KR101748619B1

KR101748619B1 - Apparatus for clamping substrate

Info

Publication number: KR101748619B1
Application number: KR1020110027707A
Authority: KR
Inventors: 반종억
Original assignee: 한화테크윈 주식회사
Priority date: 2011-03-28
Filing date: 2011-03-28
Publication date: 2017-07-04
Also published as: CN102699842A; KR20120109240A; CN102699842B

Abstract

4절 링크 방식의 가이드 수단을 이용하여 기판의 상부를 클램프 커버에 완전히 밀착시키는 기판 클램핑 장치가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 클램핑 장치는, 상하 방향으로 왕복 이동함으로써 기판을 클램프하거나 언클램프하는 클램프 플레이트; 및 상기 클램프 플레이트의 수평을 유지하면서 소정의 변위만큼 상기 클램프 플레이트를 왕복 이동시키는 4절 링크 방식의 가이드 수단을 포함한다.There is provided a substrate clamping apparatus in which an upper portion of a substrate is completely brought into close contact with a clamp cover by using a four-link linkage guiding means. A substrate clamping apparatus according to an embodiment of the present invention includes: a clamp plate for clamping or unclamping a substrate by reciprocating in a vertical direction; And a four-bar link type guide means for reciprocating the clamp plate by a predetermined displacement while maintaining the horizontal position of the clamp plate.

Description

[0001] Apparatus for clamping substrate [0002]

본 발명은 기판 클램핑 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 4절 링크 방식의 가이드 수단을 이용하여 기판의 상부를 클램프 커버에 완전히 밀착시키는 기판 클램핑 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate clamping apparatus, and more particularly, to a substrate clamping apparatus that completely tightly attaches an upper portion of a substrate to a clamp cover using a four-link linkage guiding means.

인쇄회로기판(PCB, Printed Ciruit Board)을 지지하는 기판 클램핑 장치는 기판을 밀어올려주는 클램프 플레이트와 상부에서 기판의 상승을 억제하는 클램프 커버로 구성된다. A substrate clamping apparatus for supporting a printed circuit board (PCB) comprises a clamp plate for pushing up a substrate and a clamp cover for suppressing the rise of the substrate from above.

도 1에 종래의 기판 클램핑 장치가 도시되어 있다.Figure 1 shows a conventional substrate clamping device.

도 1에 도시된 기판 클램핑 장치(1)에서, 백업 플레이트(2)의 상하 운동에 따라 클램프 플레이트(4)에 연결된 클램프 로드(3)가 상하 운동을 하게 되며, 이에 따라 클램프 플레이트(4) 위의 기판(7)도 상하 운동을 하게 된다. 클램프 플레이트(4) 위에서 상승되는 기판(7)은 클램프 플레이트(4) 위에 위치한 클램프 커버(5)에 의해 그 상승이 억제된다.The clamping rod 3 connected to the clamping plate 4 moves up and down in accordance with the upward and downward movement of the backup plate 2 in the substrate clamping apparatus 1 shown in Fig. The substrate 7 of FIG. The substrate 7 lifted above the clamp plate 4 is restrained from rising by the clamp cover 5 located above the clamp plate 4. [

이 때, 클램프 플레이트(4)는 기판(7)의 클램프 또는 언클램프를 위해 상하로 이동하기 위한 가이드 수단(6)이 필요한데, 상기 가이드 수단(6)으로 LM 가이드 또는 부시형 가이드의 베어링이 사용된다.At this time, the clamp plate 4 needs a guide means 6 for moving the plate 7 upward or downward for clamping or unclamping the plate 7. The LM guide or the bush type guide bearing is used as the guide means 6 do.

LM 가이드(linear motion guide)는 직선운동 베어링의 일종으로서, 정밀하게 연삭 가공된 레일의 홈을 블럭이 움직이는 구조이다. 또한, 부시형 가이드는 원통 LM 샤프트와 조합하여 무한 직선운동을 하는 구조이다.The LM guide (linear motion guide) is a type of linear motion bearing, which is a structure in which a block moves through the groove of a precisely grounded rail. In addition, the bush type guide is a structure that performs infinite linear motion in combination with a cylindrical LM shaft.

