KR101798868B1 - Liquid crystal display device and method for manufacturing the same - Google Patents

Liquid crystal display device and method for manufacturing the same Download PDF

Info

Publication number
KR101798868B1
KR101798868B1 KR1020110061708A KR20110061708A KR101798868B1 KR 101798868 B1 KR101798868 B1 KR 101798868B1 KR 1020110061708 A KR1020110061708 A KR 1020110061708A KR 20110061708 A KR20110061708 A KR 20110061708A KR 101798868 B1 KR101798868 B1 KR 101798868B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
data line
semiconductor layer
electrode
liquid crystal
pixel electrode
Prior art date
Application number
KR1020110061708A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20130000900A (en
Inventor
허승호
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020110061708A priority Critical patent/KR101798868B1/en
Publication of KR20130000900A publication Critical patent/KR20130000900A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101798868B1 publication Critical patent/KR101798868B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/136286Wiring, e.g. gate line, drain line
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/1368Active matrix addressed cells in which the switching element is a three-electrode device
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/34Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
    • G09G3/36Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using liquid crystals
    • G09G3/3611Control of matrices with row and column drivers
    • G09G3/3648Control of matrices with row and column drivers using an active matrix
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/34Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
    • G09G3/36Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using liquid crystals
    • G09G3/3611Control of matrices with row and column drivers
    • G09G3/3685Details of drivers for data electrodes
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/136231Active matrix addressed cells for reducing the number of lithographic steps
    • G02F1/136236Active matrix addressed cells for reducing the number of lithographic steps using a grey or half tone lithographic process
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/136286Wiring, e.g. gate line, drain line
    • G02F1/13629Multilayer wirings

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로서, 특히, 데이터라인의 하단에 형성되어 있는 데이터라인 반도체층의 액티브 테일을 제거하며, 화소전극과 동일한 물질을 이용하여 화소전극과 동일한 공정을 통해 형성되는 데이터라인 보호막이 데이터라인과 데이터라인 반도체층을 커버하도록 한, 액정표시장치 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다. 이를 위해 본 발명에 따른 액정표시장치는, 게이트라인들과 데이터라인들의 교차에 의해 형성되는 복수 개의 화소들을 구비하며, 상기 각 데이터라인을 커버하고 있는 데이터라인 보호막의 끝단과 상기 데이터라인의 좌우측 화소에 형성되어 있는 화소전극 간의 간격이 일정하게 형성되어 있는 액정패널; 및 상기 액정패널을 Z-인버젼 방식으로 구동하기 위한 구동부를 포함한다.The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly to a liquid crystal display device which removes an active tail of a data line semiconductor layer formed at a lower end of a data line, And a protective film covering the data line and the data line semiconductor layer, and a method of manufacturing the same. To this end, the liquid crystal display according to the present invention includes a plurality of pixels formed by intersection of gate lines and data lines, and includes a plurality of pixels, each of which includes an end of a data line protective film covering each of the data lines, A liquid crystal panel in which a distance between pixel electrodes formed in the liquid crystal panel is constant; And a driving unit for driving the liquid crystal panel in a Z-inversion mode.

Description

액정표시장치 및 그 제조 방법{LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a liquid crystal display (LCD)

본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로서, 특히, Z-인버전 방식을 이용하고 있는 액정표시장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly to a liquid crystal display device using a Z-inversion method and a manufacturing method thereof.

액정표시장치는 전계를 이용하여 유전이방성을 갖는 액정의 광투과율을 조절함으로써 화상을 표시하게 된다.The liquid crystal display device displays an image by adjusting the light transmittance of liquid crystal having dielectric anisotropy using an electric field.

이를 위하여, 액정표시장치는 액정셀들이 매트릭스형태로 배열된 액정패널과, 액정패널을 구동하기 위한 구동부를 구비한다.To this end, a liquid crystal display device includes a liquid crystal panel in which liquid crystal cells are arranged in a matrix form, and a driving unit for driving the liquid crystal panel.

한편, 이러한 액정표시장치는 액정의 열화를 방지함과 아울러 표시 품질을 향상시키기 위하여 액정패널을 인버젼 구동 방식으로 구동한다. 인버젼 구동 방식으로는 프레임 인버젼 방식(Frame Inversion System), 라인 인버젼 방식(Line Inversion System), 컬럼 인버젼 방식(Column Inversion System), 도트 인버젼 방식(Dot Inversion System) 또는 Z-인버젼(Z-Inversion System) 방식 등이 이용되고 있다. Such a liquid crystal display device drives the liquid crystal panel by an inversion driving method in order to prevent deterioration of liquid crystal and improve display quality. The inversion driving method includes a frame inversion system, a line inversion system, a column inversion system, a dot inversion system, or a Z-inversion system. (Z-Inversion System) system.

상기한 바와 같은 인버젼 구동 방식들 중, Z-인버젼 방식은, 박막트랜지스터(TFT)와 화소전극(PXL)이 데이터라인(DL)을 따라 좌측과 우측을 교번하는 지그재그형으로 배열되어 있는 데이터라인들에, 컬럼 인버젼 방식으로 화소신호를 공급하는 방법이다. 즉, Z-인버젼 방식은, 컬럼 인버젼 방식의 개선된 구조로서, 회로구동방식은 컬럼 인버젼 방식을 이용하고 있으나, 액정패널의 박막트랜지스터(TFT)의 방향을 각 라인(Line)마다 반대로 형성하여, 화면표시는 도트 인버젼 방식(Dot inversion System)과 동일하게 구현하고 있다. 부연하여 설명하면, Z-인버젼 방식은 도트 인버젼 방식과 유사한 효과를 가지면서도 소비전력을 현저하게 절감시킬 수 있는 방법이다.
Among the inversion driving methods described above, the Z-inversion method is a method in which the thin film transistor TFT and the pixel electrode PXL are arranged in a staggered arrangement in which the left and right sides alternate along the data line DL A method of supplying a pixel signal in a column inversion manner to the lines. In other words, the Z-inversion method is an improved structure of a column-version method. In the circuit driving method, the column-inversion method is used. However, the direction of the thin film transistor (TFT) And the screen display is implemented in the same manner as the dot inversion system. Described in detail, the Z-inversion method is a method that can remarkably reduce power consumption while having an effect similar to the dot inversion method.

도 1은 Z-인버젼 방식을 이용하고 있는 종래의 액정표시장치의 액정패널의 일부분을 나타낸 예시도이며, 도 2는 도 1에 도시된 I-I'선을 따라 절단된 단면에서의 기생 캐패시터를 설명하기 위한 예시도이다. 또한, 도 3은 Z-인버젼 방식을 이용하고 있는 종래의 액정표시장치에서 데이터라인과 화소전극 사이에 형성된 기생 캐패시터에 의한 파형을 나타낸 예시도로서, 데이터라인을 기준으로 기생 캐패시터(Cdp)의 좌우 비대칭에 의한 기수번째 데이터라인의 화소와 우수번째 데이터라인의 화소의 파형을 나타낸 것이다. FIG. 1 is a view showing a part of a liquid crystal panel of a conventional liquid crystal display device using a Z-inversion method, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line I-I ' Fig. FIG. 3 is a diagram illustrating waveforms of a parasitic capacitor formed between a data line and a pixel electrode in a conventional liquid crystal display device using a Z-inversion method. FIG. 3 shows waveforms of a parasitic capacitor Cdp The waveforms of the pixel of the odd-numbered data line and the pixel of the odd-numbered data line due to the asymmetry are shown.

우선, 도 1에 도시된 바와 같이, Z-인버젼 방식을 이용하고 있는 액정표시장치의 액정패널(10)에 형성되는 박막트랜지스터(TFT)(11)와 화소전극(PXL)(12)은, 데이터라인(DL)을 따라 위치가 좌측과 우측을 교번하는 지그재그형으로 배열된다. 다시 말하면, 동일한 컬럼(Column)에 포함되는 박막트랜지스터들(TFT)(11)과 화소전극(PXL)(12)은 수평라인마다 인접한 서로 다른 데이터라인(DL)과 교번적으로 접속된다.1, the thin film transistor (TFT) 11 and the pixel electrode (PXL) 12, which are formed on the liquid crystal panel 10 of the liquid crystal display device using the Z-inversion method, The positions along the data lines DL are arranged in a zigzag shape alternating left and right sides. In other words, the thin film transistors (TFT) 11 and the pixel electrode (PXL) 12 included in the same column are alternately connected to the different data lines DL adjacent to each other on the horizontal line.

