KR101705973B1 - 유전체 전자기파 차폐막 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유전체 전자기파 차폐막에 관한 것으로, 유전체로서, 플레이트 형상의 하층; 및 상기 하층 상부에 적층 되는 유전체로서, 요철구조의 일정한 주기적 패턴을 형성하는 상층을 포함한다.
이와 같은 본 발명은, 차폐효율이 높은 전자기파 차폐막을 제공하고, 대상주파수의 변환 및 조절이 용이한 유전체 전자기파 차폐막을 제공한다. 또한, 전기적인 안정성을 보장하고 낙뢰와 같은 과전류의 인가로부터 안전할 뿐만 아니라, 항공기 및 실외 장비 적용이 가능한 유전체 전자기파 차폐막을 제공한다.

Description

유전체 전자기파 차폐막{ELECTROMAGNETIC WAVE SHILEDING DIELECTRIC FILM}

본 발명은 전자기파 차폐막에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전자기파 차폐효율을 높이고 대상주파수의 변환 또는 조절이 가능한 유전체 전자기파 차폐막에 관한 것이다.

근래, 디지털 기술과 반도체 산업 등의 급진적인 발전에 따라 전자/전기 장치의 소형화, 경량화, 고속화 및 광대역화가 이루어지고 있다. 그런데, 이러한 전자/전기 장치는 서로간의 미소한 전자기파 방해에 민감하여 손쉽게 오동작을 일으킨다. 이러한 전자기파 장해에 대한 대책으로, 전자기파를 금속으로 반사시켜 차폐하는 전자기파 차폐기법과, 전자기파 흡수체에 의해 전자기파를 흡수하는 전자기파 흡수기법이 있는데, 전자기파 차폐기법은 차폐된 불요 전자기파가 추가적인 피해를 유발하는 단점이 있기 때문에 최근에는 전자기파 흡수기법이 많이 인용되고 있다.

도 1은 종래의 단층형 전자기파 흡수체의 단면도이다. 도 1을 참조하여, 종래의 단층형 전자기파 흡수체(100)를 설명하면 다음과 같다. 단층형 전자기파 흡수체(100)는 흡수층(120)과 흡수층(120)의 배면에 적층된 경계층(130)으로 이루어져 있다. 흡수층은 저자기파를 흡수하는 역할을 하며, 유전성손실물질 또는 자성손실물질을 포함한다. 경계층(130)은 흡수층에서 흡수되지 못하고 투과된 전자기파를 차폐하고 반사시키는 역할을 하며, 완전도체(perfect electric conductor)로 이루어져 있다.

이와 같이, 일반적인 유전체를 이용한 전자기파 차폐 구조물은 통상적으로 유전체 기판에 도전체(electric conductor) 패턴의 주기적 배열 및 접지를 위한 도전체층의 구비가 필요하다. 또는, 유전성 손실 판(dielectric lossy plate) 및 자성 손실 판(magnetic lossy plate)을 여러 층으로 적층하는 구조로서, 구조 내부로 입사한 전자기파가 표면층에 투과되어 최 하단의 층에 이르기까지 적층된 흡수층을 통과하며 지속적으로 감쇄되는 흡수성능을 보인다. 그리고 적층형 전자기파 차폐 구조물은 도전체 또는 도전성 물질이 삽입됨으로써, 흡수 또는 차폐율이 떨어지고 대상 주파수 변화에 민감할 뿐만 아니라, 전기적 안정성이 떨어지는 문제점이 있었다.

대한민국 공개특허공보 제10-2012-0085956(공개일자: 2012년08월02일) 대한민국 등록특허공보 제10-1401769호(등록일자: 2014년06월23일)

본 발명에 따른 유전체 전자기파 차폐막은 다음과 같은 해결과제를 가진다.

첫째, 차폐효율이 높은 전자기파 차폐막을 제공하고자 함이다.

둘째, 대상주파수의 변환 및 조절이 용이한 유전체 전자기파 차폐막을 제공하고자 함이다.

셋째, 전기적인 안정성을 보장하고 낙뢰와 같은 과전류의 인가로부터 안전할 뿐만 아니라, 항공기 및 실외 장비 적용이 가능한 유전체 전자기파 차폐막을 제공하고자 함이다.

본 발명의 해결과제는 이상에서 언급한 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.

상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 제1 특징은, 유전체로서, 플레이트 형상의 하층; 및 상기 하층 상부에 적층 되는 유전체로서, 요철구조의 일정한 주기적 패턴을 형성하는 상층을 포함한다.

여기서, 상기 요철구조는, 상층의 상면 및 하면에 주기적 패턴으로 홈부를 형성하고, 상기 상면 및 하면의 홈부는 서로 이격되어 엇갈리도록 형성하는 것이 바람직하고, 상기 상면의 홈부는 2개의 홈구조가 연속하여 인접한 하나의 홈 구조이고, 상기 하면의 홈부는 하나의 홈 구조인 것이 바람직하다.

또한, 상기 상면 및 하면의 홈부는, 수직 홈구조와 경사 홈구조가 깊이 방향으로 결합된 구조인 것이 바람직하고, 상기 상면의 홈부와 상기 하면의 홈부의 이격거리에 따라 전자기파 차폐효율이 조절되는 것이 바람직하며, 상기 상면 및 하면 홈부의 수직 홈구조의 깊이에 따라 전자기파의 차폐효율이 조절되는 것이 바람직하다.

더하여, 상기 하층은 상기 전자기파의 투과를 방지하는 투과방지막인 것이 바람직하고, 상기 상층 및 하층의 유전율이 서로 다른 것이 바람직하며, 상기 상층 및 하층의 유전율이 서로 동일한 것이 바람직하다.

또한, 바람직하게는 상기 상층 및/또는 하층의 가로 길이, 세로 길이 및 두께 중 적어도 어느 하나의 변화에 따라 차폐효율이 조절되는 것일 수 있고, 상기 상층의 가로 길이, 세로 길이 및 두께 중 적어도 어느 하나의 변화에 따라 대상주파수가 조절된 것일 수 있고, 상기 상층 및 하층의 각 가로 길이, 세로 길이 및 두께를 포함하는 크기가 서로 다른 것일 수 있으며, 상기 상층의 최상단 표면층에 보호 피막이 형성되는 것일 수 있다.

