KR101716477B1 - 진공 증발원용 증발율 측정 장치 - Google Patents

진공 증발원용 증발율 측정 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101716477B1
KR101716477B1 KR1020150090896A KR20150090896A KR101716477B1 KR 101716477 B1 KR101716477 B1 KR 101716477B1 KR 1020150090896 A KR1020150090896 A KR 1020150090896A KR 20150090896 A KR20150090896 A KR 20150090896A KR 101716477 B1 KR101716477 B1 KR 101716477B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
chamber
bellows
evaporation source
sensor
vacuum evaporation
Prior art date
Application number
KR1020150090896A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20170001217A (ko
Inventor
황도원
문일권
차수영
김동우
Original Assignee
(주)알파플러스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)알파플러스 filed Critical (주)알파플러스
Priority to KR1020150090896A priority Critical patent/KR101716477B1/ko
Publication of KR20170001217A publication Critical patent/KR20170001217A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101716477B1 publication Critical patent/KR101716477B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N13/00—Investigating surface or boundary effects, e.g. wetting power; Investigating diffusion effects; Analysing materials by determining surface, boundary, or diffusion effects
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
    • H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

본 발명은 진공 증발원으로부터 증발되는 박막 형성용 물질의 증발율을 실시간으로 측정할 수 있는 진공 증발원용 증발율 측정 장치를 제공하는 것이 그 기술적 과제이다. 이를 위해, 본 발명의 진공 증발원용 증발율 측정 장치는, 고 진공 상태의 챔버에 내장된 진공 증발원으로부터 증발되는 박막 형성용 물질의 증발율을 측정하는 진공 증발원용 증발율 측정 장치로, 상기 챔버의 일측에 관통되게 형성되는 제1 통과공; 상기 제1 통과공을 통해 상기 챔버의 내부에 구비되며 상기 박막 형성용 물질의 증발율을 실시간 측정하는 제1 센서; 및 상기 챔버의 외부 중 상기 제1 통과공 측에 구비되며 상기 제1 센서를 선형 이동시키는 제1 선형 이송부를 포함한다.

Description

진공 증발원용 증발율 측정 장치{Evaporation-rate measuring apparatus for vacuum effusion cell}
본 발명은 웨이퍼나 기판 상에 박막을 형성하기 위해 사용되는 진공 증발원에 관한 것이다.
일반적으로, 진공 증발원은, 고 진공의 챔버 내에 배치된 기판상에 소정의 박막을 형성하기 위하여 박막 형성용 물질을 가열하여 증발시키는 것으로, 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 표면에 특정 물질로 이루어진 박막을 형성하거나, 대형 평판 디스플레이 장치의 제조 공정에서 유리 기판 등의 표면에 원하는 물질의 박막을 형성하는 데 사용되고 있다.
특히, 박막 형성용 물질은 진공 증발원으로부터 증발되면서 웨이퍼나 기판에 증착된다. 따라서, 웨이퍼나 기판에 증착되는 박막 형성용 물질의 증착 두께를 정확히 알기 위해서는 박막 형성용 물질의 증발율을 측정할 필요가 있다.
도 1은 기존의 진공 증발원용 증발율 측정 장치를 개략적으로 나타낸 일부 절개 단면도이다.
기존의 진공 증발원용 증발율 측정 장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 고 진공의 챔버(1)의 내부에 고정되되 진공 증발원(2)의 길이 방향에 대해 수직되게 고정되는 기판 홀더(10)와, 기판 홀더(10)에 착탈 가능하게 장착되며 진공 증발원(10)으로부터 증발되어 나오는 박막 형성용 물질(도 1의 화살표 참조)이 증착되는 복수의 측정용 기판(20)을 포함한다. 따라서, 복수의 측정용 기판(20)에 증착된 박막 형성용 물질의 증착 두께를 측정하여, 그 누적된 데이터를 가지고 해석을 통해 박막 형성용 물질의 증발율을 예측하게 된다.
