KR101555682B1

KR101555682B1 - 누수감지장치

Info

Publication number: KR101555682B1
Application number: KR1020140176060A
Authority: KR
Inventors: 조중훈
Original assignee: (주)가온인더스트리; 주식회사 우신테크놀러지
Priority date: 2014-12-09
Filing date: 2014-12-09
Publication date: 2015-10-01

Abstract

본 발명에 의하면, 누수감지부위의 외부에 누수감지부위를 커버하면서 장착 구성되는 케이스 타입의 장착용 하우징; 하우징의 내부에 가이드몰드를 통해 구성되고 시약이 함침 및 건조되어 누수감지부위로부터 누수된 액체와의 접촉시 특정색으로 변색되는 제1누수감지수단과, 하우징의 내부에 가이드몰드를 통해 구성되고 누수감지부위로부터 누수된 액체의 접촉시 이를 전기적으로 감지하는 제2누수감지수단 중 적어도 어느 하나를 포함하는 누수감지장치가 제공된다.

Description

누수감지장치{Leakage detecting apparatus}

본 발명은 누수감지장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조장비 등의 파이프 연결부위에 장착 구성되거나 반도체 제조장비의 바닥부위에 위치 구성되어 상기 연결부위로부터 화학용액 등의 액체가 누수되는 경우 액체와의 접촉에 따라 반응하는 시약의 변색과 감지패드를 통하여 작업자로 하여금 육안 및 알람 경고 등을 통해 이를 확인하도록 할 수 있는 누수감지장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체, LCD 등을 제조하는 과정에 있어서, 기판을 세정하는 세정공정이나 필요물질을 식각하는 식각공정은 반드시 필요하며, 상기 세정공정 및 식각공정은 주로 세정용 화학용액 및 식각용 화학용액의 사용에 의해 이루어진다.

즉, 반도체 제조방비의 특성상 장비들이 파이프 등과 같은 연결부재에 의해 연결되는데, 이때, 연결부재의 연결부위에서 누수가 발생하는 사고가 빈번하게 발생하고 있으며, 이런 문제점으로 인하여 수시로 작업자가 환경 안전 순찰을 하고 있으나 미세한 누수의 경우 육안으로 작업자가 즉시 발견하기가 어려워 작업자에게 화학약품이 직접 접촉되는 사고가 발생된다. 게다가 누수 사고시 조기 진압을 하지 못하는 경우 누수가 발생된 연결부위의 배관, 전기케이블, 기타 부대설비 등의 안전사고가 발생하는 등의 제2, 제3의 사고 발생으로 결국 반도체 제조라인이 정지되는 현상이 발생하게 된다.

이에, 종래에는, 등록특허 10-0978383호 등에 개시된 바와 같이, 배관 등에 장착된 센서에서 빛을 쏘아 빛의 반사된 광량을 계산하여 누수 발생 유무를 감지하는, 누수 감지 시스템이 개시된 바 있다.

그러나 종래의 누수 감지 시스템의 경우, 반도체 설비나 밸브 박스 내부에 누수 센서가 설치되기 때문에 파이프의 연결부위에서 발생되는 누수를 감지하지 못할 뿐만 아니라, 파이프의 연결부위에 설치되는 포인트형 누수 센서를 이용하더라도 누수 발생시 누수로 인해 센서의 빛이 누수에 의해 센서로 반사되어 광량 차이가 미미한 경우 누수가 발생되었더라도 이를 정확하게 감지하지 못하게 되는 문제점이 있다.

또한, 종래의 누수 감지 시스템의 경우, 동작전원을 소모하는 센서와 이에 연결되는 제어부 등의 복잡한 구성으로 인하여 설치 및 유지보수에 많은 비용이 소요되는 문제점이 있다.

따라서 본 발명의 목적은 반도체 제조장비 등의 파이프 연결부위에 장착 구성되거나 바닥부위에 위치 구성되어 상기 연결부위로부터 화학용액 등의 액체가 누수되는 경우 액체와의 접촉에 따라 반응하는 시약의 변색과 감지패드를 통하여 작업자로 하여금 육안 및 알람 경고 등을 통해 이를 확인하도록 할 수 있는 누수감지장치를 제공하는 것이다.

한편, 본 발명의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

또한, 본 발명에 의하면, 반도체 장비가 설치된 바닥에 안착 구성되는 블록 타입의 안착용 커버블록; 커버블록의 상측 개구부위에 결합되어 바닥 판넬 기능을 제공하는 그레이팅; 및 커버블록의 내부에 수용 위치되고 시약이 함침 및 건조되어 누수감지부위로부터 누수된 액체와의 접촉시 특정색으로 변색되는 제1누수감지수단과, 커버블록의 내부에 수용 위치되고 누수감지부위로부터 누수된 액체의 접촉시 이를 전기적으로 감지하는 제2누수감지수단 중 적어도 어느 하나를 포함하는 누수감지장치가 제공된다.

