KR20080004184U

KR20080004184U - 반도체 제조 설비용 유독가스 검출장치

Info

Publication number: KR20080004184U
Application number: KR2020070004814U
Authority: KR
Inventors: 신상용
Original assignee: 신상용
Priority date: 2007-03-23
Filing date: 2007-03-23
Publication date: 2008-09-26

Abstract

본 고안은 반도체 제조 설비용 유독가스 검출장치를 개시한다.

본 고안은, 일측 내면에 다수의 센서등으로 이루어진 터미널 블록이 위치되고, 외측 전면에는 검출 가스의 종류를 육안 및 음으로 표시하기 위한 디스플레이창이 마련된 케이스와; 케이스의 타측 내면에 위치되며, 내부에 흡입용 송풍기가 위치된 흡기기와; 흡기기의 전면 일측으로부터 2개 이상 복수 연장 형성되어 가스 검출 위치를 향해 연장 형성되며, 길이 방향을 따라 소정간격으로 다수의 흡입 구멍이 형성된 흡기관과; 흡기기와 인접된 흡기관의 각 관로상에 마련되며, 흡입되어 이송되는 공기중의 가스를 감지하는 감지 센서;를 포함하여 된 것으로서, 하나의 흡기기로부터 복수의 흡입구멍이 형성된 다수의 흡기관을 연장 형성하고, 이 흡기관을 각 설비 및 작업 공간 내부로 연장 형성하여 각종 설비 및 공간부상의 유독가스를 흡입 이를 감지센서로 감지할 수 있게된다.

즉, 하나의 장치를 통해 다수의 장비 및 공간부상에 존재할 수 있는 유독가스를 감지할 수 있게되어 종래와 비교할 때 경제적인 부담감을 감소시킬 수 있으며, 특히 설비가 마련되어 있지 않는 작업 공간부상에 존재할 수 있는 유독가스까지 감지할 수 있게되어 장치에 대한 신뢰성을 크게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

유독가스, 감지센서, 흡기기, 흡기관, 디스플레이창, 케이스, 송풍기

Description

반도체 제조 설비용 유독가스 검출장치{Device for detecting toxic gases from semiconductor manufacture apparatus}

도 1은 본 고안에 따른 반도체 제조 설비용 유독가스 검출장치의 구성도.

도 2는 요부 발췌 사시도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100 : 케이스 110 : 디스플레이창

200 : 흡기기 210 : 송풍기

300 : 흡기관 310 : 흡입구멍

400 : 감지센서

본 고안은 여러 종류의 유독가스를 사용하는 반도체 소자 제조설비 공장에서 유독가스의 누출을 미리 감지하기 위한 반도체 제조 설비용 유독가스 검출장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 생산공정에서 웨이퍼(wafer)의 표면처리등을 위해 독성과 부식성이 강한 가스를 많이 사용하는 바, 이들 가스중 약 20-40%가 공정중 소모되고 60-80%의 가스는 방출된다.

이들 미사용된 가스들을 처리하지 않고 공기중에 방출하게 되면 많은 위험성을 초래하게 된다.

이러한 생산공정에서 특히 에칭(etching) 공정에서는 폐가스로 할로겐족 화합물이 많이 발생되며, 이러한 할로겐족 화합물은 독성과 부식성이 매우 강하여 인체 및 환경에 많은 악영향을 끼친다.

예를들어 반도체 제조공정에서 배출되는 유독가스에는 인화수소, 비화수소, 암모니아, 실란, 염화수소, 염소등과 같은 여러 가지의 유독가스를 사용하게 하는 바, 이러한 유독가스가 공급되거나 사용 및 회수하는 과정에서 누출이 발생되며, 가스의 낭비는 물론이고, 사람이 흡입하여 중독되는 등의 안전사고와 치명적인 환경오염이 야기되므로 이러한 누출을 미리 감지하는 장치가 필요로 하다.

이러한 유독가스 감지장치의 종래예를 설명하며, 누출이 예상되는 부분에 각각 감지센서들을 설치하고 이 부분으로부터 공기를 흡입하여 감지센서를 통과하도록 파이프 또는 호스를 설치하는 것이다.

또한 이러한 각 감지센서들로부터 발생하는 감지신호를 디스플레이패널에 전달토록 신호선을 디스플레이패널로 연결시켜 유독가스의 감지시 경보신호를 발생토록하고 있다.

그러나 이러한 종래 감지장치는, 다수의 감지장치들을 곳곳에 배열 설치하여야 함으로써 경제적인 비용 상승이 초래되는 문제점이 야기되며, 곳곳에 배열 설치되어 있는 감지센서들을 상호 유기적으로 연결시키기란 구성이 복잡한 문제점이 발생되며, 또한 이들을 유지 관리하기가 매우 까다로운등 많은 문제점이 내재되어 있다.

이러한 문제점외에도 통상적으로 설비 공장내부는 청정도 및 일정온도를 유지하기 위하여 공기정화장치나 에어컨디셔너가 설치됨에 따라 내부의 공기상에는 소정의 흐름이 발생된다.

이와같이 유속을 갖는 공기의 흐름에 의해 누출된 가스가 감지장치가 설치되지 않은 부분으로 이동될 우려가 있어 확실한 유독가스의 누출 여부를 감지할 수 없는 문제점이 내재되어 있다.

