KR101757796B1 - Rubbing apparatus - Google Patents

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타카히로 후쿠나가
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가부시키가이샤이이누마게이지세이사쿠쇼
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Abstract

글라스 기판에 대하여 상대이동되어, 글라스 기판 위의 배향막의 표면을 러빙처리하는 러빙장치로서, 각각 프레임에 의해 회전이 자유롭게 지지된 복수의 러빙롤러와, 복수의 러빙롤러의 글라스 기판과 러빙장치의 상대이동방향에 대한 러빙각도를 같은 각도로 동시에 설정할 수 있는 각도설정기구를 구비한다. 각도설정기구는, 복수의 프레임과 회전운동이 가능하게 맞물리는 연결기구와, 복수의 프레임의 평행을 유지하는 평행유지수단을 포함한다. 연결기구는, 프레임과의 맞물림부가 글라스 기판과 러빙장치의 상대이동방향과 같은 방향으로 나란하게 배치된다.A rubbing apparatus for rubbing a surface of an alignment film on a glass substrate relative to a glass substrate, comprising: a plurality of rubbing rollers each rotatably supported by a frame; and a plurality of rubbing rollers And an angle setting mechanism capable of setting the rubbing angle with respect to the moving direction at the same angle at the same time. The angle setting mechanism includes a connecting mechanism for engaging with the plurality of frames so as to be rotatable and a parallel holding unit for holding parallelism of the plurality of frames. The connecting mechanism is arranged so that the engaging portion with the frame is arranged in the same direction as the relative movement direction of the glass substrate and the rubbing device.

Description

러빙장치{RUBBING APPARATUS}RUBBING APPARATUS

본 발명은 액정표시장치의 제조공정에 있어서, 기판 위의 배향막에 러빙롤러를 이용하여 러빙처리를 하는 러빙장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a rubbing apparatus for rubbing an alignment film on a substrate using a rubbing roller in a manufacturing process of a liquid crystal display device.

액정표시장치에서는 2장의 글라스 기판 사이에 액정층을 설치하고, 2장의 글라스 기판의 내면에는, 액정층에 전계를 걸기 위한 투명전극이나, 전계를 온오프하기 위한 스위칭 소자나, 컬러표시를 하기 위한 컬러필터 및 액정분자를 배향하기 위한 배향막 등이 각각 형성되어 있다. 배향막은 기판 위에 도포된 폴리이미드 등의 수지층으로 이루어지고, 배향막이 경화한 후에 러빙장치에 의해 러빙처리함으로써 액정분자가 소정의 방향으로 배향되도록 되어 있다.In the liquid crystal display device, a liquid crystal layer is provided between two glass substrates, and on inner surfaces of the two glass substrates, a transparent electrode for applying an electric field to the liquid crystal layer, a switching element for turning on and off an electric field, A color filter, and an alignment film for aligning the liquid crystal molecules. The alignment layer is made of a resin layer such as polyimide coated on the substrate, and after the alignment layer is cured, the liquid crystal molecules are oriented in a predetermined direction by rubbing with a rubbing device.

러빙장치는, 글라스 기판을 놓고 고정한 스테이지의 위쪽에서 회전이 자유롭게 양단이 지지된 러빙롤러를 구비하고 있으며, 러빙롤러의 표면에는 양면 테이프 등에 의해 기모포(起毛布)(러빙포)가 감겨 있다. 러빙롤러를 회전시키면서 그 기모부분을 글라스 기판 위의 배향막의 표면에 접촉시켜서 일정한 방향으로 문지름으로써 러빙처리가 이루어진다. 일본특허공개공보 2004-302093호에는, 이와 같은 러빙장치의 일례가 개시되어 있다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 일본특허공개공보 2004-302093호의 러빙장치(110)는 스테이지(111)를 걸쳐서 설치된 문(門)형상의 프레임(115)을 구비하고 있으며, 러빙롤러(112)는 프레임(115)에 회전이 자유롭게 지지되어 있다. 프레임(115)은, 그 대향하는 내측면(115a)에 따라 승강이 자유롭게 설치된 'ㄷ'자 형상의 승강부재(118)와, 승강부재(118)를 연직축선(Z축)에 따라 승강시키는 유체 실린더, 바람직하게는 에어 실린더(116)를 구비하고, 러빙롤러(112)는 축받이(113a, 113b)를 통하여 승강부재(118)에 지지되어 있다. 프레임(115)에는 구동모터(117)가 설치되어 있고, 러빙롤러(112)는 프레임(115) 내부에 설치된 벨트와 도르래로 이루어지는 전달장치(도시하지 않음)에 의해 원하는 회전속도, 회전방향으로 회전구동된다(일본특허공개공보 2004-302093호의 단락 0012 참조).The rubbing device is provided with a rubbing roller supported at its both ends freely rotatable above the stage on which the glass substrate is placed and fixed, and a rubbing cloth (rubbing cloth) is wound on the surface of the rubbing roller with a double-sided tape or the like. The rubbing process is performed by rotating the rubbing roller while rubbing the rubbed portion in contact with the surface of the alignment film on the glass substrate in a predetermined direction. Japanese Patent Laying-Open No. 2004-302093 discloses an example of such a rubbing apparatus. 5, the rubbing device 110 of Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2004-302093 has a frame 115 shaped like a gate and provided over the stage 111, (Not shown). The frame 115 includes a lifting member 118 having a U shape and a lifting member 118 vertically movable along the inner side surface 115a thereof and a fluid cylinder 118 for lifting the lifting member 118 up and down along the vertical axis And preferably an air cylinder 116. The rubbing roller 112 is supported on the elevating member 118 through bearings 113a and 113b. The frame 115 is provided with a driving motor 117. The rubbing roller 112 is rotated at a desired rotational speed by a belt provided inside the frame 115 and a pulley- (See paragraph 0012 of Japanese Patent Laid-Open No. 2004-302093).

