KR101698168B1 - Apparatus for transferring burn in rack using automated guided vehicle - Google Patents

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정병일
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에버테크노 주식회사
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Abstract

The present invention relates to an apparatus for transferring burn-in racks by using an automated guided vehicle (AGV), which can rotate burn-in racks when the burn-in racks are transferred by using an AGV, and thus the burn-in racks can be discharged or accommodated in opposite directions, thereby improving productivity of an operation of a burn-in test for semiconductor elements. The apparatus for transferring burn-in racks by using an AGV comprises: a rotation unit which is mounted on an AGV; a pair of support frames which are mounted on one side of the rotation unit and the other side of the rotation unit so as to face each other; two or more burn-in rack accommodation members which are disposed in the pair of support frames, which are also spaced apart from each other in a vertical direction, and each of which accommodates a burn-in rack; a vertical transfer unit which is connected to the pair of support frames, which includes linear motion (LM) guides, and which transfers the two or more burn-in rack accommodation members along the LM guides in the vertical direction; horizontal transfer units each of which includes LM guides disposed inside a corresponding one of the two or more burn-in rack accommodation members, and which transfer the burn-in racks in a horizontal direction; and forks each of which is mounted on one side of a corresponding one of the horizontal transfer units, each of which is transferred in the horizontal direction by the corresponding horizontal transfer unit or transferred in the vertical direction by operating in conjunction with a corresponding one of the burn-in rack accommodation members transferred by the vertical transfer unit, and which lock the burn-in racks.

Description

AGV를 이용한 번인 랙 이송장치{Apparatus for transferring burn in rack using automated guided vehicle}[0001] The present invention relates to a burn-in rack transfer apparatus using an AGV,

본 발명은 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치에 관한 것으로, 특히 AGV(automated guided vehicle)를 이용해 번인 랙을 이송 시 번인 랙을 회전시켜 양방향으로 번인 랙을 인출하거나 수납할 수 있도록 함으로써 반도체 소자의 번인 테스트 작업의 생산성을 개선시킬 수 있는 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치에 관한 것이다.In particular, the present invention relates to a burn-in rack transfer device using an AGV. In particular, when a burn-in rack is transported using an AGV (automatic guided vehicle), a burn- And more particularly to a burn-in rack transfer apparatus using an AGV capable of improving productivity of a work.

반도체 소자는 제조가 완료되면 성능 테스트를 위해 번인 테스트(burn in test)를 수행한다. 번인 테스트는 반도체 소자를 고온 및 고압의 조건에서 장시간 동안 동작시킨 상태에서 양품과 불량품을 선별하는 것이다. 반도체 소자는 번인 테스트를 위해 번인 보드(burn in board)에 수납되며, 번인 보드는 번도 보드를 삽입할 수 있는 다수개의 슬릿(slit)이 구비된 번인 랙(burn in rack)에 삽입되어 이동된다. 번인 랙은 다수개의 번인 보드가 수납되면 번인 테스트 장비의 번인 챔버(burn in chamber)로 이송되어 로딩(loading)되며, 반도체 소자의 번인 테스트가 완료되면 번인 챔버로부터 언로딩(unloading)된다. The semiconductor device performs a burn-in test for the performance test when the fabrication is completed. The burn-in test is to select a good product and a defective product while the semiconductor device is operated for a long time under conditions of high temperature and high pressure. Semiconductor devices are housed in a burn-in board for burn-in testing, and the burn-in board is inserted and moved into a burn-in rack having a plurality of slits capable of inserting the board. The burn-in rack is loaded and loaded into the burn-in chamber of the burn-in test apparatus when a plurality of burn-in boards are accommodated, and is unloaded from the burn-in chamber when the burn-in test of the semiconductor device is completed.

