KR101797398B1 - 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법 및 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 - Google Patents

단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법 및 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 Download PDF

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정호상
조경호
송민근
양상율
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성균관대학교산학협력단
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Abstract

본 발명은 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법 및 스택형 유전 탄성체 구동기에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법은 (a) 유전 탄성체 필름의 일측면에 전도성 물질을 도포하여 제 1 전극 패턴을 형성하는 단계; (b) 상기 제 1 전극 패턴의 일측면에 상기 유전 탄성체 필름을 도포하고 도포된 상기 유전 탄성체 필름의 일 측면에 전도성 물질을 도포하여 제 2 전극 패턴을 형성하는 단계; 및 (c) 상기 (a), (b) 단계를 복수 회 반복하여, 유전 탄성체, 제 1 전극 패턴, 유전 탄성체, 제 2 전극 패턴의 순서가 복수 회 반복 적층된 단위 스택형 유전 탄성체 구동기를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법 및 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기{METHOD FOR MANUFACTURING MONOLITHIC STACK TYPE DIELECTRIC ELASTOMER ACTUATOR AND MONOLITHIC STACK TYPE DIELECTRIC ELASTOMER ACTUATOR }
본 발명은 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법 및 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유전 탄성체의 양면에 전극을 형성하여 전압이 인가되면 정전기력에 의해 유전 탄성체가 수축 변형하는 것을 이용하는 유전 탄성체 구동기를 적층시켜 형성되는 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법 및 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기에 관한 것이다.
인간의 근육은 ATP라는 생체에너지 물질에 의하여 액틴(actine)으로 이루어진 근섬유의 다발 사이에 미오신(myosin)의 근섬유가 서로 맞물리듯 미끄러져 들어감으로써 수축한다.
이러한 인간의 근육을 모사하기 위한 인공 근육 장치에 대한 많은 연구가 진행되고 있는데, 유전 탄성체 기반의 인공 근육 구동기가 알려져 있다.
유전 탄성체 기반의 인공 근육 구동기는 유전 탄성체의 양면에 전극을 형성하여 두 전극 사이에 전압이 인가될 때 정전기력에 의해 유전 탄성체가 수축 변형하는 것을 이용하는 구동기로, 특히 스택형 유전 탄성체 구동기는 상기와 같은 전극과 유전 탄성체로 형성되는 단위 구동기를 적층시켜 구동력과 구동 변위를 확장시키도록 한다.
종래의 스택형 유전 탄성체 구동기는 각 층이 분리된 상태로 적층되기 때문에 적층된 형상을 유지하도록 하는 외부 프레임이 필요하였다. 하지만, 딱딱한 프레임을 사용하게 되면 구동기의 유연성이 떨어지게 되고, 구조 디자인에 제약을 받게 되며 무게가 무거워져서 성능이 떨어진다는 단점이 있다.
또한, 분리된 층으로 인해 고전압에 의한 대기 방전의 위험성을 가지고 있으며 이를 줄이기 위해서는 각 전극 간의 쉴딩이 필수적으로 요구되는 단점이 있다.
(미국공개특허) US2015-0219078 A1
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 단일체로 제작되어 별도의 외부 프레임 없이 형상을 유지한 체 구동할 수 있는 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법을 제공함에 있다.
또한, 단일체로 제작되어 별도의 외부 프레임 없이 형상을 유지한 체 구동할 수 있고 꼬이거나 구부러진 상태에서도 구동을 할 수 있는 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기를 제공함에 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, (a) 유전 탄성체 필름의 일측면에 전도성 물질을 도포하여 제 1 전극 패턴을 형성하는 단계; (b) 상기 제 1 전극 패턴의 일측면에 상기 유전 탄성체 필름을 도포하고 도포된 상기 유전 탄성체 필름의 일 측면에 전도성 물질을 도포하여 제 2 전극 패턴을 형성하는 단계; 및 (c) 상기 (a), (b) 단계를 복수 회 반복하여, 유전 탄성체, 제 1 전극 패턴, 유전 탄성체, 제 2 전극 패턴의 순서가 복수 회 반복 적층된 단위 스택형 유전 탄성체 구동기를 형성하는 단계를 포함하는 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법에 의해 달성될 수가 있다.
여기서, 상기 단위 스택형 유전 탄성체 구동기를 접착층을 이용하여 쌓아 연결하는 단계를 더 포함할 수가 있다.
여기서, 상기 유전 탄성체는 PDMS, 실리콘 또는 합성고무 중 어느 하나일 수가 있다.
