KR101807491B1 - 스크라이브 헤드 유닛 및 이를 갖는 스크라이브 장치 - Google Patents

스크라이브 헤드 유닛 및 이를 갖는 스크라이브 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판을 스크라이브하는 스크라이브 휠을 갖는 헤드부와, 상기 헤드부를 설정된 위치로 이송하는 이송부 및 상기 설정된 위치에 배치되며, 상기 이송부에 의해 이송되는 상기 스크라이브 휠을 세정하는 세정재를 갖는 세정부를 포함하는 스크라이브 헤드 유닛을 제공한다. 또한, 본 발명은 상기 스크라이브 헤드 유닛을 갖는 스크라이브 장치도 제공한다.

Description

스크라이브 헤드 유닛 및 이를 갖는 스크라이브 장치{SCRIBE HEAD UNIT AND SCRIBE APPARATUS HAVING THE SAME}
본 발명은 스크라이브 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 스크라이브하는 휠을 일정 주기로 세정할 수 있는 스크라이브 헤드 유닛 및 이를 갖는 스크라이브 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 표시 장치는 전극 패턴이 형성된 2장의 유리 기판에 배향막 및 스페이서를 형성하고, 결합시켜 다수의 액정셀을 형성한 후 스크라이브 장치를 이용하여 액정셀 별로 파단함으로써 제조된다.
종래의 스크라이브 장치는 기판의 분단을 위하여 사용되는 스크라이브 휠을 포함하는 스크라이브 어셈블리를 포함한다.
상기 스크라이브 어셈블리를 이용하여 기판을 액정셀 별로 스크라이브하는 경우, 이 과정에서 발생하는 기판의 부스러기 등으로 이루어진 이물질이 스크라이브 어셈블리를 오염시킨다.
또한, 스크라이브 휠에는 상기 스크라이브 공정시 발생되는 파단 셀과 같은 이물질이 부착된다.
이러한 이물질 부착에 의해 스크라이브 어셈블리의 휠은 정상적으로 회전되지 못한다.
따라서, 기판의 균열 상태가 나빠지고, 결과적으로 불량한 균열 형성으로 인해 기판의 파단 상태도 양호하지 못하게 된다.
또한, 종래에는 연속적인 스크라이브 공정 진행으로 인하여 스크라이브 휠은 일정 온도로 상승되는 문제점도 잇다.
이에 따라, 근래에 들어 상기 스크라이브 공정시 발생되는 휠의 오염을 방지할 수 있는 기술이 요구되고 있다.
본 발명과 관련된 선행 문헌으로는 대한민국 공개특허 제10-2007-0035305호(2007년03월30일 공개)가 있으며, 상기 선행 문헌에는 액정 표시 장치의 제조 공정 중에 사용되는 절단 장치의 스크라이브 어셈블리를 세정하기 위한 장치가 제공된다.
본 발명의 목적은, 기판을 스크라이브하는 휠을 일정 주기로 세정할 수 있는 스크라이브 헤드 유닛 및 이를 갖는 스크라이브 장치를 제공한다.
일 양태에 있어서, 본 발명은 기판을 스크라이브하는 스크라이브 휠을 갖는 헤드부와, 상기 헤드부를 설정된 위치로 이송하는 이송부 및 상기 설정된 위치에 배치되며, 상기 이송부에 의해 이송되는 상기 스크라이브 휠을 세정하는 세정재를 갖는 세정부를 포함하는 스크라이브 헤드 유닛을 제공한다.
다른 양태에 있어서, 본 발명은 기판의 이송 방향를 형성하는 본체와, 상기 기판의 이송 평면과 구획되는 영역에 설치되며, 상기 스크라이브 헤드 유닛을 포함하는 스크라이브 장치를 제공한다.
본 발명은 스크라이브 공정이 진행된 스크라이브 휠을 별도의 위치로 이동시켜 주기적으로 세정할 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 점착 시트 또는 초음파 세정을 사용하여 스크라이브 휠을 세정할 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 점착 시트 또는 초음파 세정에 사용되는 세정액을 교체 시기에 즉시 새로운 시트 또는 세정액으로 교체할 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 스크라이브 휠에 발생되는 열을 에어로 하강시킬 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 세정 전 또는 세정 후에 스크라이브 휠에 에어를 직접 분사 또는 스윙 분사시킴으로써 전처리 또는 후처리 보조 세정을 실시할 수 있는 효과를 갖는다.
도 1은 본 발명의 스크라이브 헤드 유닛이 설치되는 스크라이브 장치를 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명에 따르는 헤드부를 보여주는 측면도이다.
도 3은 본 발명에 따르는 세정부의 제 1예를 보여주는 측면도이다.
도 4는 본 발명에 따르는 세정부의 제 2예를 보여주는 측면도이다.
도 5는 도 4의 세정부에 브러쉬가 더 구비되는 것을 보여주는 측면도이다.
도 6은 본 발명에 따르는 세정부의 제 3예를 보여주는 측면도이다.
도 7은 도 6의 베쓰에 초음파 진동기가 구비되는 것을 보여주는 측면도이다.
도 8은 본 발명에 따르는 세정부의 제 4예를 보여주는 측면도이다.
도 9는 본 발명에 따르는 다수의 세정부가 설치되는 스크라이브 장치를 보여주는 도면이다.
도 10은 본 발명에 따르는 세정부의 제 5예를 보여주는 측면도이다.
도 11은 본 발명에 따르는 세정부의 작동을 보여주는 블록도이다.