한국등록특허 제21370462호(특허문헌 1)는 반도체 부품 테스트 챔버에 관한 것으로, 번인보드랙장착부, 시스템랙 장착부, 가열공기공급부, 냉각공기공급부 및 완충챔버를 포함하여 구성되다. Korean Patent Registration No. 21370462 (Patent Document 1) relates to a semiconductor component test chamber, which includes a burn-in board rack mounting portion, a system rack mounting portion, a heating air supply portion, a cooling air supply portion, and a damping chamber.

번인보드랙장착부는 테스트 챔버의 전방에 설치되며, 테스트 대상 반도체 소자가 장착되는 복수 개의 번인보드부가 수납되는 번인보드랙이 배치된다. 시스템랙 장착부는 번인보드랙장착부에 대향되도록 테스트 챔버의 후방에 설치되며, 번인보드부와 전기적으로 접속되어 번인보드부에 전원을 공급하는 시스템랙가 배치된다. 가열공기공급부는 테스트 챔버 내에서 일측부에 설치되어, 가열공기운송관을 통해 번인보드랙 장착부에 가열공기를 공급하며, 냉각공기공급부는 테스트 챔버 내에서 시스템랙장착부)의 측부에 설치되어 시스템랙장착부에 냉각공기를 공급한다. 완충챔버는 테스트 챔버 내에서 번인보드랙장착과 시스템랙장착부 사이 공간에 설치된다. The burn-in board rack mounting portion is disposed in front of the test chamber, and a burn-in board rack in which a plurality of burn-in board portions to which the semiconductor devices to be tested are mounted is disposed. The system rack mounting portion is disposed at the rear of the test chamber so as to face the bunning board rack mounting portion, and a system rack which is electrically connected to the bunning board portion and supplies power to the bunning board portion is disposed. The heating air supply unit is installed on one side in the test chamber to supply heated air to the burning board rack mounting unit through the heated air transfer pipe and the cooling air supply unit is installed on the side of the test chamber in the test chamber, The cooling air is supplied to the mounting portion. The buffer chamber is installed in the test chamber between the burn-in board rack mount and the system rack mount.

한국등록특허공보 제10-21370462호(특허문헌 1)와 같은 종래의 반도체 부품 테스트 챔버는 번인 테스트될 반도체 소자가 수납된 번인 랙의 수납하고, 번인 테스트가 완료된 반도체 소자가 수납된 번인 랙이 언로딩된다. 이와 같이 부품 테스트 챔버로 번인 랙을 로딩하거나 부품 테스트 챔버로부터 언로딩하는 작업을 무인화시키 위해 AGV(automated guided vehicle)가 사용된다. A conventional semiconductor component test chamber, such as Korean Patent Registration No. 10-21370462 (Patent Document 1), includes a burn-in rack in which a semiconductor device to be burn-in tested is housed, and a burn-in rack Lt; / RTI > An automated guided vehicle (AGV) is thus used to unload the burn-in rack from the component test chamber or unload the component from the component test chamber.

AGV는 번인 랙 이송장치가 구비되며, 종래의 번인 랙 이송장치는 어느 한 방향에서 번인 랙을 수납한 후 수납 방향의 반대방향으로 배출하는 경우에 번인 랙 이송장치를 AGV가 180도(degree) 회전시켜야 해야한다. 즉, AGV는 번인 랙을 수납한 후 AGV가 180도 회전하여 번인 랙 이송장치를 회전시켜 배출함으로써 번인 랙의 수납과 배출 작업시간이 증가되고, 이로 인해 반도체 소자의 번인 테스트 작업의 생산성을 저하는 시키는 문제점이 있다. AGV is equipped with a burn-in rack conveying device. In the conventional burn-in rack conveying device, when the burn-in rack is accommodated in one direction and then discharged in the opposite direction to the storing direction, the AGV is rotated 180 degrees . That is, the AGV rotates the AGV by 180 degrees after storing the burn-in rack, and rotates and discharges the burn-in rack conveying device to increase the time for storing and discharging the burn-in rack, thereby deteriorating the productivity of the burn- .

