KR101798242B1 - 가이드 롤러 테스트 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 가이드 롤러 테스트 장치에 관한 것으로, 챔버와; 상기 챔버 내부에 배치된 테이블; 상기 테이블의 적어도 일측에 배치되며 가이드 롤러를 지지하는 지지수단; 및 상기 가이드 롤러와 접촉하며 기판을 이동시키는 기판 이송 수단;을 포함한다.

Description

가이드 롤러 테스트 장치{Apparatus for testing guide roller}
본 발명은 가이드 롤러 테스트 장치에 관한 것으로, 양산 생산 설비에 적용되기 전에 가이드 롤러의 사전 검증을 위한 가이드 롤러 테스트 장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치는 저소비 전력으로 구동될 뿐만 아니라 박형화의 가능으로 최근 디스플레이 산업분야에서 널리 이용되고 있다.
액정표시장치는 서로 이격된 제 1 및 제 2 기판 사이에 개재된 액정층을 포함한다. 여기서, 제 1 기판은 다수의 배선들, 박막트랜지스터 및 화소전극을 포함할 수 있으며, 제 2 기판은 컬러필터 패턴, 블랙매트릭스 패턴 및 공통전극을 포함할 수 있다.
이와 같은 액정표시장치를 제조하기 위해, 기판상에 박막형성공정, 포토리소그래피 공정, 박막의 식각공정 및 세정공정을 수회 반복적으로 수행하게 된다. 이때, 기판 반송장치는 각각의 단위 공정을 수행하기 위한 장치로 기판을 안정하게 이동시키는 역할을 한다.
여기서, 기판 반송장치는 기판 하부에 배치되어 회전운동을 통해 기판을 일정 방향으로 이동시키기 위한 이송롤러와, 기판의 양측에 배치되어 기판의 이탈을 방지하는 가이드 롤러를 포함할 수 있다.
이때, 가이드 롤러는 이동하고 있는 기판과의 빈번한 접촉으로 인해 쉽게 마모되어 이물질을 발생시킬 수 있다. 이와 같은 가이드 롤러의 교체 비용 및 생산 지연 시간을 줄이기 위한 노력으로 가이드 롤러의 수명 및 이물질의 발생을 개선할 수 있는 재질 및 외형 변경등의 많은 연구가 이루어지고 있다.
하지만, 새롭게 제작된 가이드 롤러는 충분한 사전검증 단계 없이 생산 장비에 직접 적용하여 검증받을 수 있었다. 즉, 새롭게 제작된 가이드 롤러가 생산 장비에 적합한지를 확인하기 위해서 실제로 생산 장비에 장착한 후 가동할 수 밖에 없었다. 이때, 새롭게 제작된 가이드 롤러가 접합하지 않을 경우, 이를 다시 교체하거나 적합한 가이드 롤러를 찾기 위한 많은 시간이 필요하게 되어, 결국 막대한 생산 손실을 발생시킬 수 있다.
따라서, 종래 작업환경과 유사한 환경에서 가이드 롤러의 사전 검증을 실시할 수 있는 가이드 롤러 테스트 장치의 개발이 요구되고 있다.
따라서, 본 발명은 가이드 롤러 테스트 장치에서 발생될 수 있는 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로서, 구체적으로 생산 장비에 투입되기 전 가이드 롤러의 사전 검증을 통해 새롭게 제작된 가이드 롤러의 교체로 인한 실패 비용을 줄일 수 있는 가이드 롤러 테스트 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명에 따른 가이드 롤러 테스트 장치를 제공한다. 본 발명의 가이드 롤러 테스트 장치는 챔버와; 상기 챔버 내부에 배치된 테이블; 상기 테이블의 적어도 일측에 배치되며 가이드 롤러를 지지하는 지지수단; 및 상기 가이드 롤러와 접촉하며 기판을 이동시키는 기판 이송 수단;을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 가이드 롤러 테스트 장치는 새롭게 제작된 가이드 롤러의 사전 검증을 통해, 새롭게 제작된 가이드 롤러로 인한 실패 비용을 줄일 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 가이드 롤러 테스트 장치는 조건을 통해 가이드 롤러를 테스트할 수 있어, 가이드 롤러의 테스트 시간을 단축할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 가이드 롤러 테스트 장치에서 테스트 시간에 따른 가이드 롤러의 변화량에 대한 데이터를 통해, 가이드 롤러에 대한 정량적인 데이터를 얻을 수 있어, 가이드 롤러에 대한 관리가 용이해질 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 가이드 롤러 테스트 장치를 통해 신규한 가이드 롤러의 변경에 대하여 즉각적인 점검이 가능하여, 기판 반송 장치에 양질의 가이드 롤러를 빨리 적용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 가이드 롤러 테스트 장치의 개략적인 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 가이드 롤러 테스트 장치의 측면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 가이드 롤러 테스터 장치에 구비된 지지 수단의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 가이드 롤러 테스터 장치에 구비된 기판 이송 수단의 확대도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 가이드 롤러 테스트 장치에서 가이드 롤러 테스트의 예시 평면도이다.
