KR101777290B1 - 광학측정장치의 데이터 평가장치 및 데이터 평가방법 - Google Patents

광학측정장치의 데이터 평가장치 및 데이터 평가방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 측정부재가 겐트리에서 움직이면서 정반에 안착된 대상물을 측정하는 광학측정장치에서 대상물의 측정에 따른 측정데이터를 평가하여 측정데이터의 품질 신뢰성을 확보할 수 있도록 하는 광학측정장치의 데이터 평가장치 및 데이터 평가방법에 관한 것이다.
이를 위해 광학측정장치의 데이터 평가방법은 측정구간에 대하여 측정부재에서 전달되는 측정데이터와, 정반에 남아있는 잔여진동이 측정데이터에 연계하여 저장되는 데이터저장부와, 데이터저장부에 저장되는 측정데이터를 비교하는 데이터비교부와, 데이터저장부에 저장되는 측정데이터 중 데이터비교부를 통해 비교된 측정데이터가 오차범위를 벗어나는 경우, 오차범위를 벗어난 측정데이터에 연계하여 데이터저장부에 저장된 잔여진동을 데이터저장부에 저장된 다른 잔여진동과 비교하거나, 오차범위를 벗어난 측정데이터에 연계하여 데이터저장부에 저장된 잔여진동을 기설정된 기준진동과 비교하는 진동비교부 및 진동비교부를 거쳐 정반에서 발생되는 잔여진동이 오차범위를 벗어나는 경우, 측정데이터의 오류 정보를 표시하는 오류알림부를 포함한다.

Description

광학측정장치의 데이터 평가장치 및 데이터 평가방법{DATA EVALUATING DEVICE OF OPTICAL MEASURING DEVICE AND DATA EVALUATING METHOD OF OPTICAL MEASURING DEVICE}
본 발명은 광학측정장치의 데이터 평가장치 및 데이터 평가방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 측정부재가 겐트리에서 움직이면서 정반에 안착된 대상물을 측정하는 광학측정장치에서 대상물의 측정에 따른 측정데이터를 평가하여 측정데이터의 품질 신뢰성을 확보할 수 있도록 하는 광학측정장치의 데이터 평가장치 및 데이터 평가방법에 관한 것이다.
일반적으로, 간섭계(Interferometer)란 검사하고자 하는 물체의 표면 및 기준면에 광을 조사시킨 후 반사 또는 투과되는 두 종류의 빛으로부터 간섭무늬를 형성하고, 이 간섭무늬를 측정 및 해석하여 물체 표면의 형상에 대한 정보를 얻는 장치이다.
이러한 간섭계는 측정대상물의 형상을 용이하게 얻을 수 있으므로 산업분야에서 널리 활용되고 있으며, 특히 최근의 산업계 전 분야에 걸친 급속한 기술 발전은 반도체, MEMS, 평판 디스플레이, 광부품 등의 분야에서 미세 가공을 필요로 하며, 현재는 나노 단위의 초정밀 제조 기술이 필요한 단계로 진입하고 있고, 필요한 가공의 형상도 단순한 패턴에서 복잡한 형상으로 변화하고 있으며, 이에 따라 미세형상을 측정하는 기술의 중요성은 더욱 부각되고 있다.
하지만, 대상물의 측정에 따른 측정데이터가 오차 범위를 벗어나는 경우, 광학측정장치의 측정 오류임에도 불구하고, 대상물의 결함으로 치부됨에 따라 양품의 대상물이 불량으로 판정되는 문제점이 있었다.
대한민국 등록특허공보 제10-1539945호(발명의 명칭 : 간섭계를 이용한 진동측정방법, 2015. 07. 30. 공고)
본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 측정부재가 겐트리에서 움직이면서 정반에 안착된 대상물을 측정하는 광학측정장치에서 대상물의 측정에 따른 측정데이터를 평가하여 측정데이터의 품질 신뢰성을 확보할 수 있도록 하는 광학측정장치의 데이터 평가장치 및 데이터 평가방법을 제공함에 있다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 바람직한 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 광학측정장치의 데이터 평가장치는 측정부재가 겐트리에서 이동하면서 정반에 안착된 대상물을 측정하는 광학측정장치에서 상기 대상물의 측정에 따른 측정데이터를 평가하는 광학측정장치의 데이터 평가장치이고, 측정구간에 대하여 측정하고자 하는 측정 위치에서 상기 측정부재가 상기 대상물을 측정함에 따라 상기 측정부재에서 전달되는 측정데이터와, 상기 측정구간에서 상기 정반에 남아있는 잔여진동이 상기 측정데이터에 연계하여 저장되는 데이터저장부; 상기 데이터저장부에 저장되는 상기 측정데이터를 다른 측정데이터와 비교하거나, 상기 데이터저장부에 저장되는 상기 측정데이터를 기설정된 기준데이터와 비교하는 데이터비교부; 상기 데이터저장부에 저장되는 상기 측정데이터 중 상기 데이터비교부를 통해 비교된 측정데이터가 오차범위를 벗어나는 경우, 오차범위를 벗어난 상기 측정데이터에 연계하여 상기 데이터저장부에 저장된 상기 잔여진동을 상기 데이터저장부에 저장된 다른 잔여진동과 비교하거나, 오차범위를 벗어난 상기 측정데이터에 연계하여 상기 데이터저장부에 저장된 상기 잔여진동을 기설정된 기준진동과 비교하는 진동비교부; 및 상기 진동비교부를 거쳐 상기 정반에서 발생되는 상기 잔여진동이 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 측정데이터의 오류 정보를 표시하는 오류알림부;를 포함한다.
여기서, 상기 정반에 결합된 능동제진유닛에 구비되어 상기 정반에 발생되는 진동을 감지하거나, 상기 정반에 구비되어 상기 정반에 발생되는 진동 중 상기 측정구간에서 상기 정반에 남아있는 잔여진동을 감지하는 진동감지부;를 더 포함한다.