러빙처리는 예를 들어, 글라스 기판의 연신(延伸)방향 또는 반송방향(MD방향)에 직교하는 방향에 대하여 러빙롤러의 회전축을 임의의 각도(러빙각도)로 기울여서 실시할 수 있다(바이어스 러빙 처리). 러빙각도는 소정의 각도로 설정되는데, -45°~+45°의 각도 범위로 설정하는 것이 바람직하고, 이렇게 함으로써 배향막에 대하여 균일한 배향상태를 형성하고, 화면표시의 열화나 줄무늬 얼룩을 억제하여, 액정표시의 고화질화를 도모할 수 있다. 러빙각도를 설정하는 방법은, 스테이지 위의 글라스 기판에 대하여 러빙롤러를 기울이는 방법이나, 러빙롤러에 대하여 글라스 기판을 기울이는 방법 등이 있다. 글라스 기판에 대하여 러빙롤러를 기울여서 러빙하는 경우, 글라스 기판과 러빙롤러 사이의 상대적인 반송속도에 대하여 러빙롤러의 회전속도가 매우 크기 때문에, 러빙방향은 러빙롤러의 회전방향에 개략 일치하는 방향이 된다.The rubbing treatment can be carried out by inclining the rotation axis of the rubbing roller at an arbitrary angle (rubbing angle) with respect to, for example, a direction in which the glass substrate is stretched (stretched) or orthogonal to the transport direction (MD direction) ). The rubbing angle is set to a predetermined angle. It is preferable to set the rubbing angle to an angle range of -45 ° to + 45 °. By doing so, a uniform alignment state is formed with respect to the alignment film, and deterioration of screen display and streak- , It is possible to improve the quality of the liquid crystal display. The method of setting the rubbing angle includes a method of tilting the rubbing roller against the glass substrate on the stage or a method of tilting the glass substrate with respect to the rubbing roller. When the rubbing roller is inclined against the glass substrate and rubbed, the rubbing direction is substantially coincident with the rotating direction of the rubbing roller because the rubbing roller rotates at a relatively high speed relative to the conveying speed between the rubbing roller and the glass substrate.

러빙처리에서는 러빙밀도(러빙강도), 러빙처리속도의 향상을 도모하기 위하여, 복수의 러빙롤러로 처리하는 경우가 있다. 도 6에는 스테이지(120) 상에서 프레임(123)에 지지된 2개의 러빙롤러(125)가 나타나 있는데, 3개 이상의 러빙롤러로 처리할 수도 있다. 복수의 러빙롤러로 처리하는 경우, 복수의 러빙롤러는 서로 평행하게 설치되고, 소정의 러빙각도로 설정된다. 도시하는 2개의 러빙롤러(125)는, 프레임(123)의 대향하는 내측면(124a)에 따라서 승강이 자유롭게 설치된 승강부재(도시하지 않음)에 회전이 자유롭게 지지되어 있다. 도시하지 않은 글라스 기판은 러빙롤러(125)의 위쪽에 배치되고, 러빙롤러(125)를 회전시키면서 그 기모부분을 글라스 기판의 배향막의 표면에 접촉시키고, 러빙롤러(125)에 대하여 글라스 기판을 수평방향으로 이동시킴으로써 러빙처리가 이루어진다.In order to improve the rubbing density (rubbing strength) and the rubbing treatment speed in the rubbing treatment, a plurality of rubbing rollers may be used. 6 shows two rubbing rollers 125 supported on the frame 123 on the stage 120, and may be processed by three or more rubbing rollers. When treating with a plurality of rubbing rollers, a plurality of rubbing rollers are provided parallel to each other and set at a predetermined rubbing angle. Two illustrated rubbing rollers 125 are rotatably supported by an elevating member (not shown) which is freely lifted and lowered along the opposing inner surface 124a of the frame 123. A glass substrate (not shown) is disposed above the rubbing roller 125, and the rubbing roller 125 is rotated to bring the brushed portion thereof into contact with the surface of the alignment film of the glass substrate, The rubbing treatment is carried out.