본 발명의 실시예들은 가이드 롤러의 테스트 장치의 도면을 참고하여 상세하게 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되어지는 것이다.
따라서, 본 발명은 이하 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고, 도면들에 있어서, 장치의 크기 및 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 가이드 롤러 테스트 장치의 개략적인 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 가이드 롤러 테스트 장치의 측면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 가이드 롤러 테스트 장치는 챔버(110), 테이블(120), 지지수단(130) 및 기판이송수단(150)을 포함할 수 있다.
여기서, 테이블(120)이 챔버 내부에 배치되어 있다. 챔버(110)는 가이드 롤러(R)의 테스트시 외부로부터 이물의 투입을 방지하는 역할을 할 수 있다. 또한, 챔버(110)는 기판(S) 및 가이드 롤러(R) 등의 투입 및 배출을 위하여 개폐가 가능한 도어부를 포함할 수 있다.
테이블(120)은 후술 될 지지수단(130) 및 기판이송수단(150)을 지지 및 고정하여, 테이블(120) 상에서 가이드 롤러(R)의 테스트가 실시될 수 있다.
테이블(120)의 적어도 일측에 배치되어 가이드 롤러(R)를 지지하는 지지수단(130)을 포함할 수 있다. 지지수단(130)은 테스트 대상인 가이드 롤러(R)의 회전을 가능케 하며 지지 및 고정하는 역할을 할 수 있다.
기판이송수단(150)은 가이드 롤러(R)와 접촉하며 기판(S)을 이동시키는 역할을 한다. 여기서, 기판이송수단(150)은 기판(S)을 고정한 후, 가이드 롤러(R)와 접촉하며 테이블(120) 상에서 기판(S)의 왕복 운동을 수행하며 가이드 롤러(R)의 이물질 발생 및 변형등과 같은 점검하여 가이드 롤러(R)에 대한 평가를 실시할 수 있다.
이하, 각 구성 부재에 대해서 상세하게 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 가이드 롤러 테스터 장치에 구비된 지지 수단의 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 지지수단(130)은 테이블(120)의 적어도 일측에 배치될 수 있다. 지지수단(130)은 관통된 개구(132)를 갖는 몸체(131)와 개구(132)를 관통하며 테이블에 대해 수직하게 배치된 샤프트(133)를 포함할 수 있다.
지지수단(130)의 개구(132)는 테이블(120)의 일측과 평행하는 장축의 제 1 개구(132a)와 테이블의 일측과 교차하는 장축의 제 2 개구(132b)를 포함할 수 있다. 여기서, 제 1 및 제 2 개구(132a, 132b)는 테이블(120)의 일측을 따라 일정한 피치를 가지며 다수개로 배치될 수 있다. 이에 따라, 테이블(120)의 일측에서 가이드 롤러(R)의 배치 피치에 따라 가이드 롤러(R)에 대한 검증 데이터를 확보할 수 있다. 이와 같은 배치 피치에 따른 가이드 롤러(R)의 검증 데이터를 통해, 실질적으로 생산 설비에 적용시 가이드 롤러(R)의 최적 피치가 결정될 수 있다. 이때, 제 1 개구(132a)를 통해 샤프트(133)의 좌우 위치를 변경함으로써, 가이드 롤러(R)의 좌우 피치를 미세하게 조절할 수 있다. 또한, 제 2 개구(132b)를 통해 샤프트(133)의 상하위치, 즉 가이드 롤러(R)와 기판(S)간의 간격을 조절할 수 있다. 예컨대, 기판(S)의 폭이 변경될 경우, 제 2 개구(132b)를 통해 샤프트(133)의 위치를 변경하면 되므로, 기판(S)의 형상 변경으로 인해 가이드 롤러 테스트 장치를 새롭게 제작할 필요가 없다.