여기서, 상기 진동감지부는, 상기 측정부재의 동작신호에 따라 측정하고자 하는 측정 위치에서 상기 측정부재가 정지한 시점부터 다른 측정 위치로 상기 측정부재가 이동하기 전까지 상기 정반에 남아있는 잔여진동을 감지한다.
여기서, 대상물의 측정 위치에 따라 상기 정반을 다수로 구획하고, 각각의 구획 영역에서 기설정된 기준데이터와 기설정된 기준진동을 다르게 적용한다.
본 발명에 따른 광학측정장치의 데이터 평가방법은 측정부재가 겐트리에서 이동하면서 정반에 안착된 대상물을 측정하는 광학측정장치에서 상기 대상물의 측정에 따른 측정데이터를 평가하는 광학측정장치의 데이터 평가방법이고, 측정구간에 대하여 측정하고자 하는 측정 위치에서 상기 측정부재가 상기 대상물을 측정함에 따라 상기 측정부재에서 전달되는 측정데이터와, 상기 측정구간에서 상기 정반에 남아있는 잔여진동이 상기 측정데이터에 연계하여 저장되는 연계저장단계; 상기 연계저장단계를 통해 저장되는 상기 측정데이터를 다른 측정데이터와 비교하거나, 상기 연계저장단계를 통해 저장되는 상기 측정데이터를 기설정된 기준데이터와 비교하는 데이터비교단계; 상기 연계저장단계를 통해 저장되는 상기 측정데이터 중 상기 데이터비교단계를 통해 비교된 측정데이터가 오차범위를 벗어나는 경우, 오차범위를 벗어난 상기 측정데이터에 연계하여 상기 연계저장단계를 거쳐 저장된 상기 잔여진동을 상기 연계저장단계를 거쳐 저장된 다른 잔여진동과 비교하거나, 오차범위를 벗어난 상기 측정데이터에 연계하여 상기 연계저장단계를 거쳐 저장된 상기 잔여진동을 기설정된 기준진동과 비교하는 진동비교단계; 및 상기 진동비교단계를 거쳐 상기 정반에서 발생되는 상기 잔여진동이 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 측정데이터의 오류 정보를 표시하는 오류알림단계;를 포함한다.
여기서, 상기 정반에 결합된 능동제진유닛에 구비되어 상기 정반에 발생되는 진동을 감지하거나, 상기 정반에 구비되어 상기 정반에 발생되는 진동 중 상기 측정구간에서 상기 정반에 남아있는 잔여진동을 감지하는 진동감지부;를 더 포함한다.
여기서, 상기 진동감지단계는, 상기 측정부재의 동작신호에 따라 측정하고자 하는 측정 위치에서 상기 측정부재가 정지한 시점부터 다른 측정 위치로 상기 측정부재가 이동하기 전까지 상기 정반에 남아있는 잔여진동을 감지한다.
여기서, 대상물의 측정 위치에 따라 상기 정반을 다수로 구획하고, 각각의 구획 영역에서 기설정된 기준데이터와 기설정된 기준진동을 다르게 적용한다.
본 발명에 따른 광학측정장치의 데이터 평가장치 및 데이터 평가방법에 따르면, 측정부재가 겐트리에서 움직이면서 정반에 안착된 대상물을 측정하는 광학측정장치에서 대상물의 측정에 따른 측정데이터를 평가하여 측정데이터의 품질 신뢰성을 확보할 수 있도록 한다.
특히, 본 발명은 광학측정장치가 동작되는 과정에서 측정부재의 동작에 의한 가감속 및 무게 중심의 변동이 정반을 가진함에 따라 정반의 진동을 감쇠시키는 능동제진유닛에 구비된 진동감지부를 통해 잔여진동의 크기(진폭)를 모니터링 함으로서, 간섭계로 이루어진 측정부재가 측정하는 측정데이터에 측정 오류가 발생했을 때, 그 원인을 파악할 수 있다.
또한, 본 발명은 측정부재의 동작과 연계하여 잔여진동이 저장되므로, 각각의 측정데이터에 대한 잔여진동을 구분할 수 있고, 비교 대상을 특정시켜 오류가 있는 부분을 정확하게 찾아낼 수 있다.
또한, 본 발명은 측정부재의 특정 동작에서 잔여진동을 측정하므로, 측정부재의 움직임을 파악할 수 있고, 측정부재의 이동 오차를 줄일 수 있으며, 대상물의 측정에 소요되는 시간을 줄이고, 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 측정부재의 움직임에 따라 정반에서 발생되는 잔여진동을 구분할 수 있고, 기준데이터와 기준진동을 구분하여 대상물을 더욱 정밀하게 측정할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학측정장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학측정장치에서 측정부재의 이동에 따른 속도의 변화(a)와 이에 대한 정반의 변위(b)를 도시한 그래프이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학측정장치의 데이터 평가장치를 도시한 블럭도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 정반의 구획 상태를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학측정장치의 데이터 평가방법을 도시한 순서도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 광학측정장치의 데이터 평가장치 및 데이터 평가방법의 일 실시예를 설명한다. 이때, 본 발명은 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대해 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명확하게 하기 위해 생략될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학측정장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학측정장치에서 측정부재의 이동에 따른 속도의 변화(a)와 이에 대한 정반의 변위(b)를 도시한 그래프이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학측정장치의 데이터 평가장치를 도시한 블럭도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 정반의 구획 상태를 도시한 도면이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 광학측정장치의 데이터 평가장치(DID)는 측정부재(20)가 겐트리(30)에서 이동하면서 정반(10)에 안착된 대상물(11)을 측정하는 광학측정장치에서 상기 대상물(11)의 측정에 따른 측정데이터에 대한 신뢰성을 확보할 수 있다.
일예로, 상기 광학측정장치는 상기 대상물(11)인 액정디스플레이에 형성되는 컬럼스페이스의 설치 높이를 측정하는 것으로써, 상기 측정부재(20)인 간섭계를 이용하여 각각의 측정 위치에서 컬럼스페이서의 설치 높이를 측정할 수 있다. 이때, 상기 대상물(11)은 상기 정반(10)에 안착 지지되고, 상기 측정부재(20)는 상기 정반(10)의 상측으로 이격 배치된 상태에서 구동수단(미도시)에 의해 상기 겐트리(30)에서 간헐적으로 이동할 수 있다.