하지만, 러빙장치를 위쪽에서 본 도 7a 내지 도 7d에 나타내는 바와 같이, 러빙롤러(125)에 러빙각도(θ)를 주어 설치하고, 동일 사이즈(폭 1100mm, 길이 1300mm)의 글라스 기판(120)을 러빙하는 경우, 러빙롤러(125)의 개수가 늘어남에 따라 러빙롤러(125)의 치수를 늘릴 필요가 있었다. 이는, 복수의 러빙롤러(125)의 양단부를 맞추어 러빙각도(θ)(예를 들어, θ=45°)로 복수의 러빙롤러(125)를 서로 평행하게 설치하여야 하기 때문이며, 복수의 러빙롤러(125)의 중심을 통과하는 가상직선(Im)과 글라스 기판(120)의 연신방향(MD)이 이루는 각도가 러빙각도(θ)와 같아지기 때문이다(도 7d 등 참조). 예를 들어, 도 7a에 나타내는 러빙장치에 있어서, 길이(L1)가 2000mm인 러빙롤러(125)를 사용하는 경우, 도 7b에 나타내는 2개의 러빙롤러(125)를 사용하는 러빙장치에서는 러빙롤러(125)의 길이(L2)가 2100mm, 도 7c에 나타내는 3개의 러빙롤러(125)를 사용하는 러빙장치에서는 러빙롤러(125)의 길이(L3)가 2300mm, 도 7d에 나타내는 4개의 러빙롤러(125)를 사용하는 러빙장치에서는 러빙롤러(125)의 길이(L4)가 2500mm가 된다. 이와 같이, 러빙밀도 및 러빙처리속도를 향상시키기 위하여 사용하는 러빙롤러의 개수를 늘리면, 개개의 러빙롤러의 치수를 늘릴 필요가 있었다. 이 때문에, 기존의 러빙롤러를 사용할 수 없어서, 장척의 러빙롤러를 새로 준비해야 하는 동시에, 장척의 러빙롤러에 대응하는 러빙장치를 새로 제작하여야 했다. 새로운 러빙장치는 대형화되고, 넓은 설치공간을 필요로 하는 등의 문제가 있었다. 또한, 러빙롤러의 치수를 늘리면, 러빙롤러의 표면에 붙이는 천부착장치를 그대로 이용할 수 없어서, 장척의 러빙롤러에 적합한 장치를 제작할 필요가 있었다. 러빙롤러의 장척화에 따라, 러빙롤러 자체의 휨도 커지고, 러빙 정밀도가 떨어질 우려도 있었다.7A to 7D, the rubbing roller 125 is provided with a rubbing angle?, And the glass substrate 120 having the same size (1100 mm in width and 1300 mm in length) In the case of rubbing, it is necessary to increase the size of the rubbing roller 125 as the number of the rubbing rollers 125 increases. This is because a plurality of rubbing rollers 125 should be provided parallel to each other at a rubbing angle? (For example,? = 45 degrees) by fitting both ends of a plurality of rubbing rollers 125, The angle formed by the virtual straight line Im passing through the center of the glass substrate 120 and the stretching direction MD of the glass substrate 120 becomes equal to the rubbing angle? For example, in the rubbing apparatus shown in Fig. 7A, when the rubbing roller 125 having the length L1 of 2000 mm is used, in the rubbing apparatus using the two rubbing rollers 125 shown in Fig. 7B, The length L 2 of the rubbing roller 125 is 2100 mm and the length L 3 of the rubbing roller 125 is 2300 mm in the rubbing apparatus using the three rubbing rollers 125 shown in Fig. ), The length L4 of the rubbing roller 125 becomes 2500 mm. As described above, when the number of the rubbing rollers used is increased in order to improve the rubbing density and the rubbing processing speed, it has been necessary to increase the dimensions of the individual rubbing rollers. For this reason, the conventional rubbing roller can not be used, so that a long rubbing roller has to be newly prepared and a rubbing device corresponding to a long rubbing roller has to be newly produced. A new rubbing device has been enlarged and a large space is required. Further, if the size of the rubbing roller is increased, a cloth attaching device attached to the surface of the rubbing roller can not be used as it is, and it is necessary to manufacture a device suitable for a long rubbing roller. With the lengthening of the rubbing roller, the warping of the rubbing roller itself is also increased, and the rubbing accuracy may be lowered.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 복수의 러빙롤러를 사용하고, 글라스 기판에 대하여 러빙롤러를 기울여서 러빙처리를 하는 경우에도 장치가 대형이 되지 않고, 이미 싱글롤러 러빙장치를 소유하는 경우에는, 복수롤러 러빙장치 도입에 있어서, 기존의 러빙롤러나 부대장치를 그대로 사용할 수 있는 러빙장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide an image forming apparatus in which, even when a plurality of rubbing rollers are used and the rubbing process is performed by tilting the rubbing roller against a glass substrate, , It is an object of the present invention to provide a rubbing device which can use a conventional rubbing roller or an auxiliary device as it is in the introduction of a multiple roller rubbing device.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면, 글라스 기판에 대하여 상대이동되어, 글라스 기판 위의 배향막의 표면을 러빙처리하는 러빙장치로서, 각각 프레임에 의해 회전이 자유롭게 지지된 복수의 러빙롤러와, 복수의 러빙롤러의 글라스 기판과 러빙장치의 상대이동방향에 대한 러빙각도를 같은 각도로 동시에 설정할 수 있는 각도설정기구를 구비하고, 각도설정기구가, 복수의 프레임과 회전운동이 가능하게 맞물리는 연결기구와, 복수의 프레임의 평행을 유지하는 평행유지수단을 포함하고, 연결기구는, 프레임과의 맞물림부가 글라스 기판과 러빙장치의 상대이동방향과 같은 방향으로 나란하게 배치되는 것을 특징으로 하는 러빙장치가 제공된다.In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a rubbing apparatus for rubbing a surface of an alignment film on a glass substrate, the rubbing roller being relatively movable with respect to a glass substrate, And an angle setting mechanism for simultaneously setting the rubbing angles of the plurality of rubbing rollers relative to the relative movement directions of the glass substrate and the rubbing device, wherein the angle setting mechanism includes a connection And a connecting mechanism is arranged such that the engaging portion with the frame is arranged in parallel with the relative movement direction of the glass substrate and the rubbing device, Is provided.

상기 러빙장치에 있어서, 러빙롤러를 같은 길이로 하는 것이 바람직하다.In the rubbing apparatus, it is preferable that the rubbing roller has the same length.

또한, 상기 러빙장치에 있어서, 연결기구는 러빙롤러의 중앙위치에서 복수의 프레임과 회전운동이 가능하게 맞물리는 것이 바람직하다.In addition, in the rubbing device, it is preferable that the connecting mechanism is rotatably engaged with the plurality of frames at a central position of the rubbing roller.

상기 러빙장치에 있어서, 연결기구는, 복수의 프레임에 각각 설치된 돌기와, 각 돌기가 맞물리는 연결 플레이트를 포함하여 이루어질 수도 있다.In the rubbing device, the connecting mechanism may include a projection provided for each of the plurality of frames, and a connecting plate for engaging the projections.

상기 러빙장치에 있어서, 평행유지수단은, 각 프레임에 설치된 레일과 슬라이딩 이동이 자유롭게 맞물리는 슬라이더를 서로 결합하여 이루어질 수도 있다.In the rubbing device, the parallel holding means may be formed by coupling together sliders which are freely engaged with the rails provided on the respective frames.