도 12는 본 발명에 따르는 헤드부에 에어 세정부가 더 설치되는 것을 보여주는 측면도이다.
도 13은 도 12의 에어 분사 노즐이 스윙 동작되는 예를 보여주는 측면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 스크라이브 헤드 유닛 및 이를 갖는 스크라이브 장치를 설명한다.
이하의 설명에서, 스크라이브 헤드 유닛의 구성은 스크라이브 장치의 구성에 포함하여 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 스크라이브 헤드 유닛이 설치되는 스크라이브 장치를 개략적으로 보여준다.
도 1을 참조 하면, 상기 스크라이브 장치는 본체(100)와, 기판 이송 수단(미도시)과, 스크라이브 헤드 유닛을 포함한다.
상기 본체(100)는 X축 방향을 따라 일정 길이를 형성하는 프레임 형태로 형성될 수 있다. 상기 본체(100)는 기판(10)의 폭을 수용할 수 있는 폭을 형성한다.
상기 스크라이브 헤드 유닛은 헤드부(400)와, 이송부(200)와, 세정부(500)로 구성된다.
상기 이송부(200)는 상기 본체(100)에 설치된다.
상기 이송부(200)에는 상기 헤드부(400)가 Y축을 따라 이동되도록 배치된다.
도 2는 본 발명에 따르는 헤드부의 구성을 보여준다.
도 2를 참조 하면, 상기 헤드부(400)는 헤드 몸체(410)와, 승강 모터(420)와, 회전 모터(430)와, 휠 고정체(440)와, 스크라이브 휠(441)로 구성된다. 상기 스크라이브 휠(441)은 상기 기판(10)의 표면에 접촉된 상태로 회전되어 기판(10)의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 부재이다.
상기 헤드부(400)는 상기 이송부(200)에 연결되고, 상기 이송부(200)는 상기 헤드부(400)를 Y축 방향을 따라 이동시킴과 아울러, 본체(100)를 통하여 X축 방향을 따라 이동시켜, 설정된 위치로 이송시킬 수 있다.
상기 이송부(200)는 헤드 프레임(210)과, 리니어 모터(220)로 구성될 수 있다.
상기 헤드 프레임(210)은 일정 길이를 형성한다.
상기 헤드 프레임(210)은 Y축 방향을 따라 배치되고, 상기 헤드 프레임(210)의 양단은 상기 본체(100)에 X축 방향을 따라 이동 가능하도록 설치된다.
상기 헤드 몸체(410)는 상기 헤드 프레임(210)에서 이동 가능하도록 설치된다. 상기 헤드 몸체(410)는 상기 리니어 모터(220)의 구동으로 인하여 Y축 방향을 따라 왕복 이동될 수 있다.
상기 헤드 몸체(410)에는 회전체(430)이 설치되고, 상기 회전체(430)는 휠 고정체(440)를 X축 또는 Y축 방향을 따르도록 회전을 안내할 수 있다.
상기 휠 고정체(440)의 하단에는 상기 스크라이브 휠(441)이 구름 또는 롤링 가능하게 설치된다.
상기 스크라이브 휠(441)은 상기 휠 고정체(440)의 회전 동작으로 인하여 X축 방향 또는 Y축 방향을 따라 구르도록 회전 배치될 수 있다.
도 1을 참조 하면, 상기 승강 모터(420)와, 상기 리니어 모터(220)는 메인 제어기(230)와 전기적으로 연결되어 상기 메인 제어기(230)로부터 전기적 신호를 전송 받아 구동된다.
상기 본체(100)의 일정 위치에는 세정부(500)가 배치된다.
상기 세정부(500)의 설정 위치는 상기 메인 제어기(230)에 기설정된다.
즉, 상기 메인 제어기(230)에는 상기 세정부(500)의 설정된 위치인 (Xc,Yc,Zc)의 좌표 정보가 기설정된다.
따라서, 상기 이송부(200)는 상기 헤드부(400)를 상기 세정부(500)의 설정된 위치로 이송할 수 있다.
상기 기판 이송 수단은 기판(10)의 이송 평면(a)을 형성하는 수단이다.
상기 기판 이송 수단은 이송 밸트로 구성될 수도 있고, 이송 플레이트로 구성될 수도 있다. 상기 기판 이송 수단은 메인 제어기(230)로부터 전기적 신호를 전송 받아 구동되는 별도의 구동부(미도시)와 연결된다.
다음은, 본 발명에 따르는 세정부의 각 예의 구성 및 작용을 설명한다.
세정부의 제 1예
도 3은 본 발명에 따르는 세정부의 제 1예의 동작을 보여준다.
도 3을 참조 하면, 본 발명에 따르는 세정부(500)는 상기 설정된 위치에 배치되며, 상기 이송부(200)의 이송에 의해 상기 스크라이브 휠(441)을 세정하는 세정재를 구비한다.
상기 세정부(500)는 세정부 몸체(510)와, 상기 세정재인 다수의 단위 점착 시트(520)로 구성된다.
상기 다수의 단위 점착 시트(520)는 서로 분리 가능하도록 서로 접착된 상태를 유지한다. 즉, 상기 다수의 단위 점착 시트(520)는 한매씩 떼어낼 수 있는 구성이다.
상기 단위 점착 시트들(520)의 표면은 일정의 점착력을 형성함으로써, 상기 스크라이브 휠(441)의 외면에 접촉되어 상기 스크라이브 휠(441)의 외면에 부착된 이물질을 부착 제거할 수 있다.
