KR101777792B1 - Reliability test apparatus for flexible device - Google Patents

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KR101777792B1
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김주영
안승민
최경진
송명훈
김인호
이도권
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울산과학기술원
한국과학기술연구원
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Abstract

The present invention relates to a reliability test apparatus for a flexible device, comprising: a base portion; a stage portion installed in an upper surface of the base portion, moving in a vertical direction and a left and right direction, and being rotatable in a shaft direction; a grip portion installed in the base portion and the stage portion or in the stage portion, and gripping a flexible device to be tested for reliability; a camera portion installed in a direction of a side surface of the flexible device with a space, measuring an image of the flexible device when testing reliability; and a control portion connected to the stage portion to driving control movement of the stage portion, connected to the camera portion to receive information regarding a deformed image of the flexible device from the camera portion, and measuring deformation and change in performance of the flexible device. As such, the present invention not only is able to measure an electric signal and application of the flexible device, but also is able to prevent depression in mechanical reliability and durability in a repeated test. In addition, movement of the stage is able to be made in a multi-shaft direction such that stress test with respect to a multi-shaft direction generated when an actual flexible device is driven is able to be implemented.

Description

유연소자의 신뢰성 평가 시험장치{Reliability test apparatus for flexible device} Technical Field [0001] The present invention relates to a reliability evaluation apparatus for flexible devices,

본 발명은 유연소자의 신뢰성 평가 시험장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유연성을 갖는 태양전지 또는 LED 등의 전자소자의 반복 역학시험 및 이러한 역학시험 후 역학적 안정성 및 신뢰성을 평가하기 위한 유연소자의 신뢰성 평가 시험장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a reliability evaluation test apparatus for a flexible device, and more particularly, to a reliability evaluation test apparatus for a flexible device, And an evaluation test apparatus.

일반적으로 태양 전지는 태양광 에너지를 전기 에너지로 변환시키는 발전 소자로서 무한한 에너지원인 태양광을사용하지만, 이론적인 에너지 변환 효율의 한계 및 시공간적인 제약이 있다. 따라서 태양 전지와 압전 소자를 융합한 융합 소자에 대한 연구가 진행되고 있으며, 이 가운데 유연 기판(Flexible substrate) 위에 태양 전지와 압전 소자를 배치하여 외력에 의해 휘어지는 유연 발전 소자가 개발되고 있다. Generally, a solar cell is a power generation device that converts solar energy into electric energy, and uses solar energy, which is an infinite energy source. However, there are limitations of the theoretical energy conversion efficiency and time and space limitations. Therefore, research is being conducted on a fused device in which a solar cell and a piezoelectric device are fused. Among them, a flexible power generation device in which a solar cell and a piezoelectric device are arranged on a flexible substrate and is bent by an external force is being developed.

한편, 이러한 유연 발전 소자는 태양전지를 이용하여 전기 에너지를 생산함과 동시에 굽힘 변형에 따른 압전 소자의 부피 변화를 이용하여 전기 에너지를 생산하기도 한다. 때문에, 상기한 태양전지의 신뢰성을 평가하기 위한 장치는 태양전지와 같은 유연소자의 기계적 유연성을 측정하기 위하여 역학적 안정성 및 신뢰성을 평가할 수 있어야 한다. Meanwhile, such a flexible power generation device produces electric energy by using a solar cell, and also produces electric energy by using the volume change of the piezoelectric element according to the bending deformation. Therefore, the apparatus for evaluating the reliability of the above-described solar cell must be able to evaluate the mechanical stability and reliability in order to measure the mechanical flexibility of a flexible device such as a solar cell.

상기한 유연소자의 신뢰성을 평가하기 위한 시험장치는 통상적으로 유연 발전 소자의 양측 단부를 지지하는 한 쌍의 지그와, 지그와 결합되어 상기 지그를 수평한 방향으로 이동시켜 유연소자를 굽힘 변형시키는 구동부를 포함하여 구성되어 있다. The test apparatus for evaluating the reliability of the above-described flexible device typically includes a pair of jigs for supporting both ends of the flexible electric generating element, and a driving unit for moving the jig in a horizontal direction to bend and deform the flexible element, .

그런데, 상기한 종래의 유연소자의 신뢰성을 평가하기 위한 시험장치는 유연소자의 기계적 유연성을 측정하는 데만 주목적이 있기 때문에, 시험소자의 크기에 한계가 있었으며, 전기적 신호 및 기타 응용 측정이 불가능한 문제점이 있었다. However, since the test apparatus for evaluating the reliability of the above-described conventional flexible device is mainly used for measuring the mechanical flexibility of the flexible device, there is a limitation in the size of the test device, there was.

또한, 상기한 종래의 유연소자의 신뢰성을 평가하기 위한 시험장치는 기계적 신뢰성을 측정하기 위해서는 약 100,000회 이상의 반복측정이 필요한데, 이러한 반복시험을 하기에 기계적 신뢰성 및 내구성이 부족한 문제점이 있었으며, 또한 1축 방향으로의 시험만이 가능하기 때문에 실제 유연소자를 구동시킬 경우에 발생하는 다축 방향으로의 응력에 대한 평가가 불가능하다는 문제점이 있었다. Further, in the test apparatus for evaluating the reliability of the above-described conventional flexible device, it is necessary to repeatedly measure about 100,000 times or more in order to measure the mechanical reliability. However, there has been a problem that mechanical reliability and durability are insufficient for such a repeated test, There is a problem in that it is impossible to evaluate the stress in the direction of the multiple axes which occurs when the actual flexible device is driven.

대한민국 등록특허 제10-1422103호Korean Patent No. 10-1422103 대한민국 등록특허 제10-1459697호Korean Patent No. 10-1459697

본 발명은, 유연소자의 전기적 신호 및 응용측정이 가능할 뿐만 아니라, 반복시험에도 기계적 신뢰성 및 내구성 저하를 방지할 수 있으며, 스테이지의 다축방향으로의 이동이 가능하여 실제 유연소자를 구동시킬 경우 발생되는 다축방향에 대한 응력 평가가 가능한 유연소자의 신뢰성 평가 시험장치을 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention not only enables electrical signals and application measurements of flexible devices, but also can prevent mechanical reliability and durability deterioration even in repetitive tests, and is capable of moving in the direction of multiple axes of the stage, And it is an object of the present invention to provide a reliability evaluation test apparatus for a flexible element capable of evaluating a stress in a direction of a plurality of axes.

