JP2021035153A - アクチュエータ及びアクチュエータの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】駆動電圧を抑えつつ作成を容易化する。【解決手段】伸縮性を有する第１の電極２１と伸縮性を有する第２の電極２２とが、第１の電極と第２の電極との間に挟持されたエラストマー２３を介して交互に複数配置された積層体と、当該積層体の積層方向と平行な当該積層体の外周面に設けられている、第１の極性の電圧印加用の第１の外部電極１１と、当該第１の外部電極が形成された当該積層体の外周面に対向する外周面に設けられている、当該第１の極性とは異なる第２の極性の電圧印加用の第２の外部電極１２と、を備え、当該第１の電極は、一端が当該第１の外部電極に連結され且つ他端が当該第２の外部電極に連結されておらず、第２の電極は、一端が当該第１の外部電極に連結されず且つ他端が当該第２の外部電極に連結されているアクチュエータである。【選択図】図２

Description

本発明は、アクチュエータ及びアクチュエータの製造方法に関する。

近年、電流型及び電界型のソフトアクチュエータの開発が盛んに行われている。ソフトアクチュエータは軽量でありウェアラブルであるため、筋力補助、リハビリ、介護等への応用が検討されている。
例えば、特許文献１には、積層方向にアクチュエータを変位させるために、正の電圧が印加される第１の電極と、負の電圧が印加される第２の電極と、前記第１の電極と前記第２の電極との間に挟持された誘電エラストマーと、を有し、第１の電極と前記第２の電極とが誘電エラストマーを介して交互に複数配置された積層構造を有することを特徴とするアクチュエータが開示されている。

特開２０１１−１０３７１３号公報

消費電力を抑えるため、駆動電圧を抑えたアクチュエータが求められており、誘電エラストマーを薄くすることにより駆動電圧を低くすることができる。しかしながら、特許文献１のアクチュエータにおいて、誘電エラストマーを例えば数十μｍまで薄くすると駆動電圧を低くすることができるが、積層方向に例えば数ｍｍ程度積層する場合、誘電エラストマーを百以上積層する必要があり、作成が難しいという問題がある。

更に特許文献１では、第１の電極に正の電圧がかかり第２の電極に正の電圧がかかるように、誘電エラストマー上の第１の電極の一端面に絶縁性のマスク（第１のマスク）を形成し、誘電エラストマー上の第２の電極の一端面（第１のマスクが形成された側と反対の側）に絶縁性のマスク（第２のマスク）を形成するという工程が必要である。更に、第１の電極が形成された誘電エラストマーと第２の電極が形成された誘電エラストマーとを重ね合わせて積層する際に、第１の電極の一端面に形成された第１のマスクと第２の電極の一端面に形成された第２のマスクとが隣接しないように配置するという操作が必要である。

このように、マスク形成の工程が必要であり、且つ上記の特別な操作が必要であり、アクチュエータの作成が複雑であり、作成が難しいという問題がある。

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、駆動電圧を抑えつつ作成を容易化することを可能とするアクチュエータ及び製造方法を提供することを目的とする。

本発明の第１の態様に係るアクチュエータは、伸縮性を有する第１の電極と伸縮性を有する第２の電極とが、前記第１の電極と前記第２の電極との間に挟持されたエラストマーを介して交互に複数配置された積層体と、前記積層体の積層方向と平行な前記積層体の外周面に設けられている、第１の極性の電圧印加用の第１の外部電極と、前記第１の外部電極が形成された前記積層体の外周面に対向する外周面に設けられている、前記第１の極性とは異なる第２の極性の電圧印加用の第２の外部電極と、を備え、前記第１の電極は、一端が前記第１の外部電極に連結され且つ他端が前記第２の外部電極に連結されておらず、前記第２の電極は、一端が前記第１の外部電極に連結されず且つ他端が前記第２の外部電極に連結されている。

