KR102525220B1 - 척킹 모듈 및 그를 구비한 기판 증착 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 기판 증착 장치는, 기판에 대한 증착 공정을 실행하는 기판 증착 장치에 대한 것으로, 상기 기판의 증착을 위한 내부 공간을 구비하는 챔버 하우징; 및 상기 챔버 하우징 내에서 상기 기판 및 마스크를 척킹(chucking)하는 척킹 모듈;을 포함하며, 상기 척킹 모듈은, 상기 기판을 파지하는 기판 홀더; 상기 기판 홀더의 하부에서 승강 가능하게 배치되며 상기 마스크를 지지하는 마스크 프레임; 및 상기 기판 홀더의 상부에서 승강 가능하게 배치되는 백 플레이트를 포함하며, 상기 백 플레이트의 하단면의 가장자리에는 하방으로 돌출된 가압부재가 구비되어 상기 백 플레이트가 상기 기판 방향으로 접근될 때 상기 가압부재에 의해 상기 기판의 가장자리를 상기 기판 홀더 방향으로 가압하여 상기 기판에서 처짐 발생한 부분을 상방으로 올릴 수 있다. 본 발명의 실시예에 따르면, 별도의 구성 또는 장치를 구축하지 않고도 백 플레이트에 구비된 가압부재를 이용하여 기판의 가장자리를 가압함으로써 기판의 처짐 발생을 최소화할 수 있으며, 이에 따라 기판 증착 공정의 신뢰성을 증대시킬 수 있다.

Description

척킹 모듈 및 그를 구비한 기판 증착 장치{Chucking module and deposition apparatus of substrate having the same}
척킹 모듈 및 그를 구비한 기판 증착 장치가 개시된다. 보다 상세하게는, 별도의 구성 또는 장치를 구축하지 않고도 백 플레이트에 구비된 가압부재를 이용하여 기판의 가장자리를 가압함으로써 기판의 처짐 발생을 최소화할 수 있으며, 이에 따라 기판 증착 공정의 신뢰성을 증대시킬 수 있는 척킹 모듈 및 그를 구비한 기판 증착 장치가 개시된다.
유기전계발광소자(OLED, Organic Light Emitting Diodes)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광 현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.
유기전계발광소자는 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기적으로 되어 있고, 이러한 유기층은 진공 열증착 방법으로 기판 상에 증착된다.
진공 열증착 방법은 진공 챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 마스크(mask)를 기판에 정렬하고 합착시킨 후, 증발 물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 증발되는 증발 물질을 기판 상에 증착하여 원하는 패턴의 유기층을 형성하는 방식으로 이루어질 수 있다.
종래의 기판 증착 장치의 개략적인 구성을 설명하면, 진공 챔버와, 진공 챔버의 내부에서 하부 공간에 구비되어 기판 방향으로 증발 물질을 제공하는 증발원과, 진공 챔버의 내부에서 증발원의 상부에 위치되도록 구비되며 증발 물질이 증착되는 기판 및 마스크가 지지되는 척킹부를 포함할 수 있다.
여기서, 척킹부는, 기판을 파지하는 기판 홀더와, 그 하부에서 마스크를 파지하는 마스크 프레임과, 기판 홀더의 상부에서 배치되는 백 플레이트를 포함할 수 있다.
그런데, 종래의 기판 증착 장치의 척킹부에 있어서는, 기판의 외주연 부분만이 지지되기 때문에 중앙 부분이 아래로 벤딩되는 한계가 발생될 우려가 있었다. 이에 기판의 처짐 발생을 최소화하기 위해 기판을 파지하는 별도의 그리퍼 모듈을 구비하였는데, 이의 경우 그리퍼 모듈이 설치되는 부분에 대응되는 백 플레이트의 마그넷도 일정 부분 제거해야 하기 때문에, 기판 증착 공정의 신뢰성을 저해할 우려가 있었다.