이러한 LM 가이드 또는 부시형 가이드를 이용한 가이드 방식은 강성이 낮고, 틈새가 있어 기판의 정확한 고정이 어렵다. 특히, 크기가 작은 기판(7)은 일부만 클램핑이 이루어져 하부의 클램프 플레이트(4)가 전 영역에 걸쳐 동일한 힘을 받는 것이 아니라, 비틀림 모멘트를 받게 된다. 이는 LM 가이드 또는 부시형 가이드의 안내 길이기 짧고 강성이 충분하지 못해 클램핑이 정확히 이루어지지 않기 때문이다.Such a guide method using the LM guide or the bush type guide has a low rigidity and is difficult to accurately fix the substrate because of a gap. Particularly, the small-sized substrate 7 is partially clamped so that the lower clamp plate 4 is not subjected to the same force over the entire area, but is subjected to a torsional moment. This is because the guide length of the LM guide or the bush type guide is short and the rigidity is not sufficient and the clamping is not accurately performed.

그리고, LM 가이드 또는 부시형 가이드는 안내 길이가 짧아 미소한 유격에도 비틀림이 발생하는 구조상 문제뿐만 아니라, 비용이 고가이어서 이를 채용한 클램핑 장치의 비용이 상승되는 문제가 발생한다.In addition, the LM guide or the bush type guide has a problem in that it is not only a structural problem in which even a slight gap is generated due to a short guide length, but also the cost is high and the cost of the clamping device employing the LM guide or the bush type guide is increased.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로, 4절 링크 방식이 채용된 가이드 수단을 이용하여 기판 상부면 전체가 균일하게 밀착된 클램핑이 가능한 기판 클램핑 장치를 제공한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a substrate clamping apparatus capable of performing clamping in which the entire upper surface of a substrate is closely contacted by using a guide means employing a four-bar linkage method.

본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other matters not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 클램핑 장치는, 상하 방향으로 왕복 이동함으로써 기판을 클램프하거나 언클램프하는 클램프 플레이트; 및 상기 클램프 플레이트의 수평을 유지하면서 소정의 변위만큼 상기 클램프 플레이트를 왕복 이동시키는 4절 링크 방식의 가이드 수단을 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate clamping apparatus comprising: a clamp plate for clamping or unclamping a substrate by reciprocating in a vertical direction; And a four-bar link type guide means for reciprocating the clamp plate by a predetermined displacement while maintaining the horizontal position of the clamp plate.

가이드 수단은, 상기 클램프 플레이트의 일측 및 타측에 적어도 2개 이상이 설치될 수 있다.At least two guide units may be provided on one side and the other side of the clamp plate.

가이드 수단은, 컨베이어에 연결되는 고정 링크부재, 상기 고정 링크부재의 일측 및 타측에서 각각 일 방향으로 연장되는 복수의 연결 링크부재, 및 상기 연결 링크부재에 연결되어 상기 클램프 플레이트에 연결되는 작동 링크부재로 구성될 수 있다. The guiding means includes a fixed link member connected to the conveyor, a plurality of connecting link members extending in one direction in each of one side and the other side of the fixed link member, and an operating link member connected to the connecting link member, &Lt; / RTI >

가이드 수단은, 컨베이어에 연결되어 지지되는 지지부재 및 상기 지지부재로부터 연장되어 상기 클램프 플레이트에 연결되는 연결부재를 구비하며, 상기 연결부재는 내부에 중공을 구비할 수 있다. The guiding means includes a supporting member connected to and supported by the conveyor, and a connecting member extending from the supporting member and connected to the clamping plate. The connecting member may have a hollow inside.

연결부재에 구비된 상기 중공 및 상기 중공에 접촉하는 상기 연결부재의 네 접촉 영역이 각각 링크절이 되는 기계식 힌지 구조일 수 있다.The hollow portion of the connecting member and the four contact regions of the connecting member contacting the hollow may be a mechanical hinge structure.

가이드 수단은, 컨베이어에 연결되는 고정 링크부재, 상기 고정 링크부재에 평행하게 왕복 운동하도록 상기 클램프 플레이트에 연결되는 작동 링크부재, 상기 작동 및 고정 링크부재를 연결시키는 복수의 탄성 링크부재로 구성되며, 상기 탄성 링크부재는, 인장력에 의해 상기 작동 링크부재가 소정 범위 내에서 왕복 운동하도록 하는 탄성 힌지 구조일 수 있다.The guide means includes a fixed link member connected to the conveyor, an operation link member connected to the clamp plate so as to reciprocate parallel to the fixed link member, and a plurality of elastic link members connecting the operation and fixed link members, The elastic link member may be a resilient hinge structure that causes the operating link member to reciprocate within a predetermined range by a tensile force.

