일 수 있다.Wherein one of the ribs includes a connecting groove in which the connecting portion is fitted, and the peripheral circular rib includes a nut groove in which the nut portion is fitted, and the connecting groove and the nut groove are communicated with each other have.

본 발명의 다른 측면에 따른 웨이퍼 수용 용기 지지 선반에 사용되는 캡 조립체는, 중앙홀과, 상기 중앙홀의 주변에 위치하는 복수의 주변홀과, 상기 중앙홀의 내주면에서 돌출 형성되는 걸림턱을 구비하고, 완충성 재질로 형성되는 몸체; 및 상기 복수의 주변홀에 대응하여 배치되는 복수의 너트부와, 상기 복수의 너트부가 하나의 단일체를 이루도록 상기 복수의 너트부를 서로에 대해 연결하는 연결부를 구비하고, 상기 몸체에 결합되며, 상기 몸체보다 큰 강도를 갖는 재질로 형성되는 결합 베이스를 포함하고, 상기 주변홀은, 상기 너트부에 삽입 체결되는 결합피스의 헤드가 상기 너트부의 상면과 직접 접촉되게 하는 내경을 가질 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a cap assembly for use in a wafer receiving container support shelf, the cap assembly comprising: a center hole; a plurality of peripheral holes located in the periphery of the center hole; and a locking protrusion protruding from the inner peripheral surface of the center hole, A body formed of a buffer material; And a plurality of nut portions disposed corresponding to the plurality of peripheral holes and a connecting portion connecting the plurality of nut portions to each other so that the plurality of nut portions form a single body, And the peripheral hole may have an inner diameter that allows the head of the coupling piece to be inserted into the nut portion to be in direct contact with the upper surface of the nut portion.

여기서, 상기 몸체는 실리콘 재질로 형성되고, 상기 결합 베이스는 금속 재질로 형성되며, 상기 결합 베이스는, 상기 너트부에 대해 삽입되는 볼트 회전시 발생하는 비틀림력에 의해 상기 몸체가 비틀리는 것을 방지하는 강도를 가질 수 있다.Here, the body is formed of a silicone material, and the coupling base is formed of a metal material. The coupling base prevents the body from twisting due to a twisting force generated when the bolt is inserted into the nut portion It can have strength.

여기서, 상기 결합 베이스는, 상기 너트부에서 돌출 형성되고, 상기 주변홀에 끼움 결합되는 끼움 돌기를 더 포함할 수 있다.The coupling base may further include a fitting protrusion protruded from the nut portion and fitted into the peripheral hole.

여기서, 상기 몸체에서 돌출 형성되는 보강 리브를 더 포함하고, 상기 보강 리브는, 상기 주변홀을 감싸도록 형성되는 주변 원형 리브; 및 상기 중앙홀을 감싸도록 형성되는 중앙 원형 리브, 상기 몸체의 윤곽에 대응하여 연장 형성되는 윤곽 리브, 및 상기 중앙홀의 중심에서 방사 방향으로 연장 형성되는 방사 리브 중 어느 하나의 리브를 포함하고, 상기 어느 하나의 리브는 상기 연결부가 끼움 결합되도록 상기 연결부에 대응하는 형태로 연장되는 연결 그루브를 포함하고, 상기 주변 원형 리브는 상기 너트부가 끼움 결합되도록 상기 너트부에 대응하여 형성되는 너트 그루브를 포함할 수 있다.The reinforcing rib may further include a reinforcing rib projecting from the body, wherein the reinforcing rib includes a peripheral circular rib formed to surround the peripheral hole; And a rib, which is formed of a central circular rib formed to surround the central hole, a contour rib extending in correspondence with an outline of the body, and a radial rib extending radially from the center of the central hole, One of the ribs includes a connecting groove extending in a shape corresponding to the connecting portion so that the connecting portion is fitted to the connecting portion and the peripheral circular rib includes a nut groove formed corresponding to the nut portion so that the nut portion is fitted .

상기와 같이 구성되는 본 발명에 관련된 웨이퍼 수용 용기 지지 선반 및 그에 사용되는 캡 조립체에 의하면, 웨이퍼 수용 용기를 지지하는 캡 조립체가 플레이트에 결합되는 과정에서 비틀리지 않게 된다.According to the wafer receiving container support shelf and the cap assembly used therein, the cap assembly supporting the wafer accommodating container constructed as described above can be prevented from becoming unstable in the process of being coupled to the plate.

그에 따라, 캡 조립체의 비틀림에 의한 캡 조립체와 웨이퍼 수용 용기 간의 틈새가 발생하지 않아, 그 틈새로 용기에 주입된 가스가 누설되는 일이 없게 된다.As a result, there is no gap between the cap assembly and the wafer accommodation container due to the twist of the cap assembly, so that the gas injected into the container does not leak through the gap.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 수용 용기 지지 선반(100)과 그에 얹혀지게 될 웨이퍼 수용 용기(S)를 보인 사시도이다.
도 2는 도 1의 캡 조립체(150)를 플레이트(110)에서 분리한 분리 사시도이다.
도 3은 도 1의 라인(Ⅲ-Ⅲ)을 따라 취한 단면도이다.
도 4는 도 2의 캡 조립체(150)의 저면을 바라본 분해 사시도이다.
도 5는 도 4의 캡 조립체(150)의 일 변형예에 따른 캡 조립체(150')의 저면을 바라본 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 캡 조립체(250)의 저면을 바라본 분해 사시도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 캡 조립체(350)의 저면을 바라본 분해 사시도이다.
도 8은 도 7의 본 발명의 캡 조립체(350)의 일 변형예에 따른 캡 조립체(350')의 저면을 바라본 분해 사시도이다. 1 is a perspective view showing a wafer receiving container supporting shelf 100 and a wafer receiving container S to be placed thereon according to an embodiment of the present invention.
2 is an exploded perspective view of the cap assembly 150 of FIG. 1 separated from the plate 110. FIG.
3 is a cross-sectional view taken along line III-III in Fig.
4 is an exploded perspective view of the bottom of the cap assembly 150 of FIG.
5 is an exploded perspective view of a bottom surface of a cap assembly 150 'according to one variation of the cap assembly 150 of FIG.
FIG. 6 is an exploded perspective view of a bottom surface of a cap assembly 250 according to another embodiment of the present invention.
7 is an exploded perspective view of a bottom surface of a cap assembly 350 according to another embodiment of the present invention.
FIG. 8 is an exploded perspective view of the bottom of a cap assembly 350 'in accordance with one variation of the cap assembly 350 of FIG. 7 of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 수용 용기 지지 선반 및 그에 사용되는 캡 조립체에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일·유사한 구성에 대해서는 동일·유사한 참조번호를 부여하고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음한다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a wafer receiving container supporting shelf according to a preferred embodiment of the present invention and a cap assembly used therein will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present specification, the same or similar reference numerals are given to different embodiments in the same or similar configurations.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 수용 용기 지지 선반(100)과 그에 얹혀지게 될 웨이퍼 수용 용기(S)를 보인 사시도이다.1 is a perspective view showing a wafer receiving container supporting shelf 100 and a wafer receiving container S to be placed thereon according to an embodiment of the present invention.