또한, 상기 러빙장치에 있어서, 평행유지수단을 연결기구의 양측에 배치할 수도 있다.In the rubbing device, the parallel holding means may be disposed on both sides of the connecting mechanism.

상기 러빙장치에 있어서, 각도설정기구는 한쌍의 프레임 사이에 설치되고, 프레임이 놓이는 마운트 스테이지 위에서 수직방향의 회전축을 중심으로 하여 러빙롤러가 소정의 러빙각도가 되도록 프레임을 회전시킬 수 있는 회전바를 구비할 수도 있다.In the rubbing apparatus, the angle setting mechanism is provided with a rotation bar provided between a pair of frames and capable of rotating the frame such that the rubbing roller has a predetermined rubbing angle around a rotation axis in a vertical direction on a mount stage on which the frame is placed You may.

이상과 같이, 본 발명의 러빙장치에 따르면, 복수의 러빙롤러의 러빙각도를 같은 각도로 동시에 설정할 수 있기 때문에, 러빙롤러의 길이를 길게 할 필요가 없고, 러빙장치의 대형화를 막을 수 있다. 또한, 이미 싱글롤러 러빙장치를 소유하는 경우에는, 복수롤러 러빙장치의 도입에 있어서, 기존의 러빙롤러나 부대장치를 그대로 사용할 수 있다. 더욱이, 러빙롤러의 장척화에 따라 롤러 자체의 휨이 커지는 문제도 피할 수 있어, 정밀도 높은 러빙처리를 할 수 있다.As described above, according to the rubbing apparatus of the present invention, since the rubbing angles of the plurality of rubbing rollers can be set at the same angle, it is not necessary to lengthen the length of the rubbing roller, and the rubbing apparatus can be prevented from becoming large. Further, in the case of already possessing the single roller rubbing device, the existing rubbing roller or the auxiliary device can be used as it is in introduction of the multiple roller rubbing device. In addition, it is possible to avoid the problem that the warping of the roller itself becomes large due to the lengthening of the rubbing roller, and the rubbing treatment with high precision can be performed.

도 1은 본 발명의 러빙장치의 일실시예를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 러빙장치의 평면도이다.
도 3은 마찬가지로 도 1에 나타내는 러빙장치에서 글라스 기판에 대하여 러빙롤러를 기울인 상태를 나타내는 평면도이다.
도 4a 내지 4d는 본 발명의 러빙장치에 있어서, 러빙롤러의 회전축을 글라스 기판의 연신방향에 직교하는 방향에 대하여 기울인 상태를 나타내는 평면도이다.
도 5는 러빙장치의 종래의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 6은 2개의 러빙롤러를 사용하는 종래의 러빙장치의 다른 일례를 나타내는 사시도이다.
도 7a 내지 7d는 종래의 러빙장치에 있어서, 러빙롤러의 회전축을 글라스 기판의 연신방향에 직교하는 방향에 대하여 기울인 상태를 나타내는 평면도이다.1 is a perspective view showing an embodiment of a rubbing device of the present invention.
2 is a plan view of the rubbing device shown in Fig.
3 is a plan view showing a state in which the rubbing roller is inclined with respect to the glass substrate in the rubbing apparatus shown in Fig.
4A to 4D are plan views showing the state in which the rotation axis of the rubbing roller is tilted with respect to the direction perpendicular to the stretching direction of the glass substrate in the rubbing apparatus of the present invention.
5 is a perspective view showing a conventional example of the rubbing device.
6 is a perspective view showing another example of a conventional rubbing device using two rubbing rollers.
7A to 7D are plan views showing a state in which the rotation axis of the rubbing roller is inclined with respect to the direction perpendicular to the stretching direction of the glass substrate in the conventional rubbing apparatus.

본 발명의 상술한 또한 그 밖의 목적, 특징 및 이점은, 첨부도면에 관련한 이하의 바람직한 실시예에 관한 설명에 의해 한층 분명해질 것이다.The above and other objects, features, and advantages of the present invention will become more apparent from the following description of preferred embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 본 발명의 러빙장치의 일실시예에 대하여 설명한다. 도 1에는, 마운트 스테이지(3)와, 마운트 스테이지(3)에 놓인 2개의 롤러유닛(5)과, 롤러유닛(5)의 러빙롤러(6)의 러빙각도(θ)(도 4a 참조)를 설정하는 각도설정기구(4)를 구비하는 본 실시예의 러빙장치(1)가 나타나 있다. 본 발명의 러빙장치는 구동수단에 의해 글라스 기판이 수평방향의 한쪽으로부터 다른 쪽으로 반송되는 장치로 한정되지 않고, 롤러유닛이 글라스 기판에 대하여 이동하는 타입의 장치도 본 발명의 러빙장치에 포함된다. 또한, 러빙롤러를 가지는 롤러유닛의 수는 2개로 한정되지 않고, 롤러유닛을 늘려서 러빙롤러의 수를 3개 이상으로 하는 것도 가능하며, 러빙장치의 형태는 본 실시예로 제한되지 않는다.Hereinafter, one embodiment of the rubbing apparatus of the present invention will be described. 1 shows the rubbing angle θ (see FIG. 4A) of the mount stage 3, two roller units 5 placed on the mount stage 3, and the rubbing roller 6 of the roller unit 5 The rubbing apparatus 1 of the present embodiment including the angle setting mechanism 4 for setting the angle is shown. The rubbing apparatus of the present invention is not limited to the apparatus in which the glass substrate is transported from one side to the other side by the driving means but the apparatus of the type in which the roller unit moves with respect to the glass substrate is also included in the rubbing apparatus of the present invention. The number of the roller units having the rubbing roller is not limited to two, and the number of the rubbing rollers can be increased to three or more by extending the roller unit, and the shape of the rubbing device is not limited to this embodiment.

