KR101746993B1 - Method and apparatus for electroplating fe-ni alloy metal foil - Google Patents

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Abstract

본 발명은 Fe-Ni 합금 금속 포일의 표면을 전기도금하는 전기도금장치에 관한 것으로서, 전해액을 포함하는 전해조, 상기 전해조 외부에 위치하며, 음극으로 제공되는 제1 및 제2 통전롤, 상기 전해조 내부에 위치하여 제1 통전롤을 통해 공급되는 금속 포일을 전해조 내부로 안내하여 전해액에 침지된 후 제2 통전롤을 통해 배출되도록 하는 디핑롤, 상기 제1 통전롤 및 디핑롤 간의 금속 포일 이동 경로 양측에 배치된 한 쌍의 제1 양극 및 상기 디핑롤과 제2 통전롤 간의 금소 포일 이동경로 양측에 배치된 한 쌍의 제2 양극을 포함하며, 상기 제1 통전롤과 제1 양극이 통전되고, 제2 통전롤과 제2 양극이 통전되도록 연결된 도금셀을 포함한다.The present invention relates to an electroplating apparatus for electroplating a surface of an Fe-Ni alloy metal foil, which comprises an electrolytic bath containing an electrolytic solution, first and second energized rolls provided outside the electrolytic bath and provided as a cathode, Wherein the metal foil is disposed on the first energizing roll and guided to the inside of the electrolytic bath through the first energizing roll to be dipped in the electrolytic solution and discharged through the second energizing roll, And a pair of second anodes disposed on both sides of a nitrogen foil movement path between the dipping roll and the second energizing roll, the first energizing roll and the first anode are energized, And a plating cell connected to the second energizing roll and the second anode so as to be energized.

Description

Fe-Ni계 합금 금속 포일의 전기도금장치 및 방법{METHOD AND APPARATUS FOR ELECTROPLATING FE-NI ALLOY METAL FOIL}METHOD AND APPARATUS FOR ELECTROPLATING FE-NI ALLOY METAL FOIL FIELD OF THE INVENTION [0001]

본 발명은 품질특성이 우수한 전자소자용 패널(panel), FMM(Fine Metal Mask), 봉지재 또는 접합소재로 활용 가능한 Fe-Ni계 합금 금속 포일에 기능성 후처리층을 형성하는 전기도금방법 및 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to an electroplating method and apparatus for forming a functional post-treatment layer on an Fe-Ni alloy metal foil that can be used as an electronic device panel, an FMM (Fine Metal Mask), an encapsulant or a bonding material having excellent quality characteristics .

금속 포일은 다양한 용도로 개발되어 가정/산업에 널리 이용되고 있다. 예를 들어, 알루미늄 포일(Aluminum Foil)은 가정용이나 음식 조리용으로 널리 사용되고 있으며, 스테인리스 강 포일(Stainless Steel Foil)은 건축용 내장재나 외장재로서 주로 이용되고 있다.
Metal foils have been developed for various applications and are widely used in the home / industry. For example, aluminum foil is widely used for domestic and cooking purposes, and stainless steel foil is mainly used as a building interior material or exterior material.

또한, 전해 구리 포일(Electrolytic Copper Foil)은 인쇄회로기판(PCB: Printed Circuit Board)의 회로로 널리 사용되고 최근 노트북 컴퓨터, 개인휴대단말기(PDA), E북, 휴대폰 등의 소형제품을 중심으로 널리 사용되고 있다.
Electrolytic copper foil is widely used as a circuit of a printed circuit board (PCB), and recently it is widely used mainly in small-sized products such as a notebook computer, a personal digital assistant (PDA), an E-book, have.

특수한 용도의 금속 포일도 생산되고 있는데, 그 중 Fe-Ni계 합금 금속 포일은 열팽창계수(Coefficient of Thermal Expansion, CTE)가 낮아 유기발광다이오드(OLED, Organic Light Emitting Diodes)용 기판 및 봉지재, FMM용 소재 등으로 이용되기도 하며, 이차전지의 집전체나 전자소자의 기판 등으로 각광을 받고 있는 상황이다.
Among them, Fe-Ni alloy metal foil has a low coefficient of thermal expansion (CTE) and is used as a substrate and sealing material for organic light emitting diodes (OLED), FMM Or the like, and is receiving the spotlight by the current collector of the secondary battery or the substrate of the electronic device.

이러한 Fe-Ni계 합금 금속 포일을 제조하는 방법으로는, 압연(Rolling)법과 전주(ElectroForming)법이 널리 알려져 있다. 이 중, 전주법은 전해조 내에 설치된 회전하는 원통형의 음극 드럼과 대향하는 한 쌍의 원호 형상의 양극에 둘러싸인 틈으로 급액 노즐을 통해 전해액을 공급하여 전류를 통전함으로써, 상기 음극 드럼의 표면에 Fe-Ni계 합금을 전착시키고, 이를 권취함으로써 금속 포일로 만드는 방법이다.
Rolling method and electroforming method are widely known as methods for producing such Fe-Ni alloy metal foil. Among them, the electrolytic solution is supplied with electrolytic solution through a liquid supply nozzle in a gap surrounded by a pair of circular arc-shaped positive electrodes opposed to a rotating cylindrical negative electrode drum provided in an electrolytic bath, Ni alloy is electrodeposited and rolled to form a metal foil.