여기서, 상기 제 1 전극 패턴과 상기 제 2 전극 패턴에는 각각 서로 다른 일 방향으로 돌출된 돌출부가 형성되고, 상기 돌출부를 연결하여 복수의 상기 제 1 전극 패턴을 연결시키고 복수의 상기 제 2 전극 패턴을 연결시키는 단계를 더 포함할 수가 있다.
여기서, 전극 용액을 브러싱하여 복수의 상기 제 1 전극 패턴과 복수의 상기 제 2 전극 패턴을 각각 연결시킬 수가 있다.
여기서, 전체를 실리콘 용액으로 딥코팅하는 단계를 더 포함할 수가 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 유전 탄성체 층, 제 1 전극 패턴, 유전 탄성체 층, 제 2 전극 패턴의 순서가 복수 회 반복 적층된 단위 스택형 유전 탄성체 구동기; 및 상기 단위 스택형 유전 탄성체 구동기를 접착시켜 쌓아 연결하는 접착층을 포함하는 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기에 의해 달성될 수가 있다.
여기서, 상기 유전 탄성체는 PDMS, 실리콘 또는 합성고무 중 어느 하나일 수가 있다.
여기서, 복수의 상기 제 1 전극 패턴을 연결하는 제 1 전극 연결부 및 복수의 상기 제 2 전극 패턴을 연결하는 제 2 전극 연결부를 더 포함할 수가 있다.
여기서, 상기 제 1 전극 패턴과 상기 제 2 전극 패턴에는 각각 상기 제 1 전극 연결부와 상기 제 2 전극 연결부와 연결되도록 각각 서로 다른 일 방향으로 돌출된 돌출부가 형성될 수가 있다.
여기서, 상기 돌출부를 전기 용액을 브러싱하여 연결함으로써 상기 제 1 전극 연결부와 상기 제 2 전극 연결부를 형성할 수도 있다.
여기서, 상기 복수 개의 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기를 나선 방향으로 꼬아서 형성될 수가 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법에 의해 제조된 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기에 따르면 단일체로 제작되어 별도의 외부 프레임 없이 형상을 유지한 체 구동할 수 있다는 장점이 있다.
또한, 구동기가 꼬이거나 구부러진 상태에서도 구동을 할 수 있기 때문에 인체 근육들과 같이 골격에 유연하게 배치된 상태에서 동작할 수 있으며 근다발과 같이 손쉽게 묶어서 사용할 수 있다는 장점도 있다.
또한, 제 1 전극 패턴과 제 2 전극 패턴에 각각 돌출 형성된 돌출부를 전극 용액을 브러싱을 통해 복수의 제 1 전극 패턴과 복수의 제 2 전극 패턴을 각각 상호 연결함으로써 제조 공정이 간단하다는 장점도 있다.
도 1은 유전 탄성체 구동기의 구동 원리를 설명하는 도면이다.
도 2는 스택형 유전 탄성체 구동기의 구동 원리를 설명하는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기의 제조 방법을 설명하기 위해 각 제조 공정의 사진을 순서대로 도시하는 사진이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유전 탄성체 제 1 전극 패턴 및 제 2 전극 패턴의 분리 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따라 제조된 단위 스택형 유전 탄성체 구동기의 단면도이다.
도 6은 도 5의 평면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따라 단위 스택형 유전 탄성체를 접착층을 이용하여 연결 형성된 것을 도시하는 단면도이다.
도 8은 도 7에서 브러싱을 통해 전극 연결부가 형성된 모습을 도시하는 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따라 제조된 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기의 여러 사용 형태를 도시하는 사진이다.
실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다
이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법 및 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.
설명에 앞서, 본 발명의 스택형 유전 탄성체 구동기의 원리를 설명하기로 한다.
도 1은 유전 탄성체 구동기의 구동 원리를 설명하는 도면이고, 도 2는 스택형 유전 탄성체 구동기의 구동 원리를 설명하는 도면이다.
유전 탄성체의 기본 구동 원리는 유전 탄성체의 양측면에 형성된 전극에 가해지는 전기에너지를 이용하여 기계에너지로 변환시키는 것이다.
도 1의 (a)는 유전 탄성체(Dielectric Elastomer)의 양측면에 형성된 전극을 통해 전압이 인가되지 않은 상태를, 도 1의 (b)는 전극을 통해 전압이 인가된 상태를 도시한다.