하지만, 기존의 진공 증발원용 증발율 측정 장치는, 복수의 측정용 기판(20)의 증착 두께를 각각 측정해야 하므로 시간이 많이 소요되고, 기판 홀더(10)가 진공 증발원(2)의 길이 방향에 대해 수직되게 고정되어 있어 동일 높이에서의 증착 두께의 누적된 데이터를 가지고 증발율을 예측하게 되므로 그 정확도가 떨어지는 문제가 있다.
본 발명의 기술적 과제는, 진공 증발원으로부터 증발되는 박막 형성용 물질의 증발율을 실시간으로 측정할 수 있는 진공 증발원용 증발율 측정 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 기술적 과제는, 진공 증발원으로부터 증발되는 박막 형성용 물질의 증발율에 대한 정확도를 높일 수 있는 진공 증발원용 증발율 측정 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 진공 증발원용 증발율 측정 장치는, 고 진공 상태의 챔버에 내장된 진공 증발원으로부터 증발되는 박막 형성용 물질의 증발율을 측정하는 진공 증발원용 증발율 측정 장치로, 상기 챔버의 일측에 관통되게 형성되는 제1 통과공; 상기 제1 통과공을 통해 상기 챔버의 내부에 구비되며 상기 박막 형성용 물질의 증발율을 실시간 측정하는 제1 센서; 및 상기 챔버의 외부 중 상기 제1 통과공 측에 구비되며 상기 제1 센서를 선형 이동시키는 제1 선형 이송부를 포함하고, 상기 제1 선형 이송부는, 상기 제1 센서를 상기 진공 증발원의 길이 방향에 대해 수직이 되는 제1 방향으로 이동시키고, 상기 제1 센서는, 상기 진공 증발원으로부터 상방으로 이격된 상태를 유지하면서, 상기 제1 방향으로 이동되는 동안 상기 진공 증발원으로부터 복수의 방향으로 증발되는 각각의 박막 형성용 물질의 증발율을 실시간으로 측정한다.
삭제
상기 제1 통과공은 상기 챔버와 일체로 형성되는 제1 챔버용 플랜지에 의해 감싸질 수 있고, 상기 제1 선형 이송부는, 상기 제1 챔버용 플랜지에 결합되며 관통공을 가지는 제1 이송용 플랜지; 상기 제1 이송용 플랜지에 구비되며 신축 가능한 제1 벨로우즈; 상기 제1 센서에 일단이 구비되고 타단이 상기 제1 벨로우즈의 말단에 구비되는 제1 직선 바; 상기 제1 벨로우즈를 상기 진공 증발원의 길이 방향에 대해 수직이 되는 방향으로 신축 가능하게 지지하는 제1 신축 지지부; 및 상기 제1 벨로우즈를 신축시키는 제1 가압부를 포함할 수 있다.
상기 제1 신축 지지부는, 상기 제1 이송용 플랜지에 구비되되 상기 제1 벨로우즈와 평행하게 구비되는 지지봉; 및 상기 제1 벨로우즈에 그 길이 방향을 따라 간격을 두고 구비되고 상기 지지봉에 각각 삽입되어 상기 제1 벨로우즈의 신축에 따라 슬라이딩되면서 간격이 커지거나 작아지는 복수의 지지 브라켓을 포함할 수 있다.
상술한 본 발명의 실시예에 다른 진공 증발원용 증발율 측정 장치는, 상기 챔버의 타측에 관통되게 형성되는 제2 통과공; 상기 제2 통과공을 통해 상기 챔버의 내부에 구비되며 상기 박막 형성용 물질의 증발율을 실시간 측정하는 제2 센서; 및 상기 챔버의 외부 중 상기 제2 통과공 측에 구비되며 상기 제2 센서를 선형 이동시키는 제2 선형 이송부를 더 포함할 수 있고, 상기 제2 선형 이송부는, 상기 제2 센서를 상기 박막 형성용 물질의 복수의 증발 방향 중 어느 하나의 증발 방향으로 이동시키거나 그 반대 방향으로 이동시킬 수 있다.