본 발명의 일 측면에 의하면, 본 발명은 베이스부, 상기 베이스부의 상면에 설치되며, 상하방향 및 좌우방향으로 이동하고 축방향으로 회전 가능한 스테이지부, 상기 베이스부와 상기 스테이지부 또는 상기 스테이지부에 설치되고, 평가시험하고자 하는 유연소자를 그립하는 그립부, 상기 유연소자의 측면 방향에 이격되게 설치되어 평가시험 시 상기 유연소자의 이미지를 측정하는 카메라부 및 상기 스테이지부와 연결되어 상기 스테이지부의 이동을 구동제어하고, 상기 카메라부와 연결되어 상기 카메라부로부터 상기 유연소자의 변형되는 이미지정보를 수신하여 상기 유연소자의 변형 및 성능변화를 측정하는 제어부를 포함하는 유연소자의 신뢰성 평가시험장치를 제공한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a stator comprising a base portion, a stage portion provided on an upper surface of the base portion and movable in an up-and-down direction and a left-right direction and being rotatable in an axial direction, A grip portion for gripping a flexible element to be evaluated and installed, a camera portion provided to be spaced apart from the lateral direction of the flexible element and measuring an image of the flexible element during an evaluation test, And a control unit connected to the camera unit and receiving the image information of the flexible device from the camera unit to measure the deformation and performance change of the flexible device, .

본 발명의 다른 측면에 의하면, 본 발명은 태양전지로 이루어진 유연소자의 신뢰성을 평가시험하기 위한 유연소자의 신뢰성 평가시험장치로서, 베이스부, 상기 베이스부의 상면에 설치되며, 상하방향 및 좌우방향으로 이동하고 축방향으로 회전 가능한 스테이지부, 상기 베이스부와 상기 스테이지부 또는 상기 스테이지부에 설치되고, 상기 유연소자를 그립하는 그립부, 상기 유연소자의 측면 방향에 이격되게 설치되어 평가시험 시 상기 유연소자의 이미지를 측정하는 카메라부, 상기 유연소자의 상부에 이격되게 위치하고, 태양광을 모사하여 상기 유연소자로 상기 태양광을 조사하는 광원부 및 상기 스테이지부와 연결되어 상기 스테이지부의 이동을 구동제어하고, 상기 카메라부와 연결되어 상기 카메라부로부터 상기 유연소자의 변형되는 이미지정보를 수신하여 상기 유연소자의 변형 및 성능변화를 측정하는 제어부를 포함하는 유연소자의 신뢰성 평가시험장치를 제공한다. According to another aspect of the present invention, there is provided a reliability evaluation test apparatus for evaluating reliability of a flexible device made of a solar cell, the device comprising: a base portion; A grip portion that is provided on the base portion, the stage portion, or the stage portion and that grips the flexible device, and a grip portion that is provided so as to be spaced apart from the lateral direction of the flexible device, A light source part which is located apart from the upper part of the flexible device and irradiates the solar light with the flexible device by simulating solar light and a driving part connected to the stage part to drive and control the movement of the stage part, Wherein the camera unit is connected to the camera unit, It receives the information and provides a reliability evaluation test of the flexible device comprises a control unit for measuring the deformation and the performance change of the flexible device.

본 발명에 따른 유연소자의 신뢰성 평가 시험장치는 다음과 같은 효과를 제공한다.The reliability evaluation test apparatus of the flexible device according to the present invention provides the following effects.

첫째, 유연소자의 전기적 신호 및 응용측정이 가능할 뿐만 아니라, 스테이지부가 다축방향으로의 이동이 가능하여 실제 유연소자를 구동시킬 경우 발생되는 다축방향에 대한 응력 평가가 가능하다.First, electrical signal and application measurement of the flexible device is possible, and the stage part can move in the direction of multiple axes, so that it is possible to evaluate the stress in the direction of the multiple axes which occurs when the actual flexible device is driven.

둘째, 유연성을 갖는 태양전지뿐만 아니라 LED 등 전자소자의 반복 역학시험 후의 역학적 안정성 및 신뢰성을 평가하는 장치로도 적용가능하다. Second, the present invention can be applied not only to solar cells having flexibility but also to an apparatus for evaluating mechanical stability and reliability after repetitive dynamic tests of electronic devices such as LEDs.

셋째, 고반복 이동이 가능한 압전모터를 이용한 스테이지부를 통하여 반복시험을 통한 유연소자의 기계적 신뢰성을 측정할 수 있으며, 반복 역학시험을 진행할 경우에 발생할 수 있는 전기적 성능열화에 대한 측정을 동시에 진행할 수 있어, 실제 유연소자를 상용화 할 경우 발생할 수 있는 기계적인 결합에 대하여 미리 측정하여 대비할 수 있으며, 이러한 반복시험에도 기계적 신뢰성 및 내구성 저하를 방지할 수 있도록 되어 있다. Third, it is possible to measure the mechanical reliability of the flexible device through the repeated test through the stage part using the piezoelectric motor capable of moving the movable object, and to measure the electrical performance deterioration that may occur when the repetitive dynamic test is performed, Mechanical bonding that may occur when a practical flexible device is commercialized can be measured and prepared in advance, and mechanical reliability and durability can be prevented from being degraded even in such a repeated test.