この構成によれば、エラストマーの積層方向の厚みをより薄くすることにより駆動電圧を抑えることができる。その一方、積層体に第１の外部電極及び第２の外部電極を設けることにより、第１の電極及び第２の電極のうち第１の電極だけが第１の外部電極に導通させ、第１の電極及び第２の電極のうち第２の電極だけが第２の外部電極に導通させることができるので、アクチュエータの作成を容易化することができる。従って、駆動電圧を抑えつつ作成を容易化することができる。

本発明の第２の態様に係るアクチュエータは、第１の態様に係るアクチュエータであって、前記積層体の積層方向と平行な縦断面において、前記第１の電極の一端は前記第１の外部電極に略垂直に連結されており且つ前記第１の電極の他端は前記第２の外部電極から離れて配置されており、前記積層体の積層方向と平行な縦断面において、前記第２の電極の一端は前記第１の外部電極から離れて配置されており且つ前記第２の電極の他端は前記第２の外部電極に略垂直に連結されている。

この構成によれば、このような第１の電極の配置と第２の電極の配置が採用されることにより、第１の外部電極を積層体の外周面に設けるだけで第１の電極が第１の外部電極に導通し、第２の外部電極を積層体の別の外周面に設けるだけで第２の電極が第２の外部電極に導通させることができる。このため、アクチュエータの作成を容易化することができる。

本発明の第３の態様に係るアクチュエータは、第２の態様に係るアクチュエータであって、前記積層体の積層方向と平行な縦断面において、前記第１の電極の他端と前記第２の外部電極との間に前記エラストマーが設けられており、且つ前記第２の電極の一端と前記第１の外部電極との間に前記エラストマーが設けられている。

この構成によれば、第１の電極の上にエラストマーを形成し、エラストマーの上に第２の電極を形成することを繰り返すことにより積層体を容易に作成することができる。

本発明の第４の態様に係るアクチュエータは、第１から３のいずれかの態様に係るアクチュエータであって、前記積層体は直方体の形状を有しており、前記積層体の積層方向と平行な外周面であって前記第１の外部電極及び前記第２の外部電極が配置された面とは異なる面のそれぞれに配置された一対の固定部材を更に備え、前記一対の固定部材は、前記アクチュエータが伸縮しても動かないように固定可能なように構成されている。

この構成によれば、アクチュエータを第１の外部電極及び第２の外部電極に対して垂直な方向にのみ伸張させることができる。

本発明の第５の態様に係るアクチュエータは、第１から４のいずれかの態様に係るアクチュエータであって、前記第１の外部電極、及び前記第２の外部電極は伸縮性を有する。

この構成によれば、第１の外部電極、第２の外部電極も、積層体の圧縮に応じて積層方向に縮むことができる。

本発明の第６の態様に係るアクチュエータは、第１から５のいずれかの態様に係るアクチュエータであって、前記第１の外部電極、及び前記第２の外部電極は伸縮性を有さない。

この構成によれば、積層体が圧縮しても第１の外部電極及び第２の外部電極の形状が変わらないので、第１の外部電極及び第２の外部電極を他の部材に固定することができる。

本発明の第７の態様に係るアクチュエータの製造方法は、伸縮性を有する第１の電極と伸縮性を有する第２の電極とがエラストマーを介して交互に複数配置された積層体を形成する工程と、第１の極性の電圧印加用の第１の外部電極を前記積層体の積層方向と平行な前記積層体の外周面に形成する工程と、前記第１の極性とは異なる第２の極性の電圧印加用の第２の外部電極を前記第１の外部電極が形成された前記積層体の外周面に対向する外周面に形成する工程と、を有し、前記第１の電極は、一端が前記第１の外部電極に連結され且つ他端が前記第２の外部電極に連結されておらず、前記第２の電極は、一端が前記第１の外部電極に連結されず且つ他端が前記第２の外部電極に連結されている。

