KR100860480B1 - Rubbing device having panel board position revision function - Google Patents
Rubbing device having panel board position revision function Download PDFInfo
- Publication number
- KR100860480B1 KR100860480B1 KR1020070049911A KR20070049911A KR100860480B1 KR 100860480 B1 KR100860480 B1 KR 100860480B1 KR 1020070049911 A KR1020070049911 A KR 1020070049911A KR 20070049911 A KR20070049911 A KR 20070049911A KR 100860480 B1 KR100860480 B1 KR 100860480B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- rubbing
- panel substrate
- roller
- rubbing roller
- panel board
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/902—Devices for picking-up and depositing articles or materials provided with drive systems incorporating rotary and rectilinear movements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
- G02F1/13378—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation
- G02F1/133784—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation by rubbing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
Description
도1은 종래의 러빙장치의 배치상태를 보인 도면이다.1 is a view showing an arrangement of a conventional rubbing device.
도2는 본 발명의 하나의 실시 예에 의한 러빙장치를 보인 사시도이다.Figure 2 is a perspective view of a rubbing device according to an embodiment of the present invention.
도3은 본 발명의 하나의 실시 예에 의한 러빙장치를 보인 평면도이다.Figure 3 is a plan view showing a rubbing device according to an embodiment of the present invention.
도4a 및 도4b는 본 발명의 다른 하나의 실시 예에 의한 러빙장치를 보인 평면도이다.4a and 4b is a plan view showing a rubbing device according to another embodiment of the present invention.
도5a 및 도5b는 러빙롤러와 패널기판의 위치가 일치하도록 패널기판의 위치를 조정하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.5A and 5B are views for explaining a process of adjusting the position of the panel substrate so that the position of the rubbing roller and the panel substrate coincide.
도6은 테이블의 중심과 러빙롤러의 중심이 일치하도록 하는 하나의 방법을 설명하기 위한 도면이다.FIG. 6 is a diagram for explaining one method of matching the center of the table with the center of the rubbing roller.
- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명-Explanation of symbols for the main parts of the drawings
10 : 고정테이블 11 : 회전테이블10: fixed table 11: rotating table
12a, 12b : 리프트 핀 13a, 13b : 진공라인12a, 12b:
14 : 슬라이딩 유닛 15 : 러빙롤러14: sliding unit 15: rubbing roller
16a, 16b : 표식 18 : 영상 인식용 카메라 유닛16a, 16b: Mark 18: camera unit for image recognition
19 : 롤러 체인저 20 : 접촉라인 19: roller changer 20: contact line
21 : 지지장치 22 : 패널기판21: support device 22: panel substrate
본 발명은 액정표시장치를 제조하는 공정에서 패널기판에 형성된 배향막을 러빙하는 패널기판의 위치보정기능을 갖는 러빙장치에 관한 것이다. 특히 본 발명은 러빙하고자 하는 패널기판의 면적이 넓어짐에도 불구하고 러빙롤러와 테이블의 구조 및 운영방법을 개선하여 러빙장치의 부피를 확장하지 않고도 면적이 넓어진 패널기판에 형성된 배향막을 균일한 러빙 조건으로 러빙이 가능하도록 하는 러빙장치에 관한 것이다.The present invention relates to a rubbing device having a position correction function of a panel substrate for rubbing an alignment film formed on the panel substrate in a process of manufacturing a liquid crystal display device. In particular, the present invention improves the structure and operating method of the rubbing roller and the table even though the area of the panel substrate to be rubbed is improved, so that the alignment layer formed on the panel substrate having a larger area without expanding the volume of the rubbing device is subjected to uniform rubbing conditions. It relates to a rubbing device to enable rubbing.
일반적으로 액정표시장치를 구성하는 액정 패널은 액정을 협지하는 기판 내면에 폴리이미드 등에 의해 형성된 배향막(층)을 갖는다. 배향막은 배향 처리를 통해 액정분자를 소정의 방향으로 균일하게 배향시키는 성능을 갖는다. 이와 같이 배향막을 배향 처리하는 공법으로는 나일론이나 레이온 등과 같은 섬유로 짠 천(포) 등으로 배향막 표면을 러빙 처리하는 방법이 있다.Generally, the liquid crystal panel which comprises a liquid crystal display device has the orientation film (layer) formed by polyimide etc. in the inner surface of the board | substrate which clamps a liquid crystal. The alignment film has a performance of uniformly orientating liquid crystal molecules in a predetermined direction through an alignment treatment. As such a method for aligning the alignment film, there is a method of rubbing the surface of the alignment film with a cloth woven from fibers such as nylon or rayon.
이하에서 패널기판을 러빙하는 공지된 방법에 대해 설명한다.Hereinafter, a known method of rubbing the panel substrate will be described.
우선, 일정한 길이를 가지는 원통 형상의 러빙롤러에 러빙포(천)를 휘감고 한 면에 배향막이 도포된 패널기판을 다른 한 면이 테이블에 접하도록 테이블에 올려놓는다. 다음, 모터 등과 같은 동력원에 의해 러빙롤러가 회전하는 동안 패널기판이 올려진 테이블이 러빙롤러의 회전축에 평행하게 직선방향으로 이동하게 된다.First, a rubbing cloth (cloth) is wrapped around a cylindrical rubbing roller having a certain length, and a panel substrate having an alignment film coated on one surface thereof is placed on the table so that the other surface contacts the table. Next, while the rubbing roller is rotated by a power source such as a motor, the table on which the panel substrate is raised is moved in a linear direction parallel to the rotation axis of the rubbing roller.