따라서, 도 1에 도시된 바와 같은 액정패널(10)에서는 데이터라인(DL)과 그에 인접한 화소전극(PXL)과의 사이에 형성된 기생 캐패시터(Cdp)에 의해 정극성(+) 또는 부극성(-)의 전압 편차가 발생한다. 특히, 컬럼 인버젼 방식으로 구동되는 데이터라인(DL)은 한 프레임 동안 동일한 극성을 유지함에 따라, 그 기생 캐패시터(Cdp)에 의한 전압 편차 또한 동일한 극성을 한 프레임동안 유지하게 되어, 수직 크로스토크와 같은 불량을 발생하게 된다. 1, positive (+) or negative (-) polarity is generated by the parasitic capacitor Cdp formed between the data line DL and the pixel electrode PXL adjacent thereto. Therefore, in the liquid crystal panel 10, ) Occurs. Particularly, since the data line DL driven by the column-version method maintains the same polarity for one frame, the voltage deviation due to the parasitic capacitor Cdp also maintains the same polarity for one frame, The same failure occurs.

즉, 도 1에 도시된 기생 캐패시터(Cdp)는 데이터라인(DLk)과 좌측 화소전극(P1 또는 P3)과의 사이에 위치하는 제1기생 캐패시터(Cdp1)와, 그 데이터라인(DLk)과 우측 화소전극(P2 또는 P4)과의 사이에 위치하는 제2기생 캐패시터(Cdp2)를 포함하고 있으며, 여기서, 제1 및 제2 기생 캐패시터(Cdp1, Cdp2)는 데이터라인(DLk)과 화소전극(P1, P2)이 무기 절연막 또는 유기 절연막으로 구성되는 보호층을 사이에 두고 위치함에 따라 형성된다.That is, the parasitic capacitor Cdp shown in FIG. 1 includes a first parasitic capacitor Cdp1 located between the data line DLk and the left pixel electrode P1 or P3, and a second parasitic capacitor Cdp1 between the data line DLk and the right The first and second parasitic capacitors Cdp1 and Cdp2 are connected between the data line DLk and the pixel electrode P 1 and the pixel electrode P 2 and P 4, , P2) are formed with a protective layer composed of an inorganic insulating film or an organic insulating film interposed therebetween.

특히, 데이터라인(DLk)의 좌측 화소전극(P1)과, 우측 화소전극(P2)이 서로 상반된 극성의 화소 신호를 충전함에 따라 제1 및 제2 기생 캐패시터(Cdp1, Cdp2) 간에 용량 편차가 발생한다. 다시 말하면, 도 1에서 서로 상반된 극성을 유지하는 데이터라인(DLk)(-전극)과 좌측의 화소전극(P1)(+전극) 사이의 전압편차가, 서로 동일한 극성을 유지하는 데이터라인(DLk)(-전극)과 우측의 화소전극(P2)(-전극) 사이의 전압편차보다 커지게 된다. 따라서, 제1기생 캐패시터(Cdp1)는 제2기생 캐패시터(Cdp1) 보다 큰 용량을 가지게 되므로 제1 및 제2 기생캐패시터(Cdp1, Cdp2) 간에 용량편차가 발생하게 된다.Particularly, a capacitance deviation occurs between the first and second parasitic capacitors Cdp1 and Cdp2 as the left pixel electrode P1 of the data line DLk and the right pixel electrode P2 are charged with pixel signals of opposite polarities do. In other words, the voltage deviation between the data line DLk (-electrode) and the pixel electrode P1 (+ electrode) on the left side, which maintain the opposite polarities in FIG. 1, (- electrode) and the right pixel electrode P2 (- electrode). Therefore, since the first parasitic capacitor Cdp1 has a larger capacitance than the second parasitic capacitor Cdp1, a capacitance deviation occurs between the first and second parasitic capacitors Cdp1 and Cdp2.

이러한 기생 캐패시터(Cdp1, Cdp2) 간의 용량 편차는 한 프레임 동안 동일 극성을 유지하는 데이터라인(DLk)에 의해, 그 한 프레임 동안 동일 극성을 유지하여 데이터라인(DLk)을 간섭하게 되고, 그 결과 데이터라인(DLk) 상의 화소 신호가 왜곡된다. 즉, 도트 인버젼 방식에서는 1프레임(frame) 동안 데이터의 극성이 바뀌고 있으나, Z-인버젼 방식에서는 데이터의 극성의 변화가 없기 때문에, 수평라인 상에서 기수 번째 화소와 우수 번째 화소간의 불량 현상이 더 심하게 나타나고 있다.The capacitance deviation between these parasitic capacitors Cdp1 and Cdp2 causes the data lines DLk to maintain the same polarity during one frame by the data lines DLk maintaining the same polarity for one frame, The pixel signal on the line DLk is distorted. That is, in the dot inversion method, the polarity of the data is changed during one frame, but since there is no change in the polarity of the data in the Z-inversion method, the bad phenomenon between the odd- It is getting worse.

또한, 상기한 바와 같은 종래의 액정표시장치에서의 기생 캐패시터(Cdp1, Cdp2) 간의 용량 편차는 데이터라인(DLk)과 화소전극(PXL)의 오버레이(overlay)에 의해 더욱 커지게 된다.The capacitance deviation between the parasitic capacitors Cdp1 and Cdp2 in the conventional liquid crystal display device described above is further increased by the overlay of the data line DLk and the pixel electrode PXL.

즉, 이상적인 경우, 도 2의 (a)에 도시된 바와 같이, 데이터라인(DLk)과 좌우 양측의 화소전극(P1, P2) 간의 간격이 동일하며, 따라서, 데이터라인과 화소전극 간의 간격 차이에 의한 기생 캐패시터의 용량 편차는 발생하지 않게 된다. That is, in the ideal case, as shown in FIG. 2A, the data line DLk and the pixel electrodes P1 and P2 on both the left and right sides have the same interval, The capacitance variation of the parasitic capacitors caused by the parasitic capacitors does not occur.

그러나, 종래의 액정표시장치에서는 데이터라인(DLk)과 화소전극(P1, P2)이서로 다른 층에서 서로 다른 마스크를 이용하여 형성되고 있기 때문에, 도 2의 (b)에 도시된 바와 같이, 데이터라인과 그 양측의 화소전극 간에 거리차가 발생하게 되며, 이로 인해 좌우 양측의 기생 캐패시터의 용량 편차가 크게 발생하고 있다.However, in the conventional liquid crystal display device, since the data line DLk and the pixel electrodes P1 and P2 are formed using different masks in different layers, as shown in Fig. 2B, A distance difference is generated between the line and the pixel electrodes on both sides thereof, which causes a large capacitance variation of the parasitic capacitors on both the left and right sides.

또한, 상기한 바와 같은 종래의 액정표시장치에서의 기생 캐패시터(Cdp1, Cdp2)는 데이터라인과 화소전극 간의 캐패시터이나, 보다 구체적으로는 데이터라인의 하단에 형성되어 있는 반도체층의 액티브 테일(Active Tail)과 화소전극 간의 캐패시터로서, 이러한 반도체층의 액티브 테일에 의해 상기한 바와 같은 좌우 기생 캐패시터 간의 용량 편차가 발생하고 있으며, 이러한 액티브 테일에 의해 개구율이 줄어들고 있다. In addition, the parasitic capacitors Cdp1 and Cdp2 in the conventional liquid crystal display device as described above are used as capacitors between the data lines and the pixel electrodes, or more specifically, active tails of the semiconductor layers formed at the lower ends of the data lines Capacitance between the left and right parasitic capacitors occurs due to the active tail of the semiconductor layer as a capacitor between the pixel electrode and the pixel electrode, and the aperture ratio is reduced by the active tail.

즉, 종래의 액정표시장치에서 데이터라인(DLk)은, 하부기판 위의 게이트 절연층 상에 형성되고, 데이터라인(DLk)과 게이트 절연층 사이에는 도 2에 도시된 바와 같이 그 데이터라인(DLk)을 따라 반도체층(ACT)이 형성되어 있으며, 이러한 반도체층은 일반적으로 그 위에 적층되는 데이터라인의 폭보다 길게 형성된다. 따라서, 데이터라인과 화소전극 간의 거리보다, 반도체층(ACT)과 화소전극 간의 거리가 작게 되며, 실질적인 기생 캐패시터는 반도체층의 끝단(액티브 테일)과 화소전극 간에 형성되기 때문에, 데이터라인과 반도체층이 동일한 거리만큼 좌우로 이동된다고 하더라도, 더 작은 간격을 형성하는 반도체층과 화소전극 간의 거리에 의한 기생 캐패시터의 영향력이 더 크게 나타나게 된다.That is, in the conventional liquid crystal display device, the data line DLk is formed on the gate insulating layer on the lower substrate, and between the data line DLk and the gate insulating layer, the data line DLk The semiconductor layer ACT is formed along the length of the data line, which is generally longer than the width of the data line stacked thereon. Therefore, since the distance between the semiconductor layer ACT and the pixel electrode is smaller than the distance between the data line and the pixel electrode, and the substantial parasitic capacitor is formed between the end of the semiconductor layer (active tail) and the pixel electrode, The influence of the parasitic capacitor due to the distance between the semiconductor layer forming the smaller gap and the pixel electrode becomes larger.

