KR101718982B1 - 화학물질 용기를 운반하는 카트 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 화학물질 용기를 운반하는 카트에 관한 것으로서, 상세하게는 반도체 공정에서 웨이퍼 패턴 형성을 위해 공급되는 화학물질 용기를 운반할 때에 사용자에게 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보를 제공하는 카트에 관한 것이다.
이를 위하여, 본 발명에 따른 제1 식별태그가 부착되어 있는 화학물질 용기를 운반하는 카트는 상기 화학물질 용기가 놓이는 각 홀더에 설치되며 상기 화학물질 용기에 부착된 제1 식별태그를 인식하는 제1 리더기와, 상기 화학물질 용기를 사용하여 제조공정을 수행하는 제조장비에 부착된 제2 식별태그를 인식하는 제2 리더기와, 상기 제1 리더기 및 제2 리더기와 근거리 통신을 통해 연결되어 상기 제1 리더기로부터 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보를 수신하고, 상기 제2 리더기로부터 제조장비에 대한 정보를 수신하는 단말장치를 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 단말장치는 상기 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보를 화면에 표시하며, 상기 제조장비에 대한 정보를 관리 서버로 전송한 후 관리 서버로부터 제조장비의 화학물질 사용정보를 수신하여, 해당 제조장비에서 사용 가능한 화학물질이 상기 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보가 표시된 화면에서 시각적으로 인식되도록 하는 것을 특징으로 한다.

Description

화학물질 용기를 운반하는 카트{Cart Carrying Chemical Bottles}
본 발명은 화학물질 용기를 운반하는 카트에 관한 것으로서, 상세하게는 반도체 공정에서 웨이퍼 패턴 형성을 위해 공급되는 화학물질 용기를 운반할 때에 사용자에게 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보를 제공하는 카트에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조공정에서 웨이퍼에 패턴을 형성시키기 위해 감광액 및 현상액을 웨이퍼 표면에 도포하는 도포 공정이 수행된다. 이 도포 공정에서 도포 용액은 웨이퍼 척의 상부에 안착하여 회전하는 웨이퍼 표면에 공급되며, 공급된 도포용액은 원심력에 의해 웨이퍼 표면에 골고루 퍼져나가 웨이퍼 전면을 도포하게 된다.
한편, 이러한 반도체 제조공정에서 사용되는 감광액의 종류가 80여 가지로 각 공정마다 필요한 감광액의 종류가 상이하므로, 이를 보충하고 관리하는 것이 어려울 뿐만 아니라 감광액을 운반하는 과정에서 작업자가 감광액의 종류를 혼동할 경우 웨이퍼 불량을 초래할 수 있다.
따라서, 감광액을 운반하는 과정에서 감광액의 종류를 표시하고, 사용자에게 감광액 용기의 위치정보 및 교체대상 정보를 제공하여 사용자가 감광액을 혼동하지 않도록 하는 운반수단이 필요한 실정이다.
한편, 물품정보를 수신하는 카트에 관한 한국등록특허 제10-0924274호(2009. 10. 23. 등록)는 물품의 RFID 태그를 인식하여 리더기를 통해 정보를 획득하고, 마트 서버와 통신하여 인식된 정보를 표시부에 표시하여 사용자가 원하는 물품의 정보를 제공하는 스마트 카트를 개시하고 있다.
그러나, 상기 선행문헌은 마트에서 사용되는 카트에 한정되어 있으며, 반도체 공정에 사용되는 화학물질을 운반하는 구성은 개시되어 있지 않아 아직까지 본 기술분야에 해당하는 화학물질 용기 운반수단은 발명되지 않고 있다.