도 1에 나타내는 바와 같이, 러빙장치(1)의 롤러유닛(5)은 러빙롤러(6)를 수평한 축선 둘레에서 회전이 자유롭게 양단을 지지하는 서로 독립적인 프레임(7)을 가지고 있다. 프레임(7)은, 마운트 스테이지(3) 위에서 슬라이드하는 프레임 베이스(8a)와, 프레임 베이스(8a)로부터 대략 수직하게 세워지는 지지부(8b)를 구비하고 있다.As shown in Fig. 1, the roller unit 5 of the rubbing apparatus 1 has a frame 7 independent of each other that supports the rubbing roller 6 at both ends freely rotatable about a horizontal axis. The frame 7 has a frame base 8a that slides on the mount stage 3 and a support portion 8b that stands up substantially perpendicularly from the frame base 8a.

각도설정기구(4)는, 복수의 프레임(7)과 회전운동이 가능하게 맞물리는 연결기구와, 복수의 프레임의 평행을 유지하는 평행유지수단을 구비하고 있다. 연결기구(10)는 프레임 베이스(8a)의 회전과 평행이동을 가이드하고, 러빙롤러(6)의 중심(길이방향의 중심)을 연결하는 가상직선(Im)이 글라스 기판(2)의 연신방향 또는 반송방향(MD)에 일치하도록 러빙롤러(6)의 러빙각도(θ)(도 2 등 참조)를 설정한다. 여기서, '러빙롤러(6)의 중심을 연결하는 가상직선(Im)'은 예를 들어, 도 4d에 나타내는 바와 같이, 복수의 러빙롤러(6)가 소정의 러빙각도(θ)로 기울어져 있을 때, 러빙롤러(6)의 중심을 연결하는 직선(Im)이다. 또한, '글라스 기판(2)의 연신방향 또는 반송방향(MD)'이란, 글라스 기판(2)과 러빙롤러(6)의 상대적인 이동방향을 나타내고, 도 2나 도 3에서 부호 MD로 나타내는 방향이다. 반대로, 글라스 기판이 고정되는 러빙장치의 경우, 러빙롤러가 글라스 기판에 대하여 수평면 안에서 이동하는 방향을 나타낸다.The angle setting mechanism 4 is provided with a connecting mechanism for engaging with the plurality of frames 7 so as to be rotatable and a parallel holding means for holding the parallelism of the plurality of frames. The connecting mechanism 10 guides rotation and parallel movement of the frame base 8a and a virtual straight line Im connecting the center of the rubbing roller 6 (center in the longitudinal direction) Or the rubbing angle? Of the rubbing roller 6 (see Fig. 2, etc.) so as to coincide with the conveying direction MD. Here, a virtual straight line Im connecting the centers of the rubbing rollers 6 can be obtained, for example, as shown in Fig. 4D, in which a plurality of rubbing rollers 6 are inclined at a predetermined rubbing angle? Is a straight line Im connecting the center of the rubbing roller 6. [ The drawing direction or conveying direction MD of the glass substrate 2 refers to the relative moving direction of the glass substrate 2 and the rubbing roller 6 and is the direction indicated by MD in Figs. . On the contrary, in the case of the rubbing apparatus in which the glass substrate is fixed, it indicates the direction in which the rubbing roller moves in the horizontal plane with respect to the glass substrate.

개개의 롤러유닛(5)은, 마운트 스테이지(3) 상에서 회전 및 슬라이드가 자유롭게 놓인 프레임(7)과, 프레임(7)의 지지부(8b)에 축받이(9)(도 4a 참조)를 통하여 회전이 자유롭게 양단이 지지된 러빙롤러(6)를 구비하고 있다. 프레임(7)의 지지부(8b)는 도시하지 않은 승강부재와 일체로 조립되어 있고, 유압 실린더나 에어 실린더 등의 구동원에 의해 승강부재와 함께 수직방향(연직방향)으로 승강동작하여, 러빙롤러(6)의 아래쪽 또는 위쪽에 배치된 글라스 기판(2)에 대하여 러빙롤러(6)를 소정의 압력으로 접촉시킬 수 있게 되어 있다(실제로는, 러빙롤러의 외표면에 감긴 러빙천의 털끝과 글라스 기판(2) 위에 인쇄된 배향막이 접촉한다).Each of the roller units 5 is rotatably supported on the mount stage 3 through a frame 7 on which the rotation and slide are freely placed and a support portion 8b of the frame 7 via a bearing 9 And a rubbing roller 6 to which both ends are freely supported. The support portion 8b of the frame 7 is assembled integrally with an elevating member (not shown), and is elevated and lowered vertically (vertically) together with the elevating member by a driving source such as a hydraulic cylinder or an air cylinder, The rubbing roller 6 can be brought into contact with the glass substrate 2 disposed at the lower or upper side of the rubbing roller 6 at a predetermined pressure (2) is in contact with the printed alignment film).