그리고, 본 발명의 제2 특징은, 유전체로서 플레이트 형상의 제1 하층과, 상기 하층에 상부에 적층 되는 유전체로서 요철구조의 일정한 주기적 패턴을 형성하는 제1 상층으로 구성된 제1 차폐막; 및 플레이트 형상의 유전체로서 상기 제1 상층 상부에 적층되는 제2 하층과, 상기 제2 하층 상부에 적층되는 유전체로서 요철구조의 일정한 주기적 패턴을 형성하는 제2 상층으로 구성된 제2 차폐막을 포함하되, 복수개의 차폐막이 적층된 다층 구조인 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 요철구조는, 상기 제1 및 제2 차폐막의 각 상층의 상면과 하면에 주기적 패턴으로 홈부를 형성하고, 각 차폐막의 상면 및 하면의 홈부는 서로 이격되어 엇갈리도록 형성하는 것이 바람직하고, 상기 제1 및 제2 차폐막의 각 상층의 상면 홈부는 2개의 홈구조가 연속하여 인접한 하나의 홈 구조이고, 상기 제1 및 제2 상층의 각 상층의 하면 홈부는 하나의 홈 구조인 것이 바람직하다.

또한, 상기 상면 및 하면의 홈부는, 수직 홈구조와 경사 홈구조가 깊이 방향으로 결합된 구조인 것이 바람직하고, 상기 상면의 홈부와 상기 하면의 홈부의 이격거리에 따라 전자기파 차폐효율이 조절되는 것이 바람직하다.

더하여, 바람직하게는 상기 상면 및 하면 홈부의 수직 홈구조의 깊이에 따라 전자기파의 차폐효율이 조절되는 것일 수 있고, 상기 제 1 및 제2 차폐막의 유전율이 서로 다른 것일 수 있고, 상기 제1 차폐막의 유전율이 상기 제2 차폐막의 유전율보다 높은 것일 수 있으며, 상기 유전체 전자기파 차폐막의 최상단 표면층에 보호 피막이 형성되는 것일 수 있다.

본 발명에 따른 유전체 전자기파 차폐막은 다음과 같은 효과를 가진다.

첫째, 본 발명은 차페효율이 높고 대상주파수의 변환 및 조절이 용이한 유전체 전자기파 차폐막을 제공한다.

둘째, 본 발명은 종래의 전자기파 흡수재료(radar absorbing material; RAM)와 대조적으로 반 영구적인 구조물로서 관리 및 유지 측면에서 우수하고 그에 따른 비용 이익이 높은 전자기파 차폐막을 제공한다.

셋째, 본 발명에 따른 유전체 전자기파 차폐막은 대상 주파수의 조절이 가능하고 구조물의 파라미터와 구조물의 크기 변경으로 차폐효율을 조절할 수 있다는 점에서 그 응용 분야가 넓고, 단일 주파수에 대한 피 탐지 구조물이 아닌 주파수 대역에 대한 피 탐지 구조물로서 군사적으로 광범위한 응용 가능하다.

넷째, 본 발명에 따른 유전체 전자기파 차폐막은 전도성 물질이 없는 유전체 구조물이라는 점에서 전기적인 안정성을 보장하고 낙뢰와 같은 과전류의 인가로부터 안전할 뿐만 아니라, 항공기 및 실외 장비에 적용이 용이하다.

본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.

도 2은 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막 원리를 나타낸 모식도이다.
도 3는 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막의 상층 요철구조를 나타낸 도면이다.
도 4은 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막의 상층 구조를 나타낸 도면이다.
도 5는 상층 및 하층이 결합된 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막의 구조를 나타낸 측면도이다.
도 6는 본 발명의 실시예에 따른 본 발명의 또 다른 실시예로서, 유전체 전자기파 차폐막의 구성을 나타낸 측면도이다.
도 7은 도 4예서 예시된 유전체 전자기파 단일 차폐막에 대한 전기장 분포를 나타낸 모식도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막 도파관의 주파수 특성을 나타낸 그래프이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막의 단위 요철구조의 구조에 따른 성능 비교실험을 위한 분석 구조를 나타낸 모식도이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막의 단위 요철구조의 일부(ⓐⓑ) 길이변화에 따른 성능 변화를 나타낸 그래프이다.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막의 단위 요철구조의 일부(ⓒⓓ) 길이변화에 따른 성능 변화를 나타낸 그래프이다.
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막의 단위 요철구조의 일부(ⓔⓕ) 길이변화에 따른 성능 변화를 나타낸 그래프이다.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막의 단위 요철구조의 일부(ⓖ) 길이변화에 따른 성능 변화를 나타낸 그래프이다.
도 14는 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막의 단위 요철구조의 일부(ⓗ) 길이변화에 따른 성능 변화를 나타낸 그래프이다.
도 15는 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막의 단위 요철구조의 일부(ⓘⓙ) 길이변화에 따른 성능 변화를 나타낸 그래프이다.
도 16은 본 발명의 실시예에 따른 전자기파 차폐막의 성능 및 대상 주파수 변화를 실험하기 위한 단위 요철구조를 포함하는 단위 차폐막의 구조를 예시한 도면이다.
도 17은 본 발명의 실시예에 따른 단위 요철구조의 두께 변화에 따른 단위 차폐막(200A)의 성능을 나타낸 그래프이다.
도 18 내지 도 23은 본 발명이 실시예에 따른 단위 차폐막에서 상층 및 하층의 가로길이, 세로길이 및 두께를 포함하는 크기의 변화에 따른 주파수 대역의 분포를 나타낸 그래프이다.
도 24 내지 도 26은 본 발명의 실시예에 따른 단위 차폐막에서 상층 및 하층의 크기를 서로 달리하여 각각의 크기 변화에 따른 대상 주파수 분포를 나타낸 그래프이다.
도 27은 본 발명의 실시예에 따른 단위 차폐막의 유전율 변화와 두께 및 가로길이의 변화에 따른 성능 나타낸 그래프이다.
도 28은 서로 다른 유전율 갖는 단위 요철구조를 구비한 2개의 단위 차폐막(200A)에 대하여 주파수를 변화시키는 경우 대상 주파수 영역(S-parameter)을 나타낸 비교 그래프이다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 설명한다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 이해할 수 있는 바와 같이, 후술하는 실시예는 본 발명의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 형태로 변형될 수 있다. 가능한 한 동일하거나 유사한 부분은 도면에서 동일한 도면부호를 사용하여 나타낸다.

