KR101757787B1 - A dual-gate valves - Google Patents

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KR101757787B1
KR101757787B1 KR1020160120769A KR20160120769A KR101757787B1 KR 101757787 B1 KR101757787 B1 KR 101757787B1 KR 1020160120769 A KR1020160120769 A KR 1020160120769A KR 20160120769 A KR20160120769 A KR 20160120769A KR 101757787 B1 KR101757787 B1 KR 101757787B1
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서진천
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Abstract

본 발명은 동일한 구성이되, 서로 반대방향으로 개폐작동을 하는 밸브엑츄에이터부가 2개로 구성되고, 각각의 블레이드가 삽입되는 상부하우징이 밸브엑츄에이터부와 탈착가능하게 구성됨으로써, 고장이 발생되는 밸브엑츄에이터부만 별도로 분리하여 교체가 이루어져 교체시 작업시간이 단축되고, 작업 및 관리가 효율적으로 이루어지며, 제품의 호환성이 증가된다는 장점이 있다.The present invention has two valve actuators having the same construction and performing opening and closing operations in mutually opposite directions, and the upper housing into which the respective blades are inserted is detachably attached to the valve actuator, It is advantageous that the working time is shortened, the work and management are efficiently performed, and the compatibility of the products is increased.

Description

듀얼 게이트밸브{A dual-gate valves}A dual-gate valves < RTI ID = 0.0 >

본 발명은 듀얼 게이트밸브에 관한 것으로서, 한 쌍으로 이루어지고 서로 탈착가능하게 형성되되, 하부는 개구되어 형성되고, 내부에 각각의 구동부(110, 110`)가 구비되는 밸브엑츄에이터부(100, 100`);와, 상기 밸브엑츄에이터부(100, 100`)의 상부에 탈착가능하게 결합되되, 전면과 후면에 각각 개구된 제1, 2 이동통로(210, 220)가 형성되고, 내측에는 각각의 블레이드(120, 120`)가 위치되어 상, 하 방향으로 이동되되, 격벽없이 하나의 공간으로 이루어진 상태에서 각각의 블레이드(120, 120`)가 구동에 지장없는 최소한의 이격거리(D)를 유지하여 그 폭(B)을 최소화시켜 형성되는 블레이드이동부(230)를 포함하는 상부하우징(200);으로 구성되는 것을 특징으로 하는 듀얼 게이트밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a dual gate valve comprising a pair of valve actuators (100, 100) each of which is detachably mounted to each other and which is open at the bottom and has respective actuators (110, 110 ' The first and second moving passages 210 and 220 are detachably coupled to the upper portions of the valve actuators 100 and 100 'and are respectively opened on the front and rear surfaces. The blades 120 and 120 'are positioned and moved in the upward and downward directions, and each blade 120 and 120' has a minimum separation distance D without interfering with driving in a state where the blades 120 and 120 ' And an upper housing (200) including a blade moving part (230) formed by minimizing the width (B) of the blade (200).

본 발명은 예를 들어 집적회로(IC) 또는 그 부품과 같은 가공물을 어느 진공처리실로부터 다른 진공처리실로 이송시키기 위한 이송경로를 개폐하거나, 또는 압축유체나 가스 등의 유체유동경로 또는 배기유동경로를 개폐하기 위한 게이트밸브 (gate valve)에 관한 것이다.The present invention relates to a method and apparatus for opening and closing a conveyance path for conveying a workpiece such as, for example, an integrated circuit (IC) or its parts from one vacuum processing chamber to another vacuum processing chamber, or by opening or closing a fluid flow path such as a compressed fluid or gas, And a gate valve for opening and closing the gate valve.

일반적으로, 반도체 소자 또는 기판 등의 고정밀제품은 고정밀도를 요구함으로써, 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되고 있는 추세이다.In general, high-precision products such as semiconductor devices or substrates require high precision, and therefore, high cleanliness and special manufacturing techniques are required.

이러한 이유로 고정밀제품은 공기 중에 포함된 이물질의 접촉을 가장 완벽하게 차단할 수 있는 진공상태에서 제조되는 것이 바람직하다.For this reason, it is preferable that the high-precision product is manufactured in a vacuum state in which the contact of the foreign substances contained in the air can be most completely blocked.

따라서, 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술은 고정밀제품의 품질의 절대적인 영향을 준다.Therefore, the sealing technique between the vacuum working area of the semiconductor manufacturing apparatus and the atmosphere has an absolute influence on the quality of high-precision products.

이와 같이, 반도체 웨이퍼 또는 액정기판을 처리하기 위한 장치에 있어서, 반도체 웨이퍼 또는 액정기판은 연통 통로(communicationpassageways)을 통해 여러 처리실로부터 삽입 및 적출(withdrawal)되는데, 이러한 연통통로에는 이 통로를 개폐하는 게이트 밸브가 설치된다.As described above, in the apparatus for processing a semiconductor wafer or a liquid crystal substrate, a semiconductor wafer or a liquid crystal substrate is inserted and withdrawn from various processing chambers through communication passageways. In this communication channel, A valve is installed.