넷째, 그립부가 교체 가능하여 기계적 역학시험이나 전기적 성능열화에 대한 시험에 대응하여 그립부를 교체하여 시험할 수 있다. Fourth, the grip part can be replaced and tested by replacing the grip part in response to the mechanical dynamics test or electrical performance deterioration test.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유연소자의 신뢰성 평가 시험장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 유연소자의 신뢰성 평가 시험장치에서 지그부를 나타내는 정면도이다.
도 3은 도 1의 유연소자의 신뢰성 평가 시험장치의 제어부의 제어흐름을 아나태는 블록도이다.
도 4 및 도 5는 도 1의 유연소자의 신뢰성 평가 시험장치에서 제2스테이지의 이동에 따른 유연소자의 굽힘 및 스트레칭 시험을 나타내는 사시도이다.
도 6은 도 1의 유연소자의 신뢰성 평가 시험장치에서 제2스테이지의 이동에 따른 유연소자의 전단 시험을 나타내는 사시도이다.
도 7은 도 1의 유연소자의 신뢰성 평가 시험장치에서 제1스테이지의 이동에 따른 유연소자의 복합변형 시험을 나타내는 사시도이다.
도 8은 도 1의 유연소자의 신뢰성 평가 시험장치에서 제3스테이지의 회전에 따른 유연소자의 국부적 소성변형시험을 나타내는 사시도이다.
도 9는 도 1의 유연소자의 신뢰성 평가 시험장치에서 제3스테이지의 회전에 따른 유연소자의 비틀림 시험을 나타내는 사시도이다. 1 is a perspective view showing a reliability evaluation test apparatus of a flexible device according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a front view showing a jig in the reliability evaluation test apparatus of the flexible element of Fig. 1; Fig.
3 is a block diagram showing a control flow of the control section of the reliability evaluation test apparatus of the flexible element of FIG.
4 and 5 are perspective views showing bending and stretching tests of the flexible device according to the movement of the second stage in the reliability evaluation test apparatus of the flexible device of Fig.
6 is a perspective view showing a shearing test of the flexible device according to the movement of the second stage in the reliability evaluation test apparatus of the flexible device of Fig.
7 is a perspective view showing a composite deformation test of a flexible element according to the movement of the first stage in the reliability evaluation test apparatus of the flexible element of Fig.
8 is a perspective view showing a local plastic deformation test of the flexible device according to the rotation of the third stage in the reliability evaluation test apparatus of the flexible device of FIG.
9 is a perspective view showing a twist test of the flexible device according to the rotation of the third stage in the reliability evaluation test apparatus of the flexible element of Fig.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 유연소자의 신뢰성 평가 시험장치(700, 이하 '시험장치'라 한다)는 유연소자(10)의 신뢰성을 평가시험하기 위한 장치로서, 베이스부(100)와, 스테이지부(200)와, 그립부(300)와, 카메라부(400)와, 광원부(500)와, 제어부(600)를 포함한다. Referring to FIG. 1, a reliability evaluation test apparatus 700 (hereinafter, referred to as a "test apparatus") of a flexible device according to an embodiment of the present invention is an apparatus for evaluating and testing reliability of a flexible device 10, A stage unit 200, a grip unit 300, a camera unit 400, a light source unit 500, and a control unit 600, as shown in FIG.

상기 베이스부(100)는, 상기 스테이지부(200)와, 상기 카메라부(400)를 포함하는 구성들을 지지해주는 역할을 한다. The base unit 100 supports the structures including the stage unit 200 and the camera unit 400.

상기 스테이지부(200)는, 상기 베이스부(100)의 상면에 설치되며, 수직한 방향(Z축) 및 수평한 방향(X축,Y축)으로 이동하고 축방향으로 회전(Rx축,Ry축,Rz축) 가능하도록 되어 있다. The stage unit 200 is mounted on the upper surface of the base unit 100 and moves in the vertical direction (Z axis) and the horizontal direction (X axis, Y axis) and rotates in the axial direction Axis, and Rz axis).

상세하게, 상기 스테이지부(200)는, 상기 베이스부(100)에 상면에 설치되며 수직한 방향(Z축 방향)으로 승강이동하는 제1스테이지(210)와, 상기 제1스테이지(210)의 상부에 연결되며 수평한 방향(XY축 방향)으로 이동하는 제2스테이지(220)와, 상기 제2스테이지(220)의 상부에 연결되며 상기 그립부(300)가 결합되고 축방향으로 회전(R 방향)하는 제3스테이지(230)를 포함한다. In detail, the stage unit 200 includes a first stage 210 installed on the base unit 100 and moving up and down in a vertical direction (Z-axis direction), and a second stage 210 mounted on the first stage 210 A second stage 220 connected to the upper part of the second stage 220 and moving in a horizontal direction (XY axis direction), and a second stage 220 connected to the upper part of the second stage 220, (Not shown).

상기 스테이지부(200)는, 상기 수직 및 수평한 방향으로의 이동 및 상기 축방향으로의 회전을 반복적으로 수행하여 상기 유연소자(10)의 반복 역학시험을 할 수 있도록 하는 압전모터를 포함하는 모터라이즈 스테이지(Motorized stage)를 적용한다. 이에 상기 시험장치(700)는 100,000회 이상의 반복시험이 가능하며, 이러한 반복시험에도 기계적 신뢰성 및 내구성 저하를 방지할 수 있다. 한편, 상기 스테이지부(200)는 반복적으로 선형 이동하는 구동축을 포함하는 공지의 압전모터와, 상기 압전모터의 구동축과 연결되어 선형이동하는 스테이지를 포함하여 이루어지며, 이러한 구성은 공지의 압전소자 모터를 이용하는 스테이지의 구성과 유사하므로 상세한 설명은 생락하기로 한다. The stage unit 200 includes a piezoelectric motor including a piezoelectric motor for repeatedly performing the dynamic dynamics test of the flexible device 10 by repeatedly performing the movement in the vertical and horizontal directions and the rotation in the axial direction, The motorized stage is applied. Therefore, the test apparatus 700 can perform repetitive tests of 100,000 times or more, and it is possible to prevent mechanical reliability and durability deterioration even in such a repeated test. The stage unit 200 includes a known piezoelectric motor including a drive shaft which repeatedly moves linearly, and a stage connected to the drive shaft of the piezoelectric motor and linearly moving. The detailed description will be omitted.