상기 세정부 몸체(510)는 상기 설정된 위치에 위치되도록 본체(100)에 설치된다.
상기 단위 점착 시트(520)는 상기 세정부 몸체(510)의 상단에 부착 설치된다.
상기 단위 점착 시트(520)의 상면은 스크라이브 휠(441)이 접촉 및 롤링되는 부분으로서, 세정 영역을 형성한다.
상기 단위 점착 시트(520)는 상기 세정부 몸체(510)의 상단에 탈부착 가능하도록 구성된다. 상기 단위 점착 시트(520)는 교체 가능하다.
그리고, 상기 단위 점착 시트들(520)은 서로 분리 가능하기 때문에, 일정 주기로 사용된 최상단의 단위 점착 시트(520a)을 분리 및 제거하여, 새로운 단위 점착 시트(520b)를 사용할 수 있다.
상기 구성을 참조하여, 상기 세정부(500)의 작용을 설명한다.
도 1 내지 도 3을 참조 하면, 메인 제어기(230)는 헤드부(400)의 기판(10)에 대한 스크라이브 회수가 기설정되는 기준 스크라이브 회수에 이르면, 이송부(200)를 사용하여 헤드부(400)를 세정부(500)의 설정 위치로 이송한다.
여기서, 상기 스크라이브에 사용된 스크라이브 휠(441)의 외면에는 스크라이브 공정 시 발생된 이물질이 부착된다. 상기 이물질은 절단된 칩을 포함한 이물질일 수 있다.
도 3을 참조 하면, 메인 제어기(230)는 리니어 모터(220) 및 승강 모터(420)를 구동하여, 스크라이브 휠(441)이 최상단의 단위 점착 시트(520a)의 상면에 밀착될 수 있도록 헤드부(400)를 이송한다.
이어, 메인 제어기(230)는 헤드 프레임(210)을 이송하는 구동부(미도시)를 사용하여 헤드 프레임(210)을 X축 방향을 따라 왕복 이송한다.
따라서, 스크라이브 휠(441)은 최상단의 단위 점착 시트(520a)에 밀착된 상태로 왕복 이동할 수 있다.
상기 스크라이브 휠(441)의 외면에 존재하는 이물질은 상기 최상단의 단위 점착 시트(520a)에 부착되어 제거된다.
상기 왕복 이동 또는 이송 회수는 상기 메인 제어기(230)에 기설정된다.
이에 따라, 상기 스크라이브 휠(441)에 대한 세정 작업이 실시 및 완료된다.
이어, 메인 제어기(230)는 헤드 프레임(210) 및 헤드부(400)를 원위치로 복귀시키도록 리니어 모터(220), 승강 모터(420)를 제어한다.
그리고, 본 발명은 스크라이브 휠(441)에 대한 세정이 일정 주기로 진행된 후, 상기 최상단의 단위 점착 시트(520a)를 제거할 수 있다. 따라서, 본 발명은 새로운 단위 점착 시트(520b)를 사용하여 스크라이브 휠(441)의 세정에 사용할 수 있다.
따라서, 본 발명은 하나의 세정재를 다수의 단위 점착 시트를 사용함으로써, 세정재 자체의 사용 수명을 승가시킬 수 있는 잇점을 갖는다.
세정부의 제 2예
도 4는 본 발명에 따르는 세정부의 제 2예를 보여준다.
도 4를 참조 하면, 상기 세정부(501)는 세정부 몸체(540)와, 점착 시트(520)와, 한 쌍의 구동 롤러(531)와, 회전부(532)와, 회전 제어기(550)로 구성된다.
상기 세정부(501)는 상술한 바와 같이 본체(100)에서 설정 위치를 이루어 배치된다. 상기 세정부 몸체(540)는 상기 설정 위치에 설치된다.
상기 세정부 몸체(540)에는 상부가 개구되는 일정 크기의 홀(541)이 형성된다.
상기 한 쌍의 구동 롤러(531)는 상기 홀(541)에서 서로 마주보도록 배치되며, 세정부 몸체(540)에 회전 지지된다.
상기 한 쌍의 구동 롤러(532)는 세정부 몸체(540)에 설치되고, 세정재의 양단을 회전 지지하여 스크라이브 휠(441)과 접촉되는 상기 세정재의 세정면이 교체되도록 상기 세정재를 회전시킬 수 있다.
상기 세정재의 양단은 한 쌍의 구동 롤러에 걸치도록 밸트 형상으로 형성된다. 상기 세정재는 상술한 단위 점착 시트(520)와 동일한 단면을 형성하는 다수의 단위 점착 시트(521)로 구성된다.
따라서, 상기 다수의 단위 점착 시트(521)는 서로 분리 가능할 수 있다.
상기 회전부(532)는 기설정되는 세정 주기에 따라 한 쌍의 구동 롤러(531)를 회전시킨다. 상기 회전부(532)는 구동 롤러(531)를 회전시키는 모터일 수 있다.
상기 회전부(532)는 회전 제어기(550)와 연결되고, 상기 회전 제어기(550)는 상기 회전부(532)의 구동을 제어한다. 상기 회전 제어기(550)에는 상기 세정 주기가 기설정된다.
상기 단위 점착 시트(521)는 상기 한 쌍의 구동 롤러(531)가 회전됨으로써, 회전 이동된다.
여기서, 상기 단위 점착 시트(521)의 일부는 세정부 몸체(540)의 상부에 노출된다. 상기 노출되는 단위 점착 시트(521)의 표면이 세정면인 것이다.
상기 회전 제어기(550)는 메인 제어기(230)와 전기적으로 연결된다.