또한, 상기 광학측정장치는 구동수단(미도시)의 동작에 따라 상기 정반(10)에 전달되는 진동을 흡수하여 상기 정반(10)이 정위치하도록 상기 정반(10)을 지지하는 능동제진유닛을 더 포함할 수 있다. 상기 능동제진유닛은 진동 절연 역할을 위해 상기 정반(10)을 탄성 지지하는 진동절연부(50)와, 감쇠기 역할을 위해 상기 정반(10)의 진동을 감쇠시키는 진동감쇠부(40)를 포함한다. 상기 능동제진유닛에는 후술하는 진동감지부(1)가 포함될 수 있다.
그러면, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 측정부재(20)가 각각의 측정 위치(MP)로 이동함에 따라 상기 측정부재(20)가 이동하는 이동구간(MZ)과, 각각의 측정 위치(MP)에서 상기 측정부재(20)가 정지한 상태에서 상기 측정부재(20)가 상기 대상물(11)을 측정하는 측정구간(SZ)이 반복적으로 이루어진다.
이때, 상기 측정부재(20)의 이동에 따라 상기 정반(10)에 쇼크가 가해지고, 상기 정반(10)은 가진하게 된다. 다시 말해, 상기 이동구간(MZ)에서는 상기 측정부재(20)의 가속, 상기 측정부재(20)의 감속 및 상기 측정부재(20)의 이동으로 인한 무게 중심의 변화 등이 상기 정반(10)을 가진하게 된다. 이렇게 상기 정반(10)에 발생되는 진동은 상기 측정부재(20)의 가속, 상기 측정부재(20)의 감속 및 상기 측정부재(20)의 이동거리, 상기 측정부재(20)의 이동 시간에 따라 각각 다른 수준으로 진동의 크기가 변화된다. 이렇게 상기 정반(10)에 발생되는 진동은 상기 측정부재(20)가 정지되어도 일정 시간이 유지되며, 상기 능동제진유닛에 의해 감쇠된다.
특히, 상기 측정구간(SZ)에서는 상기 측정부재(20)가 정지한 다음, 상기 능동제진유닛(상기 진동절연부(50)와 상기 진동감쇠부(40))이 가지는 감쇄 성능에 의해 상기 정반(10)에 발생되는 진동이 감쇠된다. 하지만, 상기 측정부재(20)의 정지 직후 또는 기설정된 감쇠시간이 지난 다음에도, 상기 정반(10)에 잔여진동이 남아 있게 되므로, 상기 정반(10)에 미세한 떨림이 발생하게 된다. 이때, 상기 측정부재(20)의 측정에 영향을 줄 수 있는 상기 잔여진동이 남아 있는 상태에서 상기 측정부재(20)가 측정을 수행하게 된다. 하지만, 상기 측정구간(SZ)에서 상기 잔여진동까지 충분히 감쇄된 다음, 상기 측정부재(20)가 상기 대상물(11)을 측정하는 경우, 측정 정밀도를 향상시킬 수 있으나, 측정시간이 길어지고, 광학측정장치의 효율성이 떨어지는 문제점이 있다. 이에 따라, 상기 능동제진유닛(상기 진동절연부(50)와 상기 진동감쇠부(40))를 통해 상기 측정구간(SZ)에서는 상기 잔여진동에 의한 측정 오류를 최소화하면서 상기 측정부재(20)가 상기 대상물(11)을 측정할 수 밖에 없다.
여기서, 도 2에서 미설명 부호 V는 상기 측정부재(20)의 이동속도를 나타내고, 미설명 부호 Z는 상기 정반(10)의 가진에 의한 움직임으로 후술하는 진동감지부(1)에서 감지하는 진동의 크기(진폭)를 나타내며, 미설명 부호 t는 상기 측정부재(20)가 이동함에 따른 경과시간을 나타낸다.
따라서, 본 발명의 일 실시예에 다른 광학측정장치의 데이터 평가장치(DID)는 상기 측정구간(SZ)에서 상기 대상물(11)의 측정에 따른 측정데이터를 평가하는 것으로, 데이터저장부(2)와, 데이터비교부(3)와, 진동비교부(4)와, 오류알림부(5)를 포함하고, 진동감지부(1)를 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 측정부재(20)는 상기 측정구간(SZ)에 대하여 측정하고자 하는 측정 위치(MP)에서 상기 대상물(11)을 측정한다. 그러면, 상기 측정부재(20)는 측정데이터를 생성하여 상기 데이터저장부(2)에 전달한다. 상기 측정부재(20)는 간섭계로 이루어질 수 있다.
그리고, 상기 진동감지부(1)는 상기 정반(10)에서 발생되는 진동을 감지한다. 상기 진동감지부(1)에서 감지하는 진동은 경과시간(t)에 따른 진폭의 변화로 표현된다.
일예로, 상기 진동감지부(1)는 상기 능동제진유닛에 구비되어 상기 정반(10)에 발생되는 진동을 감지할 수 있다. 상기 진동감지부(1)는 상기 능동제진유닛에 내장될 수 있다. 여기서, 상기 진동에는 상기 잔여진동이 포함된다.
다른 예로, 상기 진동감지부(1)는 상기 정반(10)에 구비되고, 상기 정반(10)에서 발생되는 진동 중 측정하고자 하는 측정 위치(MP)에 상기 측정부재(20)가 정지됨에 따라 상기 정반(10)에 남아있는 상기 잔여진동을 감지할 수 있다. 상기 진동감지부(1)는 상기 능동제진유닛(상기 진동절연부(50)와 상기 진동감쇠부(40))의 연계에 따라 상기 정반(10)에 남아있는 상기 잔여진동을 감지할 수 있다.
이때, 상기 진동감지부(1)는 상기 측정부재(20)의 동작 유무에 따라 측정하고자 하는 측정 위치(MP)에서 상기 측정부재(20)가 정지한 시점부터 다른 측정 위치(MP)로 상기 측정부재(20)가 이동하기 전까지 상기 정반(10)에 남아있는 상기 잔여진동을 감지할 수 있다.
