KR101817199B1 - 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼를 공정처리하는 웨이퍼처리장치의 상부에 이동가능하게 마련되어 새로운 모듈을 장착할 수 있는 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조에 관한 것으로, 웨이퍼이송모듈의 주위로 복수의 단위모듈(200)이 구비되는 웨이퍼처리장치에서 서로 마주하는 단위모듈의 상측으로 각각 기립되는 복수의 프레임; 각 프레임의 상단에 상기 각 단위모듈의 마주하는 방향으로 서로 나란하게 안치되는 한 쌍의 레일; 상기 각 레일의 사이에서 상기 각 레일이 일정거리 이격되도록 양측이 상기 각 레일의 서로 대향하는 일측면에 지지되는 간격부재; 상기 한 쌍의 레일과 간격부재를 감싸면서 상기 각 프레임의 상단에 장착되는 고정수단; 중앙에 회동블록이 구비되고, 상기 단위모듈간의 사이를 왕복이동 가능하게 상기 각 레일의 하단에 장착되는 무빙플레이트;를 포함하여 웨이퍼처리장치의 상측에 부가적인 프로세스모듈이 더 마련될 수 있는 이점을 가질 수 있다.

Description

웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조{Movement mount structure of the wafer processing apparatus}
본 발명은 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼를 공정처리하는 웨이퍼처리장치에서 추가적인 프로세스 모듈을 웨이퍼처리장치의 상부에서 이동가능하게 설치할 수 있는 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는, 웨이퍼 상에 여러가지 물질을 박막형태로 증착하고 이를 패터닝하여 구현되는데, 이를 위하여 증착공정, 식각공정, 세정공정, 건조공정 등 여러 단계의 서로 다른 공정이 요구된다. 이러한 각각의 공정에서 피처리물인 웨이퍼는 해당공정의 진행에 최적의 환경을 구축하는 프로세스 모듈에 의해 처리되는데, 이러한 피처리물인 웨이퍼를 각각의 프로세스 모듈로 이송 또는 회송하는 공정프로세스를 진행할 수 있도록 하는 복합형 웨이퍼 처리장치의 통칭이 클러스터(cluster)이다.
도 1은 종래의 웨이퍼처리장치를 나타낸 평면도로서, 클러스터 내에서는 오염되지 않은 진공영역이 포함되는데 크게, 웨이퍼가 초기 또는 최종적으로 안착되어 적재되는 대기모듈과, 이러한 대기모듈에 위치하는 웨이퍼를 위치 정렬하여 이송하는 프론트 엔드 시스템과, 상기 프론트 엔드 시스템으로부터 이송된 웨이퍼를 해당 프로세스가 진행되는 공정모듈로 이송시키는 웨이퍼이송모듈로 구분된다.
이렇게 전술한 프론트 엔드 시스템은 대기에 개방된 오염이 되지 않은 공간에 위치하여, 대기모듈에 적재된 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼이송로봇과 이러한 웨이퍼이송로봇에 의해 이송된 웨이퍼를 위치 정렬하는 얼라이너를 가지고 있어 웨이퍼의 이송 및 위치 정렬을 가능하게 한다.
그러나 종래의 웨이퍼처리장치는 단순히 웨이퍼이송모듈로부터 평행선상으로만 웨이퍼를 공급 제공하여 전체적인 웨이퍼처리장치의 크기에 비하여 비교적 협소한 공간을 제공하는 문제점이 있다.
뿐만아니라, 웨이퍼처리장치의 상부에 추가적인 프로세스 모듈을 더 마련될 수 있는 웨이퍼이송모듈이 없음으로써 공정대비 많은 공간과 시간을 소요할 수 밖에 없는 단점이 있었다.
종래의 웨이퍼처리장치에 관하여 특허공보 10-2016-0119510호, 10-2014-00061835호와 같은 선행기술이 개발되어 왔으나 상기한 바와 같은 문제점을 해소하지 못하는 실정이다.