러빙롤러(6)는 프레임(7) 내부에 설치된 도시하지 않은 벨트와 도르래로 이루어지는 전달장치에 의해 원하는 회전속도로 회전구동된다. 자체중량에 의한 휨을 줄인다는 관점에서, 러빙롤러(6)는 알루미늄 합금에 의해 중공 원통형상으로 형성되는 것이 바람직한데, 이것으로 한정되지는 않는다. 러빙롤러(6)를 섬유강화 플라스틱, 특히 탄소섬유강화 플라스틱에 의해 중공 원통형상으로 형성할 수도 있다. 탄소섬유강화 플라스틱은 알루미늄 합금과 비교하여 경량이고 강성이 높기 때문에, 양단을 지지하였을 경우의 휨량이 현격히 작고, 글라스 기판 대형화의 요청에 따를 수 있게 된다.The rubbing roller 6 is rotationally driven at a desired rotational speed by a delivery device including a belt (not shown) and a pulley provided inside the frame 7. [ From the viewpoint of reducing warpage by its own weight, it is preferable that the rubbing roller 6 is formed into a hollow cylindrical shape by an aluminum alloy, but is not limited thereto. The rubbing roller 6 may be formed into a hollow cylindrical shape by fiber reinforced plastic, particularly carbon fiber reinforced plastic. Since the carbon fiber-reinforced plastic is lightweight and has a high rigidity as compared with the aluminum alloy, the amount of warping when the both ends are supported is remarkably small, and it is possible to meet the demand for enlarging the glass substrate.

연결기구(10)는, 마운트 스테이지(3) 상에서 회전축(R)을 중심으로 하여 소정의 각도까지 회전가능한 회전바(12)와, 프레임 베이스(8a)와의 맞물림 부분이 글라스 기판(2)과 러빙장치(1)의 상대이동방향과 같은 방향으로 나열되도록 배치된 연결 플레이트(16)를 구비하고 있다. 연결 플레이트(16)는 마운트 스테이지(3) 위에 고정되어, 회전바(12) 양측의 프레임 베이스(8a)가 회전바(12)의 회전과 연동하도록 2개의 프레임 베이스(8a)의 중심부분에 맞물리는 가이드 구멍(14)(프레임과의 맞물림부)을 가지고 있다. 장척부재로서의 회전바(12)는 마운트 스테이지(3) 위에서 수직방향의 회전축(R)으로 축지지되어 있다. 회전바(12)의 회전각도는 제한되지 않지만, 러빙처리에 따라 예를 들어, 도 2에 나타내는 기준위치로부터 ±50°까지 회전할 수 있도록 구성되어 있다. 도 3에는 회전바(12)가 기준위치로부터 ±45°까지 회전한 상태가 도시되어 있다. 한편, 설정된 회전바(12)의 회전각도 즉, 러빙각도(θ)는 러빙처리조건에 의해 결정된다. 회전바(12)는 회전축(R)을 중심으로 하여 소정의 러빙각도(θ)까지 회전하고, 도시하지 않은 잠금수단에 의해 그 각도에서 걸리도록 되어 있다.The connection mechanism 10 includes a rotation bar 12 rotatable up to a predetermined angle about the rotation axis R on the mount stage 3 and a rotation bar 12 rotatably supported on the glass substrate 2, And a connecting plate 16 arranged so as to be aligned in the same direction as the relative moving direction of the device 1. [ The connecting plate 16 is fixed on the mount stage 3 so that the frame base 8a on both sides of the rotating bar 12 is fitted to the center portion of the two frame bases 8a to interlock with the rotation of the rotating bar 12. [ And has a guide hole 14 (engaging portion with the frame). The rotary bar 12 as a long member is pivotally supported on a vertical axis R on the mount stage 3. The rotation angle of the rotation bar 12 is not limited, but it is configured to be able to rotate from the reference position shown in FIG. 2 to, for example, 50 degrees in accordance with the rubbing process. 3 shows a state in which the rotary bar 12 is rotated by 45 degrees from the reference position. On the other hand, the rotation angle of the set rotation bar 12, that is, the rubbing angle? Is determined by the rubbing processing conditions. The rotation bar 12 rotates about the rotation axis R to a predetermined rubbing angle?, And is locked at an angle by a locking means (not shown).

연결 플레이트(16)는 길이방향의 양측에서 아랫면으로 돌출설치된 다리부(18)에 의해 마운트 스테이지(3)에 고정된다. 연결 플레이트(16)의 아랫면과 마운트 스테이지(3)의 윗면 사이의 틈 안에서 프레임 베이스(8a)와 회전바(12)가 회전할 수 있게 되어 있다. 프레임 베이스(8a)의 돌기(8c)는 연결 플레이트(16)의 가이드 구멍(14)에 맞물리고, 프레임 베이스(8a)의 회전에 따라서 가이드 구멍(14) 안을 글라스 기판(2)의 반송방향(MD)으로 슬라이드할 수 있게 되어 있다. 가이드 구멍(14)은 긴 구멍으로 형성되고, 폭은 프레임 베이스(8a)의 돌기(8c)의 외경과 같은 정도이거나 그보다 크며, 길이는 프레임 베이스(8a)의 최대회전각도에 대응하는 돌기(8c)의 스트로크 길이와 같은 정도이거나 그보다 길게 형성되어 있다. 가이드 구멍(14)에 맞물리는 돌기(8c)는 가이드 구멍(14)의 내면과 돌기(8c)의 외면의 마찰을 줄인다는 관점에서, 돌기(8c)를 회전시킬 수 있는 캠팔로워(cam follower)로 하는 것이 바람직하다. 한편, 본 실시예의 연결 플레이트(16)에는 가이드 구멍(14)이 설치되어 있는데, 가이드 구멍(14)을 가이드홈으로 바꿀 수도 있다. 본 실시예에서는, 가이드 구멍(14)에 프레임 베이스(8a)의 돌기(8c)가 맞물리도록 되어 있는데, 반대로 프레임 베이스(8a)에 구멍 또는 홈을 설치하고, 연결 플레이트(16)에 구멍 또는 홈에 맞물리는 돌기를 설치할 수도 있다.The connecting plate 16 is fixed to the mount stage 3 by legs 18 protruding from both sides in the longitudinal direction to the lower surface. The frame base 8a and the rotation bar 12 can be rotated in a gap between the lower surface of the connection plate 16 and the upper surface of the mount stage 3. [ The projection 8c of the frame base 8a is engaged with the guide hole 14 of the connecting plate 16 and the guide hole 14 is rotated in the conveying direction of the glass substrate 2 MD). ≪ / RTI > The guide hole 14 is formed by an elongated hole and the width is equal to or larger than the outer diameter of the projection 8c of the frame base 8a and the length of the projection 8c corresponding to the maximum rotation angle of the frame base 8a Or longer than the stroke length thereof. The projection 8c engaged with the guide hole 14 is provided with a cam follower capable of rotating the projection 8c from the viewpoint of reducing the friction between the inner surface of the guide hole 14 and the outer surface of the projection 8c, . On the other hand, the connection plate 16 of this embodiment is provided with the guide hole 14, but the guide hole 14 can be replaced with the guide groove. The projections 8c of the frame base 8a are engaged with the guide holes 14 in the present embodiment. Conversely, holes or grooves are provided in the frame base 8a, As shown in Fig.