한편, 상기 제1스테이지(210)와, 상기 제2스테이지(220)와, 상기 제3스테이지(230)의 연결은 상기 각 스테이지 사이에 알루미늄 또는 스테인리스 강(SUS)재질의 연결지그를 제작하여 설치하고, 각 스테이지를 볼트와 나사와 같은 연결수단을 통하여 상기 제2스테이지(220)는 상기 제1스테이지(210)에 대하여 수평한 방향으로 이동할 수 있도록 연결하고, 상기 제3스테이지(230)는 상기 제2스테이지(220)에 대하여 축방향 회전할 수 있도록 연결한다. 여기서, 상기 제3스테이지(230)는 연결지그와 함께 가로축방향 회전 또는 세로축 방향 회전을 할 수 있도록 가로형 또는 세로형으로 세워져 설치할 수 있으며, 상기 제1스테이지(210)와, 상기 제2스테이지(220)와, 상기 제3스테이지(230)는 공지의 XY축 스테이지 및 회전 스테이지를 이용할 수 있으며, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다. The connection between the first stage 210, the second stage 220, and the third stage 230 may be realized by forming a connection jig made of aluminum or stainless steel (SUS) The second stage 220 is connected to each stage so as to be movable in a horizontal direction with respect to the first stage 210 through connection means such as bolts and screws, And is connected to the second stage 220 so as to be rotatable in the axial direction. Here, the third stage 230 may be installed horizontally or vertically so as to be able to rotate in the horizontal axis direction or the vertical axis direction together with the connection jig, and the first stage 210 and the second stage 220 And the third stage 230 may be a known XY-axis stage and a rotation stage, and a detailed description thereof will be omitted.

상기 스테이지부(200)는, 상기한 바와 같이 압전모터의 구동 형식의 스테이지 (x, y, z, Rx, Ry, Rz)로서, 최대이송거리는 30mm 이상으로 고 신축성의 스트레쳐블 소재의 신축도 가능하며, 100nm ~ 1μm 내외의 최소 이동거리를 통한 정밀한 구동이 가능하다. 또한, 상기 스테이지부(200)는 수천회에서 크게는 수만회까지 반복신축테스트가 가능한 내구성을 가지며, 로드셀(410)을 장착하여 실시간으로 기계적-전기적 물성을 동시 측정이 가능하다. As described above, the stage unit 200 is a stage (x, y, z, Rx, Ry, Rz) of a drive type of a piezoelectric motor, and has a maximum conveying distance of 30 mm or more and a stretchability of a highly stretchable stretchable material And can be precisely driven with a minimum moving distance of about 100 nm to 1 μm. In addition, the stage unit 200 has durability capable of performing repeated stretching tests from several thousand times to as many as several tens of times, and it is possible to measure mechanical-electrical properties simultaneously in real time by mounting the load cell 410.

상기 그립부(300)는, 상기 베이스부(100)와 상기 스테이지부(200)에 설치되고, 평가시험하고자 하는 유연소자(10)를 그립할 수 있도록 되어 있다. The grip portion 300 is provided on the base portion 100 and the stage portion 200 and is capable of gripping the flexible device 10 to be evaluated.

상기 그립부(300)는, 상기 유연소자(10)의 일측을 그립하고 상기 베이스부(100)에 결합되어 위치가 고정되는 고정그립부(310)와, 상기 유연소자(10)의 타측을 그립하고 상기 제3스테이지부(230)에 결합되어 상기 스테이지부(200)의 이동 및 회전에 대응하여 이동하는 이동그립부(320)를 포함한다. 이러한 경우, 상기 시험장치(700)는 상기 고정그립부(310)의 위치를 고정시킨 상태에서 상기 이동그립부(320)를 이동시켜 상기 유연소자(10)의 평가시험을 실시하도록 되어 있다.The grip portion 300 includes a fixed grip portion 310 that grips one side of the flexible device 10 and is fixed to the base portion 100 and a fixed position, And a moving grip part 320 coupled to the third stage part 230 and moving in accordance with the movement and rotation of the stage part 200. In this case, the testing apparatus 700 moves the moving grip portion 320 while fixing the position of the fixed grip portion 310 to perform the evaluation test of the flexible device 10.

한편, 상기한 구성에 대하여, 상기 스테이지부(200)는 상기 베이스부(100)와 상기 고정그립부(310) 사이에 개재되어 상기 고정그립부(310)를 다축방향으로 이동시키는 제4스테이지(미도시)를 포함하여, 상기 고정그립부(310)의 추가 이동이 가능하도록 할 수 있다. The stage unit 200 includes a fourth stage (not shown) interposed between the base unit 100 and the fixed grip unit 310 to move the fixed grip unit 310 in the direction of multiple axes So as to enable further movement of the fixed grip portion 310.

상기 그립부(300)는, 기계적 역학시험과 전기적 성능열화에 대한 시험 등 상기 유연소자(10)의 평가시험 종류에 따라 교체가 가능하도록 상기 베이스부(100)와 상기 스테이지부(200)에 대하여 착탈 가능하게 결합하도록 되어 있다. 여기서, 상기 그립부(300)의 착탈 가능한 구성은 공지의 볼트와 너트 구성 등 상기한 목적을 달성할 수 있다면 다양한 구성이 가능하다. The grip portion 300 is detachably attached to the base portion 100 and the stage portion 200 so that the grip portion 300 can be replaced according to the type of evaluation test of the flexible device 10 such as mechanical dynamics test and electrical performance deterioration test. Respectively. Here, the detachable structure of the grip part 300 can be variously configured as long as the above objects can be achieved, such as a known bolt and nut construction.

한편, 상기 시험장치(700)는 전기적 특성분석 장치를 추가적으로 설치하여 상기 유연소자(10)의 굽힘시험과 동시에 전기적 물성까지 측정 가능하다. Meanwhile, the testing apparatus 700 may further include an electrical characteristic analyzer to measure the electrical properties of the flexible device 10 at the same time as the bending test.

이러한 경우 상기 그립부(300)는, 외부 전선을 연결 할 시 단락 및 누전 현상을 방지하도록 전기적 신호가 통하지 않는 경화성 폴리머소재와 같은 절연소재로 형성되는 것이 바람직하다. 또는, 상기 그립부(300)는 절연물질이 코팅되어 절연막이 형성되게 하여 인슐레이터(Insulator) 그립부를 형성할 수도 있다. 한편, 상기 그립부(300)는 도시하지 않았지만 내부로 전기적 프로브를 연결할 수 있으며, 이를 위한 구성은 상기 그립부(300)에 상기 전기적 프로브가 삽입될 수 있는 삽입구 등을 형성할 수 있다. In this case, it is preferable that the grip portion 300 is formed of an insulating material such as a hardening polymer material that does not pass an electric signal to prevent a short circuit and an electric leakage phenomenon when connecting external wires. Alternatively, the grip portion 300 may be coated with an insulating material to form an insulating film, thereby forming an insulator grip portion. Although not shown, the grip portion 300 may connect an electrical probe to the grip portion 300, and the grip portion 300 may have an insertion port or the like through which the electrical probe can be inserted into the grip portion 300.