KR0924274 10
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 감광액을 운반하는 과정에서 감광액의 종류를 표시하고, 사용자에게 감광액 용기의 위치정보 및 교체대상 정보를 제공하는 기능을 가진 카트를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이를 위하여, 본 발명에 따른 제1 식별태그가 부착되어 있는 화학물질 용기를 운반하는 카트는 상기 화학물질 용기가 놓이는 각 홀더에 설치되며 상기 화학물질 용기에 부착된 제1 식별태그를 인식하여 그 인식결과인 제1 데이터를 휴대단말로 전송하는 제1 리더기와, 상기 화학물질 용기를 사용하여 제조공정을 수행하는 제조장비에 부착된 제2 식별태그를 인식하여 그 인식결과인 제2 데이터를 상기 휴대단말로 전송하는 제2 리더기를 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 제1 식별태그가 부착되어 있는 화학물질 용기를 운반하는 카트의 제1 데이터는 제1 식별태그에 저장된 화학물질 정보 및 상기 제1 리더기의 아이디 정보를 포함하고, 제2 데이터는 제2 식별태그에 저장된 제조장비의 아이디 정보를 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 화학물질 용기 운반용 카트에 사용되는 휴대단말은 화학물질 용기를 운반하는 카트에 설치된 제1 리더기 및 제2 리더기로부터 각각 제1 데이터 및 제2 데이터를 수신하는 제1 통신부와, 화학물질 용기를 사용하여 제조공정을 수행하는 제조장비를 관리하는 관리 서버로 상기 제1 데이터 및 제2 데이터를 전송하는 제2 통신부와, 제1 데이터에 포함된 정보가 표시되는 표시부와, 상기 제1 통신부로부터 제1 데이터를 입력받아 제1 데이터에 포함된 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보가 상기 표시부에 표시되도록 하고, 상기 관리 서버로부터 상기 제2 통신부를 통해 수신된 제조장비의 화학물질 사용정보가 입력되면 해당 제조장비에서 사용 가능한 화학물질이 상기 표시부에 시각적으로 구분되어 표시되도록 하는 제어부를 포함하는 화학물질 용기 운반용 카트에 사용되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 제1 식별태그가 부착되어 있는 화학물질 용기를 운반하는 카트는 상기 화학물질 용기가 놓이는 각 홀더에 설치되며 상기 화학물질 용기에 부착된 제1 식별태그를 인식하는 제1 리더기와, 상기 화학물질 용기를 사용하여 제조공정을 수행하는 제조장비에 부착된 제2 식별태그를 인식하는 제2 리더기와, 상기 제1 리더기 및 제2 리더기와 근거리 통신을 통해 연결되어 상기 제1 리더기로부터 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보를 수신하고, 상기 제2 리더기로부터 제조장비에 대한 정보를 수신하는 단말장치를 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 제1 식별태그가 부착되어 있는 화학물질 용기를 운반하는 카트의 단말장치는 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보를 화면에 표시하며, 제조장비에 대한 정보를 관리 서버로 전송한 후 관리 서버로부터 제조장비의 화학물질 사용정보를 수신하여, 해당 제조장비에서 사용 가능한 화학물질이 상기 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보가 표시된 화면에서 시각적으로 인식되도록 하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 화학물질 용기 운반용 카트에 사용되는 휴대단말의 화학물질 운반 관리 방법은 상기 카트에 설치된 제1 리더기로부터 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보를 포함하는 제1 데이터를 수신하는 단계와, 상기 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보를 사용자 인터페이스 화면에 표시하는 단계와, 상기 카트에 설치된 제2 리더기로부터 제조장비 정보를 포함하는 제2 데이터를 수신하는 단계와, 상기 제1 데이터 및 제2 데이터를 관리 서버로 전송하는 단계와, 상기 관리 서버로부터 제조장비의 화학물질 사용정보를 수신하는 단계와, 상기 제조장비의 화학물질 사용정보에 근거하여 해당 제조장비에서 사용 가능한 화학물질이 시각적으로 구분되도록 상기 사용자 인터페이스 화면에 표시하는 단계를 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 화학물질 용기 운반용 카트 시스템은 단말장치가 화학물질 용기 운반용 카트에 의해 운반되는 화학물질 용기에 대한 정보를 수집하여 관리 서버로 전송하는 단계와, 상기 화학물질 용기 운반용 카트가 제조장비에 접근하면 상기 단말장치가 상기 제조장비로부터 제조장비 정보를 수신하여 상기 관리 서버로 전송하는 단계와, 상기 화학물질 용기 운반용 카트에서 화학물질 용기가 인출되면 상기 단말장치가 그 화학물질 용기의 인출정보를 상기 관리 서버로 전송하는 단계와, 상기 관리 서버가 상기 단말장치로부터 제공받은 제조장비 정보 및 인출정보에 근거하여 상기 제조장비로 화학물질 용기의 교체 신호를 전송하는 단계와, 제조장비 사용자가 화학물질 용기를 교체할 위치를 알 수 있도록 상기 관리 서버로부터 수신한 교체 신호에 따라 상기 제조장비가 그 교체 위치를 시각적으로 표시하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따른 화학물질 용기를 운반하는 카트에 의하면, 휴대단말에 카트에 놓여진 화학물질 용기의 위치 및 종류를 표시하여 사용자가 카트의 수납 상황을 파악하기 쉽도록 한다.