이러한 게이트밸브는 크게 단방향타입과 양방향타입의 두가지 종류로 분류되어 제조공정의 특성에 맞는 타입을 선택하여 설치된다.These gate valves are mainly classified into two types, unidirectional type and bidirectional type, and are selected by selecting a type suited to the characteristics of the manufacturing process.

특히, 양방향타입의 게이트밸브의 경우, 선택적으로 고정밀제품의 이동공간을 폐쇄할 수 있고, 일측의 이동공간만을 폐쇄하도록 설정하였다가 일측의 이동공간 폐쇄에 문제가 발생하게 되면, 타측의 이동공간을 폐쇄하도록 설정할 수 있어 구동의 연속성을 확보하는 것이 가능해 진다.Particularly, in the case of a bidirectional type gate valve, it is possible to selectively close the moving space of a high-precision product, and when only one moving space is closed, if a problem occurs in closing the moving space on one side, So that continuity of driving can be ensured.

이러한 양방향타입의 게이트밸브의 실시예로는 대단히 다양한 실시예가 제안되어 실시되고 있으며, 이 중 하기 특허문헌 1의 “양방향 게이트밸브(대한민국 등록특허공보 제10-1258240호)”와 같은 구성이 게시되어 있다.A very wide variety of embodiments of such bidirectional gate valves have been proposed and implemented, and a configuration such as the " two-way gate valve (Korean Registered Patent No. 10-1258240) " have.

상기 특허문헌 1의 “양방향 게이트밸브”는 전면과 후면이 각각 개구된 개구부(11,12)가 구비된 진공하우징(10)의 내부에서 상하/전후방향으로 작동되어 상The " two-way gate valve " of Patent Document 1 is operated in the vertical / back-and-forth direction inside the vacuum housing 10 provided with the openings 11 and 12,