이러한 전주법에 의해 제조된 Fe-Ni계 합금 금속 포일은 평균 결정립 크기가 미세하여 기계적 물성이 우수하다는 장점이 있으며, 더욱이 낮은 제조 비용으로도 제조가 가능하여 제조 원가가 낮다는 장점이 있다.
The Fe-Ni-based alloy metal foil manufactured by the electroforming method has an advantage that the average grain size is small and the mechanical properties are excellent. Further, the Fe-Ni alloy metal foil is advantageous in that it can be manufactured even at a low manufacturing cost and thus its manufacturing cost is low.

한편, 전주법에 의해 제조되는 Fe-Ni계 합금 금속 포일은 유연하고 초극박으로 제조할 수 있는 장점을 지니고 있는 반면, Fe-Ni계 합금 금속 포일 표면 및 내부에 불가피하게 함유되는 수분이나 운송 및 저장 중 발생하는 발청(붉은 녹)을 효과적으로 방지(방청성 확보)시키지 못하면 소재의 적용이 곤란하거나 제조된 소자의 수명을 단축시키는 문제점을 야기시킨다.
On the other hand, the Fe-Ni-based alloy metal foil manufactured by the electroplating method has the advantage of being able to be produced as a flexible and ultra-thin foil, while the moisture and transportation and inevitably contained in the surface and inside of the Fe- If rusting (red rust) generated during storage is not effectively prevented (ensuring rust resistance), application of the material is difficult or the life of the manufactured device shortens.

이러한 문제점 해결을 위해 포일 표면에 대한 다양한 방청코팅 기술이 적용되고 있다. 그 중 Fe-Ni 합금의 외면에 전해 동(Cu) 도금층을 형성하여 전해 인바로 형성된 방열 회로층을 형성하여 내식성 및 방열성능을 향상시키는 기술 등이 제시되기도 하였다(한국특허 공개 제2011-0053805호).
Various rust-preventive coating techniques for foil surfaces have been applied to solve these problems. And a technique of forming an electrolytic copper (Cu) plating layer on the outer surface of the Fe-Ni alloy to form a heat dissipation circuit layer formed by electrolytic ingot to improve the corrosion resistance and heat dissipation performance (Korean Patent Laid-Open Publication No. 2011-0053805 ).

또 다른 예로서, 전주법에 의해 제조된 Fe-Ni계 합금 금속 포일은 원자들이 화학적으로 결합되고, 원자들간의 확산 과정이 수반되지 않기 때문에, 잔류 응력이 매우 크며, 경우에 따라 형상 불균일이 발생할 소지가 있다. 따라서, 일반적으로 제조 후, 후열처리를 통해 잔류 응력을 해소하는 공정을 거치게 되는데, 이러한 후열처리 과정에서 표면 변색이 발생하며, 표면 녹이 발생하는 문제가 있었다.
As another example, the Fe-Ni-based alloy metal foil manufactured by the electroplating method has a large residual stress because the atoms are chemically bonded and the diffusion process between the atoms is not accompanied, I have possession. Therefore, in general, a post-heat treatment is performed to remove the residual stress after the manufacturing process. In such a post-heat treatment process, surface discoloration occurs and surface rust is generated.

이러한 문제점을 해소하기 위한 일례에 따르면, 상기 Fe-Ni 합금 금속 포일의 열처리 과정 중 표면변색을 방지하기 위해, 표면에 금속을 코팅여 금속 배리어층을 형성하는 방안이 제시되어 있다.
In order to solve this problem, a method of forming a metal barrier layer by coating a metal on the surface of the Fe-Ni alloy metal foil in order to prevent discoloration of the surface during the heat treatment process has been proposed.

상기 금속 배리어층은 300℃ 이상의 고온의 대기 분위기 하에서 산소의 침투와 Fe-Ni 금속 포일 내의 Fe이 표면으로 확산하는 것을 효과적으로 방지할 수 있어, Fe-Ni계 합금 금속 포일의 내열성 및 방청성 향상에 도움을 줄 수 있다.
The metal barrier layer can effectively prevent the penetration of oxygen and the diffusion of Fe into the surface of the Fe-Ni metal foil in an atmospheric air atmosphere at a temperature of 300 ° C or higher, thereby improving the heat resistance and rust resistance of the Fe-Ni alloy metal foil .

상기 금속 배리어층은, 무전해법, 전해법 또는 진공증착법에 의해 형성할 수 있는데, 본 발명은 Fe-Ni 금속박에 전해법(전기도금법)으로 내열성 금속 배리어층 또는 또 다른 기능성 금속코팅을 형성하는 장치에 관한 것이다.
The metal barrier layer may be formed by an electroless plating method, an electrolytic plating method, or a vacuum deposition method. The present invention is applicable to an apparatus for forming a heat resistant metal barrier layer or another functional metal coating on an Fe-Ni metal foil by an electrolytic plating method .

본 발명은 품질특성이 우수한 전자소자용 패널, FMM(Fine Metal Mask), 봉지재 또는 접합소재로 활용 가능한 Fe-Ni계 합금 금속 포일을 제조함에 있어서, 금속 포일에 특정 기능을 부여하기 위해 금속으로 표면을 처리하는 경우, Fe-Ni 합금 금속 포일 표면에 전기도금하는 장치를 제공하고자 한다.
The present invention relates to an Fe-Ni alloy metal foil which can be used as an electronic device panel having excellent quality characteristics, an FMM (Fine Metal Mask), an encapsulant or a bonding material, It is intended to provide an apparatus for electroplating an Fe-Ni alloy metal foil surface when treating the surface.