유전 탄성체의 양면에는 부드러운 전극(Compliant Electrode)을 입혀져 있는데, 이때 도 1의 (b)에서와 같이 양 전극에 전압을 인가하면, 부드러운 전극 양쪽 표면에 충전된 양과 음의 전하에 의하여 정전기력(electrostatic force)이 발생하게 된다. 발생된 정전기력에 의해 유전 탄성체는 수축되며 동시에 수평 방향으로 팽창하게 된다. 더욱 상세하게는, 유전 탄성체는 정전기력에 의해 양측에서 발생한 수직 방향의 압축력들에 의해 양쪽으로부터 눌려져 두께 방향으로 수축되며 동시에 수평 방향으로 팽창하게 된다. 이러한 유전 탄성체의 운동 원리는 맥스웰 스트레스(Maxwell stress) 원리로 설명될 수 있다. 맥스웰 스트레스 원리는 일반적인 알려진 원리이므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
전술한 바와 같이 유전 탄성체의 양 측면에 형성된 전극에 전압이 인가되면 두께 방향으로 수축 변위가 발생하게 되는데, 도 2에 도시되어 있는 것과 같이 도 1의 단위 유전 탄성체 구조를 적층시키도록 형성하면 각각의 층에서 발생하는 변위를 누적시킬 수가 있어서 변위를 증가시킬 수가 있다. 도 2의 (a)에서는 적층된 유전 탄성체 구조에 전압이 인가되기 전의 모습을, 도 2의 (b)에서는 적층된 유전 탄성체 구조에 전압이 인가되어 각각의 유전 탄성체가 수축되어 수축된 변위가 누적된 상태의 모습을 도시한다.
따라서, 본 발명의 스택형 유전 탄성체 구동기는 제 1 전극, 유전 탄성체, 제 2 전극, 유전탄성체, 제 1 전극, 유전 탄성체...의 순으로 반복적으로 적층되어 각 유전 탄성체에서의 변위를 누적시켜 전체 구동기의 변위를 증폭시킬 수 있도록 하는 구동기를 나타낸다.
본 발명에서 유전 탄성체(110)의 일 예로 PDMS, 실리콘 또는 합성고무 중 어느 하나일 수가 있고, 유전 탄성체(110)의 양 측면에 도포되는 전극은 유연한 전도성 물질로서 카본 입자(carbon particle), 그래핀(grapheme), 탄소나노튜브(CNT), 그래파이트(graphite) 등이 사용될 수가 있는데, 이에 한정되는 것은 아니다.
이하, 도 3 내지 도 8을 참조로 본 발명의 일 실시예에 따른 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기의 제조 방법에 관하여 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기의 제조 방법을 설명하기 위해 각 제조 공정의 사진을 순서대로 도시하는 사진이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유전 탄성체 제 1 전극 패턴 및 제 2 전극 패턴의 분리 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따라 제조된 단위 스택형 유전 탄성체 구동기의 단면도이고, 도 6은 도 5의 평면도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따라 단위 스택형 유전 탄성체를 접착층을 이용하여 연결 형성된 것을 도시하는 단면도이고, 도 8은 도 7에서 브러싱을 통해 전극 연결부가 형성된 모습을 도시하는 사시도이다.
도 3의 (a)에 도시되어 있는 것과 같이 액상의 유전 탄성체(110) 물질인 실리콘을 디스펜싱 머신을 이용하여 바닥층에 필름을 형성한 이후, 도 3의 (b)에서와 같이 전술한 전도성 물질을 이용하여 마스크(128) 및 스프레잉 머신을 이용하여 마스크(128)에 형성된 형상의 제 1 전극 패턴(120)을 도포하게 된다. 이때 마스크(128)에는 동일 형상의 제 1 전극 패턴을 반복적으로 형성하도록 하여 후술할 단위 스택형 유전 탄성체 구동기(200)를 한꺼번에 복수 개를 제조할 수 있도록 할 수가 있다.
제 1 전극 패턴(120)에는 돌출부(122)가 형성될 수가 있는데, 도 4에 도시되어 있는 것과 같이 제 1 전극 패턴(120)의 형상은 전체적으로 원형의 형상이나, 일 방향으로 돌출된 돌출부(122)가 형성될 수가 있다. 돌출부(122)는 복수의 제 1 전극 패턴(120) 상호간을 연결시키기 위한 것으로 이에 관해서는 후술하기로 한다.
이후, 제 1 전극 패턴(120)을 형성한 이후, 동일한 방법으로 제 1 전극 패턴(120) 위에 다시 유전 탄성체(110) 필름을 도포하고, 도포된 유전 탄성체(110) 필름 위에 제 2 전극 패턴(130)의 형상이 형성된 마스크(128)와 스프레잉 머신을 이용하여 제 2 전극 패턴(130)을 도포한다.