따라서, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 발명의 목적은, 웨이퍼처리장치의 상측에 부가적인 프로세스 모듈이 공정방향으로 이동가능하게 더 마련될 수 있는 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 부가적으로 마련되는 단위모듈이 이동가능하도록 하여 공정상에 필요한 공정을 손쉽게 추가/제거됨은 물론이고, 공정처리상태에 따라 웨이퍼의 공정이동을 용이하도록 하는 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조를 제공하는 것으로 한다.
전술한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조는 웨이퍼이송모듈의 주위로 복수의 단위모듈(200)이 구비되는 웨이퍼처리장치에 있어서, 서로 마주하는 단위모듈(200)의 상측으로 각각 기립되는 복수의 프레임(10); 각 프레임(10)의 상단에 상기 단위모듈(200)의 마주하는 방향으로 서로 나란하게 안치되는 한 쌍의 레일(20); 상기 레일(20)의 사이에서 상기 레일(20)이 일정거리 이격되도록 양측이 상기 레일(20)의 서로 대향하는 일측면에 지지되는 간격부재(30); 상기 한 쌍의 레일(20)과 간격부재를 감싸면서 상기 각 프레임의 상단에 장착되는 고정수단(40); 중앙에 회동블록(53)이 구비되고, 상기 단위모듈간의 사이를 왕복이동 가능하게 상기 레일(20)의 하단에 장착되는 무빙플레이트(50); 상기 무빙플레이트(50)의 임의이동을 제동가능하도록 상기 무빙플레이트의 양측 단부에 상기 레일(20)에 접촉하는 방향으로 승하강 가능하게 설치되는 브레이크(52)를 포함하며, 상기 브레이크는 중앙이 회전레바(52a)의 구동에 의해 무빙플레이트에서 회전됨으로써 상단에 마련된 제동부재(52b)가 상기 레일(20)의 하단에 밀착되어 상기 무빙플레이트(50)의 움직임이 제동되는 것을 특징으로 한다.
삭제
전술한 바와 같은 본 발명의 이퍼처리장치의 이동대 장착 구조에 따르면, 웨이퍼처리장치의 상측에 부가적인 프로세스 모듈이 더 마련될 수 있는 이점을 가질 수 있다.
또한, 부가적으로 마련되는 프로세스모듈이 이동가능하도록 하여 공정상에 필요한 공정을 손쉽게 추가/제거됨은 물론이고, 공정처리상태에 따라 웨이퍼의 공정이동이 용이한 장점을 가질 수 있다.
도 1은 종래의 웨이퍼처리장치를 나타낸 평면도.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조가 적용된 웨이퍼처리장치를 나타낸 사시도.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조의 사시도.
도 4는 도 3의 사시도.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조의 레일을 나타낸 사시도.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조의 간격부재를 나타낸 사시도.
도 7은 도 6은 작용 상태도.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조의 고정수단의 분해 사시도.
도 9는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 휠과 레일을 예시한 사시도.
도 10은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레일에 무빙플레이트가 장착된 것을 예시한 사시도.
도 11은 도 10의 브레이크의 확대도.
도 12는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 회동블록의 분해 사시도.
도 13은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 프레임의 실시 상태도.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 보다 상세하게 설명하도록 한다.
본 발명을 설명함에 있어 동일한 사상의 범위내에서 기능이 동일한 구성에 대해서는 동일 부호를 사용하기로 하며, 이에 대한 중복설명은 생략토록 한다.
먼저, 도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조가 적용된 웨이퍼처리장치를 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조(1)의 사시도이고, 도 4는 도 3의 분리 사시도이다. 도시된 바와 같이 본 발명에 따르는 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조(1)는 웨이퍼이송모듈(100)의 주위로 복수의 공정모듈(200)이 구비되는 웨이퍼처리장치(1000)에서 이루어지는 것으로, 서로 마주하는 공정모듈의 상측으로 각각 기립되는 복수의 프레임(10)과, 각 프레임의 상단에 상기 각 공정모듈의 마주하는 방향으로 서로 나란하게 안치되는 한 쌍의 레일(20), 상기 각 레일(20) 사이에서 소정거리 연장되어 양측이 상기 각 레일(20)의 일측면에 지지되는 간격부재(30), 상기 한 쌍의 레일(20)과 간격부재(30)를 감싸면서 상기 각 프레임의 상단에 장착되는 고정수단(40) 및, 상기 공정모듈간의 사이를 왕복이동 가능하게 상기 레일(20)의 하단에 장착되는 무빙플레이트(50)를 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기 무빙플레이트(50)의 중앙에는 상기 웨이퍼이송모듈의 수직선을 기준으로 회전 가능하게 장착되는 회동블록(53)(60)이 포함될 수 있다.