상기한 바와 같이 Z-인버젼 방식을 이용하고 있는 종래의 액정표시장치는, 데이터라인과 화소전극의 오버레이(Overlay) 틀어짐에 의해 좌우 기생 캐패시터(Cdp)의 비대칭이 발생하고 있으며, 이로 인해, 도 3에 도시된 바와 같이, 동일한 수평라인 상에서의 기수 번째 화소와 우수 번째 화소 간의 Vrms 차이에 의해 불량이 발생하고 있다는 문제점이 있으며, 데이터라인보다 더 외부로 돌출되어 있는 액티브 테일(Active Tail)에 의해 개구율이 감소되고 있다는 문제점이 있다. In the conventional liquid crystal display device using the Z-inversion method as described above, the asymmetry of the parasitic capacitor Cdp occurs due to the overlay error between the data line and the pixel electrode, As shown in FIG. 3, there is a problem that a defect occurs due to the difference of Vrms between the odd-numbered pixel and the odd-numbered pixel on the same horizontal line. The active tail, There is a problem that the aperture ratio is reduced.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 데이터라인의 하단에 형성되어 있는 데이터라인 반도체층의 액티브 테일을 제거하며, 화소전극과 동일한 물질을 이용하여 화소전극과 동일한 공정을 통해 형성되는 데이터라인 보호막이 데이터라인과 데이터라인 반도체층을 커버하도록 한, 액정표시장치 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide an organic light emitting display, which removes an active tail of a data line semiconductor layer formed at a lower end of a data line, And a protective film covering the data line and the data line semiconductor layer, and a method of manufacturing the same.

상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치는, 게이트라인들과 데이터라인들의 교차에 의해 형성되는 복수 개의 화소들을 구비하며, 상기 각 데이터라인을 커버하고 있는 데이터라인 보호막의 끝단과 상기 데이터라인의 좌우측 화소에 형성되어 있는 화소전극 간의 간격이 일정하게 형성되어 있는 액정패널; 및 상기 액정패널을 Z-인버젼 방식으로 구동하기 위한 구동부를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a liquid crystal display device including a plurality of pixels formed by intersection of gate lines and data lines, A liquid crystal panel in which intervals between pixel electrodes formed in left and right pixels of the data line are constant; And a driving unit for driving the liquid crystal panel in a Z-inversion mode.

상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치 제조방법은, 기판 상에 게이트 전극과 공통전극을 형성하는 단계; 상기 게이트 절연층을 사이에 두고 상기 게이트 전극 상단에 반도체층을 형성하는 단계; 상기 게이트 절연층을 사이에 두고 상기 공통전극 상단에 데이터라인 반도체층을 형성하는 단계; 상기 반도체층 상단에 소스전극과 드레인전극을 형성하는 단계; 상기 데이터라인 반도체층 상단에 데이터라인을 형성하는 단계; 상기 데이터라인 반도체층의 끝단을 상기 데이터라인의 끝단의 위치와 대응되도록 식각하는 단계; 보호층을 사이에 두고 상기 드레인 전극과 연결되는 화소전극을 형성하는 단계; 및 상기 데이터라인과 상기 데이터라인 반도체층을 덮는 데이터라인 보호막을 상기 화소전극과 함께 형성하는 단계를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a liquid crystal display device, including: forming a gate electrode and a common electrode on a substrate; Forming a semiconductor layer on top of the gate electrode with the gate insulating layer interposed therebetween; Forming a data line semiconductor layer on top of the common electrode with the gate insulating layer interposed therebetween; Forming a source electrode and a drain electrode on top of the semiconductor layer; Forming a data line on top of the data line semiconductor layer; Etching an end of the data line semiconductor layer to correspond to a position of an end of the data line; Forming a pixel electrode connected to the drain electrode with a protective layer interposed therebetween; And forming a data line protection film covering the data line and the data line semiconductor layer together with the pixel electrode.

상술한 해결 수단에 따라 본 발명은 다음과 같은 효과를 제공한다. According to the above-mentioned solution, the present invention provides the following effects.

즉, 본 발명은 데이터라인의 하단에 형성되어 있는 데이터라인 반도체층의 액티브 테일을 제거하며, 화소전극과 동일한 물질을 이용하여 화소전극과 동일한 공정을 통해 형성되는 데이터라인 보호막이 데이터라인과 데이터라인 반도체층을 커버하도록 함으로써, Z-인버젼 방식을 이용하는 경우에 발생할 수 있는, 동일한 수평라인에서의 우수번째 화소와 기수번째 화소에서의 기생 캐패시터의 차이에 의한 불량을 개선할 수 있다는 효과를 제공한다. That is, the present invention eliminates the active tail of the data line semiconductor layer formed at the lower end of the data line, and protects the data line and the data line, which are formed through the same process as the pixel electrode, By covering the semiconductor layer, it is possible to improve the defect caused by the difference of the parasitic capacitors in the odd-numbered pixels and the odd-numbered pixels in the same horizontal line, which may occur in the case of using the Z- .

또한, 본 발명은 데이터라인의 하단에 증착되는 데이터라인 반도체층의 액티브 테일을 제거함으로써, 개구율을 향상시킬 수 있다는 효과를 제공한다. Further, the present invention provides an effect of improving the aperture ratio by removing the active tail of the data line semiconductor layer deposited at the lower end of the data line.

도 1은 Z-인버젼 방식을 이용하고 있는 종래의 액정표시장치의 액정패널의 일부분을 나타낸 예시도.
도 2는 도 1에 도시된 I-I'선을 따라 절단된 단면에서의 기생 캐패시터를 설명하기 위한 예시도.
도 3은 Z-인버젼 방식을 이용하고 있는 종래의 액정표시장치에서 데이터라인과 화소전극 사이에 형성된 기생 캐패시터에 의한 파형을 나타낸 예시도.
도 4는 본 발명에 따른 액정표시장치의 구성을 나타낸 예시도.
도 5는 본 발명에 따른 액정표시장치의 액정패널의 일부분을 나타낸 예시도.
도 6은 도 5에 도시된 A-A'선을 따라 절단된 단면을 나타낸 예시도.
도 7a 내지 도 7f는 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법을 도시한 개략적인 공정 단면도.
FIG. 1 is a view showing a part of a liquid crystal panel of a conventional liquid crystal display device using a Z-inversion method. FIG.
FIG. 2 is an exemplary view for explaining a parasitic capacitor in a section cut along the line I-I 'shown in FIG. 1; FIG.
FIG. 3 is a diagram showing a waveform of a parasitic capacitor formed between a data line and a pixel electrode in a conventional liquid crystal display device using a Z-inversion method. FIG.
4 is an exemplary view showing a configuration of a liquid crystal display device according to the present invention.
5 is a view showing a part of a liquid crystal panel of a liquid crystal display device according to the present invention.
6 is a cross-sectional view taken along line A-A 'of FIG. 5;
7A to 7F are schematic cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대해 상세히 설명한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 따른 액정표시장치의 구성을 나타낸 예시도이다. 또한, 도 5는 본 발명에 따른 액정표시장치의 액정패널의 일부분을 나타낸 예시도로서, 도 4에 도시된 바와 같은 Z-인버젼 방식을 이용하고 있는 액정표시장치의 액정패널의 일부분을 나타낸 것이다. 4 is an exemplary view showing a configuration of a liquid crystal display device according to the present invention. 5 is a view showing a part of a liquid crystal panel of a liquid crystal display device according to the present invention, and shows a part of a liquid crystal panel of a liquid crystal display device using a Z-inversion method as shown in Fig. 4 .

본 발명에 따른 액정표시장치는 도 4에 도시된 바와 같이, 액정셀 매트릭스를 갖는 액정패널(100), 액정패널의 게이트라인들(GL1 내지 GLn)을 구동하기 위한 게이트 구동부(200), 액정패널의 데이터라인들(DL1 내지 DLm)을 구동하기 위한 데이터 구동부(300), 게이트 구동부 및 데이터 구동부를 제어하기 위한 타이밍 제어부(400)를 포함하여 구성될 수 있다. 4, the liquid crystal display according to the present invention includes a liquid crystal panel 100 having a matrix of liquid crystal cells, a gate driver 200 for driving the gate lines GL1 to GLn of the liquid crystal panel, A data driver 300 for driving the data lines DL1 to DLm, and a timing controller 400 for controlling the gate driver and the data driver.

우선, 액정패널(100)은 게이트라인들(GL1 내지 GLn)(110)과 데이터라인들(DL1 내지 DLm+1)(120)의 교차로 정의되는 영역마다 형성된 박막트랜지스터(TFT)와, 화소전극(PXL)(140)을 포함하는 액정셀을 구비한다. First, the liquid crystal panel 100 includes a thin film transistor TFT formed for each region defined by the intersection of the gate lines GL1 through GLn 110 and the data lines DL1 through DLm + 1 120, And a liquid crystal cell 140 including a liquid crystal cell (LCD).