본 도면을 참조하면, 웨이퍼 수용 용기 지지 선반(100)은, 플레이트(110)와, 노즐(130)과, 캡 조립체(150)를 포함할 수 있다.Referring to the drawings, the wafer receiving container support shelf 100 may include a plate 110, a nozzle 130, and a cap assembly 150.

플레이트(110)는 웨이퍼 수용 용기(S)가 얹혀지는 구성이다. 이를 위해, 플레이트(110)는 대략 사각형의 형태를 가질 수 있다. 플레이트(110)에는 불활성 가스를 웨이퍼 수용 용기(S)에 공급하기 위한 공급 라인(121)과, 웨이퍼 수용 용기(S)로 공급된 불활성 가스를 외부로 배기하기 위한 배기 라인(123)이 설치될 수 있다. 더불어, 플레이트(110)에는 웨이퍼 수용 용기(S)를 옮기는 반송 로봇이 해당 플레이트(110)의 위치를 식별하기 위한 표지로서 리플렉터(125)가 설치될 수 있다. The plate 110 is configured such that the wafer accommodation container S is placed thereon. For this purpose, the plate 110 may have a substantially rectangular shape. The plate 110 is provided with a supply line 121 for supplying an inert gas to the wafer accommodating container S and an exhaust line 123 for exhausting the inert gas supplied to the wafer accommodating container S to the outside . In addition, a reflector 125 may be provided on the plate 110 as a mark for identifying the position of the plate 110 by the transport robot for moving the wafer accommodating container S.

노즐(130)은 플레이트(110)에 설치된다. 노즐(130)은 한 쌍으로서, 구체적으로 공급 라인(121) 및 배기 라인(123) 각각과 연결된다. 이러한 노즐(130)은 웨이퍼 수용 용기(S)의 접속구(J)에 대응하여 위치한다. The nozzle 130 is installed on the plate 110. The nozzles 130 are connected as a pair, specifically to the supply line 121 and the exhaust line 123, respectively. The nozzle 130 is positioned corresponding to the connection port J of the wafer accommodation container S.

캡 조립체(150)는 플레이트(110)에 대해 결합되어, 웨이퍼 수용 용기(S)를 지지하게 된다. 캡 조립체(150)는 노즐(130)의 일부를 감싸도록 배치될 수 있다. The cap assembly 150 is coupled to the plate 110 to support the wafer receiving container S. The cap assembly 150 may be arranged to enclose a part of the nozzle 130.

이러한 구성에 의하면, 웨이퍼 수용 용기(S)가 플레이트(110)에 놓여질 때, 웨이퍼 수용 용기(S)의 접속구(J)는 노즐(130)에 대응하게 된다. 그에 의해, 노즐(130)은 접속구(J)와 연결되게 된다. 이는 공급 라인(121)과 배기 라인(123)이 각각 노즐(130)과 접속구(J)를 매개로 웨이퍼 수용 용기(S)의 내부와 연통됨을 말한다. The connection port J of the wafer accommodating container S corresponds to the nozzle 130 when the wafer accommodating container S is placed on the plate 110. [ Thereby, the nozzle 130 is connected to the connection port J. This means that the supply line 121 and the exhaust line 123 communicate with the inside of the wafer accommodation container S via the nozzle 130 and the connection port J, respectively.

그 결과, 공급 라인(121)을 통해 공급된 불활성 가스는, 공급 라인(121)에 연결된 노즐(130) 및 그 노즐에 대응하는 접속구(J)를 통해 웨이퍼 수용 용기(S) 내로 투입된다. 또한, 웨이퍼 수용 용기(S) 내에 투입된 불활성 가스는, 웨이퍼에 영향을 미친 후에, 또 다른 노즐(130) 및 그에 연결된 배기 라인(123)을 통해 외부로 배출된다. As a result, the inert gas supplied through the supply line 121 is introduced into the wafer accommodating container S through the nozzle 130 connected to the supply line 121 and the connection J corresponding to the nozzle. Further, the inert gas injected into the wafer accommodating container S exerts to the outside through another nozzle 130 and an exhaust line 123 connected thereto after the inert gas is applied to the wafer.

이러한 과정에서, 캡 조립체(150)는 노즐(130)을 감싸면서 웨이퍼 수용 용기(S)를 지지하게 된다. 그에 의해, 노즐(130)과 접속구(J)간의 접속이 안정적으로 이루어져서, 그들의 연결 부위에서 불활성 가스의 누설이 되지 않게 한다. In this process, the cap assembly 150 supports the wafer receiving container S while enclosing the nozzle 130. Thereby, the connection between the nozzle 130 and the connection port J is stably performed, so that leakage of the inert gas does not occur at the connection portion thereof.