: 한국등록특허공보 제10-21370462호(등록일: 22014.02.25.): Korean Registered Patent No. 10-21370462 (Registered on Feb. 220, 2002)

본 발명의 목적은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, AGV(automated guided vehicle)를 이용해 번인 랙을 이송 시 번인 랙을 회전시켜 양방향으로 번인 랙을 인출하거나 수납할 수 있도록 함으로써 반도체 소자의 번인 테스트 작업의 생산성을 개선시킬 수 있는 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide an automatic guided vehicle (AGV) The present invention provides a burn-in rack transfer device using an AGV capable of improving the productivity of the burn-in rack.

본 발명의 다른 목적은 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치의 회전 시 롤러를 이용하여 지지한 상태에서 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치를 회전함으로써 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치의 하중에 의한 회전각 오차를 줄일 수 있는 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to reduce the rotational angular error caused by the load of the burn-in rack transfer device using the AGV by rotating the burn-in rack transfer device using the AGV while the burn-in rack transfer device using the AGV is supported using the roller The present invention provides a burn-in rack transfer device using an AGV.

본 발명의 또 다른 목적은 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치를 수직방향으로 이송 시 번인 랙 이송장치의 자중에 의한 수평방향의 편차를 줄이고, 보다 작은 구동원을 이용하여 수직방향으로 이동시킬 수 있는 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치를 제공함에 있다.It is still another object of the present invention to provide an AGV that can reduce vertical deviation due to the self weight of the burn-in rack transfer device when the burn-in rack transfer device using the AGV is transferred in the vertical direction, The present invention provides a burn-in rack transfer apparatus using the same.

본 발명의 또 다른 목적은 번인 랙을 락킹(locking)하기 위해 포크를 수평방향으로 이송 시 2단으로 나누어 수평 이송시킴으로써 번인 랙의 하중에 의해 포크가 수직방향의 아래로 쳐져 이탈되는 것을 방지할 수 있는 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a method and apparatus for locking a burning rack in which a fork is horizontally conveyed while being divided into two stages and horizontally fed to prevent the fork from falling off in the vertical direction due to the load of the burn- Which is provided with an AGV.

본 발명의 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치는 AGV(automated guided vehicle)의 상부에 연결되는 회전부; 상기 회전부의 상부의 일측과 타측에 각각 마주대하도록 연결되는 한 쌍의 지지 프레임(frame); 상기 한 쌍의 지지 프레임의 내측에 수직방향으로 서로 간격을 두고 배치되어 각각 번인 랙을 수납하는 둘 이상의 번인 랙 수납부재; 상기 한 쌍의 지지 프레임과 LM 가이드(linear motion guide)를 개재하여 연결되어 상기 둘 이상의 번인 랙 수납부재를 상기 LM 가이드를 따라 수직방향으로 이송시키는 수직 이송부; 상기 둘 이상의 번인 랙 수납부재의 내측에 각각 LM 가이드를 개재하여 연결되어 번인 랙(burn in rack)을 수평방향으로 이송하는 수평 이송부; 상기 수평 이송부의 일측에 연결되어 수평 이송부에 의해 수평으로 이송되거나 상기 수직 이송부에 의해 이송되는 번인 랙 수납부재와 연동되어 수직방향으로 이송되어 번인 랙을 락킹하는 포크(pork)를 포함하는 것을 특징으로 한다.A burn-in rack transfer apparatus using an AGV according to the present invention comprises: a rotating part connected to an upper part of an AGV (automated guided vehicle); A pair of support frames connected to one side and the other side of the upper part of the rotation part so as to face each other; Two or more burn-in rack accommodating members disposed in the inside of the pair of support frames so as to be spaced apart from each other in the vertical direction and accommodating burn-in racks; A vertical conveyance unit connected to the pair of support frames via an LM guide to convey the at least two burner rack receiving members in a vertical direction along the LM guide; A horizontal conveying unit connected to the inside of the at least two burner rack receiving members via respective LM guides to convey burn in racks in a horizontal direction; And a pork which is connected to one side of the horizontal conveyance unit and is horizontally conveyed by the horizontal conveyance unit or interlocked with the burn-in rack receiving member conveyed by the vertical conveyance unit, and which is conveyed in the vertical direction to lock the burn-in rack. do.