본 발명의 과제는 상술한 내용에 한정하지 않는다. 본 발명의 추가적인 과제는 명세서 전반적인 내용에 기재되어 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상적인 지식을 가지는 자라면 본 발명의 명세서로부터 본 발명의 추가적인 과제를 이해하는데 아무런 어려움이 없을 것이다.
The object of the present invention is not limited to the above description. Additional objects and advantages of the invention will be set forth in part in the description which follows, and in part will become apparent to those having ordinary skill in the art upon examination of the following or may be learned from practice of the invention.

본 발명은 Fe-Ni 합금 금속 포일의 표면을 전기도금하는 전기도금장치로서, 전해액을 포함하는 전해조, 상기 전해조 외부에 위치하며, 음극으로 제공되는 제1 및 제2 통전롤, 상기 전해조 내부에 위치하여 제1 통전롤을 통해 공급되는 금속 포일을 전해조 내부로 안내하여 전해액에 침지된 후 제2 통전롤을 통해 배출되도록 하는 디핑롤, 상기 제1 통전롤 및 디핑롤 간의 금속 포일 이동 경로 양측에 배치된 한 쌍의 제1 양극 및 상기 디핑롤과 제2 통전롤 간의 금소 포일 이동경로 양측에 배치된 한 쌍의 제2 양극을 포함하며, 상기 제1 통전롤과 제1 양극이 통전되고, 제2 통전롤과 제2 양극이 통전되도록 연결된 도금셀을 포함한다.The present invention relates to an electroplating apparatus for electroplating a surface of a Fe-Ni alloy metal foil, comprising: an electrolytic bath containing an electrolytic solution; first and second energizing rolls provided outside the electrolytic bath and provided as a cathode; Diffling rolls for guiding the metal foil supplied through the first energizing rolls to the inside of the electrolytic bath to be dipped in the electrolytic solution and then discharged through the second energizing rolls are disposed on both sides of the metal foil moving path between the first energizing roll and the diphling roll And a pair of second anodes disposed on both sides of the nitrogen foil movement path between the dipping roll and the second energizing roll, the first energizing roll and the first anode are energized, and the second energizing roll And a plating cell connected to energize the energizing roll and the second anode.

상기 도금셀은 2 이상 구비할 수 있으며, 이때, 하나의 도금셀과 이에 인접하는 도금셀은 하나의 통전롤을 공유할 수 있다.At least two plating cells may be provided. In this case, one plating cell and a plating cell adjacent thereto may share one conduction roll.

상기 공유하는 통전롤은 하나의 도금셀의 업 패스를 형성하는 애노드 브리지와 인접하는 도금셀의 다운 패스를 형성하는 애노드 브리지와 전기적으로 연결될 수 있다.The shared energizing roll may be electrically connected to an anode bridge forming an up-path of one plating cell and an anode bridge forming a down-path of a plating cell adjacent to the anode bridge.

금속 포일이 상기 제1 통전롤과 접촉한 후 분리되기 시작하는 지점 부위에 상기 금속 포일의 양면에 전기도금 용액을 뿌려주는 샤워 노즐을 구비할 수 있다. And a shower nozzle for spraying an electroplating solution on both sides of the metal foil at a point where the metal foil starts to be separated from the first energizing roll after being contacted.

상기 제1 및 제2 통전롤 중 적어도 하나의 통전롤은 금속 포일과 접촉하기 시작하는 위치에 스너버 롤을 구비할 수 있다.
At least one of the energizing rolls of the first and second energizing rolls may have a snubber roll at a position where it starts to contact the metal foil.

본 발명은 Fe-Ni 합금 금속 포일의 표면을 전기도금하는 전기도금 방법을 제공하며, 전해액을 포함하는 전해조; 상기 전해조 외부에 위치하며, 음극으로 제공되는 제1 및 제2 통전롤; 상기 전해조 내부에 위치하여 제1 통전롤을 통해 공급되는 금속 포일을 전해조 내부로 안내하여 전해액에 침지한 후 제2 통전롤을 통해 배출되도록 하는 디핑롤; 상기 제1 통전롤 및 디핑롤 간의 금속 포일 이동 경로 양측에 배치된 한 쌍의 제1 양극; 및 상기 디핑롤과 제2 통전롤 간의 금소 포일 이동경로 양측에 배치된 한 쌍의 제2 양극을 포함하는 전기도금장치를 사용하되, 상기 제1 양극과 상기 제1 통전롤을 전기적으로 연결하고, 제2 양극과 제2 통전롤을 전기적으로 연결하여 전류를 인가하는 전기도금방법을 제공한다.The present invention provides an electroplating method for electroplating a surface of a Fe-Ni alloy metal foil, comprising: an electrolytic bath containing an electrolytic solution; First and second energizing rolls located outside the electrolytic cell and provided as cathodes; A dipping roll which is positioned inside the electrolytic bath and guides the metal foil supplied through the first energizing roll to the inside of the electrolytic bath to be dipped in the electrolytic solution and then discharged through the second energizing roll; A pair of first anodes disposed on both sides of the metal foil movement path between the first energizing roll and the diphling roll; And a pair of second anodes disposed on both sides of a nitrogen foil movement path between the dipping roll and the second energizing roll, wherein the first anode and the first energizing roll are electrically connected to each other, And an electric current is applied by electrically connecting the second anode and the second energizing roll.