상기 그립부(300)는, 상기 유연소자(10)를 그립할 시 마찰력을 높여 미끄러짐을 방지하기 위한 복수개의 돌기부가 형성될 수 있으며, 상기 돌기부는 널링가공을 통하여 형성되는 것이 바람직하지만 이에 한정하지는 않는다. The grip portion 300 may be formed with a plurality of protrusions for preventing slipping by increasing frictional force when gripping the flexible device 10. The protrusions may be formed by knurling, but the present invention is not limited thereto .

도 2를 참조하면, 상기 고정그립부(310)와 상기 이동그립부(320)는 각각 상기 베이스부(100) 또는 상기 스테이지부(200)와 결합하고 내측으로 사각홀이 형성된 그립몸체(311,321)와, 상기 그립몸체(311,321) 내부에 끼워지며 상기 그립몸체(311,321) 사이에 상기 유연소자(10)의 측면이 끼워지는 끼움부(315,325)가 형성되도는 그립플레이트(312,322)와, 일단부가 상기 그립플레이트(312,322)와 결합되며 상기 그립몸체(311,321)에 나사체결되어 회전에 따라 상기 그립플레이트(312,322)를 이동시켜 상기 유연소자(10)가 그립되게 하는 복수개의 조절나사(314,324)와, 상기 그립플레이트(312,322)에 결합하고 상기 그립몸체(311,321)에 슬라이딩 가능하게 관통되어 가이드하는 가이드부(313,323)를 포함한다. 2, the fixed grip portion 310 and the movable grip portion 320 include grip bodies 311 and 321 which are coupled to the base portion 100 or the stage portion 200 and have square holes formed therein, respectively, A grip plate 312 and 322 fitted in the grip bodies 311 and 321 and provided with fitting portions 315 and 325 between the grip bodies 311 and 321 for fitting the side surface of the flexible device 10; A plurality of adjusting screws 314 and 324 coupled with the gripping bodies 312 and 322 and screwed to the grip bodies 311 and 321 to move the grip plates 312 and 322 in accordance with rotation to grip the flexible element 10, And guide portions 313 and 323 which are coupled to the grip portions 312 and 322 and slidably penetrate the grip bodies 311 and 321 and guide the grip portions.

상기 카메라부(400)는 상기 유연소자(10)의 측면 방향에 이격되게 설치되어 평가시험 시 상기 유연소자(10)의 이미지를 측정하는 역할을 한다. 상기 카메라부(400)는 곡률반경을 실시간으로 측정할 수 있는 구성이라면 모두 가능하다. 바람직하게, 상기 카메라부(400)는 실시간으로 측정 가능하고, 굽힘시험 시 유연소자(10)의 곡률을 측정 및 확인할 수 있으며, 유연소자(10)의 지속적인 변형상태를 파악할 수 있는 소형 현미경을 적용하는 것이 바람직하지만 이에 한정하지는 않는다. The camera unit 400 is provided to be spaced apart from the lateral direction of the flexible device 10 and serves to measure an image of the flexible device 10 during an evaluation test. The camera unit 400 may be configured to measure the radius of curvature in real time. Preferably, the camera unit 400 is capable of measuring in real time, measuring and confirming the curvature of the flexible device 10 during the bend test, and applying a small microscope capable of grasping the continuous deformation state of the flexible device 10 But is not limited thereto.

여기서, 상기 시험장치(700)는 상기 유연소자(10)의 신축시험 시 유연소자(10)의 길이신장을 측정하기 위하여 DIC(Digital image correlation)법을 이용한 변형률 파악도 가능하다. Here, the test apparatus 700 can also determine the strain using a digital image correlation (DIC) method in order to measure elongation of the flexible device 10 during the elongation test of the flexible device 10.

상기 광원부(500)는 상기 유연소자(10)의 상부에 이격되게 위치하고, 태양광을 모사하여 상기 유연소자(10)로 상기 태양광을 조사하도록 되어 있다. 여기서, 상기 광원부(500)는 상기 유연소자(10)가 태양전지일 경우 광원을 상기 유연소자(10)에 입사 시 역학적 변형이 일어나는 동시에 태양전지의 성능을 측정하여 역학적 물성에 따른 광발전 물성을 측정할 수 있도록 한다. 한편, 도면에서 상기 시험장치(700)는 상기 광원부(500)가 설치되어 있으나 상기 유연소자(10)의 종류에 따라 상기 광원부(500)를 설치하지 않을 수도 있다. The light source unit 500 is located apart from the upper part of the flexible device 10 and irradiates the sunlight with the flexible device 10 by simulating sunlight. When the light source 500 is a solar cell, when the light source is incident on the flexible device 10, the light source unit 500 measures the performance of the solar cell while dynamically deforming. To be measured. In the meantime, although the light source unit 500 is installed in the test apparatus 700, the light source unit 500 may not be installed depending on the type of the flexible device 10.

도 3을 참조하면, 상기 제어부(600)는, 상기 스테이지부(200)와 연결되어 상기 스테이지부(200)의 이동을 구동제어하고, 상기 카메라부(400)와 연결되어 상기 카메라부(400)로부터 상기 유연소자(10)의 변형되는 이미지정보를 수신하여 상기 유연소자(10)의 변형 및 성능변화를 측정하는 역할을 한다. 3, the controller 600 is connected to the stage unit 200 to drive and control the movement of the stage unit 200, and is connected to the camera unit 400, And receives the deformed image information from the flexible device 10 to measure the deformation and the performance change of the flexible device 10.

상기 제어부(600)는, 상기 카메라부(400)로부터 상기 이미지정보를 실시간으로 수신하고, 상기 이미지정보를 통하여 상기 유연소자(10)의 변형 및 성능변화를 포함하는 물성을 실시간으로 측정 및 관찰할 수 있다. 상기 제어부(600)는 상기 유연소자(10)의 사이즈를 입력하면 이에 따른 곡률반경 및 변형률을 자동으로 계산한다. The control unit 600 receives the image information in real time from the camera unit 400 and measures and observes physical properties including a change in performance and performance of the flexible device 10 in real time through the image information . When the size of the flexible device 10 is input, the controller 600 automatically calculates a radius of curvature and a strain of the flexible device.

