KR101700283B1 - 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 정전기 제거를 위해 코로나 방전을 발생시키는 전극이 프레임의 내부 유로에 설치되어 전극의 노출로 인한 백화현상 또는 오염에 의한 이물 발생을 최소화한 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치에 관한 것이다.
또한, 대전된 제품에 이온화 클린에어를 분사하여 정전기를 중화(제거)하기 위한 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치에 있어서, 내부에 유로가 형성되어 정화기를 거친 클린에어가 공급되어 통과하는 프레임과 상기 프레임의 하부에 형성되어 유로로 공급되는 클린에어를 배출하기 위한 복수 개의 분사 노즐과 상기 프레임의 내부 유로에 길이방향으로 설치되어 프레임의 외부로 노출되지 않으며, 클린에어 이외에 외부 공기와도 접촉하지 않는 와이어 형태의 전극과 상기 전극에 전력을 가하여 코로나 방전을 발생시키며, 전극에 공급되는 전력의 파형 및 주파수를 조절하여 전극의 표면에 발생하는 백화현상을 최소화시키기 위한 제어부를 포함하며, 상기 전극에서 발생하는 코로나 방전을 통해 이온이 증가된 클린에어는 복수 개의 분사 노즐을 통해 분사되어 대전된 제품의 표면에 형성된 정전기를 중화(제거)하는 것을 특징으로 한다.
또한, 대전된 제품에 이온화 클린에어를 분사하여 정전기를 중화(제거)하기 위한 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치에 있어서, 내부에 유로가 형성되어 정화기를 거친 클린에어가 공급되어 통과하는 프레임과 상기 프레임의 하부에 형성되어 유로로 공급되는 클린에어를 배출하기 위한 복수 개의 분사 노즐과 상기 프레임의 내부 유로에 길이방향으로 설치되어 프레임의 외부로 노출되지 않으며, 클린에어 이외에 외부 공기와도 접촉하지 않는 와이어 형태의 전극과 상기 전극에 전력을 가하여 코로나 방전을 발생시키며, 전극에 공급되는 전력의 파형 및 주파수를 조절하여 전극의 표면에 발생하는 백화현상을 최소화시키기 위한 제어부를 포함하며, 상기 전극에서 발생하는 코로나 방전을 통해 이온이 증가된 클린에어는 복수 개의 분사 노즐을 통해 분사되어 대전된 제품의 표면에 형성된 정전기를 중화(제거)하는 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 정전기 제거를 위해 코로나 방전을 발생시키는 전극이 프레임의 내부 유로에 설치되어 전극의 노출로 인한 백화현상 또는 오염에 의한 이물 발생을 최소화한 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 또는 디스플레이를 비롯한 정밀 전자제품의 제조공정은 이물에 의한 불량을 방지하기 위해 이물을 최소화시킨 클린룸에서 이루어지고 있다.
하지만, 이물을 완전히 없애는데는 어려움이 있으며, 특히 정전기가 발생된 제품의 표면에는 이물이 더욱 쉽게 흡착되는 문제점이 있었다.
이에 따라, 제품의 표면에 발생된 정전기를 제거하기 위한 정전기 제거장치가 사용되고 있으며, 정전기 제거장치는 전극에 고전압을 공급하여 코로나 방전을 발생시키고, 코로나 방전에 의해 발생되는 이온을 공기와 함께 제품에 방출하여 제품의 정전기를 이온을 통해 중화시켜 제거하게 된다.
하지만, 종래에 코로나 방전을 위해 사용되는 전극은 복수 개의 노즐에 첨예한 핀형태로 외부로 노출되어 사용 과정에서 오염되거나, 백화현상에 의해 지속적으로 이온 생성량이 감소하여 폐기해야함에 따라, 유지 관리비가 많이 소모되는 문제점이 있었다.
이에 따라, 한국등록특허 제10-0759587호 "막대형 이오나이저"와 같이 사용 과정에서 오염 및 백화현상을 줄이기 위한 기술이 지속적으로 개발되고 있으나, 아직 그 효과가 미비한 실정이다.