본 명세서에서 사용되는 전문용어는 단지 특정 실시예를 언급하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것을 의도하지는 않는다. 여기서 사용되는 단수 형태들은 문구들이 이와 명백히 반대의 의미를 나타내지 않는 한 복수 형태들도 포함한다.

본 명세서에서 사용되는 "포함하는"의 의미는 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분을 구체화하며, 다른 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소, 성분 및/또는 군의 존재나 부가를 제외시키는 것은 아니다.

본 명세서에서 사용되는 기술용어 및 과학용어를 포함하는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 일반적으로 이해하는 의미와 동일한 의미를 가진다. 사전에 정의된 용어들은 관련기술문헌과 현재 개시된 내용에 부합하는 의미를 가지는 것으로 추가 해석되고, 정의되지 않는 한 이상적이거나 매우 공식적인 의미로 해석되지 않는다.

이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.

도 2은 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막(200) 원리를 나타낸 모식도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막(200)의 상층(230) 요철구조를 나타낸 도면이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막(200)의 상층(230) 구조를 나타낸 도면이고, 도 5는 상층(230) 및 하층(210)이 결합된 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막(200)의 구조를 나타낸 측면도이다.

도 2 내지 도 5에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막(200)은, 유전체로서, 플레이트 형상의 하층(210); 및 상기 하층(210)에 상부에 적층 되는 유전체로서, 요철구조의 일정한 주기적 패턴을 형성하는 상층(230)을 포함하여 구성된다.

본 발명의 실시예는 유전체로만 이루어진 전자기파 차폐막으로서, 구조물로 입사되는 전자기판의 산란(diffraction) 및 굴절(refraction), 흡수(absorbtion)를 유도하는 요철구조의 주기적 패턴을 갖는 유전체 상층(230)과, 구조물에 전자기파가 투과되는 것을 막는 전자기파 투과방지막으로 형성된 하층(210)이 결합된 적층형 전자기파 차폐막을 제안한다.

이와 같은 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막(200)은, 금속과 같은 도전성 재료를 포함하지 않고, 서로 다른 유전율을 갖는 주기적 패턴 구조물을 이용한 적층 구조의 차폐막을 사용하여 대상 주파수 대역의 변환이 가능하다는 장점이 있다.

도 2 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예는 일정한 요철구조의 주기적 패턴을 가지는 유전체으로서 상층(230)을 형성하고, 플레이트 형상의 유전체층으로 하층(210)을 형성하는 적층구조의 전자기파 차폐막으로, 입사되는 전자기파가 상기 요철구조의 상층(230)에서 기하학적 요철구조에 의해 전반사, 산란 및 투과 등의 과정을 거치면서 트랩되고, 상층(230)을 투과한 전자기파는 다시 하층(210)에서 반사되도록(투과방지) 하는 구조를 형성하여 전자기파를 반사없이 차폐하는 차폐막 구조를 형성한다.

보다 구체적으로, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 상층(230)은 유전체층으로 요철구조의 주기적 패턴을 형성하는 구조로 형성된다. 이와 같은 요철구조의 주기적 패턴은 구조물에 입사되는 전자기파가 유전체의 유전율 및 반사 및 산란 각에 의해 일부는 외부공간으로 전파되고, 일부는 유전체 내불 투과되어 굴절된다. 굴절된 전자기파는 유전율을 갖는 물질과 전자기파의 상호특성에 따라 흡수되거나 감쇄되어 구조물 내부에 차폐되게 된다.

도 3의 단위 요철구조(235)가 일정한 간격으로 주기적으로 형성되어 패턴을 이루게 되면, 도 4의 상층(230)의 구조가 형성된다. 이와 같은 요철 구조는 상층(230)의 상면 및 하면 각각에 홈구조가 형성된 것이 바람직한데, 이는 상층(230)의 상면 및 하면 각각에 독립적으로 일정한 간격의 홈구조를 형성하기 용이하고, 상면 및 하면 각각에 요철 구조를 형성함으로써, 전자기파의 산란 및 굴절을 유도하기 쉬워 입사되는 전자기파의 흡수 및 차폐 효과가 높아지는 장점이 있다.

즉, 도 3 및 도 4에 예시된 상층(230)의 요철구조는, 상면 및 하면에 주기적 패턴으로 홈부를 형성하고, 상기 상면 및 하면의 홈부는 서로 일정한 간격으로 이격되어 엇갈리도록 형성하는 것이 바람직하다. 이처럼 상하면으로 홈부를 형성하는 것은 상술한 바와 같이 입사되는 전자기파의 차폐효율을 높이기 위한 것이고, 일정한 주기적 패턴을 형성하는 것은 차폐막 전체에 균일한 차폐효율을 유도하고, 차폐의 신뢰성을 높이기 위함이다.

여기서, 상기 상면의 홈부는 2개의 홈구조가 연속하여 인접한 하나의 홈 구조이고, 상기 하면의 홈부는 하나의 홈 구조인 것이 바람직하고, 상기 상면 및 하면의 홈부는, 수직 홈구조와 경사 홈구조가 깊이 방향으로 결합된 구조인 것이 바람직하다. 이와 같이 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막의 구조는 상층(230)에 요철구조를 형성하되, 상면 및 하면에 서로 엇갈리도록 홈부를 형성하고 상면의 홈부를 2개의 홈구조가 연속하여 인접한 하나의 홈구조를 형성함으로써, 입사된 전자기파 측면으로 이동되면서 구조물을 통해 흡수, 산란 등을 보다 효과적으로 유도해 차폐효율을 높이기 위한 구조이다.