또한, 캡 조립체(150)가 노즐(130)에 결합되는 방식이 아니라{또는 노즐(130)에 결합되더라도}, 플레이트(110)에 결합되는 방식이어서, 그가 웨이퍼 수용 용기(S)가 놓였다 옮겨졌다 하면서 물리적인 충격을 받는 중에도 제 위치에서 이탈할 가능성이 낮아진다. 그 결과, 오랜 사용에도 상기 불활성 가스의 누설 위험은 여전히 낮게 유지할 수 있게 된다.It is also the manner in which the cap assembly 150 is coupled to the plate 110, not the way it is coupled to the nozzle 130 (or even if it is coupled to the nozzle 130), so that the wafer receiving container S is placed and moved So that it is less likely to detach from the position even under the physical impact. As a result, the risk of leakage of the inert gas can be kept low even after long use.

나아가, 캡 조립체(150)는 플레이트(110)에 결합되는 과정에서, 볼트 결합 시의 비틀림력에 의해 그 형태가 비틀리지 않게 된다. 그에 의해, 캡 조립체(150)의 표면이 평탄하지 못해서 캡 조립체(150)와 웨이퍼 수용 용기(S) 간에 틈새가 발생하는 일도 막을 수 있다. 이렇게 틈새가 발생되지 않음에 의해, 그 틈새를 통한 가스의 누설 위험도 없앨 수 있다.Further, in the process of coupling the cap assembly 150 to the plate 110, the shape of the cap assembly 150 is not distorted by the twisting force at the time of bolt connection. Thereby, the surface of the cap assembly 150 is not flat, and a gap between the cap assembly 150 and the wafer accommodating container S can be prevented from occurring. Since the gap is not generated, the risk of gas leakage through the gap can be eliminated.

이러한 캡 조립체(150)의 설치 구조에 대하여, 도 2 및 도 3을 참조하여 설명한다.The mounting structure of the cap assembly 150 will be described with reference to Figs. 2 and 3. Fig.

도 2는 도 1의 캡 조립체(150)를 플레이트(110)에서 분리한 분리 사시도이고, 도 3은 도 1의 라인(Ⅲ-Ⅲ)을 따라 취한 단면도이다.FIG. 2 is an exploded perspective view of the cap assembly 150 of FIG. 1 separated from the plate 110, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III of FIG.

본 도면들을 참조하면, 플레이트(110)에는 캡 조립체(150)의 설치를 위한 구조가 마련된다. 구체적으로, 플레이트(110)에는 관통홀(111)과, 결합홀(113)이 형성된다. 관통홀(111)은 노즐(130)의 접속부(131)가 관통 삽입되는 사이즈로 형성된다. 결합홀(113)은 관통홀(111)의 주변에 위치하며, 한 쌍으로 구비될 수 있다. 이때, 한 쌍의 결합홀(113)은 관통홀(111)과 함께 하나의 직선을 이루도록 배치될 수 있다. Referring to these drawings, a plate 110 is provided with a structure for mounting the cap assembly 150. Specifically, the through hole 111 and the coupling hole 113 are formed in the plate 110. The through hole 111 is formed to have a size in which the connection portion 131 of the nozzle 130 is inserted and inserted. The coupling holes 113 are located around the through holes 111 and may be provided in pairs. At this time, the pair of coupling holes 113 may be arranged so as to form a single straight line together with the through holes 111.

노즐(130)은 위의 접속부(131)와, 지지부(135)를 포함할 수 있다. 접속부(131)는 관통홀(111)에 삽입되어 플레이트(110)의 상면 위로 돌출되게 배치될 수 있다. 접속부(131)의 외면에는 도랑 형태로 파여진 걸림홈(133)이 형성될 수 있다. 지지부(135)는 접속부(131)에 연결되는 부분이고, 또한 플레이트(110)와 결합되는 부분일 수 있다. 지지부(135)에는 결합홀(113)에 대응하는 체결홀(136)이 형성될 수 있다. The nozzle 130 may include the connection portion 131 and the support portion 135. The connection part 131 may be inserted into the through hole 111 and protrude from the upper surface of the plate 110. An engaging groove 133 may be formed on the outer surface of the connection part 131 in a ditch shape. The support portion 135 is a portion connected to the connection portion 131 and may also be a portion coupled with the plate 110. [ A fastening hole 136 corresponding to the coupling hole 113 may be formed in the support portion 135.

캡 조립체(150)는 몸체(151)와, 결합피스(155)와, 결합 베이스(156)를 포함할 수 있다. The cap assembly 150 may include a body 151, a coupling piece 155, and a coupling base 156.

몸체(151)는 웨이퍼 수용 용기(S, 도 1)에 대한 밀착 지지를 위해 완충성이 우수한 재질(제1 재질)로서, 예를 들어 실리콘으로 형성될 수 있다. 몸체(151)는, 접속부(131)에 대응하는 중앙홀(152)과, 결합피스(155)에 대응하는 복수의 주변홀(153)을 구비할 수 있다. 이때, 주변홀(153)은 한 쌍으로서, 중앙홀(152)의 양옆에 위치할 수 있다. 몸체(151)는 대체로 타원형 판재의 형상을 가질 수 있다. 이때, 중앙홀(152)과 주변홀(153)은 타원형 몸체(151)의 주축 상에 위치할 수 있다. 중앙홀(152)의 내부에는 걸림홈(133)에 걸리도록 걸림턱(154)이 돌출 형성될 수 있다. The body 151 may be formed of, for example, silicon as a material (first material) having excellent buffering properties for closely supporting the wafer accommodating container S (Fig. 1). The body 151 may include a central hole 152 corresponding to the connection portion 131 and a plurality of peripheral holes 153 corresponding to the coupling piece 155. At this time, the peripheral holes 153 may be located on both sides of the center hole 152 as a pair. The body 151 may have the shape of a generally elliptical sheet material. At this time, the center hole 152 and the peripheral hole 153 may be positioned on the main axis of the elliptical body 151. A locking protrusion 154 may protrude from the center hole 152 to engage with the locking groove 133.

결합피스(155)는 주변홀(153)과 결합홀(113)에 삽입되어, 몸체(151)를 플레이트(110)에 결합시키게 된다. 이때, 결합피스(155)는 예를 들어, 볼트일 수 있다. The coupling piece 155 is inserted into the peripheral hole 153 and the coupling hole 113 to couple the body 151 to the plate 110. At this time, the coupling piece 155 may be, for example, a bolt.