또한, 각 반도체 제조장비에 사용되는 화학물질을 파악하여 휴대단말 및 화학물질 용기에 표시함으로써 화학물질 용기의 운반과정에서 발생하는 혼동 및 관리 상의 어려움을 해소하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 화학물질 용기 운반용 카트를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 화학물질 용기 운반용 카트와 제조장비를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 휴대단말의 개략적인 구성도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 화학물질 용기 운반용 카트의 신호 흐름도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 휴대단말의 표시부를 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 제조장비의 트레이를 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세하게 설명한다. 본 발명의 구성 및 그에 따른 작용 효과는 이하의 상세한 설명을 통해 명확하게 이해될 것이다.
발명의 상세한 설명에 앞서, 동일한 구성요소에 대해서는 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호로 표시하며, 공지된 구성에 대해서는 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 구체적인 설명은 생략하기로 함에 유의한다.
이하 첨부되는 도면을 참조하여 본 발명에 따른 화학물질 용기를 운반하는 카트를 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 화학물질 용기 운반용 카트(100)를 나타낸 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 화학물질 용기 운반용 카트(100)(이하 '카트(100)')는 제1 식별태그(32)가 부착되어 있는 화학물질 용기(30)와, 상기 화학물질 용기(30)가 놓이는 홀더(12)와, 상기 홀더(12)에 설치되며 상기 화학물질 용기(30)에 부착된 제1 식별태그(32)를 인식하여 그 인식결과인 제1 데이터를 휴대단말(200)로 전송하는 제1 리더기(10)를 포함하여 구성된다.
화학물질 용기(30)는 화학물질을 안전하게 보관할 수 있도록 유리 또는 플라스틱 재질로 이루어져 있으며, 일측이 개구된 형태로 화학물질을 추출할 수 있게 되어 있다.
또한, 화학물질 용기(30)에는 복수의 화학물질 용기마다 각각의 제1 식별태그(32)가 부착되며, 상기 제1 식별태그(32)는 화학물질 용기(30)의 밑면 또는 측면에 부착되거나 용기 자체에 내장될 수 있다.
이와 같은 제1 식별태그(32) 및 후술되는 제2 식별태그(302)는 상기 화학물질 용기(30)의 정보를 저장할 수 있는 것이라면 현재까지 알려진 어떤 수단이라도 적용할 수 있다.
예를 들어, 상기 제1 식별태그(32) 및 제2 식별태그(302)는 바코드 형태 또는 RFID 방식의 태그, MFC 방식의 태그를 사용할 수 있으며 이는 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 어느 방식이라도 적용 가능하다.
홀더(12)는 화학물질 용기(30)를 수용하며, 각 홀더(12)마다 상기 화학물질 용기(30)에 부착된 제1 식별태그(32)를 인식할 수 있도록 제1 리더기(10)가 설치된다.
따라서, 카트(100)는 복수의 제1 리더기(10)를 구비하며, 홀더(12)에 수용된 화학물질 용기(30) 수만큼의 제1 리더기(10)가 설치된다.
제1 리더기(10)는 제1 식별태그(32)와 일대일 대응되어 식별할 수 있는 위치에 설치되므로, 상기 제1 식별태그(32)와 대응되는 위치라면 어디든지 설치될 수 있다.