한편, 상기 금속 포일이 상기 제1 통전롤과 접촉한 후 분리되기 시작하는 지점 부위에 전기도금 용액을 뿌리는 것이 바람직하며, 상기 전기도금 용액은 금속 포일의 양면에 뿌리는 것이 보다 바람직하다.It is preferable that the electroplating solution is sprayed to a point where the metal foil starts to be separated from the first energizing roll, and it is more preferable that the electroplating solution is sprayed on both sides of the metal foil.

나아가, 상기 금속 포일이 상기 제1 및 제2 통전롤 중 적어도 하나의 통전롤과 접촉하기 시작하는 위치에 스너버 롤에 의해 상기 금속 포일을 통전롤에 밀착시키는 것이 바람직하다.
Furthermore, it is preferable that the metal foil is brought into close contact with the energizing roll by a snubber roll at a position where the metal foil starts to contact the energizing roll of at least one of the first and second energizing rolls.

본 발명에 따르면, 비저항이 커 통전이 곤란한 Fe-Ni계 합금 금속 포일에 대하여 전압차를 일정하게 할 수 있어 균일한 금속 코팅을 수행할 수 있어, 고품질의 Fe-Ni 금속 포일을 제조할 수 있다.
INDUSTRIAL APPLICABILITY According to the present invention, it is possible to make the voltage difference constant for an Fe-Ni alloy metal foil having a large resistivity and difficult to conduct current, to perform uniform metal coating, and to produce a high quality Fe-Ni metal foil .

나아가, 고품질의 Fe-Ni 금속 포일 상에 기능성 코팅층을 균일하게 형성할 수 있어, 금속 포일에 내열성, 방열성 등을 향상시킬 수 있으며, 따라서 유기발광다이오드(OLED, Organic Light Emitting Diodes)용 FMM, 봉지재, 전자소자의 기판 등의 소재로 바람직하게 적용될 수 있다.
Further, the functional coating layer can be uniformly formed on the high-quality Fe-Ni metal foil, and heat resistance and heat dissipation property can be improved in the metal foil. Therefore, FMM for OLED (Organic Light Emitting Diodes) As a material for a substrate, an electronic device, or the like.

도 1은 일반적인 전기 도금셀을 포함하는 전기도금장치의 단면 구조를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 동일한 전류를 가하였을 때 소재 및 극간거리에 따른 도금전압 변화를 측정하여 나타낸 그래프이다.
도 3은 비저항이 높은 Fe-Ni 합금 포일에 적용할 수 있는 본 발명의 일 구현예에 따른 통전 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 구현예에 따른 용액 샤워노즐을 구비하는 도금 셀을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 구현예에 따른 스너버 롤을 구비하는 도금 셀을 개략적으로 도시한 도면이다.
BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1 is a schematic view showing a cross-sectional structure of an electroplating apparatus including a general electroplating cell. FIG.
FIG. 2 is a graph showing changes in plating voltage according to the distance between the material and the electrode when the same current is applied.
3 is a schematic view of a current-carrying structure according to an embodiment of the present invention applicable to a Fe-Ni alloy foil having a high resistivity.
4 is a schematic view of a plating cell having a solution shower nozzle according to an embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a schematic view of a plating cell having a snubber roll according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG.

본 발명은 품질특성이 우수한 전자소자용 판넬, FMM(Fine Metal Mask), 봉지재 또는 접합소재로 활용 가능한 Fe-Ni계 합금 금속 포일에 대하여 기능성을 부여하기 위한 방안으로서 Fe-Ni 합금 금속 포일 표면에 금속을 전기도금하는 방법을 제공한다.
The present invention relates to an Fe-Ni alloy metal foil surface, which is a method for imparting functionality to an Fe-Ni alloy metal foil that can be used as an electronic device panel, an FMM (Fine Metal Mask), a sealing material, The present invention provides a method of electroplating a metal on a substrate.

이하, 도면을 참조하여 보다 구체적으로 설명한다.
Hereinafter, a more detailed description will be given with reference to the drawings.

도 1은 Fe-Ni 합금 금속 포일의 내열성, 내식성 및 에칭성 등의 물성 확보를 위해 양면 및/또는 편차 전기도금처리, 건조 등을 구현할 수 있는 Fe-Ni 합금 금속 포일의 후처리 설비에 대한 전기도금조의 일례이다.
Fig. 1 is a graph showing the relationship between the electrical properties of the Fe-Ni alloy metal foil and the post-treatment equipment of the Fe-Ni alloy metal foil, which can realize double- and / or divergence electroplating treatment, drying and the like for securing properties such as heat resistance, corrosion resistance, This is an example of a plating bath.

약 20㎛ 두께를 갖는 Fe-Ni 합금 금속 포일을 도 1과 같은 후처리 전기도금조에 연결하고 적정 수준 이상의 전류(Current)를 투입하는 경우, 도금 전압이 상승하면서 통전 롤(Conductor Roll)에서 아크(Arc)가 발생하는 등의 쇼트(Shot) 현상이 일어나는 것을 확인할 수 있다.
When an Fe-Ni alloy metal foil having a thickness of about 20 탆 is connected to a post-treatment electroplating bath as shown in Fig. 1 and a current higher than a proper level is applied, the arc voltage Arc) is generated in a short time period.