본 발명의 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치는 AGV를 이용해 번인 랙을 이송 시 번인 랙을 회전시켜 양방향으로 번인 랙을 인출하거나 수납할 수 있도록 함으로써 반도체 소자의 번인 테스트 작업의 생산성을 개선시킬 수 있는 이점이 있으며, AGV를 이용한 번인 랙 이송장치의 회전 시 롤러를 이용하여 지지한 상태에서 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치를 회전함으로써 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치의 하중에 의한 회전각 오차를 줄일 수 있는 이점이 있다.The present invention provides a burn-in rack transfer device using the AGV, which can improve the productivity of the semiconductor device by performing the burn-in test by allowing the burn-in rack to be rotated or drawn in both directions by rotating the burn- And the rotation angle error caused by the load of the burn-in rack transfer device using the AGV can be reduced by rotating the burn-in rack transfer device using the AGV while the burn-in rack transfer device using the AGV is supported by the roller .

본 발명의 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치는 또한, AGV를 이용한 번인 랙 이송장치를 수직방향으로 이송 시 번인 랙 이송장치의 자중에 의한 수평방향의 편차를 줄이고, 보다 작은 구동원을 이용하여 수직방향으로 이동시킬 수 있는 이점이 있으며, 번인 랙을 락킹(locking)하기 위해 포크를 수평방향으로 이송 시 2단으로 나누어 수평 이송시킴으로써 번인 랙의 하중에 의해 포크가 수직방향의 아래로 쳐져 이탈되는 것을 방지할 수 있는 이점이 있다. The present invention also provides a burn-in rack transfer device using an AGV, which is capable of reducing deviations in the horizontal direction due to the self-weight of the burn-in rack transfer device using the AGV when the burn-in rack transfer device is vertically transported, There is an advantage that the fork can be shifted in order to lock the burning rack. When the fork is horizontally conveyed, it is horizontally divided into two stages, so that the load of the burn-in rack prevents the fork from falling down vertically There is an advantage to be able to.

도 1은 본 발명의 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치의 사시도,
도 2는 도 1에 도시된 번인 랙 이송장치의 사용 상태를 개략적으로 나타낸 사시도,
도 3은 도 1에 도시된 회전부의 확대 사시도,
도 4는 도 3에서 고정판이 제거된 상태의 회전부의 사시도,
도 5는 도 1에 도시된 수직 이송부의 사시도,
도 6은 도 5에 도시된 수직 이송부의 좌측면도,
도 7은 도 5에 도시된 수직 이송부의 우측면도,
도 8은 도 1에 도시된 수평 이송부의 확대 사시도,
도 9는 도 8에 도시된 수평 이송부의 부분 분리 조립 사시도,
도 10 내지 도 12는 각각 도 8에 도시된 포크 수평 이송부의 동작 상태를 나타낸 평면도.1 is a perspective view of a burn-in rack transfer device using an AGV according to the present invention,
FIG. 2 is a perspective view schematically showing the use state of the burn-in rack transporting apparatus shown in FIG. 1,
3 is an enlarged perspective view of the rotating part shown in Fig. 1,
FIG. 4 is a perspective view of a rotating part in a state where the fixing plate is removed in FIG. 3,
FIG. 5 is a perspective view of the vertical conveyance unit shown in FIG. 1,
Fig. 6 is a left side view of the vertical transfer portion shown in Fig. 5,
7 is a right side view of the vertical transfer portion shown in Fig. 5,
8 is an enlarged perspective view of the horizontal transfer part shown in Fig. 1,
Fig. 9 is a partially separated assembled perspective view of the horizontal transfer part shown in Fig. 8,
Figs. 10 to 12 are plan views respectively showing the operational states of the fork horizontal conveyance portion shown in Fig. 8; Fig.