결합 베이스(156)는 몸체(151)의 하측에 결합되는 구성이다. 결합 베이스(156)는 몸체(151) 보다 강도가 높은 구성으로서, 예를 들어 금속(제2 재질)으로 형성될 수 있다. 이러한 결합 베이스(156)에는 상기 볼트의 머리가 회전되면서 밀착된다. 결합 베이스(156)의 일 부분으로서, 너트부(157)는 주변홀(153)에 대응하여 위치한다. 너트부(157)는 위의 결합피스(155)로서의 볼트와 나사 결합되는 구성이다. 상기 볼트는 주변홀(153)과 결합피스(155) 뿐만 아니라, 노즐(130)의 체결홀(136)에도 삽입될 수 있다. 그에 의하면, 노즐(130)과 몸체(151)가 결합피스(155)에 의해 한 번에 플레이트(110)에 결합될 수 있게 된다. 또한, 상기 볼트는 주변홀(153)에 삽입 시에 몸체(151)의 개입 없이 너트부(157)의 상면과 직접 접촉되는 헤드를 가진다.The coupling base 156 is configured to be coupled to the lower side of the body 151. The coupling base 156 has a higher strength than the body 151, and may be formed of, for example, a metal (second material). The head of the bolt is in close contact with the coupling base 156 while being rotated. As a part of the coupling base 156, the nut portion 157 is positioned corresponding to the peripheral hole 153. And the nut portion 157 is screwed to the bolt as the engaging piece 155. The bolt may be inserted into the coupling hole 136 of the nozzle 130 as well as the peripheral hole 153 and the coupling piece 155. The nozzle 130 and the body 151 can be coupled to the plate 110 at one time by the coupling piece 155. [ The bolt has a head which is in direct contact with the upper surface of the nut portion 157 without interposition of the body 151 when the bolt is inserted into the peripheral hole 153.

이러한 구성에 의하면, 몸체(151)는 걸림홈(133)과 걸림턱(154)의 결합에 의해 노즐(130)에 결합된다. 또한, 몸체(151)는 결합피스(155)에 의해 플레이트(110)에 결합된다.According to this configuration, the body 151 is engaged with the nozzle 130 by the engagement of the engagement groove 133 and the engagement protrusion 154. In addition, the body 151 is coupled to the plate 110 by a coupling piece 155.

노즐(130)은 몸체(151)에 의해 감싸지고, 노즐(130)의 접속홀(132)은 몸체(151)의 중앙홀(152)에 의해 외부로 노출된다. 이러한 노즐(130)은 결합피스(155)에 의해 플레이트(110)에 대해, 몸체(151)와 함께 체결될 수 있다. The nozzle 130 is enclosed by the body 151 and the connection hole 132 of the nozzle 130 is exposed to the outside by the center hole 152 of the body 151. The nozzle 130 can be fastened together with the body 151 to the plate 110 by the engagement piece 155.

이상의 캡 조립체(150)에 대해 추가로 도 4를 참조하여 살펴본다.The cap assembly 150 described above will be further discussed with reference to FIG.

도 4는 도 2의 캡 조립체(150)의 저면을 바라본 사시도이다.4 is a perspective view of the bottom of the cap assembly 150 of FIG.

본 도면을 참조하면, 캡 조립체(150)의 결합 베이스(156)는, 앞서 언급된 너트부(157)에 더하여, 연결부(158)를 더 가질 수 있다. Referring to the drawings, the coupling base 156 of the cap assembly 150 may further include a connecting portion 158 in addition to the above-mentioned nut portion 157.

연결부(158)는 복수의 너트부(157)를 서로에 대해 연결하여 복수의 너트부(157)와 단일체를 이루는 구성이다. 연결부(158)는 결합피스(155)의 회전에 의해 너트부(157)에 가해지는 비틀림력에도 변형되지 않고 제 형태를 유지할 수 있는 강도를 가진 금속 재질로 형성될 수 있다. 이러한 연결부(158) 및 너트부(157)로 구성된 결합 베이스(156)는 몸체(151)에 대해 인서트 사출에 의해 일체로 결합될 수 있다. The connecting portion 158 is configured to form a single body with the plurality of nut portions 157 by connecting the plurality of nut portions 157 to each other. The connecting portion 158 may be formed of a metal material having a strength capable of maintaining its shape without being deformed by the twisting force applied to the nut portion 157 by the rotation of the engaging piece 155. The coupling base 156 composed of the coupling portion 158 and the nut portion 157 can be integrally coupled to the body 151 by insert injection.

캡 조립체(150)는, 보강 리브(161)를 더 구비할 수 있다. 보강 리브(161)는 몸체(151)에서 돌출하여, 몸체(151)의 지지력을 높이는 구성이다. 보강 리브(161)는 몸체(151)의 저면, 다시 말해 플레이트(110)와 마주하는 면에 형성될 수 있다. The cap assembly 150 may further include a reinforcing rib 161. The reinforcing rib 161 protrudes from the body 151 to enhance the supporting force of the body 151. [ The reinforcing ribs 161 may be formed on the bottom surface of the body 151, that is, on the surface facing the plate 110.

보강 리브(161)는, 중앙 원형 리브(162)와, 방사 리브(163)와, 주변 원형 리브(165)와, 윤곽 리브(166)를 포함할 수 있다. The reinforcing rib 161 may include a central circular rib 162, a radiation rib 163, a peripheral circular rib 165 and a contour rib 166.

중앙 원형 리브(162)는 중앙홀(152)에 대응하여 위치하며, 원형 단면을 갖는 것으로 형성될 수 있다. 방사 리브(163)는 중앙 원형 리브(162)에서 방사 방향으로 연장 형성된다. 주변 원형 리브(165)는 주변홀(153)에 대응하며, 원형 단면을 갖는 것으로 형성될 수 있다. 윤곽 리브(166)는 몸체(151)의 윤곽에 대응하여 타원형으로 형성될 수 있다. 윤곽 리브(166)에는 방사 리브(163)와 주변 원형 리브(165)가 연결될 수 있다. The central circular rib 162 is located corresponding to the center hole 152 and may have a circular cross section. The radial ribs 163 extend radially in the central circular ribs 162. The peripheral circular rib 165 corresponds to the peripheral hole 153 and may be formed to have a circular cross section. The contour ribs 166 may be formed in an elliptical shape corresponding to the contour of the body 151. The contour rib 166 may be connected to the radiation rib 163 and the peripheral circular rib 165.