일례로 전기도금조 한 개에 애노드 브리지(Anode bridge) 별로 110A 수준, 즉, Fe-Ni 금속 포일의 폭 및 길이를 고려하면 약 2A/d㎡에 해당하는 수준의 전류를 투입하였을 때의 도금전압의 변화를 관찰하고, 그 결과를 표 1에 나타내었다.
For example, when a current corresponding to about 2A / dm 2 is applied to an electrodeposition vessel at a level of 110 A per anode bridge, that is, considering the width and length of the Fe-Ni metal foil, , And the results are shown in Table 1. < tb >< TABLE >

Cell 정류기 투입(110A)시 브리지 별 도금 전압Cell Rectifier Input (110A) Plating Voltage per Bridge 브리지 제어Bridge control aa bb cc dd a+da + d 9.09.0 XX XX 12.712.7 b+cb + c XX 9.19.1 12.612.6 XX a+b+c+da + b + c + d 14.114.1 14.314.3 21.321.3 21.421.4

위 표 1로부터 알 수 있는 바와 같이, 도 1에 나타낸 No. 1 C/R의 통전롤에 의해 a와 d의 애노드 브리지를 제어하는 경우 각각의 브리지의 도금 전압 간에는 큰 차이를 나타냄을 알 수 있다. 마찬가지로, b와 c의 브리지를 제어하는 경우에도 각 브리지에서의 도금 전압은 큰 차이를 나타냄을 알 수 있다.
As can be seen from Table 1 above, It can be seen that when the anode bridge of a and d is controlled by the energized roll of 1 C / R, there is a large difference between the plating voltages of the respective bridges. Similarly, it can be seen that the plating voltage at each bridge shows a large difference even when the bridge of b and c is controlled.

나아가, a 내지 d의 모든 브리지를 No. 1 C/R이 제어하는 경우에 있어서 a와 b 브리지 간 및 c와 d 브리지 간에는 유사한 도금전압을 나타내나, a와 d 브리지 간 및 b와 c 브리지 간에는 도금 전압이 큰 차이를 나타내고 있다.
Further, all the bridges a to d are denoted by No. 1 C / R control shows a similar plating voltage between a and b bridges and between c and d bridges, but there is a large difference in plating voltage between a and d bridges and between b and c bridges.

이러한 현상은, 더 이상 고전류로의 통전이 불가능한 상태이며, 동일 전해조 내에서 애노드 브리지 별로 전류를 제어하는 것이 불가능할 뿐만 아니라, 전류 투입시 전압 증가(저항 증가)에 따라 극박의 Fe-Ni 합금 금속 포일에서 발열이 나타나며 흄이 발생되고 열 주름이 나타나는 문제점이 발견되었다.
This phenomenon is such that it is impossible to conduct current to a high current any longer and it is not possible to control the current for each anode bridge in the same electrolytic cell, And a fume was generated and heat wrinkles were observed.

이에, 도 1에 나타낸 바아 같은 수직형 전해조("V" type Vertical Cell)에서의 Fe-Ni 합금 금속 포일의 통전성에 미치는 전해처리 설비 및 소재의 영향을 분석한 결과, 사용된 소재인 Fe-Ni 합금 금속 포일의 비저항이 타 소재에 비해 매우 높으며, 또한 이러한 저항 값은 소재의 두께가 얇을수록, 통전 패스(pass)가 길수록 전류 통전시 현저하게 증가하는 경향을 나타내었다.
As a result of analyzing the influence of the electrolytic treatment equipment and the material on the conductivity of the Fe-Ni alloy metal foil in the bar vertical type electrolytic cell ("V" type vertical cell) shown in FIG. 1, The resistivity of the alloy metal foil was much higher than that of the other materials. The resistivity of the alloy metal foil showed a tendency to increase significantly when the thickness of the material was thinner, and when the current passing pass was longer.

즉, 일반적인 전기도금 통전 방법에 있어서는 도 1에 나타낸 바와 같이 통전 패스 상의 No.1 통전롤(Conductor Roll, C/R)에 정류기로부터 나온 음극이 연결되어 다운 패스(down pass)의 a 및 b 애노드 브리지(anode bridge, 양극)와 업 패스(up pass)의 c 및 d 애노드 브리지로 통전된다.
That is, in a general electroplating electrification method, as shown in Fig. 1, a negative electrode from a rectifier is connected to a No. 1 energizing roll (C / R) on the energizing path to generate a down- The anode bridge and the up pass c and d anode bridges are energized.

이와 같은 통전 롤 위치에서는 통전 롤로부터 업-패스 상의 c 및 d 브리지까지의 전기 패스(pass) 길이가 길어지기 때문에 그 만큼 임피던스(Impedance)가 높아진다. 따라서, 통전 패스 라인(pass line) 상의 Fe-Ni 합금 금속 포일에 있어서 업 패스(up pass) 방향의 양극인 c 및 d 브리지가 다운 패스(down pass) 방향의 양극인 a 및 b 브리지보다 도금 전압이 높아지게 된다.
In such a position of the energized roll, since the electric path length from the energizing roll to the c and d bridges on the up-path is long, the impedance is increased accordingly. Therefore, in the Fe-Ni alloy metal foil on the energizing pass line, the c and d bridges, which are the anodes in the up pass direction, are higher than the a and b bridges, which are the anodes in the down pass direction, .

따라서 비저항이 낮은 극박의 Cu 포일이나, 두께 약 200㎛ 이상의 두꺼운 탄소강 소재에 비해 비저항이 월등이 높은 100㎛ 이하의 초극박 Fe-Ni 합금 금속 포일 표면에 전기도금하는 경우에는 전류 증가에 다른 저항이 증가되어 도금 전압(plating voltage)이 급격히 상승되게 된다.
Therefore, when electroplating is carried out on the surface of a super-thin Fe-Ni alloy metal foil having a specific resistivity of 100 μm or less as compared with an ultra-thin Cu foil having a low resistivity or a thick carbon steel having a thickness of about 200 μm or more, And the plating voltage is rapidly increased.