한편, 상기 누수감지장치에 있어서, 상기 시약은, 포도당, 식용색소 적색2호, 식용색소 황색 및 H2O가 혼합된 화합물; Backing Adhesive Sheet, Indicator Cover Adhesive Sheet, Nonwoven Fabric 및 Special Reagents(C6H12O6, C2H5OH, HCL, COCL2·H2O, H2O)가 혼합된 화합물; 및 C6H12O6 10%, C2H5OH 6%, HCL 4%, COCL2.6H2O 25%, MEK 15%, EA 15%, IPA 20%, PM 5%가 혼합된 화합물 중 적어도 어느 하나인 것이 바람직하다.

따라서 본 발명에 의하면, 특수 처리된 시약이 함침 및 건조된 상태의 누수감지패드가 누수감지부위에 구성된 상태에서 누수 발생시 누수액에 의해 변색되는 것을 통하여, 작업자에게 연결관의 누수 유무를 육안으로 쉽게 확인하도록 할 수 있다.

또한, 전원 등을 사용하지 않고도 간단하게 누수감지부위에 부착 또는 결속 또는 배치되는 구조를 통하여, 제조비용과 유지보수 비용을 절약할 수 있다.

한편, 본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 누수감지장치를 나타낸 사시도;
도 2는 도 1의 누수감지장치를 나타낸 분해사시도;
도 3은 도 1의 누수감지장치의 작용을 나타낸 도면;
도 4는 도 1의 누수감지장치의 다양한 형상을 나타낸 도면;
도 5는 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 누수감지장치를 나타낸 사시도;
도 6은 도 5의 누수감지장치를 나타낸 분해사시도; 및
도 7은 도 5의 누수감지장치의 작용을 나타낸 도면이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 누수감지장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 누수감지장치를 나타낸 분해사시도이며, 도 3은 도 1의 누수감지장치의 작용을 나타낸 도면이고, 도 4는 도 1의 누수감지장치의 다양한 형상을 나타낸 도면이다.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 누수감지장치(100)는, 누수감지부위(J)를 커버하기 위한 소정의 형상과 공간을 가지면서 누수감지부위(J)의 외부에 누수감지부위(J)를 커버하면서 장착 구성되고 누수감지부위(J)로부터 누수 발생시 액체 또는 유체가 외부로 누수되지 못하도록 방지하는 케이스 타입의 장착용 하우징(110), 하우징(110)의 내부에 구성되고 시약이 함침 및 건조되어 누수감지부위(J)로부터 누수된 액체와의 접촉시 특정색으로 변색되는 제1누수감지수단(120), 하우징(110)의 내부에 구성되고 누수감지부위(J)로부터 누수된 액체의 접촉시 이를 전기적으로 감지하는 제2누수감지수단(130) 및 제1누수감지수단(120)과 제2누수감지수단(130) 중 적어도 어느 하나에 구성되어 상기 제1누수감지수단(120)과 제2누수감지수단(130)이 하우징(110) 내부의 형상에 대응된 형상을 유지하도록 함과 동시에 해당 위치에 안정적으로 구성되도록 하는 가이드몰드(140) 등을 포함한다.

상기 하우징(110)은, 누수감지부위(J)를 커버하기 위한 소정의 형상과 공간을 가지면서 누수감지부위(J)의 외부에 누수감지부위(J)를 커버하면서 장착 구성되고 누수감지부위(J)로부터 누수 발생시 액체 또는 유체가 외부로 누수되지 못하도록 방지하는 케이스 타입의 장착수단으로, 외부로부터 내부가 육안으로 확인이 가능하도록 투명 또는 반투명하고 합성수지 재질을 가지며 상호간 대면시 누수감지부위(J)가 내부 공간에 수용되도록 속이 빈 내부를 가지는 원통형상의 상/하부케이스(111,112), 상/하부케이스(111,112)의 대면 부위에 연장 형성되고 볼트와 너트 등과 같은 결합부재에 의해 대면 결합되도록 하여 상기 누수감지부위(J)의 외부를 커버하면서 상/하부케이스(111,112)가 장착 구성되도록 하는 장착용플랜지(113,114) 및 장착용플랜지(113,114)의 형상에 대응된 형상을 가지고 장착용플랜지(113,114)의 대면 결합시 상호간 대면되어 누수감지부위(J)로부터 누수된 액체가 대면 부위를 통해 외부로 누수되는 것을 방지하는 오링 또는 가스켓 등과 같은 누수방지부재(115,116) 등을 포함한다.