그러면, 상기 진동감지부(1)는 상기 측정부재(20)의 정지와 함께 상기 정반(10)에 남아있는 상기 잔여진동을 감지하여 상기 데이터저장부(2)에 전달한다.
일예로, 상기 측정부재(20)가 정지한 시점에서 구동수단(미도시)의 정지 신호 또는 상기 진동감쇠부(40)의 동작 신호를 바탕으로 상기 측정부재(20)가 정지한 시점을 확인할 수 있고, 상기 측정부재(20)가 움직이는 시점에서 구동수단(미도시)의 동작 신호 또는 상기 진동감쇠부(40)의 정지 신호를 바탕으로 상기 측정부재(20)가 이동하기 전 시점을 확인할 수 있다.
상기 데이터저장부(2)는 상기 측정구간(SZ)에 대하여 측정하고자 하는 측정 위치(MP)에서 상기 측정부재(20)가 상기 대상물(11)을 측정함에 따라 상기 측정부재(20)에서 전달되는 상기 측정데이터가 저장된다. 또한, 상기 데이터저장부(2)는 상기 측정구간(SZ)에서 상기 정반(10)에 남아있는 상기 잔여진동이 상기 측정데이터에 연계하여 저장된다.
그러면, 상기 데이터저장부(2)에는 측정 시간과 측정 위치(MP)와, 상기 측정데이터와, 상기 잔여진동의 크기(진폭)가 상호 연관성을 나타내면서 함께 저장된다.
상기 데이터비교부(3)는 상기 데이터저장부(2)에 저장되는 상기 측정데이터를 비교한다.
일예로, 상기 데이터비교부(3)는 상기 데이터저장부(2)에 저장되는 상기 측정데이터를 다른 측정데이터와 비교할 수 있다. 이때, 상기 데이터비교부(3)는 두 측정데이터의 차이가 오차 범위 내에 있는지 여부를 통해 상기 측정데이터를 비교할 수 있다.
먼저, 상기 데이터비교부(3)의 비교 결과, 두 측정데이터의 차이가 오차 범위 내에 있는 경우, 상기 측정부재(20)는 계속해서 후속하는 측정 위치(MP)로 이동하여 상기 대상물(11)을 측정할 수 있다. 또한, 상기 데이터비교부(3)의 비교 결과, 두 측정데이터의 차이가 오차 범위를 벗어나는 경우, 상기 측정데이터가 오차범위를 벗어났다고 판단하고, 상기 진동비교부(4)를 통해 상기 측정데이터가 생성된 측정 위치(MP)에 대응하여 상기 잔여진동을 비교할 수 있다.
다른 예로, 상기 데이터비교부(3)는 상기 데이터저장부(2)에 저장되는 상기 측정데이터를 기설정된 기준데이터와 비교함으로써, 상기 측정데이터를 비교할 수 있다. 기설정된 기준데이터는 최소값과 최대값이 존재하는 범위로 설정될 수 있다. 이때, 상기 데이터비교부(3)는 상기 측정데이터가 기설정된 기준데이터에 포함되는지 여부를 통해 상기 측정데이터를 비교할 수 있다.
먼저, 상기 데이터비교부(3)의 비교 결과, 상기 측정데이터가 기설정된 기준데이터에 포함되는 경우, 상기 측정부재(20)는 계속해서 후속하는 측정 위치(MP)로 이동하여 상기 대상물(11)을 측정할 수 있다. 또한, 상기 데이터비교부(3)의 비교 결과, 상기 측정데이터가 기설정된 기준데이터에 포함되지 않는 경우, 상기 측정데이터가 오차범위를 벗어났다고 판단하고, 상기 진동비교부(4)를 통해 상기 측정데이터가 생성된 측정 위치(MP)에 대응하여 상기 잔여진동을 비교할 수 있다.
상기 진동비교부(4)는 상기 데이터저장부(2)에 저장되는 측정데이터 중 상기 데이터비교부(3)를 통해 비교된 측정데이터가 오차범위를 벗어나는 경우, 오차범위를 벗어난 상기 측정데이터에 연계하여 상기 데이터저장부(2)에 저장된 상기 잔여진동을 비교한다.
일예로, 상기 데이터비교부(3)를 통해 비교된 측정데이터가 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 진동비교부(4)는, 오차범위를 벗어난 상기 측정데이터에 연계하여 상기 데이터저장부(2)에 저장된 상기 잔여진동을 상기 데이터저장부(2)에 저장된 다른 잔여진동과 비교할 수 있다. 이때, 상기 진동비교부(4)는 두 잔여진동의 차이가 오차 범위 내에 있는지 여부를 통해 상기 잔여진동를 비교할 수 있다.
먼저, 상기 진동비교부(4)의 비교 결과, 두 잔여진동의 차이가 오차 범위 내에 있는 경우, 상기 측정데이터는 측정 위치(MP)에서 상기 대상물(11)을 정확하게 측정한 것으로 판단하고, 상기 측정부재(20)는 계속해서 후속하는 측정 위치(MP)로 이동하여 상기 대상물(11)을 측정할 수 있다. 또한, 상기 진동비교부(4)의 비교 결과, 두 잔여진동의 차이가 오차 범위 내에 있는 경우, 상기 측정데이터는 별도의 외부 조건에 의해 오차가 발생될 수 있으므로, 상기 측정데이터에 간섭되는 외부 조건에 대하여 추가 비교를 실시할 수 있다.
그리고, 상기 진동비교부(4)의 비교 결과, 두 잔여진동의 차이가 오차 범위를 벗어나는 경우, 상기 잔여진동이 오차범위를 벗어났다고 판단하고, 상기 측정데이터는 광학측정장치의 결함에 의해 오류가 발생되었다고 판단하며, 상기 오류알림부(5)를 통해 상기 측정데이터의 오류 정보를 표시할 수 있다.