보다 구체적으로, 본 발명의 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조(1)는 웨이퍼에 일정 공정을 처리하는 웨이퍼처리장치(1000)의 상부에 설치될 수 있는 것으로, 상기 웨이퍼처리장치(1000)는 피처리물인 웨이퍼에 일정한 공정을 수행하는 것이다. 여기서, 웨이퍼처리장치(1000)는 중앙에 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼이송모듈(100)의 주위에 개별적인 공정별로 복수의 단위모듈(200)이 구비되어 하나의 웨이퍼처리장치(1000)를 이루고 있다. 본 발명에서 웨이퍼처리장치(1000)는 웨이퍼이송모듈(100)의 제어하에 구동되는 웨이퍼이송로봇(300)이 장착되며, 웨이퍼이송로봇(300)이 웨이퍼이송모듈(100)을 기준으로 회전하면서 주위의 각 단위모듈(200)에웨이퍼를 계속적으로 공급 및 회수를 반복한다. 다만, 본 발명은 이에 국한되지 않고 다양한 구조의 웨이퍼처리장치에 적용될 수 있으나, 본 발명에서는 웨이퍼를 계속적으로 공급 및 회수하기 위해 웨이퍼가 적재되어 보관되는 대기모듈(201)이 웨이퍼이송모듈(100)의 일측방향에 위치하고, 나머지 방향으로 다양한 공정이 수행되는 복수의 공정모듈(202)이 위치함으로써 웨이퍼이송모듈(100)은 중앙에 고립되는 구조를 가지는 웨이퍼처리장치(1000)에서 설명된다. 이하에서 본 발명은 웨이퍼이송모듈(100)의 주위로 각 단위모듈(200)이 서로 마주도록 설치되는 웨이퍼처리장치(1000)에 대하여 설명하며, 여기서 단위모듈(200)은 상기 대기모듈(201)과 공정모듈(202)를 모두 포함하는 개념으로 해석되는 것이 바람직하다.
상기한 바와 같이, 본 발명의 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조(1)는 상기 웨이퍼이송모듈(100)의 주위로 단위모듈(200)이 복수로 구비되는 웨이퍼처리장치의 상부에 설치되는 것으로, 바람직하게는 단위모듈(200)이 웨이퍼이송모듈(100)의 주위로 2 이상으로서 서로 마주하는 웨이퍼처리장치에서 이루어질 수 있다. 즉, 본 발명의 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조(1)는 웨이퍼이송모듈의 주위로 복수의 단위모듈이 구비되는 웨이퍼처리장치의 상부에 설치되는 것으로서, 프레임(10), 레일(20), 간격부재(30), 고정수단(40) 및, 무빙플레이트(50)를 포함하여 이루어진다.
프레임(10)은 관체로서 복수로 구비되어 서로 마주하는 각 단위모듈(200)의 상측으로 기립된다. 본 발명에서 프레임(10)은 상기 웨이퍼이송모듈(100)의 외주면상에 연결되는 하부프레임(11)으로부터 제1 프레임(12), 제2 프레임(13)으로 구성될 수 있다.
하부프레임(11)은 상기 웨이퍼이송모듈(100)의 주위를 따라 상측으로 일정길이로 기립되어 상기 각 단위모듈(200)이 거치된다. 본 발명에서는 상기 웨이퍼이송모듈(100)의 일측은 개방되고, 개방된 일방을 제외한 부분의 상측으로 하부프레임(11)이 형성된다. 바람직하게는 웨이퍼이송모듈(100)의 일측은 상기 대기모듈(201)이 설치되고, 나머지 측면으로 하부프레임(11)이 형성된다. 상기와 같은 하부프레임(11)의 외측방향에 각 공정모듈(202)이 설치되는 구조이다.