상기 제어부(600)는 굽힘 및 신축현상을 화면으로 실시간으로 모니터링 할 수 있도록 디스플레이부를 포함하여, 상기 디스플레이부를 통하여 사용자가 실시간으로 물성측정 및 장치제어가 가능하며, 상기 카메라부(400)를 통하여 촬영된 이미지를 통해 실제 곡률반경 및 변형률을 자동으로 측정하고 계산하여 디스플레이된다. 이에 따라, 상기 시험장치(700)는 실시간으로 유연소자(10)의 변형거동을 관찰하면서 전기적인 성능 변화를 측정 가능하며, 로드셀(410)을 장착할 경우 상기 로드셀(410)로부터 물성정보를 수신하여 유연소자(10)의 기계적 물성의 측정도 가능하다. The control unit 600 includes a display unit for monitoring the bending and stretching phenomenon in real time on a screen. The user can measure the physical properties and control the apparatus in real time through the display unit. The actual radius of curvature and strain are automatically measured and calculated through the resulting image. Accordingly, the test apparatus 700 can measure the electrical performance change while observing the deformation behavior of the flexible device 10 in real time. When the load cell 410 is mounted, the property information is received from the load cell 410 The mechanical properties of the flexible element 10 can be measured.

상기 제어부(600)는 상기 저항측정기와 연결되어 상기 유연소자(10)의 저항의 변화를 실시간으로 측정가능하며, 상기 로드셀(410)과 연결되어 상기 유연소자(10)의 기계적물성을 동시에 측정 가능하다. The controller 600 may be connected to the resistance meter to measure a change in resistance of the flexible device 10 in real time and may be connected to the load cell 410 to simultaneously measure the mechanical properties of the flexible device 10. [ Do.

상기 제어부(600)는 전기적 물성장치와 연결되어 실시간으로 상기 유연소자(10)의 변형에 따른 전기적물성의 측정이 가능하다. The controller 600 is connected to the electrical physical property device, and it is possible to measure the electrical property according to the deformation of the flexible device 10 in real time.

상기 제어부(600)는 상기 유연소자(10)의 사이즈, 상기 스테이지부(200)의 구동속도, 구동거리 및 한계거리와, 저장방법을 입력변수로 하며, 곡률반경, 변형률, 이미지 및 측정물성값을 출력변수로 되어 있다. The control unit 600 takes as input variables the size of the flexible device 10, the driving speed of the stage unit 200, the driving distance and the limiting distance, and the storage method, and calculates the curvature radius, strain, It is an output variable.

여기에서, 상기 유연소자(10)는 태양전지를 적용할 수 있으나, 전기적 물성장치를 연결하여 LED, 디스플레이(Display) 등 다양한 플렉서블 소자의 신뢰성 평가시험에도 응용 가능함은 물론이다.Here, the flexible device 10 may be a solar cell, but it may also be applied to a reliability evaluation test of various flexible devices such as an LED and a display by connecting an electrical property device.

상기 시험장치(700)는, 상기 유연소자(10)의 전기적인 성능을 측정하기 위하여 상기 그립부(300)에 외부 전선을 연결하고 저항측정장치와 연결을 통해 상기 유연소자(10)의 성능을 측정할 수 있다. 또한, 상기 시험장치(700)는 상기 유연소자(10)에 외부전선을 연결하고 외부의 전원을 인가시켜 주어 발광현상을 일으키는 LED, OLED 등의 발광소자의 성능을 측정할 수 있다. The test apparatus 700 connects an external wire to the grip unit 300 to measure the electrical performance of the flexible device 10 and measures the performance of the flexible device 10 through a connection with a resistance measuring device can do. Also, the test apparatus 700 can measure the performance of a light emitting device such as an LED or an OLED, which connects an external wire to the flexible device 10 and applies external power to cause a light emitting phenomenon.

한편, 상기 시험장치(700)는 상기 베이스부(100), 상기 스테이지부(200) 및 상기 그립부(300) 중 선택된 적어도 어느 하나에 설치되어 상기 스테이지부(200)의 구동 변위를 측정 및 확인할 수 있도록 하는 변위측정기를 포함할 수 있다. The test apparatus 700 may be installed on at least one of the base unit 100, the stage unit 200 and the grip unit 300 to measure and confirm the driving displacement of the stage unit 200 A displacement measuring device for measuring the displacement of the object.

또한, 상기 시험장치(700)는 상기 그립부(300)에 저항측정기를 연결하여 상기 유연소자(10)의 굽힘 시 변형량과 동시에 저항의 변화도 측정할 수 있다. In addition, the test apparatus 700 may measure a change in resistance at the same time as a deformation amount of the flexible device 10 when the flexible device 10 is bent by connecting a resistance meter to the grip portion 300.

상기한 시험장치(700)를 사용하는 방법에 대하여 살펴보면, 우선 상기 그립부(300)에 상기 유연소자(10)를 장착하고, 그런 다음 전기저항측정 시 상기 그립부(300)에 플러그를 삽입한다. 이후 상기 제어부(600)를 통하여 필요조건을 입력한 후 상기 스테이지부(200)를 반복적으로 구동하여 상기 유연소자(10)의 반복적으로 굽힘변형을 통한 외부응력을 인가한다. 이러한 상태에서 상기 카메라부(400)를 통하여 상기 유연소자(10)의 이미지를 측정하고 측정된 이미지 및 영상을 통하여 상기 제어부(600)는 상기 유연소자(10)의 변형되는 곡률을 측정하고 평가시험 결과를 검토 및 추출한다. A method of using the above-described testing apparatus 700 will be described. First, the flexible member 10 is mounted on the grip unit 300, and then a plug is inserted into the grip unit 300 when the electric resistance is measured. After the necessary conditions are inputted through the controller 600, the stage unit 200 is repeatedly driven to apply external stress through bending deformation of the flexible member 10 repeatedly. In this state, the image of the flexible device 10 is measured through the camera unit 400, and the controller 600 measures the curvature of the flexible device 10, Review and extract results.