예를 들어, 제1 식별태그(32)가 화학물질 용기(30)의 밑면에 부착되어 있는 경우라면 제1 리더기(10)가 홀더(12)의 바닥면에 설치되어 일대일 대응할 수 있으며, 상기 제1 식별태그(32)가 화학물질 용기(30) 자체에 내장된 경우라면 상기 화학물질 용기(30)와 홀더(12)가 맞닿는 부분에 설치되어 일대일 대응할 수 있다.
이와 같은 제1 리더기(10)는 제1 식별태그(32)에 저장된 화학물질 정보 및 상기 제1 리더기(10)의 아이디 정보를 포함하는 제1 데이터를 생성하며, 상기 제1 데이터를 통해 화학물질 용기(30)의 종류 및 위치 정보를 파악할 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 카트(100)와 제조장비(300)를 나타낸 도면이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 카트(100)는 화학물질 용기(30)를 사용하여 제조공정을 수행하는 제조장비(300)에 부착된 제2 식별태그(302)를 인식하여 그 인식결과인 제2 데이터를 휴대단말(200)로 전송하는 제2 리더기(20)를 포함하여 구성된다.
제조장비(300)는 반도체 트랙장비로서 일반적인 리소그래피 공정인 감광제 도포(Photoresist Coating) 공정, 노광(Exposure) 공정, 현상(Development) 공정을 순차적으로 진행하여 빛에 민감한 감광제를 사용하여 웨이퍼 상에 원하는 반도체 소자의 회로 패턴을 형성한다.
이러한 제조장비(300)에는 제2 식별태그(302)가 부착되어 있으며, 상기 제2 식별태그(302)는 복수의 제조장비(300) 각각의 아이디 정보를 저장한다.
또한, 제조장비(300)는 반도체 소자의 회로 패턴에 따라 사용되는 감광제의 종류가 상이하여, 감광제 종류에 따른 제조장비(300)의 사용정보는 관리 서버(400)에 저장된다.
카트(100)에는 제2 식별태그(302)를 인식할 수 있는 제2 리더기(20)가 부착된다. 상기 제2 리더기(20)는 제2 식별태그(302)에 저장된 제조장비(300)의 아이디 정보를 포함하는 제2 데이터를 생성하며, 상기 제2 데이터를 통해 카트(100)가 어느 제조장비(300)와 근접하여 있는지 파악할 수 있다.
예를 들어, 카트(100)가 제조장비(300)에 접근하면 상기 카트(100)에 설치된 제2 리더기(20)가 RFID 통신으로 상기 제조장비(300)에 부착된 제2 식별태그를 인식하고, 그 인식결과가 휴대단말(200)을 통해 관리 서버(400)로 전송되어 상기 관리 서버(400)가 카트(100)가 해당 제조장비(300)와 근접한 것을 인식함으로써 상기 카트(100)의 위치를 파악할 수 있다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 휴대단말(200)의 개략적인 구성도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 휴대단말(200)은 제1 통신부(202) 및 제2 통신부(204)와, 표시부(206), 메모리(208), 제어부(210)로 구성된다.
상기 휴대단말(200)는 스마트폰이나 태블릿 PC 등과 같은 단말기 또는 통신기능 및 표시기능을 내장하고 있는 단말장치가 사용될 수 있다.
제1 통신부(202)는 카트(100)에 설치된 다수의 제1 리더기(10)로부터 제1 데이터를 수신하고, 제2 리더기로(20)부터 제2 데이터를 수신한다. 이와 같은 제1 통신부(202)는 각각의 리더기와 근거리 통신을 위해 근거리 통신의 하나인 RFID 또는 블루투스 방식을 채용할 수 있다.
제2 통신부(204)는 상기 제1 데이터(카트에 위치한 화학물질 용기 정보) 및 제2 데이터(제조장비 정보)를 관리 서버(400)로 전송하고, 상기 관리 서버(400)로부터 제조 장비(300)의 화학물질 사용정보를 수신한다. 이와 같은 제2 통신부(204)는 관리 서버(400)와 통신을 위해 Wifi와 같은 무선 랜 방식을 채용할 수 있다.
