KR101726834B1 - 거치대, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 리저버 탈부착 방법 - Google Patents

거치대, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 리저버 탈부착 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 액을 토출하는 헤드 어셈블리를 거치시킬 수 있는 거치대를 제공한다. 헤드 어셈블리는 액이 토출되는 헤드 유닛 및 헤드 유닛에 공급되는 액이 머무는 리저버를 포함한다. 헤드 어셈블리에 리저버를 탈부착시 헤드 어셈블리를 거치대에 거치하여 고정시킨 후 리저버를 탈부착함으로써, 리저버 탈부착시의 안전 사고를 방지할 수 있고, 리저버와 헤드 어셈블리 간에 조립을 정밀하게 수행할 수 있다.

Description

거치대, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 리저버 탈부착 방법{SUPPORTER, SUBSTRATE TREATING APPARATUS INCLUDING THE SAME AND RESERVOIR DETACHING AND ATTACHING METHOD}
본 발명은 기판을 처리하는 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판에 액을 토출하는 헤드 어셈블리가 거치되는 거치대 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
일반적으로 잉크젯 프린트 장치는 기판 상에 액을 토출하는 헤드 유닛을 포함하는 헤드 어셈블리와 헤드 유닛에 공급되는 액이 머무는 리저버(Reservoir)를 포함한다. 리저버는 액의 종류 변경 시 교체 및 액 토출 공정 수행 전 후 세정이 요구된다. 리저버의 교체 또는 세정을 위해 리저버는 헤드 어셈블리에 탈부착이 가능하도록 제공된다.
리저버의 탈부착시 헤드 어셈블리를 잉크젯 프린트 장치로부터 분리하여 헤드 어셈블리로부터 리저버를 탈부착한다. 이 경우, 리저버의 탈부착 시, 헤드 어셈블리를 거치할 수 있는 별도의 거치대가 존재하지 않았으므로 리저버의 탈부착시 헤드 어셈블리의 거치 및 고정이 용이하지 않다. 따라서 안전 사고의 위험 및 정밀한 조립이 용이하지 않아 조립시 리저버 또는 헤드 어셈블리의 불량을 야기할 수 있다.
본 발명은 헤드 어셈블리를 거치하여 고정시킬 수 있는 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 안전 사고를 방지할 수 있는 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 리저버와 헤드 어셈블리 간의 조립을 정밀하게 할 수 있는 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시 예는 액을 토출하는 헤드 어셈블리가 거치되는 거치대를 제공한다. 거치대는 길이 방향이 상하 방향으로 제공되는 제 1 프레임; 길이 방향이 상하 방향으로 제공되고, 상기 제 1 프레임과 서로 이격되며, 서로 마주보도록 제공된 제 2 프레임; 상기 제 1 프레임 및 상기 제 2 프레임에 지지되고, 상기 헤드 어셈블리가 놓이는 지지 패널; 및 상기 제 1 프레임 또는 상기 제 2 프레임 중 어느 하나 또는 상기 지지 패널에 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 고정 부재;를 포함한다.
상기 고정부재는, 상기 지지 패널 상에 설치되어 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 제 1 고정부재;를 포함한다.
상기 고정 부재는, 상기 제 1 프레임 또는 상기 제 2 프레임의 일측면에 설치되어 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 제 2 고정부재;를 포함한다.
상기 지지 패널에는, 상기 헤드 어셈블리의 삽입 돌기가 삽입되는 제 1 삽입 홈이 형성된다.
상기 지지 패널에는, 상기 헤드 어셈블리의 갠트리 결합부재가 삽입되는 제 2 삽입 홈이 형성된다.
또한, 본 발명의 일 실시 예는 기판 처리 장치를 제공한다. 기판 처리 장치는 베이스; 상기 베이스에 설치되고, 기판이 놓여지는 기판 지지 유닛; 상기 기판 지지 유닛에 놓인 기판 상에 액을 토출하는 헤드 어셈블리; 상기 헤드 어셈블리가 결합된 갠트리; 및 상기 베이스의 외부에서 헤드 어셈블리가 거치되는 거치대를 포함하되, 상기 헤드 어셈블리는, 상기 갠트리에 탈부착 가능하게 제공되고, 상기 거치대는, 길이 방향이 상하 방향으로 제공되는 제 1 프레임; 길이 방향이 상하 방향으로 제공되고, 상기 제 1 프레임과 서로 이격되며, 서로 마주보도록 제공된 제 2 프레임;상기 제 1 프레임 및 상기 제 2 프레임에 지지되고, 상기 헤드 어셈블리가 놓이는 지지 패널; 및 상기 제 1 프레임 또는 상기 제 2 프레임 중 어느 하나 또는 상기 지지 패널에 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 고정 부재;를 포함한다.