박막트랜지스터(TFT)는 게이트라인(GL)(110)으로부터의 스캔신호에 응답하여 데이터라인(DL1 내지 DLm)(120)으로부터의 화소신호를 화소전극(PXL)(140)에 공급한다. 화소전극(PXL)(140)은 화소신호에 응답하여 공통전극(BLSP)(150)과의 사이에 위치하는 액정을 구동함으로써 빛의 투과율을 조절하게 된다.The thin film transistor TFT supplies a pixel signal from the data lines DL1 to DLm 120 to the pixel electrode (PXL) 140 in response to a scan signal from the gate line (GL) The pixel electrode (PXL) 140 controls the transmittance of light by driving the liquid crystal located between the pixel electrode (PXL) 140 and the common electrode (BLSP) 150 in response to the pixel signal.

특히, 박막트랜지스터(TFT)와 화소전극(PXL)은 데이터라인(DL)을 따라 그 위치가 좌측과 우측을 교번하는 지그재그형으로 배열된다. 즉, 동일한 컬럼(Column)에 포함되는 박막트랜지스터들(TFT)과 화소전극(PXL)은 수평라인마다 인접한 서로 다른 데이터라인(DL)과 교번적으로 접속된다.In particular, the thin film transistor TFT and the pixel electrode PXL are arranged in a zigzag shape along the data line DL, the positions of which alternate left and right sides. That is, the thin film transistors TFT and the pixel electrode PXL included in the same column are alternately connected to the different data lines DL adjacent to each other on the horizontal line.

예를 들어, 도 4에서, 기수번째 게이트라인(GL1, GL3, GL5, ...)에 접속된 기수번째 수평라인의 박막트랜지스터(TFT)와 화소전극(PXL)은 좌측으로 인접하는 제1 내지 제m-1(여기서, m은 짝수) 데이터라인들(DL1 내지 DLm)에 각각 접속된다. 이에 따라, 기수번째 수평라인의 화소전극(PXL)은 좌측으로 인접하는 데이터라인(DL)으로부터의 화소신호를 박막트랜지스터(TFT)를 통해 충전하게 된다. For example, in FIG. 4, the thin film transistor TFT and the pixel electrode PXL of the odd-numbered horizontal lines connected to the odd-numbered gate lines GL1, GL3, GL5, (M is an even number) data lines DL1 to DLm, respectively. Accordingly, the pixel electrode PXL of the odd-numbered horizontal line charges the pixel signal from the data line DL adjacent to the left side through the thin film transistor TFT.

반면에, 우수번째 게이트라인(GL2, GL4, GL6,...)에 접속된 우수번째 수평라인의 박막트랜지스터(TFT)와 화소전극(PXL)은 우측으로 인접하는 제2 내지 제m 데이터라인들(DL2 내지 DLm)에 각각 접속된다. 이에 따라, 우수번째 수평라인의 화소전극(PXL)은 우측으로 인접하는 데이터라인으로부터의 화소신호를 박막트랜지스터(TFT)를 통해 충전하게 된다.On the other hand, the thin film transistor TFT and the pixel electrode PXL of the odd-numbered horizontal line connected to the odd-numbered gate lines GL2, GL4, GL6, (DL2 to DLm), respectively. Accordingly, the pixel electrode PXL of the odd-numbered horizontal line charges the pixel signal from the adjacent right-side data line through the thin film transistor TFT.

다음, 타이밍 제어부(400)는 게이트 구동부(200) 및 데이터 구동부(300)를 제어하는 타이밍 제어신호들을 발생하고, 데이터 구동부(300)에 화소데이터 신호를 공급한다. 타이밍 제어부(400)에서 발생되는 게이트 타이밍 제어신호들에는 게이트 스타트 펄스(GSP), 게이트 쉬프트 클럭신호(GSC), 게이트 출력 이네이블 신호(GOE) 등이 포함된다. 또한, 타이밍 제어부(400)에서 발생되는 데이터 타이밍 제어신호들에는 소스 스타트 펄스(SSP), 소스 쉬프트 클럭신호(SSC), 소스 출력 이네이블 신호(SOE), 극성제어신호(POL) 등이 포함된다.Next, the timing controller 400 generates timing control signals for controlling the gate driver 200 and the data driver 300, and supplies a pixel data signal to the data driver 300. The gate timing control signals generated by the timing controller 400 include a gate start pulse GSP, a gate shift clock signal GSC, a gate output enable signal GOE, and the like. The data timing control signals generated by the timing controller 400 include a source start pulse SSP, a source shift clock signal SSC, a source output enable signal SOE, a polarity control signal POL, .

다음, 게이트 구동부(200)는 상기 게이트 타이밍 제어신호들을 이용하여 게이트라인들(GL1 내지 GLn)에 스캔신호를 순차적으로 공급한다. 이에 따라, 그 스캔신호에 응답하여 박막트랜지스터들(TFT)이 수평라인 단위로 구동되게 한다.Next, the gate driver 200 sequentially supplies the scan signals to the gate lines GL1 to GLn using the gate timing control signals. Thus, the thin film transistors (TFT) are driven in units of horizontal lines in response to the scan signals.

마지막으로, 데이터 구동부(300)는 입력된 화소 데이터를 아날로그 화소신호로 변환하여 게이트라인(GL)에 스캔신호가 공급되는 1수평기간마다 1수평라인분의 화소신호를 데이터라인들(DL1 내지 DLm)에 공급한다. 이 경우 데이터 구동부(300)는 감마전압 발생부(도시하지 않음)로부터 공급되는 감마전압들을 이용하여 화소데이터를 화소신호로 변환하게 된다.Finally, the data driver 300 converts the input pixel data into analog pixel signals, and supplies the pixel signals of one horizontal line to the data lines DL1 to DLm . In this case, the data driver 300 converts pixel data into pixel signals using gamma voltages supplied from a gamma voltage generator (not shown).

이러한 데이터 구동부(300)는 컬럼 인버젼 방식으로 화소신호를 공급하여 데이터라인(DL1 내지 DLm) 각각에 공급되는 화소신호가 인접한 데이터라인(DL)과는 상반된 극성을 갖고, 그 극성이 프레임 단위로 반전되게 한다. 다시 말해, 데이터 구동부(300)는 기수 데이터라인들(DL1, DL3, ...)과 우수 데이터라인들(DL2, DL4, ...)에 서로 상반된 극성의 화소신호를 공급하고, 그 데이터라인들(DL1 내지 DLm+1)에 공급되는 화소신호의 극성을 프레임 단위로 반전시키게 된다.The data driver 300 supplies a pixel signal in a column-by-column version manner so that the pixel signals supplied to the data lines DL1 to DLm have a polarity opposite to that of the adjacent data lines DL, To be inverted. In other words, the data driver 300 supplies the pixel signals of opposite polarities to the odd data lines DL1, DL3, ... and the even data lines DL2, DL4, ..., The polarities of the pixel signals supplied to the pixels DL1 to DLm + 1 are inverted frame by frame.

이 경우, 화소전극(PXL)(140)이 컬럼 인버젼 방식으로 화소신호가 공급되는 데이터라인들(DL1 내지 DLm)을 기준으로 지그재그형으로 배열되므로 그 화소전극(PXL)을 포함하는 액정셀들은 도트 인버젼 방식으로 구동된다.In this case, since the pixel electrode (PXL) 140 is arranged in a staggered manner with respect to the data lines DL1 to DLm to which pixel signals are supplied in a column-version manner, the liquid crystal cells including the pixel electrode And is driven in a dot-inversion manner.

이에 따라, 본 발명에 따른 액정표시장치는 도트 인버젼 방식으로 구동되는 액정셀들(PXL)에 의해 화질이 향상되고, 데이터 구동부(300)는 컬럼 인버젼 방식으로 화소신호를 공급하므로, 도트 인버젼 방식으로 화소신호를 공급하는 경우보다 소비전력을 현저하게 절감할 수 있다.Accordingly, in the liquid crystal display according to the present invention, the image quality is improved by the liquid crystal cells PXL driven by the dot inversion method, and the data driver 300 supplies the pixel signals in the column inversion mode, The power consumption can be remarkably reduced as compared with the case of supplying the pixel signal in the version system.

한편, 도 4에 도시된 액정패널(100)에서는 각 데이터라인의 하단에 형성되어 있는 데이터라인 반도체층의 액티브 테일(Active Tail)이 제거되어 있고, 데이터라인의 상단에 화소전극과 동일한 물질이 데이터라인 보호막으로 형성됨으로써, 데이터라인과 그 좌우 양측의 화소전극들 사이의 간격 차이가 발생하더라도, 기생 캐패시터의 편차가 발생하지 않게 된다.In the liquid crystal panel 100 shown in FIG. 4, the active tail of the data line semiconductor layer formed at the lower end of each data line is removed, and the same material as the pixel electrode is formed at the upper end of the data line, By forming the line protection film, even if there occurs a gap between the data lines and the pixel electrodes on the left and right sides of the data line, the parasitic capacitor does not deviate.

이에 대하여는, 이하에서 도 5 및 도 6을 참조하여 상세히 설명된다.
This will be described in detail below with reference to Figs. 5 and 6. Fig.

