JP2020068537A - 多層静電アクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】電極間の短絡を抑制しつつ誘電エラストマーをより薄く構成し発生力の向上を実現することができると共に、各電極への配線接続を容易とすることができる多層静電アクチュエータを提供することを目的とする。【解決手段】この目的を達成するため、本発明の多層静電アクチュエータは、誘電エラストマー層と、伸縮性を備えるシート状の電極とを交互に複数積層したものであって、隣り合う当該誘電エラストマー層のうち、一方の誘電エラストマー層の外縁の少なくとも一部を切り欠いた状態とし、他方の誘電エラストマー層の一部を露出面とした段部を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、電場駆動する誘電エラストマーを備えた多層静電アクチュエータに関する。

近年、モータに代わる駆動源として電場駆動型のソフトアクチュエータの開発が注目されている。このアクチュエータは、誘電性を有する高分子材料を用いたものであり、小型軽量で柔軟な動きが可能である。そのため、当該アクチュエータは、人工筋肉、電気駆動によるブレーキシステム、電気駆動によるバルブシステム等への応用が期待されている。このようなアクチュエータとして、例えば、特許文献１に開示されたものがある。

特許文献１に開示されたアクチュエータは、正の電圧が印加される第１の電極と、負の電圧が印加される第２の電極と、前記第１の電極と前記第２の電極との間に挟持された誘電エラストマーと、を有し、前記第１の電極と前記第２の電極とが前記誘電エラストマーを介して交互に複数配置された積層構造を有する。これにより、各電極間に電圧が印加されると、電極間に発生するクーロン力により電極同士が引きつけ合う。すると、これらの間に挟持された誘電エラストマーは、弾性変形により電極に対して垂直方向に圧縮され、電極に対して水平方向に伸長される。このアクチュエータでは、第１の電極と第２の電極とが誘電エラストマーを介して交互に複数配置された積層構造であるため、アクチュエータ全体の圧縮変位量は、各誘電エラストマーの圧縮変位量と各電極の圧縮変位量（電極が伸縮性を有する場合）とを足し合わせた大きさとなる。これにより、各電極間への電圧の印加を制御することで、アクチュエータは積層方向に伸縮可能となる。

特開２０１１−１０３７１３号公報

昨今の研究により、上述したようなアクチュエータにおいても、比較的低い駆動電圧で、大きな変位量を得ることが可能になってきている。しかしながら、実用的な変位量を得るためには、いまだ、数ボルトから数千ボルトの駆動電圧が必要とされる。第１電極と第２電極とが引き合う力は、誘電エラストマーの厚さ（電極間距離）の二乗に反比例する。そのため、誘電エラストマーを厚くしてアクチュエータ全体の変位量を大きくすることは、より高い駆動電圧が必要となり現実的ではない。そこで、各誘電エラストマーを薄くして、数多く積層することで、アクチュエータ全体の変位量を確保して、発生力の増大を図っていた。しかし、電極の端部が露出した状態で当該誘電エラストマーを薄くすると、電極同士が近接し、大気を介して電極間で短絡が生じやすくなる問題があった。

そこで、各電極を誘電エラストマーよりも小さくし、電極の外縁が誘電エラストマーの外縁よりも内側となるように配置して、大気を介した電極間の短絡を抑制していた。この場合、電極への給電は、配線を電極と誘電エラストマーとの間に挟み込んで行っていた。しかし、挟み込んだ配線部分も厚みを有しているため、当該部分の誘電エラストマーは、配線を挟み込んだ部分の厚みだけ薄くなり、誘電エラストマー層が不均一となる。そうすると、誘電エラストマーの薄くなった部分の絶縁破壊を生じる電圧が低くなり、それ以上電圧を印加することができないため、アクチュエータとしての性能が低下するという問題がある。