여기서, 제 1 및 제 2 개구(132a, 132b)는 서로 교대로 배치될 수 있으나, 본 발명의 실시예에서 이를 한정하는 것은 아니다.
샤프트(133)는 가이드 롤러(R)를 자유 회전 가능하게 하며 지지한다. 여기서, 가이드 롤러(R)는 체결수단, 예컨대 나사 또는 볼트를 이용하여 샤프트(133)에 장착될 수 있다.
이에 더하여, 지지수단(150)에 가이드 롤러(R)로부터 발생된 이물질을 포집하는 이물질 포집부(140)가 장착될 수 있다. 여기서, 이물질 포집부(140)는 가이드 롤러(R)로부터 발생된 이물질을 포집하여 이물질의 발생 정도를 평가할 수 있다. 이때, 이물질 포집부는 가이드 롤러(R)의 하부에 배치되어, 가이드 롤러(R)로부터 발생된 이물질을 효과적으로 포집할 수 있다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 가이드 롤러 테스터 장치에 구비된 기판 이송 수단의 확대도이다.
도 1, 도 2 및 도 4를 참조하면, 기판이송수단(150)은 기판(S)을 안착한 후, 샤프트(133)에 고정된 가이드 롤러(R)와 접촉시키며 이동시키는 역할을 한다.
기판이송수단(150)은 기판(S)을 고정하는 브라켓(151), 브라켓(151)을 안착하는 스테이지(154), 스테이지(154)의 하부에 결합하며 스테이지(154)를 안착하고 있는 이송 플레이트(155), 이송 플레이트(155) 하부에 결합된 볼 스크류(157) 및 볼 스크류(157)를 구동하는 구동 모터(156)를 포함할 수 있다.
브라켓(151)은 서로 마주하는 제 1 및 제 2 브라켓(151a, 151b), 제 1 및 제 2 브라켓(151a, 151b)을 관통하여 제 1 및 제 2 브라켓(151a, 151b)을 서로 고정하는 체결 볼트(152)를 포함할 수 있다.
여기서, 제 1 및 제 2 브라켓(151a, 151b) 각각은 평탄한 판의 형태를 가질 수 있다. 여기서, 제 1 브라켓(151a) 상에 기판(S)이 안착된다. 이때, 기판(S)의 일측 에지는 제 1 브라켓(151a)으로부터 돌출되도록 배치될 수 있다. 여기서, 제 1 브라켓(151a)의 표면에는 탄성 부재, 예컨대 오링(153)이 배치되어, 제 1 브라켓(151a) 상에 배치된 기판의 미끄러짐을 방지할 수 있다. 제 2 브라켓(151b)은 기판(S)이 안착된 제 1 브라켓(151a) 상에 배치된다. 이후, 제 1 및 제 2 브라켓(151a, 151b)을 관통하는 체결홀에 체결 볼트(152)를 체결함에 따라, 브라켓(151)에 기판(S)이 고정될 수 있다. 이때, 브라켓(151)으로부터 돌출된 기판(S)의 일측은 지지수단(130)에 고정된 가이드 롤러(R)와 접촉할 수 있다.
스테이지(154)상에 브라켓(151)이 결합된다. 스테이지(154) 하부에 이송 플레이트(155)가 결합되어 배치되어 있다.