도 6은 도 5에 도시된 A-A'선을 따라 절단된 단면을 나타낸 예시도이다.6 is a cross-sectional view taken along the line A-A 'shown in FIG.

본 발명에 따른 액정표시장치의 액정패널에 있어서도, 도 5에 도시된 바와 같이 데이터라인(DL)(120)과 화소전극(PXL)(140)과의 사이에 기생 캐패시터(Cdp)가 발생한다.The parasitic capacitor Cdp is generated between the data line (DL) 120 and the pixel electrode (PXL) 140 as shown in FIG. 5 also in the liquid crystal panel of the liquid crystal display according to the present invention.

이러한 기생 캐패시터(Cdp)는 데이터라인(DL)과 좌측 화소전극(P1)과의 사이에 위치하는 제1기생 캐패시터(Cdp1)와, 그 데이터라인(DL)과 우측 화소전극(P2)과의 사이에 위치하는 제2기생 캐패시터(Cdp2)를 포함하고 있다.  The parasitic capacitor Cdp includes a first parasitic capacitor Cdp1 positioned between the data line DL and the left pixel electrode P1 and a first parasitic capacitor Cdp1 between the data line DL and the right pixel electrode P2. And a second parasitic capacitor (Cdp2) located in the second parasitic capacitor.

한편, 본 발명에 따른 액정표시장치의 액정패널에서는 데이터라인의 위치가 좌우 양측의 화소전극들 중 어느 한 방향으로 이동된다고 하더라도, 동일한 기생 캐패시터를 형성하고 있다는 특징을 가지고 있다. On the other hand, in the liquid crystal panel of the liquid crystal display device according to the present invention, the same parasitic capacitor is formed even if the position of the data line is shifted in either one of the right and left pixel electrodes.

이를 위해, 본 발명에 따른 액정표시장치에 적용되는 액정패널 중 데이터라인(120)이 형성되어 있는 데이터라인부에는 도 6에 도시된 바와 같이, 하부기판(102) 상에 공통전극(BLSP)(150)이 증착되고, 그 상단에 게이트 절연층(104)이 증착되며, 게이트 절연층 상에 데이터라인 반도체층(131)이 형성되어 있다. 6, a common electrode BLSP (blue light-emitting diode) (BLSP) is formed on the lower substrate 102. The common electrode BLSP is formed on the data line portion of the liquid crystal panel of the liquid crystal display according to the present invention. 150, a gate insulating layer 104 is deposited on top of the gate insulating layer, and a data line semiconductor layer 131 is formed on the gate insulating layer.

또한, 데이터라인 반도체층(131)의 상단에는 데이터라인(120)이 증착되어 있으며, 그 상단에는 화소전극(140)과 동일한 물질로 형성되어 있으며, 화소전극과 함께 형성되는 데이터라인 보호막(149)이 형성되어 있다. 여기서, 데이터라인 보호막(149)은 데이터라인(120)과 데이터라인 반도체층(131)을 완전히 덮은 상태로 형성되어 있다.A data line 120 is formed on the top of the data line semiconductor layer 131. A data line protection layer 149 is formed on the top of the data line 120 and is formed of the same material as the pixel electrode 140, Respectively. Here, the data line protection film 149 is formed so as to completely cover the data line 120 and the data line semiconductor layer 131.

또한, 데이터라인 반도체층(131)은 데이터라인의 끝단으로부터 돌출되어 있는 액티브 테일(Active Tail)이 제거된 상태로 형성되어 있다.In addition, the data line semiconductor layer 131 is formed in a state where an active tail protruding from the end of the data line is removed.

따라서, 화소전극(140)을 형성하는 마스크와 다른 마스크에 의해 형성되는 데이터라인(120)의 위치가, 그 양측의 화소전극 방향으로 이동된다고 하더라도, 최종적으로 화소전극(140)과 데이터라인(120) 간에 형성되는 기생 캐패시터(Cdp)는, 화소전극(140)과 동일한 공정을 통해 형성되는 데이터라인 보호막(131)과 화소전극(140) 간의 기생 캐패시터(Cdp)이기 때문에, 데이터라인을 경계로 하여 그 좌우 양측에 형성되는 기생 캐패시터들에는 용량 편차가 발생되지 않는다.Even if the position of the data line 120 formed by the mask different from the mask forming the pixel electrode 140 is shifted toward the pixel electrodes on both sides thereof, the pixel electrode 140 and the data line 120 Since the parasitic capacitor Cdp formed between the data line protective film 131 and the pixel electrode 140 formed through the same process as the pixel electrode 140 is a parasitic capacitor Cdp between the data line and the pixel electrode 140, No capacitance variation occurs in the parasitic capacitors formed on both the left and right sides thereof.

즉, 상기한 바와 같이, 데이터라인의 위치가 변경되더라도, 동일한 마스크를 통해 화소전극과 함께 형성되는 데이터라인 보호막(149)은, 데이터라인의 좌우 양측에 형성되는 화소전극과 항상 동일한 간격을 유지하게 되며, 이 경우, 데이터라인(120)과 화소전극(140) 사이의 기생 캐패시터는 결국, 데이터라인을 덮고 있는 데이터라인 보호막(139)과 화소전극(140) 사이의 기생 캐패시터이기 때문에, 데이터라인과 그 좌우 양측면에 형성된 화소전극들 간의 기생 캐패시터들에는 용량 편차가 발생되지 않는다.That is, as described above, even if the positions of the data lines are changed, the data line protection film 149 formed together with the pixel electrodes through the same mask is formed to have the same interval as the pixel electrodes formed on both the left and right sides of the data line In this case, since the parasitic capacitor between the data line 120 and the pixel electrode 140 is a parasitic capacitor between the data line protective film 139 covering the data line and the pixel electrode 140, No capacitance variation occurs in the parasitic capacitors between the pixel electrodes formed on the left and right sides thereof.

특히, 본 발명은 데이터라인(120) 하단에 형성되어 있는 데이터라인 반도체층(131)이, 데이터라인의 끝단으로부터 돌출되어 있는 액티브 테일(Active Tail)이 제거된 상태로 형성되어 있으며, 데이터라인 보호막(149)이 이러한 데이터라인 반도체층(131)의 끝단까지 커버하도록 증착되어 있기 때문에, 어느 경우라도, 데이터라인 보호막(149)의 끝단과 그 좌우 양측의 화소전극(140)들 간의 간격은 동일하게 형성될 수 있다. Particularly, in the present invention, the data line semiconductor layer 131 formed at the lower end of the data line 120 is formed in a state where the active tail protruding from the end of the data line is removed, The interval between the end of the data line protective film 149 and the pixel electrodes 140 on both the left and right sides of the data line protective film 149 is the same .

또한, 본 발명은 상기한 바와 같이, 데이터라인 반도체층(131)의 액티브 테일이 식각되어 있기 때문에, 액티브 테일에 의해 감소되었던 개구율이 증가될 수 있다는 특징을 가지고 있다. In addition, since the active tail of the data line semiconductor layer 131 is etched as described above, the present invention is characterized in that the aperture ratio, which has been reduced by the active tail, can be increased.

즉, 본 발명은 Z-인버젼 구동 방식을 이용하고 있으며, TN구조(Twisted nematic)를 적용한 액정표시장치에 있어서, 데이터라인 반도체층(131) 상단에 데이터라인(120)을 형성한 후, 하프톤 마스크(HTM : Half tone mask)를 이용하여 데이터라인부의 액티브 테일을 제거하는 한편, 데이터라인 상단에 투명전극을 이용한 데이터라인 보호막(149)을 형성하고 있다는 특징을 가지고 있다. That is, the present invention uses a Z-inversion driving method. In a liquid crystal display device using a TN structure (twisted nematic), a data line 120 is formed on an upper part of a data line semiconductor layer 131, The active tail of the data line portion is removed using a tone mask (HTM: Half tone mask), and a data line protection film 149 using transparent electrodes is formed at the top of the data line.

이하에서는, 도 7a 내지 도 7f를 참조하여 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 액정표시장치를 제조하는 방법이 상세히 설명된다.
Hereinafter, a method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention as described above will be described in detail with reference to FIGS. 7A to 7F.

도 7a 내지 도 7f는 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법을 도시한 개략적인 공정 단면도로서, 이는 전술한 도 4 내지 도 6에 도시된 액정표시장치의 제조공정을 나타낸 것이다. 특히, 도 7a 내지 도 7f는 도 5에 도시된, A-A'단면을 나타낸 것이다. 즉, 도 7a 내지 도 7f는 도 5에 도시된 하나의 데이터라인(DL)을 경계로 하여 그 좌우 양측에 형성되는 두 개의 화소들의 단면 구조를 나타낸 것이다.FIGS. 7A to 7F are schematic cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention, which illustrates a manufacturing process of the liquid crystal display device shown in FIGS. Particularly, Figs. 7A to 7F show a cross section taken along the line A-A 'shown in Fig. That is, FIGS. 7A to 7F show cross-sectional structures of two pixels formed on the left and right sides of one data line DL shown in FIG.