관리 서버(400)는 제조장비(300)의 데이터를 저장하고 관리한다. 상기 관리서버(400)는 제2 데이터인 제조장비(300) 아이디 및 화학물질 종류에 따른 제조장비(300)의 사용정보를 연계하여 각각의 제조장치(300) 데이터를 생성한다.
이를 위하여, 상기 관리 서버는 각각의 제조장비를 관리하기 위한 유선 통신망을 구축하고 있으며, LAN 통신망을 이용한 데이터 서버를 포함하고 있다.
표시부(206)는 카트(100)에 놓인 화학물질 용기(30)의 종류 및 위치정보인 제1 데이터를 표시하고, 제조장비(300)에서 사용되는 특정 화학물질 용기(30)가 시각적으로 구분되도록 한다.
또한, 표시부(206)가 터치스크린으로 이루어진 경우 표시부(206)와 입력부(미도시)가 일체로 구성될 수 있으며, LCD나 LED 등의 디스플레이 패널로 구성된 경우 표시부(20)와 별도로 키패드나 버튼 등의 입력부(미도시)가 구성될 수 있다.
메모리(208)는 화학물질 정보 및 제1 리더기(10)의 아이디 정보를 포함하는 제1 데이터와 제조장비(300)의 아이디 정보를 포함하는 제2 데이터를 저장한다.
제어부(210)는 제1 통신부(202)로부터 제1 데이터를 입력받아 상기 제1 데이터에 포함된 화학물질 정보 및 화학물질 용기(30)의 위치정보를 표시부(206)에 표시한다.
또한, 제어부(210)는 제2 통신부(204)를 통해 제조장비(300)에 대한 정보를 관리 서버(400)로 전송한 후 상기 관리 서버(400)로부터 상기 제조 장비(300)의 화학물질 사용정보를 수신하여, 해당 제조장비(300)에서 사용 가능한 화학물질을 표시부(206)에 시각적으로 구분되어 표시되도록 제어한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 카트(100)에서 각 구성요소 간의 신호 흐름을 나타낸 것이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 신호 흐름도는 본 발명에 따른 카트(100)의 구성요소인 제1 리더기(10), 제2 리더기(20) 및 휴대단말(200)과 관리서버(400) 간의 신호 흐름으로 이루어진다.
먼저, 카트(100)에 설치된 제1 리더기(10)가 제1 식별태그(32)로부터 화학물질 정보 및 화학물질 용기(30)의 위치정보를 포함하는 제1 데이터(a)를 수신한다. 상기 제1 리더기(10)는 제1 데이터(a)를 휴대단말(200)로 송신하고, 상기 휴대단말(200)은 상기 제1 데이터(a)를 사용자 인터페이스 화면(230)에 표시한다.
상기 사용자 인터페이스 화면(230)은 후술할 도 5의 휴대단말의 표시부(206)에 나타나며, 카트(100)에 놓여있는 화학물질 용기(30)의 종류 및 위치를 사용자에게 표시한다.
다음, 카트(100)가 제조장비(300)에 접근하면, 상기 카트(100)에 설치된 제2 리더기(20)는 제2 식별태그(302)로부터 해당 제조장비(300) 정보를 포함하는 제2 데이터(b)를 수신한다.
상기 제2 리더기(20)는 제2 데이터(b)를 휴대단말(200)로 송신하고, 상기 휴대단말(200)은 송신된 제1 데이터(a) 및 제2 데이터(b)를 카트 정보(c)로 변환하여 관리 서버(400)로 전송한다.
상기 관리 서버(400)는 카트(100) 내에 화학물질 용기(30)의 위치 및 종류 정보(제 1데이터) 및 카트와 인접한 제조장비(300)의 정보(제2 데이터)를 모두 저장하고 있으며, 상기 카트 정보(c)에 따라 해당 제조장비(300)에서 사용하는 화학물질 정보인 제조장비(300)의 사용정보(d)를 휴대단말(300)에 전송한다.
상기 휴대단말(300)은 제조장비(300)의 제조장비 사용정보(d)에 근거하여 해당 제조장비(300)에서 사용 가능한 화학물질이 시각적으로 구분되도록 휴대단말의 사용자 인터페이스 화면(230)에 표시한다.