이때, 제 2 전극 패턴(130)에도 돌출부(132)가 형성될 수가 있는데, 도 4에 도시되어 있는 것과 같이 제 2 전극 패턴(130)을 제 1 전극 패턴(120)과 마찬가지로 전체적으로 원형의 형상이고, 제 1 전극 패턴(120)의 돌출부(122)와 다른 일 방향으로 돌출된 돌출부(132)가 형성될 수가 있다.
다음, 도 3의 (c)에 도시되어 있는 것과 같이 전술한 과정을 10회 정도 반복하여 두 전극 패턴(120, 130) 사이에 실리콘의 유전 탄성체(110) 층을 형성하도록 복수 회 반복 적층된 단위 스택형 유전 탄성체 구동기(200)를 최종 커팅하여 형성(도 3의 (d))하는데, 도 6의 평면도에 도시되어 있는 것과 같이 제 1 전극 패턴(120)과 제 2 전극 패턴(130)의 원형의 전극 패턴은 유전 탄성체(110)의 직경보다 작게 형성되고, 제 1 전극 패턴(120)과 제 2 전극 패턴(130)에 형성된 돌출부(122, 132)는 각각 적층된 단위 스택형 유전 탄성체 구동기(200)의 측면 바깥으로 연장될 수가 있다.
이후, 도 3의 (e)에 도시되어 있는 것과 같이 각각의 단위 스택형 유전 탄성체 구동기(200a, 200b)를 접착층(210)을 이용하여 접착 연결하여 쌓아 올리게 된다. 도 7에서는 3개의 단위 스택형 유전 탄성체 구동기(200a, 200b, 200c)를 접착하여 형성된 본 발명에 따른 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기를 도시하고 있으나, 접착되는 단위 스택형 유전 탄성체(200a, 200b, 200c))의 개수는 이에 한정되는 것이 아니라 형성하고자 하는 스택형 유전 탄성체 구동기의 구동 범위 등에 따라 달라질 수가 있으며, 접착층(210) 없이 단위 스택형 유전 탄성체 구동기(200)로 형성할 수도 있다.
상기 접착층(210)으로는 일반적인 접착제를 사용할 수가 있고, 실리콘을 이용할 수도 있다.
다음, 도 8에 도시되어 있는 것과 같이 전술한 제 1 전극 패턴(120)에 형성된 돌출부(122)들을 상호 연결하는 제 1 전극 연결부(125)를 형성하고, 제 2 전극 패턴(130)에 형성된 돌출부(132)들을 상호 연결하는 제 2 전극 연결부(135)를 형성하도록 한다.
제 1 전극 연결부(125)를 통해 각 층의 제 1 전극 패턴(120)들을 전기적으로 상호 연결시킬 수가 있으므로, 제 1 전극 연결부(125)에 연결된 전압 인가 수단(미도시)을 통해 특정 극성의 전압을 인가시킬 수가 있다. 마찬가지로 제 2 전극 연결부(135)를 통해 각 층의 제 1 전극 패턴(120)들을 전기적으로 상호 연결시킬 수가 있으므로, 제 2 전극 연결부(135)를 통해 제 2 전극 패턴(130)에 제 1 전극 패턴(120)과 다른 극성의 전압을 인가시키거나 접지시키도록 할 수가 있다.
이때, 본 발명에서 전술한 바와 같이 제 1 전극 패턴(120)에 형성된 돌출부(122)와 제 2 전극 패턴(130)에 형성된 돌출부(132)는 각각 스택형 유전 탄성체 구동기의 측면으로 각기 다른 방향으로 연장될 수가 있다. 이에, 본 발명에서는 도 3의 (f)에 도시되어 있는 것과 같이 일 방향으로 돌출된 돌출부(122, 132)에 대해 전극 용액을 브러싱하여 제 1 전극 패턴(120)들을 상호 연결하는 제 1 전극 연결부(125)와 제 2 전극 패턴(130)들을 상호 연결하는 제 2 전극 연결부(135)를 각각 형성할 수가 있다.
전술한 바와 같이 각각의 전극 패턴(120, 130)에 돌출부(122, 132)를 형성하도록 하고 돌출부(122, 132))를 브러싱을 통해 상호 연결시킴으로써, 본 발명에서는 복수의 전극 패턴(120, 130)들을 쉽고 빠르게 상호 연결시킬 수가 있다.