그리고, 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막은, 상층(230) 상면의 홈부와 상기 하면의 홈부의 이격거리에 따라 전자기파 차폐효율이 조절되는 것이 바람직하고, 상기 상면 및 하면 홈부의 수직 홈구조의 깊이에 따라 전자기파의 차폐효율이 조절되는 것이 바람직하다. 이는 상면 및 하면에 각각 형성된 홈구조가 서로의 이격거리와 홈구조의 수직깊이 등 구조물의 각 치수 및 각도 등을 변경하여 입사된 전자기파의 차폐효율이 높은 구조의 최적 설계가 가능하기 때문이다.

또한, 도 5에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유전체 차폐막은 하층(210)이 플레이트 형상의 전자기파 투과방지막을 형성하는 것이 바람직하다. 상층(230)에서 트랩되거나 차폐된 전자기파 이외에 상층(230)을 투과하여 하층(210)으로 전송된 전자기파를 완전히 차단하기 위해서는, 하층(210)의 유전체층은 전자기파를 반사시켜 투과를 방지하는 투과방지막인 것이 바람직하다.

이와 같이, 본 발명의 실시예는 요철구조의 주기적 패턴을 갖는 상층(230)을 통해 입사되는 전자기파를 차폐하고, 플레이트 형상의 하층(210)이 그 외의 전자기파를 반사시켜 투과를 완전히 차단시킴으로써, 다시 반사되어 상층(230)으로 전송된 전자기파는 산란, 굴절 및 흡수 등의 과정을 거져 완전히 차폐될 가능성이 높아지게 되는 높은 차폐 효율을 구비한 유전체 전자기파 차폐막(200)을 제안한다.

그리고, 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막(200)의 또 다른 특징은 도전성 재료를 전혀 포함하지 않는 순수한 유전체 차폐막이라는 점에 그 특징이 있다.

일반적으로 전자파를 차폐하는 방법은 자기장 차폐와 전도성 차폐로 나누어진다. 자기장 차폐는 투자율이 좋은 재료인 퍼멀로이 포일(permalloy foil), 규소 강판, 아몰퍼스 스트립(amorphous strip) 등으로 자기장 발생원을 감싸거나 피해를 받는 부분을 커버함으로써 자기장이 차폐재의 표면을 타고 다른 부분으로 흘러가도록 하는 것이다. 전기장보다 자기장 발생이 강한 트랜스포머 등에 적용한다.

전자파 차폐는 전자파로부터 보호하고자 하는 기기의 케이스를 도전성 소재인 구리 박막, 알루미늄 박막, 철판 등으로 감싸는 방법이다. 기기 내부의 회로에서 발생하거나 외부의 다른 기기로부터 전달된 전자파 노이즈는 케이스의 표면에 부딪치면서 반사되거나 접지로 흐르게 되는 것이 차폐의 원리이다. 도전성 소재의 재질 및 두께, 전자파의 주파수나 에너지 강도에 따라 전자파가 케이스의 내부 또는 외부로 통과되는 차폐율이 달라진다.

이러한 전자파 차폐 방법은 전자파를 단순히 반사 또는 산란시키는 것으로써, 반사된 전자파로 인한 전자기기의 오작동과 노이즈를 증가시킬 수 있는 문제점이 존재한다. 방사성 노이즈의 경우, 아무리 차폐를 잘한다고 하더라도 차단벽에 틈이 있을 수 있고, 시스템 내부에 존재하는 부품, 특히 내부 발진기로 발생하는 불필요한 전자파가 차단벽에 반사되어 일으키는 간섭의 가능성이 있어 단지 불필요한 전자파를 막는데 머무르지 않고, 아예 흡수해 버리는 전파 흡수체에 대한 관심이 커지고 있다.

전파 흡수체는 전자파 차폐체와는 달리 입사된 노이즈가 흡수체에 의해서 흡수되어 열로 변화되어지기 때문에 반사파가 발생되지 않는다. 전파 흡수체는 전자기기의 오작동을 야기시키는 노이즈를 억제하고, 회로 블록들간의 상호간섭(cross-talk)나 근접 기판에서의 유전 결합(coupling)을 억제하며, 안테나의 수신감도를 개선하거나, 전자파로 인한 인체 영향을 감소시키는 등의 여러 가지 중요한 기능을 담당하고 있다.

이에 본 발명의 실시예에서는 종래의 전도성 재료를 구비한 전자파 차폐체와 달리, 일정한 요철구조를 갖는 주기적 패턴의 층을 구비하고, 전도성 재료가 포함되지 않은 유전체로만 구성된 차폐막 구조를 제안하여 노이즈를 억제하고 주변기기의 간섭을 저감하며 전자자파로 인한 인체의 영향을 최소화시킬 수 있는 개선된 전자기파 차폐막을 제안한다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막(200)은 수 밀리미터 단위의 파장을 갖는 초고주파대역의 전자기파를 차단하는 유전체 차폐막에 관한 것으로서, 레이더에서 발진된 전자기파가 목표물과의 충돌에 의한 생성된 반사파로부터 피 탐지 감소를 위한 기술에 적용이 가능하고, RF분야의 군사용 레이더 및 스텔스 기술(stealth technology)에 응용 가능하다는 장점이 있다.

즉, 도 3 내지 도 5에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 전자기파 차폐막의 상층(230) 및 하층(210)의 각 유전체 층은 해당하는 위치에 따른 그 역할이 다르고, 상층(230)은 유전체 요철구조와 같은 단위 구조물(도 3 참조)의 주기적 패턴구조로 구성되어 있다. 상술한 바와 같이, 주기적 패턴의 유전체 구조물 내로 입사된 파는 일부는 산란되어 외부 공간으로 전파되고 나머지는 굴절을 일으키며 구조물 내부에 차폐되어 유전체 패턴구조물의 경로를 따라 흘러간다.

하층(210)은 구조물로 입사된 파가 유전체 차폐막을 통과하지 못하도록 파의 투과를 방지하는 투과방지막으로써, 진원으로부터 발진된 전자기파가 목표물에 도달하는 것을 방지한다. 상부 주기적 패턴구조물의 상층(230)과 플레이트 형상의 유전체 층인 하층(210)이 결합되어 하나의 유전체 전자기파 차폐막(200)을 구성한다.