즉, 상기 하우징(110)은, 플랜지 파이프, 유니온 파이프, 플랜지 밸브 파이프 및 유니온 밸브 파이프 등과 같은 파이프와 파이프의 연결부위에 해당되는 누수감지부위(J)가 내부에 수용되도록 상기 상/하부케이스(111,112)가 대면 결합시 양단부 또는 양단부와 상측면이 소정 지름(파이프의 직경에 대응되는 면적)으로 개방되고 속이 빈 소정 길이를 가지는 원통 또는 다면체 형상을 가지는 것이 바람직하다.

따라서 상기 하우징(110)에 의하면, 누수감지부위(J)에 누수감지부위(J)를 감싸면서 간단하게 장착 구성됨으로써, 누수감지부위(J)로부터 누수된 액체가 외부로 누수되는 것을 방지할 수 있고, 더불어, 후술된 제1누수감지수단(120)이 누수액과의 접촉시 특정 색으로 변색이 진행되는 것을 외부의 작업자로 하여금 쉽게 육안으로 확인하도록 하여 신속한 대처를 가능하게 하고 안전사고를 방지할 수 있다.

한편, 상기 하우징(110)은, 상기 상/하부케이스(111,112)가 장착용플랜지(113,114)에 관통되는 결합부재에 의해 상호간 대면 결합되도록 하고 있으나, 상기 장착용플랜지(113,114)가 암수 또는 요철 구조를 가질 수도 있고 또한, 상기 대면 부위 중 어느 한 부위가 상호간 회동 가능하게 연결되도록 한 상태에서 다른 한 부위가 상호간 대면시 강제 체결되도록 하는 구조를 가지는 결속구조를 가질 수도 있다. 또한, 상/하부케이스(111,112)의 외면에는 반사테이프가 더 부착되어 야간에 식별력을 제공하여 작업자로 하여금 손쉽게 해당 위치를 파악하도록 할 수 있다.

상기 제1누수감지수단(120)은, 하우징(110)의 내부에 구성되고 시약이 함침 및 건조되어 누수감지부위(J)로부터 누수된 액체와의 접촉시 특정색으로 변색되는 화학적 누수감지수단으로, 흡수력이 뛰어난 섬유재질 또는 종이재질의 패드에 인체에 무해하면서도 천연 재료로 특수 처리된 시약이 흡수 및 건조 처리되는 것을 통해 제조된다.

여기서, 상기 시약은, Backing Adhesive Sheet 42%, Indicator Cover Adhesive Sheet 21%, Nonwoven Fabric 19%, Special Reagents(C6H12O6 35%, C2H5OH 16%, HCL 24%, COCL2·H2O 15%, H2O 10%) 18%가 혼합된 화합물이거나, 포도당 47중량%, 식용색소 적색2호 2중량%, 식용색소 황색5호 1중량% 및 H2O 50%가 혼합된 화합물이거나, C6H12O6 10%, C2H5OH 6%, HCL 4%, COCL2.6H2O 25%, MEK 15%, EA 15%, IPA 20%, PM 5%가 혼합된 화합물 중 어느 하나인 것이 바람직하다.

여기서, 상기 C6H12O6는 천연색소로 누수 물체가 액체인 경우에는 적색으로 변색되고 기체인 경우에는 청색으로 변색되어 작업자에게 누수 물체에 대한 정보가 신속하게 인지되도록 할 수 있으며, 상기 C2H5OH와 HCL은 리트머스 용액이고, 상기 COCL2.6H2O는 염화코발트 용액이며, MEK는 METHYL ETHYL KETONE이고, 상기 EA는 ETHYL ACETATE이며, 상기 IPA는 ISOPROPYL ALCOHOL이고, 상기 PM은 PROPYLENE GLYCOL MONOETHYL ETHER로, 모두 인체에 무해한 재질로 제조된다.

한편, 상기 시약은, 상성 또는 염기성 액체에 따라 그 색깔이 다르게 변색되는 리트머스 등과 같은 혼합액일 수도 있으며, 이 경우, 산성의 액체와의 접촉시에는 적색, 염기성 액체와의 접촉시에는 청색으로 변하는 상태를 가지도록 하여, 누수액에 대한 종류를 쉽게 파악하도록 할 수도 있다.

따라서 상기 제1누수감지수단(120)에 의하면, 반도체 제조장비들을 연결하는 누수감지부위(J)로부터 누수가 발생되는 경우 누수액과의 접촉시 특정 색으로 변색이 진행되어 작업자로 하여금 이를 육안으로 확인하도록 할 수 있고, 이를 통하여, 신속한 대처를 가능하게 하여 안전사고를 방지할 수 있다.