한편, 상기 시험장치(700)는 상기 그립부(300)를 절연소재로 형성된 그립부(300)로 교체하여 외부장치로 전원을 연결하여 상기 유연소자(10)의 전기적 성능을 측정할 수도 있다. 또한, 상기 시험장치(700)는 반복 굽힘뿐만 아니라 신축시험도 가능하며, 최대 이송거리는 100mm까지 가능하게 제작되어 웨어러블/스트레쳐블 소자까지 평가시험이 가능하다.Meanwhile, the test apparatus 700 may replace the grip portion 300 with a grip portion 300 formed of an insulating material, and measure the electrical performance of the flexible device 10 by connecting a power source to an external device. In addition, the test apparatus 700 is capable of not only repeated bending but also stretching and shrinking tests, and it is possible to carry out the evaluation test up to a wearable / stretchable element since the maximum transfer distance can be made up to 100 mm.

상기한 바에 의하면, 상기 시험장치(700)는, 상기 유연소자(10)의 물리적 변화에 따른 복합물성을 간단히 측정할 수 있으며, 크기가 작아 글로브박스 등 진공장치 내에 쉽게 설치 및 구동이 가능하고, 나아가 상기 유연소자(10)는 그 크기가 작기 때문에 상기한 구성들의 분해능이 크면 물성 측정 한계가 있는 데 반해, 유연소자(10)의 크기에 따라 상기한 구성들의 선택을 다양하게 제작할 수 있다. According to the above description, the test apparatus 700 can easily measure complex physical properties according to physical changes of the flexible device 10, can be easily installed and driven in a vacuum apparatus such as a glove box because of its small size, In addition, since the flexible device 10 has a small size, the selection of the above-described configurations can be variously made according to the size of the flexible device 10, while the resolution of the above-described configurations is large.

도 4 내지 도 8은 상기한 스테이지부(200)의 다축방향 이동에 의한 상기 유연소자(10)의 평가시험방법에 대하여 살펴보기로 한다. 먼저, 도 4를 참조하면, 상기 시험장치(700)는 (a)에 나타난 바와 같이 상기 제2스테이지(220)가 상기 고정그립부(310)가 있는 일방향으로 X축방향을 따라 수평하게 이동한 경우를 나타내고 있으며, 이러면 (b)에 나타난 바와 같이 상기 유연소자(10)가 굽힘이 일어난다. FIGS. 4 to 8 illustrate evaluation methods of the flexible device 10 by the movement of the stage unit 200 in the multi-axial direction. 4, when the second stage 220 moves horizontally along the X-axis direction in one direction with the fixed grip part 310, as shown in (a) of FIG. 4, (B), the bending of the flexible element 10 occurs.

반면, 도 5를 참조하면, 상기 시험장치(700)는 (a)에 나타난 바와 같이 상기 제2스테이지(220)가 타방향으로 X축방향을 따라 수평하게 이동한 경우로서, 이러한 경우 (b)에 나타난 바와 같이 상기 유연소자(10)의 스트레칭하게 된다. 5, the test apparatus 700 is a case in which the second stage 220 horizontally moves along the X-axis direction in the other direction as shown in (a). In this case, The flexible element 10 is stretched as shown in FIG.

도 6을 참조하면, 상기 시험장치(700)는 (a)에 나타난 바와 같이 상기 제2스테이지(220)가 Y축방향을 따라 일방향으로 수평하게 이동한 경우이며, 이러한 경우 (b)에 나타난 바와 같이 상기 유연소자(10)의 전단특성을 측정할 수 있다. Referring to FIG. 6, the test apparatus 700 is a case in which the second stage 220 moves horizontally in one direction along the Y-axis direction as shown in (a). In this case, The shear characteristics of the flexible element 10 can be measured.

도 7을 참조하면, 상기 시험장치(700)는 (a)에 나타난 바와 같이 상기 제1스테이지(210)가 상부로 이동한 경우이며, 이러한 경우 (b)에 나타난 바와 같이 상기 유연소자(10)의 복합변형 특성을 측정할 수 있다. Referring to FIG. 7, the test apparatus 700 is a case in which the first stage 210 is moved upward as shown in (a). In this case, as shown in FIG. 7 (b) Can be measured.

도 8을 참조하면, 상기 시험장치(700)는 (a)에 나타난 바와 같이 상기 제3스테이지(230)가 수직한축을 기준으로 회전한 경우이며, 이러한 경우 (b)에 나타난 바와 같이 상기 유연소자(10)는 국부적 소성변형이 일어난다.Referring to FIG. 8, the test apparatus 700 includes a case where the third stage 230 rotates about a vertical axis as shown in FIG. 7A. In this case, as shown in FIG. 8B, (10), local plastic deformation occurs.

도 9를 참조하면, 상기 시험장치(700)는 (a)에 나타난 바와 같이 상기 제3스테이지(230)가 수평한축을 기준으로 회전한 경우로서, 이러한 경우 (b)에 나타난 바와 같이 상기 유연소자(10)는 비틀림변형이 일어난다.Referring to FIG. 9, the test apparatus 700 includes a case where the third stage 230 rotates about a horizontal axis as shown in (a). In this case, as shown in (b) (10) is twisted.

상기한 바와 같이, 상기 스테이지부(200)는 한쪽 방향만이 아닌 제1스테이지(210)와, 제2스테이지(220)와, 제3스테이지(230)를 통하여 다축방향으로의 이동이 가능하여 상기 유연소자(10)의 다양한 형태의 변형거동에 대한 측정을 진행할 수 있음과 동시에 유연소자(10)의 취약 변형을 측정하는 등 여러 가지로 응용가능하다.As described above, the stage unit 200 is movable in the direction of multiple axes through the first stage 210, the second stage 220, and the third stage 230, It is possible to measure various deformation behaviors of the flexible device 10 and to measure the weak deformation of the flexible device 10 and the like.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