상기 제2 통과공은 상기 챔버와 일체로 형성되는 제2 챔버용 플랜지에 의해 감싸질 수 있고, 상기 제2 선형 이송부는, 상기 제2 챔버용 플랜지에 결합되며 관통공을 가지는 제2 이송용 플랜지; 상기 제2 이송용 플랜지에 구비되며 신축 가능한 제2 벨로우즈; 상기 제2 센서에 일단이 구비되고 타단이 상기 제2 벨로우즈의 말단에 구비되는 제2 직선 바; 상기 제2 벨로우즈를 상기 어느 하나의 증발 방향 및 그 반대 방향으로 신축 가능하게 지지하는 제2 신축 지지부; 및 상기 제2 벨로우즈를 신축시키는 제2 가압부를 포함할 수 있다.
이상에서와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 진공 증발원용 증발율 측정 장치는 다음과 같은 효과를 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 제1 통과공과, 제1 센서와, 그리고 제1 선형 이송부를 포함하는 기술구성을 제공하므로, 제1 센서가 진공 증발원으로부터 상방으로 이격된 상태에서 제1 선형 이송부에 의해 진공 증발원의 길이 방향에 대해 수직이 되는 방향으로 좌우 이동되면서 박막 형성용 물질의 증발율을 실시간 측정할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 의하면, 제2 통과공과, 제2 센서와, 그리고 제2 선형 이송부를 포함하는 기술구성을 제공하므로, 제2 선형 이송부에 의해 제2 센서가 박막 형성용 물질의 복수의 증발 방향 중 어느 하나의 증발 방향으로 이동되거나 그 반대 방향으로 이동되면서 서로 다른 높이에서의 박막 형성용 물질의 증발율이 측정되어 보다 정확하게 증발율을 측정할 수 있다.
도 1은 기존의 진공 증발원용 증발율 측정 장치를 개략적으로 나타낸 일부 절개 단면도이다.
도 2는 본 발명의 진공 증발원용 증발율 측정 장치를 개략적으로 나타낸 일부 절개 단면도이다.
도 3은 제1 센서가 제1 선형 이송부에 의해 동작되는 과정을 나타낸 도면이다.
도 4는 진공 증발원의 수직 상방의 한 높이에서 제1 센서가 진공 증발원의 길이 방향에 대해 수직되는 방향으로 이동되면서 증발율을 측정한 그래프이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도 2는 본 발명의 진공 증발원용 증발율 측정 장치를 개략적으로 나타낸 일부 절개 단면도이고, 도 3은 제1 센서가 제1 선형 이송부에 의해 동작되는 과정을 나타낸 도면이며, 그리고 도 4는 진공 증발원의 수직 상방의 한 높이에서 제1 센서가 진공 증발원의 길이 방향에 대해 수직되는 방향으로 이동되면서 증발율을 측정한 그래프이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증발원용 증발율 측정 장치는, 고 진공 상태의 챔버(1)에 내장된 진공 증발원(2)으로부터 증발되는 박막 형성용 물질의 증발율을 측정하는 진공 증발원용 증발율 측정 장치로, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 통과공(110)과, 제1 센서(120)와, 그리고 제1 선형 이송부(130)를 포함한다. 이하, 도 2 및 도 3을 계속 참조하여, 각 구성요소에 대해 상세히 설명한다.
제1 통과공(110)은, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 챔버(1)의 일측에 관통되게 형성된다. 나아가, 제1 선형 이송부(130)와의 긴밀한 결합으로 외부 공기가 고 진공 상태의 챔버(1) 내로 유입되는 것으로 막기 위해, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 챔버(1) 중 제1 통과공(110) 측에는 제1 챔버용 플랜지(111)가 챔버(1)와 일체로 형성될 수 있고, 제1 통과공(110)은 제1 챔버용 플랜지(111)에 의해 감싸질 수 있다.
제1 센서(120)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 통과공(110)을 통해 챔버(1)의 내부에 구비되며, 박막 형성용 물질의 증발율을 실시간 측정한다. 예를 들어, 제1 센서(120)는 이에 도달되는 박막 형성용 물질의 시간당 양을 감지하도록 설계되어 증발율 측정할 수 있다.