이때 러빙롤러(rubbing roller)와 패널기판의 위치(간격)는 러빙롤러에 감겨진 러빙포와 패널기판 표면이 균일하게 러빙 가능하도록 접할 수 있도록 설정되고 있다.At this time, the position of the rubbing roller (rubbing roller) and the panel substrate (interval) is set so that the rubbing cloth wound on the rubbing roller and the surface of the panel substrate can be rubbed uniformly.
상기 러빙 처리하기 위한 패널기판은 테이블을 지지하고 있는 회전장치에 의해 수직방향 회전축을 중심으로 회전되어 패널기판의 러빙방향(각도)이 결정되고 승강장치에 의해 상하로 이동되어 패널기판과 러빙롤러와의 거리(러빙 압력)가 조정된다. 또한 러빙롤러는 양단이 협지된 상태로 회전자재토록 지지된 상태에서 조정장치에 의해 패널기판과의 평행도가 설정됨과 동시에 회전장치에 의해 러빙롤러에 의한 패널기판의 러빙방향이 설정된다.The panel substrate for the rubbing process is rotated about a vertical axis of rotation by a rotating device supporting a table to determine a rubbing direction (angle) of the panel substrate and move up and down by a lifting device to move the panel substrate and the rubbing roller. Distance (rubbing pressure) is adjusted. In addition, the rubbing roller is set in parallel with the panel substrate by the adjusting device in a state in which both ends are held in a state where the ends of the rubbing roller are sandwiched, and the rubbing direction of the panel substrate by the rubbing roller is set by the rotating device.
위와 같이 테이블과 러빙롤러의 위치를 조정한 상태에서, 테이블 또는 러빙롤러를 패널기판의 러빙방향으로 이동시키므로 패널기판의 표면 즉, 배향막이 러빙 처리된다.In the state where the positions of the table and the rubbing roller are adjusted as above, the table or rubbing roller is moved in the rubbing direction of the panel substrate, so that the surface of the panel substrate, that is, the alignment film, is subjected to the rubbing treatment.
최근들어, LCD, PDP 등과 같은 각종 영상제품의 대형화에 따라 패널기판도 함께 대형화되어 러빙해야 하는 패널기판의 면적이 커지므로 러빙을 위한 러빙롤러가 길어지고 이에 감겨진 러빙포의 면적은 넓어져야 한다.Recently, as the size of various video products such as LCD, PDP, etc. increases, the area of the panel substrate that needs to be rubbed becomes larger as the panel substrate increases in size. .
이렇게 패널기판의 넓이 즉, 러빙롤러의 길이(폭)가 길어짐에 따라 러빙롤러의 길이와 자체 중량이 커지므로 양단이 회전자재토록 지지되어 있는 러빙롤러의 처짐 현상(굴곡량)이 커진다.As the width of the panel substrate, i.e., the length (width) of the rubbing roller, increases, the length of the rubbing roller and the weight of the rubbing roller increases, so that the deflection phenomenon (bending amount) of the rubbing roller, which is supported at both ends, is increased.
따라서 종래에는 러빙롤러와 패널기판이 탑재된 테이블의 높낮이를 조절하여 러빙롤러와 패널기판 사이의 평행도를 조절함에도 불구하고 길이와 중량으로 인하 여 러빙롤러의 자연 아치가 발생하므로 러빙장치에서 테이블에 탑재된 패널기판과 러빙롤러 사이의 평행상태가 이루어지지 않는다.Therefore, the conventional roller is mounted on the table in the rubbing device because the natural arch of the rubbing roller occurs due to the length and weight, despite adjusting the height of the table on which the rubbing roller and the panel board are mounted to adjust the parallelism between the rubbing roller and the panel board. There is no parallel between the panel panel and the rubbing roller.
이와 함께 패널기판의 대형화는 러빙방향과 패널기판과의 각도 정도가 요구되는데도 불구하고 러빙롤러에 감겨진 러빙포의 마모로 인하여 패널기판에 형성되는 러빙홈의 깊이나 형상에 차이가 생긴다. 즉, 휘어진 러빙롤러의 가장 낮은 부분에 해당하는 중간부분에 닿게 되는 패널기판의 중앙부분에 형성된 러빙홈이 패널기판의 다른 부분에 형성된 러빙홈보다 깊게 형성된다.In addition, even when the size of the panel substrate is increased, the degree of rubbing direction and the angle between the panel substrate is required, but the depth and shape of the rubbing grooves formed in the panel substrate are caused by the wear of the rubbing cloth wound on the rubbing roller. That is, a rubbing groove formed in the center portion of the panel substrate which is in contact with the middle portion corresponding to the lowest portion of the curved rubbing roller is formed deeper than the rubbing groove formed in the other portion of the panel substrate.
이 때문에 러빙롤러와 테이블에 탑재된 패널기판은 안정된 반복 정도가 요구된다.For this reason, the panel roller mounted on the rubbing roller and the table requires a stable degree of repeatability.
그리고 러빙장치에서 러빙포나 배향막의 품질 향상을 위해, 러빙롤러의 접촉면(러빙롤러의 길이 방향에 대한 동심원)과 테이블에 탑재된 패널기판 표면과의 평행 갭(GAP) 정도의 요구가 높아지고 있다.In order to improve the quality of the rubbing cloth and the alignment film in the rubbing device, the demand for a parallel gap (GAP) between the contact surface of the rubbing roller (concentric circles in the longitudinal direction of the rubbing roller) and the surface of the panel substrate mounted on the table is increasing.