또한 도 5에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막(200)은 유전체 교체에 따른 유전율의 변화에 따라 대상 주파수의 변환이 가능하다. 따라서, 고 유전율의 유전체를 도입함으로써. 대상주파수를 낮추는 것이 가능하며, 낮춰진 주파수 특성에 따라 마이크로파의 차폐도 가능하다.

즉, 본 발명의 실시예에 따른 유전체 차폐막은 상층(230) 및 하층(210)의 유전율을 서로 달리하여 결합함으로써, 굴절 및 산란 현상이 일어날 가능성을 높여 차폐효율을 높일 수 있고, 각각의 유전율을 조절하여 보다 세밀하게 대상주파수를 선택하는 것이 가능하게 된다.

또한 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막(200)은 상층(230) 최상단의 표면층은 보호피막을 형성하는 것이 바람직하다. 이는 마찰계수가 낮고 내화학성이 우수한 보호 피막을 제공하여 구조물을 보호함과 동시에 구조물 내로 입사된 파가 구조물 밖으로 전파되는 것을 방지함으로써 전자기파의 차폐효과를 향상시켜, 더욱 우수한 피 탐지 효과를 기대할 수 있는 유전체 전자기파 차폐막(200)을 제공할 수 있기 때문이다.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 본 발명의 또 다른 실시예로서, 유전체 전자기파 차폐막의 구성을 나타낸 측면도이다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막은, 유전체로서 플레이트 형상의 제1 하층(210)과, 상기 하층(210)에 상부에 적층 되는 유전체로서 요철구조의 일정한 주기적 패턴을 형성하는 제1 상층으로 구성된 제1 차폐막(300); 및 플레이트 형상의 유전체로서 상기 제1 상층 상부에 적층되는 제2 하층과, 상기 제2 하층 상부에 적층되는 유전체로서 요철구조의 일정한 주기적 패턴을 형성하는 제2 상층으로 구성된 제2 차페막(400)을 포함하되, 복수개의 차폐막이 적층된 다층 구조인 것을 특징으로 한다.

도 6에 예시된 실시예는 도 5의 실시예에서 나타낸 상층 및 하층의 유전체 층으로 결합된 차폐막이 다시 적층된 구조로서, 복수개의 차폐막이 적층된 다층 구조를 형성하여 전자기파 차폐율을 높이고 대상 주파수의 선택 범위를 넓힐 수 있을 뿐만 아니라 세밀하게 조절할 수 있다는 장점이 있다.

보다 구체적으로 본 발명의 실시예는 도 5에서 예시된 요철구조의 주기적 패턴을 갖는 상층과, 전자기파 투과방지막으로서 플레이트형 유전체 층인 하층이 결합되어 적층된 제1 차폐막(300)과 제2 차페막(400)이 적층 결합된 복수개의 차폐막이 적층된 구조를 제안한다. 다층 구조는 적어도 2개 이상의 차폐막이 결합된 구조를 형성하여 전자기파 차폐율을 높일 수 있을 뿐만 아니라 대상 주파수의 선택 스펙트럼을 높일 수 있는 장점이 있다.

즉, 본 발명의 실시예에 따른 유전체 차폐막은 유전율(permittivity)이 서로 다른 두개의 차폐막을 적층한 구조로 형성하는 것으로, 도 6에 나타낸 바와 같이, 유전율이 낮은 유전체 차폐막은 상부에 자리하고, 유전율이 높은 유전체 차폐막은 하부에 위치하여 형성함으로써. 종래의 대상 주파수 보다 낮은 주파수 대역에서도 전자기파의 차폐가 가능한 구조를 제안한다.

도 7은 도 5에서 예시된 유전체 전자기파 단일 차폐막에 대한 전기장 분포를 나타낸 모식도이다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 적용된 대상주파수는 10GHz 이다. 입력단에서 방출된 전자기파는 차폐막을 통과하지 못하고 반사하지만, 반사파는 출력단으로 반사되지 않는 것을 확인할 수 있다.

도 8은 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막 도파관의 주파수 특성을 나타낸 그래프로서, 도 5에서 예시한 단일 유전체 전자기파 차폐막에 X-band 대역(8GHz~12GHz)의 대상주파수를 적용한 경우의 주파수 특성을 dB로 나타낸 것이다.

도 8에 나타낸 바와 같이, 입력단과 구조물의 거리를 약 10(cm)로 적용한 X-band(8GHz~12.5GHz)의 주파수 특성으로서 평균 약 6.5%의 반사율과 5.5%의 투과율을 보인다. 입력단과 구조물의 거리가 커지면 커질수록 반사율과 투과율은 0%에 가까워진다. 실제 레이더에서 무선탐지를 수행 할 경우 레이더와 탐지물과의 거리는 수십에서 수백 킬로미터(Km)로서, 본 발명에서 제시한 차폐막을 사용하여 피탐지를 수행 할 경우 거의 0%에 가까운 반사율과 통과율을 보일 것으로 예측되며, 이는 곧 본 발명에서 제안한 유전체 전자기파 차폐막이 스텔스 장비로서 높은 성능을 보일수 있음을 알 수 있다.

이하에서는 본 발명의 실시에에 따른 유전체 전자기파 차폐막에서 단위 요철구조의 파라미터 변경에 따른 차폐막의 성능을 분석한 실험의 예를 도면을 통해 상세히 설명하기로 한다.

도 9는 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막의 단위 요철구조의 구조에 따른 성능 비교실험을 위한 분석 구조를 나타낸 모식도이다. 도 9에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막의 상층의 요철구조의 구조에 따른 성능을 분석하기 위해, 0.75mm의 하층을 형성한 3mm 두께의 차폐막에 10GHz의 대상 주파수를 갖는 단일 파장의 전자기파를 입사시키고, 세 부분(①,②,③)이 형상을 변화(치수 및 각도) 시켰을 경우, 전자기적 거동을 파악하여 RF-shield의 성능에 미치는 영향 및 원리를 알아보았다. 여기서 단위 요철구조는 기본적으로 중심선을 기준으로 좌우 대칭이므로, 이하에서 제시될 모든 치수의 변화는 좌우 대칭으로 같은 부위에 같은 치수를 변화하여 측정한 값이다.