제1 선형 이송부(130)는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 챔버(1)의 외부 중 제1 통과공(110) 측에 마련된 제1 챔버용 플랜지(111)에 긴밀하게 결합되며 제1 센서(120)를 선형 이동시키는 역할을 한다. 특히, 제1 선형 이송부(130)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 센서(120)를 진공 증발원(2)의 길이 방향(L1)에 대해 수직이 되는 방향(예를 들면, 지면에 대해 수평이 되는 방향일 수 있음)으로 좌우 이동시킬 수 있다(도 2 및 도 3의 화살표 참조).
따라서, 제1 센서(120)가 진공 증발원(2)으로부터 상방으로 이격된 상태에서 제1 선형 이송부(130)에 의해 진공 증발원(2)의 길이 방향에 대해 수직이 되는 방향으로 좌우 이동되면서 박막 형성용 물질의 증발율을 실시간 측정할 수 있다.
예를 들어, 제1 선형 이송부(130)는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 이송용 플랜지(131), 제1 벨로우즈(bellows)(132), 제1 직선 바(133), 제1 신축 지지부(134), 그리고 제1 가압부(135)를 포함할 수 있다.
제1 이송용 플랜지(131)는, 제1 챔버용 플랜지(111)와 함께 고 진공 챔버(1)로 외부 공기가 유입되지 않도록 하기 위해 마련된 것으로, 제1 통과공(110)에 연통되면 제1 직선 바(133)가 삽입되는 관통공을 가지며 제1 챔버용 플랜지(111)와 긴밀하게 결합된다.
제1 벨로우즈(132)는, 제1 이송용 플랜지(131)의 관통공을 통해 외부의 공기가 고 진공 챔버(1)로 유입되지 못하도록 함과 동시에 제1 센서(120)가 이동 중에도 그 밀봉 상태를 유지할 수 있도록 하는 역할을 하며, 신축 가능한 재질로 이루어진다.
제1 직선 바(133)는, 제1 센서(120)에 일단이 구비되고 타단이 제1 벨로우즈(132)의 말단에 구비되어, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이 제1 벨로우즈(132)가 수축되면 제1 직선 바(133)가 진공 증발원(2)의 길이 방향에 대해 수직 되는 방향을 따라 도면상 좌측으로 나오면서 전진하고, 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이 제1 벨로우즈(132)가 신장되면 제1 직선 바(133)가 도면상 우측으로 들어가면서 후퇴한다.
제1 신축 지지부(134)는, 제1 벨로우즈(132)가 신축되는 동안 제1 벨로우즈(132)를 진공 증발원(2)의 길이 방향에 대해 수직이 되는 방향으로 신축 가능하게 지지하는 역할을 한다. 예를 들어, 제1 신축 지지부(134)는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 지지봉(134a)과 복수의 지지 브라켓(134b)을 포함할 수 있다. 지지봉(134a)은 복수의 지지 브라켓(134b)의 이동을 안내하는 것으로 제1 이송용 플랜지(131)에 구비되되 제1 벨로우즈(132)와 평행하게 구비되고, 복수의 지지 브라켓(134b)은 제1 벨로우즈(132)에 그 길이 방향을 따라 간격을 두고 구비되고 지지봉(134a)에 각각 삽입되어 제1 벨로우즈(132)의 신축에 따라 슬라이딩되면서 그 간격이 작아지거나 커질 수 있다. 따라서, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이 제1 벨로우즈(132)가 수축되면 복수의 지지 브라켓(134b)의 간격이 작아지면서 제1 벨로우즈(132)를 직선 이동시키게 되고, 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이 제1 벨로우즈(132)가 신장되면 복수의 지지 브라켓(134b)의 간격이 커지면서 제1 벨로우즈(132)를 직선 이동시키게 된다. 다른 예로, 도시되지는 않았지만, 제1 신축 지지부는 신축 가능한 텔레스코프 타입(telescope type)을 가질 수도 있다.