이하, 본 발명의 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1, 도 2 및 도 5에서와 같이 본 발명의 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치는 회전부(110), 한 쌍의 지지 프레임(frame)(120), 둘 이상의 번인 랙 수납부재(130), 수직 이송부(140), 수평 이송부(150) 및 포크(pork)(160)를 포함하여 구성된다. As shown in FIGS. 1, 2 and 5, the burn-in rack transfer apparatus using AGV according to the present invention includes a rotation unit 110, a pair of support frames 120, two or more bunk rack receiving members 130, A transfer unit 140, a horizontal transfer unit 150, and a pork 160. [

회전부(110)는 AGV(automated guided vehicle)(210)의 상부에 연결되며, 한 쌍의 지지 프레임(frame)(120)은 각각 회전부(110)의 상부의 일측과 타측에 각각 마주대하도록 연결된다. 둘 이상의 번인 랙 수납부재(130)는 각각 한 쌍의 지지 프레임(120)의 내측에 수직방향(Z)으로 서로 간격을 두고 배치되어 각각 번인 랙(220)을 수납하며, 수직 이송부(140)는 한 쌍의 지지 프레임(120)과 LM 가이드(linear motion guide)(140a)를 개재하여 연결되어 둘 이상의 번인 랙 수납부재(130)를 LM 가이드를 따라 수직방향(Z)으로 이송시킨다. 수평 이송부(150)는 둘 이상의 번인 랙 수납부재(130)의 내측에 각각 LM 가이드(150a)를 개재하여 연결되어 번인 랙(burn in rack)(210)을 수평방향(X)으로 이송하며, 포크(pork)(160)는 수평 이송부(150)의 일측에 연결되어 수평 이송부(150)에 의해 수평으로 이송되거나 수직 이송부(140)에 의해 이송되는 번인 랙 수납부재(130)와 연동되어 수직방향(Z)으로 이송되어 번인 랙(220)을 락킹한다.The rotation unit 110 is connected to an upper portion of an AGV 210 and a pair of support frames 120 are connected to one side and the other side of the upper portion of the rotation unit 110, . The two or more burn-in rack accommodating members 130 each house a burn-in rack 220 spaced apart from each other in the vertical direction Z on the inside of the pair of support frames 120, and the vertical conveying unit 140 The pair of support frames 120 are connected to each other via an LM guide (linear motion guide) 140a to feed the two or more bunning rack receiving members 130 along the LM guide in the vertical direction Z. The horizontal transfer unit 150 is connected to the inside of the at least two burner rack receiving members 130 via the LM guides 150a to feed the burn in racks 210 in the horizontal direction X, The pork 160 is connected to one side of the horizontal conveyance unit 150 and interlocked with the bunion rack receiving member 130 which is horizontally conveyed by the horizontal conveyance unit 150 or conveyed by the vertical conveyance unit 140, Z to lock the burn-in rack 220.

본 발명의 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치의 상세한 구성을 설명하면 다음과 같다. The detailed configuration of the burn-in rack transfer device using the AGV of the present invention will be described as follows.

회전부(110)는 도 1 내지 도 4에서와 같이 한 쌍의 지지 프레임(120)을 회전시킴에 의해 번인 랙(220)이 수납되는 둘 이상의 번인 랙 수납부재(130)를 180도(degree) 회전시키며, 원형 베이스판(base plate)(111), 셋 이상의 보조 가이드블럭(112), 사각형 베이스판(113), 셋 이상의 회전롤러(114), 셋 이상의 지지롤러(115), 원형 중공 가이드판(116), 모터(117), 벨트(118) 및 케이블 보호 덕트(cable protecion duct)(119)를 포함하여 구성된다.1 to 4, the rotary unit 110 rotates the two or more burn-in rack accommodating members 130, in which the burn-in rack 220 is housed, by rotating the pair of support frames 120 by 180 degrees A plurality of support rollers 115, a plurality of support rollers 115, a circular hollow guide plate (not shown) 116, a motor 117, a belt 118, and a cable protec- tion duct 119. As shown in Fig.