상기 메인 제어기(230)는 스크라이브 휠(441)의 세정 동작 회수를 카운트하고, 기준 스크라이브 휠(441)의 세정 동작 회수가 기설정된다.
상기 스크라이브 휠(441)의 세정 동작 회수는 헤드부(400)가 세정부(500)에 위치되는 회수와 실질적으로 동일할 수 있다. 이는 상술된 세정 주기로 설정될 수 있다.
상기 구성을 참조하여, 상기 세정부(501)의 작용을 설명한다.
도 1을 참조 하면, 메인 제어기(230)는 헤드부(400)의 기판(10)에 대한 스크라이브 회수가 기설정되는 기준 스크라이브 회수에 이르면, 이송부(200)를 사용하여 헤드부(400)를 세정부(501)의 설정 위치로 이송한다.
여기서, 상기 스크라이브 공정에 사용된 스크라이브 휠(441)의 외면에는 스크라이브 공정시 발생된 이물질이 부착된다. 상기 이물질은 절단된 칩을 포함한 이물질일 수 있다.
도 4를 참조 하면, 메인 제어기(230)는 리니어 모터(220) 및 승강 모터(420)를 구동하여, 스크라이브 휠(441)이 최외곽의 단위 점착 시트(521a)의 상면에 밀착될 수 있도록 헤드부(400)를 이송한다.
이어, 메인 제어기(230)는 헤드 프레임(210)을 이송하는 구동부(미도시)를 사용하여 헤드 프레임(210)을 X축 방향을 따라 왕복 이송한다.
따라서, 스크라이브 휠(441)은 최외곽의 점착 시트(520)에 밀착된 상태로 왕복 이동할 수 있다.
상기 스크라이브 휠(441)의 외면에 존재하는 이물질은 상기 최외곽의 점착 시트(521a)에 부착되어 제거된다.
상기 왕복 이동 또는 이송 회수는 상기 메인 제어기(230)에 기설정된다. 상기 이송 회수는 회전 제어기(550)에 설정되는 세정 주기와 동일할 수 있다.
상기 스크라이브 휠(441)에 대한 세정 작업이 실시 및 완료되면, 메인 제어기(230)는 헤드 프레임(210) 및 헤드부(400)를 원위치로 복귀시키도록 리니어 모터(220), 승강 모터(420)를 제어한다.
또한, 상기 메인 제어기(230)는 스크라이브 휠(441) 세정 동작 회수가 기준 스크라이브 휠(441) 세정 동작 회수에 이르고, 세정 동작 회수가 세정 주기에 일치되면, 회전 제어기는 회전부를 통하여 구동 롤러를 회전시켜 최외곽의 단위 점착 시트(521a)의 세정면을 새로이 교체할 수 있다.
즉, 상기 회전 제어기(550)는 회전부(532)를 사용하여 구동 롤러(531)를 회전 구동시킨다. 따라서, 최외곽의 단위 점착 시트(521a)의 세정에 사용된 세정면은 다른 위치로 이동되고, 상기 단위 점착 시트(521a)의 다른 세정면이 세정부 몸체(540)의 홀(541) 내측에 위치되어 세정부 몸체(540)의 상부에 노출될 수 있다.
상기 노출되는 세정면은 스크라이브 휠(441)의 외면에 접촉되어 이물질을 제거할 수 있는 세정면이다.
따라서, 상기 제 2예에서는, 세정재인 단위 점착 시트(521)를 구동 롤러(531)를 통해 회전되도록 하여, 일정 주기에 따라 사용된 세정면을 교체하여 줄 수 있는 잇점이 있다.
이에 더하여, 메인 제어기(230)는 회전부(532)를 사용하여 구동 롤러(531)를 연속적으로 회전시킬 수도 있다. 이때, 상기 단위 점착 시트(521)는 연속적으로 회전될 수 있다.
따라서, 별도의 헤드부(400) 이동 없이, 스크라이브 휠(441)은 단위 점착 시트(521)의 세정면에 접촉된 상태에서 회전되는 단위 점착 시트(521)에 의하여 세정될 수 있다.
상기 제 2예서 기재되는 세정재 역시, 다수의 단위 점착 시트(521)로 구성되기 때문에, 일정의 세정 주기에 이르면, 최외곽의 단위 점착 시트(521a)를 제거하여 새로운 단위 점착 시트(521b)를 사용하도록 할 수 있다.
따라서, 본 발명은 하나의 세정재를 다수의 단위 점착 시트(521)를 사용함으로써, 세정재 자체의 사용 수명을 승가시킬 수 있는 잇점을 갖는다.
도 5는 세정부 몸체의 내부에 브러쉬가 더 설치되는 것을 보여준다.
상기 세정부 몸체(540)에는 세정재인 단위 점착 시트(521)의 회전 경로 상에 배치되며, 상기 세정재의 세정면을 물리적으로 브러싱하는 브러쉬(542)가 더 설치된다.
여기서, 회전되는 단위 점착 시트(521)는 세정에 사용된 이후 세정면에 대한 세척이 요구된다.
따라서, 세정에 사용된 후의 단위 점착 시트(521)의 세정면은 구동 롤러(531)의 회전에 따라 회전되어 세정부 몸체(540)의 홀(541) 내측에 위치된다.
이때, 세정부 몸체(540)의 홀(541) 내측에 설치되는 브러쉬(542)는 회전되는 단위 점착 시트(521)의 세정면을 물리적으로 브러싱할 수 있다.