여기서, 이송 플레이트(155)의 일측 하부는 구동모터(156)의 구동으로 회전운동을 하는 볼 스크류(157)와 결합되어 있을 수 있다. 이때, 볼 스크류(157)는 테이블(120)의 일측을 따라 배치될 수 있다. 이로써, 볼 스크류(157)의 회전운동에 따라, 이송 플레이트(155)의 이동으로 인해 브라켓(151)이 안착된 스테이지(154)는 테이블(120)의 일측을 따라 왕복으로 이동할 수 있다. 이때, 브라켓(151)에 고정된 기판(S)은 가이드 롤러(R)와 접촉하며 테이블(120)의 일측에서 왕복으로 이동될 수 있다.
이에 더하여, 기판이송수단(150)은 이송 플레이트(155) 타측 하부, 즉 브라켓(151)과 대응된 영역의 이송 플레이트(155) 하측에 배치된 LM 블럭(159)과 볼 스크류(157)와 평행하게 배치되며 LM 블럭(159)과 결합되는 LM 레일(158)을 더 포함할 수 있다. 여기서, LM 블럭(159)은 이송 플레이트(155) 타측을 지지하며 볼 스크류(157)의 구동에 의해 LM 레일(158)을 따라 이동한다. 이에 따라, 스테이지(154)가 과도하게 기울어져 기판(S)의 일측이 가이드 롤러(R)와 미접촉되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 스테이지(154)의 일측상에, 즉 볼 스크류(157)와 대응된 스테이지(154) 상에 하중 인가 수단(170)이 더 구비될 수 있다. 여기서, 하중 인가 수단(170)은 가이드 롤러(R)에 하중을 인가하는 역할을 한다. 이에 따라, 하중 인가 수단(170)은 기판(S)의 변경없이 기판(S)의 하중에 따른 가이드 롤러(R)를 평가할 수 있다.
여기서, 하중 인가 수단(170)은 무게추(172)를 안착하며 스테이지(154)의 일측에 결합된 안착부(171)를 포함할 수 있다. 이때, 하중 인가 수단(170)의 하중은 무게추(172)의 중량 변경을 통해 조절될 수 있다. 여기서, 안착부(171)와 스테이지(154)는 일체로 이루어질 수 있다.
이때, 이송 플레이트(155) 상에 가이드 롤러(R)를 향하는 LM 가이드(155a)가 배치되어 있다. 이때 안착부(171)는 LM 가이드(155a)와 연결되어 있어 안착부(171)와 스테이지(154)는 기판(S)과 함께 가이드 롤러(R)를 향해 왕복 이동할 수 있다.
이에 따라, 이송 플레이트(155) 상에서 LM 가이드(155a)에 의해서 스테이지(154) 및 하중 인가 수단(170)은 기판(S)을 향해 이동할 수 있어, 기판(S) 및 하중 인가 수단(170)의 하중은 가이드 롤러(R)에 전달될 수 있다.
여기서, 테이블(120) 상에서 기판이송수단(150)의 타측, 즉 브라켓(151)이 하향으로 기울수 있도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 브라켓(151)에 고정된 기판(S)은 가이드 롤러(R)를 향해 기울어지게 되어, 기판(S)의 하중은 가이드 롤러(R)에 더욱 크게 전달될 수 있다. 이에 따라, 가혹한 하중 조건에서 가이드 롤러(R)의 테스트가 실시될 수 있어, 가이드 롤러(R)에 대한 평가 신뢰도가 높아질 수 있다.
또한, 기판이송수단(150)의 기울기 조절을 통해 실제 생산 설비의 기울기에 대응하여, 즉 실제 생산 설비와 동일한 조건에서 가이드 롤러(R)의 테스트를 실시할 수 있어, 가이드 롤러(R)에 대한 평가 신뢰도가 더욱 높아질 수 있다.
이에 더하여, 기판이송수단(150)과 지지수단(130)은 테이블(120)을 중심으로 대칭되게 테이블(120)의 양측에 각각 배치될 수 있다. 여기서, 테이블(120) 양측에 배치된 기판이송수단(150)과 지지수단(130)은 서로 분리되어 있어, 테이블(120) 양측에서 이물질의 이동을 방지할 수 있다. 이에 따라, 테이블(120) 양측에서 서로 독립되게 가이드 롤러(R)의 테스트를 실시할 수 있어, 양측에서 실시된 테스트에 대한 평가를 서로 비교할 수 있을 뿐만 아니라 적어도 두개의 샘플에 대한 평가를 동시에 진행할 수 있어 평가 시간을 줄일 수 있다.