또한, 강제적으로 전극을 청소하는 방법이 개발되었으나, 청소하는 과정에서 이물이 날려 2차오염이 발생하는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 외부로 노출되지않고 프레임 내부에 위치한 선형(와이어 형태)의 전극을 사용하여 전극의 외표면에 발생되는 백화현상 또는 오염에 의한 이물 발생을 감소시키기 위한 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 전극의 외표면에 발생된 백화현상 또는 오염에 의한 이물을 쉽게 제거하기 위한 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 전극의 외표면에 발생된 백화현상 또는 오염에 의한 이물을 제거하는 과정에서 2차 오염이 발생되지 않도록 방지하기 위한 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치는 대전된 제품에 이온화 클린에어를 분사하여 정전기를 중화(제거)하기 위한 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치에 있어서, 내부에 유로가 형성되어 정화기를 거친 클린에어가 공급되어 통과하는 프레임과 상기 프레임의 하부에 형성되어 유로로 공급되는 클린에어를 배출하기 위한 복수 개의 분사 노즐과 상기 프레임의 내부 유로에 길이방향으로 설치되어 프레임의 외부로 노출되지 않으며, 클린에어 이외에 외부 공기와도 접촉하지 않는 와이어 형태의 전극과 상기 전극에 전력을 가하여 코로나 방전을 발생시키며, 전극에 공급되는 전력의 파형 및 주파수를 조절하여 전극의 표면에 발생하는 백화현상을 최소화시키기 위한 제어부를 포함하며, 상기 전극에서 발생하는 코로나 방전을 통해 이온이 증가된 클린에어는 복수 개의 분사 노즐을 통해 분사되어 대전된 제품의 표면에 형성된 정전기를 중화(제거)하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 프레임의 내부에 길이방향으로 형성되어 하기 세척부를 이송시키기 위한 이송부와 상기 이송부에 의해 이송되면서 전극의 외표면에 발생된 백화현상 또는 오염에 의한 이물을 제거하기 위한 세척부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 세척부는 전극에 수직한 방향의 회전축을 중심으로 회전하는 브러쉬와 상기 브러쉬에 의해 이탈된 이물을 담기 위한 적재함을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 대전된 제품에 이온화 클린에어를 분사하여 정전기를 중화(제거)하기 위한 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치에 있어서, 내부에 유로가 형성되어 정화기를 거친 클린에어가 공급되어 통과하는 프레임과 상기 프레임의 하부에 형성되어 유로로 공급되는 클린에어를 배출하기 위한 복수 개의 분사 노즐과 상기 프레임의 내부 유로에 길이방향으로 설치되어 프레임의 외부로 노출되지 않으며, 클린에어 이외에 외부 공기와도 접촉하지 않고, 클린에어와의 접촉면적을 늘려 이온 발생량을 더욱 증가시키기 위해 원형 또는 다각형의 나선 형상으로 감긴 와이어 형태의 전극과 상기 전극의 형태, 길이, 사용 환경에 따라 전극에 공급되는 전력의 파형 및 주파수를 조절하여 전극의 표면에 발생하는 백화현상을 감소시키기 위한 제어부를 포함하며, 상기 전극에서 발생하는 코로나 방전을 통해 이온이 증가된 클린에어는 복수 개의 분사 노즐을 통해 분사되어 대전된 제품의 표면에 형성된 정전기를 중화(제거)하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 프레임의 내부에는 공급되는 클린에어에 와류를 발생시키기 위한 와류 형성부와 상기 전극에는 클린에어의 와류에 의해 전극이 진동하도록 진동형성핀을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 프레임의 내부에 전극과 연결된 초음파진동부를 더 포함하며, 상기 초음파진동부는 전극에 초음파진동을 가하여 전극의 외표면에 발생된 백화현상 또는 오염에 의한 이물을 제거하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 프레임의 하부에 형성된 복수 개의 분사 노즐로 전극의 외표면에 발생된 백화현상 또는 오염에 의한 이물이 떨어지지 않도록 복수 개의 분사 노즐이 전극의 하부에 일측으로 편심져 있으며, 상기 프레임의 내부 하면에 길이방향으로 수직하게 형성되어 일측에 위치한 복수 개의 분사 노즐로 타측의 떨어진 이물이 유입되지 않도록 이물을 격리 수용하기 위한 소정의 높이를 가진 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치에 의하면, 프레임 내부에 선형(와이어 형태)의 전극이 외부로 노출되지 않고 수용되어 있음에 따라 전극의 외표면에 발생되는 백화현상 또는 오염에 의한 이물 발생을 최대한 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치에 의하면, 전극의 외표면에 발생된 백화현상 또는 오염에 의한 이물을 쉽게 제거할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치에 의하면, 전극의 외표면에 발생된 백화현상 또는 오염에 의한 이물을 제거하는 과정에서 2차 오염이 발생되지 않도록 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1 내지 도 5는 본 발명에 따른 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치의 제1 실시예 내지 제4 실시예를 도시한 단면도.