기 각 개구부(11,12)를 밀폐시키는 밀폐부재(110); 상기 진공하우징(10)의 하측부에 수직하게 연결되는 제1밸브하우징(20)에 구비되며 상기 밀폐부재(110)의 하측에 상측이 결합되는 메인샤프트(120); 상기 제1밸브하우징(20)에 구비되며 상기 메인샤프트(120)의 하측에 결합되는 메인실린더(131)와 상기 메인실린더(131) 내부에 설치되어 상기 메인실린더(131) 내부에 공급되는 압축공기의 증감에 따라 상승 또는 하강하고 상기 메인샤프트(120)와 연결되는 메인피스톤(132)이 구비되는 밸브구동부(130); 상기 제1밸브하우징(20)의 하측부에 수직하게연결되는 제2 밸브하우징(30)의 상측부에 구비되며 제1링크(40)를 매개로 상기 밸브구동부(130)의 하측부에 결합되어 밸브구동부(130)를 회동시키는 제1무빙유닛(140); 상기 제2밸브하우징(30)의 상측부에 구비되며 제2링크(50)를 매개로 상기 밸브구동부(130)의 하측부에 결합되어 밸브구동부(130)를 회동시키는 제2무빙유닛(150); 상기 제2밸브하우징(30)의 하측부에 구비되며 상기 제1무빙유닛(140)의 하측부에 연결되어 상하운동되는 제1피스톤샤프트(161)와 상기 제1피스톤샤프트(161)가 끼워져 상하운동되는 제1피스톤(162)이 구비된 제1회전구동부(160); 상기 제2밸브하우징(30)의 하측부에 구비되며 상기 제2무빙유닛(150)의 하측부에 연결되어 상하운동되는 제2피스톤샤프트(171)와 상기 제2피스톤샤프트(171)가 끼워져 상하운동되는 제2피스톤(172)이 구비되는 제2회전구동부(170); 및 상기 제2밸브하우징(30)의 하측부에 구비되며 상기 제1회전구동부(160)와 제2회전구동부(170)의 제1피스톤(162)과 제2피스톤(172)이 각각 압축공기의 증감에 따라 상승 또는 하강되도록 하는 제1 및 제2밸브구동부(180,190)를 포함하며, 상기 제1무빙유닛(140)과 제2무빙유닛(150)은, 상기 제2밸브하우징(30)의 상측부 전면과 후면에 각각 설치되는 제1/2가이드판넬(141,151)을 따라 각각 가이드되어 제1링크(40)와 제2링크(50)를 매개로 상기 밸브구동부(130)의 회동을 위한 상하운동을 용이하게 하는 제1/2가이드베어링(142,152)을 포함하고, 상기 제1회전구동부(160)와 제2회전구동부(170)는, 상기 제1/2피스톤샤프트(161,171)와 제1/2피스톤(162,172) 외에 상기 제2밸브하우징(30)의 하측부에 구비되는 제1/2피스톤샤프트(161,171)가 제1/2밸브구동부(180,190)에 의해 승강 동작시 압축공기의 밀도에 따라 회전되는 것을 방지하는 회전방지용부싱(163,미도시)을 포함하며, 상기 회전방지용부싱(163,미도시)은, 상기 제2밸브하우징(30)의 내부에 위치되어 상기 제1/2피스톤샤프트(161,171)의 길이방향으로 형성되는 가이드홈(161a,미도시)에 끼워져 가이드되는 부싱가이드베어링(163a,미도시)을 포함하는 것이 특징으로서, 밸브구동부가 제2밸브하우징의 전면과 후면을 향하여 회동되는 방향에 설치되는 제1/2가이드판넬에 각각 가이드되는 제1/2가이드베어링을 통하여 무빙유닛이 반복적인 상하운동함으로써, 상기 가이드베어링에 많은 응력이 집중되는 것을 방지하여 가이드베어링이 마모 또는 파손되는 것을 방지할 수 있다는 장점이 있었다.A sealing member 110 for sealing the opening portions 11 and 12; A main shaft 120 provided on a first valve housing 20 vertically connected to a lower portion of the vacuum housing 10 and coupled to a lower side of the sealing member 110; A main cylinder 131 provided in the first valve housing 20 and coupled to the lower side of the main shaft 120 and a compressed air supply unit 132 installed in the main cylinder 131, A valve driving part 130 having a main piston 132 which is raised or lowered according to an increase / decrease of the main shaft 120 and connected to the main shaft 120; The valve housing 30 is provided at an upper portion of a second valve housing 30 vertically connected to a lower portion of the first valve housing 20 and is coupled to a lower portion of the valve driving portion 130 via a first link 40 A first moving unit 140 for rotating the valve driving unit 130; A second moving unit 150 provided at an upper portion of the second valve housing 30 and coupled to a lower portion of the valve driving unit 130 through a second link 50 to rotate the valve driving unit 130, ; A first piston shaft 161 provided at a lower portion of the second valve housing 30 and connected to a lower portion of the first moving unit 140 so as to move up and down and the first piston shaft 161, A first rotation driving part 160 provided with a first piston 162 to be moved; A second piston shaft 171 provided at a lower portion of the second valve housing 30 and connected to a lower portion of the second moving unit 150 to move up and down and the second piston shaft 171, A second rotation driving part 170 provided with a second piston 172 to be moved; And a first piston (162) and a second piston (172) of the first rotary drive part (160) and the second rotary drive part (170) provided at a lower side of the second valve housing (30) Wherein the first and second moving units (140, 150) are mounted on the upper surface of the second valve housing (30), and the first and second valve driving units (180, 190) The guide rails 120 are guided along the first and second guide panels 141 and 151 installed on the side front and rear surface, respectively, and are vertically moved for the rotation of the valve driving part 130 via the first link 40 and the second link 50 And the first and second rotation driving parts 160 and 170 are disposed between the first and second piston shafts 161 and 171 and the first and second guide shafts 161 and 171, The first and second piston shafts 161 and 171 provided at the lower portion of the second valve housing 30 in addition to the pistons 162 and 172 are connected to the first and second valve driving portions 180 and 190, The bushing 163 (not shown) is disposed inside the second valve housing 30 to prevent the rotation of the first / And a bushing guide bearing 163a (not shown) that is inserted and guided in a guide groove 161a (not shown) formed in the longitudinal direction of the first and second piston shafts 161 and 171, The moving unit repeatedly moves upward and downward through the half guide bearings guided by the half guide plates installed in the direction of rotating toward the rear, thereby preventing a large amount of stress from concentrating on the guide bearings, It is possible to prevent the abrasion or breakage.

그러나, 상기 특허문헌 1의 “양방향 게이트밸브”는 하나로 이루어진 게이트밸브의 구성요소들(120, 130, 140 ,150, 160, 170, 180, 190)이 진공하우징(10) 및 제1, 2 밸브하우징(20, 30) 내에 설치됨으로써, 양방향으로 구동되는 게이트밸브의 단방향이 작동되지 않는 경우, 게이트밸브의 구성요소들 전체를 분리하여야 하기 때문에 교체작업시 교체가 불필요한 부품까지 작업을 하여 작업시간이 증가하고, 작업 및 관리의 효율성 또한 저하된다는 문제점이 있었다.However, the " two-way gate valve " of Patent Document 1 has a structure in which the components 120, 130, 140, 150, 160, 170, 180, 190 of the gate valve composed of one are connected to the vacuum housing 10 and the first and second valves In the case where the unidirectional gate valve operated in both directions is not operated by installing in the housings (20, 30), it is necessary to separate all the components of the gate valve, And the efficiency of work and management is also lowered.

또한, 작업 및 관리의 효율성을 향상시키기 위해 동일한 구성의 게이트밸브를 하나 더 추가하여 이중구조의 게이트밸브를 구성한다 하더라도 게이트밸브의 전체 크기가 대단히 증가하게 되어, 이로 인해 설치공간의 제약을 받아 설치가 용이하지 않게된다는 문제점이 있었다.Further, in order to improve the efficiency of operation and management, even if a gate valve having a dual structure is added by adding one gate valve having the same configuration, the total size of the gate valve is greatly increased, It is not easy.