여기서, 테이블(120)의 양측에 배치된 기판이송수단(150)은 연결부재(160)를 더 포함할 수 있다. 이때, 테이블(120)의 일측에 배치된 기판이송수단(150)은 볼 스크류(157) 및 구동모터(156)와 연결되어 있을 수 있으며, 테이블(120)의 타측에 배치된 기판 이송 수단은 테이블(120)을 중심으로 LM 레일(158)과 LM 블럭(159)과 대칭되는 부가 LM 레일(158a)과 부가 LM 블럭(159a)을 포함할 수 있다. 이때, 볼 스크류의 회전 운동에 의해 부가 LM 레일(158a)에서 부가 LM 블럭(159a)이 이동하게 될 수 있다. 즉, 볼 스크류(157)의 회전 운동에 의해, 테이블(120)의 양측에 배치된 기판이송수단(150)은 함께 이동할 수 있다. 이에 따라, 테이블(120)의 양측에 기판이송수단(150)을 구비하여도 별도의 볼 스크류 및 구동 모터를 구비할 필요가 없다.
도면에는 도시하지 않았으나, 테이블의 타측에 배치된 기판 이송 수단은 볼 스크류 및 구동 모터와 대칭되도록 배치된 LM 부싱부를 더 구비하여, 테이블의 양측에 각각 배치된 기판 이송 수단의 균형을 유지할 수 있다.
또한, 가이드 롤러 테스트 장치에 있어서, 원격 관리 시스템(Programmable Logic Controller, PLC)에 의해 테스트의 시작 및 종료, 기판의 왕복 횟수 및 기판의 반송속도등이 용이하게 제어될 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 가이드 롤러 테스트 장치에서 가이드 롤러 테스트의 예시 평면도이다.
도 5를 참조하면, 가이드 롤러 테스트 장치에 새롭게 제작된 가이드 롤러를 장착한다. 예컨대, 가이드 롤러 테스트 장치에 제 1, 제 2 및 제 3 가이드 롤러(R1, R2, R3)가 순서대로 장착될 수 있다. 기판(S)은 3개의 가이드 롤러를 접촉시키며 이동시킨다.(St1) 여기서, 기판은 제 1 가이드 롤러(R1)에 접촉하며 제 2 가이드 롤러(R2)를 향해 이동된다. 이후, 제 2 가이드 롤러(R2)에서 좌우로 왕복 이동시킨다. 이때, 좌우 왕복 운동하면서, 기판(S)의 양측 모서리는 제 2 가이드 롤러(R2)와 접촉할 수 있다.(St2) 이후, 기판은 제 3 가이드 롤러(R3)로 이동한 후, 다시 제 2 가이드롤러(R2)로 향해 회송된다.(St3) 다시, 제 2 가이드롤러(R2)에서 기판은 좌우 왕복으로 이동시킨 후, 제 1 가이드 롤러(R1)로 기판을 이동시킨다.(St1) 이와 같은 과정을 수회 반복하면서, 제 1, 제 2 및 제 3 가이드롤러(R1, R2, R3)로부터 각각 발생된 이물질 평가와 제 1, 제 2 및 제 3 가이드롤러(R1, R2, R3) 각각의 변형 형태를 실시간으로 모니터링할 수 있다.
이때, 이물질 평가와 가이드 롤러의 변형 평가는 기판의 왕복 횟수, 가이드 롤러에 대한 하중정도, 기판의 반송속도, 가이드 롤러의 피치, 가이드 롤러의 재질이나 외형등의 변경을 통해 다양한 각도에서 이루어질 수 있다.
이에 따라, 본 발명의 실시예에서와 같이, 신규한 가이드 롤러는 다양한 조건의 변경을 통해 평가될 수 있으며, 이와 같은 평가 데이터를 통해 신규한 가이드 롤러로 인한 실패 비용이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 신규한 가이드 롤러에 대한 중간 점검이나 실시간으로 모니터링 할 수 있어, 시간에 따른 가이드 롤러의 변화량을 측정하여 정량적인 데이터를 획득할 수 있다.