제1 가압부(135)는, 제1 벨로우즈(132)를 신축시키는 역할을 한다. 예를 들어, 제1 가압부(135)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 벨로우즈(132)로 유압을 공급하는 유압 공급 라인(135a)과 유압 공급 라인(135a)으로 유압 제공하는 유압원(135b)을 포함할 수 있다. 따라서, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이 유압원(135b)과 유압 공급 라인(135a)을 통해 제1 벨로우즈(132)의 유압이 빠지게 되면 제1 벨로우즈(132)가 수축됨과 동시에 제1 직선 바(133)가 진공 증발원(2)의 길이 방향에 대해 수직 되는 방향을 따라 도면상 좌측으로 나오면서 이의 말단에 구비된 제1 센서(120)가 좌측으로 이동되고, 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이 유압원(135b)과 유압 공급 라인(135a)을 통해 제1 벨로우즈(132)로 유압이 공급되면 제1 벨로우즈(132)가 그 유압에 의해 신장됨과 동시에 제1 직선 바(133)가 도면상 우측으로 들어가면서 이의 말단에 구비된 제1 센서(120)가 우측으로 이동된다. 다른 예로, 도시되지는 않았지만, 제1 가압부는 제1 벨로우즈의 말단에 고정되는 피스톤과, 그리고 이 피스톤을 밀거나 당기는 유압 실린더를 포함하는 기술구성을 가질 수도 있다.
이하, 도 4를 참조하여, 상술한 본 발명의 일 실시예에 다른 진공 증발원용 증발율 측정 장치를 가지고 실험한 결과에 대해 설명한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 단위 시간당 증발하는 박막 형성용 물질의 양을 나타내는 상대적 증발율이, 진공 증발원(2)의 길이 방향(L1)에 대해 수직되는 방향(예를 들면, 지면에 대해 수평인 방향일 수 있음)을 기준으로, 진공 증발원(2)의 중심(그래프의 X축에서 0 Cm에 해당)에서 멀어질수록 점점 작아짐을 확인할 수 있었다.
나아가, 도 4의 그래프에 표시된 역삼각형 기호에 적힌 10%, 정삼각형 기호에 적힌 25%, 별 모양 기호에 적힌 50%, 원형 기호에 적인 75%, 그리고 사각형 기호에 적힌 100%는 박막 형성용 물질이 진공 증발원(2)의 도가니에 담겨진 상대적 양을 나타낸 것으로, 도 4에 도시된 바와 같이 상대적인 양의 차이에 불구하고 거의 동일한 증발율 패턴을 가지는 것을 확인할 수 있었다.
따라서, 이러한 증발율 패턴을 가지고, 시뮬레이션을 통해 대상 웨이퍼 또는 기판에 증착되는 박막의 균일도를 계산할 수 있다.
이와 더불어, 상술한 본 발명의 일 실시예에 다른 진공 증발원용 증발율 측정 장치는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 통과공(140)과, 제2 센서(150)와, 그리고 제2 선형 이송부(160)를 더 포함할 수 있다.
제2 통과공(140)은, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 챔버(1)의 타측에 관통되게 형성된다. 나아가, 제2 선형 이송부(160)와의 긴밀한 결합으로 외부 공기가 고 진공 상태의 챔버(1) 내로 유입되는 것으로 막기 위해, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 챔버(1) 중 제2 통과공(140) 측에는 제2 챔버용 플랜지(141)가 챔버(1)와 일체로 형성될 수 있고, 제2 통과공(140)은 제2 챔버용 플랜지(141)에 의해 감싸질 수 있다.
제2 센서(150)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 제2 통과공(140)을 통해 챔버(1)의 내부에 구비되며, 박막 형성용 물질의 증발율을 실시간 측정한다. 예를 들어, 제2 센서(150)는, 상술한 제1 센서(120)와 같이, 이에 도달되는 박막 형성용 물질의 시간당 양을 감지하도록 설계되어 증발율 측정할 수 있다.