상기 제2누수감지수단(130)은, 하우징(110)의 내부에 구성되고 누수감지부위(J)로부터 누수된 액체의 접촉시 이를 전기적으로 감지하는 전기적 누수감지수단으로, 누수감지부위(J)로부터 누수 발생시 누수되는 액체나 가스의 접촉을 진동, 압력, 온도, 단락 및 정전용량을 통하여 감지하고 이에 대한 해당 전기적 신호를 발생시켜 공지의 경고음발생장치 등을 포함하는 모니터링시스템에 전달하여 근접한 위치에 위치된 작업자들의 신속한 대처와 외부에 위치된 관리자에게 신속한 알림을 가능하게 할 수 있다.

여기서, 상기 제2누수감지수단(130)은, 누수액의 접촉을 정전용량을 통하여 감지하는 정전용량감지수단으로, 보다 바람직하게는, 정전용량터치기판, 상기 정전용량터치기판에 형성되는 전극패턴, 상기 전극패턴과의 전기적 연결을 위한 회로 배선을 구성하는 회로기판, 상기 회로기판과 전극패턴에 각각 접촉되는 부분을 포함하여 회로기판의 회로 배선과 전극패턴을 서로 전기적으로 연결하는 상태로 접착하는 도전성접촉부재를 포함하는 정전용량패드(131)와, 정전용량패드(131)에 관통 형성되는 다수의 누수액 관통공(132)을 포함한다.

즉, 상기 정전용량패드(131)는 누수액이 정전용량터치기판에 접촉시 이를 정전용량의 변화를 통하여 감지할 수 있다.

또한, 상기 누수액관통공(132)은, 제1누수감지수단(120)이 누수액과 접촉하지 못하는 것을 방지하기 위해 형성된다. 보다 상세하게는, 하우징(110)의 내부에 제1누수감지수단(120)과 제2누수감지수단(130)이 같이 구성되는 경우 누수를 육안으로 식별되도록 하는 변색 작용하는 제1누수감지수단(120)이 하우징(110)의 내부 표면에 위치되어야 하고 누수감지부위(J)와 제1누수감지수단(120) 사이에 제2누수감지수단(130)이 위치되어야 한다. 이에, 상기와 같은 상태에서, 누수감지부위(J)로부터 누수가 발생되는 경우 상기 제2누수감지수단(130)에 의해 제1누수감지수단(120)이 누수액과 접촉하지 못하게 되므로, 상기 누수액관통공(132)을 통해 누수액이 제1누수감지수단(120)에 접촉되도록 하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 정전용량패드(131)는, 상기 하부케이스(112)의 양측면 중 어느 하나에 관통 구성되는 컨넥터에 전기적으로 접속된 상태를 가지는 것이 바람직하며, 이때, 상기 컨넥터는 공지의 경고음발생장치 등을 포함하는 모니터링시스템에 유선 또는 무선으로 연결되도록 하는 통신수단 등에 전기적으로 연결된 상태를 가지는 것이 바람직하다.

여기서, 상기 통신수단은 상기 정전용량패드(131)에 전기적으로 접속된 상태에서 감지신호 발생시 외부의 모니터링 시스템이나 관리자에게 유/무선 통신을 통해 안내하고, 상기 경고음발생수단은 통신수단에 감지신호 전달시 해당 경고음을 발생시켜 관리자나 작업자에게 안내하는 것으로, 상기 통신수단, 경고음발생수단 및 이를 이용한 모니터링시스템은 공지의 기술이므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.

따라서 상기 제2누수감지수단(130)에 의하면, 상기 반도체 제조장비들을 연결하는 누수감지부위(J)로부터 누수가 발생되는 경우 누수액과의 접촉시 특정 정전용량을 통하여 이를 감지하고 외부에 경고가 발생되도록 할 수 있고, 이를 통하여, 신속한 대처를 가능하게 하여 안전사고를 방지할 수 있다.

상기 가이드몰드(140)는, 제1누수감지수단(120)과 제2누수감지수단(130) 중 적어도 어느 하나에 구성되어 상기 제1누수감지수단(120)과 제2누수감지수단(130)이 하우징(110) 내부의 형상에 대응된 형상을 유지하도록 함과 동시에 해당 위치에 안정적으로 구성되도록 하는 안착수단으로, 플랫한 판넬 형상을 가지는 제1누수감지수단(120)과 제2누수감지수단(130)이 반원통 또는 원통 형상을 가지면서 누수감지부위(J)로부터 소정 거리 이격된 상태로 하우징(110)의 내부 표면에 위치되도록 제1누수감지수단(120)과 제2누수감지수단(130)의 가장자리가 삽입되도록 하는 삽입홈(141)을 가지는 반고리 또는 고리 형상을 가지는 한 쌍의 몰드프레임(142)을 포함한다.