また、電極や誘電エラストマーの積層数が多いと、挟み込んで配線接続する数が多くなり、組立作業性が煩雑となる問題がある。

そのため、市場からは、電極間の短絡を抑制しつつ誘電エラストマーをより薄く構成し発生力の向上を実現することができると共に、各電極への配線接続を容易とすることができる多層静電アクチュエータの開発が要望されてきた。

本発明に係る多層静電アクチュエータは、誘電エラストマー層と、伸縮性を備えるシート状の電極とを交互に複数積層したものであって、隣り合う当該誘電エラストマー層のうち、一方の誘電エラストマー層の外縁の少なくとも一部を切り欠いた状態とし、他方の誘電エラストマー層の一部を露出面とした段部を備えることを特徴とする。

これにより、本発明に係る多層静電アクチュエータは、前記段部の露出面に、前記電極の少なくとも一部を配置することができる。

また、本発明に係る多層静電アクチュエータは、前記電極が、前記誘電エラストマー層に対する圧縮応力負荷領域と、当該圧縮応力負荷領域の外縁から延出した電極接続端子部とを備え、前記段部の露出面に当該電極接続端子部を配することも好ましい。

このとき、前記電極の圧縮応力負荷領域は、接する前記誘電エラストマー層のいずれよりも面積が小さいことが好ましい。

本発明に係る多層静電アクチュエータにおいて、各電極は、前記誘電エラストマー層を挟んで隣り合って配置した電極に印加される電位が相互に異なる第１電極又は第２電極であり、当該第１電極又は第２電極の少なくとも一方の前記電極接続端子部を前記段部の露出面に配することができる。

このとき、前記多層静電アクチュエータの外縁に沿って、複数の前記第１電極の電極接続端子部が形成する列と、複数の前記第２電極の電極接続端子部が形成する列とを、離して配することがより好ましい。

また、本発明に係る多層静電アクチュエータは、当該多層静電アクチュエータの外縁が形成する稜線が、複数の前記段部からなる階段部を備えるものとすることも好ましい。

上述した多層静電アクチュエータは、当該多層静電アクチュエータの外縁が形成する稜線が、当該多層静電アクチュエータの積層方向における少なくともいずれか一方の端部に向けて徐々に小さくなる先細り形状であることも好ましい。

また、本発明に係る多層静電アクチュエータは、前記誘電エラストマー層を同心状に積層することも好ましい。

さらに、本発明に係る多層静電アクチュエータを構成する複数の前記誘電エラストマー層が、互いに相似形であることも好ましい。

本発明に係る多層静電アクチュエータによれば、隣り合う誘電エラストマー層のうち、一方の誘電エラストマー層の外縁の少なくとも一部を切り欠いた状態とし、他方の誘電エラストマー層の一部を露出面とした段部を備えたので、段部を構成する誘電エラストマー層の間に配置した電極の端子は、少なくとも一部をこの段部の露出面に配置することができる。よって、電極の端子への配線は、段部の露出面に配置された部分で行うことができ、誘電エラストマー層が不均一とならない、また、配線作業性が良好となる。また、隣り合う電極の端子は、積層方向で対向配置とならないので、これら電極の端子間で短絡するおそれがない。

よって、誘電エラストマー層の厚みを全体で薄くすることができ、多層静電アクチュエータのコンパクト化を実現することができる。

本実施形態に係る多層静電アクチュエータの斜視図である。 図１の多層静電アクチュエータの平面図である。 図２のＡ−Ａ断面図である。 図３の円Ｂ拡大図である。 誘電エラストマー層と電極との積層状態を説明する図である。 他の実施形態に係る多層静電アクチュエータの縦断側面図である。

以下、本発明に係る多層静電アクチュエータについて説明する。以下に、本発明に係る多層静電アクチュエータの一実施形態について図面を参照して説明する。なお、本発明に係る多層静電アクチュエータは、以下に述べる実施形態に限定されるものではないことを念のために述べておく。