원형 베이스판(111)은 도 1에서와 같이 AGV(210)의 상부에 LM 가이드(211a)를 개재하여 연결되어 AGV(210)의 버퍼(212)의 측으로 이동될 수 있도록 하고, 도 3 및 도 4에서와 같이 가장자리를 따라 원형 레일판(111a)이 연결되며, 중심축에 중공형 원통부재(111b)가 연결된다. 여기서, 원형 베이스판(111)은 블스크류 이송기구(도시 않음)의 구동에 의해 LM 가이드(211a)를 수평방향(Y)으로 이송된다. 여기서, 도 3에 도시된 단면도는 도 3에 도시된 A-A선의 확대 단면도이다. The circular base plate 111 is connected to the upper portion of the AGV 210 via the LM guide 211a so as to be moved toward the buffer 212 of the AGV 210 as shown in FIG. 4, the circular rail plate 111a is connected along the edge, and the hollow cylindrical member 111b is connected to the central shaft. Here, the circular base plate 111 is conveyed in the horizontal direction (Y) by driving the screw conveying mechanism (not shown). Here, the sectional view shown in Fig. 3 is an enlarged cross-sectional view taken along the line A-A shown in Fig.

셋 이상의 보조 가이드블럭(112)은 도 3 및 도 4에서와 같이 각각 원형 베이스판(111)의 상부에 원형 레일판(111a)과 중공형 원통부재(111b) 사이에 각각 일정한 등각도로 이격되어 연결되며, 원형 베이스판(111)의 외주면을 향하는 방향의 면에 오목 가이드홈(112a)이 형성된다. 도 3 및 도 4에 도시된 보조 가이드블럭(112)의 실시예는 4개로 구성되며, 각각은 원형 베이스판(111)의 중심에서 일정하게 동일한 거리에 위치되며, 90도(degree)의 등각도로 이격되어 원형 베이스판(111)의 상부에 볼트나 너트(도시 않음)를 이용하여 연결되어 고정된다. As shown in FIGS. 3 and 4, the three or more auxiliary guide blocks 112 are spaced at constant angular intervals between the circular rail plate 111a and the hollow cylindrical member 111b at the upper portion of the circular base plate 111, And a concave guide groove 112a is formed on the surface of the circular base plate 111 facing the outer circumferential surface. The embodiment of the auxiliary guide block 112 shown in Figs. 3 and 4 is composed of four, each of which is located at a uniform distance from the center of the circular base plate 111, And is connected and fixed to the upper part of the circular base plate 111 by using bolts or nuts (not shown).

사각형 베이스판(113)은 도 3에서와 같이 원형 베이스판(111)의 상부에 원형 베이스판(111)과 이격되도록 배치되고, 원형 베이스판(111)의 중공형 원통부재(111a)와 이격되도록 중심에 원형홈(113a)이 형성된다. 셋 이상의 회전롤러(114)는 도 3 및 도 4에서와 같이 사각형 베이스판(113)의 하부에 각각 볼트나 너트(부재번호 미기재)를 이용해 일정한 등각도로 이격되도록 연결되며, 외주면에 오목 가이드홈(114a)이 형성된다.3, the rectangular base plate 113 is disposed to be spaced apart from the circular base plate 111 at an upper portion of the circular base plate 111 and is spaced apart from the hollow cylindrical member 111a of the circular base plate 111 A circular groove 113a is formed at the center. As shown in FIGS. 3 and 4, the three or more rotating rollers 114 are connected to the lower portion of the rectangular base plate 113 so as to be spaced apart from each other by a constant angle using bolts or nuts (member numbers not shown) 114a are formed.