도 10은 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막의 단위 요철구조의 일부(ⓐⓑ) 길이변화에 따른 성능 변화를 나타낸 그래프이다. 도 10에 나타낸 바와 같이, 단위 요철구조를 분석하기 위한 세가지 분석구조 중 ① 부분의 각 치수 길이 변화에 따른 투과율(S11_dB) 및 반사율(S21_dB)을 나타낸 결과, ⓐ의 길이가 특정 길이 이상 두꺼워 지면 구조물 표면에서 반사되는 전자기파의 양이 늘어나고, 따라서 내부로 침투하는 전자기파의 양이 감소함을 알 수 있다. 반면, ⓐ의 길이가 너무 얇을 경우 입사된 파가 구조물 내부에 차폐되질 못하고 반사가 일어난다.

그리고, ⓑ의 길이가 특정 길이 이상 작아지거나, 커지게 되면 구조물 안으로 차폐된 전자기파가 구조물의 양 끝단으로 온전히 전파되지 못하여 성능이 감소함을 알 수 있다.

도 11은 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막의 단위 요철구조의 일부(ⓒⓓ) 길이변화에 따른 성능 변화를 나타낸 그래프이다. 도 11에 나타낸 바와 같이, 단위 요철구조를 분석하기 위한 세가지 분석구조 중 ① 부분의 각 치수 길이 변화에 따른 투과율(S11_dB) 및 반사율(S21_dB)을 나타낸 결과, ⓒ 길이는 특정 길이에서 전자기파가 구조물의 양 끝단으로 잘 전파되지는 않지만, 전자기파가 관통을 막고 반사가 port1을 비껴가도록 유도하고 기존 구조물 보다 더욱 우수한 성능이 나타남을 알 수 있다. 그러나 ⓓ의 길이 변화는 구조물의 성능에 큰 영향을 미치지 않음을 알 수 있다.

도 12는 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막의 단위 요철구조의 일부(ⓔⓕ) 길이변화에 따른 성능 변화를 나타낸 그래프이다. 도 12에 나타낸 바와 같이, 단위 요철구조를 분석하기 위한 세가지 분석구조 중 ② 부분의 각 치수 길이 변화에 따른 투과율(S11_dB) 및 반사율(S21_dB)을 나타낸 결과, ⓔ 길이는 특정 길이에서 전자기파가 구조물의 양 끝단으로 잘 전파되지는 않지만, 전자기파가 관통을 막고, 반사가 port1을 비껴가도록 유도하고 기존 구조물보다 우수한 성능을 보이고 있음을 알 수 있다.

즉, 상술한 ⓒ와 ⓔ의 길이 변화에 따른 가장 우수한 구조물의 전자기파 형태가 매우 유사하고, 단위 요철구조의 날개 부위의 두께는 구조물 내부로 유입되는 전자기파의 양을 조절하고, 반사되는 전자기파의 각도에 영향을 주는 것으로 판단된다. 여기서 날개 부위의 두께는 하면 홈부의 수직 홈구조의 깊이에 해당한다.

도 13은 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막의 단위 요철구조의 일부(ⓖ) 길이변화에 따른 성능 변화를 나타낸 그래프이다. 도 13에 나타낸 바와 같이, 단위 요철구조를 분석하기 위한 세가지 분석구조 중 ② 부분의 각 치수 길이 변화에 따른 투과율(S11_dB) 및 반사율(S21_dB)을 나타낸 결과, ⓖ 길이는 구조물의 성능에 큰 영향을 미치지 않음을 알 수 있다.

도 14는 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막의 단위 요철구조의 일부(ⓗ) 길이변화에 따른 성능 변화를 나타낸 그래프이다. 도 14 나타낸 바와 같이, 단위 요철구조를 분석하기 위한 세가지 분석구조 중 ③ 부분의 각 치수 길이 변화에 따른 반사율(S11_dB) 및 투과율(S21_dB)을 나타낸 결과, ⓗ 길이의 변화는 전자기파가 구조물의 양 끝단으로 전파되는 양을 조절하며, 반사파의 각도 및 전자기파가 구조물을 통과하는 정도에 영향을 미치기 때문에, 구조물의 양 끝단으로 전파되는 전자기파의 세기가 다소 약한 경우라도 port1로 반사되는 전자기파를 감소시킴을 알 수 있다.

또한, ⓗ 길이가 0.8mm 이하의 경우 성능(dB)을 보면, 투과(S21)가 반사(S11)보다 크게 일어나는 것으로 보아 일정 크기 이상의 두께를 유지하여야 구조물을 관통하는 파를 차단하여 일정 수준 이상의 성능을 유지하는 것으로 판단된다.

도 15는 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막의 단위 요철구조의 일부(ⓘⓙ) 길이변화에 따른 성능 변화를 나타낸 그래프이다. 도 14 나타낸 바와 같이, 단위 요철구조를 분석하기 위한 세가지 분석구조 중 ③ 부분의 각 치수 길이 변화에 따른 반사율(S11_dB) 및 투과율(S21_dB)을 나타낸 결과, ⓘ 길이 변화는 구조물의 성능에 큰 영향을 미치지 못함을 알 수 있고, ⓙ 길이는 특정 길이에서 구조물의 성능이 원만히 구현되고, 전자기파가 양 끝단으로 전파되는 정도에 영향을 미치지만, 반사파의 각도에는 큰 영향을 미치지 않는 것으로 판단된다.

도 10 내지 도 15에서 예시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막에서 단위 요철구조의 치수 및 각도에 따른 성능을 비교해 보면, 하면 홈부의 구조(①) 부분의 파라미터 변화에 따라 성능 변화가 가장 두드러짐을 알 수 있고, 특히 하면 홈부의 수직 홈구조의 깊이에 영향을 많이 받고 있음을 알 수 있다.