다른 예로, 상기 데이터비교부(3)를 통해 비교된 측정데이터가 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 진동비교부(4)는 오차범위를 벗어난 상기 측정데이터에 연계하여 상기 데이터저장부(2)에 저장된 상기 잔여진동을 기설정된 기준진동과 비교할 수 있다. 기설정된 기준진동은 최소값과 최대값이 존재하는 범위로 설정될 수 있다. 이때, 상기 진동비교부(4)는 상기 잔여진동이 기설정된 기준진동에 포함되는지 여부를 통해 상기 잔여진동을 비교할 수 있다.
먼저, 상기 진동비교부(4)의 비교 결과, 상기 잔여진동이 기설정된 기준진동에 포함되는 경우, 상기 측정데이터는 측정 위치(MP)에서 상기 대상물(11)을 정확하게 측정한 것으로 판단하고, 상기 측정부재(20)는 계속해서 후속하는 측정 위치(MP)로 이동하여 상기 대상물(11)을 측정할 수 있다. 또한, 상기 진동비교부(4)의 비교 결과, 상기 잔여진동이 기설정된 기준진동에 포함되는 경우, 상기 측정데이터는 별도의 외부 조건에 의해 오차가 발생될 수 있으므로, 상기 측정데이터에 간섭되는 외부 조건에 대하여 추가 비교를 실시할 수 있다.
그리고 상기 진동비교부(4)의 비교 결과, 상기 잔여진동이 기설정된 기준진동에 포함되지 않는 경우, 상기 잔여진동이 오차범위를 벗어났다고 판단하고, 상기 측정데이터는 광학측정장치의 결함에 의해 오류가 발생되었다고 판단하며, 상기 오류알림부(5)를 통해 상기 측정데이터의 오류 정보를 표시할 수 있다.
상기 오류알림부(5)는 상기 진동비교부(4)를 거쳐 상기 정반(10)에 남아있는 상기 잔여진동이 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 측정데이터의 오류 정보를 표시한다. 여기서, 상기 측정데이터의 오류 정보는 빛, 소리, 문자 중 적어도 어느 하나로 표시될 수 있다.
상술한 데이터 평가장치(DID)는 상기 정반(10)을 다수로 구획하고, 각각의 구획영역에서 기준데이터와 기준진동을 다르게 적용함으로서, 기설정된 측정데이터와 기설정된 기준진동의 변화를 한정할 수 있다.
일예로, 상기 정반(10)은 도 4에 도시된 바와 같이 상기 진동절연부(50)와 상기 진동감쇠부(40)의 설치 위치에 따라 가상의 구획선(12)으로 구획되어 다수의 구획영역을 형성한다. 다른 예로, 상기 정반(10)은 상기 겐트리(30)의 설치 구조 또는 상기 측정부재(20)의 이동 형태 등에 따라 가상의 구획선(12)으로 구획되어 다수의 구획영역을 형성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서 상기 구획영역은 도 4에 도시된 바와 같이 가상의 구획선(12)에 의해 상기 진동절연부(50)와 상기 진동감쇠부(40)가 배치되는 4개의 구획영역(B1, B3, B7, B9)과, 상기 정반(10)의 가장자리를 따라 상기 4개의 구획영역(B1, B3, B7, B9) 사이에 배치되는 4개의 구획영역(B2, B4, B6, B8)과, 상기 정반(10)의 중심 부분에 배치되는 1개의 구획영역(B5)로 구분할 수 있다.
이에 따라, 다수의 상기 구획영역에 측정하고자 하는 측정 위치(MP)가 포함되는 경우, 해당 구획영역에서의 기설정된 기준데이터와 기설정된 기준진동을 적용함으로써, 상기 정반(10)에 남아 있는 잔여진동을 세분화하고, 상기 측정데이터의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
지금부터는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학측정장치의 데이터 평가방법에 대하여 설명한다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학측정장치의 데이터 평가방법을 도시한 순서도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 광학측정장치의 데이터 평가방법은 상기 측정부재(20)가 상기 겐트리(30)에서 이동하면서 상기 정반(10)에 안착된 대상물(11)을 측정하는 광학측정장치에서 상기 대상물(11)의 측정에 따른 측정데이터를 평가하는 방법으로, 상기 측정구간(SZ)에서 상기 대상물(11)의 측정에 따른 측정데이터를 평가한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 광학측정장치의 데이터 평가장치(DID)를 이용하여 광학측정장치에서 상기 대상물(11)의 측정에 따른 측정데이터를 평가한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 광학측정장치의 데이터 평가방법은 연계저장단계(S2)와, 데이터비교단계(S3)와, 진동비교단계(S4)와, 오류알림단계(S5)를 포함하고, 신호감지단계(S1)를 더 포함한다.
상기 연계저장단계(S2)에 앞서, 상기 신호감지단계(S1)를 통해 데이터 비교에 필요한 데이터들을 생성할 수 있다. 상기 신호감지단계(S1)는 데이터측정단계(S1-1)를 통해 상기 대상물(11)을 측정함으로써, 상기 측정데이터를 생성할 수 있다. 상기 데이터측정단계(S1-1)는 상기 측정구간(SZ)에 대하여 측정하고자 하는 측정 위치(MP)에서 상기 측정부재(20)를 이용하여 상기 대상물(11)을 측정함으로써, 상기 측정데이터를 생성할 수 있다.
또한, 상기 신호감지단계(S1)는 진동감지단계(S1-2)를 통해 상기 정반(10)에서 발생되는 진동을 감지한다. 상기 진동감지단계(S1-2)는 상기 진동감지부(1)가 상기 능동제진유닛에 구비되어 상기 정반(10)에 발생되는 진동을 감지할 수 있다. 상기 진동감지부(1)는 상기 능동제진유닛에 내장될 수 있다. 또한, 상기 진동감지단계(S1-2)는 상기 진동감지부(1)가 상기 정반(10)에 구비되어 상기 정반(10)에서 발생되는 진동 중 측정하고자 하는 측정 위치(MP)에 상기 측정부재(20)가 정지됨에 따라 상기 정반(10)에 남아있는 상기 잔여진동을 감지할 수 있다. 상기 진동감지단계(S1-2)는 상기 능동제진유닛(상기 진동절연부(50)와 상기 진동감쇠부(40))의 연계에 따라 상기 정반(10)에 남아있는 상기 잔여진동을 감지할 수 있다.