本発明に係る多層静電アクチュエータは、誘電エラストマー層と、伸縮性を備えるシート状の電極とを交互に複数積層した多層静電アクチュエータである。本発明に係る多層静電アクチュエータは、隣り合う当該誘電エラストマー層のうち、一方の誘電エラストマー層の外縁の少なくとも一部を切り欠いた状態とし、他方の誘電エラストマー層の一部を露出面とした段部を備える点に特徴を有する。

具体的に、本発明に係る多層静電アクチュエータ１は、図１〜図３に示すように、誘電エラストマー層１０とシート状の電極２０とが交互に、複数、誘電エラストマー層１０の厚さ方向に積層している。図３の断面図を参照して説明すると、多層静電アクチュエータ１は、図中上側から順に、第１電極２０Ａ／誘電エラストマー層１０／第２電極２０Ｂ／誘電エラストマー層１０／・・（中略）・・／誘電エラストマー層１０／第１電極２０Ａ／誘電エラストマー層１０／第２電極２０Ｂの層構成である。各誘電エラストマー層１０は、いずれも第１電極２０Ａと第２電極２０Ｂの間に存在する。この第１電極２０Ａと、第２電極２０Ｂとは、シート状の電極２０であり、相互に異なる電圧を印加する電極である。

そして、多層静電アクチュエータ１は、相互に隣り合う誘電エラストマー層１０、１０の間で構成する段部１１を備える。具体的に図４の拡大図を参照して段部１１を説明する。なお、図４では説明のしやすさを考慮し、注目する電極２０及びそれと当接配置した誘電エラストマー層１０Ａ、１０Ｂのみに符号を付す。図４に示すように、相互に隣り合う誘電エラストマー層１０のうち、一方の誘電エラストマー層１０Ａは、その外縁１２の少なくとも一部を切り欠いた状態である。これにより、この誘電エラストマー層１０Ａと隣り合う他方の誘電エラストマー層１０Ｂは、少なくとも一部が外部に露出した露出面１３となり、隣り合う誘電エラストマー層１０Ａと１０Ｂとの間で段部１１を形成する。本発明に係る多層静電アクチュエータ１では、この段部１１の一部を構成する露出面１３において、段部１１を構成する隣り合う誘電エラストマー層１０Ａ、１０Ｂの間に配置した電極２０への配線を行うことが可能となる。これにより、本発明に係る多層静電アクチュエータは、電極２０への配線を、当該電極２０と隣り合う電極２０とで挟まれる誘電エラストマー１０Ａや１０Ｂ内で行う必要がないため、誘電エラストマー層１０の圧縮変形量の均一性を阻害しない。よって、多層静電アクチュエータ１全体のコンパクト化を実現できる。以下、本発明に係る多層静電アクチュエータ１を構成する「誘電エラストマー層」及び、「電極」のそれぞれについて詳述する。その後で、「多層静電アクチュエータの全体構成」について述べる。

（１）誘電エラストマー層
本発明における誘電エラストマー層１０を構成する誘電エラストマーは、電場応答性高分子からなり、誘電率が高く、絶縁性及び柔軟性に優れている。誘電エラストマー層１０は、一面に第１電極２０Ａを配置し、他面に第２電極２０Ｂを配置する。これら電極間への電圧制御により、誘電エラストマー層１０は弾性変形する。具体的には、第１電極２０Ａと第２電極２０Ｂとの間に電圧を印加すると、第１電極２０Ａと第２電極２０Ｂとが引き合う力によって、誘電エラストマー層１０は厚さ方向に圧縮され、平面方向に伸長される。電極２０間への電圧の印加を止めると、誘電エラストマー層１０は、自身の弾性によって元の形状に回復する。

誘電エラストマー層１０を構成する材料としては、アクリルゴムやシリコーンゴム等に代表される誘電性高分子や、ＰＶＤＦやＰＶＤＦ２（ポリビニリデンフルオライドやその共重合体）に代表される強誘電性高分子等を用いることができる。しかし、本発明における誘電エラストマー層を構成する材料としては、ここに挙げたものに限定されない。