본 발명의 실시예에 따른 목적은, 별도의 구성 또는 장치를 구축하지 않고도 백 플레이트에 구비된 가압부재를 이용하여 기판의 가장자리를 가압함으로써 기판의 처짐 발생을 최소화할 수 있으며, 이에 따라 기판 증착 공정의 신뢰성을 증대시킬 수 있는 척킹 모듈 및 그를 구비한 기판 증착 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 증착 장치는, 기판에 대한 증착 공정을 실행하는 기판 증착 장치에 대한 것으로, 상기 기판의 증착을 위한 내부 공간을 구비하는 챔버 하우징; 및 상기 챔버 하우징 내에서 상기 기판 및 마스크를 척킹(chucking)하는 척킹 모듈;을 포함하며, 상기 척킹 모듈은, 상기 기판을 파지하는 기판 홀더; 상기 기판 홀더의 하부에서 승강 가능하게 배치되며 상기 마스크를 지지하는 마스크 프레임; 및 상기 기판 홀더의 상부에서 승강 가능하게 배치되는 백 플레이트를 포함하며, 상기 백 플레이트의 하단면의 가장자리에는 하방으로 돌출된 가압부재가 구비되어 상기 백 플레이트가 상기 기판 방향으로 접근될 때 상기 가압부재에 의해 상기 기판의 가장자리를 상기 기판 홀더 방향으로 가압하여 상기 기판에서 처짐 발생한 부분을 상방으로 올릴 수 있으며, 이러한 구성에 의해서, 별도의 구성 또는 장치를 구축하지 않고도 백 플레이트에 구비된 가압부재를 이용하여 기판의 가장자리를 가압함으로써 기판의 처짐 발생을 최소화할 수 있으며, 이에 따라 기판 증착 공정의 신뢰성을 증대시킬 수 있다.
일측에 따르면, 상기 가압부재는, 상기 백 플레이트의 저면으로부터 외측 방향으로 갈수록 경사지게 형성되되 선형적으로 늘어나는 증대 부분; 및 상기 증대 부분이 끝나는 부분으로부터 연장되며 수평 방향을 갖는 수평 부분을 포함하며, 상기 백 플레이트가 상기 기판으로 접근될 때 상기 증대 부분이 상기 기판의 가장자리를 가압하여 상기 기판에서 처짐 발생한 부분을 상방으로 들어올릴 수 있다.
일측에 따르면, 상기 기판 홀더의 상단부에는 상기 가압부재에 형상 대응되는 그루브부재가 구비될 수 있다.
일측에 따르면, 상기 그루브부재는, 상기 증대 부분의 경사도에 대응되는 경사도를 갖는 경사 부분; 및 상기 경사 부분으로부터 연장되며 수평 방향을 갖는 함몰 부분을 포함하며, 상기 가압 부분이 상기 기판의 가장자리를 가압할 때 상기 기판의 가장자리는 상기 증대 부분 및 상기 경사 부분의 사이에 위치될 수 있다.
일측에 따르면, 상기 기판이 지지되는 상기 경사 부분의 상단은 라운딩(rounding) 처리될 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 척킹 모듈은, 기판에 대한 증착 공정을 수행하는 기판 증착 장치에 구비되어 기판 및 마스크를 척킹하는 척킹 모듈에 대한 것으로, 상기 기판 홀더의 하부에서 승강 가능하게 배치되며 상기 마스크를 지지하는 마스크 프레임; 및 상기 기판 홀더의 상부에서 승강 가능하게 배치되는 백 플레이트를 포함하며, 상기 백 플레이트의 하단면의 가장자리에는 하방으로 돌출된 가압부재가 구비되어 상기 백 플레이트가 상기 기판 방향으로 접근될 때 상기 가압부재에 의해 상기 기판의 가장자리를 상기 기판 홀더 방향으로 가압하여 상기 기판에서 처짐 발생한 부분을 상방으로 올릴 수 있다.
일측에 따르면, 상기 가압부재는, 상기 백 플레이트의 저면으로부터 외측 방향으로 갈수록 경사지게 형성되되 선형적으로 늘어나는 증대 부분; 및 상기 증대 부분이 끝나는 부분으로부터 연장되며 수평 방향을 갖는 수평 부분을 포함하며, 상기 백 플레이트가 상기 기판으로 접근될 때 상기 증대 부분이 상기 기판의 가장자리를 가압하여 상기 기판에서 처짐 발생한 부분을 상방으로 들어올릴 수 있다.
일측에 따르면, 상기 기판 홀더의 상단부에는 상기 가압부재에 형상 대응되는 그루브부재가 구비될 수 있다.