제2 선형 이송부(160)는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 챔버(1)의 외부 중 제2 통과공(140) 측에 마련된 제2 챔버용 플랜지(141)에 긴밀하게 결합되며 제2 센서(150)를 선형 이동시키는 역할을 한다. 특히, 제2 선형 이송부(160)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 제2 센서(150)를 박막 형성용 물질의 복수의 증발 방향 중 어느 하나의 증발 방향(L2)으로 이동시키거나 그 반대 방향으로 이동시킬 수 있다(도 2 및 도 3의 화살표 참조).
따라서, 제2 선형 이송부(160)에 의해 제2 센서가 박막 형성용 물질의 복수의 증발 방향 중 어느 하나의 증발 방향(L2)으로 이동되거나 그 반대 방향으로 이동되면서 서로 다른 높이에서의 박막 형성용 물질의 증발율이 측정되므로 보다 정확하게 증발율을 측정할 수 있다.
예를 들어, 제2 선형 이송부(160)는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 이송용 플랜지(161), 제2 벨로우즈(162), 제2 직선 바(163), 제2 신축 지지부(164), 그리고 제2 가압부(165)를 포함할 수 있다. 특히, 제2 선형 이송부(160)는 그 동작되는 방향만 다를 뿐 상술한 제1 선형 이송부(130)와 동일하므로, 이하에서는 그 동작에 대해서만 설명하기로 한다.
제2 가압부(165)를 통해 제2 벨로우즈(162)의 유압이 빠지면 제2 벨로우즈(162)가 수축됨과 동시에 제2 직선 바(163)가 하나의 증발 방향(L2)의 반대 방향으로 이동되면서 이의 말단에 구비된 제2 센서(150)가 하나의 증발 방향(L2)의 반대 방향으로 이동되면서 전진하고, 제2 가압부(165)를 통해 유압이 제2 벨로우즈(162)로 유입되면 제2 벨로우즈(162)가 그 유압에 의해 신장됨과 동시에 제2 직선 바(163)가 하나의 증발 방향(L2)으로 이동되면서 이의 말단에 구비된 제2 센서(150)가 하나의 증발 방향(L2)으로 이동되면서 후퇴한다. 한편, 다른 예로, 도시되지는 않았지만, 제2 가압부가 제2 벨로우즈의 말단에 고정되는 피스톤과, 그리고 이 피스톤을 밀거나 당기는 유압 실린더를 포함하는 기술구성을 가질 경우, 유압 실린더로부터 피스톤이 나오면 제2 벨로우즈가 수축되고, 유압 실린더로 피스톤이 들어가면 제2 벨로우즈가 신장될 수도 있다.
이상에서와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증발원용 증발율 측정 장치는 다음과 같은 효과를 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 제1 통과공(110)과, 제1 센서(120)와, 그리고 제1 선형 이송부(130)를 포함하는 기술구성을 제공하므로, 제1 센서(120)가 진공 증발원(2)으로부터 상방으로 이격된 상태에서 제1 선형 이송부(130)에 의해 진공 증발원(2)의 길이 방향(L1)에 대해 수직이 되는 방향으로 좌우 이동되면서 박막 형성용 물질의 증발율을 실시간 측정할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 제2 통과공(140)과, 제2 센서(150)와, 그리고 제2 선형 이송부(160)를 포함하는 기술구성을 제공하므로, 제2 선형 이송부(160)에 의해 제2 센서(150)가 박막 형성용 물질의 복수의 증발 방향 중 어느 하나의 증발 방향(L2)으로 이동되거나 그 반대 방향으로 이동되면서 서로 다른 높이에서의 박막 형성용 물질의 증발율이 측정되어 보다 정확하게 증발율을 측정할 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