도 6 또는 도 7은 본 발명에 따른 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치의 제5 실시예를 도시한 도면.
도 8은 본 발명에 따른 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치의 제6 실시예를 도시한 단면도.
도 6 또는 도 7은 본 발명에 따른 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치의 제5 실시예를 도시한 도면.
도 8은 본 발명에 따른 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치의 제6 실시예를 도시한 단면도.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1 내지 도 5는 본 발명에 따른 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치의 제1 실시예 내지 제4 실시예를 도시한 단면도이며, 도 6 또는 도 7은 본 발명에 따른 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치의 제5 실시예를 도시한 도면이고, 도 8은 본 발명에 따른 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치의 제6 실시예를 도시한 단면도이다.
도 1은 본 발명에 따른 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치의 제1 실시예를 도시한 것이며, 내부에 유로가 형성되어 복수 개의 공급구(11)를 통해 외부에서 정화기(필터)를 거쳐 이물질이 제거된 클린에어가 공급되어 통과하는 프레임(1)과 상기 프레임(1)의 하부에 형성되어 유로로 공급되는 클린에어를 배출하기 위한 복수 개의 분사 노즐(2)과 상기 프레임(1)의 내부 유로에 길이방향으로 설치되어 프레임(1)의 외부로 노출되지 않으며, 외부 공기와도 접촉하지 않는 와이어 형태의 전극(3)과 상기 전극(3)의 형태, 길이, 사용 환경에 따라 전극(3)에 공급되는 전력의 파형 및 주파수를 조절하여 전극(3)의 표면에 발생하는 백화현상을 최소화시키기 위한 제어부(10)로 구성된다.
또한, 프레임(1)의 내부에서 전극(3)을 프레임(1)의 내면으로부터 이격시켜 지지하기 위한 절연재질의 전극 지지대(12)를 더 포함하도록 구성될 수도 있다.
상기와 같은 구성을 통해 본 발명에 따른 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치는 와이어 형태의 전극(3)에 제어부(10)가 고전압을 가하여 외부에서 공급되는 클린에어의 이온을 증가시킨 후 복수 개의 분사 노즐을 통해 이온이 증가된(이온화) 클린에어를 제품(9)의 표면에 분사하여 제품(9)의 표면에 발생한 정전기를 중화시켜 제거하게 된다.
또한, 상기 제어부(10)가 전극(3)에 전력을 공급하였을 때 코로나 방전에 의해 발생하는 이온의 발생량은 전극(3)에 공급하는 전력의 파형 및 주파수에 따라 달라지게 된다.
상기 제어부(10)가 전극(3)에 공급하는 전력의 파형 및 주파수는 하기 아래에서 설명할 실시예1 내지 실시예5에 도시된 전극(3)의 형태, 길이 또는 전극(3)의 진동과 같은 사용 환경에 따라 다름에 따라 전력의 파형 및 주파수는 제어부(10)에 의해 변형 가능하도록 구성됨이 바람직하다.
전극의 길이를 예로 들면, 전극(3)이 직선형태가 아닌 원형 또는 다각형의 나선 형상으로 감긴 와이어 형태일 경우, 전극(3)의 길이는 보다 길어지게되며, 길어진 전극(3)의 저항은 더욱 증가하게 된다.
이에 따라, 길어진 전극(3)의 단위 길이당 이온 발생량을 동일하게 유지시키기 위해서는 보다 높은 전압을 공급해 줄 필요성이 있는 것이며, 단위 길이당 이온 발생량은 동일하나, 길어진 전극(3)에 의해 전체 이온발생량은 증가된다.