일측에 따르면, 상기 그루브부재는, 상기 증대 부분의 경사도에 대응되는 경사도를 갖는 경사 부분; 및 상기 경사 부분으로부터 연장되며 수평 방향을 갖는 함몰 부분을 포함하며, 상기 가압 부분이 상기 기판의 가장자리를 가압할 때 상기 기판의 가장자리는 상기 증대 부분 및 상기 경사 부분의 사이에 위치될 수 있다.
일측에 따르면, 상기 기판이 지지되는 상기 경사 부분의 상단은 라운딩(rounding) 처리될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 별도의 구성 또는 장치를 구축하지 않고도 백 플레이트에 구비된 가압부재를 이용하여 기판의 가장자리를 가압함으로써 기판의 처짐 발생을 최소화할 수 있으며, 이에 따라 기판 증착 공정의 신뢰성을 증대시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 증착 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 척킹 모듈을 상부에서 바라본 개략 도면이다.
도 3은 도 1에 도시된 척킹 모듈에서 백 플레이트로 기판을 가압하기 전의 도면이다.
도 4는 도 3에서 백 플레이트가 하강하여 기판의 외주연을 누르는 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 구성 및 적용에 관하여 상세히 설명한다. 이하의 설명은 특허 청구 가능한 본 발명의 여러 태양(aspects) 중 하나이며, 하기의 기술(description)은 본 발명에 대한 상세한 기술(detailed description)의 일부를 이룬다.
다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 증착 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 척킹 모듈을 상부에서 바라본 개략 도면이고, 도 3은 도 1에 도시된 척킹 모듈에서 백 플레이트로 기판을 가압하기 전의 도면이며, 도 4는 도 3에서 백 플레이트가 하강하여 기판의 외주연을 누르는 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
이들 도면(특히 도 1)에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 증착 장치(100)는, 예를 들면 유기전계발광소자용 기판(W)과 같은 기판(W)에 대한 증착 공정이 진행되는 공간(110S)을 형성하는 챔버 하우징(110)과, 챔버 하우징(110)의 내부 공간(110S) 중 상부 공간에 배치되어 기판(W) 및 마스크(M)를 척킹(chucking)하는 척킹 모듈(150)과, 챔버 하우징(110)의 내부 공간(110S) 중 하부 공간에 구비되어 기판(W) 증착을 위한 증발 물질을 제공하는 증발원(120)을 포함할 수 있다.
각각의 구성에 대해 설명하면, 먼저 챔버 하우징(110)은 기판(W)에 대한 증착 공정이 진행되는 장소를 형성한다. 증착 공정을 위해 예를 들면 고체 금속 증발 물질을 증발원(120)에 채운 후 증발원(120)으로부터 제공되는 증발 물질을 기판(W) 상에 증착할 수 있는데, 이러한 공정이 챔버 하우징(110) 내에서 이루어질 수 있는 것이다. 이러한 챔버 하우징(110)의 내부 공간(110S)은 기판에 대한 증착 공정이 신뢰성 있게 진행될 수 있도록 진공 분위기를 형성한다.
한편, 본 실시예의 증발원(120)은, 도 1에 개략적으로 도시된 것처럼, 챔버 하우징(110)의 공간(110S)의 하부에 배치되어 기판으로 증발 물질을 제공하는 것으로서, 자세히 도시하지는 않았지만, 증발 물질이 채워지는 크루시블(미도시)과, 크루시블 내의 증착 물질을 가열하여 증발 물질이 기판 방향으로 향하도록 하는 히터부재(미도시)를 포함할 수 있다.
여기서, 크루시블은 기판(W) 상으로 증착되는 증발 물질이 내부에 충전되는 일종의 컵(cup) 모양의 도가니일 수 있다. 크루시블은 상방이 개방되고 절연 재료로 제작될 수 있다. 한편, 히터부재는 크루시블 내에 수용된 증발 물질이 증기로 상변화되면서 증발되도록 크루시블을 가열한다.
한편, 본 실시예의 척킹 모듈(150)은, 기판(W) 및 마스크(M)를 합착시키면서도 증착 공정 시 기판(W)과 마스크(M)를 척킹하는 역할을 담당하는 부분으로서, 도 2 내지 도 4에 개략적으로 도시된 것처럼, 마스크(M)의 외주연을 지지하는 마스크 프레임(170)과, 기판을 지지하는 기판 홀더(160)와, 기판 홀더(160)의 상부에서 승강 가능하게 배치되어 하강 시 기판(W)의 상면에 접면되는 백 플레이트(180)를 포함할 수 있다.