제1 프레임(12)은 상기 하부프레임(11)의 상단으로 상향 연장되어 상기 단위모듈(200)의 상측 방향으로 기립된다. 구체적으로 웨이퍼이송모듈(100)을 기준으로 대기모듈(201)과 대향되는 위치에서 제1 프레임(12)이 마련된다. 여기서 제1 프레임(12)은 사각 형체로 형성되어 공정모듈(202)의 상측으로 기립되는 것이 바람직하다.
그리고 제2 프레임(13)은 상기 대기모듈(201)의 상단에 설치된다. 물론 제2 프레임(13)은 상기 제1 프레임(12)과 동일하게 사각 형체로 형성될 수 있다. 이때, 상기 대기모듈(201)은 웨이퍼처리장치(1000)를 통한 웨이퍼 처리 과정에서 처리 환경을 구분하는 기능을 가질 수 있다. 즉, 상기 대기모듈(201)을 기준으로 웨이퍼이송모듈(100) 방향과, 웨이퍼이송모듈 방향의 반대 방향은 웨이퍼의 특징상 서로 환경이 다를 수 있다. 따라서, 상기 제3 프레임(13)의 형상과 동일한 면적을 갖는 차단판(13a)이 기밀되게 장착되는 것이 바람직하다.
상기한 바와 같은 본 발명의 프레임(10)은 각 단위모듈(200)의 상측으로 기립되며 이때, 제1 프레임(12)과 제2 프레임(13) 상단면은 서로 동일선상에 위치되도록 형성되는 것이 바람직하다. 즉, 상기 제1 프레임(12)과 제2 프레임(13)의 상단면에 상기 레일(20)이 안치된다. 그리고 제3 프레임(14)는 하기에서 설명하도록 한다.
레일(20)은 한 쌍으로 마련되어 상기 프레임(10)의 상단에 상기 단위모듈(200)의 마주하는 방향으로 서로 나란하게 안치된다. 본 발명에서 레일(20)은 상기 무빙플레이트(50)가 상기 마주하는 단위모듈(200)의 사이를 왕복가능하게 가이드 한다. 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조의 레일을 나타낸 사시도로서, 도시된 바와 같이 레일(20)은 길이방향으로 내부에 소정공간이 형성되는 제1 벽(21)과, 상기 소정공간이 상하로 분획되도록 제1 벽(21)의 내부에 일체로 형성된 제2 벽(22)으로 이루어진다. 즉, 상기 레일(20)은 전체적으로 상기 제2 벽(22)을 기준으로 내부에 하부공간(23)과 상부공간(24)이 형성되며, 이때 상단 및 하단이 상기 제1 프레임(12)과 제2 프레임(13)의 안치 방향으로 소정 개방되어 전체적으로 'H' 형태를 취한다. 본 발명에서는 상기 하부공간(23)에 상기 무빙플레이트(50)가 장착되며, 상기 상부공간(24)은 상기 고정수단(40)이 장착되며, 상기 무빙플레이트(50)와 상기 고정수단(40)에 관하여는 하기에서 더욱 상세하게 설명하도록 한다.
이어서 간격부재(30)는 상기 각 레일(20)의 사이에서 상기 각 레일(20)이 일정거리 이격되도록 구비되는 것이다. 도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조의 간격부재를 나타낸 사시도로서, 도 5와 도 6을 연계하여 설명하도록 한다.
도시된 바와 같이, 상기 간격부재(30)는 상기 각 레일(20)의 사이에 마련되는 것으로, 양측이 상기 각 레일(20)의 일측면에 접하는 구조를 가진다. 여기서, 상기 각 레일(20)의 서로 대향하는 일측면에 접하여 지지되는 것이 바람직하다. 구체적으로 간격부재(30)는 소정길이로 상기 제1 프레임(12)과 제2 프레임(13)의 상단에 안착되는 판 형상의 연결판(31)과 상기 연결판(31)의 양측단에 상측으로 연장된 지지판(32)으로 이루어져 있다. 여기서, 상기 각 양측단의 지지판(32) 사이에 적어도 하나 이상의 보강판(33)이 더 포함될 수 있다. 상기한 바와 같은 간격부재(30)의 상기 지지판(32)은 도시된 바와 같이 각 레일(20)이 마주하는 벽면인 내측면에 접하여 진다. 여기서 도 7은 도 6은 작용 상태도 로서,본 발명에서는 상기 지지판(32)이 각각 외측방향으로 소정각도 기울어져 상기 각 레일(20)의 내측면에 밀착되는 것이 바람직하다. 이를 통해서 상기 지지판(32)이 외측방향으로 소정각도 기울어짐에 의해 소정 탄성을 가질 수 있으며, 이와 같은 탄성을 통해 상기 지지판(32)이 각 레일(20)을 외측으로 밀어줌으로 인해서 상기 레일(20)에 하향으로 부과되는 하중부하로부터 구조적인 안정성을 가질 수 있다.