이에 따라, 상기 단위 점착 시트(521)의 세정면에 부착된 이물질은 상술된 브러싱 동작에 의하여 제거될 수 있다.
또한, 도면에 도시되지는 않았지만, 상기 세정부 몸체(540)는 진공 배출 수단을 더 구비할 수 있다.
상기 진공 배출 수단은 상기 브러쉬(542)의 근방으로부터 세정부 몸체(540)의 외부를 잇는 진공 라인과, 상기 진공 라인 상에 설치되는 진공 펌프로 구성될 수 있다.
상기 진공 펌프는 메인 제어기(230)로부터 전기적 신호를 전송 받아 구동될 수 있다. 상기 진공 펌프는 진공 라인에 진공 흡입력을 형성할 수 있다.
따라서, 브러쉬(542)에 의하여 단위 점착 시트(521)의 세정면으로부터 제거된 이물질은 상기 진공 라인을 따라 외부로 배출될 수 있다.
따라서, 본 발명은 회전 동작되는 단위 점착 시트인 세정재의 세정면을 브러쉬를 통하여 물리적으로 브러쉬하여 줄 수 있는 잇점을 갖는다.
세정부의 제 3예
도 6은 본 발명에 따르는 세정부의 제 3예를 보여준다.
도 6을 참조 하면, 상기 세정부(502)는 세정재인 세정액이 일정량 저장된 베쓰(561)를 구비한다.
상기 베쓰(561)는 상기 설정된 위치에서의 본체(100)에 설치된다.
상기 세정액은 스크라이브 휠(441)이 침수되는 부분으로서, 세정 영역을 형성한다.
도면에 도시되지는 않았지만, 상기 베쓰(561)는 세정액을 외부로 배출할 수 있도록 배출 라인을 더 구비할 수 있다.
상기 구성을 참조하여, 상기 세정부(502)의 작용을 설명한다.
도 1을 참조 하면, 메인 제어기(230)는 헤드부(400)의 기판(10)에 대한 스크라이브 회수가 기설정되는 기준 스크라이브 회수에 이르면, 이송부(200)를 사용하여 헤드부(400)를 세정부(502)의 설정 위치로 이송한다.
여기서, 상기 스크라이브 공정에 사용된 스크라이브 휠(441)의 외면에는 스크라이브 공정시 발생된 이물질이 부착된다. 상기 이물질은 절단된 칩을 포함한 이물질일 수 있다.
도 6을 참조 하면, 메인 제어기(230)는 리니어 모터(220) 및 승강 모터(420)를 구동하여, 스크라이브 휠(441)이 베쓰(561)에 저장된 세정액에 침수될 수 있도록 헤드부(400)를 이송한다.
이어, 메인 제어기(230)는 헤드 프레임(210)을 이송하는 구동부(미도시)를 사용하여 헤드 프레임(210)을 X축 방향을 따라 왕복 이송한다.
또한, 상기 메인 제어기(230)는 승강 모터(420)를 사용하여 스크라이브 휠(441)의 승강을 반복함으로써, 스크라이브 휠(441)이 세정액에 수회 침수되도록 할 수도 있다.
따라서, 상기 스크라이브 휠(441)의 외면에 존재하는 이물질은 상기 세정액에 의하여 제거될 수 있다.
상기 스크라이브 휠(441)에 대한 세정 작업이 실시 및 완료된다.
이어, 메인 제어기(230)는 헤드 프레임(210) 및 헤드부(400)를 원위치로 복귀시키도록 리니어 모터(220), 승강 모터(420)를 제어한다.
도 7은 베쓰에 초음파 진동기가 설치되는 것을 보여준다.
상기 초음파 진동기(562)는 메인 제어기(230)와 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 메인 제어기(230)는 상기 초음파 진동기(562)의 구동을 제어한다.
상기 초음파 진동기(562)는 상기 이송부(200)의 이송 회수에 따라 설정된 진동을 베쓰(561)에 저장된 세정액에 제공하여 세정을 실시한다.
따라서, 도 6 및 도 7에 도시되는 바와 같이, 스크라이브 휠(441)이 세정액에 침수되면, 메인 제어기(230)는 초음파 진동기(562)를 구동시킨다.
따라서, 세정액에 침수된 스크라이브 휠(441)의 외면에 부착된 이물질은 상기 초음파 발생에 의하여 용이하게 제거될 수 있다.
이에 따라, 본 발명은 세정액에 스크라이브 휠(441)을 침수하여 세정하면서, 이송부(200)의 이송 회수 또는 세정 주기에 따라 다른 진동을 제공하여, 스크라이브 휠(441)의 사용 시간 증가에 따라 휠의 이물질을 효과적으로 제거할 수 있는 잇점을 갖는다.
세정부의 제 4예
도 8은 본 발명에 따르는 세정부의 제 4예를 보여준다.
도 8을 참조 하면, 상기 세정부(503)는 베쓰(561)와, 배수 유로(581)와, 세정액 공급부(573)와, 세정액 제어기(590)로 구성된다.
상기 베쓰(561)는 본체(100)에서 설정된 위치에 설치된다.
상기 배수 유로(581)는 상기 베쓰(561)와 연통되도록 설치된다. 상기 배수 유로(581)에는 상기 배수 유로(581)를 개폐하는 밸브(582)가 설치된다.
상기 배수 유로(581) 상에는 배수 펌프(583)가 설치된다. 상기 배수 펌프(583)는 상기 세정액 제어기(590)와 전기적으로 연결된다.