다음, 사용자가 상기 사용자 인터페이스 화면 표시에 따라 카트(100)에서 화학물질 용기(30)를 인출하면, 상기 카트(100)에 설치된 제1 리더기(10)가 상기 화학물질 용기(30)의 인출을 감지하게 되고, 해당 화학물질 용기(30)의 위치 및 종류 정보를 인출 정보(e)로 변환하여 휴대단말(200)로 송신한다.
상기 휴대단말(300)은 송신된 인출정보(e)를 관리서버(400)로 전송하고, 상기 관리 서버(400)는 저장되어 있던 제조장비(300)의 정보(제2 데이터) 및 상기 인출정보(e)에 근거하여 해당 제조장비(300)로 화학물질 용기(30)의 교체 신호(f)를 전송한다.
싱기 제조장비(300)는 사용자가 화학물질 용기(30)를 교체할 위치를 파악할 수 있도록 관리 서버(400)로부터 수신한 교체 신호(f)에 따라 그 교체 위치를 시각적으로 표시한다.
상기 교체 신호는 제조 장치의 트레이에서 해당 화학물질 용기를 표시하는 신호로서, 후술할 제조 장치의 발광체를 통해 시각적으로 표시된다.
이와 같은 과정에 따라 본 발명에 따른 화학물질 용기(30)를 운반하는 카트(100)는 카트(100)에 놓여진 화학물질 용기(30)의 위치 및 종류와 제조장비(300)에서 사용되는 화학물질의 종류를 휴대단말(200)에 표시하고, 또한 제조장비(300)는 내부에 놓인 화학물질 용기(30)에 교체 표시를 함으로써, 본 발명은 사용자가 운반과정에서 겪는 혼동 및 관리상의 어려움을 해소하는 효과가 있다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 휴대단말(200)의 표시부(206)를 나타낸 도면이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 휴대단말(200)은 표시부(206)에 사용자 인터페이스 화면(230)을 표시한다.
사용자 인터페이스 화면(230)은 카트(100)에 놓인 화학물질 용기(30)를 나타내고, 그 중에 특정 화학물질 용기(30)를 구분 표시(220)하여 사용자가 필요한 화학물질 용기(30)를 파악하기 쉽도록 한다. 여기서 구분 표시(220)는 화학물질 용기와 다른 색상, 다른 이미지 추가, 용기 이미지의 점멸 등으로 구현될 수 있다.
이러한 사용자 인터페이스 화면(230)는 제1 데이터(a)에 따라 화학물질 용기(30)의 종류 및 위치를 나타내며, 제조장비(300)의 사용정보(d)에 따라 특정 화학물질 용기(30)를 구분 표시(220)하는 기능을 통해 해당 제조장비(300)에 교체될 화학물질 용기(30)를 표시한다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 제조장비(300)의 트레이(310)를 나타낸 도면이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 제조장비(300)는 화학물질 용기(30)가 놓이는 트레이(310)와, 상기 화학물질 용기(30)를 수용하는 수용부(312)와, 상기 수용부(312)마다 구비된 발광체(314)를 포함하여 구성된다.
트레이(310)는 화학물질 용기(30)를 수납할 수 있도록 밑면이 평평하게 형성되나, 상기 트레이(310)의 형상은 도면에 도시된 것에 국한되지 않으며 화학물질 용기(30)를 수납할 수 있는 형태라면 원형 내지 정사각형 등의 형상일 수 있음에 유의한다.
이와 같은 트레이(310)는 화학물질 용기(30)를 수용할 수 있도록 다수의 수용부(312)를 포함하여 구성된다.
수용부(312)는 화학물질 용기(30)를 수납할 수 있도록 내부가 오목한 원통 형태일 수 있으며, 화학물질 용기(30)를 수납할 수 있는 형태라면 홈이 파여진 형태 내지 홀더 형태 등으로 이루어질 수 있음에 유의한다.
발광체(314)는 수용부(312) 전면에 각각 구비되어 있으며, 상기 발광체(314)를 통해 사용자는 특정 수용부(314)를 인식하게 된다.