이러한 보강 리브(161)에 대응하여, 결합 베이스(156)의 연결부(158)는 윤곽 리브(166)에 대응하는 타원형 링체(158a)일 수 있다. 이 경우, 너트부(157)는 타원형 링체(158a)의 양 단부 측에 내접하게 위치할 수 있다. Corresponding to this reinforcing rib 161, the connecting portion 158 of the engaging base 156 may be an elliptical ring body 158a corresponding to the contour rib 166. [ In this case, the nut portion 157 can be positioned so as to be in contact with both end portions of the elliptical ring body 158a.

이러한 구성에 의하면, 몸체(151)가 웨이퍼 수용 용기(S, 도 1)에 의해 가압되는 환경에서, 몸체(151)가 완충 작용과 동시에 웨이퍼 수용 용기(S)를 강인하게 지지할 수 있게 된다.According to this configuration, in the environment in which the body 151 is pressed by the wafer accommodating container S (Fig. 1), the body 151 can firmly support the wafer accommodating container S simultaneously with the buffering action.

또한, 캡 조립체(150)에 플레이트(110, 도 2 참조)에 결합될 때, 결합피스(155)가 너트부(157)에 대해 조여지는 상황에서 너트부(157)에 가해지는 비틀림력에 의해 몸체(151)가 비틀리는 변형이 발생되지 않는다. 이는 한 쌍의 너트부(157)가 연결부(158)에 의해 서로 연결되어, 결합피스(155)에 의한 비틀림력에도 너트부(157)가 제 자세를 유지할 수 있기 때문이다. 그에 따라, 몸체(151) 역시 제 형태를 유지하게 되어, 몸체(151)가 비틀림에 의해 그와 수용 용기(S) 사이에 틈새가 생기지 않게 된다.2) of the cap assembly 150 due to the torsional force exerted on the nut portion 157 in the situation where the engagement piece 155 is tightened against the nut portion 157 Distortion that the body 151 is twisted does not occur. This is because a pair of the nut portions 157 are connected to each other by the connecting portion 158 so that the nut portion 157 can maintain the posture even in the twisting force by the engaging piece 155. Accordingly, the body 151 also maintains its shape, and a gap is not formed between the body 151 and the receiving container S due to the twist.

도 5는 도 4의 캡 조립체(150)의 일 변형예에 따른 캡 조립체(150')의 저면을 바라본 분해 사시도이다.5 is an exploded perspective view of a bottom surface of a cap assembly 150 'according to one variation of the cap assembly 150 of FIG.

본 도면을 참조하면, 캡 조립체(150')는 앞선 실시예의 캡 조립체(150)와 대체로 동일하나, 결합 베이스(156')의 연결부(158')의 구성이 다소 차이가 있다. Referring to the drawing, the cap assembly 150 'is substantially the same as the cap assembly 150 of the previous embodiment, but the configuration of the connection portion 158' of the coupling base 156 'is somewhat different.

구체적으로, 결합 베이스(156')의 연결부(158')는, 앞선 실시예와 유사하게 타원형 링체(158a)를 가질 뿐만 아니라, 원형 링체(158b)와 방사 라인체(158c)를 더 가질 수 있다. 여기서, 방사 리브(163')는, 앞선 실시예에 비해, 중앙 원형 리브(162')와 주변 원형 리브(165')를 잇는 주축 리브를 더 가질 수 있다.Specifically, the connection portion 158 'of the coupling base 156' has not only the elliptical ring body 158a but also the circular ring body 158b and the radiation line body 158c similarly to the previous embodiment . Here, the radial rib 163 'may further have a spindle rib that connects the central circular rib 162' and the peripheral circular rib 165 ', as compared to the previous embodiment.

원형 링체(158b)는 중앙 원형 리브(162')에 대응하여 위치하며, 대체로 원형 링 형상을 가지는 구성이다. 방사 라인체(158c)는 방사 리브(163')에 대응하며, 원형 링체(158b)와 타원형 링체(158a)를 연결하는 구성이다. The circular ring body 158b is located corresponding to the central circular rib 162 ', and has a configuration having a generally circular ring shape. The radiating line body 158c corresponds to the radiating rib 163 'and is configured to connect the circular ring body 158b and the elliptical ring body 158a.

이러한 구성에 의하면, 한 쌍의 너트부(157')는 타원형 링체(158a)에 의해 서로에 대해 연결될 뿐만 아니라, 방사 라인체(158c) 및 원형 링체(158b)에 의해서도 서로에 대해 추가로 연결될 수 있다. 그에 의해, 너트부(157)에 대해 결합피스(155, 도 3 참조)가 나사 결합될 때, 결합피스(155)에 의해 발생하는 비틀림력에 대하여 결합 베이스(156')가 더 강인하게 저항하며 제 형상을 유지할 수 있다. 이는, 결합피스(155)의 체결 시에 너트부(157')가 비틀림에 따른 몸체(151')의 변형 가능성을 보다 확실하게 방지할 수 있게 한다. According to this configuration, the pair of nut portions 157 'are not only connected to each other by the elliptical ring body 158a but also can be further connected to each other by the radiating line body 158c and the circular ring body 158b have. Thereby, when the engaging piece 155 (see FIG. 3) is screwed onto the nut portion 157, the engaging base 156 'is more resistant to the torsional force generated by the engaging piece 155 The shape can be maintained. This makes it possible to more reliably prevent the nut portion 157 'from deforming the body 151' due to the twisting at the time of fastening the coupling piece 155. [

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 캡 조립체(250)의 저면을 바라본 분해 사시도이다.FIG. 6 is an exploded perspective view of a bottom surface of a cap assembly 250 according to another embodiment of the present invention.