클램프 플레이트에 삽입되어 일단이 상기 가이드 수단에 연결되며, 타단이 상기 클램프 플레이트로부터 돌출되는 클램프 로드를 더 포함할 수 있다.And a clamp rod inserted into the clamp plate and having one end connected to the guide means and the other end protruding from the clamp plate.

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본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Other specific details of the invention are included in the detailed description and drawings.

본 발명에 따르면, 4절 링크 방식의 가이드 수단을 이용하여 기판의 상부면을 클램프 커버에 완전히 밀착시킴으로써 기판의 클램핑이 완전하도록 한다.According to the present invention, the upper surface of the substrate is completely brought into close contact with the clamp cover by using the four-way link type guiding means, thereby completing the clamping of the substrate.

그리고, LM 가이드 수단 또는 부시형 가이드 수단을 4절 링크 방식의 기계식 힌지 구조 또는 탄성 힌지 구조의 가이드 수단으로 대체함으로써 클램핑 장치의 생산 비용이 절감된다.The production cost of the clamping device is reduced by replacing the LM guide means or the bush type guide means with a mechanical hinge structure of a four-bar link type or a guide means of an elastic hinge structure.

도 1은 종래의 기판 클램핑 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 클램핑 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 기계식 힌지 구조가 채용된 기판 클램핑 장치의 클램핑을 도식적으로 도시한 도면이다.
도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기계식 힌지 구조가 채용된 기판 클램핑 장치의 언클램핑을 도식적으로 도시한 도면이고,
도 3c는 기계식 힌지 구조를 확대한 도면이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 탄성 힌지 구조가 채용된 기판 클램핑 장치의 클램핑을 도식적으로 도시한 도면이다.
도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 탄성 힌지 구조가 채용된 기판 클램핑 장치의 언클램핑을 도식적으로 도시한 도면이다.
도 4c는 탄성 힌지 구조를 확대한 도면이다.1 is a schematic view of a conventional substrate clamping apparatus.
2 is a schematic view of a substrate clamping apparatus according to an embodiment of the present invention.
3A is a diagram schematically illustrating clamping of a substrate clamping apparatus employing a mechanical hinge structure according to an embodiment of the present invention.
3B is a view schematically showing the unclamping of a substrate clamping apparatus employing a mechanical hinge structure according to an embodiment of the present invention,
3C is an enlarged view of the mechanical hinge structure.
FIG. 4A is a view schematically showing clamping of a substrate clamping apparatus employing an elastic hinge structure according to an embodiment of the present invention. FIG.
4B is a view schematically showing the unclamping of a substrate clamping apparatus employing an elastic hinge structure according to an embodiment of the present invention.
4C is an enlarged view of the elastic hinge structure.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention and the manner of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. Is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "이루어지다(made of)"는 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. The terminology used herein is for the purpose of illustrating embodiments and is not intended to be limiting of the present invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. As used herein, the terms "comprises" and / or "made of" means that a component, step, operation, and / or element may be embodied in one or more other components, steps, operations, and / And does not exclude the presence or addition thereof.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms (including technical and scientific terms) used herein may be used in a sense commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Also, commonly used predefined terms are not ideally or excessively interpreted unless explicitly defined otherwise.

이하, 본 발명에 대하여 첨부된 도면에 따라 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 클램핑 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.2 is a schematic view of a substrate clamping apparatus according to an embodiment of the present invention.

기판 클램프 장치(10)는, 기판(7)을 지지하며 왕복 이동하는 클램프 플레이트(16)와, 클램프 플레이트(16)를 수평을 유지하며 소정의 변위만큼 왕복 이동시키는 4절 링크 방식의 가이드 수단(20)을 포함한다.The substrate clamping apparatus 10 includes a clamp plate 16 which reciprocates while supporting the substrate 7 and a four-link linking type guiding means for reciprocating the clamp plate 16 by a predetermined displacement 20).

또한, 기판 클램프 장치(10)는, 백업 플레이트(12), 클램프 로드(14), 클램프 커버(18)를 더 포함할 수도 있다.Further, the substrate clamping apparatus 10 may further include a backup plate 12, a clamping rod 14, and a clamping cover 18.

그리고, 기판(7)은 컨베이어(8)에 의해 운송되어 기판 클램프 장치(10)의 클램프 플레이트(16) 상부에 적치되며, 또한 상기 컨베이어(8)는 상기 4절 링크 방식의 가이드 수단(20)을 지지하는 역할도 수행한다.The substrate 7 is carried by the conveyor 8 and is mounted on the clamp plate 16 of the substrate clamping device 10 and the conveyor 8 is guided by the four- It also plays a supporting role.