그러면, 상기 진동감지단계(S1-2)는 상기 측정부재(20)의 정지와 함께 상기 정반(10)에 남아있는 잔여진동을 감지하여 상기 데이터저장부(2)에 전달한다.
상기 진동감지단계(S1-2)는 상기 측정부재(20)의 동작 유무에 따라 측정하고자 하는 측정 위치(MP)에서 상기 측정부재(20)가 정지한 시점부터 다른 측정 위치(MP)로 상기 측정부재(20)가 이동하기 전까지 상기 정반(10)에 남아있는 잔여진동을 감지할 수 있다.
일예로, 상기 측정부재(20)가 정지한 시점에서 구동수단(미도시)의 정지 신호 또는 상기 진동감쇠부(40)의 동작 신호를 바탕으로 상기 측정부재(20)가 정지한 시점을 확인할 수 있고, 상기 측정부재(20)가 움직이는 시점에서 구동수단(미도시)의 동작 신호 또는 상기 진동감쇠부(40)의 정지 신호를 바탕으로 상기 측정부재(20)가 이동하기 전 시점을 확인할 수 있다.
상기 연계저장단계(S2)는 상기 측정구간(SZ)에 대하여 측정하고자 하는 측정 위치(MP)에서 상기 측정부재(20)가 상기 대상물(11)을 측정함에 따라 상기 측정부재(20)에서 전달되는 상기 측정데이터가 저장된다. 또한, 상기 연계저장단계(S2)는 상기 측정구간(SZ)에서 상기 정반(10)에 남아있는 상기 잔여진동이 상기 측정데이터에 연계하여 저장된다.
그러면, 상기 연계저장단계(S2)를 거침에 따라 상기 데이터저장부(2)에는 측정 시간과, 측정 위치(MP)와, 상기 측정데이터와, 상기 잔여진동의 크기(진폭)가 상호 연관성을 나타내면서 함께 저장된다.
상기 데이터비교단계(S3)는 상기 연계저장단계(S2)를 거쳐 상기 데이터저장부(2)에 저장되는 상기 측정데이터를 비교한다.
일예로, 상기 데이터비교단계(S3)는 상기 연계저장단계(S2)를 거쳐 저장되는 상기 측정데이터를 다른 측정데이터와 비교할 수 있다. 이때, 상기 데이터비교단계(S3)는 두 측정데이터의 차이가 오차 범위 내에 있는지 여부를 통해 상기 측정데이터를 비교할 수 있다.
먼저, 상기 데이터비교단계(S3)를 거침에 따라, 두 측정데이터의 차이가 오차 범위 내에 있는 경우, 상기 측정부재(20)는 계속해서 후속하는 측정 위치(MP)로 이동하여 상기 대상물(11)을 측정할 수 있다. 또한, 상기 데이터비교단계(S3)를 거침에 따라, 두 측정데이터의 차이가 오차 범위를 벗어나는 경우, 상기 측정데이터가 오차범위를 벗어났다고 판단하고, 상기 진동비교단계(S4)를 실시함으로써, 상기 측정데이터가 생성된 측정 위치(MP)에 대응하여 상기 잔여진동을 비교할 수 있다.
다른 예로, 상기 데이터비교단계(S3)는 상기 연계저장단계(S2)를 거쳐 저장되는 상기 측정데이터를 기설정된 기준데이터와 비교함으로써, 상기 측정데이터를 비교할 수 있다. 기설정된 기준데이터는 최소값과 최대값이 존재하는 범위로 설정될 수 있다. 이때, 상기 데이터비교단계(S3)는 상기 측정데이터가 기설정된 기준데이터에 포함되는지 여부를 통해 상기 측정데이터를 비교할 수 있다.
먼저, 상기 데이터비교단계(S3)를 거침에 따라, 상기 측정데이터가 기설정된 기준데이터에 포함되는 경우, 상기 측정부재(20)는 계속해서 후속하는 측정 위치(MP)로 이동하여 상기 대상물(11)을 측정할 수 있다. 또한, 상기 데이터비교단계(S3)를 거침에 따라, 상기 측정데이터가 기설정된 기준데이터에 포함되지 않는 경우, 상기 측정데이터가 오차범위를 벗어났다고 판단하고, 상기 진동비교단계(S4)를 실시함으로써, 상기 측정데이터가 생성된 측정 위치(MP)에 대응하여 상기 잔여진동을 비교할 수 있다.
상기 진동비교단계(S4)는 상기 연계저장단계(S2)를 거쳐 저장되는 측정데이터 중 상기 데이터비교단계(S3)를 통해 비교된 측정데이터가 오차범위를 벗어나는 경우, 오차범위를 벗어난 상기 측정데이터에 연계하여 상기 연계저장단계(S2)를 거쳐 저장된 상기 잔여진동을 비교한다.
일예로, 상기 데이터비교단계(S3)를 통해 비교된 측정데이터가 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 진동비교단계(S4)는, 오차범위를 벗어난 상기 측정데이터에 연계하여 상기 연계저장단계(S2)를 거쳐 저장된 상기 잔여진동을 상기 연계저장단계(S2)를 거쳐 저장된 다른 잔여진동과 비교할 수 있다. 이때, 상기 진동비교단계(S4)는 두 잔여진동의 차이가 오차 범위 내에 있는지 여부를 통해 상기 잔여진동을 비교할 수 있다.
먼저, 상기 진동비교단계(S4)를 거침에 따라, 두 잔여진동의 차이가 오차 범위 내에 있는 경우, 상기 측정데이터는 측정 위치(MP)에서 상기 대상물(11)을 정확하게 측정한 것으로 판단하고, 상기 측정부재(20)는 계속해서 후속하는 측정 위치(MP)로 이동하여 상기 대상물(11)을 측정할 수 있다. 또한, 상기 진동비교단계(S4)를 거침에 따라, 두 잔여진동의 차이가 오차 범위 내에 있는 경우, 상기 측정데이터는 별도의 외부 조건에 의해 오차가 발생될 수 있으므로, 상기 측정데이터에 간섭되는 외부 조건에 대하여 추가 비교를 실시할 수 있다.
