KR101727243B1 - 플라즈마 브러시 - Google Patents

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KR101727243B1
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Abstract

플라즈마 브러시가 제공된다. 이 브러시는 커넥터와, 상기 커넥터에 연결되는 노즐과, 상기 노즐의 일측에 형성된 파워 전극과, 상기 커넥터에 대향되는 상기 노즐의 타측에 형성된 접지 전극을 포함한다.

Description

플라즈마 브러시{plasma brush}
본 발명은 의료기기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 의료 장치의 플라즈마 브러시에 관한 것이다.
저온 대기압 플라즈마의 생물학적 효과가 2000년대 초부터 발표됨으로써 많은 관심이 집중되고 있으며, 미생물 살균 및 소독 특성을 이용한 공기 청정기, 유해가스 필터와 같은 기기에 폭 넓게 응용되고 있다. 최근 보고 되고 있는 플라즈마와 생체세포의 상호작용에 대한 연구 결과들은 새로운 의료 산업의 활성화를 예측케 한다.
이러한 대기압 플라즈마 시스템을 의료기기로 활용하기 위해서는 기본적으로 온도에 대한 안정성과 더불어 치료영역에 따른 다양한 구조가 요구된다. 플라즈마 젯의 경우는 플라즈마 발생장치를 손쉽게 제작할 수 있으나, 인체의 넓은 영역의 치료에는 적합하지 않은 구조를 가지고 있다. 따라서 보다 넓은 영역까지도 활용 가능한 다양한 크기와 형태의 의료용 대기압 플라즈마 시스템에 대한 개발이 요구되고 있다.
본 발명이 이루고자 하는 일 기술적 과제는 대면적의 플라즈마 플륨을 발생시키는 플라즈마 브러시를 제공하는 데 있다.
상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 플라즈마 브러시는, 커넥터; 상기 커넥터에 연결되는 노즐; 상기 노즐의 일측에 형성된 파워 전극; 및 상기 커넥터에 대향되는 상기 노즐의 타측에 형성된 접지 전극을 포함한다.
상기 노즐은 세로길이보다 큰 가로길이의 직사각형 또는 타원형 모양으로 형성된 토출구를 가질 수 있다.
상기 파워 전극 및 상기 접지 전극은 상기 노즐의 외주면을 둘러싸는 제 1 금속 링 및 제 2 금속 링을 포함할 수 있다.
상기 제 1 금속 링은 상기 제 2 금속 링의 세로 길이와 동일한 세로 길이를 가질 수 있다.
상기 제 1 금속 링은 상기 제 2 금속 링의 가로 길이보다 짧은 가로 길이를 가질 수 있다.
상기 노즐은 상기 제 1 금속 링 및 상기 제 2 금속 링을 각각 고정하는 제 1 홈 및 제 2 홈을 가질 수 있다.
상기 제 1 홈과 제 2 홈 사이에서 상기 제 1 금속 링 및 상기 제 2 금속 링을 분리하는 단턱을 포함할 수 있다.
삭제
상기 접지 전극은 상기 다공들 사이의 상기 필러 노즐 내에 형성된 그리드 또는 메시를 포함할 수 있다.
상기 필러 노즐 상의 상기 접지 전극을 덮는 제 1 피복 층을 더 포함할 수 있다.
상기 파워 전극은 상기 토출구 내에 배치된 복수개의 니들들을 포함할 수 있다.
상기 니들들을 연결하는 도전성 접착제를 더 포함할 수 있다.
상기 니들들을 보호하는 제 2 피복 층을 더 포함할 수 있다.
상기 노즐은 유전체를 포함할 수 있다.
상기 유전체는 알루미나 또는 세라믹을 포함할 수 있다.
상기 커넥터는 채널 홀들을 갖는 배관을 포함할 수 있다.
상기 배관은 상기 채널 홀들의 중심에 형성된 절연 봉을 포함할 수 있다.
상기 커넥터는 상기 배관을 보호하는 제 3 피복 층을 더 포함할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 과제의 해결 수단에 따르면, 세로 길이보다 큰 가로 길이를 갖는 직사각형 또는 타원형의 토출구를 갖는 노즐을 포함할 수 있다. 또한, 노즐의 토출구 내에 삽입되고, 상기 토출구와 동일한 직사각형 또는 타원형으로 배열되는 다공들을 갖는 필러 노즐을 더 포함할 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 브러시는 대면적의 플라즈마 가스 또는 플라즈마 플룸을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 브러시를 나타내는 평면도이다.