즉, 상기 가이드몰드(140)에 의하면, 플랫한 형상을 가지는 1누수감지수단(120)과 제2누수감지수단(130)의 가로방향 양측부위가 각각 반고리 또는 고리 형상을 가지는 몰드프레임(142)의 삽입홈(141)에 끼워져 속이 빈 반원통 또는 원통 형상을 가지는 상태에서 하부케이스(112) 또는 상/하부케이스(111,112)의 표면에 안정적으로 위치되도록 할 수 있다.

여기서, 상기 하부케이스(112) 또는 상/하부케이스(111,112)의 내부 표면에는 상기 몰드프레임(142)이 안정적인 상태로 끼워지거나 걸림 지지되도록 하는 장착홈이나 걸림구가 해당 부위에 더 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 가이드몰드(140)는, 상기 제1누수감지수단(120)과 하우징(110)의 내부 표면 사이에 전면적에 소정의 면적을 가지면서 천공 형성되는 다수의 노출공(143a)을 가지는 합성수지 재질 또는 부직포나 라텍스 재질의 필터판넬(143)이 더 구성되어 상기 제1누수감지수단(120)의 변색시 변색부위가 노출공(143a)을 통해 외부로 노출되도록 하여 누수 부위가 미관상 나쁘지 않도록 하는 것이 좋다.

여기서, 상기 필터판넬(143)은, 상기 제1누수감지수단(120)의 일면에 접촉 위치되어 제1누수감지수단(120)이 누수액과의 접촉에 의해 변색 발생시 액체가 제1누수감지수단(120)에 모두 흡수되지 못하는 경우 흡수되지 못한 누수액이 흡수되도록 하는 것이 바람직하다.

따라서 상기 가이드몰드(140)에 의하면, 상기 하우징(110)의 내부에 위치 및 구성되는 제1누수감지수단(120)과 제2누수감지수단(130)이 상기 누수감지부위(J)를 감싸는 형태를 유지하도록 할 수 있다.

이에, 상기와 같은 구성을 가지는 누수감지장치(100)는, 누수액과의 접촉시 변색 반응하는 제1누수감지수단(120)과 누수액과의 접촉시 전기적으로 반응하는 제2누수감지수단(130)이 하우징(110)의 내부에 수용 위치된 상태에서 누수감지부위(J)를 커버하면서 누수감지부위(J)에 장착됨으로써, 누수감지부위(J)로부터 발생된 누수액과의 접촉시 변색과 전기적 신호로 이에 대한 감지를 출력하여 작업자로 하여금 육안 등의 시각과 알람 경고음 등의 청각을 통해 이를 인지하도록 하여 신속한 대처를 가능하게 할 수 있다.

한편, 본 발명의 바람직한 제1실시예의 누수감지장치(100)는, 상기 제1누수감지수단(120)과 제2누수감지수단(130) 중 적어도 어느 하나가 하우징(110)을 통해 누수감지부위(J)를 커버하면서 구성되도록 하고 있으나, 반도체 장비의 모든 누수 예정 부위에 구성될 수 없으며 이러한 경우 상기 누수감지장치(100)가 구성되지 않은 부위로부터 누수 발생시 이를 감지할 수 없어 장비가 설치된 바닥이나 grating 하부로 누수가 투하되어 전기 제품이나 전력 배전수단 등에 쇼트 등을 발생시키는 것을 억제할 수 없다.

이에, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 바람직한 제2실시예는, 반도체 장비가 설치된 바닥에 grating과 일체로 구성 위치되어 상기 반도체 장비로부터 발생된 누수 투하시 이를 감지하도록 하여 작업자로 하여금 상기 제1실시예의 누수감지장치(100)가 구성되지 않은 부위에서 발생되는 누수를 감지하게 할 수 있는 블록 방식의 누수감지장치를 제공한다.

도 5는 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 누수감지장치를 나타낸 사시도이고, 도 6은 도 5의 누수감지장치를 나타낸 분해사시도이며, 도 7은 도 5의 누수감지장치의 작용을 나타낸 도면이다.

도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 누수감지장치(200)는, 반도체 장비가 설치된 바닥에 펼쳐지거나 놓여 지도록 하기 위한 소정의 형상과 공간을 가지면서 해당 부위에 안착 구성되고 누수감지부위(J)로부터 누수 발생시 액체 또는 유체가 외부로 누수 되지 못하도록 방지하는 블록 타입의 안착용 커버블록(210), 커버블록(210)의 내부에 수용 위치되고 시약이 함침 및 건조되어 누수감지부위(J)로부터 누수된 액체와의 접촉시 특정색으로 변색되는 제1누수감지수단(220), 커버블록(210)의 내부에 수용 위치되고 누수감지부위(J)로부터 누수된 액체의 접촉시 이를 전기적으로 감지하는 제2누수감지수단(230) 및 커버블록(210)의 상측 개구부위에 결합되어 상기 제1 및 제2누수감지수단(220,230)을 보호하며 바닥 판넬 기능을 제공하는 그레이팅(240) 등을 포함한다.