뿐만 아니라 러빙롤러와 패널기판 사이에 임의의 각도를 요구하기 때문에 변화한 각도에 따라 갭의 정밀도가 떨어지므로 패널기판의 품질이 안정적으로 유지되지 않는다.In addition, since an arbitrary angle is required between the rubbing roller and the panel substrate, the precision of the gap decreases according to the changed angle, so that the quality of the panel substrate is not stably maintained.
도1은 대형화되어 가는 패널기판을 러빙 처리하기 위한 러빙장치를 보인 개략도로서 패널기판이 들고나는 부분(도면 상단의 화살표)으로부터 영상인식용 카메라 유닛(101)과 러빙롤러(102), 테이블(103) 및 러빙롤러 교환을 위한 장소인 롤러 체인저(104) 등이 길이방향으로 길게 배치되어 있으므로 러빙장치가 넓은 공간을 차지한다.Fig. 1 is a schematic view showing a rubbing device for rubbing a large-size panel substrate. The image
특히, 패널기판이 대형화됨에 따라 러빙장치의 크기가 커지면서 이를 설치하기 위한 넓은 공간을 필요로 한다.In particular, as the size of the panel substrate increases, the size of the rubbing device becomes larger and requires a large space for installing the same.
상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 높은 정밀도가 요구되는 러빙장치에서 패널기판과 러빙롤러 사이의 상대적인 평행 조정이 용이하고 기준면을 이동시킬 필요가 없기 때문에 러빙장치의 설치장소가 변경되어도 패널기판과 러빙롤러 사이의 상대적인 평행 재조정이 용이하도록 하는데 그 목적이 있다.In order to solve the problems described above, the present invention is easy to adjust the parallelism between the panel substrate and the rubbing roller in a rubbing device requiring high precision, and does not need to move the reference plane, even if the installation location of the rubbing device is changed. The purpose is to facilitate relative parallel readjustment between the substrate and the rubbing rollers.
또한 본 발명은 러빙하고자 하는 패널기판의 대형화에도 불구하고 러빙장치의 부피를 늘리지 않아도 되므로 러빙장치가 점유하는 공간을 최소한으로 줄일 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.In addition, the present invention does not need to increase the volume of the rubbing device despite the increase in the size of the panel substrate to be rubbed is to reduce the space occupied by the rubbing device to a minimum.
그리고 본 발명은 러빙롤러와 이송되는 패널기판의 상대적인 평행을 일치시켜 현재 사용중인 러빙포의 유효면적을 이용할 수 있도록 함으로써 러빙포의 마모를 줄일 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.In addition, an object of the present invention is to reduce the wear of the rubbing cloth by using the effective area of the rubbing cloth currently being used by matching the relative parallel between the rubbing roller and the panel substrate being transported.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 패널기판의 위치보정기능을 갖는 러빙장치는, 표시영역에 배향막을 가지는 패널기판을 테이블 위에 탑재하고 러빙롤러로 배향 처리하는 액정표시장치를 제조하기 위한 패널기판의 위치보정기능을 갖는 러빙장치에 있어서, 상기 테이블은, 패널기판을 회전시켜 러빙각도를 조정하기 위한 회전테이블과, 패널기판을 전후좌우로 이동시켜 러빙롤러가 패널기판 위를 평행으로 직선 이동할 수 있도록 하기 위한 고정테이블로 분할되는 것을 특징으로 한다.A rubbing device having a position correcting function of a panel substrate according to the present invention for achieving the above object is to manufacture a liquid crystal display device that mounts a panel substrate having an alignment film in a display area on a table and aligns with a rubbing roller. In a rubbing device having a position correction function of a panel substrate, the table includes a rotary table for adjusting the rubbing angle by rotating the panel substrate, and moving the panel substrate back, front, left, and right so that the rubbing roller is placed on the panel substrate in parallel. It is characterized in that it is divided into a fixed table for allowing a linear movement.
상기 회전 테이블과 상기 고정 테이블은 패널기판을 러빙 처리하는 중에는 작동되지 않는 것이 바람직하다.Preferably, the rotary table and the fixed table are not operated during the rubbing treatment of the panel substrate.
상기 회전 테이블은 패널기판을 고정하기 위한 고정수단을 가지는 것이 바람직하다.The rotating table preferably has fixing means for fixing the panel substrate.
상기 회전 테이블은 패널기판을 상하로 이동시키기 위한 승강수단을 가지는 것이 바람직하다.The rotary table preferably has lifting means for moving the panel substrate up and down.
상기 러빙롤러는 두 개의 지지대에 의해 상기 지지대에는 상기 러빙롤러의 높이를 조절하여 러빙롤러와 패널기판과의 간격을 조정하기 위한 높이 조절수단이 구비되는 것이 바람직하다.The rubbing roller is preferably provided with a height adjusting means for adjusting the distance between the rubbing roller and the panel substrate by adjusting the height of the rubbing roller on the support by the two supports.