고정수단(40)은 상기 레일(20)과 간격부재(30)를 감싸면서 상기 각 프레임의 상단에 장착된다. 도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조의 고정수단을 나타낸 것으로 도 5와 더불어 설명하도록 한다. 도시된 바와 같이, 고정수단(40)은 상기 한 쌍의 레일(20)을 모두 감싸는 양상으로 설명된다. 구체적으로 고정수단(40)은 상기 각 레일(20)의 끝단 및 선단에 위치하여, 상기 각 레일(20)을 상기 프레임에 고정시킨다. 실질적으로 고정수단(40)은 제1 고정부재(41)와 제2 고정부재(42)로 이루어질 수 있다. 상기 레일(20)의 상부에 안착되는 제1 고정부재(41)가 상기 레일(20)의 내부에 삽입되는 제2 고정부재(42)와 적어도 하나 이상의 체결수단(43)으로 체결됨으로써 상기 레일(20)이 상기 제1 고정부재(41)와 상기 제2 고정부재(42)의 사이에 물림 고정된다.
여기서 상기 프레임(10)은 제3 프레임(14)이 마련될 수 있다. 도 13은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 프레임의 실시 상태도로서, 본 발명에서 제3 프레임(14)은 상기 레일(20)에 장착되는 것으로, 상기 제1 프레임(12)과 제2 프레임(13) 사이에 하단이 상기 하부프레임(11)의 상단에 고정되고, 상단이 상기 레일(20)의 상단에 고정될 수 있다. 즉, 상기 제3 프레임(14)은 제1 프레임(12)과 제3 프레임(14)의 상단에 안치되는 레일(20)의 중앙부에 고정된다. 구체적으로 제3 프레임은 제3 고정부재(44)와 다수의 체결수단(43)에 의해 고정될 수 있다. 이때, 제3 고정부재(44)는 다시 상기 각 레일(20)의 상부공간(24)에 수용되는 제2 고정부재(42)와 다수의 체결수단(43)에 의해 지지된다. 이를 통해 프레임(10)에 하향으로 부과되는 레일(20)의 무게부하로부터 구조적인 안정성을 가질 수 있다.
무빙플레이트(50)는 상기 레일(20)의 내부에 형성된 소정공간을 따라 구름 이동되는 2 개소 이상의 휠(51)이 각 모서리에 고정된다.
도 9는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 휠과 레일을 예시한 사시도이고, 도 10은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레일에 무빙플레이트가 장착된 것을 예시한 사시도이다.
도 9 및 도 10을 참고하면, 레일(20)은 하단이 휠(51)이 안착되어 구름 이동 가능하도록 내측 방향으로 소정 연장된 구름대(25)가 형성되어 있고, 휠(51)의 하단부가 무빙플레이트(50)의 이동 방향으로 가이딩되도록 구름대(25)의 끝단에서 하측으로 연장된 가이딩대(26)가 형성되어 있다.
바람직하게는, 레일(20)의 하부공간(23)에 구름대(25) 및 가이딩대(26)가 형성되어 있다.
예컨대, 구름바퀴(51a)가 구름대(25)에 안착되고, 슬라이딩대(51b)가 가이딩대(26)를 통해 가이딩되어 무빙플레이트(50)가 레일(20)을 따라 이동한다.
이때, 구름바퀴(51a)는 슬라이딩대(51b)에 구름 가능하도록 결합되며 바퀴의 개수는 실시자가 용이하게 구현 할 수 있을 것이다.