본 도면을 참조하면, 캡 조립체(250)의 결합 베이스(256)는, 몸체(251)에 대응하는 사이즈를 갖는 타원형 평판체일 수 있다. Referring to this figure, the coupling base 256 of the cap assembly 250 may be an elliptical flat plate having a size corresponding to the body 251.

이 경우, 상기 타원형 평판체의 양 가장장리에는 한 쌍의 관통홀이 형성되어, 너트부(257)를 형성할 수 있다. 또한, 상기 타원형 평판체의 중앙에는 또 다른 관통홀이 형성되는데, 이러한 중앙의 관통홀은 몸체(251)의 중앙홀(252)에 대응하여 형성될 수 있다. In this case, a pair of through-holes are formed in both the longest sides of the elliptical flat plate to form the nut portion 257. In addition, another through hole is formed at the center of the elliptical flat plate. The center through hole may be formed corresponding to the center hole 252 of the body 251.

이러한 결합 베이스(256)에 의하면, 너트부(257)의 관통홀에 결합피스(155, 도 3 참조)가 체결될 때, 너트부(257)가 결합 베이스(256)의 나머지 부분에 의해 지지되어 결합피스(155)에 의해 발생하는 비틀림력에 보다 강인하게 저항할 수 있게 된다. According to this coupling base 256, when the coupling piece 155 (see FIG. 3) is fastened to the through hole of the nut portion 257, the nut portion 257 is supported by the remaining portion of the coupling base 256 It is possible to more firmly resist the twisting force generated by the engaging piece 155.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 캡 조립체(350)의 저면을 바라본 분해 사시도이다.7 is an exploded perspective view of a bottom surface of a cap assembly 350 according to another embodiment of the present invention.

본 도면을 참조하면, 캡 조립체(350)는 앞서의 캡 조립체(150)와 유사하게 몸체(351)와 결합 베이스(356)를 가질 수 있다. Referring to this figure, the cap assembly 350 may have a body 351 and a coupling base 356 similar to the cap assembly 150 previously described.

이때, 결합 베이스(356)는 앞선 실시예와 달리 끼움 돌기(359)를 더 가질 수 있다. 끼움 돌기(359)는 너트부(357)에서 돌출되어, 몸체(351)의 주변 원형 리브(365)의 끼움 홈(365a)에 끼움 결합된다. 그에 따라, 결합 베이스(356)는, 앞선 실시예와 달리, 몸체(351)와 인서트 사출되지 않고 몸체(351)와 별도 제작된 후에 몸체(351)에 끼움 결합될 수 있다.At this time, the engaging base 356 may further have the fitting protrusion 359, unlike the previous embodiment. The fitting projection 359 protrudes from the nut portion 357 and is fitted into the fitting groove 365a of the peripheral circular rib 365 of the body 351. [ Accordingly, unlike the previous embodiment, the coupling base 356 can be fitted to the body 351 after being manufactured separately from the body 351 without injecting the body 351 with an insert.

이러한 구성에 의하면, 몸체(351)와 결합 베이스(356) 간의 결합이 간단한 방식으로 이루어질 수 있게 된다. According to this configuration, the coupling between the body 351 and the coupling base 356 can be performed in a simple manner.

도 8은 도 7의 본 발명의 캡 조립체(350)의 일 변형예에 따른 캡 조립체(350')의 저면을 바라본 분해 사시도이다.FIG. 8 is an exploded perspective view of the bottom of a cap assembly 350 'in accordance with one variation of the cap assembly 350 of FIG. 7 of the present invention.

본 도면을 참조하면, 캡 조립체(350')는 앞선 실시예의 캐캡 조립체(350)와 대체로 동일하나, 보강 리브(361')에 그루브(365'a 및 366'a)가 형성되는 점에서 차이가 있다. 또한, 결합 베이스(356')에는 끼움 돌기(359, 도 7)가 형성되지 않는다.Referring to this figure, the cap assembly 350 'is substantially the same as the cap assembly 350 of the previous embodiment, except that the grooves 365'a and 366'a are formed in the reinforcing rib 361' have. Further, the engaging base 356 'is not provided with the fitting projection 359 (Fig. 7).

구체적으로, 연결부(358')가 타원형 링체(358'a)인 것에 대응하여, 윤곽 리브(366')에는 연결 그루브(366'a)가 연장 형성될 수 있다. 나아가, 너트부(357')에 대응하여, 주변 원형 리브(365')에는 너트 그루브(365'a)가 형성될 수 있다. 여기서, 연결 그루브(366'a)와 너트 그루브(365'a)는 서로 연통된다. 이와 달리, 보강 리브(361') 중 다른 부분에 그루브가 형성되고, 결합 베이스(356')는 그러한 그루브에 끼움 결합되는 형태를 가질 수도 있다.Concretely, corresponding to the connection portion 358 'being the elliptical ring body 358'a, the connection groove 366'a may be extended to the contour rib 366'. Further, corresponding to the nut portion 357 ', a nut groove 365'a may be formed in the peripheral circular rib 365'. Here, the connecting groove 366'a and the nut groove 365'a communicate with each other. Alternatively, grooves may be formed in other portions of the reinforcing ribs 361 ', and the engaging base 356' may have a shape that is engaged with such grooves.

이러한 구성에 의하면, 결합 베이스(356')는 그 전체로서 연결 그루브(366'a)와 너트 그루브(365'a)에 끼움 결합될 수 있다. 그에 의해, 결합 베이스(356')와 보강 리브(361'), 나아가 몸체(351') 간의 결합이 보다 견고하게 유지될 수 있다.According to this configuration, the coupling base 356 'as a whole can be fitted into the coupling groove 366'a and the nut groove 365'a. Thereby, the coupling between the coupling base 356 'and the reinforcing rib 361' and further the body 351 'can be more firmly maintained.