상기 액 공급 유닛으로부터 상기 헤드 유닛으로 공급되는 액이 머물고, 상기 헤드 어셈블리에 탈부착 가능하게 제공되는 리저버;를 더 포함하되, 상기 헤드 어셈블리는, 액을 토출하는 헤드 유닛; 및 상기 헤드 유닛으로 액을 공급하는 액 공급 유닛;을 포함하고, 상기 리저버의 내부에는, 상기 액 공급 유닛으로부터 상기 헤드 유닛;으로 공급되는 액이 머문다.
상기 리저버는, 상기 헤드 어셈블리가 상기 거치대에 거치된 상태에서 상기 헤드 어셈블리에 탈부착 가능하게 제공된다.
상기 고정부재는, 상기 지지 패널 상에 설치되어 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 제 1 고정부재;를 포함한다.
상기 고정 부재는, 상기 제 1 프레임 또는 상기 제 2 프레임의 일측면에 설치되어 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 제 2 고정부재;를 포함한다.
상기 액 공급 유닛, 및 상기 헤드 유닛은, 상하 방향으로 순차적으로 배열되고, 상기 리저버는 상기 액 공급 유닛 및 상기 헤드 유닛의 사이에 상기 액 공급 유닛과 이격되게 제공되며, 상기 액 공급 유닛의 하부에는 아래 방향으로 돌출된 삽입 돌기가 제공되고, 상기 지지 패널에는, 상기 헤드 유닛의 삽입 돌기가 삽입되는 제 1 삽입 홈이 형성된다.
또한, 본 발명의 일 실시예는, 상기 거치대를 이용해 상기 헤드 어셈블리에 상기 리저버를 탈부착 시키는 방법을 제공한다. 리저버 탈부착 방법은 상기 헤드 어셈블리가 상기 지지 패널 상에 놓이는 단계; 상기 헤드 어셈블리가 상기 고정 부재에 의해 고정되는 단계; 및 상기 리저버를 상기 헤드 어셈블리에 탈부착 시키는 단계;를 포함한다.
상기 헤드 어셈블리는, 액을 토출하는 헤드 유닛; 및 상기 헤드 유닛으로 액을 공급하는 액 공급 유닛;을 포함하고, 상기 액 공급 유닛, 및 상기 헤드 유닛은, 상하 방향으로 순차적으로 배열되며, 상기 리저버는 상기 액 공급 유닛 및 상기 헤드 유닛의 사이에 상기 액 공급 유닛과 이격되게 제공되고, 상기 액 공급 유닛의 하부에는 아래 방향으로 돌출된 삽입 돌기가 제공되며, 상기 지지 패널에는, 상기 헤드 유닛의 삽입 돌기가 삽입되는 제 1 삽입 홈이 형성되고, 상기 헤드 어셈블리가 상기 지지 패널 상에 놓이는 단계에서는 상기 삽입 돌기가 상기 제 1 삽입 홈에 삽입된다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 본 발명의 장치 및 방법은 헤드 어셈블리를 거치하여 고정시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 본 발명의 장치 및 방법은 안전 사고를 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 본 발명의 장치 및 방법은 리저버와 헤드 어셈블리 간에 조립을 정밀하게 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1의 헤드 어셈블리 및 리저버를 나타낸 사시도이다.
도 3은 도 1의 헤드 어셈블리 및 리저버를 나타낸 정면도이다.
도 4는 도 1의 헤드 어셈블리 및 리저버를 나타낸 측면도이다.
도 5는 도 1의 헤드 어셈블리 및 리저버를 나타낸 배면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 거치대를 나타낸 사시도이다.
도 7은 도 6의 지지 패널을 나타낸 평면도이다.
도 8은 헤드 어셈블리가 거치대에 거치된 모습을 나타낸 사시도이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치의 사시도이다.
도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 베이스(B), 기판 지지 유닛(100), 갠트리(200), 헤드 어셈블리(300), 리저버(Reservoir, 400) 및 거치대(600)를 포함한다.
베이스(B)는 일정한 두께를 가지는 직육면체 형상으로 제공될 수 있다. 베이스(B)의 상면에는 기판 지지 유닛(100)이 설치된다.
기판 지지 유닛(100)에는 기판(S)이 놓인다. 예를 들면, 기판 지지 유닛(100)은 기판(S)이 놓이는 지지판(110)을 가진다. 지지판(110)은 사각형 형상의 판일 수 있다. 지지판(110)의 하면에는 회전 구동 부재(120)가 연결된다. 회전 구동 부재(120)는 회전 모터일 수 있다. 회전 구동 부재(120)는 지지판(110)에 수직한 회전 중심축을 중심으로 지지판(110)을 회전시킨다. 지지판(110)이 회전 구동 부재(120)에 의해 회전되면, 기판(S)은 지지판(110)의 회전에 의해 회전될 수 있다.
제 1 방향(Ⅰ)은 갠트리(210)의 길이 방향이다. 제 2 방향(Ⅱ)은 상부에서 바라볼 때, 제 1 방향(Ⅰ)에 수직한 방향이다. 제 3 방향(Ⅲ)은 제 1 방향(Ⅰ) 및 제 2 방향(Ⅱ)에 수직한 방향이다.
지지판(110)과 회전 구동 부재(120)는 직선 구동 부재(130)에 의해 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동될 수 있다. 직선 구동 부재(130)는 슬라이더(132)와 가이드 부재(134)를 포함한다. 회전 구동 부재(120)는 슬라이더(132)의 상면에 설치된다. 가이드 부재(134)는 베이스(B)의 상면 중심부에 제 2 방향(Ⅱ)으로 길게 연장된다. 슬라이더(132)에는 리니어 모터가 내장될 수 있으며, 슬라이더(132)는 리니어 모터에 의해 가이드 부재(134)를 따라 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동된다.
갠트리(200)는 지지판(110)이 이동되는 경로의 상부에 제공된다. 갠트리(200)는 베이스(B)의 상면으로부터 위방향으로 이격 배치되며, 갠트리(200)는 길이 방향이 제 1 방향(Ⅰ)을 향하도록 배치된다.
헤드 어셈블리(300)는 헤드 이동 유닛(500)에 의해 갠트리(200)에 결합된다. 헤드 어셈블리(300)는 갠트리(200)에 탈부착 가능하게 제공된다. 헤드 어셈블리(300)는 헤드 이동 유닛(500)에 의해 갠트리(200)의 길이 방향, 즉 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동하고, 또한 제3 방향(Ⅲ)으로 직선 이동될 수 있다. 헤드 어셈블리(300)는 기판 지지 유닛(100)에 놓인 기판(S)에 액을 토출한다. 예를 들면, 액은 액정의 액적일 수 있다. 헤드 어셈블리(300)는 복수 개가 제공될 수 있다. 본 실시예에서는 3개의 헤드 어셈블리(300a, 300b, 300c)가 제공된 예를 도시하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 헤드 어셈블리(300)는 제 1 방향(Ⅰ)으로 일렬로 나란하게 배열될 수 있다.
도 2는 도 1의 헤드 어셈블리(300) 및 리저버(400)를 나타낸 사시도이다. 도 3은 도 1의 헤드 어셈블리(300) 및 리저버(400)를 나타낸 정면도이다. 도 4는 도 1의 헤드 어셈블리(300) 및 리저버(400)를 나타낸 측면도이다. 도 5는 도 1의 헤드 어셈블리(300) 및 리저버(400)를 나타낸 배면도이다. 도 2 내지 도 5를 참고하면, 헤드 어셈블리(300)는 헤드 유닛(310) 및 액 공급 유닛(320)을 포함한다. 액 공급 유닛(320) 및 헤드 유닛(310)은 상하 방향으로 순차적으로 배열된다. 일 실시 예에 의하면, 헤드 어셈블리(300)는 프레임(330)을 더 포함할 수 있다. 프레임(330)은 그 길이 방향이 상하 방향으로 제공된다. 액 공급 유닛(320) 및 헤드 유닛(310)은 프레임(330)의 일면에 서로 이격되게 설치된다. 프레임(330)의 액 공급 유닛(320) 및 헤드 유닛(310)의 사이에는 리저버(400)가 탈부착 가능하게 설치된다.
프레임(330)의 액 공급 유닛(320) 및 헤드 유닛(310)이 설치된 면의 반대 면에는 손잡이(331)가 제공될 수 있다. 손잡이(331)는 헤드 어셈블리(300)를 갠트리(200)에 탈부착 시, 헤드 어셈블리(300)의 이동 시 및 헤드 어셈블리(300)를 거치대(600)에 거치 시, 작업자가 헤드 어셈블리(300)를 파지하는 것을 용이하게 한다. 손잡이(331)는 복수개가 제공될 수 있다.
헤드 유닛(310)에는 액이 토출되는 홀들이 형성된다. 리저버(400)에 머무는 액은 헤드 유닛(310)으로 공급 되고, 헤드 유닛(310)에 형성된 홀들을 통해 토출된다.
액 공급 유닛(320)은 헤드 유닛(310)으로 액을 공급한다. 액 공급 유닛(320)은 내부에 액이 저장된 공간을 가진다. 액 공급 유닛(320)은 그 상부에 공급관(321)이 제공될 수 있다. 액 공급 유닛(320)의 내부에 저장된 액은 공급관(321)을 통해 리저버(400)로 공급된다. 일 예에 의하면, 액 공급 유닛(320)의 내부로 가압 가스가 공급되고, 액은 가압 가스의 압력에 의해 공급관(321)을 통해 이송된다. 가압 가스는 질소(N2) 가스와 같은 비활성 가스로 제공될 수 있다.
액 공급 유닛(320)으로부터 공급되는 액은 리저버(400)에 머문다. 액은 리저버(400)의 상부에 제공된 유입관(410)을 통해 리저버(400)의 내부로 공급될 수 있다. 액은 리저버(400)로부터 헤드 유닛(310)으로 공급된다. 리저버(400)는 액 공급 유닛(320) 및 헤드 유닛(310)의 사이에 액 공급 유닛(320)과 이격되게 제공된다.
리저버(400)는 헤드 어셈블리(300)에 탈부착 가능하게 제공된다. 예를 들면, 리저버(400) 세척 시 리저버(400)는 헤드 어셈블리(300)로부터 분리되어 세척이 수행되고, 상이한 액으로의 액 교환 시 리저버(400) 내부에 잔류하는 기존 액과의 혼합을 방지하기 위해 기존 설치된 리저버(400)는 헤드 어셈블리(300)로부터 분리되고, 교환된 액이 사용되는 리저버(400)가 헤드 어셈블리(300)에 설치 된다. 일 실시예에 의하면, 리저버(400)는 헤드 어셈블리(300)가 거치대(600)에 거치된 상태에서 탈부착 될 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 거치대(600)를 나타낸 사시도이다. 도 7은 도 6의 지지 패널(630)을 나타낸 평면도이다. 도 8은 헤드 어셈블리(300)가 거치대(600)에 거치된 모습을 나타낸 사시도이다. 도 6 내지 도 8을 참고하면, 거치대(600)는 베이스(B)의 외부에 제공된다. 거치대(600)에는 헤드 어셈블리(300)가 거치된다. 예를 들면, 리저버(400)를 헤드 어셈블리(300)에 탈부착시키기 위해 헤드 어셈블리(300)는 갠트리(200)로부터 분리되어 거치대(600)에 거치된다. 거치대(600)는 제 1 프레임(610), 제 2 프레임(620), 지지 패널(630) 및 고정 부재(640)를 포함한다.
제 1 프레임(610) 및 제 2 프레임(620)은 길이 방향이 상하 방향으로 제공된다. 제 1 프레임(610) 및 제 2 프레임(620)은 서로 마주보며 이격되게 제공된다. 지지 패널(630)은 제 1 프레임(610) 및 제 2 프레임(620)에 지지된다. 예를 들면, 지지 패널(630)은 직사각형의 판 형상으로 제공될 수 있다. 지지 패널(630)은 그 길이 방향이 제 1 프레임(610) 및 제 2 프레임(620)이 배열된 방향으로 제공될 수 있다. 지지 패널(630)의 일단은 제 1 프레임(610)의 상단에 연결되고, 타단은 제 2 프레임(620)의 상단에 연결될 수 있다.
지지 패널(630)에는 헤드 어셈블리(300)가 놓인다. 일 실시 예에 의하면, 헤드 어셈블리(300)가 거치대(600)에 거치되는 경우, 헤드 어셈블리(300)는 액 공급 유닛(320)의 하면이 지지 패널(630)의 상면과 대향되게 접촉되도록 놓인다.
지지 패널(630)에는 제 1 삽입홈(631) 및 제 2 삽입홈(632)이 형성될 수 있다.
액 공급 유닛(320)의 하부에는 아래 방향으로 돌출된 삽입 돌기(340)가 제공될 수 있다. 삽입 돌기(340)는 헤드 어셈블리(300)가 지지 패널(630)에 놓이는 경우, 제 1 삽입홈(631)에 삽입된다. 삽입 돌기(340)가 제 1 삽입홈(631)에 삽입됨으로써, 헤드 어셈블리(300)는 지지 패널(630) 상의 정위치에 위치될 수 있다.
액 공급 유닛(320)의 하부에는 갠트리 결합 부재(350)가 제공될 수 있다. 갠트리 결합 부재(350)는 헤드 어셈블리(300)를 헤드 이동 유닛(500)에 결합시킨다. 일 실시 예에 의하면, 갠트리 결합 부재(350)는 액 공급 유닛(320)의 하단으로부터 아래 방향으로 돌출되게 제공된다. 갠트리 결합 부재(350)는 그 하단이 삽입 돌기(340)의 하단보다 낮은 높이에 위치되도록 제공된다. 따라서, 헤드 어셈블리(300)가 헤드 이동 유닛(500)에 결합 시, 갠트리 결합 부재(350)는 헤드 이동 유닛(500)에 형성된 홈에 삽입되어 고정될 수 있다. 갠트리 결합 부재(350)는 복수개가 제공될 수 있다. 갠트리 결합 부재(350)는 헤드 어셈블리(300)가 지지 패널(630)에 놓이는 경우, 제 2 삽입홈(632)에 삽입된다. 따라서, 갠트리 결합 부재(350)와 지지 패널(630) 간의 간섭을 방지한다.
고정 부재(640)는 제 1 프레임(610) 또는 제 2 프레임(620) 중 어느 하나 또는 지지 패널(630)에 헤드 어셈블리(300)를 고정시킨다. 일 실시 예에 의하면, 고정 부재(640)는 제 1 고정 부재(641) 및 제 2 고정 부재(642)를 포함한다.
제 1 고정 부재(641)는 지지 패널(630) 상에 설치된다. 제 1 고정 부재(640)는 헤드 어셈블리(300)를 지지 패널(630)에 고정시킨다. 예를 들면, 액 공급 유닛(320)의 하단에는 그 둘레를 따라 외측 방향으로 돌출된 돌출부가 제공된다. 제 1 고정 부재(640)는 그 일단이 지지 패널(630)의 가장자리 영역에 위치된 바(Bar) 형상으로 제공되고, 그 일단을 축으로 수평 방향으로 회전 가능하게 제공된다. 제 1 고정 부재(640)는 지지 패널(630) 상의 헤드 어셈블리(300)가 놓이는 영역을 둘러싸도록 복수개가 제공될 수 있다. 헤드 어셈블리(300)가 지지 패널(630)에 놓인 후 제 1 고정 부재(641)가 그 일단을 축으로 그 타단이 돌출부의 상면에 접촉되도록 회전함으로써, 제 1 고정 부재(641)는 헤드 어셈블리(300)를 지지 패널(630)에 고정시킨다.
제 2 고정 부재(642)는 제 1 프레임(610) 또는 제 2 프레임(620) 중 어느 하나 또는 제 1 프레임(610) 및 제 2 프레임(620)의 일 측면에 설치될 수 있다. 제 2 고정 부재(642)는 제 1 프레임(610) 또는 제 2 프레임(620) 중 어느 하나 또는 제 1 프레임(610) 및 제 2 프레임(620)에 헤드 어셈블리(300)를 고정시킨다. 예를 들면, 제 2 고정 부재(640)는 그 일단이 제 1 프레임(610) 또는 제 2 프레임(620)의 일 측면에 위치된다. 제 2 고정 부재(642)는 그 구성 및 구조가 제 1 고정 부재(641)과 유사하게 제공된다. 따라서, 헤드 어셈블리(300)가 지지 패널(630)에 놓인 후 제 1 고정 부재(641)가 그 일단을 축으로 그 타단이 돌출부의 상면에 접촉되도록 회전함으로써, 제 1 고정 부재(641)는 헤드 어셈블리(300)를 지지 패널(630)에 고정시킨다.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 리저버 탈부착 방법에 대해 설명한다. 본 발명의 리저버 탈부착 방법은 도 6의 거치대(600)를 이용해 도 2의 헤드 어셈블리(300)에 리저버(400)를 탈부착 시키는 방법이다. 리저버 탈부착 방법은 헤드 어셈블리(300)가 지지 패널(630) 상에 놓이는 단계, 헤드 어셈블리(300)가 고정 부재(640)에 의해 고정되는 단계 및 리저버(400)를 헤드 어셈블리(300)에 탈부착 시키는 단계;를 포함한다.
헤드 어셈블리(300)가 지지 패널(630) 상에 놓이는 단계에서는, 갠트리(200)에서 분리된 헤드 어셈블리(300)는 액 공급 유닛(320)의 하면이 지지 패널(630)의 상면에 대향되어 접촉되도록 지지 패널(630) 상에 놓인다. 이 때, 삽입 돌기(340)가 상기 제 1 삽입 홈(631)에 삽입된다. 따라서, 헤드 어셈블리(300)가 지지 패널(630) 상에 정위치 되도록 가이드 될 수 있다.
헤드 어셈블리(300)가 고정 부재(640)에 의해 고정되는 단계에서는, 제 1 고정 부재(641)는 회전하여 그 타단이 돌출부의 상면에 접촉하여 힘을 가함으로써, 헤드 어셈블리(300)를 지지 패널(630)에 고정시키고, 제 2 고정 부재(642)는 회전하여 그 타단이 프레임(330)의 손잡이(331)가 제공된 면에 접촉하여 힘을 가함으로써 헤드 어셈블리(300)를 제 1 프레임(610) 또는 제 2 프레임(620)에 고정시킨다.
리저버(400)를 헤드 어셈블리(300)에서 탈부착 시키는 단계에서는, 리저버(400)를 헤드 어셈블리(300)에 탈부착 시킨다.
상술한 바와 같이, 리저버(400)의 세척 시 또는 액 교환 시 리저버(400)를 헤드 어셈블리(300)에서 탈부착 시키는 것이 요구되는 경우, 갠트리(200)로부터 분리된 헤드 어셈블리(300)를 거치대(600)에 고정하여 거치시킨 후 리저버(400)를 탈부착 시킴으로써, 안전 사고를 방지할 수 있고, 리저버(400)와 헤드 어셈블리(300) 간에 조립을 정밀하게 수행할 수 있다.
10: 기판 처리 장치 S: 기판
100: 기판 지지 유닛 200: 갠트리
300: 헤드 어셈블리 310: 헤드 유닛
320: 액 공급 유닛 330: 프레임
340: 삽입 돌기 350: 갠트리 결합 부재
400: 리저버 500: 헤드 이동 유닛
600: 거치대 610: 제 1 프레임
620: 제 2 프레임 630: 지지 패널
640: 고정 부재

Claims (13)

  1. 액을 토출하고, 상기 액이 머무는 리저버가 탈부착되는 헤드 어셈블리가 거치되는 거치대에 있어서,
    길이 방향이 상하 방향으로 제공되는 제 1 프레임;
    길이 방향이 상하 방향으로 제공되고, 상기 제 1 프레임과 서로 이격되며, 서로 마주보도록 제공된 제 2 프레임;
    상기 제 1 프레임 및 상기 제 2 프레임에 지지되고, 상기 헤드 어셈블리가 놓이는 지지 패널; 및
    상기 제 1 프레임 및 상기 지지 패널에 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 고정 부재;를 포함하되,
    상기 리저버는 상기 헤드 어셈블리가 상기 거치대에 거치된 상태에서 상기 헤드 어셈블리에 탈부착 가능하게 제공되는 거치대.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정부재는,
    상기 지지 패널 상에 설치되어 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 제 1 고정부재;를 포함하는 거치대.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정 부재는,
    상기 제 1 프레임의 일측면에 설치되어 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 제 2 고정부재;를 포함하는 거치대.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지 패널에는, 상기 헤드 어셈블리의 삽입 돌기가 삽입되는 제 1 삽입 홈이 형성되는 거치대.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지 패널에는, 상기 헤드 어셈블리의 갠트리 결합부재가 삽입되는 제 2 삽입 홈이 형성되는 거치대.
  6. 베이스;
    상기 베이스에 설치되고, 기판이 놓여지는 기판 지지 유닛;
    상기 기판 지지 유닛에 놓인 기판 상에 액을 토출하는 헤드 어셈블리;
    상기 헤드 어셈블리가 결합된 갠트리;
    상기 헤드 어셈블리에 탈부착 가능하게 제공되는 리저버; 및
    상기 베이스의 외부에서 헤드 어셈블리가 거치되는 거치대를 포함하되,
    상기 헤드 어셈블리는, 상기 갠트리에 탈부착 가능하게 제공되고,
    상기 거치대는,
    길이 방향이 상하 방향으로 제공되는 제 1 프레임;
    길이 방향이 상하 방향으로 제공되고, 상기 제 1 프레임과 서로 이격되며, 서로 마주보도록 제공된 제 2 프레임;
    상기 제 1 프레임 및 상기 제 2 프레임에 지지되고, 상기 헤드 어셈블리가 놓이는 지지 패널; 및
    상기 제 1 프레임 및 상기 지지 패널에 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 고정 부재;를 포함하고,
    상기 헤드 어셈블리는,
    액을 토출하는 헤드 유닛; 및
    상기 헤드 유닛으로 액을 공급하는 액 공급 유닛;을 포함하고,
    상기 리저버의 내부에는, 상기 액 공급 유닛으로부터 상기 헤드 유닛으로 공급되는 액이 머무르고,
    상기 리저버는, 상기 헤드 어셈블리가 상기 거치대에 거치된 상태에서 상기 헤드 어셈블리에 탈부착 가능하게 제공되는 기판 처리 장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 고정부재는,
    상기 지지 패널 상에 설치되어 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 제 1 고정부재;를 포함하는 기판 처리 장치.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 고정 부재는,
    상기 제 1 프레임의 일측면에 설치되어 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 제 2 고정부재;를 포함하는 기판 처리 장치.
  11. 제 6 항에 있어서,
    상기 액 공급 유닛, 및 상기 헤드 유닛은, 상하 방향으로 순차적으로 배열되고,
    상기 리저버는 상기 액 공급 유닛 및 상기 헤드 유닛의 사이에 상기 액 공급 유닛과 이격되게 제공되며,
    상기 액 공급 유닛의 하부에는 아래 방향으로 돌출된 삽입 돌기가 제공되고,
    상기 지지 패널에는, 상기 헤드 유닛의 삽입 돌기가 삽입되는 제 1 삽입 홈이 형성되는 기판 처리 장치.
  12. 제 1 항의 거치대를 이용해 상기 헤드 어셈블리에 리저버를 탈부착 시키는 방법에 있어서,
    상기 헤드 어셈블리가 상기 지지 패널 상에 놓이는 단계;
    상기 헤드 어셈블리가 상기 고정 부재에 의해 고정되는 단계; 및
    상기 리저버를 상기 헤드 어셈블리에 탈부착 시키는 단계;를 포함하는 리저버 탈부착 방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 헤드 어셈블리는, 액을 토출하는 헤드 유닛; 및 상기 헤드 유닛으로 액을 공급하는 액 공급 유닛;을 포함하고,
    상기 액 공급 유닛, 및 상기 헤드 유닛은, 상하 방향으로 순차적으로 배열되며,
    상기 리저버는 상기 액 공급 유닛 및 상기 헤드 유닛의 사이에 상기 액 공급 유닛과 이격되게 제공되고,
    상기 액 공급 유닛의 하부에는 아래 방향으로 돌출된 삽입 돌기가 제공되며,
    상기 지지 패널에는, 상기 헤드 유닛의 삽입 돌기가 삽입되는 제 1 삽입 홈이 형성되고,
    상기 헤드 어셈블리가 상기 지지 패널 상에 놓이는 단계에서는 상기 삽입 돌기가 상기 제 1 삽입 홈에 삽입되는 리저버 탈부착 방법.
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