특허문헌 1: 대한민국 등록특허공보 제10-1258240호Patent Document 1: Korean Patent Publication No. 10-1258240

본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 동일한 구성이되, 서로 반대방향으로 개폐작동을 하는 밸브엑츄에이터부가 2개로 구성되고, 각각의 블레이드가 삽입되는 상부하우징이 밸브엑츄에이터부와 탈착가능하게 구성됨으로써, 고장이 발생되는 밸브엑츄에이터부만 별도로 분리하여 교체가 이루어져 교체시 작업시간이 단축되고, 작업 및 관리가 효율적으로 이루어지며, 제품의 호환성이 증가되는 듀얼 게이트밸브를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived to solve the problems described above, and it is an object of the present invention to provide a valve actuator having two valve actuators, A dual gate valve is provided in which only the valve actuator portion in which a failure occurs is separated and replaced so as to shorten the working time at the time of replacement, to efficiently perform work and management, and to increase the compatibility of products .

또한, 상부하우징의 내부에 2개의 블레이드가 위치되는 블레이드이동부를 별도의 격벽없이 일체형타입의 하나의 공간으로 형성함으로써, 기존의 게이트밸브를 2개 합쳐 구성할 때 보다 그 전체 폭 작게 형성되어, 설치공간의 제약을 받지 않게되어 설치가 용이한 듀얼 게이트밸브를 제공하는 것이다.In addition, since the blade moving part in which the two blades are disposed in the upper housing is formed as one integral type space without a separate partition wall, the overall size of the blade moving part is smaller than that of the conventional two gate valves, A dual gate valve that is free from space constraints and easy to install.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 듀얼 게이트밸브는, 한 쌍으로 이루어지고 서로 탈착가능하게 형성되되, 하부는 개구되어 형성되고, 내부에 각각의 구동부(110, 110`)가 구비되는 밸브엑츄에이터부(100, 100`);와, 상기 밸브엑츄에이터부(100, 100`)의 상부에 탈착가능하게 결합되되, 전면과 후면에 각각 개구된 제1, 2 이동통로(210, 220)가 형성되고, 내측에는 각각의 블레이드(120, 120`)가 위치되어 상, 하 방향으로 이동되되, 격벽없이 하나의 공간으로 이루어진 상태에서 각각의 블레이드(120, 120`)가 구동에 지장없는 최소한의 이격거리(D)를 유지하여 그 폭(B)을 최소화시켜 형성되는 블레이드이동부(230)를 포함하는 상부하우징(200);으로 구성되는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above-mentioned problems, the dual gate valve according to the present invention is formed as a pair and detachable from each other, and the lower part is formed to be open, and each of the driving parts 110 and 110 ' First and second moving passages 210 and 220 detachably coupled to the upper portions of the valve actuators 100 and 100` and respectively opened on the front and rear surfaces of the valve actuators 100 and 100 ' The blades 120 and 120 'are positioned inside and are moved in the upward and downward directions. In the state where the blades 120 and 120' are formed as one space without a partition wall, the blades 120 and 120 ' And an upper housing 200 including a blade moving part 230 which is formed by minimizing a width B of the blade while maintaining a spacing D of the blade.

또한, 상기 밸브엑츄에이터부(100, 100`)의 하부에는 각각 탈착가능하게 결합되는 하부밀폐판(300, 300`)이 형성되고, 상기 하부밀폐판(300, 300`)의 하부에는 한 쌍의 상기 밸브엑츄에이터부(100, 100`)를 연결하여 일체화되는 것을 가이드하도록 고정플레이트(400)가 두 개 이상 구비되는 것을 특징으로 한다.Further, lower sealing plates 300 and 300 ', which are detachably coupled to the lower portions of the valve actuators 100 and 100', are formed, and a pair of lower sealing plates 300 and 300 ' And two or more fixing plates 400 are provided to guide the valve actuators 100 and 100 'to be integrated with each other.

또한, 상기 상부하우징(200)의 상부에는 상기 상부하우징(200)과 상기 밸브엑츄에이터부(100, 100`)가 결합된 상태에서 상기 블레이드(120, 120`)를 상기 구동부(110, 110`)로부터 분리하여 외부로 탈거되도록 커버부(240)가 탈착가능하게 형성되는 것을 특징으로 한다.The upper housing 200 and the valve actuators 100 and 100 'are coupled to the upper housing 200 so that the blades 120 and 120' And the cover part 240 is detachably attached so as to be detached from the outside.

이상, 상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 동일한 구성이되, 서로 반대방향으로 개폐작동을 하는 밸브엑츄에이터부가 2개로 구성되고, 각각의 블레이드가 삽입되는 상부하우징이 밸브엑츄에이터부와 탈착가능하게 구성됨으로써, 고장이 발생되는 밸브엑츄에이터부만 별도로 분리하여 교체가 이루어져 교체시 작업시간이 단축되고, 작업 및 관리가 효율적으로 이루어지며, 제품의 호환성이 증가된다는 장점이 있다.As described above, according to the present invention, since the valve actuators having the same construction and performing the opening and closing operations in the opposite directions are constituted by two, and the upper housing into which the respective blades are inserted is detachably attached to the valve actuator portion And the valve actuator portion in which the failure occurs is separately removed and replaced, thereby shortening the working time at the time of replacement, efficiently performing work and maintenance, and increasing the compatibility of products.