상기와 같은 웨이퍼 수용 용기 지지 선반 및 그에 사용되는 캡 조립체는 위에서 설명된 실시예들의 구성과 작동 방식에 한정되는 것이 아니다. 상기 실시예들은 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 구성될 수도 있다. The wafer receiving container support shelf and the cap assembly used therein are not limited to the configuration and operation of the embodiments described above. The embodiments may be configured so that all or some of the embodiments may be selectively combined so that various modifications may be made.

100: 웨이퍼 수용 용기 지지 선반
110: 플레이트 130: 노즐
131: 접속부 135: 지지부
150,130',250,350: 캡 조립체 151,151',251,351,351': 몸체
155: 결합피스 156,156',256,356,356': 결합 베이스
157,157',257,357,357': 너트부 158,158',258,358,358': 연결부100: wafer receiving container supporting shelf
110: plate 130: nozzle
131: connection part 135:
150, 130 ', 250, 350: cap assembly 151, 151', 251, 351, 351 '
155: coupling piece 156, 156 ', 256, 356, 356'
157, 157 ', 257, 357, 357': Nuts 158, 158 ', 258, 358, 358'

Claims (14)

관통홀과, 상기 관통홀 주위에 형성되는 복수의 결합홀을 구비하고, 웨이퍼 수용 용기가 얹혀지도록 형성되는 플레이트; 상기 웨이퍼 수용 용기에 접속되는 접속부를 구비하고, 상기 접속부가 상기 관통홀에 관통 삽입된 채로 상기 플레이트에 결합되는 노즐; 및 상기 접속부를 감싸면서 상기 웨이퍼 수용 용기를 지지하도록 상기 플레이트 상에 위치하고, 상기 플레이트에 대해 결합되는 캡 조립체를 포함하고,
상기 캡 조립체는, 상기 접속부에 대응하는 중앙홀과, 상기 복수의 결합홀에 대응하는 복수의 주변홀을 구비하고, 상기 웨이퍼 수용 용기가 얹혀지도록 형성되며, 완충성 재질로 형성되는 몸체; 상기 복수의 주변홀에 대응하는 복수의 너트부와, 상기 복수의 너트부가 하나의 단일체를 이루도록 상기 복수의 너트부를 서로에 대해 연결하는 연결부를 구비하고, 상기 몸체에 결합되며, 상기 몸체보다 높은 강도를 갖는 재질로 형성되는 결합 베이스; 및 상기 주변홀, 상기 너트부, 및 상기 결합홀에 삽입되고, 상기 주변홀에 삽입 시에 상기 몸체의 개입 없이 상기 너트부의 상면과 직접 접촉되는 헤드를 가져서 상기 결합 베이스를 매개로 하여 상기 몸체를 변형이 없는 상태로 상기 플레이트에 결합시키는 결합피스를 포함하는, 웨이퍼 수용 용기 지지 선반.
A plate having a through hole and a plurality of coupling holes formed around the through hole, the wafer receiving container being mounted on the plate; A nozzle connected to the wafer accommodating container and connected to the plate while the connection portion is inserted through the through hole; And a cap assembly disposed on the plate to support the wafer receiving container while surrounding the connection, the cap assembly being coupled to the plate,
The cap assembly includes a body formed of a buffer material and having a center hole corresponding to the connection portion and a plurality of peripheral holes corresponding to the plurality of engagement holes, the wafer accommodation container being mounted on the body; A plurality of nut portions corresponding to the plurality of peripheral holes and a connecting portion connecting the plurality of nut portions to each other such that the plurality of nut portions form a unitary body, An engaging base formed of a material having a predetermined thickness; And a head inserted into the peripheral hole, the nut portion, and the coupling hole and having a head directly contacting the upper surface of the nut portion without interposition of the body when inserted into the peripheral hole, And a coupling piece for coupling to the plate with no deformation.
제1항에 있어서,
상기 결합피스는, 상기 너트부에 삽입 체결되는 볼트를 포함하고,
상기 몸체는 실리콘 재질로 형성되고, 상기 결합 베이스는 금속 재질로 형성되는, 웨이퍼 수용 용기 지지 선반.
The method according to claim 1,
Wherein the coupling piece includes a bolt to be inserted into the nut portion,
Wherein the body is formed of a silicone material and the coupling base is formed of a metal material.
제1항에 있어서,
상기 결합 베이스는, 상기 몸체와 인서트 사출되어 상기 몸체와 일체로 형성되는, 웨이퍼 수용 용기 지지 선반.
The method according to claim 1,
Wherein the coupling base is integrally formed with the body by being injected with the body.
제1항에 있어서,
상기 결합 베이스는,
상기 너트부에서 돌출 형성되고, 상기 주변홀에 끼움 결합되는 끼움 돌기를 더 포함하는, 웨이퍼 수용 용기 지지 선반.
The method according to claim 1,
The coupling base
And a fitting protrusion formed protruding from the nut portion and fitted into the peripheral hole.
제1항에 있어서,
상기 캡 조립체는, 상기 몸체에서 돌출 형성되는 보강 리브를 더 포함하고,
상기 보강 리브는,
상기 주변홀을 감싸도록 형성되는 주변 원형 리브; 및
상기 중앙홀을 감싸도록 형성되는 중앙 원형 리브, 상기 몸체의 윤곽에 대응하여 연장 형성되는 윤곽 리브, 및 상기 중앙홀의 중심에서 방사 방향으로 연장 형성되는 방사 리브 중 어느 하나의 리브를 포함하는, 웨이퍼 수용 용기 지지 선반.
The method according to claim 1,
The cap assembly further includes a reinforcing rib protruding from the body,
The reinforcing rib
A peripheral circular rib formed to surround the peripheral hole; And
A central circular rib formed to surround the central hole, a contour rib extending corresponding to the contour of the body, and a rib extending radially from the center of the central hole. Container support shelves.
제5항에 있어서,
상기 너트부는, 상기 주변 원형 리브에 대응하도록 배치되고,
상기 연결부는, 상기 어느 하나의 리브에 대응하도록 형성되는, 웨이퍼 수용 용기 지지 선반.
6. The method of claim 5,
Wherein the nut portion is arranged to correspond to the peripheral circular rib,