도 2에 도시된 바와 같이, 기판(7)이 클램프 플레이트(16)에 비하여 작기 때문에 가이드 수단(20)이 완벽한 수평을 유지해야만 기판(7) 상부면과 클램핑 커버(18) 사이에 틈새를 허용하지 않는 완벽한 클램핑이 가능하다.2, since the substrate 7 is smaller than the clamp plate 16, the guide means 20 must be kept perfectly horizontal to allow a clearance between the upper surface of the substrate 7 and the clamping cover 18, Perfect clamping is possible.

클램프 플레이트(16)의 상면에 기판(7)이 위치하므로, 기판(7)을 상방으로 밀어올려 클램핑을 한다. 클램프 플레이트(16)에는 클램프 로드(14) 및 가이드 수단(20)이 연결된다.Since the substrate 7 is located on the upper surface of the clamp plate 16, the substrate 7 is pushed up and clamped. The clamping rod 14 and the guiding means 20 are connected to the clamping plate 16.

클램프 로드(14)는, 클램프 로드(14)의 일단이 클램프 플레이트(16)에 삽입되어 가이드 수단(20)은 기구학적으로 연결되며, 클램프 로드(14)의 타단은 클램프 플레이트(16)로부터 돌출된다. One end of the clamp rod 14 is inserted into the clamp plate 16 so that the guide means 20 is mechanically connected to the clamp rod 14. The other end of the clamp rod 14 protrudes from the clamp plate 16 do.

클램프 로드(14)와 가이드 수단(20)이 연결되어 클램프 로드(14)의 상하 운동에 따라 가이드 수단(20)도 상하 운동을 하게 된다. 물론, 클램프 로드(14)와 가이드 수단(20)이 직접 접촉하여 연결될 필요는 없고, 클램프 플레이트(16)를 매개로 하여 클램프 로드(14)의 상하 운동에 따라 가이드 수단(20)도 상하 운동을 하도록 구성될 수 있다. 즉, 클램프 로드(14)의 상하 운동에 따라 클램프 플레이트(16)가 상하 운동을 하게 되며, 이를 통해 클램프 플레이트(16)에 직접 연결된 가이드 수단(20)의 일부분이 동작하게 된다.The clamping rod 14 and the guide means 20 are connected to each other so that the guide means 20 also moves up and down in accordance with the upward and downward movement of the clamp rod 14. [ It is needless to say that the clamping rod 14 and the guide means 20 do not need to be in direct contact and connected to each other and the guide means 20 also moves up and down in accordance with the vertical movement of the clamp rod 14 via the clamp plate 16. [ . That is, as the clamp rod 14 moves up and down, the clamp plate 16 moves up and down, and a part of the guide means 20 directly connected to the clamp plate 16 is operated.

백업 플레이트(12)는, 클램프 플레이트(16)의 하부에 위치하여 상하 왕복 운동을 하며, 백업 플레이트(12)의 이동에 따라 클램프 로드(14)도 이동을 하게 된다. 백업 플레이트(12)는 모터 등의 구동 장치(미도시 됨)로부터 동력을 전달 받아 상하로 이동하여 클램프 로드(14), 클램프 플레이트(16)를 이동시키게 된다. 백업 플레이트(12) 상부의 클램프 플레이트(16)가 완벽한 수평을 유지한다면, 백업 플레이트(12)는 적은 강성으로도 가져도 되어 백업 플레이트(12)의 설계 원가가 절감되는 효과를 얻을 수 있다.The backup plate 12 is located below the clamp plate 16 and reciprocates in the vertical direction. The clamp rod 14 also moves as the backup plate 12 moves. The backup plate 12 receives power from a driving device (not shown) such as a motor and moves up and down to move the clamp rod 14 and the clamp plate 16. If the clamp plate 16 on the backup plate 12 is perfectly horizontal, the backup plate 12 may have a small rigidity and the design cost of the backup plate 12 may be reduced.

클램프 커버(18)는, 클램프 플레이트(16)의 상부에 위치하여 상기 클램프 플레이트(16)에 지지되어 상승하는 기판(7)의 상승을 억제한다. 즉, 클램프 플레이트(16)의 위에 놓여진 기판(7)은 클램프 로드(14) 및 백업 플레이트(12)에 의해 상승하여 클램프 커버(18)의 하면과 접촉하여 클램핑이 이루어진다.The clamp cover 18 is located above the clamp plate 16 and restrains the upward movement of the substrate 7 supported by the clamp plate 16. That is, the substrate 7 placed on the clamp plate 16 is lifted by the clamp rod 14 and the backup plate 12 and is brought into contact with the lower surface of the clamp cover 18 to be clamped.