이는 도 2로부터 확인할 수 있다. 도 2는 동일한 전류(Lab., 14A/d㎡, 26A)를 인가할 때, 소재 및 극간 거리에 따른 통전 테스트 결과 도금전압의 변화를 나타내는 그래프이다. 즉, 도 2에 따르면, 동일한 극간 거리에 있어서의 도금 전압을 살펴보면, 극박의 Fe-Ni 포일은 75㎛ 두께의 STS 소재의 포일 및 35㎛ 두께의 Cu 포일에 비하여 도금 전압이 상대적으로 높은 결과를 나타내었다.
This can be confirmed from FIG. 2 is a graph showing changes in the plating voltage as a result of the energization test according to the distance between the workpiece and the electrode when the same current (Lab., 14 A / dm 2, 26 A) is applied. In other words, according to FIG. 2, when the plating voltage at the same inter-electrode distance is examined, the ultra-thin Fe-Ni foil has a relatively high plating voltage compared to the foil of the STS material of 75 μm thickness and the Cu foil of 35 μm thickness Respectively.

나아가, 75㎛ 두께의 STS 소재의 포일 및 35㎛ 두께의 Cu 포일은 극간 거리에 따른 도금 전압의 차이가 거의 없음을 알 수 있으나, 두께 13㎛의 초극박의 Fe-Ni 포일은 극간 거리가 증가할수록 도금전압이 증가하는 경향을 나타내었다.
Further, it can be seen that the foil of the STS material having a thickness of 75 탆 and the Cu foil having the thickness of 35 탆 have almost no difference in plating voltage according to the inter-electrode distance, but the Fe-Ni foil having a thickness of 13 탆, The plating voltage was increased.

따라서, 앞서 설명한 바와 같이, Fe-Ni 합금과 같이 비저항이 큰 소재, 특히 극박의 소재 표면에 전기도금함에 있어서 통전롤과 이에 연결된 음극 브리지 간의 거리가 길어질수록 저항이 증대됨으로 인해 전압 차가 커지는 결과를 가져오며, 결국, 전류를 상승시킬 수 없다.
Therefore, as described above, as the distance between the current-carrying roll and the cathode bridge connected to the current-carrying roll is increased, the voltage difference becomes larger due to the increase of resistance as a material having a high resistivity such as Fe-Ni alloy, And eventually can not increase the current.

상기와 같이 비저항이 높은 Fe-Ni 합금 금속 포일의 전기도금시 통전성에 영향을 미치는 요인으로는 통전롤과 포일의 거리에 따른 전압 차이로 인하여 발생되는 것으로서, 결국 (-) 공급원과 (+) 공급원과의 거리가 전압 변화를 좌우하는 것임을 알 수 있다.
The factors affecting the electrical conductivity of the Fe-Ni alloy metal foil having a high resistivity as described above are caused by the voltage difference depending on the distance between the energizing roll and the foil. As a result, the (-) source and the (+ It is understood that the distance between the voltage and the voltage changes the voltage change.

그러므로, 상기와 같은 비저항이 높은 Fe-Ni 합금 금속 포일의 표면을 전기도금하는 경우, 통전롤(C/R)과 애노드 브리지 간의 간격을 최소화하는 것이 바람직하다.
Therefore, when electroplating the surface of the Fe-Ni alloy metal foil having a high specific resistance as described above, it is preferable to minimize the distance between the energizing roll (C / R) and the anode bridge.

이에, Fe-Ni과 같은 비저항이 높은 극박재의 표면을 전기도금함에 있어서 통전롤(C/R)과 애노드 브리지의 간격을 최소화하기 위해서는 도 3에 나타낸 바와 같이, Fe-Ni 합금 금속 포일의 진행 방향을 기준으로, 다운 패스(down pass)의 a 및 b의 애노드 브리지(양극)는 상대전극으로서 No.1 C/R(음극)과 연결되는 전기회로를 구성하여 정류기로 연결 통전되며, 업 패스(up pass)의 c 및 d의 애노드 브리지(양극)는 상대전극으로서 No.2 C/R(음극)과 연결되는 전기회로를 구성하여 정류기와 연결 통전되도록 하는 것이 바람직하다.
In order to minimize the gap between the energizing roll (C / R) and the anode bridge in electroplating the surface of the ultra-thick material having a high resistivity such as Fe-Ni, the Fe-Ni alloy metal foil The anode bridge (anode) of a and b of the down pass constitutes an electric circuit connected to the No. 1 C / R (cathode) as a counter electrode and connected and connected to the rectifier, it is preferable that the anode bridge (anode) of c and d in the up pass constitutes an electric circuit connected to the No. 2 C / R (cathode) as a counter electrode and connected to the rectifier.

이와 같은 각 애노드 브리지와 통전롤 간의 전기회로가 연결되도록 정류기의 전원이 연결되는 통전 구조를 가짐으로써 통전롤과 애노드 브리지의 간격을 최소화할 수 있으며, 또한, 업 및 다운 패스 간의 극간 간격을 균일하게 유지할 수 있어, 각 브리지에 따른 전압차를 최소화할 수 있다.
By providing the energizing structure in which the power source of the rectifier is connected so that the electric circuit between each anode bridge and the energizing roll is connected as described above, the interval between the energizing roll and the anode bridge can be minimized and the gap between the up and down passes can be uniform So that the voltage difference according to each bridge can be minimized.

이와 같은 도금셀은 필요에 따라 2 이상 구비될 수 있다. 이때, 하나의 도금셀과 그에 인접하는 도금셀은 서로 인접하는 위치의 통전롤을 공유할 수 있다. 예를 들어, 제1 도금셀의 제2 통전롤이 제2 도금셀의 제1 통전롤로서의 역할을 수행할 수 있으며, 이에 의해 상기 제1 도금셀의 제2 통전롤은 제1 도금셀의 업 패스를 이루는 애노드 브리지와 연결되고, 나아가 제2 도금셀의 다운패스를 이루는 애노드 브리지와 연결될 수 있다.
Two or more such plating cells may be provided as necessary. At this time, one plating cell and plating cells adjacent thereto can share the conductive rolls adjacent to each other. For example, the second energizing roll of the first plating cell can serve as a first energizing roll of the second plating cell, whereby the second energizing roll of the first plating cell is capable of functioning as the up- And connected to the anode bridge constituting the path and further to the anode bridge constituting the down path of the second plating cell.

한편, 상기와 같은 도금 전압(plating voltage) 상승이 높은 소재를 전기도금하는 경우에는 도금 셀(Plating Cell)의 C/R 직후, 즉, 도 4에 나타낸 바와 같이, 통전롤과 접촉한 후 분리되기 시작하는 지점 부위에 Fe-Ni 합금 금속 포일의 양면에 전기도금 용액을 뿌려주는 샤워 노즐(Shower Nozzle)을 설치하는 것이 바람직하다.
On the other hand, in the case of electroplating a material having a high plating voltage as described above, the material is electrostatically deposited after the C / R of the plating cell, that is, as shown in FIG. 4, It is preferable to provide a shower nozzle for spraying the electroplating solution on both sides of the Fe-Ni alloy metal foil at the starting point.

상기 샤워 노즐을 통해 전기 도금액을 통전롤 직후의 금속 포일에 뿌림으로써 고 도금전압에 의한 열 발산을 흡수할 수 있어 금속 포일에서의 발열로 인한 흄 발생을 방지할 수 있고, 또한 열 주름 생성을 억제할 수 있다.
It is possible to absorb heat dissipation due to the high plating voltage by spraying the electroplating liquid on the metal foil immediately after the energizing roll through the shower nozzle, thereby preventing occurrence of fumes due to heat generation in the metal foil and suppressing the generation of heat wrinkles can do.

나아가, 극박의 Fe-Ni 합금 금속 포일은 통전성이 열악한 소재인바, 상기 극박의 금속 포일과 통전롤과의 접촉성을 높이는 것이 통전성 향상을 통한 쇼트 발생을 방지하는데 바람직하다. 도금 전압이 높아지면 통전롤과 포일의 접촉이 불균일할 경우, 전기적 단락에 의한 쇼트가 발생하는 경향이 심해진다.
Furthermore, it is preferable that the ultra-thin Fe-Ni alloy metal foil is a material having poor electrical conductivity, and that the contact between the metal foil of the ultra-thin foil and the conductive roll is improved, When the plating voltage becomes high, when the contact between the conductive roll and the foil is not uniform, a short circuit due to an electrical short circuit tends to occur.

이에, 도 5에 나타낸 바와 같이 상기 극박의 금속 포일과 통전롤(C/R, Conductor Roll)과의 접촉성을 높이기 위해 상기 금속 포일이 C/R과 접촉하기 시작하는 위치에 스너버 롤(Snubber Roll)을 설치하여 금속 포일이 C/R과 보다 양호하게 밀착될 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 이에 의해 통전롤과 금속 포일의 안정적인 접촉을 유도할 수 있으며, 이로 인해, 접촉 지점에서의 쇼트(아크) 발생을 방지할 수 있음은 물론, 도금 전압(plating voltage)을 저하시킬 수 있다.
As shown in FIG. 5, in order to increase the contact property between the metal foil of the ultra thin foil and the conductive roll (C / R, Conductor Roll), a Snubber Roll is preferably provided so that the metal foil can more closely adhere to the C / R. As a result, it is possible to induce stable contact between the conductive roll and the metal foil, thereby preventing the occurrence of short-circuiting at the contact point and, at the same time, lowering the plating voltage.

Claims (10)

13 내지 100㎛의 두께를 갖는 Fe-Ni 합금 금속 포일의 표면을 전기도금하는 전기도금장치로서,
전해액을 포함하는 전해조;
상기 전해조 외부에 위치하며, 음극으로 제공되는 제1 및 제2 통전롤;
상기 전해조 내부에 위치하여 제1 통전롤을 통해 공급되는 금속 포일을 전해조 내부로 안내하여 전해액에 침지한 후 제2 통전롤을 통해 배출되도록 하는 디핑롤;
상기 제1 통전롤 및 디핑롤 간의 금속 포일 이동 경로 양측에 배치된 한 쌍의 제1 양극; 및
상기 디핑롤과 제2 통전롤 간의 금소 포일 이동경로 양측에 배치된 한 쌍의 제2 양극
을 포함하며, 상기 제1 통전롤과 제1 양극이 통전되고, 제2 통전롤과 제2 양극이 통전되도록 연결된 도금셀을 포함하며,
상기 금속 포일이 상기 제1 통전롤과 접촉한 후 분리되기 시작하는 지점 부위에 상기 금속 포일의 양면에 전기도금 용액을 뿌려주는 샤워 노즐을 구비하는 전기도금장치.
An electroplating apparatus for electroplating a surface of an Fe-Ni alloy metal foil having a thickness of 13 to 100 mu m,
An electrolytic bath containing an electrolytic solution;
First and second energizing rolls located outside the electrolytic cell and provided as cathodes;
A dipping roll which is positioned inside the electrolytic bath and guides the metal foil supplied through the first energizing roll to the inside of the electrolytic bath to be dipped in the electrolytic solution and then discharged through the second energizing roll;
A pair of first anodes disposed on both sides of the metal foil movement path between the first energizing roll and the diphling roll; And
A pair of second anodes disposed on both sides of the nitrogen foil movement path between the diphling roll and the second energizing roll,
And a plating cell connected between the first energizing roll and the first anode and energized by the second energizing roll and the second anode,
And a shower nozzle for spraying an electroplating solution on both sides of the metal foil at a point where the metal foil starts to be separated from the first energizing roll after being contacted.
제1항에 있어서, 상기 제1 통전롤과 제1 음극간의 제1 극간거리와 제2 통전롤과 제2 음극간의 제2 극간거리가 동일한 것인 전기도금장치.
The electroplating apparatus according to claim 1, wherein the first inter-electrode distance between the first energizing roll and the first negative electrode is the same as the second inter-electrode distance between the second energizing roll and the second negative electrode.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 도금셀이 2 이상 구비되며, 하나의 도금셀과 이에 인접하는 도금셀은 하나의 통전롤을 공유하는 것인 전기도금장치.
The electroplating apparatus according to claim 1 or 2, wherein two or more plating cells are provided, and one plating cell and adjacent plating cells share one energizing roll.
제3항에 있어서, 상기 공유하는 통전롤은 하나의 도금셀의 업 패스를 형성하는 애노드 브리지와 인접하는 도금셀의 다운 패스를 형성하는 애노드 브리지와 전기적으로 연결되는 것인 전기도금장치.
4. The electroplating apparatus according to claim 3, wherein the shared energizing roll is electrically connected to the anode bridge forming the down path of the plating cell adjacent to the anode bridge forming the up path of one plating cell.
삭제delete 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2 통전롤 중 적어도 하나의 통전롤은 금속 포일과 접촉하기 시작하는 위치에 스너버 롤을 구비하는 것인 전기도금장치.
3. The electroplating apparatus according to claim 1 or 2, wherein the energizing roll of at least one of the first and second energizing rolls has a snubber roll at a position where it starts to contact the metal foil.
13 내지 100㎛의 두께를 갖는 Fe-Ni 합금 금속 포일의 표면을 전기도금하는 전기도금 방법으로서,
전해액을 포함하는 전해조; 상기 전해조 외부에 위치하며, 음극으로 제공되는 제1 및 제2 통전롤; 상기 전해조 내부에 위치하여 제1 통전롤을 통해 공급되는 금속 포일을 전해조 내부로 안내하여 전해액에 침지한 후 제2 통전롤을 통해 배출되도록 하는 디핑롤; 상기 제1 통전롤 및 디핑롤 간의 금속 포일 이동 경로 양측에 배치된 한 쌍의 제1 양극; 및 상기 디핑롤과 제2 통전롤 간의 금소 포일 이동경로 양측에 배치된 한 쌍의 제2 양극을 포함하는 전기도금장치를 사용하되,
상기 제1 양극과 상기 제1 통전롤을 전기적으로 연결하고, 제2 양극과 제2 통전롤을 전기적으로 연결하여 전류를 인가하며, 상기 금속 포일이 상기 제1 통전롤과 접촉한 후 분리되기 시작하는 지점 부위에서 상기 금속 포일의 양면에 전기도금 용액을 뿌려주는 전기도금방법.
An electroplating method for electroplating a surface of an Fe-Ni alloy metal foil having a thickness of 13 to 100 mu m,
An electrolytic bath containing an electrolytic solution; First and second energizing rolls located outside the electrolytic cell and provided as cathodes; A dipping roll which is positioned inside the electrolytic bath and guides the metal foil supplied through the first energizing roll to the inside of the electrolytic bath to be dipped in the electrolytic solution and then discharged through the second energizing roll; A pair of first anodes disposed on both sides of the metal foil movement path between the first energizing roll and the diphling roll; And a pair of second anodes disposed on both sides of the nitrogen foil movement path between the dippingroll and the second energizing roll,
The first anode and the first energization roll are electrically connected, the second anode and the second energization roll are electrically connected to each other to apply a current, and the metal foil is contacted with the first energization roll, Wherein an electroplating solution is sprayed on both sides of the metal foil at a point where the metal foil is exposed.
삭제delete 삭제delete 제7항에 있어서, 상기 금속 포일이 상기 제1 및 제2 통전롤 중 적어도 하나의 통전롤과 접촉하기 시작하는 위치에 스너버 롤에 의해 상기 금속 포일을 통전롤에 밀착시키는 것을 특징으로 하는 전기도금방법.
8. The electric motor according to claim 7, characterized in that the metal foil is brought into close contact with the energizing roll by a snubber roll at a position where the metal foil starts to contact the energizing roll of at least one of the first and second energizing rolls Plating method.
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