더욱이, 본 실시예의 러빙장치(1)에서는, 회전바(12)의 좌우 양측에 첨설(添設)된 프레임 베이스(8a)를 회전바(12)에 따르는 방향으로 슬라이드 자유롭게 연결하는 평행유지수단(20)을 구비하고 있다. 평행유지수단(20)은 프레임 베이스(8a)와 슬라이더(24)가 슬라이딩 이동이 자유롭게 서로 결합하여 이루어지고, 회전바(12)를 회전축(R)을 중심으로 회전시켰을 때, 회전바(12)의 좌우 양측에 첨설되어 프레임 베이스(8a)가 서로 반대방향으로 슬라이드하는 것을 허용한다. 이에 의해, 복수의 롤러유닛(5)의 프레임 베이스(8a)는 슬라이드가 자유롭게 연결되고, 회전바(12)의 회전과 연동하여 회전하면서 글라스 기판(2)의 반송방향(MD)(러빙롤러에 대한 글라스 기판의 상대적 반송방향)에 평행 이동하는 것이 가능해진다. 한편, 평행유지수단(20)은 본 실시예와 같이 가이드 레일(22)과 슬라이더(24)를 구비한 리니어 가이드로 한정되지 않고, 볼나사 등의 다른 직동(直動) 평행유지수단으로 하는 것도 가능하다.In the rubbing apparatus 1 of the present embodiment, the parallel holding means (not shown) for slidably connecting the frame base 8a attached to the right and left sides of the rotating bar 12 in the direction along the rotating bar 12 20). The parallel holding means 20 includes a frame base 8a and a slider 24 which are slidably coupled to each other to rotate the rotary bar 12 about the rotary axis R, So as to allow the frame base 8a to slide in directions opposite to each other. As a result, the frame base 8a of the plurality of roller units 5 is freely connected to the slide, and rotates in conjunction with the rotation of the rotation bar 12 to rotate in the transport direction MD of the glass substrate 2 The relative conveying direction of the glass substrate). On the other hand, the parallel holding means 20 is not limited to a linear guide having the guide rail 22 and the slider 24 as in the present embodiment, and may be any other linearly parallel holding means such as a ball screw It is possible.

도 1 내지 도 3 및 도 4b에 나타내는 실시예에서는, 회전바(12)를 통하여 인접하는 한쌍의 프레임 베이스(8a)가 평행유지수단(20)에 의해 연결되어 있는데, 도 4c에 나타내는 바와 같이, 3개의 롤러유닛(5)(3개의 러빙롤러(6))을 구비하는 러빙장치인 경우에는, 회전바(12)를 통하지 않고 인접하는 한쌍의 프레임 베이스(8a)가 평행유지수단(20)에 의해 연결된다. 3개인 경우, 중앙의 롤러유닛(5)의 프레임 베이스(8a)가 회전바(12)의 기능을 겸비하고 있다. 도 4d에 나타내는 바와 같이, 4개의 롤러유닛(5)(4개의 러빙롤러(6))을 구비하는 러빙장치의 경우, 중앙의 한쌍의 프레임 베이스(8a)는 회전바(12)를 통하여 평행유지수단(20)에 의해 슬라이드가 자유롭게 연결되고, 좌우 양측의 인접하는 한쌍의 프레임 베이스(8a)는 회전바(12)를 통하지 않고 평행유지수단(20)에 의해 연결된다. 한편, 도 4a 내지 도 4d에 나타내는 러빙롤러(6)는 모두 같은 길이인데, 길이가 서로 다른 기존의 러빙롤러를 조합할 수도 있다.In the embodiment shown in Figs. 1 to 3 and 4B, the pair of adjacent frame bases 8a are connected by the parallel holding means 20 via the rotary bar 12. As shown in Fig. 4C, In the case of a rubbing device having three roller units 5 (three rubbing rollers 6), a pair of adjacent frame bases 8a without passing through the rotary bar 12 are provided on the parallel holding means 20 Lt; / RTI > 3, the frame base 8a of the roller unit 5 at the center has the function of the rotary bar 12. 4D, in the case of a rubbing device having four roller units 5 (four rubbing rollers 6), a pair of frame bases 8a at the center are held parallel to each other via the rotary bar 12 The slides are freely connected by the means 20 and the pair of adjacent frame bases 8a on the left and right sides are connected by the parallel holding means 20 without passing through the rotating bar 12. [ Meanwhile, the rubbing rollers 6 shown in Figs. 4A to 4D all have the same length, but conventional rubbing rollers having different lengths may be combined.