또한, 하나의 실시예로서 상기 제어부는 Impulse 형 고전압을 전극(3)에 공급하여 + 이온과 -이온의 발생량을 개별적으로 조절(+ 이온과 -이온의 밸런스 유지)할 수 있으며, 전체적인 이온생성량이 높고, 전극(3)의 손상을 방지할 수 있음에 따라 가장 바람직하다.
보다 상세하게는, 상기 제어부는 Impulse 제어 펄스를 N개 채널의 FET에 입력하여 +Peak와 -Peak 전압의 차가 1.0kv이상이 되는 Impulse 형 고전압을 전극(3)에 공급하게 된다.
또한, 상기 Impulse 형 고전압의 +Peak 전압을 형성하기 위한 FET와 -Peak 전압을 형성하기 위한 FET에 공급되는 Impulse 제어 펄스의 비율은 환경에 따라 이온(+ 이온과 -이온)의 밸런스 조절을 위해 바뀔 수 있다.
또한, 프레임(1)의 내부 또는 분사 노즐(2)에 이온을 측정하기 위한 센서를 설치하여 제어부(10)가 센서를 통해 측정된 값에 따라 전력을 파형 및 주파수를 가변적으로 제어하도록 구성할 수도 있다.
또한, 상기 전극(3)은 외부로 노출되거나, 외부 공기(정화기를 거치지 않은 이물질이 포함된 공기)와 접촉하지 않도록 프레임(1)의 내부에 위치한 상태로 제어부(10)로부터 도선(10A)을 통해 5~20kV의 고전압의 전력을 공급받아 코로나 방전을 발생시킴에 따라 전극(3)이 외부 공기에 노출되어 오염되는 것을 방지하게 된다.
특히, 코로나 방전 중일 때뿐만 아니라, 기존의 외부로 돌출된 첨예한 핀 형태 전극을 사용할 때 가장 큰 문제점이었던 방전을 종료한 직후 또는 시작 직후에 전극이 외부 공기와 접촉되던 문제를 줄일 수 있게 된다.
즉, 코로나 방전이 종료되어도 전극(3)이 프레임(1)의 내부에 위치해 있음에 따라 외부 공기로부터 전극(3)을 지속적으로 격리시켜 전극(3)의 외표면에 백화현상이 발생하거나, 이물이 전극(3)의 외표면에 형성 또는 흡착되는 것을 지속적으로 방지할 수 있게 된다.
이에 따라, 전극(3)에 발생하는 백화현상 또는 오염에 의한 폐기 없이 전극(3)을 오랜기간 사용할 수 있으며, 유지 관리비를 크게 줄일 수 있게 된다.
또한, 상기와 같이 전극(3)을 종래의 첨예한 핀형태과 달리 프레임(1)의 내부 유로에 길이방향으로 일자 형태으로 설치할 경우 전극(3)과 클린에어와의 접촉 면적이 증가되어 이온 생성량은 크게 증가되며, 첨예한 핀형태로 복수 개를 설치할 때 보다 와이어 형태(선형)의 전극 하나만 설치 또는 관리함에 따라 유지관리가 용이한 효과가 있다.
도 2 또는 도 4는 본 발명에 따른 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치의 제2 실시예 및 제3 실시예를 도시한 것이며, 전극(3)에 진동을 가하여 전극(3)에 백화현상이 발생하거나, 이물이 부착 또는 형성되는 것을 방지하기 위한 것이다.
즉, 진동을 이용하여 오염을 미연에 방지하는 것이다.
또한, 진동에 의하여 전극(3)이 좌우상하로 진동하면서, 더 많은 클린에어와 접촉하면 이온발생량은 크게 증가하며, 그에 따라 정전기 제거효율은 더욱 높아지게 된다.
도 2에 따른 상기 제2 실시예는 공급구(11)를 통해 상기 프레임(1)의 내부에 공급되는 클린에어에 와류를 발생시키기 위한 와류 형성부(4)와 상기 와류 형성부(4)에 의한 클린에어의 와류에 의해 전극(3)이 진동하도록 전극(3)에는 진동형성핀(41)을 더 포함하도록 구성된다.