또한 본 발명에 의한 패널기판의 위치보정기능을 갖는 러빙장치는, 표시영역에 배향막을 가지는 패널기판을 테이블 위에 탑재하고 러빙롤러로 배향 처리하는 액정표시장치를 제조하기 위한 패널기판의 위치보정기능을 갖는 러빙장치에 있어서, 상기 러빙롤러의 접촉면 양측에 표식이 형성되고, 상기 러빙롤러의 표식을 촬영할 수 있는 카메라 유닛이 상기 테이블 위에 설치되며, 상기 카메라 유닛에 의해 촬영된 상기 러빙롤러의 표식을 인식한 제어수단에 의해 기준이 되는 러빙롤러의 표식위치와 대비하여 위치 차이에 대한 보정값을 구하고, 상기 회전테이블과 상기 고정테이블을 구동시켜 테이블 위에 탑재된 패널기판의 위치를 보정할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the rubbing device having the position correction function of the panel substrate according to the present invention provides a position correction function of the panel substrate for manufacturing a liquid crystal display device which mounts a panel substrate having an alignment film in the display area on a table and aligns with a rubbing roller. In the rubbing device having a mark is formed on both sides of the contact surface of the rubbing roller, a camera unit capable of photographing the marking of the rubbing roller is installed on the table, and recognizes the mark of the rubbing roller taken by the camera unit It is configured to obtain a correction value for the position difference in comparison with the marking position of the rubbing roller as a reference by a control means, and to drive the rotary table and the fixed table to correct the position of the panel substrate mounted on the table. It is characterized by.
또한 본 발명에 의한 패널기판의 위치보정기능을 갖는 러빙장치는, 표시영역 에 배향막을 가지는 패널기판을 테이블 위에 탑재하고 러빙롤러로 배향 처리하는 액정표시장치를 제조하기 위한 패널기판의 위치보정기능을 갖는 러빙장치에 있어서, 상기 러빙롤러는 교대로 배치된 2개 내지 5개의 러빙롤러로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, the rubbing device having the position correction function of the panel substrate according to the present invention provides a position correction function of the panel substrate for manufacturing a liquid crystal display device which mounts a panel substrate having an alignment film in the display area on a table and performs an alignment treatment with a rubbing roller. The rubbing device having, characterized in that the rubbing rollers are composed of two to five rubbing rollers alternately arranged.
상기 2개 내지 5개의 러빙롤러는 시간 차이를 가지고 서로 다른 영역의 패널기판을 러빙 처리할 수 있도록 이루어지는 것이 바람직하다.It is preferable that the two to five rubbing rollers are made to rub the panel substrates of different regions with time difference.
이하, 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.
단, 본 발명은 이하의 실시 예에 의해 한정되지 않고 이하의 실시예에 더하는 실시의 형태로부터 용이하게 추측되는 다른 실시 예들도 본 발명이 설명하는 범위에 속함은 당연하다.However, the present invention is not limited to the following examples, and other examples easily assumed from the embodiments added to the following examples also belong to the scope of the present invention.
도2 및 도3은 본 발명의 실시 예에 의한 러빙장치를 보인 것으로서 러빙하고자 하는 대상이 되는 패널기판에 내접하는 원의 직경보다 5∼10 mm 정도 작은 치수의 회전테이블(11)이 고정테이블(10)의 중앙에 위치하고 있다. 상기 고정테이블(10)과 회전테이블(11)에는 패널기판을 지지하기 위한 다수의 리프트 핀(12a)(12b)이 배치되어 있다.2 and 3 show a rubbing device according to an embodiment of the present invention, the rotary table 11 having a size of about 5 to 10 mm smaller than the diameter of a circle inscribed to a panel substrate to be rubbed is a fixed table ( It is located in the middle of 10). On the fixed table 10 and the rotary table 11, a plurality of
상기 회전테이블(11)과 고정테이블(10)에 각각 패널기판을 흡착하기 위한 진공 라인(13a)(13b)이 형성되어 있으므로 고정테이블(10)에 의해 패널기판을 고정할 수 있을뿐더러 회전테이블(11) 단독으로 패널기판을 진공 흡착하여 승강시킬 수 있다.Since
또한 회전테이블(11)은 패널기판을 진공 흡착하여 고정테이블(10)보다 높은 위치로 이동시킨 후 회전시켜 패널기판의 러빙각도를 조정할 수 있도록 도시되지 않은 모터나 실린더 등으로 이루어진 승강 및 회전장치를 갖는다. 상기 고정테이블(10)의 아래에 위치하고 있는 다수의 슬라이딩 유닛(14)은 고정테이블(10) 즉, 패널기판을 X축 방향이나 Y축 방향으로 이동시켜 패널기판의 위치를 조정한다. 이 슬라이딩 유닛(14)은 고정테이블(10)을 전후좌우로 0에서 최대 1 ㎜∼5 ㎜의 범위까지 이동할 수 있도록 이루어진 것으로서 회전테이블(11) 내의 승강 및 회전장치와 함께 도시되지 않은 제어수단에 의해 구동된다.In addition, the rotary table 11 vacuum-adsorbs the panel substrate, moves to a position higher than the fixed table 10, and rotates the lifting and rotating device made of a motor or cylinder, not shown, to adjust the rubbing angle of the panel substrate. Have A plurality of