우선, 도 7a에서 알 수 있듯이, 기판(102) 상에 게이트 전극(111)을 형성한다. First, as can be seen from Fig. 7A, the gate electrode 111 is formed on the substrate 102. Then, as shown in Fig.

게이트 전극(111)은 기판(102) 상에 소정의 금속물질을 증착하고, 소정의 금속물질 상에 포토 레지스트를 층착한 후, 미도시된 마스크를 이용하여 노광, 현상 및 식각 공정을 차례로 수행하는 소위 마스크 공정을 이용하여 형성될 수 있다.The gate electrode 111 is formed by depositing a predetermined metal material on the substrate 102, depositing a photoresist on a predetermined metal material, and then sequentially performing exposure, development and etching processes using a mask Called mask process.

또한, 도시하지는 않았지만, 게이트 전극(111)을 형성하는 공정 시에 게이트 전극(111)과 연결되는 게이트 라인(110)이 동시에 형성된다. 여기서, 게이트 전극(111)은 하나의 금속물질을 증착하여 형성될 수도 있으나, 두 개의 금속물질을 증착하여 형성될 수도 있다. Although not shown, a gate line 110 connected to the gate electrode 111 is formed at the same time in the step of forming the gate electrode 111. Here, the gate electrode 111 may be formed by depositing one metal material, or may be formed by depositing two metal materials.

또한, 기판(102) 상에는 공통전극(150)이 증착되며, 특히, 데이터라인이 형성되는 데이터라인부에도 공통전극(150)이 형성된다.In addition, the common electrode 150 is deposited on the substrate 102, and in particular, the common electrode 150 is formed in the data line portion where the data line is formed.

다음, 도 7b에서 알 수 있듯이, 게이트 전극(111)을 포함한 기판(102) 전면에 게이트 절연층(104)이 증착된다. 또한, 게이트 절연층(104)의 상단에는 반도체층(130) 및 데이터라인 반도체층(131)을 형성하는 반도체층물질이 층착된 후 마스크에 의해 식각됨으로써, 반도체층(130) 및 데이터라인 반도체층(131a)이 형성된다. 여기서, 반도체층(130)은 박막트랜지스터에 형성되는 것이고, 데이터라인 반도체층(131)은 데이터라인부에 형성되는 것으로서, 두 개의 층은 동일한 물질로 형성되어 있다. 7B, a gate insulating layer 104 is deposited on the entire surface of the substrate 102 including the gate electrode 111. Then, as shown in FIG. A semiconductor layer material for forming the semiconductor layer 130 and the data line semiconductor layer 131 is deposited on the top of the gate insulating layer 104 and then etched by a mask to form the semiconductor layer 130 and the data line semiconductor layer 131. [ (131a) is formed. Here, the semiconductor layer 130 is formed in the thin film transistor, and the data line semiconductor layer 131 is formed in the data line portion, and the two layers are formed of the same material.

또한, 반도체층(130) 및 데이터라인 반도체층(131)의 상단에는 박막트랜지스터를 형성하는 소스전극(121) 및 드레인 전극(141)과 데이터라인(120)을 형성하기 위한 전극물질이 증착된 후 마스크에 의해 식각됨으로써, 소스전극(121), 드레인 전극(141) 및 데이터라인(120)이 형성된다. After the electrode material for forming the source electrode 121 and the drain electrode 141 and the data line 120 for forming the thin film transistor is deposited on the top of the semiconductor layer 130 and the data line semiconductor layer 131 The source electrode 121, the drain electrode 141, and the data line 120 are formed by etching by the mask.

여기서, 게이트 절연층(104)은 플라즈마 강화 화학 기상증착법(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition: PECVD) 등을 이용하여 형성될 수 있다. Here, the gate insulating layer 104 may be formed using a Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) method or the like.

한편, 상기 과정에서 형성된 데이터라인 반도체층(131a)은 데이터라인(120)의 끝단으로부터 돌출되어 있는 액티브 테일(Active Tail)이 제거되지 않은 상태의 데이터라인 반도체층이다. Meanwhile, the data line semiconductor layer 131a formed in the above process is a data line semiconductor layer in which the active tail protruding from the end of the data line 120 is not removed.

다음, 도 7c에서 알 수 있듯이, 소스, 드레인, 데이터라인을 포함하는 기판의 전면에 보호층(PAS)(106)을 증착한 후, 포토 레지스트(108)를 도포한다. 이후, 데이터라인부에 하프톤마스크(HTM)를 적용하여 노광 및 현상함으로써, 도 7c에 도시된 바와 같이 드레인 홀(Drain Hole)을 통해 드레인 전극(141) 부분의 보호층(106)을 노출시키고, 데이터라인부의 일부 포토 레지스트를 식각시킨다.Next, as shown in FIG. 7C, a protective layer (PAS) 106 is deposited on the entire surface of the substrate including the source, drain and data lines, and then the photoresist 108 is applied. Thereafter, a protective layer 106 of the drain electrode 141 is exposed through a drain hole as shown in FIG. 7C by applying a halftone mask (HTM) to the data line portion and exposing and developing the exposed portion , And part of the photoresist of the data line portion is etched.

다음, 도 7d에서 알 수 있듯이, 드라이 에칭(D/E)을 이용하여 드레인 홀을 식각함으로써 드레인 전극(141)을 노출시키며, 데이터라인부에서 하프톤 마스크에 의해 잔존해 있던 포토 레지스터를 제거하여 데이터라인부에 형성되어 있던 보호층(106)을 노출시킨다. 7D, the drain electrode 141 is exposed by etching the drain hole using dry etching (D / E), and the photoresist remaining in the data line portion by the halftone mask is removed Thereby exposing the protective layer 106 formed in the data line portion.

다음, 도 7e에서 알 수 있듯이, 잔존해 있는 포토 레지스트에 대해 드라이 에칭(D/E)을 수행함으로써 데이터라인의 하단에 형성되어 있는 데이터라인 반도체층(131a) 중 데이터라인의 끝단으로부터 돌출되어 있는 액티브 테일(Active Tail) 부분을 제거한다.7E, by performing dry etching (D / E) on the remaining photoresist, a portion of the data line semiconductor layer 131a formed at the lower end of the data line, which protrudes from the end of the data line Remove the Active Tail part.

이때, 드레인 홀을 통해서는 이미 드레인 전극(141)이 노출되어 있고, 데이터라인 반도체층(131)의 상단에도 데이터라인(120)이 형성되어 있으나, 드라이 에칭에 의해서는 구리로 형성되어 있는 드레인 전극(141)과 데이터라인(120)이 식각되지 않기 때문에, 데이터라인(120)의 끝단으로부터 돌출되어 있는 액티브 테일부분만이 식각되어 제거될 수 있다. At this time, the drain electrode 141 is already exposed through the drain hole, and the data line 120 is formed at the upper end of the data line semiconductor layer 131. However, the drain line is formed by copper Only the active tail portion protruding from the end of the data line 120 can be etched and removed because the data line 141 and the data line 120 are not etched.

마지막으로, 도 7f에서 알 수 있듯이, 잔존해 있던 포토 레지스트를 제거한 후, 화소전극 물질을 기판 전면에 도포한다. 이후, 미도시된 마스크를 이용하여, 화소전극(140)과 데이터라인 보호막(149)을 형성한다. Finally, as shown in FIG. 7F, after the remaining photoresist is removed, the pixel electrode material is applied over the entire surface of the substrate. Thereafter, the pixel electrode 140 and the data line protection film 149 are formed using a mask (not shown).

여기서, 화소전극 물질은 투명전극물질(ITO)로서, 이러한 화소전극 물질에 의해 형성된 화소전극에 의해 빛이 투과될 수 있다.Here, the pixel electrode material is a transparent electrode material (ITO), and light can be transmitted by the pixel electrode formed by the pixel electrode material.

또한, 데이터라인부에도 불투명한 재질의 액티브 테일 대신, 투명한 화소전극 물질에 의해 데이터라인 보호막(149)이 형성되었기 때문에, 액티브 테일 만큼의 개구부가 추가적으로 확보될 수 있다.In addition, since the data line protection film 149 is formed by the transparent pixel electrode material instead of the opaque active tail in the data line portion, an opening as much as the active tail can be additionally secured.

또한, 데이터라인을 덮고 있는 데이터라인 보호막(149)은 데이터라인(120)을 보호하는 기능을 수행할 수 있다.In addition, the data line protection film 149 covering the data lines can perform a function of protecting the data lines 120.