가이드 수단(20)은 클램프 플레이트(16)를 수평을 유지하며 클램프 플레이트(16)를 소정의 변위만큼 왕복 이동시킨다. 즉, 가이드 수단(20)에 의해 클램프 플레이트(16)는 수평을 유지하며, 수직 방향(z축 방향)으로만 일정 범위로 움직이게 된다. 이를 위해 가이드 수단(20)에 4절 링크 방식이 채택된다.The guide means 20 reciprocates the clamp plate 16 by a predetermined displacement while keeping the clamp plate 16 horizontal. That is, the clamping plate 16 is kept horizontal by the guide means 20 and moves in a certain range only in the vertical direction (z-axis direction). For this purpose, a four-bar linkage is adopted in the guide means 20.

따라서, 가이드 수단(20)은, 컨베이어(8)에 연결되는 고정 링크부재(21), 상기 고정 링크부재(21)의 일측 및 타측에서 각각 일 방향으로 연장되는 복수의 연결 링크부재(23), 및 상기 연결 링크부재(23)에 연결되어 클램프 플레이트(16)에 연결되는 작동 링크부재(22)로 구성된다. 이 때, 연결 링크부재(23)는 2개가 될 것이나, 이에 제한되는 것은 아니다.The guide means 20 includes a fixed link member 21 connected to the conveyor 8, a plurality of connecting link members 23 extending in one direction at one side and the other side of the fixed link member 21, And an operating link member (22) connected to the connecting link member (23) and connected to the clamp plate (16). At this time, the number of connecting link members 23 will be two, but is not limited thereto.

또한, 가이드 수단(20)은, 클램프 플레이트(16)의 수평을 유지하는 역할을 하므로, 클램프 플레이트(16)의 일측 및 타측에 적어도 2개 이상이 설치되는 것이 바람직하다. Since the guiding means 20 serves to keep the clamp plate 16 horizontal, at least two or more clamping plates 16 are preferably provided on one side and the other side of the clamp plate 16.

가이드 수단(20)의 고정 링크부재(21)는 컨베이어(8)에 연결되어 고정되며, 볼트 등의 체결 수단으로 연결된다. 일례로 도 2에 네 개의 볼트로 컨베이어(8)에 체결된 고정 링크부재(21)가 도시되어 있다. 이 때, 고정 링크부재(21)가 연결 링크부재(23)에 연결되도록 두 부분으로 분리되어 있을 수도 있다. 고정 링크부재(21)는 클램프 로드(14)의 운동에도 컨베이어(8)에 고정되어 있게 된다.The fixed link member 21 of the guide means 20 is fixedly connected to the conveyor 8 and connected by a fastening means such as a bolt. For example, FIG. 2 shows a stationary link member 21 fastened to a conveyor 8 with four bolts. At this time, the fixed link member 21 may be separated into two parts so as to be connected to the connecting link member 23. The fixed link member 21 is fixed to the conveyor 8 even in the motion of the clamp rod 14. [

작동 링크부재(22)는 클램프 플레이트(16)에 연결되며, 일반적으로 클램프 플레이트의 뒤쪽에 위치할 것이나, 이에 제한되는 것은 아님은 물론이다. 작동 링크부재(22)는 클램프 로드(14)의 운동에 따라 이동하게 된다. 즉, 클램프 플레이트(16)에 연결된 작동 링크부재(22)가 주동절의 역할을 한다.It will be appreciated that the actuation link member 22 is connected to the clamp plate 16 and is generally located behind the clamp plate, but is not limited thereto. The operation link member 22 is moved in accordance with the movement of the clamp rod 14. [ That is, the operation link member 22 connected to the clamp plate 16 serves as a main section.

연결링크부재(23)는, 일단부가 컨베이어(8)에 연결된 고정 링크부재(21)에 연결되고, 타단부가 클램프 플레이트(16)에 연결된 작동 링크부재(22)에 연결된다. 도 2에 도시한 가이드 수단(20) 내에는 2개의 연결링크부재(23)가 구비되어 있다. 2개의 연결 링크부재(23)가 일반적일 것이나, 물론 이에 제한되지 않는다. The connecting link member 23 is connected to the fixed link member 21 having one end connected to the conveyor 8 and the other end connected to the operating link member 22 connected to the clamp plate 16. In the guide means 20 shown in Fig. 2, two connecting link members 23 are provided. Two connecting link members 23 are common, but of course not limited thereto.