여기서 제어수단은 러빙롤러가 정상적인 위치에 있을 때 촬영된 러빙롤러의 표식에 대한 영상데이터를 가지고, 영상인식용 카메라 유닛(18)으로부터 러빙롤러(15) 접촉면(20) 양측에 형성된 표식(16a)(16b)에 대한 영상데이타가 입력되면, 이들 영상데이터를 대비하여 영상인식용 카메라 유닛(18)에 의해 촬영된 러빙롤러(15) 표식(16a)(16b)의 위치가 기준이 되는 저장된 러빙롤러의 표식위치로부터 얼마나 벗어났는지를 확인하고, 이를 보정하기 위한 보정값을 구한다.Here, the control means has image data on the marking of the rubbing roller photographed when the rubbing roller is in the normal position, and the
그리고 제어수단은 보정값을 기초로 하여 고정테이블(10)의 슬라이딩 유닛(14)과 회전테이블(11) 및 러빙롤러(15)를 지지하고 있는 지지장치(21)의 승강 및 회전장치를 선택적으로 구동시켜 정확한 러빙 처리를 위해 고정 및 회전테이블(10)(11)과 러빙롤러(15)의 위치를 조정한다.The control means selectively selects the lifting unit and the rotating unit of the
즉, 본 발명은 패널기판의 이송 오차범위까지 러빙 각도의 오차가 허용되는 경우에는 러빙롤러(15)의 접촉면(20)과 고정 및 회전테이블(10)(11) 위치를 미리 촬영되어 저장되어 있는 영상 데이터를 기준으로 제어수단에 의해 보정할 수 있다. 또한 패널기판의 이송 오차범위까지 러빙각도의 오차가 허용되지 않는 경우에는 이송되는 패널기판을 각각 영상 인식하여 보정할 수 있다.That is, in the present invention, when the error of the rubbing angle is allowed up to the conveying error range of the panel substrate, the
그리고 러빙장치의 사전 조정으로 러빙롤러(15)와 테이블(10)(11)의 갭 조정을 완료하고 나서는 고정테이블(10) 주변에 위치하는 분할 장소의 표면이 러빙장치의 갭 조정을 위한 기준이 된다. 또한 기준이 되는 표면은 고정테이블(10)과 동일한 평면으로서 회전테이블(11) 평면의 기준이 된다.After completion of the gap adjustment between the rubbing
뿐만 아니라 이 기준이 되는 표면은 러빙롤러(15)와의 상대적인 위치를 확인하기 위한 용도로도 사용할 수 있다.In addition, the reference surface may be used for checking the relative position with the rubbing
그리고 이 기준이 되는 표면에는 회전테이블(11)에 의해 임의의 위치로 회전하는 패널기판을 흡착하기 위한 진공 라인(17b)(ESC)이 구비된다. 물론, 진공 라인(17b) 이외에도 플러스 상태의 플레이트를 이용하여 진공 흡착하여도 동일한 효과를 얻을 수 있다.The reference surface is provided with a vacuum line 17b (ESC) for adsorbing the panel substrate rotating to an arbitrary position by the rotary table 11. Of course, in addition to the vacuum line 17b, the same effect can also be obtained by vacuum adsorption using a positive plate.
위와 같은 구성을 갖는 도2 및 도3의 러빙장치에 의해 패널기판을 러빙 처리하는 과정을 설명한다.A process of rubbing the panel substrate by the rubbing device of FIGS. 2 and 3 having the above configuration will be described.
먼저, 러빙장치 내로 반입된 패널기판은 올라온 리프트 핀(12a)(12b)에 접수된 후 리프트 핀(12a)(12b)이 내려감에 따라 진공라인(13a)(13b)에 의해 테이블(10)(11)에 진공 흡착되게 된다.First, the panel substrate brought into the rubbing device is received by the lift pins 12a and 12b which are lifted up, and then the table 10 by the
영상 인식용 카메라 유닛(18)에 의해 촬영된 패널기판의 영상데이터를 인식한 제어수단에 의해 러빙 처리를 위한 위치를 정렬(alignment)하게 되는데, 이를 위해 회전테이블(11)은 패널기판을 흡착한 상태를 유지하고 고정테이블(10) 주변만 이 흡착상태를 해지하게 된다.The control unit recognizes the image data of the panel substrate photographed by the image
이어서, 회전테이블(11)이 올려진 후 지정된 각도까지 회전됨에 따라 패널기판 역시 회전테이블(11)과 함께 올라간 상태에서 지정된 각도까지 회전되고, 회전테이블(11)이 다시 내려감에 따라 패널기판도 함께 내려가게 되어 진공 라인(13a)(13b)에 의해 진공 흡착되게 된다.Subsequently, as the rotary table 11 is raised and rotated to a specified angle, the panel substrate is also rotated to a specified angle while being raised with the rotary table 11, and the panel substrate is also accompanied by the rotary table 11 being lowered again. It goes down and is vacuum-sucked by the
이렇게 패널기판이 진공 흡착되어 있는 테이블(10)(11)의 위치가 조정된 상태에서 도시되지 않은 모터 등과 같은 동력원에 연동되어 러빙롤러(15)가 자전하면서 아래로 내려온 후 지정된 속도와 방향으로 이동하므로 테이블(10)(11)에 흡착된 패널기판의 러빙작업이 이루어지게 된다.In this way, while the position of the tables 10 and 11 on which the panel substrate is vacuum-adsorbed is adjusted, it is linked to a power source such as a motor, not shown, and the rubbing
위와 같은 과정을 거쳐 패널기판의 러빙작업이 완료된 후에는 회전테이블(11)은 패널기판의 흡착상태를 유지하고 고정테이블(10)의 주변만이 흡착상태를 해지한 상태에서, 올라간 회전테이블(11)은 원래의 위치로 되돌아갈 수 있도록 회전하게 된다.After the rubbing operation of the panel substrate is completed through the above process, the rotary table 11 maintains the suction state of the panel substrate and only the periphery of the fixed table 10 releases the suction state. ) Will rotate to return to its original position.