（２）電極
本発明における電極２０は、上述した誘電エラストマー層１０の両面に設ける。誘電エラストマー層１０を挟んで隣り合って配置した電極２０に対してそれぞれ異なる電圧を印加することにより、電極２０間にクーロン力が発生し、誘電エラストマー層１０が弾性変形される。ここでは、誘電エラストマー層１０の一面に設けた電極２０を陽極として機能する第１電極２０Ａとし、他面に設けた電極２０を陰極として機能する第２電極２０Ｂとする。第１電極２０Ａ及び第２電極２０Ｂは、誘電エラストマー層１０の変形に応じて伸縮する柔軟性を備えたシート状電極であることが好ましい。具体的には、シート状電極は、金、白金、銀、銅等の金属や、炭素微粒子、炭素繊維、カーボンナノチューブ等に代表される導電性材料を樹脂材料に分散して構成することができる。この場合、誘電エラストマー層１０の伸縮に追従する柔軟性を実現するため、シート状電極を構成する樹脂材料としては、アクリル系、シリコン系、ウレタン系、スチレン系のエラストマー材料やシリコングリース等の高粘性樹脂材料を用いることができる。なお、本発明では、シート状電極は、誘電エラストマー層１０の伸縮に追従可能な柔軟性を備えていればよく、ここで挙げたものに限られない。

本実施の形態における第１電極２０Ａ及び第２電極２０Ｂは、それぞれ圧縮応力負荷領域２２と、電極接続端子部２４とを備えている。この圧縮応力負荷領域２２と電極接続端子部２４について、図５を参照して説明する。図５には図３の電極２０と誘電エラストマー層１０とを部分的に抜き出して、各領域の範囲を示す。

圧縮応力負荷領域２２は、電極２０に電圧を印加した際に、電極２０と当接して配置した誘電エラストマー層１０に対して圧縮応力を負担する領域である。上述したように、電極２０は、２つの誘電エラストマー層１０Ａ、１０Ｂの間に配置する。圧縮応力負荷領域２２は、この電極２０と当接して配置したいずれの誘電エラストマー層１０Ａ及び１０Ｂの電極２０側の面の面積よりも小さいことが好ましい。圧縮応力負荷領域２２の面積が、当接して配置した誘電エラストマー層１０Ａ及び１０Ｂの電極２０側の面の面積より、わずかでも小さければ、圧縮応力負荷領域２２全域を誘電エラストマー層１０Ａ及び１０Ｂによって被覆することができる。これにより、隣り合う電極２０の間には、誘電エラストマー層１０Ａ又は１０Ｂが介在することになるので、隣り合う電極２０の間で短絡を生じる不都合を抑制できる。

電極接続端子部２４は、圧縮応力負荷領域２２の外縁から延出した領域に形成する。電極接続端子部２４は、圧縮応力負荷領域２２の外縁の全周全域に渡って形成するのではなく、図２に示すように、圧縮応力負荷領域２２の外縁の一部のみから延出して形成することが好ましい。本実施の形態では、電極接続端子部２４は、上述した隣り合う誘電エラストマー層１０Ａと１０Ｂとの間において形成した段部１１の露出面１３上に配する。そのため、電極接続端子部２４は、露出面１３に沿って配置可能な大きさであることが好ましい。電極接続端子部２４が露出面１３よりも外方に延出する大きさであると、隣り合って配置した電極２０の電極接続端子部２４と短絡が生じやすくなるからである。電極接続端子部２４は、図示しない配線を支障なく接続できる面積を有していれば、その効果を十分に得ることができる。なお、図１及び図２では、第１電極２０Ａの電極接続端子部を２４Ａとし、第２電極２０Ｂの電極接続端子部を２４Ｂとして示す。