상기 세정액 공급부(573)는 공급 유로(571)를 포함한다. 상기 공급 유로(571)에는 공급 유로(571)를 개폐하는 공급 밸브(572)가 설치된다.
상기 세정액 공급부(573)는 세정액 제어기(590)와 전기적으로 연결된다.
상기 세정액 제어기(590)는 기설정되는 세정 주기에 이르면, 상술된 밸브(542)를 개방하여 상기 베쓰(561)에 저장된 세정액을 외부로 배수하고, 상기 세정액 공급부(573)를 통하여 상기 베쓰(561)에 세정액을 공급할 수 있다.
상세하게, 상기 세정액 제어기(590)는 메인 제어기(230)와 전기적으로 연결된다.
상기 구성을 참조하여, 상기 세정부의 작용을 설명한다.
도 1 및 도 8을 참조 하면, 메인 제어기(230)는 헤드부(400)의 기판(10)에 대한 스크라이브 회수가 기설정되는 기준 스크라이브 회수에 이르면, 이송부(200)를 사용하여 헤드부(400)를 세정부(503)의 설정 위치로 이송한다.
여기서, 상기 스크라이브에 사용된 스크라이브 휠(441)의 외면에는 스크라이브 공정시 발생된 이물질이 부착된다. 상기 이물질은 절단된 칩을 포함한 이물질일 수 있다.
도 8을 참조 하면, 메인 제어기(230)는 리니어 모터(220) 및 승강 모터(420)를 구동하여, 스크라이브 휠(441)이 베쓰(561)에 저장된 세정액에 침수될 수 있도록 헤드부(400)를 이송한다.
이어, 메인 제어기(230)는 헤드 프레임(210)을 이송하는 구동부(미도시)를 사용하여 헤드 프레임(210)을 X축 방향을 따라 왕복 이송한다.
또한, 상기 메인 제어기(230)는 승강 모터(420)를 사용하여 스크라이브 휠(441)의 승강을 반복함으로써, 스크리이브 휠(441)이 세정액에 수회 침수되도록 할 수도 있다.
따라서, 상기 스크라이브 휠(441)의 외면에 존재하는 이물질은 상기 세정액에 의하여 제거될 수 있다.
상기 스크라이브 휠(441)에 대한 세정 작업이 실시 및 완료된다.
이어, 메인 제어기(230)는 헤드 프레임(210) 및 헤드부(400)를 원위치로 복귀시키도록 리니어 모터(220), 승강 모터(420)를 제어한다.
또한, 상기 메인 제어기(230)는 스크라이브 세정 동작 회수를 카운트하여 이를 세정액 제어기(590)로 전송한다. 상기 세정액 제어기(590)는 스크라이브 세정 동작 회수가 기설정된 기준 스크라이브 세정 동작 회수에 이르면, 세정액 공급부(573) 및 배수 펌프(583)의 구동을 제어한다. 여기서, 상기 세정 동작 회수는 세정 주기와 동일할 수 있다.
즉, 세정액 제어기(590)는 밸브(582)를 개방하고, 배수 펌프(583)를 구동시킨다. 따라서, 사용된 세정액은 배수 유로(581)를 따라 외부로 배출된다.
상기 세정액이 배수되면, 메인 제어기(230)는 밸브(582)를 폐쇄하고, 배수 펌프(583)의 구동을 중지시킨다.
상기 메인 제어기(230)는 세정액 공급부(573)를 사용하여 일정량의 세정액을 베쓰(561)에 공급한다.
상기 메인 제어기(230)는 공급 밸브(572)를 개방하고, 세정액 공급부(573)를 사용하여 세정액을 공급 유로(571)를 따라 베쓰(561)로 일정량 공급한다.
따라서, 베쓰(561)의 내부에는 새로운 세정액이 저장될 수 있다.
본 발명은 기설정된 세정 주기에 이르면, 즉, 스크라이브 휠(441)의 세정 동작 회수가 일정 회수에 이르면, 베쓰(561) 내부에 새로운 세정액을 교체 저장하여 줄 수 있는 잇점을 갖는다.
이에 따라, 본 발명은 스크라이브 휠(441)을 세정하는 세정액을 일정 주기로 교체하여 줌으로써, 세정액의 오염을 방지함과 아울러, 스크라이브 휠(441)을 더욱 청결하게 유지할 수 있는 잇점을 갖는다.
또한, 본 발명은 스크라이브 휠(441)의 청결을 유지하여 기판에 형성되는 스크라이브 라인의 불량을 방지하여 양품의 제품을 생산할 수 있는 잇점도 갖는다.
세정부의 제 5예
도 9는 본 발명에 따르는 세정부가 다수로 구비되는 스크라이브 장치를 보여준다.
도 9를 참조 하면, 본 발명에 따르는 세정부는 제 1세정부(500)와 제 2세정부(502)로 구성된다.
상기 제 1,2세정부(500,502)는 본체(100)에서 서로 다른 위치에 설치된다.
헤드부(400) 및 이송부(200)의 구성은 상술한 바와 동일하다.
상기 제 1세정부(500)는 도 1 내지 도 8에 기재되는 세정재인 단위 점착 시트(520,521)가 적용될 수 있다. 상기 제 1세정부는 상술한 도시 번호 '500' 또는 '501'을 채택할 수 있다.
상기 제 2세정부(502)는 상술한 세정액을 사용한 예들이 적용될 수 있다. 상기 제 2세정부는 상술한 도시 번호 '502' 또는 '503'을 채택할 수 있다.