그리고, 상기 진동비교단계(S4)를 거침에 따라, 두 잔여진동의 차이가 오차 범위를 벗어나는 경우, 상기 잔여진동이 오차범위를 벗어났다고 판단하고, 상기 측정데이터는 광학측정장치의 결함에 의해 오류가 발생되었다고 판단하며, 상기 오류알림단계(S5)를 실시함으로써, 상기 측정데이터의 오류 정보를 표시할 수 있다.
다른 예로, 상기 데이터비교단계(S3)를 통해 비교된 측정데이터가 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 진동비교단계(S4)는 오차범위를 벗어난 상기 측정데이터에 연계하여 상기 연계저장단계(S2)를 거쳐 저장된 상기 잔여진동을 기설정된 기준진동과 비교할 수 있다. 기설정된 기준진동은 최소값과 최대값이 존재하는 범위로 설정될 수 있다. 이때, 상기 진동비교단계(S4)는 상기 잔여진동이 기설정된 기준진동에 포함되는지 여부를 통해 상기 잔여진동을 비교할 수 있다.
먼저, 상기 진동비교단계(S4)를 거침에 따라, 상기 잔여진동이 기설정된 기준진동에 포함되는 경우, 상기 측정데이터는 측정 위치(MP)에서 상기 대상물(11)을 정확하게 측정한 것으로 판단하고, 상기 측정부재(20)는 계속해서 후속하는 측정 위치(MP)로 이동하여 상기 대상물(11)을 측정할 수 있다. 또한, 상기 진동비교단계(S4)를 거침에 따라, 상기 잔여진동이 기설정된 기준진동에 포함되는 경우, 상기 측정데이터는 별도의 외부 조건에 의해 오차가 발생될 수 있으므로, 상기 측정데이터에 간섭되는 외부 조건에 대하여 추가 비교를 실시할 수 있다.
그리고, 상기 진동비교단계(S4)를 거침에 따라, 상기 잔여진동이 기설정된 기준진동에 포함되지 않는 경우, 상기 잔여진동이 오차범위를 벗어났다고 판단하고, 상기 측정데이터는 광학측정장치의 결함에 의해 오류가 발생되었다고 판단하며, 상기 오류알림단계(S5)를 실시함으로써, 상기 측정데이터의 오류 정보를 표시할 수 있다.
상기 오류알림단계(S5)는 상기 진동비교단계(S4)를 거쳐 상기 정반(10)에 남아있는 상기 잔여진동이 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 측정데이터의 오류 정보를 표시한다. 여기서 상기 측정데이터의 오류 정보는 빛, 소리, 문자 중 적어도 어느 하나로 표시될 수 있다.
상술한 데이터 평가방법에서 상기 정반(10)을 다수로 구획하고, 각각의 구획 영역에서 기준데이터와 기준진동을 다르게 적용함으로서, 기설정된 측정데이터와 기설정된 기준진동의 변화를 한정할 수 있다.
일예로, 상기 정반(10)은 도 4에 도시된 바와 같이 상기 진동절연부(50)와 상기 진동감쇠부(40)의 설치 위치에 따라 가상의 구획선(12)으로 구획되어 다수의 구획영역을 형성한다. 다른 예로, 상기 정반(10)은 상기 겐트리(30)의 설치 구조 또는 상기 측정부재(20)의 이동 형태 등에 따라 가상의 구획선(12)으로 구획되어 다수의 구획영역을 형성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서 상기 구획영역은 도 4에 도시된 바와 같이 가상의 구획선(12)에 의해 상기 진동절연부(50)와 상기 진동감쇠부(40)가 배치되는 4개의 구획영역(B1, B3, B7, B9)과, 상기 정반(10)의 가장자리를 따라 상기 4개의 구획영역(B1, B3, B7, B9) 사이에 배치되는 4개의 구획영역(B2, B4, B6, B8)과, 상기 정반(10)의 중심 부분에 배치되는 1개의 구획영역(B5)로 구분할 수 있다.
이에 따라, 다수의 상기 구획영역에 측정하고자 하는 측정 위치(MP)가 위치하는 경우, 해당 구획영역에서의 기설정된 기준데이터와 기설정된 기준진동을 적용함으로써, 상기 정반(10)에 남아 있는 잔여진동을 세분화하고, 상기 측정데이터의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
상술한 광학측정장치의 데이터 평가장치 및 데이터 평가방법에 따르면, 상기 측정부재(20)가 상기 겐트리(30)에서 움직이면서 상기 정반(10)에 안착된 상기 대상물(11)을 측정하는 광학측정장치에서 상기 대상물(11)의 측정에 따른 상기 측정데이터를 평가하여 상기 측정데이터의 품질 신뢰성을 확보할 수 있도록 한다.
특히, 광학측정장치가 동작되는 과정에서 상기 측정부재(20)의 동작에 의한 가감속 및 무게 중심의 변동 등이 상기 정반(10)을 가진함에 따라, 상기 정반(10)의 진동을 감쇠시키는 능동제진유닛에 구비된 상기 진동감지부(1)를 통해 잔여진동의 크기(진폭)를 모니터링 함으로서, 간섭계로 이루어진 상기 측정부재(20)가 측정하는 측정데이터에 측정 오류가 발생했을 때, 그 원인을 파악할 수 있다.
또한, 상기 측정부재(20)의 동작과 연계하여 상기 잔여진동이 저장되므로, 각각의 상기 측정데이터에 대한 상기 잔여진동을 구분할 수 있고, 비교 대상을 특정시켜 오류가 있는 부분을 정확하게 찾아낼 수 있다.
또한, 상기 측정부재(20)의 특정 동작에서 상기 잔여진동을 측정하므로, 상기 측정부재(20)의 움직임을 파악할 수 있고, 상기 측정부재(20)의 이동 오차를 줄일 수 있으며, 상기 대상물(11)의 측정에 소요되는 시간을 줄이고, 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 상기 측정부재(20)의 움직임에 따라 상기 정반(10)에서 발생되는 상기 잔여진동을 구분할 수 있고, 기설정된 기준데이터와 기설정된 기준진동을 구분하여 상기 대상물(11)을 더욱 정밀하게 측정할 수 있다.