또한, 상부하우징의 내부에 2개의 블레이드가 위치되는 블레이드이동부를 별도의 격벽없이 일체형타입의 하나의 공간으로 형성함으로써, 기존의 게이트밸브를 2개 합쳐 구성할 때 보다 그 전체 폭 작게 형성되어, 설치공간의 제약을 받지 않게되어 설치가 용이하다는 장점이 있다.In addition, since the blade moving part in which the two blades are disposed in the upper housing is formed as one integral type space without a separate partition wall, the overall size of the blade moving part is smaller than that of the conventional two gate valves, There is an advantage that it is easy to install since it is not restricted by the space.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 듀얼 게이트밸브의 전체 모습을 보인 사시도
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 듀얼 게이트밸브의 분해된 모습을 보인 분해사시도
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 듀얼 게이트밸브의 정면의 모습을 보인 정면도
도 4는 도 3의 A-A의 단면의 모습 중 본체하우징 내의 밸브액츄에이터부가 설치 또는 미설치되었을 때의 모습을 보인 단면도
도 5 내지 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 듀얼 게이트밸브의 분리하는 모습을 보인 실시예도
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 듀얼 게이트밸브 내부에 설치된 하나의 밸브엑츄에이터부의 모습을 보인 내부도
도 9는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 듀얼 게이트밸브의 구성 중 하부밀폐판의 사시방향 및 정면의 모습을 보인 상태도
도 10은 도 9의 B-B 및 C-C의 단면의 모습을 보인 단면도FIG. 1 is a perspective view showing an entire structure of a dual gate valve according to a preferred embodiment of the present invention. FIG.
2 is an exploded perspective view showing an exploded view of a dual gate valve according to a preferred embodiment of the present invention.
3 is a front view showing a front view of a dual gate valve according to a preferred embodiment of the present invention.
Fig. 4 is a cross-sectional view showing a state when the valve actuator in the main housing is installed or not installed,
FIGS. 5 to 7 illustrate the separation of the dual gate valve according to the preferred embodiment of the present invention.
8 is an internal view showing a valve actuator unit installed in a dual gate valve according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a perspective view of a bottom sealing plate of a dual gate valve according to a preferred embodiment of the present invention,
10 is a cross-sectional view showing a cross-sectional view of BB and CC in Fig. 9

이하에서는 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 게이트밸브를 상세히 설명한다. 우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호로 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.Hereinafter, a dual gate valve according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, it should be noted that, in the drawings, the same components or parts are denoted by the same reference numerals whenever possible. In describing the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted so as to avoid obscuring the subject matter of the present invention.

도 1 또는 도 2를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 게이트밸브는 크게, 본체하우징(100, 100`), 상부하우징(200) 및 하부밀폐판(300, 300`)으로 구성된다.1 and 2, a dual gate valve according to an embodiment of the present invention includes a main body housing 100, 100 ', an upper housing 200, and a lower sealing plate 300, 300' .

설명에 앞서, 밸브엑츄에이터부(100, 100`)는 다양한 실시예를 통해 공개된 일실시예 중 하나의 게이트밸브를 표현한 것으로서, 일방향으로 작동되는 게이트밸브라면 어느 것이든 적용이 가능하며, 이에 대한 구조는 본 발명이 속하는 분야에서 이미 공개된 기술수준에 해당하므로 상세한 설명은 생략한다.Prior to the description, the valve actuator units 100 and 100 'represent one gate valve in one embodiment disclosed in various embodiments, and any gate valve operated in one direction can be applied. The structure corresponds to the level of technology already disclosed in the field to which the present invention belongs, and thus a detailed description thereof will be omitted.

한편, 본 발명의 도면에 도시된 밸브엑츄에이터부(100, 100`)는 본 출원인이 2015년 9월 25일에 출원한 “양방향 게이트밸브(출원번호 10-2015-0136296)”의 구성의 일부를 그대로 사용하였다는 것에 대해 유의하여야 한다.Meanwhile, the valve actuator units 100 and 100 'shown in the drawings of the present invention include a part of the configuration of the "bidirectional gate valve (application No. 10-2015-0136296)" filed on September 25, 2015 It should be noted that it was used as it is.

먼저, 밸브엑츄에이터부(100, 100`)에 대하여 설명한다. 상기 밸브엑츄에이터부(100, 100`)은 도 1, 도 2, 도 3에 나타낸 것과 같이, 2개로 구성되어 서로 탈착가능하게 구성되는 것이 바람직하다.First, the valve actuator units 100 and 100 'will be described. 1, 2, and 3, the valve actuator units 100 and 100 'are preferably configured to be detachable from each other.

