JP2015018025A - 電磁波反射防止構造体およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電磁波反射防止構造体1aは、電磁波の反射を防止する電磁波反射防止構造体であって、1つの誘電体100に形成される複数(ここでは8個)の基本構造11を有し、且つ、基本構造11を構成する誘電体の部分には複数の同心円のそれぞれに内接するような多角形状(ここでは6角形状)の誘電率調整溝12が複数形成され、且つ、誘電率調整溝12の深さは同心円の中心Cから遠いほど深くなっている。
【選択図】図2
Description
また、電磁波反射防止構造体は、例えば、ドライエッチングで作られる。しかし、異方性エッチングであるドライエッチングでは、等方性ウェットエッチングと同様に形状制御が困難であり、理想的な錐体が得られず、反射防止性能が低下する。
ことを特徴とする。
図1、図2に示すように、電磁波反射防止構造体1aは、電磁波の反射を防止する電磁波反射防止構造体であって、1つの誘電体100に形成される複数(ここでは8個)の基本構造11を有し、且つ、基本構造11を構成する誘電体の部分には複数の同心円(図示せず)のそれぞれに内接するような多角形状(ここでは6角形状)の誘電率調整溝12が複数形成され、且つ、誘電率調整溝12の深さは同心円の中心Cから遠いほど深くなっている。
図7、図8に示すように、電磁波反射防止構造体1bは、電磁波の反射を防止する電磁波反射防止構造体であって、1つの誘電体に形成される複数(ここでは8個)の基本構造11を有し、且つ、基本構造11を構成する誘電体の部分は錐体状(ここでは六角錐)であり、且つ、錐体の頂点Sを中心とした複数の同心円(図示せず)のそれぞれに内接するような多角形状の誘電率調整溝12が形成されている。
また、誘電率調整溝12の幅を同心円の中心から遠いほど広くすることで、誘電率調整溝12の深さを自動的に調整でき、好ましい。
図10、図11に示すように、電磁波反射防止構造体1cは、1つの誘電体100に形成される複数の基本構造11を有し、且つ、基本構造11を構成する誘電体の部分には複数の同心円のそれぞれに点在するように誘電率調整穴13が形成され、且つ、誘電率調整穴13の深さは同心円の中心から遠いほど深くなっている。
11…基本構造
12…誘電率調整溝
13…誘電率調整穴
100…誘電体
C…同心円の中心
D…隣り合う基本構造の中心間の距離
S…錐体の頂点
Claims (8)
- 電磁波の反射を防止する電磁波反射防止構造体であって、
1つの誘電体に形成される複数の基本構造を有し、且つ、
前記基本構造を構成する誘電体の部分には同心円状に、もしくは複数の同心円のそれぞれに内接するような多角形状に、複数の誘電率調整溝が形成され、且つ、前記誘電率調整溝の深さは同心円の中心から遠いほど深い
ことを特徴とする電磁波反射防止構造体。 - 電磁波の反射を防止する電磁波反射防止構造体であって、
1つの誘電体に形成される複数の基本構造を有し、且つ、
前記基本構造を構成する誘電体の部分は錐体状であり、且つ、錐体の頂点を中心として同心円状に、もしくは複数の同心円のそれぞれに内接するような多角形状に、複数の誘電率調整溝が形成されている
ことを特徴とする電磁波反射防止構造体。 - 電磁波の反射を防止する電磁波反射防止構造体であって、
1つの誘電体に形成される複数の基本構造を有し、且つ、
前記基本構造を構成する誘電体の部分には複数の同心円のそれぞれに点在するように誘電率調整穴が形成され、且つ、前記誘電率調整穴の深さは同心円の中心から遠いほど深い
ことを特徴とする電磁波反射防止構造体。 - 同心円の中心から最も遠い前記誘電率調整溝もしくは前記誘電率調整穴の深さは電磁波の半波長以上であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の電磁波反射防止構造体。
- 前記誘電率調整溝もしくは前記誘電率調整穴の面積は同心円の中心から遠いほど大きいことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の電磁波反射防止構造体。
- 隣り合う2つの基本構造の中心間の距離が電磁波の半波長以上であることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の電磁波反射防止構造体。
- 電磁波の反射を防止する電磁波反射防止構造体の製造方法であって、
前記電磁波反射防止構造体は、1つの誘電体に形成される複数の基本構造を有し、
前記製造方法は、
前記基本構造を構成する誘電体の部分に同心円状に、もしくは複数の同心円のそれぞれに内接するような多角形状に、複数の誘電率調整溝を形成し、且つ、前記誘電率調整溝の深さを同心円の中心から遠いほど深くする
ことを特徴とする電磁波反射防止構造体の製造方法。 - 前記誘電率調整溝の形成後、隣り合う前記誘電率調整溝の間に存在する誘電体の部分の全部、もしくは一部を取り除くことを特徴とする請求項7記載の電磁波反射防止構造体の製造方法。
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