（３）多層静電アクチュエータの全体構成
次に、本実施の形態に係る多層静電アクチュエータ１の全体構成について説明する。本実施の形態に係る多層静電アクチュエータ１は、誘電エラストマー層１０を介して第１電極２０Ａと第２電極２０Ｂとが交互に存在している。この状態で、各電極２０の圧縮応力負荷領域２２は、それぞれの電極２０の一面側及び他面側に存在する誘電エラストマー層１０Ａと１０Ｂによって覆われた状態となる。その一方で、電極２０の圧縮応力負荷領域２２を覆う誘電エラストマー層１０Ａと１０Ｂとの間には、外縁に段部１１が存在し、段部１１を構成する露出面１３に電極２０の電極接続端子部２４を配することができる。

段部１１は、隣り合うすべての誘電エラストマー層１０Ａと１０Ｂとの間に形成してもよいが、その一部のみに形成してもよい。少なくとも段部１１を形成する誘電エラストマー層１０Ａと１０Ｂとの間に存在する電極２０は、電極接続端子部２４を段部１１の露出面１３に延出して形成することができる。よって、電極２０への配線作業は、支障なく外部に露出した電極接続端子部２４に対して行うことができる。また、隣り合う電極２０の間には、誘電エラストマー層１０が存在するため、異なる電位を印加する第１電極２０Ａと第２電極２０Ｂとの間で短絡するおそれがない。

さらに、電極接続端子部２４に接続する配線は、電極２０と誘電エラストマー層１０との間に挟み込む必要がない。それゆえ、配線による誘電エラストマー層１０の圧縮変形量が不均一となる不都合を回避することができる。その結果、部分的に誘電エラストマー層１０の厚さを調整する必要がなくなる。よって、誘電エラストマー層１０の厚みを全体で均一に薄くすることができる。この誘電エラストマー層１０の厚さは、多層静電アクチュエータ１の全体の発生力に大きく影響を及ぼす。以下に、誘電エラストマー層１０の厚さ方向に働くマクスウェル応力Ｐ_ｅｌを求める式（１）を示す。

ただし、ε_０は真空の誘電率、ε_ｒは非誘電率、Ｖは電圧、ｄは電極間距離である。

式（１）から誘電エラストマー層１０の厚さ方向に働く応力Ｐ_ｅｌは、電極間距離ｄの２乗に反比例することが分かる。式（１）における電極間距離ｄは、本発明において、誘電エラストマー層１０（単層）の厚さに相当する。よって、誘電エラストマー層１０に不均一な厚み部分が存在すると、発生力の偏りが生じる可能性がある。また、部分的に電極間距離ｄが極端に近くなると、絶縁破壊を生じて短絡が生じる可能性がある。したがって、段部１１に配した電極接続端子部２４において電極２０への配線接続を行うことで、配線による誘電エラストマー層１０の厚みの不均一を排し、これまで以上に誘電エラストマー層１０を薄く形成することができるようになる。その結果、各誘電エラストマー層１０をより薄く構成でき、より発生力が大きな多層静電アクチュエータ１を、より一層コンパクトに実現することができる。

本発明における段部１１は、外形寸法が異なる２種類の誘電エラストマー層１０を交互に配置することで複数、形成してもよい。この場合、積層方向における多層静電アクチュエータ１の外形寸法が全体で大きく変わらない構成とすることができる。

これ以外にも、段部１１を備えた多層静電アクチュエータ１としては、基準とする誘電エラストマー層１０から積層方向にいくに従って、積層した誘電エラストマー層１０の外形寸法を、順次、小さく、若しくは、大きく変化させた階段状を形成してもよい。この場合、各誘電エラストマー層１０と交互に配置した第１電極２０Ａ及び第２電極２０Ｂも、それぞれが当接する誘電エラストマー層１０の大きさに応じて、圧縮応力負荷領域２２が当該誘電エラストマー層１０によって覆われた状態となるように、大きさを変更して形成する。当該構成により、多層静電アクチュエータ１の外縁が形成する稜線は、複数の段部１１からなる階段部１５を備えることとなる。