상기 커버블록(210)은, 반도체 장비가 설치된 바닥에 펼쳐지거나 놓여 지도록 하기 위한 소정의 형상과 공간을 가지면서 해당 부위에 안착 구성되고 누수감지부위(J)로부터 누수 발생시 액체 또는 유체가 외부로 누수 되지 못하도록 방지하는 블록 타입의 안착수단으로, 상측면이 개구되고 내부에 소정의 공간을 가지는 박스형상을 통하여 누수액이 흘러 넘쳐 외부로 누수되는 것을 방지하는 블록바디(211), 블록바디(211)의 상측면 개구부위 가장자리에 소정 폭으로 형성되어 볼트와 너트 등과 같은 체결부재를 통해 후술된 그레이팅(240)이 결합되도록 하는 결합용플랜지(212) 및 블록바디(211)의 외측면이 각각 인접한 블록바디들의 외측면에 상호간 밀착 결합되도록 하여 복수개의 블록바디(211)들이 소정의 면적을 가지도록 하여 바닥 기능을 제공하도록 하는 조인트(213) 등을 포함한다.

즉, 상기 커버블록(210)은, 플랜지 파이프, 유니온 파이프, 플랜지 밸브 파이프 및 유니온 밸브 파이프 등과 같은 파이프와 파이프의 연결부위에 해당되는 누수감지부위(J)를 가지는 반도체 장비가 스탠딩되는 바닥 기능을 제공하며, 복수개가 상호간 인접한 것들끼리 결합되어 소정의 면적으로 연장 또는 확장 결합되는 것이 바람직하다. 여기서, 상기 커버블록(210)은 박스형상의 바디 측면 부위에 인접한 커버블록끼리 상호간 연결 결합되기 위한 결합부(미도시)가 구성될 수 있고, 이때, 상기 결합부는 암수 컨넥터 방식이거나 자석 방식인 것이 바람직하다.

따라서 상기 커버블록(210)에 의하면, 누수감지부위(J) 또는 이를 가지는 반도체장비의 바닥면에 간단하게 안착 구성됨으로써, 누수감지부위(J)로부터 누수된 액체가 외부로 누수되는 것을 방지할 수 있고, 더불어, 후술된 제1누수감지수단(220)이 누수액과의 접촉시 특정 색으로 변색이 진행되는 것을 외부의 작업자로 하여금 쉽게 육안으로 확인하도록 하여 신속한 대처를 가능하게 하고 안전사고를 방지할 수 있다.

상기 제1누수감지수단(220)은, 커버블록(210)의 내부에 수용 구성되고 시약이 함침 및 건조되어 누수감지부위(J)로부터 누수된 액체와의 접촉시 특정색으로 변색되는 화학적 누수감지수단으로, 흡수력이 뛰어난 섬유재질 또는 종이재질의 패드에 인체에 무해하면서도 천연 재료로 특수 처리된 시약이 흡수 및 건조 처리되는 것을 통해 제조된다.

따라서 상기 제1누수감지수단(220)에 의하면, 반도체 제조장비들을 연결하는 누수감지부위(J)로부터 누수가 발생되는 경우 누수액과의 접촉시 특정 색으로 변색이 진행되어 작업자로 하여금 이를 육안으로 확인하도록 할 수 있고, 이를 통하여, 신속한 대처를 가능하게 하여 안전사고를 방지할 수 있다.

상기 제2누수감지수단(230)은, 커버블록(210)의 내부에 구성되고 누수감지부위(J)로부터 누수된 액체의 접촉시 이를 전기적으로 감지하는 전기적 누수감지수단으로, 누수감지부위(J)로부터 누수 발생시 누수되는 액체나 가스의 접촉을 진동, 압력, 온도, 단락 및 정전용량을 통하여 감지하고 이에 대한 해당 전기적 신호를 발생시켜 공지의 경고음발생장치 등을 포함하는 모니터링시스템에 전달하여 근접한 위치에 위치된 작업자들의 신속한 대처와 외부에 위치된 관리자에게 신속한 알림을 가능하게 할 수 있다.

여기서, 상기 제2누수감지수단(230)은, 누수액의 접촉을 정전용량을 통하여 감지하는 정전용량감지수단으로, 보다 바람직하게는, 정전용량터치기판, 상기 정전용량터치기판에 형성되는 전극패턴, 상기 전극패턴과의 전기적 연결을 위한 회로 배선을 구성하는 회로기판, 상기 회로기판과 전극패턴에 각각 접촉되는 부분을 포함하여 회로기판의 회로 배선과 전극패턴을 서로 전기적으로 연결하는 상태로 접착하는 도전성접촉부재를 포함하는 정전용량패드(231)와, 정전용량패드(231)에 관통 형성되는 다수의 누수액 관통공(232)을 포함한다.