여기서, 백 플레이트(180)의 하단면의 가장자리에는 하방으로 돌출된 가압부재(185)가 구비되어 백 플레이트(180)가 기판(W) 방향으로 접근하여 예를 들면 접면될 때, 즉 기판(W)의 상면과 백 플레이트(180)의 저면이 맞닿을 때 가압부재(185)에 의해 기판(W)의 가장자리를 기판 홀더(160) 방향으로 가압할 수 있으며, 이에 따라 기판(W)의 처짐 발생을 최소화할 수 있다.
먼저, 척킹 모듈(150)을 이루는 각 구성에 대해 부연하면, 본 실시예의 마스크 프레임(170)은, 마스크(M)의 외주연이 지지되는 부분으로서, 마스크(M)의 형상에 대응되는 직사각형의 프레임 형상을 갖는다. 도시하지는 않았지만, 마스크 프레임(170)의 상면에서 내측을 향하는 부분에는 약간의 단차진 부분이 형성되어 이 부분에 마스크(M)가 얼라인되며 위치될 수 있다.
한편, 본 실시예의 기판 홀더(160)는, 기판(W)의 외주연이 지지되는 부분으로서 기판(W)의 형상에 대응되는 직사각형의 프레임 형상을 가질 수 있다. 이러한 기판 홀더(160)는 기판(W)의 처짐 발생을 최소화하기 위해 백 플레이트(180)와 상호 작용 가능한 구조를 갖는데 이에 대해서는 백 플레이트(180) 설명 시 다시 설명하기로 한다.
한편, 본 실시예의 백 플레이트(180)는 마그넷편(미도시)이 구비되어 금속 재질로 마련되는 마스크(M) 간에 인력이 작용하며, 따라서 기판(W)과 마스크(M) 사이의 합착이 견고하게 이루어질 수 있도록 하는 것이다. 도 4를 참조하면, 백 플레이트(180)는 기판(W) 방향으로 이동하며 기판(W)의 상면과 접면되는데, 이러한 상태 시 백 플레이트(180)의 마그넷편과 마스크(M)가 상호 잡아당김으로써 백 플레이트(180)에 기판(W) 및 마스크(M)가 파지된 상태를 유지할 수 있다.
그런데, 전술한 것처럼, 기판 홀더(160)에 기판(W)의 외주연이 지지되는 구성을 갖기 때문에, 기판(W)의 중앙 부분을 비롯한 일부 부분이 하방으로 처질 수 있다. 기판(W)이 수평 상태를 유지하지 못하고 처짐이 발생되는 경우 마스크(M)에 대한 기판(W)의 위치가 미세하게 틀어질 수 있고 이를 통해 기판(W)에 대한 증착 공정의 신뢰성이 저하될 수 있다. 따라서 기판(W)의 처짐을 최소화하는 것이 매우 중요하다.
이에, 전술한 것처럼, 종래에는 별도의 그리퍼 모듈을 구비하여 기판(W)의 처짐 발생을 줄이고자 하였으나 이 경우 별도의 모듈 장착을 위한 공간이 요구되었고, 또한 이에 대응되게 백 플레이트 역시 일정 부분, 예를 들면 마그넷편의 일부를 제거해야 하기 때문에 기판 증착 공정의 신뢰성을 저해할 우려가 있었다.
그런데, 본 실시예의 경우, 전술한 것처럼, 백 플레이트(180) 상에 기판(W)을 부분적으로 가압하는 가압부재(185)가 마련되고, 가압부재(185)의 형상에 대응되도록 기판 홀더(160)가 마련됨으로써 별도의 구성을 구비하지 않고도 기판(W)의 처짐 발생을 최소화할 수 있다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 실시예의 백 플레이트(180)는 전체적으로 직육면체 형상을 가질 수 있다. 백 플레이트(180)의 저면은 기판(W)의 상면과 접촉되는 부분으로서 전체적으로 수평 상태를 가질 수 있는데, 저면 중 가장자리 부분은 중앙 부분을 비롯한 다른 부분에 비해 하방으로 돌출된 형상을 갖는다. 이 돌출된 형상을 갖는 것이 기판(W)의 처짐을 최소화하기 위한 본 실시예의 가압부재(185)인 것이다.