この構成によれば、エラストマーの積層方向の厚みをより薄くすることにより駆動電圧を抑えることができる。その一方、積層体に第１の外部電極及び第２の外部電極を設けることにより、第１の電極及び第２の電極のうち第１の電極だけが第１の外部電極に導通させ、第１の電極及び第２の電極のうち第２の電極だけが第２の外部電極に導通させることができるので、アクチュエータの作成を容易化することができる。従って、駆動電圧を抑えつつ作成を容易化することができる。

本発明の一態様によれば、エラストマーの積層方向の厚みをより薄くすることにより駆動電圧を抑えることができる。その一方、積層体に第１の外部電極及び第２の外部電極を設けることにより、第１の電極及び第２の電極のうち第１の電極だけが第１の外部電極に導通させ、第１の電極及び第２の電極のうち第２の電極だけが第２の外部電極に導通させることができるので、アクチュエータの作成を容易化することができる。従って、駆動電圧を抑えつつ作成を容易化することができる。

第１の実施形態に係るアクチュエータ１の概略斜視図である。 図１のＡ−Ａ縦断面図である。 第１の実施形態に係るアクチュエータに電圧を印加した場合における図１のＡ−Ａ縦断面図である。 第１の実施形態の変形例に係るアクチュエータに電圧を印加した場合における図１のＡ−Ａ縦断面図である。 第１の実施形態に係るアクチュエータ１の製造方法の一例を示すフローチャートである。 第２の実施形態に係るアクチュエータ１ｂの概略斜視図である。

以下、各実施形態について、図面を参照しながら説明する。但し、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、既によく知られた事項の詳細説明や実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。これは、以下の説明が不必要に冗長になるのを避け、当業者の理解を容易にするためである。

図１は、第１の実施形態に係るアクチュエータ１の概略斜視図である。図１に示すように、アクチュエータ１は、積層体２と、第１の極性の電圧印加用の第１の外部電極１１と、第１の極性とは異なる第２の極性の電圧印加用の第２の外部電極１２と、固定部材Ｆ１、Ｆ２とを備える。

図１に示すように、積層体２は、伸縮性を有する第１の電極２１と伸縮性を有する第２の電極２２とが、第１の電極２１と第２の電極２２との間に挟持されたエラストマー２３を介して交互に複数配置されている。第１の電極２１の積層方向の厚みは、１〜５００μｍが好ましい。第２の電極２２の積層方向の厚みは、１〜５００μｍが好ましい。エラストマー２３の積層方向の厚みは、１〜１００００μｍが好ましい。

第１の電極２１の形成材料としては、例えば導電性グリス、コロイド懸濁液、カーボンブラック、金や銀などの金属、イオン的または電子的に導電性を有するポリマーを用いることができる。なお、カーボンブラックや金属を用いるときは、薄膜状に形成したり、ゲルやポリマーと混合したりすることが望ましい。これにより、カーボンブラックや金属を用いる場合でも、第１の電極２１はある程度の伸縮性を有するようになる。

第２の電極２２の形成材料としては、上述した第１の電極２１と同様に、例えば導電性グリス、コロイド懸濁液、カーボンブラック、金属、導電性を有するポリマーを用いることができる。

エラストマー２３は、液晶エラストマーであっても、誘電エラストマーであってもよい。液晶エラストマーの場合、液晶エラストマーの厚み（極板間距離）をｄ、印加電圧をＶとすると、電界Ｅは、Ｅ＝Ｖ／ｄで表される。このため、液晶エラストマーの厚みｄを低減することにより、同等の電界Ｅを得ようとした場合、印加電圧を低減する（すなわち駆動電圧を抑える）ことができる。

誘電エラストマーの場合、真空の誘電率をε０、エラストマーの比誘電率をε、印加電圧をＶ、誘電エラストマーの厚み（極板間距離）をｄとすると、発生力Ｐは、Ｐ＝ε・ε０（Ｖ／ｄ）²で表される。このため、誘電エラストマーの厚みｄを低減することにより、同等の発生力Ｐを得ようとした場合、印加電圧を低減する（すなわち駆動電圧を抑える）ことができる。