이후, 전체적인 쉴딩을 위해 전체 구동기를 실리콘 용액에 담궈서 딥코팅을 하여 도 3의 (g)와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기를 최종적으로 제작할 수가 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따라 제조된 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기의 여러 사용 형태를 도시하는 사진이다.
전술한 제조 방법으로 제작되는 본 발명에 따른 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기는 단일체로 형성되기 되기 때문에 별도의 외부 프레임 없이 단일체로 구동 변위를 일으킬 수가 있고, 도 9의 (b)에 도시되어 있는 것과 같이 구부러진 형상으로도 구동이 가능하며, 도 9의 (c)에 도시되어 있는 것과 같이 복수의 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기를 나선 방향으로 꼬아서 구동 변위를 증폭시켜 사용할 수도 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
110: 유전 탄성체 120: 제 1 전극 패턴
122: 돌출부 125: 제 1 전극 연결부
128: 마스크 130: 제 2 전극 패턴
132: 돌출부 135: 제 2 전극 연결부
200: 단위 스택형 유전 탄성체 구동기 210: 접착층

Claims (12)

  1. (a) 유전 탄성체 필름의 일측면에 전도성 물질을 도포하여 제 1 전극 패턴을 형성하는 단계;
    (b) 상기 제 1 전극 패턴의 일측면에 상기 유전 탄성체 필름을 도포하고 도포된 상기 유전 탄성체 필름의 일 측면에 전도성 물질을 도포하여 제 2 전극 패턴을 형성하는 단계; 및
    (c) 상기 (a), (b) 단계를 복수 회 반복하여, 유전 탄성체, 제 1 전극 패턴, 유전 탄성체, 제 2 전극 패턴의 순서가 복수 회 반복 적층된 단위 스택형 유전 탄성체 구동기를 형성하는 단계를 포함하며,
    상기 유전 탄성체의 상기 제 1 전극 패턴 및 상기 제 2 전극 패턴의 바깥으로 연장된 부분을 통해 이웃하는 유전 탄성체 사이는 상호 접합되어 단일체를 형성하는 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 단위 스택형 유전 탄성체 구동기를 접착층을 이용하여 쌓아 연결하는 단계를 더 포함하는 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 유전 탄성체는 PDMS, 실리콘 또는 합성고무 중 어느 하나인 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 전극 패턴과 상기 제 2 전극 패턴에는 각각 서로 다른 일 방향으로 돌출된 돌출부가 형성되고,
    상기 돌출부를 연결하여 복수의 상기 제 1 전극 패턴을 연결시키고 복수의 상기 제 2 전극 패턴을 연결시키는 단계를 더 포함하는 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    전극 용액을 브러싱하여 복수의 상기 제 1 전극 패턴과 복수의 상기 제 2 전극 패턴을 각각 연결시키는 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법.
  6. 제 4 항에 있어서,
    전체를 실리콘 용액으로 딥코팅하는 단계를 더 포함하는 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법.
  7. 유전 탄성체 층, 제 1 전극 패턴, 유전 탄성체 층, 제 2 전극 패턴의 순서가 복수 회 반복 적층된 단위 스택형 유전 탄성체 구동기; 및
    상기 단위 스택형 유전 탄성체 구동기를 접착시켜 쌓아 연결하는 접착층을 포함하며,
    상기 단위 스택형 유전 탄성체 구동기에서 상기 유전 탄성체의 상기 제 1 전극 패턴 및 상기 제 2 전극 패턴의 바깥으로 연장된 부분을 통해 이웃하는 유전 탄성체 사이는 상호 접합되어 단일체를 형성하는 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 유전 탄성체는 PDMS, 실리콘 또는 합성고무 중 어느 하나인 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기.
  9. 제 7 항에 있어서,
    복수의 상기 제 1 전극 패턴을 연결하는 제 1 전극 연결부 및 복수의 상기 제 2 전극 패턴을 연결하는 제 2 전극 연결부를 더 포함하는 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 전극 패턴과 상기 제 2 전극 패턴에는 각각 상기 제 1 전극 연결부와 상기 제 2 전극 연결부와 연결되도록 각각 서로 다른 일 방향으로 돌출된 돌출부가 형성된 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 돌출부를 전기 용액을 브러싱하여 연결함으로써 상기 제 1 전극 연결부와 상기 제 2 전극 연결부를 형성하는 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기.
  12. 제 7 항에 있어서,
    상기 복수 개의 스택형 유전 탄성체 구동기를 나선 방향으로 꼬아서 형성되는 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기.
KR1020160152498A 2016-11-16 2016-11-16 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법 및 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 KR101797398B1 (ko)

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