본 실시예의 가압부재(185)는, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 백 플레이트(180)의 저면으로부터 외측 방향으로 경사지게 형성되되 선형적으로 늘어나는 증대 부분(186)과, 증대 부분(186)이 끝나는 부분으로부터 연장되며 수평 방향을 갖는 수평 부분(187)을 포함할 수 있다. 이러한 구성에 의해서 백 플레이트(180)가 기판(W)에 접면될 때 기판(W)의 가장자리를 눌러서 처짐 가능한 기판(W)의 중앙 부분을 상방으로 들어올릴 수 있다.
아울러, 기판 홀더(160)의 상단부에는 백 플레이트(180)의 가압부재(185)에 형상 대응되는 그루브부재(165)가 구비될 수 있다. 본 실시예의 그루브부재(165)는, 도 3 및 도 4에 도시된 것처럼, 증대 부분(186)의 경사도에 대응되는 경사도를 갖는 경사 부분(166)과, 경사 부분(166)으로부터 연장되며 수평 방향을 갖는 함몰 부분(167)을 포함할 수 있다. 여기서 기판(W)의 지지되는 경사 부분(166)의 상단은 라운딩 처리됨으로써 기판(W)의 접촉 부분에 스크래치 등이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
이와 같이, 백 플레이트(180)에 가압부재(185)가 구비되고 기판 홀더(160)에 그루브부재(165)가 형성됨으로써, 도 3의 상태에서 도 4의 상태로 백 플레이트(180)가 하강하는 경우, 가압부재(185)의 증대 부분(186)이 중앙 부분의 처짐이 발생한 기판(W)의 가장자리를 누르면서 기판 홀더(160)의 경사 부분(166)에 접근하게 된다. 즉, 기판(W)의 가장자리가 증대 부분(186)과 경사 부분(166)의 사이에 위치되는 것인데, 이 때 가장자리가 단순히 수평 상태로 놓이는 것이 아니라 기판(W)의 가장자리가 경사 부분(166)의 상단을 기준으로 하방으로 가압되는 힘을 받기 때문에 기판(W)의 중앙 부분을 비롯한 부분들이 상방으로 들어올려지며 따라서 기판(W)에 발생한 처짐을 없앨 수 있는 것이다.
이처럼, 본 실시예의 경우 별도의 구성을 구비하는 것이 아니라 단지 백 플레이트(180)의 하단부에 가압부재(185)를 형성함으로써 기판(W)의 가장자리를 하방으로 누를 수 있고 이를 통해 기판(W)의 처짐 발생을 최소화할 수 있다.
다만, 기판(W)의 처짐 발생을 방지하기 위한 가압부재(185)의 구성이 전술한 경우에 한정되는 것은 아니다. 기판(W)의 가장자리를 가압하여 기판(W)의 처짐을 최소화할 수 있는 가압부재(185)라면 다른 구조가 적용될 수 있음은 당연하다.
한편, 본 실시예의 백 플레이트(180)는 전술한 것처럼 전체적으로 직육면체 형상을 갖는데, 이를 개략적으로 표현한 것이 도 2이다. 도 2에 도시된 것처럼, 백 플레이트(180)는 상부에 바라볼 때 직사각형이며, 따라서 절취 부분이 형성됨으로 인해 마그넷편이 제거되는 일이 발생되지 않고 이에 따라 백 플레이트(180)의 마그넷편과 마스크(M)의 상호 자기적인 작용이 원활하게 이루어져 기판(W) 증착의 신뢰성 역시 증대시킬 수 있는 것이다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 별도의 구성 또는 장치를 구축하지 않고도 백 플레이트(180)에 구비된 가압부재(185)를 이용하여 기판(W)의 가장자리를 가압함으로써 기판(W)의 처짐 발생을 최소화할 수 있으며, 이에 따라 기판(W) 증착 공정의 신뢰성을 증대시킬 수 있는 장점이 있다.