보다 상세하게는, 상기 와류 형성부(4)에는 복수 개의 와류형성핀(42)이 설치되어 프레임(1)의 내부로 공급되는 클린에어의 유동에 저항을 형성하게 되며, 클린에어는 층류에서 난류로 유동이 바뀌면서 와류(41A)가 형성된다.
또한, 상기 와류에 의해 전극(3)이 저항(난류 유동)에 의한 힘)을 받아 진동하도록 전극(3)에는 복수 개의 날개를 가진 진동형성핀(41)이 설치되어 있다.
즉, 진동형성핀(41)이 와류(41A)의 흐름에 따라 저항을 받아 이동하면서 진동하게 되는 것이다.
또한, 상기 진동형성핀(42)은 복수 개의 날개를 가진 형태일 수 있으나, 도 3에 도시된 바와 같이 4엽의 십자가 형태의 날개로 구성됨이 와류에 의한 진동이 가장 크게 발생함에 따라 가장 바람직하다.
도 4에 따른 상기 제3 실시예는 상기 프레임(1)의 내부에 전극(3)과 연결된 초음파진동부(5)를 더 포함하며, 상기 초음파진동부(5)는 전극(3)에 초음파진동을 가하여 전극(3)의 외표면에 발생된 백화현상이나 오염에 의한 이물이 형성 또는 부착되는 것을 초음파진동을 이용하여 미연에 방지하거나, 제거하게 된다.
또한, 초음파진동부(5)는 코로나 방전에 의해 손상되는 것을 방지하기 위해 절연재질의 커버로 감싸진 후 절연재질의 진동전달부재(51)를 통해 전극(3)에 초음파 진동을 전달함이 가장 바람직하다.
도 5는 본 발명에 따른 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치의 제4 실시예를 도시한 것이며, 코로나 방전에 의한 이온 생성량을 증가시키기 위해 전극(3)을 원형 또는 다각형의 나선 형상으로 감아 프레임(1)의 내부에 배치시킨 것을 특징으로 한다.
상기와 같이 전극(3)을 원형 또는 다각형의 나선으로 구성할 시 종래의 첨예한 핀 형태의 전극 및 제1 실시예에 따른 일자 형태의 전극에 비해 클린에어와 접촉하는 면적 및 코로나 방전이 발생하는 면적이 증가되어 클린에어의 이온 생성량은 더욱 크게 증가된다.
또한, 전극(3)을 원형 또는 다각형의 나선으로 구성하면서 동시에 초음파진동부(5)를 이용하여 초음파진동을 가할 시 전극(3)은 좌우상하로 진동하면서 클린에어와의 접촉면적이 더욱 크게 증가될 수 있으며, 클린에어의 이온 생성량을 더욱 크게 증가시킬 수 있게 된다.
도 6 또는 도 7은 본 발명에 따른 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치의 제5 실시예를 도시한 것이며, 제5 실시예는 상기 프레임(1)의 내부에 길이방향으로 형성되어 하기 세척부(7)를 이송시키기 위한 이송부(6)와 상기 이송부(6)에 의해 이송되면서 전극(3)의 외표면에 발생된 백화현상 또는 오염에 의한 이물을 제거하기 위한 세척부(7)를 더 포함하도록 구성된다.
또한, 전극(3)과 전극(3)을 고정시키는 전극 지지대(12) 사이에 초음파진동부(5)를 더 구비하여 세척부(7)가 이송부(6)에 의해 이송되며 전극(3)의 외표면에 발생된 이물을 제거하는동안 초음파 진동을 가하여 전극(3)의 세척효율을 더욱 높일 수도 있다.
또한, 상기 세척부(7)에는 전극 지지대(12) 및 전극(3)이 통과 가능하도록 홈이 형성되어 상기 세척부(7)가 이송부(6)에 의해 이송되는 동안 상기 홈을 통과하는 전극(3)의 외표면에 발생된 이물을 제거하게 된다.