상기한 바와 같이 회전테이블(11)이 원래의 위치로 되돌아간 상태에서, 리프트 핀(12a)(12b)을 올리고 회전테이블(11)을 내리는 한편 러빙롤러(15)를 원래의 위치로 복귀시키므로 패널기판의 반출이 이루어지게 된다.As described above, in the state where the
도3에서 러빙롤러(15) 내에 점선으로 직사각형 라인이 그려져 있는데, 이는 러빙 처리를 위해 패널기판과 실질적으로 접촉되는 접촉면(20)을 표시하는 것으로서 이하의 도면에서도 동일하다.In Fig. 3, a rectangular line is drawn in the rubbing
도3은 도2에서 설명한 러빙장치의 평면도로서 패널기판의 이송 방향(도면 상 단의 화살표)을 따라 테이블(10)(11)과 러빙롤러(15), 영상 인식용 카메라 유닛(18) 및 러빙롤러 교환을 위한 장소인 롤러 체인저(19) 등이 도1과는 달리 러빙장치의 부피가 최소화될 수 있도록 배치되어 있다.FIG. 3 is a plan view of the rubbing device described with reference to FIG. 2, along with the direction of movement of the panel substrate (arrows at the top of the drawing) of the table 10, 11, the rubbing
여기서 도3 내지 도6에 개시된 러빙장치 역시 도2에 개시된 러빙장치와 마찬가지로 진공라인이나 리프트 핀 및 슬라이딩 유닛 등을 가지나, 그에 대한 도시나 구체적인 설명은 도2와 동일하므로 생략한다.Here, the rubbing device disclosed in FIGS. 3 to 6 also has a vacuum line, a lift pin, a sliding unit, etc. like the rubbing device disclosed in FIG. 2, but an illustration or detailed description thereof is the same as that of FIG.
본 발명에 의한 테이블과 러빙롤러의 상대적인 이동방향은 항상 일정방향이 된다. 즉, 러빙롤러에 감긴 러빙포에 매회 같은 방향의 힘을 주게 되므로 도4a 및 도4b에서와 같이 테이블(10)(11)에 탑재된 패널기판을 러빙 처리하기 위한 러빙롤러(15)와 이에 감긴 러빙포를 2개 내지 5개로 분할하여도 하나의 러빙롤러를 이용하는 경우와 마찬가지로 패널기판을 러빙 처리할 수 있다.The relative movement direction of the table and the rubbing roller according to the present invention is always a constant direction. That is, since the same direction is applied to the rubbing cloth wound on the rubbing roller every time, the rubbing
여기서 2개 내지 5개의 러빙롤러(15)를 한번에 구동시킬 수도 있음은 물론이고 시간 차이를 두고 구동시킬 수도 있다.Here, the two to five rubbing
도5a 및 도5b는 러빙롤러(15)와 패널기판의 위치가 일치하도록 패널기판(22)의 위치를 조정하는 과정을 설명하기 위한 도면이다. 도면에서 테이블(10)(11) 등에 배치된 영상 인식용 카메라 유닛(18)은 미리 러빙롤러(15)의 중심 위치에 대해 XY좌표 상에 고정된 것이다.5A and 5B are views for explaining a process of adjusting the position of the
먼저 러빙장치 내로 반송된 패널기판은 진공라인에 의해 테이블(10)(11)에 진공 흡착된다. 테이블(10)(11)에 반송된 패널기판의 위치를 영상 인식용 카메라 유닛(18)에 의해 촬영된 후 제어수단이 인식한다.First, the panel substrate conveyed into the rubbing device is vacuum-adsorbed to the tables 10 and 11 by the vacuum line. The control means recognizes the position of the panel substrate conveyed to the tables 10 and 11 after being photographed by the
여기서 도5b에서는 영상 인식용 카메라 유닛(18)이 패널기판의 구석을 보고 있지만, 패널기판에 인쇄된 형상이나 표식 등을 식별해도 동일한 결과를 얻을 수 있다.In FIG. 5B, the image
도5a의 상단에 위치한 화상은 영상 인식용 카메라 유닛(18)에 의해 얻어진 최초의 화면이다. 여기서 영상 인식용 카메라 유닛(18)의 시야 중심은 러빙롤러(15)와 평행이다.The image located at the top of Fig. 5A is the first screen obtained by the
여기서 영상 인식용 카메라 유닛(18)에 의해 촬영된 영상 데이터를 기초로 하여 제어수단이 패널기판의 위치를 보정하기 위한 보정값을 구하고 이를 기초로 패널기판의 위치를 보정하는 다양한 방법이 있지만, 도5a 및 도5b에서는 패널기판(22)의 끝 부분을 러빙롤러(15)의 접촉면(20)을 일치시키는 방법을 예로 설명한다.Here, there are various methods in which the control means obtains a correction value for correcting the position of the panel substrate based on the image data photographed by the image
통상적으로 러빙롤러(15)에 감긴 러빙포가 패널기판(22) 폭보다 크기 때문에 패널기판(22)의 중심과 테이블(10)(11)의 중심이 일치하지 않아도 되지만 본 발명의 실시예에서는 패널기판(22)과 러빙롤러(15)의 러빙포를 완전히 일치시키는 것이 용이하다.In general, since the rubbing cloth wound around the rubbing
여기서 패널기판(22)의 위치이동은 패널기판(22)을 탑재하고 있는 고정 테이블(10)을 지지하고 있는 슬라이딩 유닛에 의한다.The positional movement of the
도5b에서와 같이 영상 인식용 카메라 유닛(18)으로부터 패널기판(22)에 대한 영상 데이터를 제공받은 제어수단은 영상 인식용 카메라 유닛(18) 중심과의 차이로부터 패널기판(22)의 중심을 확인하여 러빙롤러(15)와 패널기판(22)의 위치를 보정 하기 위한 패널기판(22)을 탑재하고 있는 테이블(10)(11)의 위치 이동을 인식할 수 있다.As shown in FIG. 5B, the control means receiving the image data of the