한편, 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100 : 기판 증착 장치
110 : 챔버 하우징
120 : 증발원
150 : 척킹 모듈
160 : 기판 홀더
165 : 그루브부재
166 : 경사 부분
167 : 함몰 부분
170 : 마스크 프레임
180 : 백 플레이트
185 : 가압부재
186 : 증대 부분
187 : 수평 부분

Claims (10)

  1. 기판의 증착을 위한 내부 공간을 구비하는 챔버 하우징; 및
    상기 챔버 하우징 내에서 상기 기판 및 마스크를 척킹(chucking)하는 척킹 모듈;
    을 포함하며,
    상기 척킹 모듈은,
    상기 기판을 파지하는 기판 홀더;
    상기 기판 홀더의 하부에서 승강 가능하게 배치되며 상기 마스크를 지지하는 마스크 프레임; 및
    상기 기판 홀더의 상부에서 승강 가능하게 배치되는 백 플레이트를 포함하는 기판에 대한 증착 공정을 실행하는 기판 증착 장치에 있어서,
    상기 백 플레이트의 하단면의 가장자리에는 하방으로 돌출된 가압부재가 구비되어 상기 백 플레이트가 상기 기판 방향으로 접근될 때 상기 가압부재에 의해 상기 기판의 가장자리를 상기 기판 홀더 방향으로 가압하여 상기 기판에서 처짐 발생한 부분을 상방으로 올리고,
    상기 가압부재는, 상기 백 플레이트의 저면으로부터 외측 방향으로 갈수록 경사지게 형성되되 선형적으로 늘어나는 증대 부분; 및 상기 증대 부분이 끝나는 부분으로부터 연장되며 수평 방향을 갖는 수평 부분을 포함하여, 상기 백 플레이트가 상기 기판으로 접근될 때 상기 증대 부분이 상기 기판의 가장자리를 가압하여 상기 기판에서 처짐 발생한 부분을 상방으로 들어올리고,
    상기 기판 홀더의 상단부에는, 상기 증대 부분의 경사도에 대응되는 경사도를 갖는 경사 부분; 및 상기 경사 부분으로부터 연장되며 수평 방향을 갖는 함몰 부분을 포함하여, 가압 부분이 상기 기판의 가장자리를 가압할 때 상기 기판의 가장자리는 상기 증대 부분 및 상기 경사 부분의 사이에 위치되는, 상기 가압부재에 형상 대응되는 그루브부재가 구비되는, 기판에 대한 증착 공정을 실행하는 기판 증착 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 기판이 지지되는 상기 경사 부분의 상단은 라운딩(rounding) 처리되는, 기판 증착 장치.
  6. 기판 홀더의 하부에서 승강 가능하게 배치되며 마스크를 지지하는 마스크 프레임; 및
    상기 기판 홀더의 상부에서 승강 가능하게 배치되는 백 플레이트를 포함하는 기판에 대한 증착 공정을 수행하는 기판 증착 장치에 구비되어 기판 및 마스크를 척킹하는 척킹 모듈에 있어서,
    상기 백 플레이트의 하단면의 가장자리에는 하방으로 돌출된 가압부재가 구비되어 상기 백 플레이트가 상기 기판 방향으로 접근될 때 상기 가압부재에 의해 상기 기판의 가장자리를 상기 기판 홀더 방향으로 가압하여 상기 기판에서 처짐 발생한 부분을 상방으로 올리고,
    상기 가압부재는, 상기 백 플레이트의 저면으로부터 외측 방향으로 갈수록 경사지게 형성되되 선형적으로 늘어나는 증대 부분; 및 상기 증대 부분이 끝나는 부분으로부터 연장되며 수평 방향을 갖는 수평 부분을 포함하여, 상기 백 플레이트가 상기 기판으로 접근될 때 상기 증대 부분이 상기 기판의 가장자리를 가압하여 상기 기판에서 처짐 발생한 부분을 상방으로 들어올리고,
    상기 기판 홀더의 상단부에는, 상기 증대 부분의 경사도에 대응되는 경사도를 갖는 경사 부분; 및 상기 경사 부분으로부터 연장되며 수평 방향을 갖는 함몰 부분을 포함하여, 가압 부분이 상기 기판의 가장자리를 가압할 때 상기 기판의 가장자리는 상기 증대 부분 및 상기 경사 부분의 사이에 위치되는, 상기 가압부재에 형상 대응되는 그루브부재가 구비되는, 기판에 대한 증착 공정을 수행하는 기판 증착 장치에 구비되어 기판 및 마스크를 척킹하는 척킹 모듈.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제6항에 있어서,
    상기 기판이 지지되는 상기 경사 부분의 상단은 라운딩(rounding) 처리되는, 척킹 모듈.
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