즉, 상기 정전용량패드(231)는 누수액이 정전용량터치기판에 접촉시 이를 정전용량의 변화를 통하여 감지할 수 있다.

또한, 상기 누수액관통공(232)은, 상기 정전용량패드(231)가 누수액과 접촉된 상태를 지속적으로 유지하는 것을 방지하기 위해 형성된다. 보다 상세하게는, 커버블록(210)의 내부에 제1누수감지수단(220)과 제2누수감지수단(230)이 같이 구성되는 경우 누수를 육안으로 식별되도록 하는 변색 작용하는 제1누수감지수단(220)이 커버블록(210)의 상측면 개구부위에 노출 위치되어야 하고 제1누수감지수단(220)과 커버블록(210)의 내부 바닥면 사이에 제2누수감지수단(230)이 위치되어야 한다. 이때, 상기 커버블록(210)의 경우 누수감지부위(J)로부터 누수가 발생시 누수액이 어느 정도 커버블록(210)의 측면을 통해 외부로 배수 또는 제2누수감지수단(230)과 커버블록(210)의 내부 바닥면에 더 위치되는 흡수용필터(미도시)에 흡수되지 않는 경우 더 이상 누수가 진행되지 않더라도 지속적으로 감지를 하는 상태를 가지게 되므로, 상기 누수액관통공(232)을 통해 누수액이 외부로 배수 또는 흡수용필터에 흡수되도록 하여 제3누수감지수단(230)의 표면에 항상 누수액이 존재하는 것을 방지하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 정전용량패드(231)는, 상기 커버블록(210)의 블록바디(211) 외측면 중 적어도 어느 하나에 관통 구성되는 컨넥터(233)에 전기적으로 접속된 상태를 가지는 것이 바람직하며, 이때, 상기 컨넥터(233)는 공지의 경고음발생장치 등을 포함하는 모니터링시스템에 유선 또는 무선으로 연결되도록 하는 통신수단 등에 전기적으로 연결된 상태를 가지는 것이 바람직하다.

여기서, 상기 통신수단은 상기 정전용량패드(231)에 전기적으로 접속된 상태에서 감지신호 발생시 외부의 모니터링 시스템이나 관리자에게 유/무선 통신을 통해 안내하고, 상기 경고음발생수단은 통신수단에 감지신호 전달시 해당 경고음을 발생시켜 관리자나 작업자에게 안내하는 것으로, 상기 통신수단, 경고음발생수단 및 이를 이용한 모니터링시스템은 공지의 기술이므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.

따라서 상기 제2누수감지수단(230)에 의하면, 상기 반도체 제조장비들을 연결하는 누수감지부위(J)로부터 누수가 발생되는 경우 누수액과의 접촉시 특정 정전용량을 통하여 이를 감지하고 외부에 경고가 발생되도록 할 수 있고, 이를 통하여, 신속한 대처를 가능하게 하여 안전사고를 방지할 수 있다.

상기 그레이팅(240)은, 커버블록(210)의 결합용플랜지(212)에 체결부재을 통해 결합되어 상기 제1 및 제2누수감지수단(220,230)을 보호하며 바닥 판넬 기능을 제공하는 수단으로, 공지의 재질과 투명 또는 반투명한 색상을 가지고, 보다 바람직하게는, 누수감지부위(J)로부터 누수되는 액체가 반도체장비를 타고 흘러서 커버블록(210)으로 유동되는 경우 커버블록(210) 내부로 액체가 투입되도록 하는 다수의 액체투입공(미부호)을 가지는 것이 바람직하다.

이에, 상기와 같은 구성을 가지는 누수감지장치(200)는, 누수액과의 접촉시 변색 반응하는 제1누수감지수단(220)과 누수액과의 접촉시 전기적으로 반응하는 제2누수감지수단(230)이 커버블록(210)의 내부에 수용된 상태에서 그레이팅(240)에 의해 커버된 후 반도체 제조장비가 스탠딩되는 바닥부에 안착됨으로써, 누수감지부위(J)로부터 발생된 누수액과의 접촉시 변색과 전기적 신호로 이에 대한 감지를 출력하여 작업자로 하여금 육안 등의 시각과 알람 경고음 등의 청각을 통해 이를 인지하도록 하여 신속한 대처를 가능하게 할 수 있다.

따라서 본 발명에 의하면, 특수 처리된 시약이 함침 및 건조된 상태의 누수감지수단이 누수감지부위에 구성된 상태에서 누수 발생시 누수액에 의해 변색되는 것을 통하여, 작업자에게 연결관의 누수 유무를 육안으로 쉽게 확인하도록 할 수 있다.