10... 유연소자 100... 베이스부
200... 스테이지부 210... 제1스테이지
220... 제2스테이지 230... 제3스테이지
300... 그립부 310... 고정그립부
311,321... 그립몸체 312,322... 그립플레이트
313,323... 가이드부 314,324... 조절나사
315,325... 끼움부 320... 이동그립부
400... 카메라부 410... 로드셀
500... 광원부 600... 제어부
700... 유연소자 신뢰성 평가시험장치10 ... flexible element 100 ... base portion
200 ... stage unit 210 ... first stage
220 ... second stage 230 ... third stage
300 ... grip portion 310 ... fixed grip portion
311, 321 ... grip body 312, 322 ... grip plate
313, 323 ... guide portions 314, 324 ... adjustment screws
315, 325 ... fitting portion 320 ... movable grip portion
400 ... camera part 410 ... load cell
500 ... light source unit 600 ... control unit
700 ... Flexible device reliability evaluation test equipment

Claims (20)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 태양전지로 형성된 유연소자의 신뢰성을 평가시험하기 위한 유연소자의 신뢰성 평가시험장치에 있어서,
베이스부;
상기 베이스부의 상면에 설치되며, 상하방향 및 좌우방향으로 이동하고 축방향으로 회전 가능한 스테이지부;
상기 베이스부와 상기 스테이지부 또는 상기 스테이지부에 설치되고, 상기 유연소자를 그립하는 그립부;
상기 유연소자의 측면 방향에 이격되게 설치되어 평가시험 시 상기 유연소자의 이미지를 측정하는 카메라부;
상기 유연소자의 상부에 이격되게 위치하고, 태양광을 모사하여 상기 유연소자로 상기 태양광을 조사하는 광원부; 및
상기 스테이지부와 연결되어 상기 스테이지부의 이동을 구동제어하고, 상기 카메라부와 연결되어 상기 카메라부로부터 상기 유연소자의 변형되는 이미지정보를 수신하여 상기 유연소자의 변형 및 성능변화를 측정하는 제어부를 포함하는 유연소자의 신뢰성 평가시험장치. A reliability evaluation test apparatus for a flexible device for evaluating reliability of a flexible device formed of a solar cell,
A base portion;
A stage part installed on the upper surface of the base part and movable in the vertical direction and the horizontal direction and being rotatable in the axial direction;
A grip portion provided on the base portion, the stage portion, or the stage portion, the grip portion gripping the flexible element;
A camera unit installed in a lateral direction of the flexible device to measure an image of the flexible device during an evaluation test;
A light source unit positioned to be spaced apart from the upper portion of the flexible device and irradiating the sunlight with the flexible device by simulating sunlight; And
And a control unit connected to the stage unit to drive and control the movement of the stage unit and receive variation image information of the flexible device from the camera unit in connection with the camera unit, A reliability evaluation test apparatus for a flexible device. 청구항 12에 있어서,
상기 스테이지부는,
상기 상하방향 및 좌우방향으로의 이동 및 상기 축방향으로의 회전을 반복적으로 수행하여 상기 유연소자의 반복 역학시험을 할 수 있도록 하는 압전모터를 포함하는 유연소자의 신뢰성 평가시험장치. The method of claim 12,
The stage unit includes:
And a piezoelectric motor which repeatedly performs the dynamic dynamics test of the flexible device by repeatedly performing the movement in the vertical direction and the lateral direction and the rotation in the axial direction. 청구항 12에 있어서,
상기 스테이지부는,
상기 베이스부에 상면에 설치되며 상하방향으로 이동하는 제1스테이지와,
상기 제1스테이지의 상부에 연결되며 좌우방향으로 이동하는 제2스테이지와,
상기 제2스테이지의 상부에 연결되며 상기 그립부가 결합되고 축방향으로 회전하는 제3스테이지를 포함하는 유연소자의 신뢰성 평가시험장치. The method of claim 12,
The stage unit includes:
A first stage installed on the base portion and moving up and down,
A second stage connected to an upper portion of the first stage and moving in a lateral direction,
And a third stage connected to an upper portion of the second stage and coupled to the grip portion and rotated in the axial direction. 청구항 14에 있어서,
상기 그립부는,
상기 유연소자의 일측을 그립하고 상기 베이스부에 결합되어 위치가 고정되는 고정그립부와,
상기 유연소자의 타측을 그립하고 상기 제3스테이지에 결합되어 상기 스테이지부의 이동 및 회전에 대응하여 이동하는 이동그립부를 포함하는 유연소자의 신뢰성 평가시험장치. 15. The method of claim 14,
The grip portion
A fixed grip portion that grips one side of the flexible device and is fixed to the base portion,
And a moving grip portion that grips the other side of the flexible device and is coupled to the third stage and moves corresponding to the movement and rotation of the stage portion. 청구항 15에 있어서,
상기 스테이지부는,
상기 베이스부와 상기 고정그립부 사이에 개재되어 상기 고정그립부를 다축방향으로 이동시키는 제4스테이지를 포함하는 유연소자의 신뢰성 평가시험장치. 16. The method of claim 15,
The stage unit includes:
And a fourth stage interposed between the base portion and the fixed grip portion to move the fixed grip portion in a multiaxial direction. 청구항 12에 있어서,
상기 그립부는,
상기 베이스부와 상기 스테이지부에 대하여 착탈 가능하게 결합하는 유연소자의 신뢰성 평가시험장치. The method of claim 12,
The grip portion
And the base portion and the stage portion are detachably coupled to each other. 청구항 12에 있어서,
상기 그립부는,
절연소재로 형성되거나, 또는 절연물질이 코팅되어 절연막이 형성되는 유연소자의 신뢰성 평가시험장치. The method of claim 12,
The grip portion
A reliability evaluation test apparatus for a flexible device formed of an insulating material or coated with an insulating material to form an insulating film. 청구항 12에 있어서,
상기 베이스부, 상기 스테이지부 및 상기 그립부 중 선택된 적어도 어느 하나에 설치되어 상기 스테이지부의 구동 변위를 측정 및 확인할 수 있도록 하는 변위측정기를 더 포함하는 유연소자의 신뢰성 평가시험장치. The method of claim 12,
Further comprising a displacement measuring device installed at at least one of the base, the stage, and the grip so as to measure and confirm the driving displacement of the stage. 청구항 12에 있어서,
상기 그립부에 설치되는 로드셀을 더 포함하는 유연소자의 신뢰성 평가시험장치. The method of claim 12,
And a load cell provided on the grip portion.
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