本実施形態の説明に用いた図１〜図４に示す多層静電アクチュエータ１では、積層方向において中央に位置する誘電エラストマー層１０を基準とする誘電エラストマー層１０Ｓとする。積層した各誘電エラストマー層１０の外形寸法は、基準とする誘電エラストマー層１０Ｓから積層方向、具体的には、多層静電アクチュエータ１の端部方向にいくに従って、順次小さく形成している。よって、図３の側面図に示すように、多層静電アクチュエータ１の外縁は、中央に位置する誘電エラストマー層１０Ｓの面積が最も大きく、端部にいくに従って各誘電エラストマー層１０の面積が徐々に小さくなる階段状を呈している。

このように多層静電アクチュエータ１の外縁が形成する稜線は、少なくともいずれか一方の端部に向けて徐々に小さくなる先細り形状を備えていることにより、当該多層静電アクチュエータ１により動かす対象物との当接面を小さくできる。すなわち、上記対象物に固定される領域を小さくすることができるため、多層静電アクチュエータ１の変形を阻害しない。よって、汎用性が高く、さらに効率が良い多層静電アクチュエータとすることができる。

ここで説明した多層静電アクチュエータ１では、全体形状が円錐を２つ合わせた断面菱形状を呈しているが、最も外形寸法が大きい誘電エラストマー層１０Ｓは、積層方向の中央に配置したものに限らない。これ以外にも、例えば、図６に示すように、当該菱形状の多層静電アクチュエータ１をさらに上下に複数、設けて一つの多層静電アクチュエータ２を構成してもよい。

また、階段部１５を備えた多層静電アクチュエータの全体形状は、上述した断面菱形状を備えるものに限定されない。例えば、多層静電アクチュエータの積層方向の一端から他端にわたって徐々に積層した誘電エラストマー層１０の外形寸法が、順に、小さく、又は、大きくなる円錐状であってもよい。これ以外にも、多層静電アクチュエータ１の一部のみに階段部１５を備えていてもよい。

上述した実施の形態のように、誘電エラストマー層１０の厚さ方向に積層していく各誘電エラストマー層１０は、同心状に配置することが好ましい。この場合、各誘電エラストマー層１０と交互に存在する各電極２０も、各誘電エラストマー層１０と同心状に配置することが好ましい。積層する各誘電エラストマー層１０及び各電極２０を同心状に配置することで、各誘電エラストマー層１０に生じた発生力を多層静電アクチュエータ全体の発生力として効率的に用いることができるからである。同様の理由から、誘電エラストマー層１０の厚さ方向に積層していく複数の誘電エラストマー層１０は、相互に相似形であることが好ましい。また、各誘電エラストマー層１０と交互に存在する各電極２０の圧縮応力負荷領域２２も、各誘電エラストマー層１０と相似形であることが好ましい。

上述したいずれの実施の形態であっても、多層静電アクチュエータ１は、誘電エラストマー層１０を介して、第１電極２０Ａと第２電極２０Ｂとが交互に存在する。そのため、各第１電極２０Ａが備える電極接続端子部２４Ａは、図１や図２から理解できるように、多層静電アクチュエータ１の外縁に沿って並べて配置し、電極接続端子部２４Ａの列２５Ａを形成することが好ましい。同様に、各第２電極２０Ｂが備える電極接続端子部２４Ｂは、電極接続端子部２４Ｂの列２５Ｂを形成することが好ましい。同じ電位を印加する電極２０の電極接続端子部２４を多層静電アクチュエータ１の外縁に沿って並べて配置することで、各電極接続端子部２４への配線接続をより近くで行うことができる。よって、配線レイアウトを簡素化することができると共に、配線作業性も良好となる。なお、図１〜図４では、第１電極２０Ａの電極接続端子部２４Ａも、第２電極２０Ｂの電極接続端子部２４Ｂも、それぞれ多層静電アクチュエータ１の外縁に沿って並べて配置しているが、いずれか一方の電極２０の電極接続端子部２４のみを並べて配列してもよい。また、列２５Ａ及び列２５Ｂは、多層静電アクチュエータ１の積層方向（すなわち、誘電エラストマー層の厚さ方向）に沿って直線状に配置しているが、本発明は、これに限られない。