도 2 및 도 3은 도 1의 측면도 및 정면도이다.
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 다른 플라즈마 브러시를 나타내는 평면도이다.
도 5는 도 4의 필러 노즐과 접지 전극을 확대하여 나타내는 평면도이다.
도 6은 도 4의 측면도이다.
도 7은 도 6의 파워 전극과 필러 노즐을 확대하여 나타내는 측면도이다.
도 8은 도 4의 노즐 및 필러 노즐을 나타내는 정면도이다.
도 9는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 플라즈마 브러시를 나타내는 평면도이다.
도 10은 도 8의 파워 전극과 접지 전극을 확대하여 나타내는 평면도이다.
도 11은 도 8의 측면도이다.
도 12는 도 10의 노즐 및 필러 노즐을 확대하여 나타낸 측면도이다.
도 13은 본 발명의 응용예에 따른 가스 공급 라인 및 노즐 커넥터의 측단면도이다.
도 14 및 도 15는 도 13의 가스 공급 라인 및 노즐 커넥터의 단면도들이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면들과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 또한, 바람직한 실시예에 따른 것이기 때문에, 설명의 순서에 따라 제시되는 참조 부호는 그 순서에 반드시 한정되지는 않는다. 이에 더하여, 본 명세서에서, 어떤 막이 다른 막 또는 기판 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 막 또는 기판 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 막이 개재될 수도 있다는 것을 의미한다.
또한, 본 명세서에서 기술하는 실시예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 예를 들면, 직각으로 도시된 식각 영역은 라운드지거나 소정 곡률을 가지는 형태일 수 있다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 브러시를 나타내는 평면도이다. 도 2 및 도 3은 도 1의 측면도 및 정면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 브러시는 플라즈마 가스를 분사하는 직사각형 또는 타원형의 토출구(23)를 갖는 노즐(20)을 포함할 수 있다. 직사각형 또는 타원형은 세로길이보다 큰 가로길이를 가질 수 있다. 플라즈마 가스는 노즐(20)의 외주면에 형성된 파워 전극(30)과 접지 전극(40) 사이에 유도되는 고주파 파워에 의해 생성될 수 있다.
따라서, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 브러시는 세로길이보다 큰 가로길이를 갖는 직사각형 또는 타원형 모양의 납작한 토출구(23)에 대응되는 대면적의 플라즈마 가스를 제공할 수 있다.
노즐(20)은 알루미나 또는 세라믹과 같은 유전체를 포함할 수 있다. 노즐(20)은 노즐 커넥터(10)에서 연장되는 유입구(21)를 가질 수 있다. 노즐(20)은 가스의 압력 에너지를 속도 에너지로 변환시켜 상기 가스를 고속으로 방출할 수 있다. 노즐(20)은 유입구(21) 보다 작은 단면적의 토출구(23)를 가질 수 있다. 예를 들어, 가스는 헬륨, 아르곤, 질소, 또는 산소를 포함할 수 있다. 상술한 바와 같이, 토출구(23)는 가로 길이가 세로 길이보다 큰 직 사각 홀을 포함할 수 있다.
노즐(20)은 파워 전극(30)과 접지 전극(40) 내에 삽입될 수 있다. 예를 들어, 파워 전극(30)과 접지 전극(40)은 노즐()의 외주면을 둘러싸는 제 1 금속 링과 제 2 금속 링을 포함할 수 있다. 파워 전극(30)에는 전원공급부(미도시)로부터 고주파 파워가 인가될 수 있다. 접지 전극(40)은 접지단(미도시)으로 연결될 수 있다. 따라서, 노즐(20)에 통과되는 가스는 고주파 파워에 의해 플라즈마 상태로 여기될 수 있다. 여기서, 플라즈마 상태의 가스는 플라즈마 가스 또는 플라즈마 플룸(flume)으로 정의될 수 있다. 도시되지 않았지만, 파워 전극(30)에 연결되는 고주파 파워 공급단에는 고주파 파워의 아크방전을 방지하기 위한 전류안정화 저항이 연결될 수 있다.
노즐(20)은 파워 전극(30)과 접지 전극(40)을 고정하는 제 1 홈(22) 및 제 2 홈(24)이 형성될 수 있다. 제 1 홈(22)과 제 2 홈(24) 사이에는 파워 전극(30)과 접지 전극(40)을 절연하는 단턱(25)이 배치될 수 있다. 제 1 홈(22)은 제 2 홈(24)보다 작은 직경을 갖는다.
도 1을 참조하면, 제 1 홈(22)과 제 2 홈(24)은 직사각형 또는 타원형의 가로 축 방향으로의 거리 또는 길이가 서로 다를 수 있다. 제 1 홈(22)은 제 2 홈(24)보다 짧은 가로 축 방향의 길이를 가질 수 있다. 즉, 제 1 금속 링 및 제 2 금속 링의 가로 폭은 서로 다를 수 있다. 제 1 금속 링의 파워 전극(30)은 제 2 금속 링의 접지 전극(40)보다 짧은 가로 폭 또는 가로 길이를 가질 수 있다. 따라서, 노즐(20)은 파워 전극(30)과 접지 전극(40) 사이의 고주파 파워에 의해 생성되는 플라즈마 가스를 분사할 수 있다.
도 2를 참조하면, 제 1 홈(22)과 제 2 홈(24)은 직사각형의 세로 축 방향으로의 거리 또는 길이가 동일 할 수 있다. 파워 전극(30)과 접지 전극(40)의 세로 폭은 서로 동일 할 수 있다. 노즐(20)의 토출구(23)는 가로 방향으로 납작하고, 세로 방향으로 좁은 직사각형 모양을 가질 수 있다. 플라즈마 가스는 직사각형의 토출구(23)를 통해 대면적으로 분사될 수 있다.
따라서, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 브러시는 대면적의 플라즈마 가스를 제공할 수 있다.
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 다른 플라즈마 브러시를 나타내는 평면도이다. 도 5는 도 4의 필러 노즐과 접지 전극을 확대하여 나타내는 평면도이다. 도 6은 도 4의 측면도이다. 도 7은 도 6의 파워 전극과 필러 노즐을 확대하여 나타내는 측면도이다. 도 8은 도 4의 노즐 및 필러 노즐을 나타내는 정면도이다.
도 4 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플라즈마 브러시는 가로 길이 방향으로 확장된 직사각형 또는 타원형으로 배열된 다공들(52)을 갖는 필러 노즐(50)을 포함할 수 있다. 필러 노즐(50)은 노즐(20)의 토출구(23)에 삽입될 수 있다. 접지 전극(40)은 필러 노즐(50)의 다공들(52) 사이에 배치될 수 있다. 필러 노즐(50)은 파워 전극(30) 및 접지 전극(40) 사이에 인가되는 고주파 파워에 의해 생성된 플라즈마 가스를 분사할 수 있다.
따라서, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플라즈마 브러시는 대면적의 플라즈마 가스를 제공할 수 있다.
필러 노즐(50)의 다공들(52)은 노즐(20)의 말단에 형성된 토출구(23)에 대응될 수 있다. 따라서, 다공들(52)은 토출구(23)의 모양에 대응되는 직사각형 또는 타원형으로 배열될 수 있다. 다공들(52)는 직사각형 또는 타원형의 가로 방향, 세로 방향, 또는 대각선 방향에 대해 일정 간격으로 배열될 수 있다.
접지 전극(40)은 필러 노즐(50)의 다공들(52) 사이를 연결하는 그리드 또는 메시 모양을 가질 수 있다. 접지 전극(40)은 직사각형 또는 타원형의 가로 방향으로 파워 전극(30)보다 큰 길이를 가질 수 있다(도 4 및 도 5). 반면, 접지 전극(40)은 직사각형 또는 타원형의 세로 방향으로 파워 전극(30)보다 짧은 길이를 가질 수 있다(도 6 및 도 7).
접지 전극(40)은 제 1 피복 층(54)에 의해 필러 노즐(50) 상에 커버링될 수 있다. 제 1 피복 층(54)은 알루미늄 산화막, 실리콘 산화막 또는 실리콘 질화막과 같은 유전체를 포함할 수 있다. 또한, 제 1 피복 층(54)는 내 절연성 또는 내 화학성이 우수한 플라스틱 또는 고분자를 포함할 수 있다.
파워 전극(30)은 노즐(20)의 제 1 홈(22)을 둘러싸는 직사각형 또는 타원형의 제 1 금속 링을 포함할 수 있다. 노즐(20)을 통과하는 가스는 고주파 파워에 의해 플라즈마 상태로 여기될 수 있다. 필러 노즐(50)의 다공들(52)은 직사각형 또는 타원형의 가로 길이로 넓게 펼쳐진 방향의 플라즈마 가스를 방출시킬 수 있다.
따라서, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플라즈마 브러시는 대면적의 플라즈마 가스를 제공할 수 있다.
도 9는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 플라즈마 브러시를 나타내는 평면도이다. 도 10은 도 8의 파워 전극과 접지 전극을 확대하여 나타내는 평면도이다. 도 11은 도 8의 측면도이다. 도 12는 도 10의 노즐 및 필러 노즐을 확대하여 나타낸 측면도이다.
도 8 내지 도 11을 참조하면, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 플라즈마 브러시는 노즐(20)의 토출구(23) 내에 배치된 파워 니들들(32)을 포함할 수 있다. 노즐(22)는 직사각형 또는 타원형으로 배열된 다공들(52)을 포함할 수 있다. 파워 니들들(32)은 노즐(20)의 토출구(23) 및 필러 노즐(50)의 다공들(52)과 동일한 방향으로 배치될 수 있다.
따라서, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 플라즈마 브러시는 대면적의 플라즈마 가스를 제공할 수 있다. 제 3 실시예에서의 파워 니들들(32)은 제 1 및 제 2 실시예에서의 파워 전극(30)에 대응될 수 있다.
파워 니들들(32)은 노즐(22) 내에 삽입될 수 있다. 파워 니들들(32)은 노즐(22) 내부에 유동되는 플라즈마 가스에 근접될 수 있다. 파워 니들들(32)은 도전성 접착제에 의해 연결될 수 있다. 파워 니들들(32)은 제 2 피복 층()에 의해 플라즈마 가스로부터 보호될 수 있다. 파워 니들들(32)은 제 1 및 제 2 실시예에서의 파워 전극(30)보다 낮은 고주파 파워로부터 플라즈마 가스를 생성할 수 있다.
도 10 내지 도 12를 참조하면, 접지 전극(40)은 필러 노즐(50)의 다공들(52) 사이에 연결되는 그리드 또는 메시 모양을 가질 수 있다. 접지 전극(40)은 제 1 피복 층(54)에 의해 필러 노즐(50) 상에 커버링될 수 있다. 제 1 피복 층(54)은 알루미늄 산화막, 실리콘 산화막 또는 실리콘 질화막과 같은 유전체를 포함할 수 있다. 또한, 제 1 피복 층(54)는 내 절연성 또는 내 화학성이 우수한 플라스틱 또는 고분자를 포함할 수 있다. 노즐(20)의 토출구(23)을 통과하는 가스는 파워 니들들(32)에 인가되는 고주파 파워에 의해 플라즈마 상태로 여기될 수 있다. 필러 노즐(50)의 다공들(52)은 직사각형 또는 타원형의 세로 길이보다 큰 가로 길이로 넓게 펼쳐진 방향으로 플라즈마 가스를 방출시킬 수 있다.
따라서, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 플라즈마 브러시는 대면적의 플라즈마 가스를 제공할 수 있다.
결국, 본 발명의 실시예들에 따른 플라즈마 브러시는 직사각형 또는 타원형의 가로 방향으로 넓게 펼쳐지는 대면적의 플라즈마 가스를 제공할 수 있다.
도 13은 본 발명의 응용예에 따른 가스 공급 라인 및 노즐 커넥터의 측단면도이다. 도 14 및 도 15는 도 13의 가스 공급 라인 및 노즐 커넥터의 단면도들이다.
도 1과, 도 13 내지 도 15를 참조하면, 가스 공급 라인(60)은 가스를 유동시키는 공동 홀(62)을 갖는 제 1 배관(tube, 64)과, 상기 제 1 배관(64)을 둘러싸는 제 4 피복 층(66)을 포함할 수 있다. 제 1 배관(64) 말단의 공동 홀(62)은 나팔 모양으로 확장될 수 있다. 가스 공급 라인(60)은 노즐 커넥터(10)에 연결될 수 있다.
노즐 커넥터(10)는 노즐(20)의 유입구(21) 내에 삽입될 수 있다. 노즐 커넥터(10)는 절연 봉(17)의 둘레에 형성된 채널 홀들(15)을 갖는 제 2 배관(18)을 포함할 수 있다. 채널 홀들(15)은 제 2 배관(18) 내에서 절연 봉(17)에 대하여 대칭적으로 배치될 수 있다. 예를 들어, 채널 홀들(15)은 절연 봉(17)의 둘레에 약 10개 정도로 형성될 수 있다. 제 1 배관(64)은 제 2 배관(18) 내에 삽입될 수 있다. 제 2 배관(18)의 절연 봉(17)은 공동 홀(62) 내에 삽입될 수 있다. 제 2 배관(18)의 외주면에는 제 3 피복 층(16)이 배치될 수 있다.
제 1 배관(64) 및 제 2 배관(18)은 유전체, 플라스틱, 고무 또는 고분자를 포함할 수 있다. 따라서, 본 발명의 응용예에 따른 가스 공급 라인(10) 및 노즐 커넥터(10)는 균일한 압력의 가스를 노즐(20)의 유입구(21)까지 공급할 수 있다. 도시되지는 않았지만, 각각의 채널 홀들(15)에는 가스의 공급을 개별적으로 단속하는 복수개의 밸브들이 설치될 수도 있다.
따라서, 본 발명의 응용예에 따른 가스 공급 라인(60) 및 커넥터(10)는 균일한 압력의 가스를 노즐(20)에 제공할 수 있다.
이상, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
10: 가스 공급 라인
20: 노즐
30: 파워 전극
40: 접지 전극
50: 필러 노즐

Claims (18)

  1. 커넥터;
    상기 커넥터에 연결되는 노즐;
    상기 노즐의 일측 상에 형성된 파워 전극;
    상기 커넥터에 대향되는 상기 노즐의 타측 상에 형성된 접지 전극; 및
    상기 노즐의 토출구 내에 삽입되고, 상기 노즐 내의 가스를 방출하는 다공들을 갖는 필러 노즐을 포함하는 플라즈마 브러시.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 노즐은 세로길이보다 큰 가로길이의 직사각형 또는 타원형 모양으로 형성된 토출구를 갖는 플라즈마 브러시.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 파워 전극 및 상기 접지 전극은 각각 상기 노즐의 외주면을 둘러싸는 제 1 금속 링 및 제 2 금속 링을 포함하는 플라즈마 브러시.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 금속 링은 상기 제 2 금속 링의 세로 길이와 동일한 세로 길이를 갖는 플라즈마 브러시.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 금속 링은 상기 제 2 금속 링의 가로 길이보다 짧은 가로 길이를 갖는 플라즈마 브러시.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 노즐은 상기 제 1 금속 링 및 상기 제 2 금속 링을 각각 고정하는 제 1 홈 및 제 2 홈을 갖는 플라즈마 브러시.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 홈과 제 2 홈 사이에서 상기 제 1 금속 링 및 상기 제 2 금속 링을 분리하는 단턱을 포함하는 플라즈마 브러시.
  8. 삭제
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 접지 전극은 상기 다공들 사이의 상기 필러 노즐 내에 형성된 그리드 또는 메시를 포함하는 플라즈마 브러시.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 필러 노즐 상의 상기 접지 전극을 덮는 제 1 피복 층을 더 포함하는 플라즈마 브러시.
  11. 제 2 항에 있어서,
    상기 파워 전극은 상기 토출구 내에 배치된 복수개의 니들들을 포함하는 플라즈마 브러시.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 니들들을 연결하는 도전성 접착제를 더 포함하는 플라즈마 브러시.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 니들들을 보호하는 제 2 피복 층을 더 포함하는 플라즈마 브러시.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 노즐은 유전체를 포함하는 플라즈마 브러시.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 유전체는 알루미나 또는 세라믹을 포함하는 플라즈마 브러시.
  16. 제 1 항에 있어서,
    상기 커넥터는 채널 홀들을 갖는 배관을 포함하는 플라즈마 브러시.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 배관은 상기 채널 홀들의 중심에 형성된 절연 봉을 포함하는 플라즈마 브러시.
  18. 제 16 항에 있어서,
    상기 커넥터는 상기 배관을 보호하는 제 3 피복 층을 더 포함하는 플라즈마 브러시.
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