도 10의 무빙플레이트(50)의 하측에 도시된 브레이크(52)는 이하 도 11을 참조하여 설명하도록 한다.
도 11은 도 10의 브레이크의 확대도이다.
도 11을 참조하면, 본 발명의 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조는 브레이크를 더 구비한다.
브레이크(52)는 무빙플레이트(50)의 임의 이동을 제동 가능하도록 무빙플레이트(50)의 양측 단부에 각 레일(20)에 접촉하는 방향으로 승하강 가능하게 설치된다.
브레이크(52)는 중앙이 회전레바(52a)의 구동에 의해 무빙플레이트(50)에서 회전됨으로써 상단에 마련된 제동부재(52b)가 레일(20)의 하단에 밀착되어 무빙플레이트(50)의 움직임이 제동된다.
이때, 회전레바(52a)의 회전이 용이하도록 손잡이(52c)를 구비한다.
예컨대, 회전레바(52a)의 손잡이(52c)를 통해 회전레바(52a)를 시계방향으로 회전시켜 제동부재(52b)가 하측으로 이동되고 레일(20)의 하단에 밀착하여 무빙플레이트(50)와 밀착되면 구름바퀴(51a)가 슬라이딩대(51b)에서 구르지 못하도록 하여 무빙플레이트(50)의 움직임을 제동한다.
또한, 반대로 회전레바(52a)의 손잡이(52c)를 통해 회전레바(52a)를 반시계 방향으로 회전시킴으로써 무빙플레이트(50)의 제동을 해제하고, 구름바퀴(51a)가 슬라이딩대(51b)에서 구름 가능하도록 하여 무빙플레이트(50)가 레일(20)을 따라 이동 가능하도록 한다.
여기서, 상기 무빙플레이트(50)의 중앙에는 상기 웨이퍼이송모듈의 수직선을 기준으로 회전 가능하게 장착되는 회동블록(53)이 포함될 수 있다.
이하, 무빙플레이트(50)의 중앙에 웨이퍼이송모듈의 수직선을 기준으로 회전 가능하게 장착되는 회동블록(53)에 대해서 상세하게 설명하도록 한다.
도 12는 본 발명의 바람직한 실시예에 다른 회동블록의 분해 사시도이다.
도 12를 참조하면, 회동블록(53)은 무빙플레이트(50)의 중앙 하면에 구비되되 회전 가능하게 장착되는 것으로, 로드(53a), 구름부재(53b), 브라켓(53c), 고정핀(53d)을 포함한다.
로드(53a)는 무빙플레이트(50)의 중앙으로부터 하향 설치되며, 상단이 무빙플레이트(50)에 적어도 하나 이상의 체결수단(43)으로 고정되어 하향 연장되도록 한다.
브라켓(53c)은 로드(53a)와의 사이에 수용되는 구름부재(53b)에 의해 회전 가능하게 로드(53a)를 감싸지게 장착된다. 이때, 브라켓(53c)의 하단에 추가적인 프로세스 모듈이 장착될 수 있으며, 이를 통해 추가적인 프로세스 모듈은 상기 웨이퍼이송모듈의 상측 범위 내에서 회전될 수 있다.
이때, 구름부재(53b)는 브라켓(53c)이 로드(53a)로부터 회전 가능하도록 볼 베어링인 것이 바람직하다.
고정핀(53d)은 회동블록(53)의 임의 회전을 제한 가능하도록 브라켓(53c)의 상단이 로드(53a)의 상단과 맞물리도록 장착된다.
바람직하게는, 브라켓(53c)의 상단이 로드(53a)의 상단과 맞물림 가능하도록 브라켓(53c)에 등간격으로 다수개의 홀이 형성되어 있다.