誘電エラストマーの形成材料としては、絶縁性のポリマーまたはラバーを用いることができる。ポリマーとしては、例えばシリコンエラストマー、アクリルエラストマー、熱可塑性エラストマー、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）を含む共重合体、フッ化エラストマー、シリコーン成分及びアクリル成分を含むポリマーを用いることができる。ラバーとしては、例えばシリコーンゴムやアクリルゴム、ウレタンゴムを用いることができる。

図１に示すように、第１の外部電極１１は、積層体の積層方向と平行な積層体２の外周面に設けられている。第２の外部電極１２は、第１の外部電極１１が形成された積層体２の外周面に対向する外周面に設けられている。

図１に示すように、第１の電極２１は、一端が第１の外部電極１１に連結され且つ他端が第２の外部電極１２に連結されていない。一方、その反対に、第２の電極２２は、一端が第１の外部電極１１に連結されず且つ他端が第２の外部電極１２に連結されている。

この構成によれば、第１の外部電極１１に第１の極性（例えば正の電圧）が印加されることにより、第１の電極２１には第１の極性（例えば正の電圧）がかかり、第２の外部電極１２に第２の極性（例えば負の電圧）が印加されることにより、第２の電極２２には第２の極性（例えば負の電圧）がかかる。これにより、エラストマー２３のうち第１の電極２１側は第１の極性（例えば正の電圧）に帯電し、当該エラストマー２３のうち第２の電極２２側は第２の極性（例えば負の電圧）に帯電するので、クーロン力によりエラストマー２３のうち第１の電極２１側と当該エラストマー２３のうち第２の電極２２側とが引きつけ合う。その結果、エラストマー２３は弾性変形により積層方向に圧縮し、積層方向と垂直な方向に伸張する。

またエラストマー２３の積層方向の厚みをより薄くすることにより駆動電圧を抑えることができる。その一方、積層体２に第１の外部電極及び第２の外部電極を設けることにより、第１の電極２１及び第２の電極２２のうち第１の電極２１だけが第１の外部電極１１に導通させ、第１の電極２１及び第２の電極２２のうち第２の電極２２だけが第２の外部電極１２に導通させることができるので、アクチュエータ１の作成を容易化することができる。従って、駆動電圧を抑えつつ作成を容易化することができる。

図２は、図１のＡ−Ａ縦断面図である。図２に示すように、積層体２の積層方向と平行な縦断面において、第１の電極２１の一端は第１の外部電極１１に略垂直に連結されており且つ第１の電極２１の他端は第２の外部電極１２から離れて配置されている。一方、積層体２の積層方向と平行な縦断面において、第２の電極２２の一端は第１の外部電極１１から離れて配置されており且つ第２の電極２２の他端は第２の外部電極１２に略垂直に連結されている。

これにより、このような第１の電極２１の配置と第２の電極２２の配置が採用されることにより、第１の外部電極１１を積層体２の外周面に設けるだけで第１の電極２１が第１の外部電極１１に導通し、第２の外部電極１２を積層体２の別の外周面に設けるだけで第２の電極２２が第２の外部電極１２に導通させることができる。このため、アクチュエータ１の作成を容易化することができる。

図２に示すように、積層体２の積層方向と平行な縦断面において、第１の電極２１の他端と第２の外部電極１２との間にエラストマー２３が設けられており、且つ第２の電極２２の一端と第１の外部電極１１との間にエラストマー２３が設けられていることが好ましい。これにより、第１の電極２１の上にエラストマー２３を形成し、エラストマー２３の上に第２の電極２２を形成することを繰り返すことにより積層体２を容易に作成することができる。