예를 들어, 관리 서버(400)는 화학물질을 사용하는 제조장비(300)의 사용 정보에 따라 교체신호를 제조장비(300)로 보내고, 제조장비(300)에 근접한 카트(100)에서 해당 화학물질 용기(30)가 인출되면 인출정보가 관리서버(400)로 전송되며, 상기 제조장비(300)는 교체할 화학물질 용기(30)의 위치에 대응하는 발광체(314)가 발광되도록 한다.
상기 발광체(314)는 수용부(314)에 화학물질 용기(30)가 수용되는 부분마다 구비되어야 하며, 상기 화학물질 용기(30)의 개수와 동일한 개수로 구비되어야 한다.
여기서 발광체(314)가 구비된 위치는 해당 실시예에 한정된 것일 뿐 사용자가 상기 발광체(314)를 인식할 수 있는 위치라면 수용부(314)의 어느 부분에나 구비가 가능하며, 다른 실시예로 트레이(310)의 바닥면에 구비되는 것 또한 가능하다.
본 발명의 실시예에 따른 카트(100)는 홀더(12)에 전자저울을 추가적으로 설치할 수 있다. 이 경우 휴대단말(200)은 전자저울로부터 화학물질 용기(30)의 무게 정보를 수신하며, 이를 통해 사용자는 화학물질 사용 전에 화학물질 용기(30)에 화학물질이 정량 납품되었는지 여부를 확인할 수 있고 사용 후에는 화학물질의 소비량을 확인할 수 있다.
또한 사용자는 화학물질의 소비량을 통해 제조장비(300)의 상태를 진단할 수 있는데, 예를 들어 화학물질을 충분히 소비하지 못했을 경우 용기의 노즐이나 기구 이상 등을 점검할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명을 예시적으로 설명한 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형이 가능할 것이다.
따라서 본 발명의 명세서에 개시된 실시예들은 본 발명을 한정하는 것이 아니다. 본 발명의 범위는 아래의 특허청구범위에 의해 해석되어야 하며, 그와 균등한 범위 내에 있는 모든 기술도 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석해야 할 것이다.
10: 제1 리더기 12: 홀더
20: 제2 리더기
30: 화학물질 용기 32: 제1 식별태그
100: 카트
200: 휴대단말 202: 제1 통신부
204: 제2 통신부 206: 표시부
208: 메모리 210: 제어부
220: 구분 표시 230: 사용자 인터페이스 화면
300: 제조장비 302: 제2 식별태그
310: 트레이 312: 수용부
314: 발광체
400: 관리 서버

Claims (8)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 화학물질 용기를 운반하는 카트에 설치된 제1 리더기 및 제2 리더기로부터 각각 제1 데이터 및 제2 데이터를 수신하는 제1 통신부와,
    화학물질 용기를 사용하여 제조공정을 수행하는 제조장비를 관리하는 관리 서버로 상기 제1 데이터 및 제2 데이터를 전송하는 제2 통신부와,
    제1 데이터에 포함된 정보가 표시되는 표시부와,
    상기 제1 통신부로부터 제1 데이터를 입력받아 제1 데이터에 포함된 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보가 상기 표시부에 표시되도록 하고, 상기 관리 서버로부터 상기 제2 통신부를 통해 수신된 제조장비의 화학물질 사용정보가 입력되면 해당 제조장비에서 사용 가능한 화학물질이 상기 표시부에 시각적으로 구분되어 표시되도록 하는 제어부를 포함하는 화학물질 용기 운반용 카트에 사용되는 휴대단말.