그리고, 상술한 바와 같이 하면 홈부 구조의 파라미터 변화는 구조물의 양 끝단으로 전파되는 전자기파의 세기를 변화시키는 것을 알 수 있고, 구조물의 양 끝단으로 전파되는 파의 세기가 강할 경우 구조물을 타고 전파되는 전자기파들이 구조물의 각 부분에서 투과와 반사 또는 산란을 일으키고 있음을 알 수 있다.

그러므로, 본 발명의 실시예에 따른 유전체 전자기파 차폐막은 일정한 크기의 단위 요철구조의 파라미터 변화가 압사된 파를 구조물 내로 차폐하고 양 끝단으로 전파함과 동시에 port1을 피하는 각으로 반사시킴으로써 차폐막의 성능을 향상시키고 있기 때문에, 단위 요철구조의 특정 파라미터 변화를 통해 차폐막의 차폐효율을 조절할 수 있는 효과를 얻을 수 있는 개선된 유전체 전자기판 차폐막을 제공한다.

이하에서는 본 발명의 실시에에 따른 유전체 전자기파 차폐막에서 단위 요철구조의 상층과 플레이트 형상의 하층의 가로길이, 세로길이 및 두께를 포함하는 크기 변화와 유전율의 변화에 따른 차폐막의 성능 및 대상 주파수의 변화에 대해 분석한 실험의 예를 도면을 통해 상세히 설명하기로 한다.

도 16은 본 발명의 실시예에 따른 전자기파 차폐막의 성능 및 대상 주파수 변화를 실험하기 위한 단위 요철구조를 포함하는 단위 차폐막(200A)의 구조를 예시한 도면이다. 도 16에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예에서는 상층 및 하층의 크기와 유전율의 변화에 따른 차폐막의 성능 및 대상 주파수의 변화를 알아보기 위해, 단위 요철구조를 포함하는 상층 및 하층으로 구성된 단위 차폐막(200A)을 예시한다.

이하의 도 17 내지 도 28에서 단위 차폐막(200A)을 통해 상층 및/또는 하층의 가로길이, 세로길이 및 두께 중 적어도 어느 하나를 변화시키거나 유전율을 변화시켜 본 발명의 실시예에 따른 전자기파 차폐막의 성능 및 대상 주파수 변화를 살펴보기로 한다. 본 발명의 실시예에 따른 전자기파 차폐막은 단위 차폐막(200A)의 패턴이 주기적으로 배열된 구조이기 때문에, 단위 차폐막(200A)의 구조 변화는 전체 차폐막의 구조변화를 의미하고 그에 따른 효과도 동일함을 충분히 예상할 수 있다.

도 17은 본 발명의 실시예에 따른 단위 요철구조의 두께 변화에 따른 단위 차폐막(200A)의 성능을 나타낸 그래프이다. 도 17에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 예시하는 단위 차폐막(200A)의 두께는 하층을 고정하고 상층인 단위 요철구조의 두께만을 변화키는 것으로, 기준이 되는 기존의 구조물보다 성능이 떨어지고 있음을 알 수 있다. 즉, 단위 요철구조으 두께의 변화만으로 본 발명의 실시예에 따른 전자기파 차폐막의 성능 변화시키기에 한계가 있음을 알 수 있다.

도 18 내지 도 23은 본 발명이 실시예에 따른 단위 차폐막(200A)에서 상층 및 하층의 가로길이, 세로길이 및 두께를 포함하는 크기의 변화에 따른 주파수 대역의 분포를 나타낸 그래프이다. 도 18 내지 도 23의 실시예는 가로길이 및 세로길이의 비율인 종횡비(aspect ratio)를 유지하고, 단위 요철구조의 크기를 변화시켜 가며 8GHz 내지 16GHz 대역의 주파수 분포의 결과를 나타낸다.

도 18 내지 도 23에 나타낸 바와 같이, 단위 요철구조의 크기가 커질수록 저주파 대역으로 주파수 이동(shift)이 이루어지고 있음을 알 수 있다.(단위 요철구조의 크기가 작아질수록 고주파 대역으로 이동함) 이는 단위 차폐막(200A)의 구조물을 충분히 작게 할 경우 가시광 및 적외선 영역에서 전자기파 차폐 성능(electromagnetic wave shielding)을 보일 수 있음을 의미한다.

도 24 내지 도 26은 본 발명의 실시예에 따른 단위 차폐막(200A)에서 상층 및 하층의 크기를 서로 달리하여 각각의 크기 변화에 따른 대상 주파수 분포를 나타낸 그래프이다. 도 24 내지 도 26에 나타낸 바와 같이, 상층 및 하층의 유전율(epsil)을 동일하게 고정하고, 두께(t)와 가로길이(w)를 변화시키는 경우, 대상 주파수가 모두 2개의 영역에서 나타남을 알 수 있다.

즉, 상층 및 하층의 유전율(epsil)을 동일하게 하고 종횡비를 일정하게 유지한 채, 각각 서로 다른 크기로 구성된 두 구조물을 결합한 경우, 2개의 대상 주파수 영역(S-parameter peak)을 형성하고 있음을 알 수 있고, 각각의 대상 주파수 영역(S-parameter peak)은 각각 상층 및 하층의 구조물에 의해 생성된 것임을 알 수 있다. 여기서 예시한 상층 및 하층 구조물의 상하 결합은 서로 간섭하지 않도록 일정거리로 이격되는 경우의 결과를 예시한다.

도 27은 본 발명의 실시예에 따른 단위 차폐막(200A)의 유전율 변화와 두께 및 가로길이의 변화에 따른 성능 나타낸 그래프이다. 도 27에 나타낸 바와 같이, 유전율을 기준의 되는 기존의 10.2보다 월등히 높은 30으로 설정하고, 종횡비를 기존과 동일하게 유지하고 두께 및 가로의 길이를 변화시켜 가며 차폐막의 성능을 알아보았다.

도 27에 나타낸 바와 같이, 유전율을 높이고 단위 요철 구조의 두께만 변화하는 경우 성능이 저하되고 있음을 알 수 있고, 유전율을 높이고 종횡비를 고정한 후 두께 및 가로의 길이를 변화시키는 경우에도 성능이 저하되고 있음을 알 수 있다.