한편, 각각의 상기 밸브엑츄에이터부(100, 100`)의 내부에는 상기 밸브엑츄에이터부(100, 100`)의 구동부(110, 110`) 및 실린더(130, 130`)가 안착되어 보관되는 안착부(101, 101`)가 각각 형성된다.In the meantime, the valve actuators 100 and 100 'are provided with a driving part 110 and 110' and cylinders 130 and 130 'of the valve actuators 100 and 100' (101, 101 '), respectively.

또한, 상기 밸브엑츄에이터부(100, 100`)의 하부는 각각 개구되어 형성됨으로써, 2개의 상기 구동부(110, 110`) 중 교체가 필요한 상기 안착부(101, 101`)에 설치된 상기 구동부(110, 110`) 및 상기 실린더(130, 130`)를 선택적으로 하부방향으로 빼내어 분리시키는 것을 가능하게 한다.The lower portions of the valve actuators 100 and 100 'are respectively opened so that the driving units 110 and 110' installed in the seating units 101 and 101`, which are required to be replaced among the two driving units 110 and 110 ' , 110` and the cylinders 130, 130` can be selectively pulled out in the downward direction.

이때, 상기 밸브엑츄에이터부(100, 100`)의 하부에는 탈착가능한 후술할 하부밀폐판(300, 300`)이 설치된다.At this time, lower sealing plates 300 and 300 ', which will be described later, are installed on the lower parts of the valve actuators 100 and 100'.

다음으로, 상부하우징(200)에 대하여 설명한다. 상기 상부하우징(200)은 도 1, 도 2, 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 밸브엑츄에이터부(100, 100`)의 상부에 탈착가능하게 설치되는 구성요소로서, 전면과 후면에 반도체소자(예컨대, 웨이퍼 등)가 이동되도록 각각 개구된 제1, 2 이동통로(210, 220)가 형성된다.Next, the upper housing 200 will be described. As shown in FIGS. 1, 2 and 3, the upper housing 200 is detachably mounted on the valve actuator unit 100 or 100 '. The upper housing 200 includes semiconductor elements (for example, , Wafers, etc.) are moved are formed in the first and second moving passages 210 and 220, respectively.

한편, 상기 상부하우징(200)의 내부에는 각각의 블레이드(12, 12`)가 위치되어 상기 제1, 2 이동통로(210, 220)를 각각 개별적으로 개폐할 수 있도록 하나의 공간으로 이루어진 블레이드이동부(230)가 형성된다.Each of the blades 12 and 12 'is positioned inside the upper housing 200 to open and close the first and second moving passages 210 and 220 individually. (230) is formed.

한편, 도 4에 나타낸 것과 같이, 상기 블레이드이동부(230)는 공간을 구획하는 별도의 격벽없이 하나의 공간으로 이루어진 상태에서 각각의 블레이드(120, 120`)가 구동에 지장없는 최소한의 이격거리(D)를 유지하여 그 폭(B)을 최소화시켜 공간의 제약을 덜 받게 되어 설치작업이 용이해지는 것을 가능하게 한다.4, the blade moving part 230 is formed as a single space without a separate partition for partitioning a space, and each of the blades 120 and 120 'has a minimum separation distance D to minimize the width B, thereby making it possible to reduce the space constraint and to facilitate the installation work.

한편, 상기 상부하우징(200)의 상부에는 탈착가능하게 결합되는 커버부(240)가 형성됨으로써, 상기 상부하우징(200)과 상기 밸브엑츄에이터부(100, 100`)이 결합된 상태에서 상기 블레이드이동부(230) 내에 위치된 각각의 블레이드(120, 120`) 중 교체 또는 수리가 필요한 상기 블레이드(120, 120`)를 상기 구동부(110, 110`)로부터 분리하여 간단하게 상방향으로 탈거시키는 것을 가능하게 한다.The upper housing 200 is formed with a cover 240 detachably coupled to the upper housing 200 so that the upper housing 200 and the valve actuators 100 and 100 ' The blade 120, 120` required to be replaced or repaired among the respective blades 120, 120` placed in the housing 230 can be separated from the drive units 110, 110` and simply removed in the upward direction .

다음으로, 하부밀폐판(300, 300`)에 대하여 설명한다. 상기 하부밀폐판(300, 300`)은 도 2 또는 도 4에 나타낸 것과 같이, 각각의 상기 밸브엑츄에이터부(100, 100`)의 하부에 각각 탈착가능하게 결합되어 각각의 상기 구동부(110, 110`) 및 상기 실린더(130, 130`)를 각각의 상기 안착부(101, 101`)에 안착시키는 것을 가이드하고, 각각의 상기 구동부(110, 110`) 및 상기 실린더(130, 130`)를 교체하는 경우에는 상기 하부밀폐판(300, 300`)를 탈거하여 각각의 상기 구동부(110, 110`) 및 상기 실린더(130, 130`)를 간단하게 하방향으로 분리시키는 것을 가능하게 하는 구성요소이다.Next, the lower sealing plates 300 and 300 'will be described. As shown in FIG. 2 or 4, the lower sealing plates 300 and 300 'are detachably coupled to the lower portions of the valve actuators 100 and 100', respectively, 110 'and the cylinders 130, 130', respectively, by guiding the cylinders 130, 130 'to the respective seating portions 101, 101' (130, 130 ') can be easily removed by removing the lower sealing plate (300, 300') when replacing the driving unit (110, 110 ' to be.