図３は、第１の実施形態に係るアクチュエータに電圧を印加した場合における図１のＡ−Ａ縦断面図である。第１の実施形態に係る第１の外部電極１１、及び第２の外部電極１２は一例として伸縮性を有する。これにより、第１の外部電極１１、第２の外部電極１２も、積層体２の圧縮に応じて積層方向に縮むことができる。図３に示すように、エラストマーは、積層方向と垂直方向に伸縮することが好ましい。

以上、第１の実施形態に係るアクチュエータ１は、伸縮性を有する第１の電極２１と伸縮性を有する第２の電極２２とが、第１の電極２１と第２の電極２２との間に挟持されたエラストマー２３を介して交互に複数配置された積層体２を備える。更にアクチュエータ１は、積層体２の積層方向と平行な前記積層体の外周面に設けられている、第１の極性の電圧印加用の第１の外部電極１１を備える。更にアクチュエータ１は、第１の外部電極１１が形成された積層体の外周面に対向する外周面に設けられている、前記第１の極性とは異なる第２の極性の電圧印加用の第２の外部電極を備える。

第１の電極２１は、一端が第１の外部電極１１に連結され且つ他端が第２の外部電極１２に連結されていない。一方、第２の電極２２は、一端が第１の外部電極１１に連結されず且つ他端が第２の外部電極１２に連結されている。

この構成によれば、第１の外部電極１１に第１の極性（例えば正の電圧）が印加されることにより、第１の電極２１には第１の極性（例えば正の電圧）がかかり、第２の外部電極１２に第２の極性（例えば負の電圧）が印加されることにより、第２の電極２２には第２の極性（例えば負の電圧）がかかる。これにより、エラストマー２３のうち第１の電極２１側は第１の極性（例えば正の電圧）に帯電し、当該エラストマー２３のうち第２の電極２２側は第２の極性（例えば負の電圧）に帯電するので、クーロン力によりエラストマー２３のうち第１の電極２１側と当該エラストマー２３のうち第２の電極２２側とが引きつけ合う。その結果、エラストマー２３は弾性変形により積層方向に圧縮し、積層方向と垂直な方向に伸張する。

またエラストマー２３の積層方向の厚みをより薄くすることにより駆動電圧を抑えることができる。その一方、積層体２に第１の外部電極及び第２の外部電極を設けることにより、第１の電極２１及び第２の電極２２のうち第１の電極２１だけが第１の外部電極１１に導通させ、第１の電極２１及び第２の電極２２のうち第２の電極２２だけが第２の外部電極１２に導通させることができるので、アクチュエータ１の作成を容易化することができる。従って、駆動電圧を抑えつつ作成を容易化することができる。

なお、第１の実施形態に係る第１の外部電極１１、及び第２の外部電極１２は一例として、伸縮性を有するとして説明したが、これに限ったものではない。図４は、第１の実施形態の変形例に係るアクチュエータに電圧を印加した場合における図１のＡ−Ａ縦断面図である。図４に示すように、第１の外部電極１１、及び第２の外部電極１２は伸縮性を有さないものでもよい。これにより、積層体２が圧縮しても第１の外部電極１１及び第２の外部電極１２の形状が変わらないので、第１の外部電極１１及び第２の外部電極１２を他の部材に固定することができる。

＜製造方法＞
続いて、図５を用いて、第１の実施形態に係るアクチュエータ１の製造方法について説明する。図５は、第１の実施形態に係るアクチュエータ１の製造方法の一例を示すフローチャートである。

（ステップＳ１０１）まず、一番下になる第１の電極２１を形成する。この第１の電極２１の形成は、第１の電極２１の形成材料（例えば、金や銀などの金属）のペーストであってもよいし、溶射であってもよいし、印刷であってもよい。

（ステップＳ１０２）第１の電極２１の上にエラストマー２３の層を形成する。このエラストマー２３の層の形成は、エラストマーを含む溶液を塗布し、塗布後に光または熱によって溶媒をとばしてもよいし、無溶媒状態のエラストマーを塗布してもよい。