Wherein the connecting portion is formed to correspond to any one of the ribs.
제6항에 있어서,
상기 연결부는,
상기 윤곽 리브에 대응하도록 연장되고, 상기 너트부가 내접하는 타원형 링체를 포함하는, 웨이퍼 수용 용기 지지 선반.
The method according to claim 6,
The connecting portion
Wherein the nut portion includes an elliptical ring body extending to correspond to the contour rib and the nut portion being in contact therewith.
제7항에 있어서,
상기 연결부는,
상기 중앙 원형 리브에 대응 형성되는 원형 링체; 및
상기 방사 리브에 대응 형성되어, 상기 원형 링체를 상기 타원형 링체에 연결하는 방사 라인체를 더 포함하는, 웨이퍼 수용 용기 지지 선반.
8. The method of claim 7,
The connecting portion
A circular ring body corresponding to the central circular rib; And
Further comprising a radial line body formed corresponding to the radial rib and connecting the circular ring body to the elliptical ring body.
제6항에 있어서,
상기 너트부와 상기 연결부는,
상기 중앙홀 및 상기 주변홀 각각에 대응하는 복수의 관통홀을 구비하고, 상기 몸체에 대응하는 사이즈를 갖는 타원형 평판체를 형성하는, 웨이퍼 수용 용기 지지 선반.
The method according to claim 6,
Wherein the nut portion
And a plurality of through holes corresponding to the center hole and the peripheral holes, respectively, to form an elliptical flat plate having a size corresponding to the body.
제6항에 있어서,
상기 어느 하나의 리브는, 상기 연결부가 끼움 결합되는 연결 그루브를 포함하고,
상기 주변 원형 리브는, 상기 너트부가 끼움 결합되는 너트 그루브를 포함하며,
상기 연결 그루브와 상기 너트 그루브는 서로 연통되는 것인, 웨이퍼 수용 용기 지지 선반.
The method according to claim 6,
Wherein one of the ribs includes a coupling groove in which the coupling portion is fitted,
Wherein the peripheral circular rib includes a nut groove into which the nut portion is fitted,
Wherein the connecting groove and the nut groove communicate with each other.
중앙홀과, 상기 중앙홀의 주변에 위치하는 복수의 주변홀과, 상기 중앙홀의 내주면에서 돌출 형성되는 걸림턱을 구비하고, 완충성 재질로 형성되는 몸체; 및
상기 복수의 주변홀에 대응하여 배치되는 복수의 너트부와, 상기 복수의 너트부가 하나의 단일체를 이루도록 상기 복수의 너트부를 서로에 대해 연결하는 연결부를 구비하고, 상기 몸체에 결합되며, 상기 몸체보다 큰 강도를 갖는 재질로 형성되는 결합 베이스를 포함하고,
상기 주변홀은, 상기 너트부에 삽입 체결되는 결합피스의 헤드가 상기 너트부의 상면과 직접 접촉되게 하는 내경을 갖는, 웨이퍼 수용 용기 지지 선반에 사용되는 캡 조립체.
A body having a center hole, a plurality of peripheral holes located around the center hole, and a locking protrusion protruding from an inner peripheral surface of the center hole, the body being made of a shock-absorbing material; And
A plurality of nut portions arranged corresponding to the plurality of peripheral holes and a connecting portion connecting the plurality of nut portions to each other so as to form a unitary body of the plurality of nut portions, And a coupling base formed of a material having a high strength,
Wherein the peripheral hole has an inner diameter such that a head of a coupling piece to be inserted into the nut portion is in direct contact with an upper surface of the nut portion.
제11항에 있어서,
상기 몸체는 실리콘 재질로 형성되고, 상기 결합 베이스는 금속 재질로 형성되며,
상기 결합 베이스는, 상기 너트부에 대해 삽입되는 볼트 회전시 발생하는 비틀림력에 의해 상기 몸체가 비틀리는 것을 방지하는 강도를 갖는, 웨이퍼 수용 용기 지지 선반에 사용되는 캡 조립체.
12. The method of claim 11,
Wherein the body is formed of a silicon material, the coupling base is formed of a metal material,
Wherein the coupling base has a strength that prevents the body from twisting due to a twisting force generated during rotation of the bolt inserted into the nut portion.
제11항에 있어서,
상기 결합 베이스는,
상기 너트부에서 돌출 형성되고, 상기 주변홀에 끼움 결합되는 끼움 돌기를 더 포함하는, 웨이퍼 수용 용기 지지 선반에 사용되는 캡 조립체.
12. The method of claim 11,
The coupling base
And a fitting protrusion formed on the nut portion and fitted to the peripheral hole. ≪ Desc / Clms Page number 20 >
제11항에 있어서,
상기 몸체에서 돌출 형성되는 보강 리브를 더 포함하고,
상기 보강 리브는,
상기 주변홀을 감싸도록 형성되는 주변 원형 리브; 및
상기 중앙홀을 감싸도록 형성되는 중앙 원형 리브, 상기 몸체의 윤곽에 대응하여 연장 형성되는 윤곽 리브, 및 상기 중앙홀의 중심에서 방사 방향으로 연장 형성되는 방사 리브 중 어느 하나의 리브를 포함하고,
상기 어느 하나의 리브는 상기 연결부가 끼움 결합되도록 상기 연결부에 대응하는 형태로 연장되는 연결 그루브를 포함하고, 상기 주변 원형 리브는 상기 너트부가 끼움 결합되도록 상기 너트부에 대응하여 형성되는 너트 그루브를 포함하는, 웨이퍼 수용 용기 지지 선반에 사용되는 캡 조립체.12. The method of claim 11,
And a reinforcing rib protruding from the body,
The reinforcing rib
A peripheral circular rib formed to surround the peripheral hole; And
A central circular rib formed to surround the center hole, a contour rib extending corresponding to an outline of the body, and a radial rib extending radially from a center of the central hole,
The one or more ribs may include a coupling groove extending in a shape corresponding to the coupling portion so that the coupling portion is fitted to the coupling groove and the peripheral circular rib may include a nut groove formed corresponding to the nut portion Wherein the cap is used for a wafer receiving container support shelf.
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