한편, 상기 하부밀폐판(300, 300`)의 하부에는 각각의 상기 실린더(130, 130`)에 외부의 공압조절장치(미도시)로부터 공기의 압력을 주입하거나 배기하기 위하여 각각의 상기 실린더(130, 130`)와 공압조절장치(미도시)에 형성된 공기튜브(미도시)를 연결하는 공기튜브연결유닛(310, 310`)이 형성되는 것이 바람직하다.In order to inject or exhaust air pressure from an external air pressure regulating device (not shown) to each of the cylinders 130 and 130 'below the lower sealing plates 300 and 300' It is preferable that air tube connecting units 310 and 310` for connecting the air tubes (not shown) formed in the pneumatic pressure regulating devices (not shown) are formed.

상기한 내용과 같이, 각각의 상기 실린더(130, 130`)에 공기의 압력을 주입하거나 배기하기 위한 일실시의 예로는, 도 8 내지 도 10에 나타낸 것과 같이, 상기 하부밀폐판(300, 300`)의 상부에는 각각의 공기인입라인(140)과 연결되는 공기인입공(320)이 타공형성되고, 각각의 공기배기라인(140`)과 연결되는 공기배기공(330)이 타공형성되며, 상기 공기인입공(320)은 공기인입로(360)를 통해 상기 공기튜브연결유닛(310)의 제1 연결공(340)와 연결되고, 상기 공기배기공(330)은 공기배기로(370)를 통해 상기 공기튜브연결유닛(310)의 제2 연결공(350)와 연결되도록 구성되는 것이 바람직하다.As shown in FIGS. 8 to 10, the upper and lower sealing plates 300 and 300 ', 300, and 300' may be formed by injecting or exhausting air into the respective cylinders 130 and 130 ' An air exhaust hole 330 is formed in the upper part of the air inlet line 140 so as to be connected to each air exhaust line 140 ' The air inlet hole 320 is connected to the first connection hole 340 of the air tube connection unit 310 through an air inlet 360. The air exhaust hole 330 is connected to the air exhaust passage 370, The second connection hole 350 of the air tube connection unit 310 may be connected to the second connection hole 350 of the air tube connection unit 310.

한편, 도 2에 나타낸 것과 같이, 상기 하부밀폐판(300, 300`)의 하부에는 한 쌍의 상기 밸브엑츄에이터부(100, 100`)을 연결하여 일체화되는 것을 가이드하도록 고정플레이트(400)가 상기 하부밀폐판(300, 300`)의 직교방향으로 탈착가능하게 구비되는 것이 바람직하다.2, a pair of valve actuators 100 and 100 'are connected to a lower portion of the lower sealing plates 300 and 300' to guide the valve actuators 100 and 100 ' And is detachably installed in the direction perpendicular to the lower sealing plates 300 and 300 '.

이하에서는 도 5 내지 도 7을 참조하여, 본 발명의 일실시예에 따른 듀얼 게이트밸브에 각각 설치된 밸브엑츄에이터부(100, 100`)를 분리하는 과정을 설명하기로 한다.Hereinafter, the process of separating the valve actuators 100 and 100 'installed in the dual gate valve according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 to 7.

먼저, 두 개의 상기 밸브엑츄에이터부(100, 100`) 중 하나의 밸브엑츄에이터부(100) 또는 두개의 상기 밸브엑츄에이터부(100, 100`)를 교체하기 위하여, 상기 상부하우징(200)을 밸브엑츄에이터부(100, 100`)으로부터 탈거한다.(도 5의 (d))First, the upper housing 200 is connected to a valve actuator (not shown) in order to replace one valve actuator 100 or two valve actuators 100, 100 'of the two valve actuator units 100, 100' (Fig. 5 (d)).

다음으로, 각각의 밸브엑츄에이터부(100, 100`)의 하부에 결합된 상기 고정플레이트(400)를 탈거한다.(도 6의 (e))Next, the fixing plate 400 coupled to the lower portion of each of the valve actuator units 100 and 100 'is removed (Fig. 6 (e)).

이후, 각각의 밸브엑츄에이터부(100, 100`)의 하부에 결합된 각각의 상기 하부밀폐판(300, 300`)을 탈거한다.(도 6의 (f))Thereafter, each of the lower sealing plates 300 and 300 'coupled to the lower portions of the respective valve actuator units 100 and 100' is detached (FIG. 6 (f)).

다음으로, 필요에 따라 각각의 밸브엑츄에이터부(100, 100`)을 서로 분리한다.(도 7의 (g))Next, the valve actuator units 100 and 100 'are separated from each other as needed (Fig. 7 (g)).

이후, 각각의 상기 블레이드(120, 120`)는 상방향으로, 각각의 상기 구동부(110, 110`)는 하방향으로 각각 분리하여, 상기 각각의 밸브엑츄에이터부(100, 100`)으로부터 각각의 상기 블레이드(120, 120`)와 상기 구동부(110, 110`)를 탈거시킨다.Each of the blades 120 and 120 'is separated upwardly and each of the driving units 110 and 110' is downwardly separated from each of the valve actuators 100 and 100 ' The blades 120 and 120 'and the driving units 110 and 110' are detached.