본 고안은 이와같은 종래의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 하나의 감지장치를 통해 여러곳의 유독가스 누출 여부를 감지할 수 있어 경제적인 비용 절감을 도모할 수 있으며, 특히 내부의 공기 흐름에 따라 장비가 설치되지 않은 부분으로 유독가스가 누출되어도 이를 신속하게 감지할 수 있어 사용상의 신뢰도를 향상시킬 수 있는 반도체 제조 설비용 유독가스 검출장치를 제공함에 그 목적이 있다.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안에 따른 반도체 제조 설비용 유독가스 검출장치는, 일측 내면에 다수의 센서등으로 이루어진 터미널 블록이 위치되고, 외측 전면에는 검출 가스의 종류를 육안 및 음으로 표시하기 위한 디스플레이창이 마련된 케이스와; 상기 케이스의 타측 내면에 위치되며, 내부에 흡입용 송풍기가 위치된 흡기기와; 상기 흡기기의 전면 일측으로부터 2개 이상 복수 연장 형성되어 가스 검출 위치를 향해 연장 형성되며, 길이 방향을 따라 소정간격으로 다수의 흡입 구멍이 형성된 흡기관과; 상기 흡기기와 인접된 흡기관의 각 관로상에 마련되며, 흡입되어 이송되는 공기중의 가스를 감지하는 감지 센서;를 포함하여 된 것을 그 특징으로 한다.

이와같은 본 고안의 특징적인 구성 및 이에따른 작용효과는 후술하는 첨부된 도면을 참조한 고안의 상세한 설명을 통해 더욱 명확해 질 것이다.

도 1은 본 고안에 따른 반도체 제조 설비용 유독가스 검출장치의 구성도이도, 도 2는 요부 발췌 사시도이다.

이에 나타내 보인 바와 같이 본 고안에 따른 반도체 제조 설비용 유독가스 검출장치는, 일측 내면에 다수의 센서등으로 이루어진 터미널 블록이 위치되고, 외측 전면에는 검출 가스의 종류를 육안 및 음으로 표시하기 위한 디스플레이창(110)이 마련된 케이스(case;100)를 구비한다.

이 케이스(100)의 타측 내면에는 흡입용 송풍기(210)가 위치된 흡기기(吸氣機;200)가 위치된다.

한편, 이 흡기기(200)의 전면 일측으로 부터는 2개이상 복수개의(도시된 것은 4개 임) 흡기관(吸氣管;300)이 외부로 연장 형성되는 바, 이들은 유독가스가 발생될 수 있는 위치 뿐만 아니라 인접된 공간부를 향해 연장 형성된다.

또한 흡기관(300)상에는 확대 도시된 바와 같이 길이 방향을 따라 소정간격으로 다수의 흡입구멍(310)이 소정크기로 형성된다.

그리고 실질적으로 흡입되는 공기중에 유독가스가 포함되어 있는지를 감지하기 위한 것으로서, 흡기기(200)와 인접된 흡기관(300)관의 각 관로상에는 유독가스를 감지하는 감지센서(400)가 각각 설치된다.

이와같이 구성된 본 고안에 따른 반도체 제조설비용 유독가스 검출장치의 작동을 설명하면 다음과 같다.

먼저 흡기기(200)상에 위치된 송풍기(210)를 구동시킨다.

송풍기(210)이 구동에 의해 각 흡기관(300)으로부터 각 제조 설비 및 인접된 공간부상에 위치된 흡기관(300)의 각 흡입구멍(310)을 통해 에어가 관로를 따라 이동된다.

이와같이 흡기관(300)을 통해 유입된 에어는 흡기관(300)의 각 관로상에 마련된 감지센서(400)에 의해 유독가스가 유입되어 있는지의 여부가 감지되고, 유독가스가 감지되면 인접된 터미널 블록상으로 전달됨과 동시에 디스플레이창(110)에 표시된다.

따라서 신속한 후 처리가 가능하게 되는 것이다.

또한 흡기관(300)이 각종 설비 뿐만 아니라 인접된 공간부상에 배열 설치되어 있는 것이기 때문에 공기청정기나 에어컨디셔너에 의해 작업 공간상에 공기의 흐름이 발 생되어도 각 공간부상에 잔류할 수 있는 유독가스까지 모두 감지가 가능하게 된다.

이상의 설명에서 본 고안은 특정의 실시 예와 관련하여 도시 및 설명하였지만, 특허청구범위에 의해 나타난 고안의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 개조 및 변화가 가능하다는 것을 당 업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 쉽게 알 수 있을 것이다.

이상에서 설명한 바와 같은 본 고안에 따른 반도체 제조 설비용 유독가스 검출장치에 의하면, 하나의 흡기기로부터 복수의 흡입구멍이 형성된 다수의 흡기관을 연장 형성하고, 이 흡기관을 각 설비 및 작업 공간 내부로 연장 형성하여 각종 설비 및 공간부상의 유독가스를 흡입 이를 감지센서로 감지할 수 있게된다.

Claims

일측 내면에 다수의 센서등으로 이루어진 터미널 블록이 위치되고, 외측 전면에는 검출 가스의 종류를 육안 및 음으로 표시하기 위한 디스플레이창이 마련된 케이스와;

상기 케이스의 타측 내면에 위치되며, 내부에 흡입용 송풍기가 위치된 흡기기와;

상기 흡기기의 전면 일측으로부터 2개 이상 복수 연장 형성되어 가스 검출 위치를 향해 연장 형성되며, 길이 방향을 따라 소정간격으로 다수의 흡입 구멍이 형성된 흡기관과;

상기 흡기기와 인접된 흡기관의 각 관로상에 마련되며, 흡입되어 이송되는 공기중의 가스를 감지하는 감지 센서;를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비용 유독가스 검출장치.