1: 고 진공 챔버 2: 진공 증발원
110: 제1 통과공 111: 제1 챔버용 플랜지
120: 제1 센서 130: 제1 선형 이송부
131: 제1 이송용 플랜지 132: 제1 벨로우즈
133: 제1 직선 바 134: 제1 신축 지지부
134a: 지지봉 134b: 복수의 지지 브라켓
135: 제1 가압부 140: 제2 통과공
141: 제2 챔버용 플랜지 150: 제2 센서
160: 제2 선형 이송부 161: 제2 이송용 플랜지
162: 제2 벨로우즈 163: 제2 직선 바
164: 제2 신축 지지부 165: 제2 가압부
L1: 진공 증발원의 길이 방향 L2: 증발 방향

Claims (6)

  1. 고 진공 상태의 챔버에 내장된 진공 증발원으로부터 증발되는 박막 형성용 물질의 증발율을 측정하는 진공 증발원용 증발율 측정 장치로,
    상기 챔버의 일측에 관통되게 형성되는 제1 통과공;
    상기 제1 통과공을 통해 상기 챔버의 내부에 구비되며 상기 박막 형성용 물질의 증발율을 실시간 측정하는 제1 센서; 및
    상기 챔버의 외부 중 상기 제1 통과공 측에 구비되며 상기 제1 센서를 선형 이동시키는 제1 선형 이송부를 포함하고,
    상기 제1 선형 이송부는,
    상기 제1 센서를 상기 진공 증발원의 길이 방향에 대해 수직이 되는 제1 방향으로 이동시키고,
    상기 제1 센서는,
    상기 진공 증발원으로부터 상방으로 이격된 상태를 유지하면서, 상기 제1 방향으로 이동되는 동안 상기 진공 증발원으로부터 복수의 방향으로 증발되는 각각의 박막 형성용 물질의 증발율을 실시간으로 측정하는
    진공 증발원용 증발율 측정 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에서,
    상기 제1 통과공은 상기 챔버와 일체로 형성되는 제1 챔버용 플랜지에 의해 감싸지고,
    상기 제1 선형 이송부는,
    상기 제1 챔버용 플랜지에 결합되며 관통공을 가지는 제1 이송용 플랜지;
    상기 제1 이송용 플랜지에 구비되며 신축 가능한 제1 벨로우즈;
    상기 제1 센서에 일단이 구비되고 타단이 상기 제1 벨로우즈의 말단에 구비되는 제1 직선 바;
    상기 제1 벨로우즈를 상기 진공 증발원의 길이 방향에 대해 수직이 되는 방향으로 신축 가능하게 지지하는 제1 신축 지지부; 및
    상기 제1 벨로우즈를 신축시키는 제1 가압부
    를 포함하는
    진공 증발원용 증발율 측정 장치.
  4. 제3항에서,
    상기 제1 신축 지지부는
    상기 제1 이송용 플랜지에 구비되되 상기 제1 벨로우즈와 평행하게 구비되는 지지봉; 및
    상기 제1 벨로우즈에 그 길이 방향을 따라 간격을 두고 구비되고 상기 지지봉에 각각 삽입되어 상기 제1 벨로우즈의 신축에 따라 슬라이딩되면서 간격이 커지거나 작아지는 복수의 지지 브라켓
    을 포함하는
    진공 증발원용 증발율 측정 장치.
  5. 제1항에서,
    상기 진공 증발원용 증발율 측정 장치는,
    상기 챔버의 타측에 관통되게 형성되는 제2 통과공;
    상기 제2 통과공을 통해 상기 챔버의 내부에 구비되며 상기 박막 형성용 물질의 증발율을 실시간 측정하는 제2 센서; 및
    상기 챔버의 외부 중 상기 제2 통과공 측에 구비되며 상기 제2 센서를 선형 이동시키는 제2 선형 이송부를 더 포함하고,
    상기 제2 선형 이송부는,
    상기 제2 센서를 상기 박막 형성용 물질의 복수의 증발 방향 중 어느 하나의 증발 방향으로 이동시키거나 그 반대 방향으로 이동시키는
    진공 증발원용 증발율 측정 장치.