셋 이상의 지지롤러(115)는 각각 도 4에서와 같이 사각형 베이스판(113)의 하부에 각각 일정한 등각도로 이격되도록 연결되어 원형 베이스판(111)의 원형 레일판(111a)을 따라 가이드되어 이동된다. 도 4에 도시된 지지롤러(115)는는 4개가 구비된 실시예를 도시하고 있으며, 4개의 지지롤러(115)는 각각 사각형 베이스판(113)의 하부 중심에서 서로 동일한 거리에 위치되며, 서로 90도 간격의 등각도로 이격되어 배치되어 본 발명의 본 발명의 AGV(210)를 이용한 번인 랙 이송장치(100)가 회전시 하중을 지지하여 본 발명의 AGV(210)를 이용한 번인 랙 이송장치(100)가 하중에 의한 편차 없이 정밀한 회전운동을 구현할 수 있도록 한다. 4, the support rollers 115 are respectively connected to the lower portion of the rectangular base plate 113 so as to be spaced apart from each other by a constant angle and guided along the circular rail plate 111a of the circular base plate 111 . 4, four supporting rollers 115 are disposed at the same distance from each other at the lower center of the rectangular base plate 113, and the supporting rollers 115, The bunk rack transporting apparatus 100 using the AGV 210 according to the present invention of the present invention is supported at the time of rotation and is supported by the bunk rack transporting apparatus 100 using the AGV 210 of the present invention ) Can be precisely rotated without deviation due to the load.

원형 중공 가이드판(116)은 도 3 및 도 4에서와 같이 사각형 베이스판(113)의 하부에 볼트나 너트(부재번호 미도시)를 이용해 체결되어 고정되어 셋 이상의 보조 가이드블럭(112)과 셋 이상의 회전롤러(115)의 각각의 오목 가이드홈(112a,115a)에 삽입되도록 연결된다. 이러한 원형 중공 가이드판(116)은 사각형 베이스판(113)의 하부에 셋 이상의 보조 가이드블럭(112)과 셋 이상의 회전롤러(115)의 각각의 오목 가이드홈(112a,115a)에 삽입되도록 내주면에 볼록 가이드부재(116a)가 형성되며, 외주면에 벨트(18) 즉, 벨트(18)의 오목 가이드홈(18a)이 삽입되도록 오목 가이드홈(116b)이 형성된다. 3 and 4, the circular hollow guide plate 116 is fastened and fixed to the lower portion of the rectangular base plate 113 using bolts or nuts (not shown) to form three or more auxiliary guide blocks 112 and three 115a of each of the rotary rollers 115. The concave guide grooves 112a, The circular hollow guide plate 116 is formed on the inner peripheral surface of the rectangular base plate 113 so as to be inserted into the concave guide grooves 112a and 115a of the three or more auxiliary guide blocks 112 and three or more rotary rollers 115, The concave guide groove 116b is formed on the outer circumferential surface of the belt 18 so that the concave guide groove 18a of the belt 18 is inserted.

모터(117)는 도 3 및 도 4에서와 같이 사각형 베이스판(113)의 일측에 연결브라켓(117a)를 이용하여 고정되도록 연결되며, 원형 중공 가이드판(116)과 벨트(118)로 연결되어 벨트(118)를 회전시킴에 의해 원형 중공 가이드판(116)이 셋 이상의 보조 가이드블럭(112)과 셋 이상의 회전롤러(115)에 의해 가이드되어 회전되도록 함에 의해 사각형 베이스판(113)이 셋 이상의 지지롤러(115)에 의해 지지된 상태에서 회전되도록 한다. 모터(117)는 수평방향(X) 즉, AGV(210)에서 버퍼(212)가 배치되지 않은 방향으로 사각형 베이스판(113)을 180도(degree) 회전시킨다. 3 and 4, the motor 117 is fixed to one side of the rectangular base plate 113 using a connection bracket 117a and connected to the circular hollow guide plate 116 by a belt 118 The circular hollow guide plate 116 is guided and rotated by the three or more auxiliary guide blocks 112 and three or more rotating rollers 115 by rotating the belt 118 so that the rectangular base plate 113 is rotated by three or more So as to be rotated while being supported by the support roller (115). The motor 117 rotates the rectangular base plate 113 by 180 degrees in the horizontal direction X, that is, the direction in which the buffer 212 is not disposed in the AGV 210. [