（ステップＳ１０３）ステップＳ１０２で形成されたエラストマー２３の層の上に第２の電極２２を形成する。この第２の電極２２の形成は、第２の電極２２の形成材料（例えば、金や銀などの金属）のペーストであってもよいし、溶射であってもよいし、印刷であってもよい。

（ステップＳ１０４）ステップＳ１０３で形成された第２の電極２２の上にエラストマー２３の層を形成する。このエラストマー２３の層の形成は、エラストマーを含む溶液を塗布し、塗布後に光または熱によって溶媒をとばしてもよいし、無溶媒状態のエラストマーを塗布してもよい。

（ステップＳ１０５）ステップＳ１０４で形成されたエラストマー２３の層の上に第１の電極２１を形成する。この第１の電極２１の形成は、第１の電極２１の形成材料（例えば、金や銀などの金属）のペーストであってもよいし、溶射であってもよいし、印刷であってもよい。

これらのステップＳ１０２〜Ｓ１０５を予め定められた設定数だけ繰り返す。

（ステップＳ１０６）次に、第１の外部電極１１を積層体２の積層方向と平行な前記積層体の外周面に形成し、第２の外部電極１２を第１の外部電極１１が形成された積層体２の外周面に対向する外周面に形成する。以上により、アクチュエータ１が製造される。

以上、第１の実施形態に係るアクチュエータ１の製造方法は、伸縮性を有する第１の電極２１と伸縮性を有する第２の電極２２とがエラストマー２３を介して交互に複数配置された積層体２を形成する工程と、第１の極性の電圧印加用の第１の外部電極１１を積層体２の積層方向と平行な積層体２の外周面に形成する工程と、第１の極性とは異なる第２の極性の電圧印加用の第２の外部電極１２を第１の外部電極１１が形成された積層体２の外周面に対向する外周面に形成する工程と、を有する。第１の電極２１は、一端が第１の外部電極１１に連結され且つ他端が第２の外部電極１２に連結されていない。一方、第２の電極２２は、一端が第１の外部電極１１に連結されず且つ他端が第２の外部電極１２に連結されている。

この構成によれば、エラストマー２３の積層方向の厚みをより薄くすることにより駆動電圧を抑えることができる。その一方、積層体２に第１の外部電極及び第２の外部電極を設けることにより、第１の電極２１及び第２の電極２２のうち第１の電極２１だけが第１の外部電極１１に導通させ、第１の電極２１及び第２の電極２２のうち第２の電極２２だけが第２の外部電極１２に導通させることができるので、アクチュエータ１の作成を容易化することができる。

なお、アクチュエータ１の製造方法は、図５の製造方法に限ったものではない。第１の電極２１の上にエラストマー２３の層を形成した第１の積層部品を予め作成し、第２の電極２２の上にエラストマー２３の層を形成した第２の積層部品を予め作成してもよい。この第１の積層部品と第２の積層部品とを交互に積み重ねていくことにより、積層体２を作成してもよい。

＜第２の実施形態＞
図６は、第２の実施形態に係るに係るアクチュエータ１ｂの概略斜視図である。図１に示すの実施形態に係るに係るアクチュエータ１に比べて、固定部材Ｆ１、Ｆ２が更に追加された点が異なっている。図６に示すように、積層体２は直方体の形状を有している。一対の固定部材Ｆ１、Ｆ２は、積層体２の積層方向と平行な外周面であって第１の外部電極１１及び第２の外部電極１２が配置された面とは異なる面のそれぞれに配置されている。当該一対の固定部材Ｆ１、Ｆ２は、前記アクチュエータが伸縮しても動かないように固定可能なように構成されている。これにより、アクチュエータ１ｂを第１の外部電極１１及び第２の外部電極１２に対して垂直な方向（図６のｘ方向）にのみ伸張させることができる。