작동 링크부재(22)에 연결된 연결링크부재(23)의 일정 부분이 작동 링크부재(22)의 상하 운동에 따라 소정의 길이로 상하 운동을 한다. 즉, 작동 링크부재(22)에 연결된 연결링크부재(23)가 종동절의 역할을 한다. A certain portion of the connecting link member 23 connected to the operating link member 22 moves up and down by a predetermined length in accordance with the upward and downward movement of the operating link member 22. [ That is, the connecting link member 23 connected to the operating link member 22 serves as a follower.

복수의 연결링크부재(23)는 소정의 길이를 가지고 있고, 한 쪽은 고정 링크부재(21)에 연결되어 고정되어 있어, 작동 링크부재(22)의 운동에도 소정 범위만큼만 이동하게 된다. The plurality of connection link members 23 have a predetermined length and one of the connection link members 23 is connected to and fixed to the stationary link member 21 so that the movement of the operation link member 22 is limited to a predetermined range.

그러므로, 가이드 수단(20)은 고정 링크부재, 작동 링크부재 및 2개의 연결 링크부재의 네 링크부재가 연결되어 4절의 링크 방식으로 클램프 플레이트(16)를 안내한다. 물론 연결 링크부재가 2개가 아니더라도 4절 링크 방식을 실현하는 한 본 발명의 범주에 속한다 할 것이다. Therefore, the guide means 20 connects the four link members of the fixed link member, the actuating link member, and the two connecting link members to guide the clamp plate 16 in the linking manner of the four sections. Of course, the present invention will fall within the scope of the present invention as long as the four-link method is realized even if there are not two link members.

4절 링크 방식의 가이드 수단(20)의 구체적인 실시예는 후술하여 살펴 보도록 한다.A specific embodiment of the four-bar link type guide means 20 will be described later.

도 3a 및 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기계식 힌지 구조가 채용된 기판 클램핑 장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 3c는 기계식 힌지 구조를 확대한 도면이다.FIGS. 3A and 3B are views schematically showing a substrate clamping apparatus employing a mechanical hinge structure according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3C is an enlarged view of a mechanical hinge structure.

도 3a는 기계식 힌지 구조가 채용된 가이드 수단(30)에 의해 클램프 플레이트(16)가 상승하여 기판(7)이 클램프 커버(18)에 클램핑된 것이고, 도 3b는 클램프 플레이트(16)가 하강하여 기판(7)이 클램프 커버(18)로부터 언클램핑된 것이다.3 (a) shows that the clamp plate 16 is raised by the guide means 30 employing the mechanical hinge structure and the substrate 7 is clamped to the clamp cover 18. FIG. 3 (b) shows the clamp plate 16 descending The substrate 7 is unclamped from the clamp cover 18.

기판 클램핑 장치(10)의 가이드 수단(20)이 기계식 힌지 구조의 가이드 수단(30)으로 대체된 것을 제외하면, 다른 구성은 전술한 바와 같다. 즉, 기판 클램프 장치(10)는, 클램프 플레이트(16)와, 기계식 힌지 구조의 가이드 수단(30)외에, 백업 플레이트(12), 클램프 로드(14), 클램프 커버(18)를 더 포함한다.Other configurations are the same as described above, except that the guide means 20 of the substrate clamping device 10 is replaced by the guide means 30 of the mechanical hinge structure. That is, the substrate clamping apparatus 10 further includes a backup plate 12, a clamp rod 14, and a clamp cover 18 in addition to the clamp plate 16 and the guide means 30 of the mechanical hinge structure.

기계식 힌지(mechanical hinge)는 4개의 링크부재를 가진 가이드 수단(20)과 달리 네 영역에서 링크절 역할을 수행하여 별도의 링크부재를 가질 필요가 없다.Unlike the guide means 20 having four link members, the mechanical hinge does not need to have a separate link member to perform a linkage function in the four regions.

도 3c에서, 기계식 힌지 구조의 가이드 수단(30)은 컨베이어(8)에 연결되어 지지되는 지지부재(31) 및 지지부재(31)로부터 연장되어 클램프 플레이트(16)에 연결되는 연결부재(32)를 구비하며, 연결부재는 내부에 중공(33)을 구비한다. 3C, the guide means 30 of the mechanical hinge structure includes a support member 31 connected to and supported by the conveyor 8 and a connecting member 32 extending from the support member 31 and connected to the clamp plate 16, And the connecting member has a hollow 33 therein.