이렇게 고정테이블(10)의 슬라이딩 유닛(18)에 의해 위치 조정된 러빙롤러(15)와 패널기판에 대한 화상이 도5a의 하단에 도시된 바와 같이 얻어진다. 더 나아가서 본 발명은 슬라이딩 유닛(18)에 의하지 않고 회전테이블(11) 내의 회전 및 상승장치에 의해서도 패널기판의 위치이동이 가능하다. 이는 위에서 설명한 것처럼 러빙포과 패널기판과의 크기의 차이에 여유가 있기 때문이다.The images of the rubbing
물론 패널기판의 대형화에 맞춰 러빙포를 대형으로 제작하는데 한계가 생길 수 있음은 당연하다.Of course, it is natural that there may be a limit in producing a rubbing cloth in accordance with the enlargement of the panel substrate.
위와 같은 한계를 극복하기 위해서는 정밀 위치맞춤이 필요한데, 도6은 테이블(10)(11)의 중심과 러빙롤러(15)의 중심이 일치하도록 하는 하나의 방법을 설명하기 위한 도면이다.In order to overcome the above limitations, precise positioning is required. FIG. 6 is a view for explaining a method of matching the center of the table 10 and 11 with the center of the rubbing
원활한 러빙 처리를 위해 패널기판의 거대화에 수반하여 러빙롤러(15) 폭도 길어진다. 이 때문에 러빙롤러(15)의 이동만으로 패널기판과의 위치를 조정하는 경우 좌우로 어긋남이 발생할 수 있다.The width of the rubbing
이를 보완하기 위하여 도6에서와 같이 고정테이블(10)의 좌우에 선형 스케일(linear scale)을 설치하여 완전한 보간 제어를 실시할 수 있다. 만일 선형 스케일이 떨어져 나가는 경우 복원하는 것은 불가능하다.In order to compensate for this, as shown in FIG. 6, a linear scale may be installed on the left and right sides of the fixed table 10 to perform complete interpolation control. If the linear scale falls off, it is impossible to recover.
영상 인식용 카메라 유닛(18)에 의해 러빙롤러(15)의 중심축을 직접 인식하는 것으로 위에서 설명한 여러 가지 방법 등에 의해 테이블(10)(11)과의 기계적인 평행정밀도를 수정 및 유지하는 것이 가능하다.By directly recognizing the central axis of the rubbing
도면에서와 같이 테이블(10)(11) 위의 패널기판을 올리지 않고 위치조정을 위한 전용 지그를 올려놓으면 회전테이블(11)의 선회 원점의 보정도 실시할 수 있다. 또한 위의 도5a 및 도5b에서 설명한 방법에 의하면 위치 정밀도의 재현성을 확인할 수 있다.As shown in the drawing, if a dedicated jig for position adjustment is placed without raising the panel substrate on the tables 10 and 11, the turning origin of the rotary table 11 can also be corrected. In addition, according to the method described with reference to FIGS. 5A and 5B, the reproducibility of the position precision can be confirmed.
위에서는 영상인식으로 실시의 형태를 설명했지만, 일반적인 투과형 센서 등을 이용하는 것도 동일한 효과를 얻을 수 있다.Although the embodiment has been described by image recognition above, the same effect can be obtained by using a general transmissive sensor or the like.
본 발명은 러빙포를 붙인 러빙롤러를 구비한 러빙장치 이외의 러빙장치에 적용할 수 있다. 예를 들면 전기적 바이어스(BIAS) 인가나 레이저 등 빛을 이용한 러빙장치의 경우에도 적용 가능하다.The present invention can be applied to a rubbing device other than a rubbing device having a rubbing roller with a rubbing cloth attached thereto. For example, it is applicable to a rubbing device using electric bias (BIAS) or using light such as a laser.
물론, 위치 보정은 러빙 처리가 이루어지지 않는 상태에서 행해진다.Of course, the position correction is performed in a state where the rubbing process is not performed.
따라서 본 발명에 의하면, 본 발명은 높은 정밀도가 요구되는 러빙장치에서 패널기판과 러빙롤러 사이의 상대적인 평행 조정이 용이할 뿐만이 아니라 기준면을 이동시킬 필요가 없기 때문에 러빙장치의 설치장소가 변경되어도 패널기판과 러빙롤러 사이의 상대적인 평행 재조정이 용이하다.Therefore, according to the present invention, the present invention is not only easy to adjust the relative parallelism between the panel substrate and the rubbing roller in the rubbing device requiring high precision, but also does not need to move the reference plane, so even when the place of installation of the rubbing device is changed, Relative parallel readjustment between the roller and rubbing rollers is easy.