도 10은 본 발명에 따르는 세정부의 제 5예를 보여준다. 도 11은 상기 5예를 따르는 구성의 연결 관계를 보여준다.
도 10을 참조 하면, 제 1세정부(500)는 세정부 몸체(510)와, 세정재인 단위 점착 시트(520)를 구비한다.
상기 제 2세정부(502)는 세정액 및 초음파 진동기(562)를 구비하는 베쓰(561)를 포함한다.
도 10 및 도 11을 참조 하면, 상기 초음파 진동기(562)는 메인 제어기(230)와 전기적으로 연결된다.
상기 메인 제어기(230)는 선택기(600)와 전기적으로 연결된다. 상기 선택기(600)는 제 1.2세정부(500,502) 중 어느 하나를 사용할 수 있는 선택 신호를 메인 제어기(230)로 전송한다.
상기 선택기(600)가 제 1세정부(500)를 사용하는 선택 신호를 메인 제어기(230)로 전송하면, 상기 메인 제어기(230)는 이송부(200)를 사용하여 헤드부(400)를 제 1세정부(500)로 위치시켜 스크라이브 휠(441)을 세정한다.
상기 제 1세정부(500)를 사용한 스크라이브 휠(441)의 세정 방식은 상술한 예들과 실질적으로 동일하다.
상기 선택기(600)가 제 2세정부(502)를 사용하는 선택 신호를 메인 제어기(230)로 전송하면, 상기 메인 제어기(230)는 이송부(200)를 사용하여 헤드부(400)를 제 2세정부(502)로 위치시켜 스크라이브 휠(441)을 세정한다.
상기 제 2세정부(502)를 사용한 스크라이브 휠(441)의 세정 방식은 상술한 예들과 실질적으로 동일하다.
또한, 상기 선택기(600)는 상기 제 1.2세정부(500,502)를 모두 사용할 수 있는 신호를 메인 제어기(230)로 전송할 수도 있다.
상기 메인 제어기(230)는 스크라이브 휠(441)에 대한 세정 순서를 제 1세정부(500) -> 제 2세정부(502) 또는 제 2세정부(502) -> 제 1세정부(500) 순서로 진행할 수 있도록 이송부(200)의 동작을 제어할 수 있다.
따라서, 상기 5예에서는 두 가지 또는 그 이상의 세정부를 구비하도록 하여, 스크라이브 휠(441)을 단위 점착 시트(520) 또는 세정액을 사용하여 세정하거나, 이들을 순차적으로 사용하여 복합적으로 세정할 수 있다.
본 발명은 세정의 방식에서 점착 시트를 사용하는 방식과 세정액을 동시에 사용할 수 있는 환경을 제공할 수 있는 잇점을 갖는다.
또한, 본 발명은 점착 시트를 사용하는 세정 방식과 세정액을 사용하는 세정 방식 중 어느 하나를 선택적으로 사용할 수 있도록 하는 잇점을 갖는다.
에어 세정부
도 12는 세정부에 에어 세정부가 더 구비되는 것을 보여준다.
도 12를 참조 하면, 본 발명에 따르는 세정부는 에어 세정부(700)를 더 포함한다.
상기 에어 세정부(700)는 에어 분사 노즐(710)과, 에어 제공기(720)로 구성된다.
상기 에어 분사 노즐(710)은 헤드 몸체(410)에 설치되며, 끝단이 스크라이브 휠(441)을 향하도록 배치된다.
상기 에어 분사 노즐(710)은 에어 라인(721)과 연결된다.
상기 에어 라인(721)은 상기 에어 제공기(720)와 연결된다.
상기 에어 제공기(720)는 메인 제어기(230)와 연결되고, 상기 메인 제어기(230)로부터 진기적 신호를 전송 받아 일정압의 에어를 에어 라인(721)으로 공급한다.
따라서, 상기 에어 분사 노즐(710)은 일정압의 에어를 스크라이브 휠(441)로 분사한다.
상기 스크라이브 휠(441)에 부착되는 이물질은 상기 에어의 분사압에 의하여 스크라이브 휠(441)로부터 제거될 수 있다.
또한, 상기 에어 공급으로 인하여, 스크라이브 공정시 스크라이브 휠(441)에 발생된 열을 하강시킬 수 있는 잇점도 있다.
도 13은 에어 분사 노즐이 스윙 동작 가능한 예를 보여준다.
도 13을 참조 하면, 에어 분사 노즐(710)의 단부는 헤드 몸체(410)에 힌지단(H)을 사용하여 회전 가능하게 연결된다.
상기 에어 제공기(720)는 노즐 회전 모터(711)를 더 구비한다.
상기 노즐 회전 모터(711)는 에어 분사 노즐(710)의 단부와 연결된다.
상기 노즐 회전 모터(711)는 메인 제어기(230)로부터 전기적 신호를 전송 받아, 상기 에어 분사 노즐(710)을 일정의 회전각 범위 내에서 스윙 동작시킨다.
상기 에어 분사 노즐(710)은 상기 스윙 동작을 통하여 상하로 스윙 동작된다.
상기 에어 분사 노즐(710)로부터 분사되는 에어는 스크라이브 휠(441)에 회전각 범위 내에서 반복적으로 공급된다.
따라서, 스크라이브 휠(441)의 외면에 부착된 이물질은 더 효율적으로 제거될 수 있다.
본 발명은 세정재를 구비하여 휠을 세정하는 동시에, 에어를 더 사용하여 스크라이브 휠에 잔류할 수 있는 부가 이물질을 외부로 불어내어 제거할 수 있는 잇점을 갖는다.