한편, 상기한 바와 같이, 화소전극(140)과 데이터라인 보호막(149)은 동일한 물질과 동일한 마스크를 이용하여 동일한 공정을 통해 형성되고 있기 때문에, 화소전극(140)의 끝단과, 데이터라인 보호막(149)의 끝단은 항상 동일한 간격을 유지하게 된다. 따라서, 데이터라인(120)의 좌우 양측에 형성되어 있는 화소전극(140)들과, 데이터라인 보호막(149)의 끝단과의 간격은 항상 동일하게 유지될 수 있다.As described above, since the pixel electrode 140 and the data line protection film 149 are formed through the same process using the same material and the same mask, the edge of the pixel electrode 140 and the data line protection film 149 are always kept at the same interval. Therefore, the gap between the pixel electrodes 140 formed on both the left and right sides of the data line 120 and the end of the data line protective film 149 can be kept constant at all times.

특히, 데이터라인 보호막(149)의 끝단은 도 7f에 도시된 바와 같이, 데이터라인(120)과 데이터라인 반도체층(131)을 포함한 상태로 액티브 테일 부분에 형성되어 있기 때문에, 데이터라인 보호막(149)의 양쪽 끝단의 위치는 항상 동일한 위치에 형성될 수 있다.Particularly, since the end of the data line protection film 149 is formed in the active tail portion including the data line 120 and the data line semiconductor layer 131 as shown in FIG. 7F, the data line protection film 149 Can be always formed at the same position.

즉, 본 발명의 경우, 데이터라인(120)과 화소전극(140) 사이에 형성되는 기생 캐패시터(Cdp)는 결국, 데이터라인 보호막(149)의 끝단과 화소전극(140) 사이에 형성되는 캐패시터이며, 데이터라인 보호막(149)의 양쪽 끝단의 위치는 데이터라인의 좌우 양측에 형성되어 있는 화소전극들과 항상 동일한 간격을 두고 형성된다.That is, in the present invention, the parasitic capacitor Cdp formed between the data line 120 and the pixel electrode 140 is a capacitor formed between the end of the data line protective film 149 and the pixel electrode 140 And the positions of both ends of the data line protection film 149 are formed at the same intervals as the pixel electrodes formed on both the left and right sides of the data line.

따라서, 데이터라인(120)의 위치가 오차 범위 내에서 어느 정도 변경되더라도, 데이터라인 보호막(149)의 끝단과 그 좌우 양측에 형성된 화소전극(140)들과의 간격은 항상 일정하게 유지될 수 있으며, 이로 인해, 데이터라인(120)을 경계로 그 좌우 양측에 형성되는 기생 캐패시터의 크기는 항상 동일하게 유지될 수 있다.
Therefore, even if the position of the data line 120 is changed to some extent within the error range, the gap between the end of the data line protective film 149 and the pixel electrodes 140 formed on both the left and right sides thereof can be always kept constant The size of the parasitic capacitors formed on both sides of the data line 120 at the boundary thereof can always be kept the same.

즉, 상기한 바와 같은 본 발명은 Z-인버젼 구동 방식을 이용하고 있는 액정표시장치에 있어서, 데이터라인(120)의 하단에 형성되는 데이터라인 반도체층(131)의 액티브 테일(Active Tail)을 제거하는 한편, 데이터라인의 상단에 화소전극과 동일한 물질 및 동일한 공정을 통해 데이터라인 보호막(149)을 형성함으로써, 데이터라인 보호막(149)과 그 좌우 양측의 화소전극(140) 간의 간격을 일정하게 유지시켜, 두 개의 간격이 서로 달라 발생될 수 있는 기생 캐패시터의 용량 편차에 의한 불량을 방지할 수 있다는 특징을 가지고 있다. That is, in the liquid crystal display device using the Z-inversion driving method as described above, the active tail of the data line semiconductor layer 131 formed at the lower end of the data line 120 The data line protective film 149 is formed on the data line at the upper end of the data line through the same material and the same process as the pixel electrode so that the interval between the data line protective film 149 and the pixel electrodes 140 on both the left and right sides thereof is made constant So that it is possible to prevent defects due to capacitance variations of the parasitic capacitors, which can be generated at two intervals different from each other.

부연하여 설명하면, 도트 인버젼 구동 방식과는 달리 Z-인버젼 구동 방식을 이용하는 액정표시장치는 데이터라인과 화소전극 간의 오버레이(overlay) 틀어짐에 의한 데이터라인과 좌우 화소전극 간의 기생 캐패시터(Cdp)의 차이에 의해 Even/Odd 불량(화소 간 휘도차 불량)이 발생할 수 있으며, 이러한 기생 캐패시터는 데이터라인, 보다 구체적으로는, 데이터라인 하단에 형성되어 있는 데이터라인 반도체층의 액티브 테일(Active Tail)과 화소전극 간의 캐패시터인바, 본 발명은 데이터라인과 화소전극의 오버레이 틀어짐에 따른 좌우 기생 캐패시터의 편차를 개선하기 위해, 데이터라인 반도체층(131)의 액티브 테일 제거 구조를 적용하고 있으며, 데이터라인(120)의 상단을 화소전극과 동일한 물질을 이용하여 화소전극과 동일한 과정을 통해 형성되는 데이터라인 보호막(149)으로 보호함으로써, 좌우 기생 캐패시터의 편차를 해결하고 있다. In other words, unlike the dot inversion driving method, the liquid crystal display device using the Z-inversion driving method is different from the dot inversion driving method in that the parasitic capacitor Cdp between the data line and the left and right pixel electrodes due to an overlay error between the data line and the pixel electrode, (Parasitic luminance difference difference) may occur due to the difference between the parasitic capacitors and the parasitic capacitors. Such parasitic capacitors may be formed in the data lines, more specifically, the active tails of the data line semiconductor layers formed at the lower ends of the data lines, The active tail removal structure of the data line semiconductor layer 131 is applied to improve the deviation of the left and right parasitic capacitors according to the overlay error between the data line and the pixel electrode, 120 are formed by using the same material as the pixel electrode, And the protective film 149 protects the left and right parasitic capacitors.

이에 의하면, 데이터라인(120)의 좌우 기생 캐패시터의 편차가 해결될 수 있으며, 이를 통해 Even/Odd 불량을 해결할 수 있다. According to this, the deviation of the left and right parasitic capacitors of the data line 120 can be solved, and even / odd defects can be solved.

또한, 본 발명은 액티브 테일 제거를 통해 개구율을 향상시킬 수 있다는 특징을 가지고 있다(LM185기준 개구율 약2.0%개선 예상).Further, the present invention is characterized in that the aperture ratio can be improved by removing the active tail (the aperture ratio of the LM185 is expected to improve by about 2.0%).

본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.  그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.It will be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.

100 : 액정패널 102 : 기판
104 : 게이트 절연층 106 : 보호층
108 : 포토 레지스트 110 : 게이트라인
111 : 게이트 전극 120 : 데이터라인
121 : 소스 130 : 반도체층
131 : 데이터라인 반도체층 140 : 화소전극
141 : 드레인 149 : 데이터라인 보호막
150 : 공통전극
100: liquid crystal panel 102: substrate
104: gate insulating layer 106: protective layer
108: photoresist 110: gate line
111: gate electrode 120: data line
121: source 130: semiconductor layer
131: Data line semiconductor layer 140: Pixel electrode
141: drain 149: data line protection film
150: common electrode

Claims (12)