도 28은 서로 다른 유전율 갖는 단위 요철구조를 구비한 2개의 단위 차폐막(200A)에 대하여 주파수를 변화시키는 경우 대상 주파수 영역(S-parameter)을 나타낸 비교 그래프이다. 도 28에 나타낸 바와 같이, 유전율을 10.2와 30으로 설정한뒤, 1GHz 에서 12GHz 까지 주파수 대역확인 결과 특별한 주파수 대역의 이동이 보이지 않는 것을 볼 때, 유전율의 변화만으로 주파수 대역 이동이 어려움을 알 수 있고, 이는 대상 주파수의 설정은 유전율의 영향력보다 구조적인 변화에 영향력이 더 큼을 알 수 있다.

본 명세서에서 설명되는 실시예와 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 예시적으로 설명하는 것에 불과하다. 따라서, 본 명세서에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이므로, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아님은 자명하다. 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형 예와 구체적인 실시 예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

200: 유전체 전자기파 차폐막 200A: 단위 차폐막
210: 하층 230: 상층
235: 단위 요철구조 300: 제1 차폐막
400: 제2 차폐막

Claims (22)

1. 유전체로서, 플레이트 형상의 하층; 및
   상기 하층 상부에 적층 되는 유전체로서, 요철구조의 일정한 주기적 패턴을 형성하는 상층을 포함하되,
   상기 요철구조는, 상층의 상면 및 하면에 주기적 패턴으로 홈부를 형성하고, 상기 상면 및 하면의 홈부는 서로 이격되어 엇갈리도록 형성하고,
   하면 홈부의 깊이 또는 상면 홈부 및 하면 홈부의 이격거리에 따라 전자기파의 차폐효율이 조절되는 것을 특징으로 하는 유전체 전자기파 차폐막.
   
2. 삭제
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 상면의 홈부는 2개의 홈구조가 연속하여 인접한 하나의 홈 구조이고,
   상기 하면의 홈부는 하나의 홈 구조인 것을 특징으로 하는 유전체 전자기파 차폐막.
4. 청구항 3에 있어서,
   상기 상면 및 하면의 홈부는, 수직 홈구조와 경사 홈구조가 깊이 방향으로 결합된 구조인 것을 특징으로 하는 유전체 전자기파 차폐막.
5. 삭제
6. 삭제
7. 청구항 3에 있어서,
   상기 하층은 상기 전자기파의 투과를 방지하는 투과방지막인 것을 특징으로 하는 유전체 전자기파 차폐막.
8. 청구항 3에 있어서,
   상기 상층 및 하층의 유전율이 서로 다른 것을 특징으로 하는 유전체 전자기파 차폐막.
9. 청구항 4에 있어서,
   상기 상층 및 하층의 유전율이 서로 동일한 것을 특징으로 하는 유전체 전자기파 차폐막.
10. 청구항 4에 있어서,
    상기 상층 및/또는 하층의 가로 길이, 세로 길이 및 두께 중 적어도 어느 하나의 변화에 따라 차폐효율이 조절되는 것을 특징으로 하는 유전체 전자기파 차폐막.
11. 청구항 4에 있어서,
    상기 상층의 가로 길이, 세로 길이 및 두께 중 적어도 어느 하나의 변화에 따라 대상주파수가 조절된 것을 특징으로 하는 유전체 전자기파 차폐막.
12. 청구항 4에 있어서,
    상기 상층 및 하층의 각 가로 길이, 세로 길이 및 두께를 포함하는 크기가 서로 다른 것을 특징으로 하는 유전체 전자기파 차폐막.
13. 청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,
    상기 상층의 최상단 표면층에 보호 피막이 형성되는 것을 특징으로 하는 유전체 전자기파 차폐막.
14. 유전체로서 플레이트 형상의 제1 하층과, 상기 하층에 상부에 적층 되는 유전체로서 요철구조의 일정한 주기적 패턴을 형성하는 제1 상층으로 구성된 제1 차폐막; 및
    플레이트 형상의 유전체로서 상기 제1 상층 상부에 적층되는 제2 하층과, 상기 제2 하층 상부에 적층되는 유전체로서 요철구조의 일정한 주기적 패턴을 형성하는 제2 상층으로 구성된 제2 차폐막을 포함하되,
    복수개의 차폐막이 적층된 다층 구조이고,
    상기 요철구조는, 상층의 상면 및 하면에 주기적 패턴으로 홈부를 형성하고, 상기 상면 및 하면의 홈부는 서로 이격되어 엇갈리도록 형성하고,
    하면 홈부의 깊이 또는 상면 홈부 및 하면 홈부의 이격거리에 따라 전자기파의 차폐효율이 조절되는 것을 특징으로 하는 유전체 전자기파 차폐막.
    
15. 삭제
16. 청구항 14에 있어서,
    상기 제1 및 제2 차폐막의 각 상층의 상면 홈부는 2개의 홈구조가 연속하여 인접한 하나의 홈 구조이고,
    상기 제1 및 제2 상층의 각 상층의 하면 홈부는 하나의 홈 구조인 것을 특징으로 하는 유전체 전자기파 차폐막.
17. 청구항 16에 있어서,
    상기 상면 및 하면의 홈부는, 수직 홈구조와 경사 홈구조가 깊이 방향으로 결합된 구조인 것을 특징으로 하는 유전체 전자기파 차폐막.
18. 삭제
19. 삭제
20. 청구항 14에 있어서,
    상기 제 1 및 제2 차폐막의 유전율이 서로 다른 것을 특징으로 하는 유전체 전자기파 차폐막.
21. 청구항 20에 있어서,
    상기 제1 차폐막의 유전율이 상기 제2 차폐막의 유전율보다 높은 것을 특징으로 하는 유전체 전자기파 차폐막.
22. 청구항 16 또는 17에 있어서,
    상기 유전체 전자기파 차폐막의 최상단 표면층에 보호 피막이 형성되는 것을 특징으로 하는 유전체 전자기파 차폐막.
    
    

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