  6. 제5항에서,
    상기 제2 통과공은 상기 챔버와 일체로 형성되는 제2 챔버용 플랜지에 의해 감싸지고,
    상기 제2 선형 이송부는,
    상기 제2 챔버용 플랜지에 결합되며 관통공을 가지는 제2 이송용 플랜지;
    상기 제2 이송용 플랜지에 구비되며 신축 가능한 제2 벨로우즈;
    상기 제2 센서에 일단이 구비되고 타단이 상기 제2 벨로우즈의 말단에 구비되는 제2 직선 바;
    상기 제2 벨로우즈를 상기 어느 하나의 증발 방향 및 그 반대 방향으로 신축 가능하게 지지하는 제2 신축 지지부; 및
    상기 제2 벨로우즈를 신축시키는 제2 가압부
    를 포함하는
    진공 증발원용 증발율 측정 장치.
KR1020150090896A 2015-06-26 2015-06-26 진공 증발원용 증발율 측정 장치 KR101716477B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150090896A KR101716477B1 (ko) 2015-06-26 2015-06-26 진공 증발원용 증발율 측정 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150090896A KR101716477B1 (ko) 2015-06-26 2015-06-26 진공 증발원용 증발율 측정 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170001217A KR20170001217A (ko) 2017-01-04
KR101716477B1 true KR101716477B1 (ko) 2017-03-15

Family

ID=57831760

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150090896A KR101716477B1 (ko) 2015-06-26 2015-06-26 진공 증발원용 증발율 측정 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101716477B1 (ko)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010077469A (ja) 2008-09-25 2010-04-08 Hitachi Zosen Corp 真空蒸着設備の膜厚検出装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012112034A (ja) * 2010-11-04 2012-06-14 Canon Inc 真空蒸着装置
KR101243031B1 (ko) * 2011-02-21 2013-03-20 엘아이지에이디피 주식회사 막두께 측정장치 및 이를 구비한 증착 장비
KR101449447B1 (ko) * 2013-03-18 2014-10-14 주식회사 선익시스템 증착챔버의 센서 이동장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010077469A (ja) 2008-09-25 2010-04-08 Hitachi Zosen Corp 真空蒸着設備の膜厚検出装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20170001217A (ko) 2017-01-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101223723B1 (ko) 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치
CN104290445B (zh) 紧凑有机蒸汽喷射印刷打印头
CN102686764B (zh) 成膜装置以及成膜方法
US9048460B2 (en) Deposition apparatus and method for manufacturing organic light emitting display apparatus by using the same
JP5957322B2 (ja) 蒸着装置並びに蒸着方法
KR102253563B1 (ko) 비접촉식 정렬을 위한 방법 및 장치
US10276797B2 (en) Vapor deposition device, vapor deposition method, and method for manufacturing organic electroluminescence element
CN102956843A (zh) El器件的制造方法
TW201902586A (zh) 工件加工裝置、工件加工方法及電腦記憶媒體
CN103305796A (zh) 蒸发源装置及真空蒸镀装置、以及有机el显示装置的制造方法
KR101716477B1 (ko) 진공 증발원용 증발율 측정 장치
KR102206594B1 (ko) 가압모듈 및 기판 스트레칭 장치
KR20160055448A (ko) 두께 측정용 보조 센서를 포함하는 박막 증착 장치
JP5832779B2 (ja) 液滴塗布装置及び液滴塗布方法
KR102177060B1 (ko) 기판을 프로세싱하기 위한 장치, 기판을 프로세싱하기 위한 시스템, 및 이를 위한 방법들
KR101456671B1 (ko) 기판처짐 방지 장치
KR101741217B1 (ko) 기판의 얼라인 방법
JP6502528B2 (ja) 発振水晶のための拡散バリア、堆積速度を測定するための測定アセンブリ及びその方法
CN103993268A (zh) 一种坩埚
JP2007144374A (ja) 塗布装置および塗布方法
KR102337249B1 (ko) 증발된 재료를 기판 상에 증착하기 위한 증발 소스, 증착 장치, 증발된 재료의 증기압을 측정하기 위한 방법, 및 증발된 재료의 증발 레이트를 결정하기 위한 방법
KR102092251B1 (ko) 증착시스템
KR20160090984A (ko) 위치 가변 마그넷 플레이트
KR101480723B1 (ko) 증착 시스템
KR102568327B1 (ko) 트림 플레이트를 갖는 증착 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200108

Year of fee payment: 4