보다 상세하게는, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 세척부(7)는 전극(3)에 수직한 방향의 회전축을 중심으로 회전하는 브러쉬(61)와 상기 브러쉬(61)에 의해 이탈된 이물을 담기 위한 적재함(62)을 포함하여 구성되며, 이송부(6)에 의해 프레임 내부에서 길이방향으로 이송되는 동안 상기 브러쉬(61)는 전극(3)의 외표면에 이미 발생된 백화현상 또는 오염에 의한 이물을 회전모터(63)의 회전에 따라 회전하며 제거하게 된다.
또한, 상기 브러쉬(61)의 회전에 의해 전극(3)으로부터 이탈된 이물은 적재함(62)으로 떨어지게 된다.
또한, 상기 세척부(7) 및 이송부(6)를 이용한 전극(3)의 세척은 이물의 비산을 방지하기 위해 코로나 방전이 정지되었을 때 수행함이 바람직하다.
도 8은 본 발명에 따른 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치의 제6 실시예를 도시한 것이며, 상기 세척부(7) 및 이송부(6)를 이용한 전극(3)의 세척이나, 초음파진동부(5)의 진동에 의한 이물의 비산을 방지하기 위한 플레이트(13)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
보다 상세하게는, 상기 프레임(1)의 하부에 형성된 복수 개의 분사 노즐(2)로 전극(3)의 외표면에 발생된 백화현상 또는 오염에 의한 이물이 떨어져 배출되는 것을 방지하기 위해 복수 개의 분사 노즐(2)이 전극의 하부로부터 일측으로 편심져 있으며, 이물이 상기 복수 개의 분사 노즐(2)로 유입되지 않도록 소정의 높이(13H)를 가진 플레이트(13)를 이용하여 격리시키게 된다.
즉, 분사 노즐(2)이 플레이트(13)에 의해 전극(3)의 하부로부터 격리되어 전극(3)에서 이물질이 떨어지더라도 분사 노즐(2)로 이물질이 유입되지 않는 것이다.
또한, 상기 플레이트(13)의 높이(13H)이가 전극(3)이 위치한 높이(3H)보다 높은 것이 이물이 복수 개의 분사 노즐(2)로 유입되는 것을 효과적으로 억제할 수 있음에 따라 가장 바람직하다.
이상과 같이 본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양한 자명한 변형이 가능하다는 것은 명백하다. 따라서 본 발명의 범주는 이러한 많은 변형의 예들을 포함하도록 기술된 청구범위에 의해서 해석되어져야 한다.
1 : 프레임
2 : 분사 노즐
3 : 전극
4 : 와류 형성부
5 : 초음파진동부
6 : 이송부
7 : 세척부
11 : 공급구
12 : 전극 지지대
13 : 플레이트
41 : 진동형성핀
42 : 와류형성핀
51 : 진동전달부재
61 : 브러쉬
62 : 적재함
63 : 회전모터
2 : 분사 노즐
3 : 전극
4 : 와류 형성부
5 : 초음파진동부
6 : 이송부
7 : 세척부
11 : 공급구
12 : 전극 지지대
13 : 플레이트
41 : 진동형성핀
42 : 와류형성핀
51 : 진동전달부재
61 : 브러쉬
62 : 적재함
63 : 회전모터
Claims (7)
- 대전된 제품에 이온화 클린에어를 분사하여 정전기를 중화(제거)하기 위한 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치에 있어서,
내부에 유로가 형성되어 정화기를 거친 클린에어가 공급되어 통과하는 프레임과;
상기 프레임의 하부에 형성되어 유로로 공급되는 클린에어를 배출하기 위한 복수 개의 분사 노즐과;
상기 프레임의 내부 유로에 길이방향으로 설치되어 프레임의 외부로 노출되지 않으며, 클린에어 이외에 외부 공기와도 접촉하지 않는 와이어 형태의 전극과;
상기 전극에 전력을 가하여 코로나 방전을 발생시키며, 전극에 공급되는 전력의 파형 및 주파수를 조절하여 전극의 표면에 발생하는 백화현상을 최소화시키기 위한 제어부를 포함하며,
상기 전극에서 발생하는 코로나 방전을 통해 이온이 증가된 클린에어는 복수 개의 분사 노즐을 통해 분사되어 대전된 제품의 표면에 형성된 정전기를 중화(제거)하며
상기 제어부는 Impulse 제어 펄스를 Impulse형 고전압의 +Peak 전압을 형성하기 위한 FET와 Impulse형 고전압의 -Peak 전압을 형성하기 위한 FET에 입력하여
+Peak 전압과 -Peak 전압의 차가 1.0kv 이상이 되는 Impulse형 고전압을 상기 전극에 공급하며,
상기 Impulse 제어 펄스의 비율은 전극의 형태, 길이 및 사용환경에 따라 상기 제어부에서 조절되는 것을 특징으로 하는
와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치.