さらに、多層静電アクチュエータ１の外縁に沿って並べて形成した電極接続端子部２４Ａの列２５Ａと、電極接続端子部２４Ｂの列２５Ｂとは、離して配することがより好ましい。本実施の形態では、図２に示すように、列２５Ａと列２５Ｂとが最も離れた位置となるように、列２５Ａと列２５Ｂは、多層静電アクチュエータ１の積層方向に延びた中心軸Ｃを挟んで対向する位置に設けている。当該構成により、列２５Ａを成す各電極接続端子部２４Ａへの配線と、列２５Ｂを成す各電極接続端子部２４Ｂへの配線を離して設けることができ、より効果的に短絡が生じる不都合を抑制することができる。

本発明に係る多層静電アクチュエータは、配線による誘電エラストマー層の圧縮変形量の不均一が生じないため、誘電エラストマー層をより薄くでき、より低い駆動電圧で、より大きな発生力を得ることができる。よって、本発明に係る多層静電アクチュエータは、小型で、より大きな発生力が要求される人工筋肉や、電気駆動によるブレーキシステム、電気駆動によるバルブシステム等に好適である。

１、２ 多層静電アクチュエータ
１０、１０Ａ、１０Ｂ 誘電エラストマー層
１１ 段部
１２ 外縁
１３ 露出面
２０ 電極
２０Ａ 第１電極
２０Ｂ 第２電極
２２ 圧縮応力負荷領域
２４、２４Ａ、２４Ｂ 電極接続端子部
２５Ａ、２５Ｂ 列

Claims (10)

1. 誘電エラストマー層と、伸縮性を備えるシート状の電極とを交互に複数積層した多層静電アクチュエータにおいて、
   隣り合う当該誘電エラストマー層のうち、一方の誘電エラストマー層の外縁の少なくとも一部を切り欠いた状態とし、他方の誘電エラストマー層の一部を露出面とした段部を備えることを特徴とする多層静電アクチュエータ。
2. 前記段部の露出面に、前記電極の少なくとも一部を配置した請求項１に記載の多層静電アクチュエータ。
3. 前記電極は、前記誘電エラストマー層に対する圧縮応力負荷領域と、当該圧縮応力負荷領域の外縁から延出した電極接続端子部とを備え、
   前記段部の露出面に当該電極接続端子部を配した請求項２に記載の多層静電アクチュエータ。
4. 前記電極の圧縮応力負荷領域は、接する前記誘電エラストマー層のいずれよりも面積が小さい請求項３に記載の多層静電アクチュエータ。
5. 前記多層静電アクチュエータを構成する各電極は、前記誘電エラストマー層を挟んで隣り合って配置した電極に印加される電位が相互に異なる第１電極又は第２電極であり、
   当該第１電極又は第２電極の少なくとも一方の前記電極接続端子部を前記段部の露出面に配した請求項３又は請求項４に記載の多層静電アクチュエータ。
6. 前記多層静電アクチュエータの外縁に沿って、複数の前記第１電極の電極接続端子部が形成する列と、複数の前記第２電極の電極接続端子部が形成する列とを、離して配した請求項５に記載の多層静電アクチュエータ。
7. 前記多層静電アクチュエータの外縁が形成する稜線が、複数の前記段部からなる階段部を備える請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の多層静電アクチュエータ。
8. 前記多層静電アクチュエータの外縁が形成する稜線が、当該多層静電アクチュエータの積層方向における少なくともいずれか一方の端部に向けて徐々に小さくなる先細り形状である請求項７に記載の多層静電アクチュエータ。
9. 前記誘電エラストマー層を同心状に積層した請求項１〜請求項８のいずれか一項に記載の多層静電アクチュエータ。
10. 前記多層静電アクチュエータを構成する複数の前記誘電エラストマー層は、互いに相似形である請求項１〜請求項９のいずれか一項に記載の多層静電アクチュエータ。

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