이상과 같이, 본 실시예의 러빙장치(1)는, 연결기구(10)와 평행유지수단(30)을 구비하는 각도설정기구(4)에 의해, 복수의 러빙롤러(6)의 러빙각도(θ)를 같은 각도로 동시에 설정할 수 있기 때문에, 장척의 러빙롤러를 준비하지 않고, 싱글롤러 러빙장치의 러빙롤러와 같은 길이의 러빙롤러(6)를 사용할 수 있다. 이에 의해, 러빙밀도, 러빙속도를 높이기 위하여 복수의 러빙롤러(6)를 사용하여 러빙처리를 하는 경우라도, 러빙장치의 대형화를 막을 수 있다. 또한, 러빙롤러의 장척화에 의해 롤러 자체의 휨이 커지는 문제도 피할 수 있고, 러빙정밀도가 떨어지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 각도설정기구(4)가 평행유지수단(20)을 구비함으로써 프레임 베이스(8a)의 회전 및 평행이동이 부드럽게 이루어져서, 러빙롤러(6)의 러빙각도를 정확하고 용이하게 설정할 수 있다.As described above, the rubbing apparatus 1 of the present embodiment is configured such that the angle setting mechanism 4 having the connecting mechanism 10 and the parallel holding means 30 can adjust the rubbing angle &thetas; Can be set at the same angle at the same time. Therefore, it is possible to use the rubbing roller 6 having the same length as the rubbing roller of the single roller rubbing device without preparing the long rubbing roller. Thus, even when rubbing is performed using a plurality of rubbing rollers 6 in order to increase the rubbing density and the rubbing speed, it is possible to prevent the rubbing device from becoming larger. In addition, it is possible to avoid the problem that the warping of the roller itself is increased due to the lengthening of the rubbing roller, and the rubbing accuracy can be prevented from being lowered. In addition, since the angle setting mechanism 4 includes the parallel holding means 20, the frame base 8a is smoothly rotated and parallel, and the rubbing angle of the rubbing roller 6 can be set accurately and easily.

한편, 본 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 골자를 이탈하지 않는 범위에서 여러가지로 변형하여 실시할 수 있다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made without departing from the scope of the present invention.

1: 러빙장치 2: 글라스 기판
3: 마운트 스테이지 4: 각도설정기구
5: 롤러유닛 6: 러빙롤러
7: 프레임 8a: 프레임 베이스
8b: 지지부 8c: 돌기
9: 축받이 10: 연결기구
12: 회전바 14: 가이드 구멍
16: 연결 플레이트 18: 다리부
20: 평행유지수단 22: 가이드 레일
24: 슬라이더1: rubbing device 2: glass substrate
3: Mount stage 4: Angle setting mechanism
5: roller unit 6: rubbing roller
7: Frame 8a: Frame base
8b: Support portion 8c:
9: Bearing 10: Connector
12: rotation bar 14: guide hole
16: connection plate 18:
20: parallel holding means 22: guide rail
24: Slider

Claims (7)

글라스 기판에 대하여 상대이동되어, 글라스 기판 위의 배향막의 표면을 러빙처리하는 러빙장치로서,
각각 프레임에 의해 회전이 자유롭게 지지된 복수의 러빙롤러와,
복수의 러빙롤러의 글라스 기판과 러빙장치의 상대이동방향에 대한 러빙각도를 같은 각도로 동시에 설정할 수 있는 각도설정기구를 구비하고,
각도설정기구가,
복수의 프레임과 회전운동이 가능하게 맞물리는 연결기구와,
복수의 프레임의 평행을 유지하는 평행유지수단을 포함하고,
연결기구는, 프레임과의 맞물림부가 글라스 기판과 러빙장치의 상대이동방향과 같은 방향으로 나란하게 배치되며,
상기 연결기구는, 복수의 프레임에 각각 설치된 돌기와, 각 돌기가 맞물리는 연결 플레이트를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 러빙장치.A rubbing apparatus for rubbing a surface of an alignment film on a glass substrate,
A plurality of rubbing rollers each of which is rotatably supported by a frame,
And an angle setting mechanism that simultaneously sets the rubbing angles of the plurality of rubbing rollers relative to the relative movement directions of the glass substrate and the rubbing device at the same angle,
An angle setting mechanism
A connecting mechanism for engaging with the plurality of frames to enable rotational movement,
And parallel holding means for holding parallelism of a plurality of frames,
The connection mechanism is such that the engaging portion with the frame is arranged in the same direction as the relative movement direction of the glass substrate and the rubbing device,
Wherein the connecting mechanism comprises protrusions respectively provided in the plurality of frames and a connecting plate in which the protrusions engage with each other. 제 1 항에 있어서,
러빙롤러가 같은 길이인 것을 특징으로 하는 러빙장치.The method according to claim 1,
Wherein the rubbing roller has the same length. 제 2 항에 있어서,
연결기구는 러빙롤러의 중앙위치에서 복수의 프레임과 회전운동이 가능하게 맞물리는 것을 특징으로 하는 러빙장치.3. The method of claim 2,
Wherein the connecting mechanism is rotatably engaged with the plurality of frames at a central position of the rubbing roller. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
평행유지수단은, 각 프레임에 설치된 레일과 슬라이딩 이동이 자유롭게 맞물리는 슬라이더를 서로 결합하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 러빙장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the parallel holding means comprises a slider engaged with a rail freely engaged with a rail provided on each frame. 제 4 항에 있어서,
평행유지수단이 연결기구의 양측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 러빙장치.5. The method of claim 4,
And the parallel holding means are disposed on both sides of the connecting mechanism. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
각도설정기구는 한쌍의 프레임 사이에 설치되고, 프레임이 놓이는 마운트 스테이지 위에서 수직방향의 회전축을 중심으로 하여 러빙롤러가 소정의 러빙각도가 되도록 프레임을 회전시킬 수 있는 회전바를 구비하는 것을 특징으로 하는 러빙장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Characterized in that the angle setting mechanism comprises a rotation bar provided between a pair of frames and capable of rotating the frame such that the rubbing roller has a predetermined rubbing angle around a rotation axis in a vertical direction on a mount stage on which the frame is placed, Device. 삭제delete
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