  4. 제1 식별태그가 부착되어 있는 화학물질 용기를 운반하는 카트에 있어서,
    상기 화학물질 용기가 놓이는 각 홀더에 설치되며 상기 화학물질 용기에 부착된 제1 식별태그를 인식하는 제1 리더기와,
    상기 화학물질 용기를 사용하여 제조공정을 수행하는 제조장비에 부착된 제2 식별태그를 인식하는 제2 리더기와,
    상기 제1 리더기 및 제2 리더기와 근거리 통신을 통해 연결되어 상기 제1 리더기로부터 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보를 수신하고, 상기 제2 리더기로부터 제조장비에 대한 정보를 수신하는 단말장치를 포함하여,
    상기 단말장치는 상기 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보를 화면에 표시하며, 상기 제조장비에 대한 정보를 관리 서버로 전송한 후 관리 서버로부터 제조장비의 화학물질 사용정보를 수신하여, 해당 제조장비에서 사용 가능한 화학물질이 상기 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보가 표시된 화면에서 시각적으로 인식되도록 하는 것을 특징으로 화학물질 용기 운반용 카트.
  5. 삭제
  6. 제4항에 있어서,
    상기 화학물질 용기가 놓이는 각 홀더에 설치되어 상기 화학물질 용기의 무게를 측정하는 전자저울을 더 포함하는 화학물질 용기 운반용 카트.
  7. 화학물질 용기 운반용 카트에 사용되는 휴대단말의 화학물질 운반 관리 방법에 있어서,
    상기 카트에 설치된 제1 리더기로부터 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보를 포함하는 제1 데이터를 수신하는 단계와,
    상기 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보를 사용자 인터페이스 화면에 표시하는 단계와,
    상기 카트에 설치된 제2 리더기로부터 제조장비 정보를 포함하는 제2 데이터를 수신하는 단계와,
    상기 제1 데이터 및 제2 데이터를 관리 서버로 전송하는 단계와,
    상기 관리 서버로부터 제조장비의 화학물질 사용정보를 수신하는 단계와,
    상기 제조장비의 화학물질 사용정보에 근거하여 해당 제조장비에서 사용 가능한 화학물질이 시각적으로 구분되도록 상기 사용자 인터페이스 화면에 표시하는 단계를 포함하는 방법.
  8. 단말장치가 화학물질 용기 운반용 카트에 의해 운반되는 화학물질 용기에 대한 정보를 수집하여 관리 서버로 전송하는 단계와,
    상기 화학물질 용기 운반용 카트가 제조장비에 접근하면 상기 단말장치가 상기 제조장비로부터 제조장비 정보를 수신하여 상기 관리 서버로 전송하는 단계와,
    상기 화학물질 용기 운반용 카트에서 화학물질 용기가 인출되면 상기 단말장치가 그 화학물질 용기의 인출정보를 상기 관리 서버로 전송하는 단계와,
    상기 관리 서버가 상기 단말장치로부터 제공받은 제조장비 정보 및 인출정보에 근거하여 상기 제조장비로 화학물질 용기의 교체 신호를 전송하는 단계와,
    제조장비 사용자가 화학물질 용기를 교체할 위치를 알 수 있도록 상기 관리 서버로부터 수신한 교체 신호에 따라 상기 제조장비가 그 교체 위치를 시각적으로 표시하는 단계를 포함하는 방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109895830A (zh) * 2019-03-27 2019-06-18 泰奥星（天津）有限公司 一种可移动式润滑油桶存放运输架

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102496795B1 (ko) * 2017-07-11 2023-02-06 현대자동차 주식회사 재고관리 시스템 및 그 방법
KR101960805B1 (ko) * 2018-06-27 2019-03-21 주식회사 엔이아이디 반도체 공정에서의 모듈형 용액 관리 시스템

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1149315A (ja) * 1997-07-31 1999-02-23 Sorubetsukusu:Kk 物品配布用台車、及び、物品配布システム
KR100924274B1 (ko) 2007-08-13 2009-10-30 주식회사 이엠따블유안테나 스마트 카트를 이용한 쇼핑 시스템 및 쇼핑 방법
KR20100013213A (ko) * 2008-07-30 2010-02-09 전남대학교산학협력단 Ｒｆｉｄ 리더 및 질량측정기가 구비된 물체운반기
KR20100006123U (ko) * 2008-12-09 2010-06-17 현대엘리베이터주식회사 알에프아이디를 적용한 맵 카트 시스템

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109895830A (zh) * 2019-03-27 2019-06-18 泰奥星（天津）有限公司 一种可移动式润滑油桶存放运输架

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