게이트라인들과 데이터라인들의 교차에 의해 형성되는 복수 개의 화소들을 구비하며, 각 상기 데이터라인을 커버하고 있는 데이터라인 보호막의 끝단과 상기 데이터라인의 좌우측 화소에 형성되어 있는 화소전극 간의 간격이 일정하게 형성되어 있는 액정패널; 및
상기 액정패널을 Z-인버젼 방식으로 구동하기 위한 구동부를 포함하며,
상기 데이터라인 보호막은 상기 화소전극과 동일한 물질을 이용하여 상기 화소전극을 제조하는 공정에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
And a plurality of pixels formed by intersection of the gate lines and the data lines, wherein a distance between the end of the data line protective film covering each of the data lines and the pixel electrodes formed on the left and right pixels of the data line is constant A liquid crystal panel formed thereon; And
And a driving unit for driving the liquid crystal panel in a Z-inversion mode,
Wherein the data line protection film is formed by a process of manufacturing the pixel electrode using the same material as the pixel electrode.
제 1 항에 있어서,
상기 액정패널은,
매트릭스 형태로 분할된 상기 복수 개의 화소들을 구비하고, 동일한 컬럼의 화소에 포함되는 박막트랜지스터들과 화소전극이 수평라인마다 인접한 서로 다른 데이터라인과 교번적으로 접속되도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
The method according to claim 1,
In the liquid crystal panel,
Wherein the thin film transistors and the pixel electrodes included in the pixels of the same column are formed so as to be alternately connected to different data lines adjacent to each other in the horizontal line. Device.
제 1 항에 있어서,
각 상기 데이터라인의 하단에 형성되어 있는 데이터라인 반도체층의 액티브 테일이 제거되어 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
The method according to claim 1,
And an active tail of a data line semiconductor layer formed at a lower end of each of the data lines is removed.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 액정패널은,
기판;
상기 기판에 형성되는 게이트전극;
상기 게이트전극과 동일한 층에 형성되는 공통전극;
상기 게이트전극과 상기 공통전극 상단에 형성되는 게이트 절연층;
상기 게이트 절연층을 사이에 두고 상기 게이트 전극 상단에 형성되는 반도체층;
상기 반도체층과 동일한 물질을 이용하여, 상기 게이트 절연층을 사이에 두고 상기 공통전극 상단에 형성되는 데이터라인 반도체층;
상기 반도체층 상단에 형성되는 소스전극과 드레인전극;
상기 데이터라인 반도체층 상단에 형성되는 데이터라인;
보호층을 사이에 두고 상기 드레인 전극과 연결되어 있는 상기 화소전극; 및
상기 데이터라인 상단에 형성되는 상기 데이터라인 보호막을 포함하는 액정표시장치.
The method according to claim 1,
In the liquid crystal panel,
Board;
A gate electrode formed on the substrate;
A common electrode formed on the same layer as the gate electrode;
A gate insulating layer formed on the gate electrode and the top of the common electrode;
A semiconductor layer formed on top of the gate electrode with the gate insulating layer interposed therebetween;
A data line semiconductor layer formed on top of the common electrode with the gate insulating layer interposed therebetween, using the same material as the semiconductor layer;
A source electrode and a drain electrode formed on top of the semiconductor layer;
A data line formed on the data line semiconductor layer;
The pixel electrode being connected to the drain electrode with a protective layer interposed therebetween; And
And the data line protection film formed on an upper end of the data line.
제 5 항에 있어서,
상기 데이터라인 반도체층의 끝단은 상기 데이터라인의 끝단의 위치와 대응되도록 식각되어져 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
6. The method of claim 5,
And an end of the data line semiconductor layer is etched to correspond to a position of an end of the data line.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 데이터라인 보호막과 상기 화소전극은 투명전극으로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
The method according to claim 1,
Wherein the data line protection film and the pixel electrode are formed of transparent electrodes.
기판 상에 게이트 전극과 공통전극을 형성하는 단계;
게이트 절연층을 사이에 두고 상기 게이트 전극 상단에 반도체층을 형성하는 단계;
상기 게이트 절연층을 사이에 두고 상기 공통전극 상단에 데이터라인 반도체층을 형성하는 단계;
상기 반도체층 상단에 소스전극과 드레인전극을 형성하는 단계;
상기 데이터라인 반도체층 상단에 데이터라인을 형성하는 단계;
상기 데이터라인 반도체층의 끝단을 상기 데이터라인의 끝단의 위치와 대응되도록 식각하는 단계;
보호층을 사이에 두고 상기 드레인 전극과 연결되는 화소전극을 형성하는 단계; 및
상기 데이터라인과 상기 데이터라인 반도체층을 덮는 데이터라인 보호막을 상기 화소전극과 함께 형성하는 단계를 포함하며,
상기 데이터라인 보호막은 상기 화소전극과 동일한 물질을 이용하여 상기 화소전극을 제조하는 공정에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 방법.
Forming a gate electrode and a common electrode on a substrate;
Forming a semiconductor layer on top of the gate electrode with a gate insulating layer interposed therebetween;
Forming a data line semiconductor layer on top of the common electrode with the gate insulating layer interposed therebetween;
Forming a source electrode and a drain electrode on top of the semiconductor layer;
Forming a data line on top of the data line semiconductor layer;
Etching an end of the data line semiconductor layer to correspond to a position of an end of the data line;
Forming a pixel electrode connected to the drain electrode with a protective layer interposed therebetween; And
And forming a data line protection film covering the data line and the data line semiconductor layer together with the pixel electrode,
Wherein the data line protective film is formed by a process of manufacturing the pixel electrode using the same material as the pixel electrode.
제 9 항에 있어서,
상기 반도체층의 끝단을 식각하는 단계는,
상기 데이터라인을 형성한 후, 상기 데이터라인 상단에 포토 레지스트를 증착하는 단계;
상기 데이터라인이 형성되어 있는 데이터라인부에 하프톤마스크(HTM)를 적용하여 노광 및 현상하는 단계;
드라이 에칭을 이용해 상기 드레인 전극을 노출시키며, 상기 데이터라인부에서 상기 하프톤 마스크에 의해 잔존해 있던 포토 레지스터를 제거하여 상기 데이터라인부에 형성되어 있는 상기 보호층을 노출시키는 단계; 및
상기 포토 레지스트에 대해 드라이 에칭을 수행하여 상기 데이터라인의 하단에 형성되어 있는 상기 데이터라인 반도체층 중 상기 데이터라인의 끝단으로부터 돌출되어 있는 액티브 테일 부분을 식각하는 단계를 포함하는 액정표시장치 제조 방법.
10. The method of claim 9,
Wherein etching the end of the semiconductor layer comprises:
Depositing a photoresist on top of the data line after forming the data line;
Applying a halftone mask (HTM) to a data line portion on which the data line is formed to expose and develop the data line portion;
Exposing the drain electrode using dry etching and removing the photoresist remaining in the data line portion by the halftone mask to expose the protective layer formed in the data line portion; And
And etching the active tail portion protruding from the end of the data line among the data line semiconductor layers formed at the lower end of the data line by performing dry etching on the photoresist.
제 10 항에 있어서,
상기 데이터라인 보호막은, 상기 데이터라인의 상단과, 상기 액티브 테일이 제거된 부분을 커버하도록 증착되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 방법.
11. The method of claim 10,
Wherein the data line protection film is deposited so as to cover an upper portion of the data line and a portion where the active tail is removed.
제 9 항에 있어서,
상기 데이터라인 보호막의 끝단과, 상기 데이터라인 좌우 양측에 형성되어 있는 화소전극 간의 간격은 일정하게 유지되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 방법.
10. The method of claim 9,
Wherein an interval between the end of the data line protective film and the pixel electrodes formed on both sides of the data line is kept constant.
KR1020110061708A 2011-06-24 2011-06-24 Liquid crystal display device and method for manufacturing the same KR101798868B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110061708A KR101798868B1 (en) 2011-06-24 2011-06-24 Liquid crystal display device and method for manufacturing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110061708A KR101798868B1 (en) 2011-06-24 2011-06-24 Liquid crystal display device and method for manufacturing the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130000900A KR20130000900A (en) 2013-01-03
KR101798868B1 true KR101798868B1 (en) 2017-12-20

Family

ID=47834239

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110061708A KR101798868B1 (en) 2011-06-24 2011-06-24 Liquid crystal display device and method for manufacturing the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101798868B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10950191B2 (en) 2019-02-01 2021-03-16 Samsung Display Co., Ltd. Display device

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101539326B1 (en) 2014-04-30 2015-07-27 엘지디스플레이 주식회사 Z-inversion Type Display Device and Manufacturing Method thereof
CN112083610A (en) * 2019-06-13 2020-12-15 京东方科技集团股份有限公司 Display substrate, manufacturing method thereof and display device

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100245973B1 (en) * 1995-07-25 2000-03-02 가나이 쓰도무 Liquid crystal display device and its manufacturing method

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100245973B1 (en) * 1995-07-25 2000-03-02 가나이 쓰도무 Liquid crystal display device and its manufacturing method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10950191B2 (en) 2019-02-01 2021-03-16 Samsung Display Co., Ltd. Display device

Also Published As

Publication number Publication date
KR20130000900A (en) 2013-01-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10354605B2 (en) Liquid crystal display and method for manufacturing the same
KR101354406B1 (en) Liquid Crystal Display
US8767158B2 (en) Array substrate, liquid crystal panel, liquid crystal display and driving method thereof
US8089572B2 (en) Pixel structure, thin film transistor array substrate, display panel, and display apparatus with particular parasitic capacitance compensation
US20080180372A1 (en) Display device
JP2006293297A (en) Liquid crystal display apparatus
US9897870B2 (en) Liquid crystal display
JP2005234544A (en) Liquid crystal display device and its driving method
US8848122B2 (en) Display apparatus
US20080001877A1 (en) LCD panel array substrates
US20120007843A1 (en) Tft substrate and liquid crystal display apparatus using the same
US20100277661A1 (en) Active matrix substrate and liquid crystal display device
KR102016568B1 (en) Display device having narrow bezel and fabricating method thereof
KR101798868B1 (en) Liquid crystal display device and method for manufacturing the same
KR20110000964A (en) Liquid crystal display and manufacturing method thereof
JP4133891B2 (en) Liquid crystal display device and manufacturing method thereof
JP2006189477A (en) Color liquid crystal display device
JP6602136B2 (en) Display device
KR101946927B1 (en) Array substrate for lcd and fabricating method of the same
KR102175279B1 (en) Liquid crystal display device
KR100875182B1 (en) LCD and its manufacturing method
WO2011081160A1 (en) Liquid crystal display
KR20040049569A (en) Liquid crystal display panel
KR20070037763A (en) Liquid crystal display
JP2005134882A (en) Liquid crystal display device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant