KR101720990B1 - 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스 및 이를 포함하는 반도체 제조장치 - Google Patents

가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스 및 이를 포함하는 반도체 제조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 제조 장비를 사용할 때 작업자의 안전을 향상시키기 위하여 가수의 누설을 감지할 수 있도록 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스에 관한 것으로, 상부가 개방된 상태로 내측에 일정 공간이 형성된 케이스와; 일측에 경첩이 결합되어 케이스에 설치되며, 케이스 상부에서 개폐 가능하게 설치되는 덮개와; 상기 덮개가 케이스 상부에서 개방된 상태 또는 닫힌 상태를 유지할 수 있도록 케이스와 덮개 사이에 설치하는 실린더와; 상기 실린더가 케이스와 덮개에 설치되도록 실린더의 측단에 각각 결합하는 고정부재와; 상기 케이스 내측에 설치되는 가스공급파이프와 밸브가 연결된 연결부에서 반도체 생산 공정에 필요한 가스가 누설되는 지를 확인할 수 있도록 덮개에 설치되는 마노메터게이지; 및 케이스 상부에서 덮개의 개폐를 제어할 수 있도록 덮개에 설치하는 락장치를 포함하며, 가스 박스 내에서 가스 누설이 발생하는 것을 감지기를 통해 감지할 수 있기 때문에, 유독성 가스가 누설되는 것을 방지하는 것은 물론 가스가 누출되어도 근로자가 직접 가스와 접촉되는 것을 방지하는 효과가 있다.

Description

가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스 및 이를 포함하는 반도체 제조장치 {The gas box comprising gas leakage sensing device}
본 발명은 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스에 관한 것으로, 반도체 제조 장비를 사용할 때 작업자의 안전을 향상시키기 위하여 가수의 누설을 감지할 수 있는 장치를 포함하는 가스 박스에 관한 것이다.
주지된 바와 같이 반도체 생산공정에서 웨이퍼의 표면처리 등을 위해 독성과 부식성이 강한 가스를 많이 사용하는데, 이들 가스 중 약 20%~40%가 고정중 소모되고, 약 60%~80%의 가스는 방출된다. 이들 미사용된 가스들을 처리하지 않고 공기 중에 방출한다면 많은 위험성을 가진다.
특히 에칭 공정에서는 폐가스로 할로겐족 화합물이 많이 발생되는데, 이러한 할로겐족 화합물은 독성과 부식성이 강하여 인체 및 환경에 많은 영향을 미친다.
TLV (threshold limit valve)란 인체에 미치는 독성을 표시한 것으로서 허용농도 이상이 되면 중독을 일으킬 우려가 있기 때문에 절대로 넘어서는 안 될 상한치이다.
예를 들어 ACGIH (American Conference of Governmental Industrial Hygienists)에서 지정된 Cl 2 의 TLV는 1ppm이고, 환경관리법에서 특정 유독물질로 지정된 가스로서 공기중에 30~60ppm 정도 잔조시 장해를 일으킬 수 있으며, 특히 인체에 흡입 및 노출이 심할 경우 눈과 기관지에 눈물을 수반한 심한 자극을 일으키게 되고 가슴의 답답함, 기침 구토 등의 증세를 느끼며 심할 경우 폐수종으로 사망할 수 있다.
통상 반도체 제조장치에서 배출되는 유독가스에는 pH3(인화수소; Phosphine), ASH 3 (비화수소; Arsin), NH 3 (암모니아; Ammonia), SiH 4 (실란; Silane), HCl(염화수소; Hydrogen chloride), Cl 2 (염소; Chlorine) 등과 같은 여러 가지의 유 독가스를 사용하게 되는데, 이러한 유독가스가 공급되거나 사용, 회수하는 과정에서 누출이 되면 가스의 낭비는 물론이고, 사람이 흡입하여 중독되는 등의 사고가 있게 되며, 환경을 오염시키게 되므로 이러한 누출을 감지하는 장지가 필요하다.
이러한 유독가스를 검출하는 장치의 종래 예를 설명하면, 누출이 예상되는 부분에 각각 감지센서들을 설치하고 이 부분으로부터 공기를 흡입하여 감지센서를 통과하도록 파이프 또는 호스를 설치하는 것이다.
또한, 이러한 각 감지센서들로부터 발생하는 감지신호를 디스플레이패널에 전달토록 신호선을 디스플레이패널로 연결시켜 유독가스의 감지시 경보신호를 발생토록하고 있다.
그러나 이러한 종래 감지장치는, 다수의 감지장치 들을 곳곳에 배열 설치하여야 함으로써 경제적인 비용 상승이 초래되는 문제점이 야기되며, 곳곳에 배열 설치되어 있는 감지센서들을 상호 유기적으로 연결시키기란 구성이 복잡한 문제점이 발생되며, 또한, 이들을 유지 관리하기가 매우 까다로운등 많은 문제점이 내재되어 있다.
이러한 문제점 외에도 통상적으로 설비 공장 내부는 청정도 및 일정온도를 유지하기 위하여 공기정화장치나 에어컨디셔너가 설치됨에 따라 내부의 공기상에는 소정의 흐름이 발생 된다.
이와 같이 유속을 갖는 공기의 흐름에 의해 누출된 가스가 감지장치가 설치되지 않은 부분으로 이동될 우려가 있어 확실한 유독가스의 누출 여부를 감지할 수 없는 문제점이 내재되어 있다.
상기의 문제점을 해결하기 위한 선행기술로 특허문헌 공개특허공보 제2015-81934호(2015.07.15.공개) "반도체 및 디스플레이 제조 설비용 가스 인터페이스 박스"는 반도체와 디스플레이 중 적어도 하나를 제조하기 위한 반도체 및 디스플레이 제조 설비에 공급되는 가스가 유동되는 가스 관이 관통되는 박스 케이스; 및 상기 박스 케이스를 관통하는 상기 가스 관 내의 가스 압력을 감지하는 압력 감지 센서와, 상기 압력 감지 센서에 의해 감지되는 상기 가스의 압력을 요구되는 압력으로 제어 유지시키는 레귤레이터(regulator)가 결합되고, 상기 박스 케이스 내부의 상기 가스관에 연결되는 통합 가스 공급 유닛(integrated gas supply unit);을 특징으로 한다.
상기의 선행기술은 통합 가스 공급유닛과 가스관의 유입부와 유출부에 레귤레이터가 설치되므로 그 결합구조가 복잡하고, 또한, 결합시 유입부와 유출부의 각 연결부는 용접으로 밀폐되기 때문에 유지보수시 용접에 의한 가스폭발 사고가 발생할 수 있는 문제점이 있다.
특허문헌: 공개특허공보 제2015-819345호(2004.05.08. 공개)
상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로 본 발명은 가스 박스 내에서 가스 누설이 발생하는 것을 감지기를 통해 감지할 수 있기 때문에, 종래와 달리 가스박스 내에서 유독성 가스가 누설되는 것을 방지하는 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스를 제공하는 데 목적이 있다.
또한, 본 발명은 가스가 누출되어도 근로자가 직접 가스와 접촉되는 것을 방지하는 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스를 제공하는 데 목적이 있다.
또한, 본 발명은 작업시 근로자의 부주의로 인하여 밸브들이 개방되거나 이탈되는 것을 방지하는 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스를 제공하는 데 목적이 있다.
또한, 본 발명은 가스 박스 내측의 상태를 외부에서 쉽게 확인할 수 있도록 한 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스를 제공하는 데 목적이 있다.
상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로 본 발명은 가스 박스 내에서 가스 누설이 발생하는 것을 감지기를 통해 감지할 수 있기 때문에, 종래와 달리 가스박스 내에서 유독성 가스가 누설되는 것을 방지하는 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스를 제공하는 데 목적이 있다.
또한, 본 발명은 가스가 누출되어도 근로자가 직접 가스와 접촉되는 것을 방지하는 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스를 제공하는 데 목적이 있다.
또한, 본 발명은 작업시 근로자의 부주의로 인하여 밸브들이 개방되거나 이탈되는 것을 방지하는 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스를 제공하는 데 목적이 있다.
또한, 본 발명은 가스 박스 내측의 상태를 외부에서 쉽게 확인할 수 있도록 한 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스를 제공하는 데 목적이 있다.
본 발명의 의한 반도체 제조장치는 이중 바닥재를 형성하는 복수개의 악세스 플로어; 및 상기 복수개의 악세스 플로어중 하나 이상을 대체하여 설치되는 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스;를 포함하는 반도체 제조설비에 있어서, 상기 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스는 상부가 개방된 상태로 내측에 일정 공간이 형성된 케이스와; 상기 케이스에 설치되며, 상기 케이스 상부에서 개폐 가능하게 설치되는 덮개와; 상기 덮개가 상기 케이스 상부에서 개방된 상태 또는 닫힌 상태를 유지할 수 있도록 상기 케이스와 상기 덮개 사이에 설치하는 실린더와; 상기 실린더가 상기 케이스와 상기 덮개에 설치되도록 상기 실린더의 측단에 각각 결합하는 고정부재와; 및 상기 케이스 상부에서 상기 덮개의 개폐를 제어할 수 있도록 덮개에 설치하는 락장치;를 포함한다.
본 발명은 가스 박스 내에서 가스 누설이 발생하는 것을 감지기를 통해 감지할 수 있기 때문에, 유독성 가스가 누설되는 것을 방지하는 것은 물론 가스가 누출되어도 근로자가 직접 가스와 접촉되는 것을 방지하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 투명한 덮개를 통해 가스 박스 내측 상태를 외부에서 쉽게 확인할 수 있도록 케이스 내측의 상태를 쉽게 파악함과 동시에 가스 누출시 빠르게 대응하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 작업시 근로자의 부주의로 인하여 밸브들이 개방되거나 이탈시키는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 의한 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스를 나타낸 사시도.
도 2는 도 1의 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스의 평면 구성을 나타낸 구성도.
도 3은 도 1의 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스의 덮개가 개방된 상태로 구성을 나타낸 단면도.
도 4는 본 발명의 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스에 밸브 및 가스공급파이프가 설치된 상태를 나타낸 구성도.
도 5는 본 발명의 가스누설 감지장치가 결합되는 악세스 플로어의 구성도.
도 6은 본 발명의 가수누설 감지장치를 포함하는 가스 박스가 도 5의 악세스 플로어에 결합한 모습의 단면을 나타낸 도면.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도면들은 개략적이고 축적에 맞게 도시되지 않았다는 것을 일러둔다. 도면에 있는 부분들의 상대적인 치수 및 비율은 도면에서의 명확성 및 편의를 위해 그 크기에 있어 과장되거나 감소되어 도시되었으며 임의의 치수는 단지 예시적인 것이지 한정적인 것은 아니다. 그리고 둘 이상의 도면에 나타나는 동일한 구조물, 요소 또는 부품에는 동일한 참조 부호가 유사한 특징을 나타내기 위해 사용된다.
본 발명의 실시예는 본 발명의 이상적인 실시예를 구체적으로 나타낸다. 그 결과, 도해의 다양한 변형이 예상된다. 따라서 실시예는 도시한 영역의 특정 형태에 국한되지 않으며, 예를 들면 제조에 의한 형태의 변형도 포함한다.
도 1은 본 발명에 의한 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스의 평면 구성을 나타낸 구성도이며, 도 3은 도 1의 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스의 덮개가 개방된 상태로 구성을 나타낸 단면도이고, 도 4는 본 발명의 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스에 밸브 및 가스공급파이프가 설치된 상태를 나타낸 구성도이다. 도 5는 본 발명의 가스누설 감지장치가 결합되는 악세스 플로어의 구성도이고, 도 6은 본 발명의 가수누설 감지장치를 포함하는 가스 박스가 도 5의 악세스 플로어에 결합한 모습의 단면을 나타낸 도면이다.
도 1 내지 4를 참조하면, 본 발명에 의한 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스는 가스공급파이프가 결합되는 끼움공(110)을 측면에 각각 형성되고, 상부가 개방된 상태로 내측에 일정 공간이 형성된 케이스(100)와, 일측에 경첩(220)이 결합되어 케이스(100)에 설치되며, 케이스(100) 상부에서 개폐 가능하게 설치되는 덮개(200)와, 상기 덮개(200)가 케이스(100) 상부에서 개방된 상태 또는 닫힌 상태를 유지할 수 있도록 케이스(100)와 덮개(200) 사이에 설치하는 실린더(300)와, 상기 실린더(300)가 케이스(100)와 덮개(200)에 설치되도록 실린더(300)의 측단에 각각 결합하는 고정부재(400)와, 상기 케이스(100) 내측에 설치되는 가스공급파이프와 밸브가 연결된 연결부에서 반도체 생산 공정에 필요한 가스가 누설되는 지를 확인할 수 있도록 덮개(200)에 설치되는 마노메터게이지(500) 및 케이스(100) 상부에서 덮개(200)의 개폐를 제어할 수 있도록 덮개(200)에 설치하는 락장치(600)를 포함한다.
상기 케이스(100)는 상단이 '∩'형태로 이루어질 수 있도록 절곡 형성하며, 상기의 끼움공은 케이스 측면에 대응되게 형성되고, 내측 바닥에는 내부의 공기 및 가스를 외부로 배출하기 위한 배기포트(130)가 형성된다.
또한, 상기 케이스(100) 내측에는 가스공급파이프와 밸브가 설치될 때 가스공급파이프와 밸브를 받치는 베이스패널(150)이 볼트에 의해 고정 설치되며, 상기 베이스패널(150)은 가스공급파이프와 밸브의 설치시 케이스(100) 내부 바닥에서 일정 높이로 설치할 수 있도록 하여 배기포트(130)의 상부 쪽에 공간이 형성되도록 하여 케이스(100) 내부의 공기 및 가스를 용이하게 배출할 수 있도록 한다.
상기 케이스(100)와 덮개(200) 사이에 설치되는 경첩(220)은 케이스(100)의 단턱(120)이 형성된 부분에 홈(미부호)을 형성하여 그 내측으로 일측이 인입되고, 타측은 덮개(200)의 측면에 홈(미부호)을 형성하여 인입되게 결합한다.
상기 덮개(200)는 투명한 상태로 구성되는 것이 바람직하고, 상기 덮개(200)가 투명하게 형성되어 케이스(100) 내측을 육안으로 확인할 수 있도록 한다.
그리고 상기 고정부재(400)는 실린더(300) 측단에 설치되어 케이스(100)와 덮개(200)에 고정되도록 제1고정부재(410)와 제2고정부재(420)로 구성한다.
상기 제1고정부재(410)는 상기 실리던하우징(310) 일측에 결합하여 케이스(100) 내측에 설치되고, 상기 제2고정부재(420)는 상기 실린더로드(320)의 일측단에 결합하여 덮개(200) 하부에 고정된다.
또한, 상기 제1고정부재(410)는 케이스(200) 내측면에 고정될 수 있도록 전체 형상이 '∪'자 형상으로 이루어지고, '∪'자 형상으로 이루어진 일측은 케이스(100) 내측면에 다른 일측은 실린더하우징(310)에 각각 결합하며, 실린더하우징(310)과 결합하는 다른 일측은 덮개(200)가 개방되거나 또는 닫힐 때 덮개(200)와 연동 될 수 있도록 힌지(미부호) 결합한다.
상기 제2고정부재(420)는 실린더로드(320) 일측과 덮개(200) 하부에 결합할 수 있도록 절곡 형성되어 전체 형상이 'ㄱ'자 형상으로 형성되며, 절곡 형성된 일측에 실린더로드(320)가 힌지 체결되어 덮개(200)가 개방될 때 연동 될 수 있도록 한다.
상기 락장치(600)는 덮개(200)의 일측에 형성한 통공(210)에 락몸체(610)를 설치하고, 상기 락몸체(610)에는 손잡이(620)가 설치되며, 상기 손잡이(620)의 일측에 걸림편(630)이 설치되며, 상기 걸림편(630)이 걸려지거나 또는 해제될 수 있도록 걸림편(630)에 대응되게 케이스(100) 내측면에 고정편(640)이 설치된다.
상기와 같이 구성한 본 발명에 의한 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스의 작용을 설명한다.
먼저, 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스의 설치는 측면에 형성한 끼움공(110)에 가스공급파이프를 각각 설치하여 케이스(100) 내측으로 일측이 위치되도록 하며, 끼움공(110)에 각각 설치하고, 메인에서 공급되는 가스가 분기되도록 분기밸브를 설치하며, 상기 가스공급파이프와 분기밸브의 연결부위는 용접하여 가스가 누설되지 않게 한다.
상기 가스공급파이프와 분기밸브를 케이스(100) 내측에 설치한 상태에서 케이스(100) 상부에 설치된 덮개(200)를 닫아 가스가 누설된 경우 케이스(100) 외부로 누출을 방지한다.
상기와 같이 설치한 상태에서 케이스(100) 내측에 위치된 가스공급파이프의 연결 부위에서 가스가 누설되면, 가스에 의해 케이스(100) 내부의 압력이 변화되고, 변화된 압력을 덮개(200)에 설치한 마노메터게이지(500)에서 압력을 체크 한다.
상기 마노메터게이지(500)에서 변화된 압력을 나타내어 작업자가 마노메터게이지를 통해 케이스(100) 내부의 압력이 달라진 것을 확인할 수 있도록 하여 가스의 누설을 확인한다.
그리고 상기 케이스(100) 상부에 설치한 덮개(200)가 투명하게 형성되어 있기 때문에 케이스(100) 내측에 설치한 가스공급파이프 및 분기밸브의 상태를 확인할 수 있다.
또한, 상기 덮개(200)에 설치한 락장치(600)를 통해 덮개(200)가 케이스(100) 상부에 닫힌 상태가 고정되도록 하므로 가스의 누출을 최대한 방지할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 가스공급파이프와 분기밸브 사이의 접합부에서 가스가 누설되는 경우 케이스(100)와 덮개(200)에 의해 작업자가 가스에 접촉되는 것을 최대한 방지하고, 덮개에 설치한 마노메터게이지(500)를 통해 가스가 누출된 상태를 확인할 수 있도록 하여 가스 누출에 따른 대처가 이루어지게 한다.
본 발명에 의한 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스는 반도체 제조장치를 포함하여 유해가스를 사용하는 기타 제조설비 장치에 사용될 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 가스 박스는 기존의 악세스 플로어(Access Floor)에서 같이 사용할 수 있다. 악세스 플로어는 도5에서 보는 바와 같이 이중 바닥재를 의미하며, 크린룸이나 전산실등에서 사용된다. 일반적으로 건물의 시공이 끝나면 바닥은 콘크리트 상태로 남아있게 되는데, 사무실이나 공장등에서 전원 플러그등을 설치하기 위해서 선을 바닥에 깔고 그 위를 마감하거나 몰드처리하는 경우가 많다. 그러나, 이렇게 할 경우 케이블이 드러나 미관에도 좋지 않으며, 케이블 노출로 인한 케이블 손상 및 누전으로 인한 화재의 위험이 있다.
이러한 문제를 해결하기 위하여 도5에서 보는바와 같이 이중바닥재인 악세스 플로어를 설치하여 케이블 관리를 용이하게 하는 것이다. 악세스 플로어는 특히 반도체 생산공장의 크린룸에서 중요하게 사용되며, 결국 반도체 생산공장에서 발생할 수 있는 유해가스로 인한 피해를 방지하기 위한 본 발명의 가스누설 감지장치를 포함하는 가스박스와 같이 사용되는 경우 효율적인 구성이 가능한 것이다.
악세스 플로어는 스틸(steel)형, 우드(wood)형, 알루미늄(aluminum)형등으로 나누어 질 수 있으며, 스틸(steel)형은 앞뒤 판넬이 모두 강판으로 제작되어 있어 강도가 뛰어나다. 우드(wood)형은 목재의 특성을 유지한 판넬로 가격이 저렴하고 진동 및 소음감소에 뛰어나다. 알루미늄(aluminum)형은 내부식성, 청결성, 정밀성이 우수한 패널로서 무균, 정밀성이 요구되는 반도체공장, 광학기기실, 전자기기등에 주로 사용된다.
본 발명에 의한 가스박스는 도6에서 보는 바와 같이 악세스 플로어가 설치된 곳에서 한 곳을 대체하여 설치될 수 있다. 도 5와 도 6의 구성을 보면 도 5의 악세스 플로어중에서 하나의 플로어 대신 본 발명의 가스누설 감지장치를 포함하는 가스박스를 기둥을 공유하도록 설치하여 특별한 추가 장비나 구성없이도 수월하게 가스박스를 기존의 악세스 플로어구조에서 사용할 수 있는 것이다.
그러므로 이상에서 기술한 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명은 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100: 케이스 110: 끼움공
120; 단턱 130: 배기포트
140: 부싱 150: 베이스패널
200: 덮개 210: 통공
220: 경첩 300: 실린더
310: 실린더하우징 320: 실린더로드
400: 고정부재 410: 제1고정부재
420: 제2고정부재 500: 마노메터게이지
600: 락장치 610: 락몸체
620: 손잡이 630: 걸림편
640: 고정편

Claims (5)

  1. 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스에 있어서,
    가스공급파이프가 결합되는 끼움공(110)을 측면에 각각 형성되고, 상부가 개방된 상태로 내측에 일정 공간이 형성된 케이스(100)와;
    상기 케이스(100)에 설치되며, 상기 케이스(100) 상부에서 개폐 가능하게 설치되는 덮개(200)와;
    상기 덮개(200)가 상기 케이스(100) 상부에서 개방된 상태 또는 닫힌 상태를 유지할 수 있도록 상기 케이스(100)와 상기 덮개(200) 사이에 설치하는 실린더(300)와;
    상기 실린더(300)가 상기 케이스(100)와 상기 덮개(200)에 설치되도록 상기 실린더(300)의 측단에 각각 결합하는 고정부재(400)와; 및
    상기 케이스(100) 상부에서 상기 덮개(200)의 개폐를 제어할 수 있도록 덮개(200)에 설치하는 락장치(600);를 포함하고,
    상기 락장치(600)는,
    상기 덮개(200)의 일측에 형성한 통공(210)에 상부가 개방된 상태로 내측에 일정한 공간을 갖는 락몸체(610)를 설치하고,
    상기 락몸체(610) 내측에 손잡이(620)가 설치되며,
    상기 손잡이(620)의 일측에 걸림편(630)이 설치되며,
    상기 걸림편(630)이 걸려지거나 또는 해제될 수 있도록 걸림편(630)에 대응되게 케이스(100) 내측에 고정편(640)이 설치되고,
    상기 덮개(200)는 일측에 경첩(220)이 결합되어 상기 케이스(100)에 설치되며,
    상기 케이스(100) 내측에 설치되는 가스공급파이프와 밸브가 연결된 연결부에서 반도체 생산 공정에 필요한 가스가 누설되는 지를 확인할 수 있도록 상기 덮개(200)에 설치되는 마노메터게이지(500)를 더 포함하며,
    상기 케이스(100)는 상단이 '∩'형태로 이루어질 수 있도록 절곡 형성하며, 상기의 끼움공은 케이스 측면에 대응되게 형성되고, 내측 바닥에는 내부의 공기 및 가스를 외부로 배출하기 위한 배기포트(130)가 형성되고,
    상기 케이스(100) 내부의 공기 및 가스를 용이하게 배출할 수 있도록, 상기 케이스(100) 내측에는 가스공급파이프와 밸브가 설치될 때 가스공급파이프와 밸브를 받치는 베이스패널(150)이 볼트에 의해 고정 설치되며, 상기 베이스패널(150)은 가스공급파이프와 밸브의 설치시 케이스(100) 내부 바닥에서 일정 높이로 설치할 수 있도록 하여 배기포트(130)의 상부 쪽에 공간이 형성되도록 하며,
    상기 케이스(100) 내측을 육안으로 확인할 수 있도록 상기 덮개(200)는 투명한 상태로 구성되고,
    상기 고정부재(400)는 상기 실린더(300) 측단에 설치되어 상기 케이스(100)와 상기 덮개(200)에 고정되도록 제1고정부재(410)와 제2고정부재(420)로 구성되며,
    상기 제1고정부재(410)는 상기 실리던하우징(310) 일측에 결합하여 케이스(100) 내측에 설치되고, 상기 제2고정부재(420)는 상기 실린더로드(320)의 일측단에 결합하여 덮개(200) 하부에 고정되고,
    상기 제1고정부재(410)는 케이스(200) 내측면에 고정될 수 있도록 전체 형상이 '∪'자 형상으로 이루어지고, '∪'자 형상으로 이루어진 일측은 케이스(100) 내측면에 다른 일측은 실린더하우징(310)에 각각 결합하며, 실린더하우징(310)과 결합하는 다른 일측은 덮개(200)가 개방되거나 또는 닫힐 때 덮개(200)와 연동 될 수 있도록 힌지와 결합하며,
    상기 제2고정부재(420)는 실린더로드(320) 일측과 덮개(200) 하부에 결합할 수 있도록 절곡 형성되어 전체 형상이 'ㄱ'자 형상으로 형성되며, 상기 덮개(200)가 개방될 때 연동 될 수 있도록 절곡 형성된 일측에 실린더로드(320)가 힌지 체결되는 것을 특징으로 하는 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 이중 바닥재를 형성하는 복수개의 악세스 플로어; 및
    상기 복수개의 악세스 플로어중 하나 이상을 대체하여 설치되는 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스;를 포함하는 반도체 제조장치에 있어서,
    상기 가스누설 감지장치를 포함하는 가스 박스는
    가스공급파이프가 결합되는 끼움공(110)을 측면에 각각 형성되고, 상부가 개방된 상태로 내측에 일정 공간이 형성된 케이스(100)와;
    상기 케이스(100)에 설치되며, 상기 케이스(100) 상부에서 개폐 가능하게 설치되는 덮개(200)와;
    상기 덮개(200)가 상기 케이스(100) 상부에서 개방된 상태 또는 닫힌 상태를 유지할 수 있도록 상기 케이스(100)와 상기 덮개(200) 사이에 설치하는 실린더(300)와;
    상기 실린더(300)가 상기 케이스(100)와 상기 덮개(200)에 설치되도록 상기 실린더(300)의 측단에 각각 결합하는 고정부재(400)와; 및
    상기 케이스(100) 상부에서 상기 덮개(200)의 개폐를 제어할 수 있도록 덮개(200)에 설치하는 락장치(600);를 포함하고,
    상기 락장치(600)는,
    상기 덮개(200)의 일측에 형성한 통공(210)에 상부가 개방된 상태로 내측에 일정한 공간을 갖는 락몸체(610)를 설치하고,
    상기 락몸체(610) 내측에 손잡이(620)가 설치되며,
    상기 손잡이(620)의 일측에 걸림편(630)이 설치되며,
    상기 걸림편(630)이 걸려지거나 또는 해제될 수 있도록 걸림편(630)에 대응되게 케이스(100) 내측에 고정편(640)이 설치되고,
    상기 덮개(200)는 일측에 경첩(220)이 결합되어 상기 케이스(100)에 설치되며,
    상기 케이스(100) 내측에 설치되는 가스공급파이프와 밸브가 연결된 연결부에서 반도체 생산 공정에 필요한 가스가 누설되는 지를 확인할 수 있도록 상기 덮개(200)에 설치되는 마노메터게이지(500)를 더 포함하며,
    상기 케이스(100)는 상단이 '∩'형태로 이루어질 수 있도록 절곡 형성하며, 상기의 끼움공은 케이스 측면에 대응되게 형성되고, 내측 바닥에는 내부의 공기 및 가스를 외부로 배출하기 위한 배기포트(130)가 형성되고,
    상기 케이스(100) 내부의 공기 및 가스를 용이하게 배출할 수 있도록, 상기 케이스(100) 내측에는 가스공급파이프와 밸브가 설치될 때 가스공급파이프와 밸브를 받치는 베이스패널(150)이 볼트에 의해 고정 설치되며, 상기 베이스패널(150)은 가스공급파이프와 밸브의 설치시 케이스(100) 내부 바닥에서 일정 높이로 설치할 수 있도록 하여 배기포트(130)의 상부 쪽에 공간이 형성되도록 하며,
    상기 케이스(100) 내측을 육안으로 확인할 수 있도록 상기 덮개(200)는 투명한 상태로 구성되고,
    상기 고정부재(400)는 상기 실린더(300) 측단에 설치되어 상기 케이스(100)와 상기 덮개(200)에 고정되도록 제1고정부재(410)와 제2고정부재(420)로 구성되며,
    상기 제1고정부재(410)는 상기 실리던하우징(310) 일측에 결합하여 케이스(100) 내측에 설치되고, 상기 제2고정부재(420)는 상기 실린더로드(320)의 일측단에 결합하여 덮개(200) 하부에 고정되고,
    상기 제1고정부재(410)는 케이스(200) 내측면에 고정될 수 있도록 전체 형상이 '∪'자 형상으로 이루어지고, '∪'자 형상으로 이루어진 일측은 케이스(100) 내측면에 다른 일측은 실린더하우징(310)에 각각 결합하며, 실린더하우징(310)과 결합하는 다른 일측은 덮개(200)가 개방되거나 또는 닫힐 때 덮개(200)와 연동 될 수 있도록 힌지와 결합하며,
    상기 제2고정부재(420)는 실린더로드(320) 일측과 덮개(200) 하부에 결합할 수 있도록 절곡 형성되어 전체 형상이 'ㄱ'자 형상으로 형성되며, 상기 덮개(200)가 개방될 때 연동 될 수 있도록 절곡 형성된 일측에 실린더로드(320)가 힌지 체결되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
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