예컨대, 브라켓(53c)에 5°간격으로 72개의 홀을 형성하여 다양한 각도에서 임의 회전을 제한 가능하도록 한다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조는 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명되었으나, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서 다른 구성요소를 추가, 변경, 삭제 등을 통하여, 퇴보적인 다른 발명이나 본 발명 사상의 범위 내에 포함되는 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1: 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조
10: 프레임 11: 하부프레임
12: 제1 프레임 13: 제2 프레임
13a: 차단판 20: 레일
21: 제1 벽 22; 제2 벽
23: 하부공간 24: 상부공간
25: 구름대 26: 가이딩대
30: 간격부재 31: 연결판
32: 지지판 33: 보강판
40: 고정수단 41: 제1 고정부재
42: 제2 고정부재 43: 체결수단
44: 제3 고정부재 50: 무빙플레이트
51: 휠 51a: 구름바퀴
51b: 슬라이딩대 52: 브레이크
53: 회동블록 100: 웨이퍼이송모듈
200: 단위모듈 201: 대기모듈
202: 공정모듈 300: 웨이퍼이송로봇
1000: 웨이퍼처리장치

Claims (8)

  1. 웨이퍼이송모듈(100)의 주위로 복수의 단위모듈(200)이 구비되는 웨이퍼처리장치(1000)에 있어서,
    서로 마주하는 단위모듈(200)의 상측으로 각각 기립되는 복수의 프레임(10);
    각 프레임(10)의 상단에 상기 단위모듈(200)의 마주하는 방향으로 서로 나란하게 안치되는 한 쌍의 레일(20);
    상기 레일(20)의 사이에서 상기 레일(20)이 일정거리 이격되도록 양측이 상기 레일(20)의 서로 대향하는 일측면에 지지되는 간격부재(30);
    상기 한 쌍의 레일(20)과 간격부재를 감싸면서 상기 각 프레임의 상단에 장착되는 고정수단(40);
    중앙에 회동블록(53)이 구비되고, 상기 단위모듈간의 사이를 왕복이동 가능하게 상기 레일(20)의 하단에 장착되는 무빙플레이트(50);
    상기 무빙플레이트(50)의 임의이동을 제동가능하도록 상기 무빙플레이트의 양측 단부에 상기 레일(20)에 접촉하는 방향으로 승하강 가능하게 설치되는 브레이크(52)를 포함하며,
    상기 브레이크는 중앙이 회전레바(52a)의 구동에 의해 무빙플레이트에서 회전됨으로써 상단에 마련된 제동부재(52b)가 상기 레일(20)의 하단에 밀착되어 상기 무빙플레이트(50)의 움직임이 제동되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조.
  2. 제1항에 있어서,
    간격부재(30)는 상기 레일(20)의 사이에 서로 일정거리 이격되어 상측으로 연장된 복수의 지지판(32)이 각각 외측방향으로 소정각도 기울어져 상기 레일(20)의 내측면에 밀착되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조.
  3. 제1항에 있어서,
    고정수단(40)은 상기 레일(20)의 상부에 안착되는 제1 고정부재(41)가 상기 레일(20)의 내부에 삽입되는 제2 고정부재(42)와 적어도 하나 이상의 체결수단(43)으로 체결됨으로써 상기 레일(20)이 상기 제1 고정부재와 상기 제2 고정부재의 사이에 물림 고정되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 무빙플레이트(50)는 상기 레일(20)의 내부에 형성된 소정공간을 따라 구름 이동되는 2 이상의 휠(51)에 각 모서리가 고정되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 레일(20)은 하단이 상기 휠이 안착되어 구름이동 가능하도록 내측방향으로 소정 연장된 구름대(25)와,
    상기 휠의 하단부가 상기 무빙플레이트의 이동방향으로 가이딩되도록 상기 구름대의 끝단에서 하측으로 연장된 가이딩대(26)가 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조.
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 회동블록(53)은
    상기 무빙플레이트의 중앙으로부터 하향 설치되되, 상단이 상기 무빙플레이트에 적어도 하나 이상의 체결수단으로 고정되어 하향 연장된 로드(53a)와,
    상기 로드와의 사이에 수용되는 구름부재(53b)에 의해 회전가능하게 상기 로드를 감싸지게 장착되는 브라켓(53c)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 회동블록(53)은,
    임의회전을 제한가능하도록 상기 브라켓의 상단이 로드의 상단과 맞물리도록 장착되는 고정핀(53d)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100847085B1 (ko) * 2008-04-30 2008-07-18 한상만 재봉기의 땀수 조절장치

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