지지부재(31)는 볼트, 나사 등의 체결수단으로, 도 3에 볼트 2개에 의해 컨베이어(8)에 체결된 것이 일례로 도시되어 있다.The support member 31 is a fastening means such as a bolt or a screw, and is shown as an example in Fig. 3, which is fastened to the conveyor 8 by two bolts.

연결부재(32)는 지지부재(31)를 통해 컨베이어(8)에 고정된다. 또한, 연결부재(32)의 일단은 클램프 플레이트(16)에 일체로 연결되거나, 체결 수단 등에 의해 연결될 수도 있다.The connecting member 32 is fixed to the conveyor 8 via the supporting member 31. One end of the connecting member 32 may be integrally connected to the clamp plate 16, or may be connected by fastening means or the like.

연결부재(32)에 구비된 중공(33) 및 상기 중공에 접촉하는 상기 연결부재(32)의 네 접촉 영역(33)이 각각 링크절이 되어 기계식 힌지 구조의 가이드 수단(30)을 형성한다.The hollow portion 33 of the connecting member 32 and the four contact regions 33 of the connecting member 32 contacting the hollow portion are linked to form a guide means 30 having a mechanical hinge structure.

도 3c에 도시한 우상/우하 링크절들(33)은 지지부재(31)에 근접 위치하여 고정절이 되며, 좌상/좌하 링크절들(33)은 클램프 플레이트(16)에 근접 위치하여 운동절이 된다. 즉, 클램프 로드(14)의 상하 운동에 따라 클램프 플레이트(16)에 근접 위치한 두 링크절들(33)이 상하로 왕복 운동하게 된다. The upper right / lower link sections 33 shown in FIG. 3C are positioned close to the support member 31 to form a fixed section, and the upper left / lower left link sections 33 are positioned close to the clamp plate 16, . That is, as the clamp rod 14 moves up and down, the two link sections 33 located close to the clamp plate 16 reciprocate up and down.

따라서, 기계식 힌지 구조의 가이드 수단(30)은 별도의 4개의 링크부재가 필요하지 않고, 가운데에 중공을 형성하여 4개의 링크절을 대체하게 된다. Therefore, the guide means 30 of the mechanical hinge structure does not need four separate link members, but forms a hollow in the middle to replace the four link sections.

이 때, 기계식 힌지 구조(30)의 네 링크절은 자유로운 유동이 가능하며, 기계식 힌지 구조(30)의 전후 방향 두께가 힌지의 최소 곡면의 두께보다 충분히 두껍기 때문에 전후 방향의 강성은 거의 무한대에 가깝게 되는 장점이 있다.At this time, the four link sections of the mechanical hinge structure 30 can freely flow, and since the thickness of the mechanical hinge structure 30 in the longitudinal direction is sufficiently thicker than the thickness of the smallest curved surface of the hinge, the rigidity in the longitudinal direction is close to infinity .

도 4a 및 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 탄성 힌지 구조가 채용된 기판 클램핑 장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 4c는 탄성 힌지 구조를 확대한 도면이다.FIGS. 4A and 4B are views schematically showing a substrate clamping apparatus employing an elastic hinge structure according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4C is an enlarged view of an elastic hinge structure.

도 4a는 탄성 힌지 구조가 채용된 가이드 수단(40)에 의해 클램프 플레이트(16)가 상승하여 기판(7)이 클램프 커버(18)에 클램핑된 것이고, 도 4b는 클램프 플레이트(16)가 하강하여 기판(7)이 클램프 커버(18)로부터 언클램핑된 것이다.4A shows a state in which the clamp plate 16 is raised by the guiding means 40 employing the elastic hinge structure and the substrate 7 is clamped to the clamp cover 18. FIG. 4B shows a state in which the clamp plate 16 is lowered The substrate 7 is unclamped from the clamp cover 18.

기판 클램핑 장치(10)의 가이드 수단(20)이 탄성 힌지 구조의 가이드 수단(40)인 것을 제외하면, 다른 구성은 전술한 실시예에서와 같다. 즉, 기판 클램프 장치(10)는, 클램프 플레이트(16)와, 탄성 힌지 구조의 가이드 수단(40)외에, 백업 플레이트(12), 클램프 로드(14), 클램프 커버(18)를 더 포함한다.Except that the guide means 20 of the substrate clamping device 10 is the guiding means 40 of the resilient hinge structure, the other construction is the same as in the above-described embodiment. That is, the substrate clamping apparatus 10 further includes a backup plate 12, a clamp rod 14, and a clamp cover 18 in addition to the clamp plate 16 and the guide means 40 of the elastic hinge structure.

탄성 힌지 구조의 가이드 수단(40)도 네 개의 링크부재를 구비한 가이드 수단(20)과 그 구성은 유사하다. 다만, 연결 링크부재(23)가 탄성 링크부재(43)로 대체된다.The guide means 40 of the resilient hinge structure is also similar in construction to the guide means 20 having four link members. However, the connecting link member 23 is replaced by the elastic link member 43. Fig.

도 4c에서, 탄성 힌지 구조의 가이드 수단(30)은, 컨베이어(8)에 연결되는 고정 링크부재(41), 고정 링크부재(41)에 평행하게 왕복 운동하도록 클램프 플레이트(16)에 연결되는 작동 링크부재(42), 작동 및 고정 링크부재(41, 42)를 연결시키는 복수의 탄성 링크부재(43)로 구성된다. 여기에서, 탄성 링크부재(43)는, 탄성력에 의해 유발되는 인장력에 의해 작동 링크부재(42)가 소정 범위 내에서 왕복 운동하도록 허용한다.4C, the guide means 30 of the elastic hinge structure includes a fixed link member 41 connected to the conveyor 8, an operation connected to the clamp plate 16 so as to reciprocate parallel to the fixed link member 41, A link member 42, and a plurality of elastic link members 43 connecting the operating and stationary link members 41 and 42. [ Here, the elastic link member 43 allows the operating link member 42 to reciprocate within a predetermined range by the tensile force caused by the elastic force.

탄성 링크부재(43)는 압축 스프링, 인장 스프링 등 여러 스프링이 사용될 수 있으나, 작동 링크부재(42)가 고정 링크부재(41)에 평행하게 이동하므로, 탄성 링크부재(43)는 판 스프링이 바람직하다.Since the elastic link member 43 is movable in parallel with the fixed link member 41, the elastic link member 43 can be moved in a direction in which the leaf spring is preferable Do.

따라서, 클램프 로드(14)의 운동에 따라 작동 링크부재(42)가 상하로 움직이더라도 탄성 링크부재(43)가 탄성력을 가져 상기 작동 링크부재(42)의 운동 범위가 제한된다. Therefore, even if the operating link member 42 moves up and down according to the movement of the clamp rod 14, the elastic link member 43 has an elastic force and the range of motion of the operating link member 42 is limited.

그러므로, 제1 및 제2 탄성 링크부재(43)에 의해 클램프 플레이트(16)가 수평을 유지하며 상하 이동이 가능하며, 클램프 플레이트(16) 위이 기판(7)이 클램프 커버(18)에 완전히 밀착되게 된다.Therefore, the first and second elastic link members 43 can horizontally hold the clamp plate 16 and move up and down, and the substrate 7 can be completely brought into close contact with the clamp cover 18 on the clamp plate 16 .

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, You will understand. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

10: 기판 클램핑 장치 12: 백업 플레이트
14: 클램프 로드 16: 클램프 플레이트
18: 클램프 커버 20: 가이드 수단
30: 기계식 힌지 구조 31: 고정부재
32: 연결부재 33: 중공
40: 탄성 힌지 구조 41: 고정 링크부재
42: 작동 링크부재 43: 연결 링크부재10: substrate clamping device 12: backup plate
14: Clamp load 16: Clamp plate
18: clamp cover 20: guide means
30: mechanical hinge structure 31: fixing member
32: connecting member 33: hollow
40: elastic hinge structure 41: fixed link member
42: actuating link member 43: connecting link member

Claims

Clamp cover;
A clamp plate having a larger area than the substrate, the upper surface of the substrate being clamped or unclamped with respect to the clamp cover by reciprocating in a vertical direction; And
And a four-link type guide means for reciprocating the clamp plate in the vertical direction by a predetermined displacement while maintaining the horizontal position of the clamp plate,
The guide means includes a fixed link member connected to the conveyor, an operation link member connected to the clamp plate so as to reciprocate parallel to the fixed link member, and a plurality of elastic link members connecting the operation and fixed link members ,
Wherein the elastic link member is an elastic hinge structure that causes the operating link member to reciprocate within a predetermined range by a tensile force.

The method according to claim 1,
Wherein at least two guide plates are provided on one side and the other side of the clamp plate.

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The method according to claim 1,
And a clamp rod inserted into the clamp plate and having one end connected to the guide means and the other end protruding from the clamp plate.

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