본 발명에 따르는 실시예는 스크라이브 공정이 진행된 스크라이브 휠을 별도의 위치로 이동시켜 주기적으로 세정할 수 있다.
본 발명에 따르는 실시예는 점착 시트 또는 초음파 세정을 사용하여 스크라이브 휠을 세정할 수 있다.
본 발명에 따르는 실시예는 점착 시트 또는 초음파 세정에 사용되는 세정액을 교체 시기에 즉시 새로운 시트 또는 세정액으로 교체할 수 있다.
본 발명에 따르는 실시예는 스크라이브 휠에 발생되는 열을 에어로 하강시킬 수 있다.
본 발명에 따르는 실시예는 세정 전 또는 세정 후에 스크라이브 휠에 에어를 직접 분사 또는 스윙 분사시킴으로써 전처리 또는 후처리 보조 세정을 실시할 수 있다.
이에 더하여, 상술된 본 발명에 따르는 세정부(500,501,502,503)는 기판(a)의 이송 평면 저부에 위치되는 것이 좋다.
따라서, 본 발명은 스크라이브 휠(441)이 상기 세정부(500,501,502,503)를 통하여 세정되는 경우에 제거되는 이물질 또는 세정에 사용되는 세정액이 기판(10)의 표면으로 튀는 것을 효율적으로 방지할 수 있다.
이에 따라, 본 발명은 스크라이브 휠(441)의 세정으로 인한 기판(10)의 오염을 방지하여, 제품 불량을 미연에 방지할 수 있다.
10 : 기판 100 : 본체
200 : 이송부 210 : 헤드 프레임
220 : 리니어 모터 230 : 메인 제어기
400 : 헤드부 410 : 헤드 몸체
420 : 승강 모터 430 : 회전 모터
440 : 휠 고정체 441 : 스크라이브 휠
500, 501, 502, 503 : 세정부 510, 540 : 세정부 몸체
520, 521 : 단위 점착 시트 531 : 구동 롤러
532 : 회전부 541 : 홀
542 : 브러쉬 550 : 회전 제어기
561 : 베쓰 562 : 초음파 진동기
573 : 세정액 공급부 581 : 배수 유로
590 : 세정액 제어기 600 : 선택기
700 : 에어 세정기 710 : 에어 분사 노즐
720 : 에어 제공기

Claims (12)

  1. 기판을 스크라이브하는 스크라이브 휠을 갖는 헤드부;
    상기 헤드부를 설정된 위치로 이송하는 이송부; 및
    상기 설정된 위치에 배치되며, 상기 이송부에 의해 이송되는 상기 스크라이브 휠을 세정하는 세정재 중 서로 분리 가능하도록 접착된 다수의 단위 점착 시트를 갖는 제1 세정부를 포함하되,
    상기 스크라이브 휠은 상기 단위 점착 시트의 일면에 접촉되어 세정되며,
    상기 제1 세정부는,
    세정부 몸체에 설치되고, 상기 세정재의 양단을 회전 지지하여 상기 스크라이브 휠과 접촉되는 상기 세정재의 세정면이 교체되도록 상기 세정재를 회전시키는 한 쌍의 구동 롤러와, 기설정되는 세정 주기에 따라 상기 한 쌍의 구동 롤러를 회전시키는 회전부와, 에어 세정부를 구비하고,
    상기 에어 세정부는,
    상기 헤드부에 설치되며, 외부로부터 제공 받은 에어를 일정압으로 상기 스크라이브 휠로 분사하는 에어 분사 노즐과, 상기 에어 분사 노즐로 일정압의 에어를 제공하는 에어 제공기를 구비하며,
    상기 에어 분사 노즐은 스윙 동작 가능한 것을 특징으로 하는 스크라이브 헤드 유닛.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 세정부 몸체에는,
    상기 세정재의 회전 경로 상에 배치되며, 상기 세정재의 세정면을 물리적으로 브러싱하는 브러쉬가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 헤드 유닛.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 세정재는,
    상기 스크라이브 휠이 침수되어 상기 스크라이브 휠의 외면에 부착된 이물질을 제거하는 세정액을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 헤드 유닛.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 세정부는, 제 2세정부와, 선택기를 더 구비하되,
    상기 제 2세정부는, 상기 세정액이 일정량으로 저장되는 베쓰와, 상기 베쓰와 연통되며, 밸브가 설치되는 배수 유로와, 상기 베쓰로 일정량의 세정액을 공급하는 세정액 공급부와, 기설정되는 세정 주기에 이르면, 상기 밸브를 개방하여 상기 베쓰에 저장된 세정액을 외부로 배수하고, 상기 세정액 공급부를 통하여 세정액을 상기 베쓰에 공급하는 세정액 제어기를 구비하고,
    상기 선택기는, 상기 회전부 또는 상기 세정액 제어기 중 어느 하나 또는 순차적으로 사용함에 대한 선택 신호를 발생하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 헤드 유닛.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 기판의 이송 방향을 형성하는 본체; 및
    상기 기판의 이송 평면과 구획되는 영역에 설치되며, 상기 제 1항, 제 4항, 제 7항 및 제 8항 중 어느 한 항의 스크라이브 헤드 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 세정부는,
    상기 기판의 이송 평면 저부에 위치되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP4013207B2 (ja) 2003-05-09 2007-11-28 信越半導体株式会社 洗浄システム及び洗浄方法
JP4191304B2 (ja) * 1999-03-03 2008-12-03 三星ダイヤモンド工業株式会社 チップホルダー

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