상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.
MP: 측정 위치 MZ: 이동구간 SZ: 측정구간
10: 정반 11: 대상물 12: 구획선
20: 측정부재 30: 겐트리 40: 진동감쇠부
50: 진동절연부 DID: 데이터 평가장치
1: 진동감지부 2: 데이터저장부 3: 데이터비교부
4: 진동비교부 5: 오류알림부 S1: 신호감지단계
S1-1: 데이터측정단계 S1-2: 진동감지단계 S2: 연계저장단계
S3: 데이터비교단계 S4: 진동비교단계 S5: 오류알림단계

Claims (8)

  1. 측정부재가 겐트리에서 이동하면서 정반에 안착된 대상물을 측정하는 광학측정장치에서 상기 대상물의 측정에 따른 측정데이터를 평가하는 광학측정장치의 데이터 평가장치이고,
    측정구간에 대하여 측정하고자 하는 측정 위치에서 상기 측정부재가 상기 대상물을 측정함에 따라 상기 측정부재에서 전달되는 측정데이터와, 상기 측정구간에서 상기 정반에 남아있는 잔여진동이 상기 측정데이터에 연계하여 저장되는 데이터저장부;
    상기 데이터저장부에 저장되는 상기 측정데이터를 다른 측정데이터와 비교하거나, 상기 데이터저장부에 저장되는 상기 측정데이터를 기설정된 기준데이터와 비교하는 데이터비교부;
    상기 데이터저장부에 저장되는 상기 측정데이터 중 상기 데이터비교부를 통해 비교된 측정데이터가 오차범위를 벗어나는 경우, 오차범위를 벗어난 상기 측정데이터에 연계하여 상기 데이터저장부에 저장된 상기 잔여진동을 상기 데이터저장부에 저장된 다른 잔여진동과 비교하거나, 오차범위를 벗어난 상기 측정데이터에 연계하여 상기 데이터저장부에 저장된 상기 잔여진동을 기설정된 기준진동과 비교하는 진동비교부; 및
    상기 진동비교부를 거쳐 상기 정반에서 발생되는 상기 잔여진동이 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 측정데이터의 오류 정보를 표시하는 오류알림부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학측정장치의 데이터 평가장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 정반에 결합된 능동제진유닛에 구비되어 상기 정반에 발생되는 진동을 감지하거나, 상기 정반에 구비되어 상기 정반에 발생되는 진동 중 상기 측정구간에서 상기 정반에 남아있는 잔여진동을 감지하는 진동감지부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학측정장치의 데이터 평가장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 진동감지부는,
    상기 측정부재의 동작신호에 따라 측정하고자 하는 측정 위치에서 상기 측정부재가 정지한 시점부터 다른 측정 위치로 상기 측정부재가 이동하기 전까지 상기 정반에 남아있는 잔여진동을 감지하는 것을 특징으로 하는 광학측정장치의 데이터 평가장치.
  4. 제3항에 있어서,
    대상물의 측정 위치에 따라 상기 정반을 다수로 구획하고, 각각의 구획 영역에서 기설정된 기준데이터와 기설정된 기준진동을 다르게 적용하는 것을 특징으로 하는 광학측정장치의 데이터 평가장치.
  5. 측정부재가 겐트리에서 이동하면서 정반에 안착된 대상물을 측정하는 광학측정장치에서 상기 대상물의 측정에 따른 측정데이터를 평가하는 광학측정장치의 데이터 평가방법이고,
    측정구간에 대하여 측정하고자 하는 측정 위치에서 상기 측정부재가 상기 대상물을 측정함에 따라 상기 측정부재에서 전달되는 측정데이터와, 상기 측정구간에서 상기 정반에 남아있는 잔여진동이 상기 측정데이터에 연계하여 저장되는 연계저장단계;
    상기 연계저장단계를 통해 저장되는 상기 측정데이터를 다른 측정데이터와 비교하거나, 상기 연계저장단계를 통해 저장되는 상기 측정데이터를 기설정된 기준데이터와 비교하는 데이터비교단계;
    상기 연계저장단계를 통해 저장되는 상기 측정데이터 중 상기 데이터비교단계를 통해 비교된 측정데이터가 오차범위를 벗어나는 경우, 오차범위를 벗어난 상기 측정데이터에 연계하여 상기 연계저장단계를 거쳐 저장된 상기 잔여진동을 상기 연계저장단계를 거쳐 저장된 다른 잔여진동과 비교하거나, 오차범위를 벗어난 상기 측정데이터에 연계하여 상기 연계저장단계를 거쳐 저장된 상기 잔여진동을 기설정된 기준진동과 비교하는 진동비교단계; 및
    상기 진동비교단계를 거쳐 상기 정반에서 발생되는 상기 잔여진동이 오차범위를 벗어나는 경우, 상기 측정데이터의 오류 정보를 표시하는 오류알림단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학측정장치의 데이터 평가방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 연계저장단계 이전에, 상기 정반에 발생되는 진동을 감지하거나, 상기 정반에 발생되는 진동 중 상기 측정구간에서 상기 정반에 남아있는 잔여진동을 감지하는 진동감지단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학측정장치의 데이터 평가방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 진동감지단계는,
    상기 측정부재의 동작신호에 따라 측정하고자 하는 측정 위치에서 상기 측정부재가 정지한 시점부터 다른 측정 위치로 상기 측정부재가 이동하기 전까지 상기 정반에 남아있는 잔여진동을 감지하는 것을 특징으로 하는 광학측정장치의 데이터 평가방법.
  8. 제7항에 있어서,
    대상물의 측정 위치에 따라 상기 정반을 다수로 구획하고, 각각의 구획 영역에서 기설정된 기준데이터와 기설정된 기준진동을 다르게 적용하는 것을 특징으로 하는 광학측정장치의 데이터 평가방법.
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