또한, 감지패드를 통하여 누수감지수단을 통하여 반도체 장비로부터 누수 발생시 부저 등을 통해 현장의 작업자나 관리자에게 시각 및 청각으로 안내가 이루어짐과 동시에, 외부의 모니터링 시스템이나 관리자에게도 통신을 통하여 안내가 이루어지도록 하여 신속한 조치 및 대응을 가능하게 할 수 있다.

상술한 본 발명에서는 구체적인 실시예에 관해 설명하였으나, 여러 가지 변형이 본 발명의 범위에서 벗어나지 않고 실시될 수 있다. 따라서 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 청구 범위와 청구 범위의 균등한 것에 의해 정해져야 한다.

Claims

누수감지부위(J)의 외부에 누수감지부위(J)를 커버하면서 장착 구성되는 케이스 타입의 장착용 하우징(110); 및
하우징(110)의 내부에 가이드몰드(140)를 통해 구성되고 시약이 함침 및 건조되어 누수감지부위(J)로부터 누수된 액체와의 접촉시 특정색으로 변색되는 제1누수감지수단(120)과, 하우징(110)의 내부에 가이드몰드(140)를 통해 구성되고 누수감지부위(J)로부터 누수된 액체의 접촉시 이를 전기적으로 감지하는 제2누수감지수단(130)을 포함하며,
제2누수감지수단(130)은,
누수감지부위(J)로부터 누수 발생시 누수액의 접촉을 정전용량을 통하여 감지하는 정전용량패드(131)와;
정전용량패드(131)에 관통 형성되는 다수의 누수액 관통공(132)을 포함하는 것을 특징으로 하는 누수감지장치.
제1항에 있어서, 하우징(110)은,
투명 또는 반투명한 색상을 가지는 상/하부케이스(111,112);
상/하부케이스(111,112)의 대면 부위에 연장 형성되고 결합부재에 의해 대면 결합되도록 하여 상기 누수감지부위(J)의 외부를 커버하면서 상/하부케이스(111,112)가 장착 구성되도록 하는 장착용플랜지(113,114); 및
장착용플랜지(113,114)의 형상에 대응된 형상을 가지고 장착용플랜지(113,114)의 대면 결합시 상호간 대면되는 누수방지부재(115,116)를 포함하는 것을 특징으로 하는 누수감지장치.
삭제
제1항에 있어서, 가이드몰드(140)는,
제1누수감지수단(120)과 제2누수감지수단(130) 중 적어도 어느 하나의 가장자리가 삽입되도록 하는 삽입홈(141)을 가지는 소정 형상의 몰드프레임(142)인 것을 특징으로 하는 누수감지장치.
반도체 장비가 설치된 바닥에 안착 구성되는 블록 타입의 안착용 커버블록(210);
커버블록(210)의 상측 개구부위에 결합되어 바닥 판넬 기능을 제공하는 그레이팅(240); 및
커버블록(210)의 내부에 수용 위치되고 시약이 함침 및 건조되어 누수감지부위(J)로부터 누수된 액체와의 접촉시 특정색으로 변색되는 제1누수감지수단(220)과, 커버블록(210)의 내부에 수용 위치되고 누수감지부위(J)로부터 누수된 액체의 접촉시 이를 전기적으로 감지하는 제2누수감지수단(230)을 포함하며,
제2누수감지수단(230)은,
누수액의 접촉을 정전용량을 통하여 감지하는 정전용량패드(231)와;
정전용량패드(231)에 관통 형성되는 다수의 누수액 관통공(232)을 포함하는 것을 특징으로 하는 누수감지장치.
제5항에 있어서, 커버블록(210)은,
상측면이 개구되고 내부에 소정의 공간을 가지는 블록바디(211);
블록바디(211)의 상측면 개구부위 가장자리에 소정 폭으로 형성되는 결합용플랜지(212); 및
블록바디(211)의 외측면이 각각 인접한 블록바디들의 외측면에 결합되도록 하는 조인트(213)를 포함하는 것을 특징으로 하는 누수감지장치.
삭제
제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 시약은,
포도당, 식용색소 적색2호, 식용색소 황색 및 H2O가 혼합된 화합물;
Backing Adhesive Sheet, Indicator Cover Adhesive Sheet, Nonwoven Fabric 및 Special Reagents(C6H12O6, C2H5OH, HCL, COCL2·H2O, H2O)가 혼합된 화합물; 및
C6H12O6 10%, C2H5OH 6%, HCL 4%, COCL2.6H2O 25%, MEK 15%, EA 15%, IPA 20%, PM 5%가 혼합된 화합물 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 누수감지장치.