상기한 분리과정은 하나의 일실시예에 지나지 않으며, 필요에 따라 작업자의 편의에 맞게 진행되는 것이 바람직하다.The above-described separation process is merely one embodiment, and it is preferable that the separation process is performed according to the convenience of the operator if necessary.

도면과 명세서에서 최적 실시 예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Optimal embodiments have been disclosed in the drawings and specification. Although specific terms have been employed herein, they are used for purposes of illustration only and are not intended to limit the scope of the invention as defined in the claims or the claims. Therefore, those skilled in the art will appreciate that various modifications and equivalent embodiments are possible without departing from the scope of the present invention. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

100, 100`: 밸브엑츄에이터부
101, 101`: 안착부 110, 110`: 구동부
120, 120`: 블레이드 130, 130`: 실린더
140: 공기인입라인 140`: 공기배기라인
200: 상부하우징 210: 제1 이동통로
220: 제2 이동통로 230: 블레이드이동부
240: 커버부
300, 300`: 하부밀폐판 310, 310`: 공기튜브연결유닛
320: 공기인입공 330: 공기배기공
340: 제1 연결공 350: 제2 연결공
360: 공기인입로 370: 공기배기로
400: 고정플레이트100, 100`: valve actuator part
101, 101 < a >: seat part 110, 110 &
120, 120`: blade 130, 130`: cylinder
140: air inlet line 140 ': air outlet line
200: upper housing 210: first moving passage
220: second moving passage 230:
240:
300, 300`: Lower sealing plate 310, 310`: Air tube connecting unit
320: air inlets 330: air exhausts
340: first connection hole 350: second connection hole
360: Air inlet line 370: Air outlet line
400: Fixing plate

Claims (3)

삭제delete 한 쌍으로 이루어지고 서로 탈착가능하게 형성되되, 하부는 개구되어 형성되고, 내부에 각각의 구동부(110, 110`)가 구비되는 밸브엑츄에이터부(100, 100`);
상기 밸브엑츄에이터부(100, 100`)의 상부에 탈착가능하게 결합되되, 전면과 후면에 각각 개구된 제1, 2 이동통로(210, 220)가 형성되고, 내측에는 각각의 블레이드(120, 120`)가 위치되어 상, 하 방향으로 이동되되, 격벽없이 하나의 공간으로 이루어진 상태에서 각각의 블레이드(120, 120`)가 구동에 지장없는 최소한의 이격거리(D)를 유지하여 그 폭(B)을 최소화시켜 형성되는 블레이드이동부(230)를 포함하는 상부하우징(200);으로 구성되되,
상기 밸브엑츄에이터부(100, 100`)의 하부에는 각각 탈착가능하게 결합되는 하부밀폐판(300, 300`)이 형성되고,
상기 하부밀폐판(300, 300`)의 하부에는 한 쌍의 상기 밸브엑츄에이터부(100, 100`)를 연결하여 일체화되는 것을 가이드하도록 고정플레이트(400)가 두 개 이상 구비되는 것을 특징으로 하는 듀얼 게이트밸브.A pair of valve actuators (100, 100 ') formed to be detachable from each other, a lower portion formed to be open and having respective driving portions (110, 110') therein;
The first and second moving passages 210 and 220 are detachably coupled to the upper portions of the valve actuators 100 and 100` and are respectively opened on the front and rear sides. The blade 120, 120 'maintains a minimum separation distance D that does not interfere with the driving, so that the width (B) of the blade 120 And an upper housing 200 including a blade moving part 230 formed by minimizing the blade moving part 230,
Lower sealing plates 300 and 300 ', which are detachably coupled to the valve actuator units 100 and 100', respectively, are formed below the valve actuators 100 and 100 '
Wherein at least two fixing plates 400 are provided on the lower portions of the lower sealing plates 300 and 300 'to guide the pair of valve actuators 100 and 100' Gate valve. 청구항 제2항에 있어서,
상기 상부하우징(200)의 상부에는 상기 상부하우징(200)과 상기 밸브엑츄에이터부(100, 100`)가 결합된 상태에서 상기 블레이드(120, 120`)를 상기 구동부(110, 110`)로부터 분리하여 외부로 탈거되도록 커버부(240)가 탈착가능하게 형성되는 것을 특징으로 하는 듀얼 게이트밸브.



The method according to claim 2,
The blade 120 and 120` are separated from the driving units 110 and 110` while the upper housing 200 and the valve actuator units 100 and 100` are coupled to the upper housing 200 And the cover part (240) is removably formed so as to be detached from the outside.



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JP2007085460A (en) * 2005-09-22 2007-04-05 Tdk Corp Gate valve and gate valve unit provided with the same
KR101597818B1 (en) * 2015-06-19 2016-02-25 주식회사 퓨젠 Rectangular gate vacuum valve

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