- 제 1항에 있어서,
상기 프레임의 내부에 길이방향으로 형성되어 하기 세척부를 이송시키기 위한 이송부와;
상기 이송부에 의해 이송되면서 전극의 외표면에 발생된 백화현상 또는 오염에 의한 이물을 제거하기 위한 세척부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치.
- 제 2항에 있어서,
상기 세척부는 전극에 수직한 방향의 회전축을 중심으로 회전하는 브러쉬와;
상기 브러쉬에 의해 이탈된 이물을 담기 위한 적재함을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는
와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치.
- 대전된 제품에 이온화 클린에어를 분사하여 정전기를 중화(제거)하기 위한 와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치에 있어서,
내부에 유로가 형성되어 정화기를 거친 클린에어가 공급되어 통과하는 프레임과;
상기 프레임의 하부에 형성되어 유로로 공급되는 클린에어를 배출하기 위한 복수 개의 분사 노즐과;
상기 프레임의 내부 유로에 길이방향으로 설치되어 프레임의 외부로 노출되지 않으며, 클린에어 이외에 외부 공기와도 접촉하지 않고, 클린에어와의 접촉면적을 늘려 이온 발생량을 더욱 증가시키기 위해 원형 또는 다각형의 나선 형상으로 감긴 와이어 형태의 전극과;
상기 전극의 형태, 길이, 사용 환경에 따라 전극에 공급되는 전력의 파형 및 주파수를 조절하여 전극의 표면에 발생하는 백화현상을 감소시키기 위한 제어부를 포함하며,
상기 전극에서 발생하는 코로나 방전을 통해 이온이 증가된 클린에어는 복수 개의 분사 노즐을 통해 분사되어 대전된 제품의 표면에 형성된 정전기를 중화(제거)하며
상기 제어부는 Impulse 제어 펄스를 Impulse형 고전압의 +Peak 전압을 형성하기 위한 FET와 Impulse형 고전압의 -Peak 전압을 형성하기 위한 FET에 입력하여
+Peak 전압과 -Peak 전압의 차가 1.0kv 이상이 되는 Impulse형 고전압을 상기 전극에 공급하며,
상기 Impulse 제어 펄스의 비율은 전극의 형태, 길이 및 사용환경에 따라 상기 제어부에서 조절되는 것을 특징으로 하는
와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치.
- 제 1항 또는 제 4항에 있어서,
상기 프레임의 내부에는 공급되는 클린에어에 와류를 발생시키기 위한 와류 형성부와;
상기 전극에는 클린에어의 와류에 의해 전극이 진동하도록 진동형성핀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는
와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치.
- 제 1항 또는 제 4항에 있어서,
상기 프레임의 내부에 전극과 연결된 초음파진동부를 더 포함하며,
상기 초음파진동부는 전극에 초음파진동을 가하여 전극의 외표면에 발생된 백화현상 또는 오염에 의한 이물을 제거하는 것을 특징으로 하는
와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치.
- 제 1항 또는 제 4항에 있어서,
상기 프레임의 하부에 형성된 복수 개의 분사 노즐로 전극의 외표면에 발생된 백화현상 또는 오염에 의한 이물이 떨어지지 않도록 복수 개의 분사 노즐이 전극의 하부에 일측으로 편심져 있으며,
상기 프레임의 내부 하면에 길이방향으로 수직하게 형성되어 일측에 위치한 복수 개의 분사 노즐로 타측의 떨어진 이물이 유입되지 않도록 이물을 격리 수용하기 위한 소정의 높이를 가진 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
와이어 형태의 전극을 이용한 정전기 제거 장치.
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- 2015-06-15 KR KR1020150084060A patent/KR101700283B1/ko active IP Right Grant
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