또한 본 발명은 러빙하고자 하는 패널기판의 대형화에도 불구하고 러빙장치의 부피를 늘리지 않아도 되므로 러빙장치가 점유하는 공간을 최소한으로 줄일 수 있다.In addition, the present invention does not have to increase the volume of the rubbing device despite the enlargement of the panel substrate to be rubbed, thereby reducing the space occupied by the rubbing device to a minimum.
그리고 본 발명은 러빙롤러와 이송되는 패널기판의 상대적인 평행을 일치시 켜 현재 사용중인 러빙포의 유효면적을 이용할 수 있도록 함으로써 러빙포의 마모를 줄일 수 있다.In addition, the present invention can reduce the wear of the rubbing cloth by matching the relative parallel between the rubbing roller and the panel substrate to be transported to use the effective area of the rubbing cloth currently in use.
Claims (8)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070049911A KR100860480B1 (en) | 2007-05-22 | 2007-05-22 | Rubbing device having panel board position revision function |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070049911A KR100860480B1 (en) | 2007-05-22 | 2007-05-22 | Rubbing device having panel board position revision function |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR100860480B1 true KR100860480B1 (en) | 2008-09-26 |
Family
ID=40023733
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020070049911A KR100860480B1 (en) | 2007-05-22 | 2007-05-22 | Rubbing device having panel board position revision function |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100860480B1 (en) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07168184A (en) * | 1993-12-15 | 1995-07-04 | Casio Comput Co Ltd | Rubbing device |
JPH10148830A (en) * | 1996-11-19 | 1998-06-02 | Casio Comput Co Ltd | Apparatus for production of liquid crystal display element |
KR20000014703A (en) * | 1998-08-24 | 2000-03-15 | 김영환 | Liquid crystal orientation device |
JP2003215596A (en) * | 2002-01-25 | 2003-07-30 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | Method for adjusting parallelism in rubbing roller and rubbing device |
KR20050070456A (en) * | 2003-12-30 | 2005-07-07 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Rubbing system |
KR20050094012A (en) * | 2004-03-17 | 2005-09-26 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | Rubbing equipment of liquid crystal display |
KR20070029422A (en) * | 2005-09-09 | 2007-03-14 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Rubbing device of an alignment layer for liquid crystal display device |
-
2007
- 2007-05-22 KR KR1020070049911A patent/KR100860480B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07168184A (en) * | 1993-12-15 | 1995-07-04 | Casio Comput Co Ltd | Rubbing device |
JPH10148830A (en) * | 1996-11-19 | 1998-06-02 | Casio Comput Co Ltd | Apparatus for production of liquid crystal display element |
KR20000014703A (en) * | 1998-08-24 | 2000-03-15 | 김영환 | Liquid crystal orientation device |
JP2003215596A (en) * | 2002-01-25 | 2003-07-30 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | Method for adjusting parallelism in rubbing roller and rubbing device |
KR20050070456A (en) * | 2003-12-30 | 2005-07-07 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Rubbing system |
KR20050094012A (en) * | 2004-03-17 | 2005-09-26 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | Rubbing equipment of liquid crystal display |
KR20070029422A (en) * | 2005-09-09 | 2007-03-14 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Rubbing device of an alignment layer for liquid crystal display device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5639431B2 (en) | Deposition equipment | |
TWI438165B (en) | Multi - stroke thread loading scribing device and cutter wheel holder replacement method | |
US7916277B2 (en) | Exposing apparatus having substrate chuck of good flatness | |
CN108136764B (en) | The transfer device of electronic equipment and the transfer method of electronic equipment | |
JP3828808B2 (en) | Component mounting apparatus and component mounting method | |
CN114222664A (en) | Display panel side terminal printing system | |
KR20110009488A (en) | Substrate aligning device | |
CN113176280B (en) | Liquid crystal panel layering detection device and method | |
JP4084393B2 (en) | Component mounting apparatus and component mounting method | |
JP2006239976A (en) | Pattern forming apparatus, and position correcting method | |
KR100860480B1 (en) | Rubbing device having panel board position revision function | |
JP2013205764A (en) | Exposure device | |
KR20190124558A (en) | Endless track module and apparatus having the same | |
KR100509281B1 (en) | Bonding Equipment For Bonding Anisotropic Conductive Film And Drive Chip Of Flat Panel Display | |
KR101807195B1 (en) | Array test apparatus | |
JP2007193197A (en) | Apparatus and method for positioning workpiece | |
KR101255285B1 (en) | Apparatus and method of fabricating flat display device | |
JP5099318B2 (en) | Exposure apparatus and exposure method | |
CN108398814B (en) | Processing device for display equipment | |
JP2007320152A (en) | Screen printing machine | |
KR20020079408A (en) | Exposure apparatus | |
US20150124235A1 (en) | Tray for an exposure machine | |
KR20040006224A (en) | Bonding Equipment For Anisotropic Conductive Film And Drive Chip Of Flat Panel Display | |
JP5089258B2 (en) | Proximity scan exposure apparatus and exposure method therefor | |
CN110888246B (en) | Polaroid alignment system and method for improving optical alignment precision of polaroid |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee | ||
R401 | Registration of restoration | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120921 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130923 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |