KR101748577B1 - 증발 모듈 및 그를 구비한 기판 증착 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 기판 증착 장치는, 기판에 대한 증착 공정을 실행하는 기판 증착 장치에 대한 것으로, 상기 기판의 증착을 위한 내부 공간을 구비하는 챔버 하우징; 및 상기 챔버 하우징 내에서 구비되며, 상기 기판 방향으로 복수 개의 증발 물질 중 선택된 증발 물질을 제공할 수 있도록 하나의 모듈 프레임에 선택 가능한 적어도 2개의 크루시블(crucible)을 갖는 증발 모듈;을 포함할 수 있다. 본 발명의 실시예에 따르면, 하나의 모듈 프레임에 제1 증발 물질이 충전된 크루시블이 장착되어 기판으로 제1 증착 물질을 제공할 수 있을 뿐만 아니라 제1 크루시블에 제2 크루시블을 결합시킨 후 제2 증발 물질도 제공할 수 있어 증착 공정의 효율성을 향상시킬 수 있고 장치 구조를 간소화할 수 있다.

Description

증발 모듈 및 그를 구비한 기판 증착 장치{Vaporization module and deposition apparatus of substrate having the same}
증발 모듈 및 그를 구비한 기판 증착 장치가 개시된다. 보다 상세하게는, 하나의 모듈 프레임에 제1 증발 물질이 충전된 크루시블이 장착되어 기판으로 제1 증착 물질을 제공할 수 있을 뿐만 아니라 제1 크루시블에 제2 크루시블을 결합시킨 후 제2 증발 물질도 제공할 수 있어 증착 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 증발 모듈 및 그를 구비한 기판 증착 장치가 개시된다.
유기전계발광소자(OLED, Organic Light Emitting Diodes)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광 현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.
유기전계발광소자는 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기적으로 되어 있고, 이러한 유기층은 진공 열증착 방법으로 기판 상에 증착된다.
진공 열증착 방법은 진공 챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 마스크(mask)를 기판에 정렬하고 합착시킨 후, 증발 물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 증발되는 증발 물질을 기판 상에 증착하여 원하는 패턴의 유기층을 형성하는 방식으로 이루어질 수 있다.
종래의 기판 증착 장치의 개략적인 구성을 설명하면, 진공 챔버와, 진공 챔버의 내부에서 하부 공간에 구비되어 기판 방향으로 증발 물질을 제공하는 증발원과, 진공 챔버의 내부에서 증발원의 상부에 위치되도록 구비되며 증발 물질이 증착되는 기판 및 마스크가 지지되는 척킹부를 포함할 수 있다.
여기서 증발원은, 증발 물질이 채워지는 크루시블과, 크루시블 내의 증착 물질을 가열하여 증발 물질이 기판 방향으로 향하도록 하는 히터부재를 포함할 수 있다.
그런데, 종래의 기판 증착 장치의 증발원에 있어서는, 한 종류의 증발 물질만 사용할 수 있는 구조를 가짐으로써 가령 두 종류의 증발 물질을 사용해야 하는 경우 적용될 수 없으며, 이에 두 종류의 증발 물질을 사용하고자 하는 경우 물질별로 사용할 수 있는 2개의 셀, 즉 2개의 크루시블을 배치해야 하는 구조상의 복잡함이 있었다.
본 발명의 실시예에 따른 목적은, 하나의 모듈 프레임에 제1 증발 물질이 충전된 크루시블이 장착되어 기판으로 제1 증착 물질을 제공할 수 있을 뿐만 아니라 제1 크루시블에 제2 크루시블을 결합시킨 후 제2 증발 물질도 제공할 수 있어 증착 공정의 효율성을 향상시킬 수 있고 장치 구조를 간소화할 수 있는, 증발 모듈 및 그를 구비한 기판 증착 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 증착 장치는, 기판에 대한 증착 공정을 실행하는 기판 증착 장치에 대한 것으로, 상기 기판의 증착을 위한 내부 공간을 구비하는 챔버 하우징; 및 상기 챔버 하우징 내에서 구비되며, 상기 기판 방향으로 복수 개의 증발 물질 중 선택된 증발 물질을 제공할 수 있도록 하나의 모듈 프레임에 선택 가능한 적어도 2개의 크루시블(crucible)을 갖는 증발 모듈;을 포함하며, 하나의 모듈 프레임에 제1 증발 물질이 충전된 크루시블이 장착되어 기판으로 제1 증착 물질을 제공할 수 있을 뿐만 아니라 제1 크루시블에 제2 크루시블을 결합시킨 후 제2 증발 물질도 제공할 수 있어 증착 공정의 효율성을 향상시킬 수 있고 장치 구조를 간소화할 수 있다.
일측에 따르면, 상기 증발 모듈은, 상기 모듈 프레임을 승강 가능하게 구동시키는 승강 구동부; 및 상기 적어도 2개의 크루시블 중 상기 모듈 프레임에 결합되는 제1 크루시블의 적어도 일부분을 둘러싸도록 구비되며, 열을 발생시키는 히터부;를 더 포함할 수 있다.
일측에 따르면, 상기 적어도 2개의 크루시블은 상기 제1 크루시블 및 상기 제1 크루시블에 삽입 또는 분리 가능한 제2 크루시블일 수 있다.
일측에 따르면, 상기 제1 크루시블의 상단부가 결합되는 상기 모듈 프레임의 상단부에는 상기 제1 크루시블과 상기 모듈 프레임의 사이를 차단하기 위한 절연부재가 구비될 수 있다.
일측에 따르면, 상기 제2 크루시블이 관통되는 관통홀이 형성된 연결부를 더 포함하며, 상기 제2 크루시블이 상기 제1 크루시블에 삽입될 때 상기 연결부의 하단부는 상기 모듈 프레임의 상단부에 장착 가능하다.
일측에 따르면, 상기 연결부는, 상기 관통홀이 형성된 상단 플레이트 및 상기 상단 플레이트의 가장자리의 하면으로부터 하방으로 연장되어 상기 모듈 프레임의 상단부에 장착 가능한 연장측벽을 포함하며, 상기 연장측벽은 높이 조절 가능하다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 증발 모듈은, 기판에 대한 증착 공정을 실행하는 기판 증착 장치의 챔버 하우징 내에 구비도어 상기 기판 방향으로 증발 물질을 제공하는 증발 모듈에 대한 것으로, 상기 챔버 하우징 내에 구비되는 모듈 프레임; 상기 모듈 프레임에 장착되어, 상기 기판 방향으로 제공되는 제1 증발 물질이 수용되는 제1 크루시블; 및 상기 제1 크루시블에 착탈 가능하게 삽입 또는 분리 가능하며, 상기 기판 방향으로 제공되는 제2 증발 물질이 수용되는 제2 크루시블;을 포함할 수 있다.
일측에 따르면, 상기 모듈 프레임을 승강 가능하게 구동시키는 승강 구동부; 및 상기 제1 크루시블의 적어도 일부분을 둘러싸도록 구비되며, 열을 발생시키는 히터부;를 더 포함할 수 있다.
일측에 따르면, 상기 제1 크루시블의 상단부가 결합되는 상기 모듈 프레임의 상단부에는 상기 제1 크루시블과 상기 모듈 프레임의 사이를 차단하기 위한 절연부재가 구비될 수 있다.
일측에 따르면, 상기 제2 크루시블이 관통되는 관통홀이 형성된 연결부를 더 포함하며, 상기 제2 크루시블이 상기 제1 크루시블에 삽입될 때 상기 연결부의 하단부는 상기 모듈 프레임의 상단부에 장착 가능하다.
일측에 따르면, 상기 연결부는, 상기 관통홀이 형성된 상단 플레이트 및 상기 상단 플레이트의 가장자리의 하면으로부터 하방으로 연장되어 상기 모듈 프레임의 상단부에 장착 가능한 연장측벽을 포함하며, 상기 연장측벽은 높이 조절 가능하다.
본 발명의 실시예에 따르면, 하나의 모듈 프레임에 제1 증발 물질이 충전된 크루시블이 장착되어 기판으로 제1 증착 물질을 제공할 수 있을 뿐만 아니라 제1 크루시블에 제2 크루시블을 결합시킨 후 제2 증발 물질도 제공할 수 있어 증착 공정의 효율성을 향상시킬 수 있고 장치 구조를 간소화할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 증착 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면이다.
도 2는 도 1에 개략적으로 도시된 증발 모듈의 내부 구성을 도시한 도면이다.
도 3은 도 2의 부분 확대도이다.
도 4는 도 3의 제1 크루시블에 제2 크루시블의 결합되는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증발 모듈의 구성을 도시한 도면이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 구성 및 적용에 관하여 상세히 설명한다. 이하의 설명은 특허 청구 가능한 본 발명의 여러 태양(aspects) 중 하나이며, 하기의 기술(description)은 본 발명에 대한 상세한 기술(detailed description)의 일부를 이룬다.
다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 증착 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면이고, 도 2는 도 1에 개략적으로 도시된 증발 모듈의 내부 구성을 도시한 도면이고, 도 3은 도 2의 부분 확대도이며, 도 4는 도 3의 제1 크루시블에 제2 크루시블의 결합되는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 증착 장치는, 예를 들면 유기전계발광소자용 기판(W)과 같은 기판(W)에 대한 증착 공정이 진행되는 공간(110S)을 형성하는 챔버 하우징(110)과, 챔버 하우징(110)의 내부 공간(110S) 중 상부 공간에 배치되어 기판(W) 및 마스크(M)를 척킹(chucking)하는 척킹 모듈(150)과, 챔버 하우징(110)의 내부 공간(110S) 중 하부 공간에 구비되어 기판(W) 증착을 위한 증발 물질을 제공하는 증발 모듈(120)을 포함할 수 있다.
각각의 구성에 대해 설명하면, 먼저 챔버 하우징(110)은 기판(W)에 대한 증착 공정이 진행되는 장소를 형성한다. 증착 공정을 위해 예를 들면 고체 금속 증발 물질을 증발 모듈(120)에 채운 후 증발 모듈(120)으로부터 제공되는 증발 물질을 기판(W) 상에 증착할 수 있는데, 이러한 공정이 챔버 하우징(110) 내에서 이루어질 수 있는 것이다. 이러한 챔버 하우징(110)의 내부 공간(110S)은 기판에 대한 증착 공정이 신뢰성 있게 진행될 수 있도록 진공 분위기를 형성한다.
한편, 본 실시예의 척킹 모듈(150)은 기판(W) 및 마스크(M)를 합착시키면서도 증착 공정 시 기판(W)과 마스크(M)를 척킹하는 역할을 담당하는 부분으로서, 도시하지는 않았지만, 마스크(M)의 외주연을 지지하는 마스크 프레임과, 기판을 지지하는 기판 홀더와, 기판 홀더의 상부에서 승강 가능하게 배치되어 하강 시 기판의 상면에 접면되는 백 플레이트를 포함할 수 있다.
한편, 본 실시예의 증발 모듈(120)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 증발 물질을 기화시켜 기판(W)으로 제공하는 것으로서, 기본 프레임을 형성하는 모듈 프레임(121)과, 모듈 프레임(121)을 승강 가능하게 구동시키는 승강 구동부(123)와, 모듈 프레임(121)의 상단면 중앙으로부터 하방으로 함몰된 함몰홈에 결합되어 제1 증발 물질이 수용되는 컵 모양의 제1 크루시블(130)과, 제1 크루시블(130)에 삽입 또는 분리되며 제2 증발 물질이 수용 가능한 제2 크루시블(135)과, 제1 크루시블(130)을 두르도록 모듈 프레임(121)에 장착되어 제1 크루시블(130)의 제1 증발 물질 또는 제1 크루시블(130)에 삽입된 제2 크루시블(135)의 제2 증발 물질에 열을 가하는 히터부(125)를 포함할 수 있다.
각각의 구성에 대해 설명하면, 먼저 본 실시예의 모듈 프레임(121)은, 도 2에 도시된 것처럼, 전체적으로 원기둥 형상을 가지며, 상단면으로부터 내측 방향으로 함몰된 함몰홈을 구비한다.
이러한 모듈 프레임(121)의 하단부에는, 도 2에 도시된 것처럼, 복수 개의 승강 구동부(123)가 장착된다. 승강 구동부(123)는 모듈 프레임(121)과 챔버 하우징(110)에 장착 가능한 지지 프레임(127) 사이를 연결하는 역할도 겸하며, 승강 구동부(123)는 챔버 하우징(110)에 관통되는 구조를 가질 수 있다. 즉, 모듈 프레임(121)은 챔버 하우징(110)의 내부에 구비되고 지지 프레임(127)은 챔버 하우징(110)의 외부에 구비되는데, 승강 구동부(123)의 구동에 의해 모듈 프레임(121)은 챔버 하우징(110) 내에서 승강 가능하여 기판(W)이 척킹된 척킹 모듈(150)로 접근될 수도 있고 반대로 이격될 수도 있다.
또한, 제작이 가능한 경우, 챔버 하우징(110)에 도어(미도시)를 설치하고, 도어를 개방함으로써 모듈 프레임(121) 전체를 챔버 하우징(110)의 외부로 이동시킬 수 있다. 이 경우, 모듈 프레임(121)에 장착된 크루시블(130, 135)들의 유지 보수 작업이 진행될 수 있고, 크루시블(130, 135)에 대한 증발 물질의 충전이 이루어질 수 있다. 다만, 모듈 프레임(121) 및 승강 구동부(123)의 구성이 이에 한정되는 것은 아니다.
한편, 본 실시예의 제1 크루시블(130)은 제1 증발 물질을 수용하는 컵 모양의 도가니로서, 전술한 모듈 프레임(121)의 함몰홈에 삽입 결합되는 구조를 갖는다. 도 2에서는 단면으로 표현되었지만, 제1 크루시블(130)을 두르도록 히터부(125)가 모듈 프레임(121)에 장착됨으로써 제1 크루시블(130)을 히터부(125)로부터 주어지는 열에 가열될 수 있으며, 이에 따라 금속의 제1 증발 물질을 기화되어 기판(W)으로 제공될 수 있다.
제1 증발 물질은 알루미늄일 수 있다. 다만, 제1 증발 물질의 종류가 이에 한정되는 것은 아니다.
도 4의 상부 도면을 참조하면, 제1 크루시블(130)의 상단부가 결합되는 모듈 프레임(121)의 상단부에는 제1 크루시블(130)과 상기 모듈 프레임(121)의 사이를 차단하기 위한 절연부재(128)가 구비될 수 있다. 이를 통해, 단락이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 본 실시예의 경우, 모듈 프레임(121)에 하나의 크루시블만이 구비되는 것이 아니라 다른 크루시블, 즉 본 실시예의 제2 크루시블(135)이 장착 가능하며 따라서 제1 증발 물질뿐만 아니라 제2 증발 물질도 기판(W) 상으로 제공할 수 있다.
전술한 것처럼, 종래의 경우 한 종류의 증발 물질만 사용할 수 있는 증발원 구조를 가짐으로써 가령 두 종류의 증발 물질을 사용해야 하는 경우 적용될 수 없으며, 이에 두 종류의 증발 물질을 사용하고자 하는 경우 물질별로 사용할 수 있는 2개의 셀, 즉 2개의 크루시블을 배치해야 하는 구조상의 복잡함이 있었는데, 본 발명의 일 실시예의 경우, 제2 크루시블(135)이 제1 크루시블(130)에 착탈 가능한 구조를 갖기 때문에 전술한 문제점을 해소할 수 있다.
본 실시예의 제2 크루시블(135) 역시 컵 모양의 도가니이며, 제2 크루시블(135)의 외경은 제1 크루시블(130)의 내경에 대응되는 크기를 갖는다. 그리고 제2 크루시블(135)의 길이는 제1 크루시블(130)의 내측 공간의 깊이에 비해 큰 수치를 갖는다.
제2 크루시블(135)에는 제2 증발 물질이 수용되며, 전술한 히터부(125)로부터 가해지는 열이 제1 크루시블(130)을 거쳐 제2 크루시블(135)에 제공되기 때문에 제2 크루시블(135) 내의 제2 증발 물질을 기화되어 기판(W)으로 제공될 수 있다.
이러한 제2 크루시블(135)에는 마그네슘 또는 은과 같은 제2 증발 물질이 수용될 수 있는데, 제2 증발 물질의 종류가 이에 한정되는 것은 아니다.
한편, 도 3 및 도 4의 하부 도면을 참조하면, 본 실시예의 제2 크루시블(135)은 바로 제1 크루시블(130)에 결합되는 것이 아니라, 관통홀이 형성된 연결부(140)에 결합된 상태로 제1 크루시블(130)에 결합되는 구조를 갖는다. 제2 크루시블(135)이 제1 크루시블(130)에 결합될 때 연결부(140)의 하단부는 모듈 프레임(121)의 상단부에 장착될 수 있다.
이러한 연결부(140)는, 관통홀이 형성된 상단 플레이트(141)와 상단 플레이트(141)의 가장자리의 하면으로부터 하방으로 연장되어 모듈 프레임(121)에 상단부의 가장자리에 형성된 단차진 턱에 장착 가능한 연장측벽(145)을 포함할 수 있다.
이러한 구성에 의해서, 도 3에 도시된 것처럼, 연결부(140)가 모듈 프레임(121)에 장착될 때 상단 플레이트(141) 및 연장측벽(145) 그리고 모듈 프레임(121)의 상단면에 의해 빈 공간이 형성될 수 있다.
연장측벽(145)은 높이 조절이 가능한 구조를 갖는다. 예를 들면 연장 측벽은 두 개의 부분이 결합된 구조를 가지고, 하나의 부분에 대해 다른 하나의 부분의 높이 조절 가능한 구조를 가질 수 있는 것이다.
따라서, 연장측벽(145)의 높이 조절로 인해 연결부(140)에 결합되는 제2 크루시블(135)의 높이를 조절할 수 있고, 이로 인해 제1 크루시블(130)에 대한 제2 크루시블(135)의 높이를 조절할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 하나의 모듈 프레임(121)에 제1 증발 물질이 충전된 제1 크루시블(130)이 장착되어 기판(W)으로 제1 증착 물질을 제공할 수 있을 뿐만 아니라 제1 크루시블(130)에 제2 크루시블(135)을 결합시킨 후 제2 증발 물질도 제공할 수 있어 증착 공정의 효율성을 향상시킬 수 있고 장치 구조를 간소화할 수 있는 장점이 있다.
한편, 도 5에 도시된 증발 모듈(220)이 적용될 수 있음은 당연하다. 도 5의 증발 모듈(220)은 전술한 일 실시예의 증발 모듈(120, 도 2 참조)과 형상적으로 차이가 있을 수 있으나, 제1 증발 물질이 수용되는 제1 크루시블(230)과 제2 증발 물질이 수용되는 제2 크루시블(235)을 포함한다는 점에서는 동일하고, 제1 크루시블(230)에 제2 크루시블(235)이 착탈 가능한 구조를 갖는다는 점에서도 동일하다.
한편, 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100 : 기판 증착 장치
110 : 챔버 하우징
120 : 증발 모듈
121 : 모듈 프레임
125 : 히터부
130 : 제1 크루시블
135 : 제2 크루시블
140 : 연결부
150 : 척킹 모듈

Claims (11)

  1. 기판에 대한 증착 공정을 실행하는 기판 증착 장치에 있어서,
    상기 기판의 증착을 위한 내부 공간을 구비하는 챔버 하우징; 및
    상기 챔버 하우징 내에서 구비되며, 상기 기판 방향으로 복수 개의 증발 물질 중 선택된 증발 물질을 제공할 수 있도록 하나의 모듈 프레임에 선택 가능한 적어도 2개의 크루시블(crucible)을 갖는 증발 모듈을 포함하며,
    상기 증발 모듈은,
    상기 모듈 프레임을 승강 가능하게 구동시키는 승강 구동부; 및
    상기 적어도 2개의 크루시블 중 상기 모듈 프레임에 결합되는 제1 크루시블의 적어도 일부분을 둘러싸도록 구비되며, 열을 발생시키는 히터부를 더 포함하며,
    상기 적어도 2개의 크루시블은 상기 제1 크루시블 및 상기 제1 크루시블에 삽입 또는 분리 가능한 제2 크루시블이며,
    상기 제2 크루시블이 관통되는 관통홀이 형성된 연결부를 더 포함하며,
    상기 제2 크루시블이 상기 제1 크루시블에 삽입될 때 상기 연결부의 하단부는 상기 모듈 프레임의 상단부에 장착 가능한, 기판 증착 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1 크루시블의 상단부가 결합되는 상기 모듈 프레임의 상단부에는 상기 제1 크루시블과 상기 모듈 프레임의 사이를 차단하기 위한 절연부재가 구비되는, 기판 증착 장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 연결부는, 상기 관통홀이 형성된 상단 플레이트 및 상기 상단 플레이트의 가장자리의 하면으로부터 하방으로 연장되어 상기 모듈 프레임의 상단부에 장착 가능한 연장측벽을 포함하며,
    상기 연장측벽은 높이 조절 가능한, 기판 증착 장치.
  7. 기판에 대한 증착 공정을 실행하는 기판 증착 장치의 챔버 하우징 내에 구비되어 상기 기판 방향으로 증발 물질을 제공하는 증발 모듈에 있어서,
    상기 챔버 하우징 내에 구비되는 모듈 프레임;
    상기 모듈 프레임에 장착되어, 상기 기판 방향으로 제공되는 제1 증발 물질이 수용되는 제1 크루시블; 및
    상기 제1 크루시블에 착탈 가능하게 삽입 또는 분리 가능하며, 상기 기판 방향으로 제공되는 제2 증발 물질이 수용되는 제2 크루시블을 포함하며,
    상기 모듈 프레임을 승강 가능하게 구동시키는 승강 구동부; 및
    상기 제1 크루시블의 적어도 일부분을 둘러싸도록 구비되며, 열을 발생시키는 히터부를 더 포함하며,
    상기 제2 크루시블이 관통되는 관통홀이 형성된 연결부를 더 포함하며,
    상기 제2 크루시블이 상기 제1 크루시블에 삽입될 때 상기 연결부의 하단부는 상기 모듈 프레임의 상단부에 장착 가능한, 증발 모듈.
  8. 삭제
  9. 제7항에 있어서,
    상기 제1 크루시블의 상단부가 결합되는 상기 모듈 프레임의 상단부에는 상기 제1 크루시블과 상기 모듈 프레임의 사이를 차단하기 위한 절연부재가 구비되는, 증발 모듈.
  10. 삭제
  11. 제7항에 있어서,
    상기 연결부는, 상기 관통홀이 형성된 상단 플레이트 및 상기 상단 플레이트의 가장자리의 하면으로부터 하방으로 연장되어 상기 모듈 프레임의 상단부에 장착 가능한 연장측벽을 포함하며,
    상기 연장측벽은 높이 조절 가능한, 증발 모듈.
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