110 : 챔버 120 : 테이블
130 : 지지수단 140 : 이물질 포집부
150 : 기판이송수단 151 : 브라켓
152 : 체결 볼트 153 : 오링
154 : 스테이지 155 : 이송 플레이트
156 : 구동모터 157 : 볼 스크류
158 : LM 레일 159 : LM 블럭
R : 가이드 롤러 S : 기판

Claims (11)

  1. 챔버와;
    상기 챔버 내부에 배치된 테이블;
    상기 테이블의 적어도 일측에 배치되며 가이드 롤러를 지지하는 지지수단; 및
    상기 가이드 롤러와 접촉하며 기판을 이동시키는 기판 이송 수단;을 포함하고,
    상기 기판 이송 수단은 기판의 변경없이 기판의 하중에 따른 가이드 롤러를 평가할 수 있도록, 상기 가이드 롤러에 하중을 인가하는 하중 인가 수단을 더 포함하는,
    가이드 롤러 테스트 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지 수단은
    상기 테이블의 일측을 따라 배치되며 관통된 개구를 갖는 몸체; 및
    상기 개구를 관통하며 배치되며 체결수단을 통해 상기 가이드 롤러와 체결되는 샤프트;
    를 포함하는 가이드 롤러 테스트 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 개구는 상기 테이블의 일측과 평행하는 장축의 제 1 개구와 상기 테이블의 일측과 교차하는 장축의 제 2 개구를 포함하는 가이드 롤러 테스트 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 이송 수단은
    상기 기판을 고정하는 브라켓;
    상기 브라켓을 안착하는 스테이지;
    상기 테이블의 일측을 따라 배치되며, 상기 스테이지의 일측 하부에 결합된 이송 플레이트;
    상기 이송 플레이트 하부에 결합되어 회전운동으로 상기 이송플레이트를 상기 테이블의 일측에서 왕복으로 이동시키는 볼 스크류; 및
    상기 볼 스크류를 구동하는 구동 모터;를 포함하는 가이드 롤러 테스트 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 기판 이송 수단은
    상기 볼 스크류와 평행하게 배치되며, 상기 이송 플레이트의 타측 하부에 배치되는 LM 레일; 및
    상기 LM 레일 상에서 이동하며 상기 이송 플레이트의 타측 하부에 결합되는 LM 블럭;
    을 더 포함하는 가이드 롤러 테스트 장치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 브라켓은
    상기 기판이 안착되는 제 1 브라켓;
    상기 기판이 안착된 상기 제 1 브라켓 상에 안착되는 제 2 브라켓; 및
    상기 제 1 및 제 2 브라켓을 관통하는 체결홀에 체결되어 상기 제 1 브라켓에 상기 제 2 브라켓을 고정하는 체결볼트;
    를 포함하는 가이드 롤러 테스트 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 브라켓의 상측에 배치된 탄성부재를 더 포함하는 가이드 롤러 테스트 장치.
  8. 삭제
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 가이드 롤러의 하부에 배치되어 상기 가이드 롤러로부터 발생된 이물질을 포집하는 이물질 포집부를 더 포함하는 가이드 롤러 테스트 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지수단과 상기 기판이송수단은 상기 테이블의 중심을 대칭으로 상기 테이블의 양쪽에 각각 배치되는 가이드 롤러 테스트 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 테이블의 양쪽에 각각 배치된 기판 이송 수단을 서로 연결하는 연결부재를 구비하며, 상기 테이블의 양쪽에 배치된 기판 이송 수단들은 동시에 이동되는 가이드 롤러 테스트 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001522542A (ja) * 1998-02-26 2001-11-13 デーイーケイ プリンテイング マシーンズ リミテツド 多重レール基板運搬システム
KR100530463B1 (ko) * 2000-12-26 2005-11-23 주식회사 포스코 박슬래브 연속주조기의 롤 검사장치 및 그 검사방법

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