また、第２の実施形態に係るに係るアクチュエータ１ｂの製造方法は、第１の実施形態に係るアクチュエータ１の製造方法の完了後に、更に、積層体２の積層方向と平行な外周面であって第１の外部電極１１及び第２の外部電極１２が配置された面とは異なる面のそれぞれに固定部材Ｆ１、Ｆ２を設ける工程を更に有する。これにより、アクチュエータ１ｂを第１の外部電極１１及び第２の外部電極１２に対して垂直な方向（図６のｘ方向）にのみ伸張させることができる。

第１の実施形態に係るアクチュエータ１及び第２の実施形態に係るに係るアクチュエータ１ｂは、筋力補助、リハビリ、介護等で用いられるパワードスーツまたはロボットなどに搭載可能である。

以上、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。

１、１ｂ アクチュエータ
１１ 第１の外部電極
１２ 第２の外部電極
２ 積層体
２１ 第１の電極
２２ 第２の電極
２３ エラストマー

Claims (7)

1. 伸縮性を有する第１の電極と伸縮性を有する第２の電極とが、前記第１の電極と前記第２の電極との間に挟持されたエラストマーを介して交互に複数配置された積層体と、
   前記積層体の積層方向と平行な前記積層体の外周面に設けられている、第１の極性の電圧印加用の第１の外部電極と、
   前記第１の外部電極が形成された前記積層体の外周面に対向する外周面に設けられている、前記第１の極性とは異なる第２の極性の電圧印加用の第２の外部電極と、
   を備え、
   前記第１の電極は、一端が前記第１の外部電極に連結され且つ他端が前記第２の外部電極に連結されておらず、
   前記第２の電極は、一端が前記第１の外部電極に連結されず且つ他端が前記第２の外部電極に連結されている
   アクチュエータ。
2. 前記積層体の積層方向と平行な縦断面において、前記第１の電極の一端は前記第１の外部電極に略垂直に連結されており且つ前記第１の電極の他端は前記第２の外部電極から離れて配置されており、
   前記積層体の積層方向と平行な縦断面において、前記第２の電極の一端は前記第１の外部電極から離れて配置されており且つ前記第２の電極の他端は前記第２の外部電極に略垂直に連結されている
   請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記積層体の積層方向と平行な縦断面において、前記第１の電極の他端と前記第２の外部電極との間に前記エラストマーが設けられており、且つ前記第２の電極の一端と前記第１の外部電極との間に前記エラストマーが設けられている
   請求項２に記載のアクチュエータ。
4. 前記積層体は直方体の形状を有しており、
   前記積層体の積層方向と平行な外周面であって前記第１の外部電極及び前記第２の外部電極が配置された面とは異なる面のそれぞれに配置された一対の固定部材を更に備え、
   前記一対の固定部材は、前記アクチュエータが伸縮しても動かないように固定可能なように構成されている
   請求項１から３のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
5. 前記第１の外部電極、及び前記第２の外部電極は伸縮性を有する
   請求項１から４のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
6. 前記第１の外部電極、及び前記第２の外部電極は伸縮性を有さない
   請求項１から４のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
7. 伸縮性を有する第１の電極と伸縮性を有する第２の電極とがエラストマーを介して交互に複数配置された積層体を形成する工程と、
   第１の極性の電圧印加用の第１の外部電極を前記積層体の積層方向と平行な前記積層体の外周面に形成する工程と、
   前記第１の極性とは異なる第２の極性の電圧印加用の第２の外部電極を前記第１の外部電極が形成された前記積層体の外周面に対向する外周面に形成する工程と、
   を有し、
   前記第１の電極は、一端が前記第１の外部電極に連結され且つ他端が前記第２の外部電極に連結されておらず、
   前記第２の電極は、一端が前記第１の外部電極に連結されず且つ他端が前記第２の外部電極に連結されている
   アクチュエータの製造方法。