벨트(118)는 도 3 및 도 4에서와 같이 내주면에 원형 중공 가이드판(116)의 외주면에 형성되는 오목 가이드홈(116a)에 삽입되어 걸리도록 볼록 가이드부재(118a)가 형성되며, 벨트(118)의 장력은 원형 베이스판(111)의 상부에 연결되는 장력 조절 롤러(118a)에 의해 조절된다. 3 and 4, a convex guide member 118a is formed on the inner circumferential surface of the belt 118 so as to be inserted into the concave guide groove 116a formed on the outer circumferential surface of the circular hollow guide plate 116, 118 is controlled by a tension adjusting roller 118a connected to the upper portion of the circular base plate 111. [

케이블 보호 덕트(119)는 도 3 및 도 4에서와 같이 원형 베이스판(111)의 중공형 원통부재(11b)와 사각형 베이스판(113)의 원형홈(113a) 사이에 구비되어 본 발명의 AGV(210)를 이용한 번인 랙 이송장치(100)를 전반적으로 제어하기 위한 전원선이나 신호선(도시 않음)이 번인 랙 이송장치(100)의 회전에 의해 꼬임이 발생되는 것을 방지한다. 이러한 케이블 보호 덕트(119)는 원형 베이스판(111)의 상부에 연결되며, 원형 베이스판(111)의 중공형 원통부재(111b)의 외주면을 따라 원형 베이스판(111)의 중공형 원통부재(111b)를 부분적으로 감싸도록 연장된 후 사각형 베이스판(113)의 원형홈(113a)의 내주면으로 굴곡되어 사각형 베이스판(113)의 원형홈(113a)을 따라 사각형 베이스판(113)의 원형홈(113a)을 부분적으로 감싸도록 형성된다.The cable protection duct 119 is provided between the hollow cylindrical member 11b of the circular base plate 111 and the circular groove 113a of the rectangular base plate 113 as shown in Figs. 3 and 4, (Not shown) for controlling the burn-in rack transporting apparatus 100 using the rack 210 is prevented from being twisted due to rotation of the rack transporting apparatus 100 in which the power line or the signal line (not shown) The cable protection duct 119 is connected to the upper portion of the circular base plate 111 and is connected to the hollow cylindrical member 111 of the circular base plate 111 along the outer peripheral surface of the hollow cylindrical member 111b of the circular base plate 111 111b of the rectangular base plate 113 and then bent into the inner circumferential surface of the circular groove 113a of the rectangular base plate 113 so as to extend along the circular groove 113a of the rectangular base plate 113, (Not shown).

한 쌍의 지지 프레임(120)은 각각 도 2, 도 5, 도 6 및 도 7에서와 같이 한 쌍의 수직 지지부재(121)와 수평 지지부재(122)를 포함하여 구성된다. The pair of support frames 120 each include a pair of vertical support members 121 and horizontal support members 122 as shown in Figs. 2, 5, 6, and 7, respectively.

한 쌍의 수직 지지부재(121)는 회전부(110)의 사각형 베이스판(113)의 상부의 일측이나 타측에서 서로 마주대하도록 간격을 두고 배치되어 각각 사각형 베이스판(113)의 상부에 연결된다. 수평 지지부재(122)는 한 쌍의 수직 지지부재(121)에 연결되어 한 쌍의 수직 지지부재(121)를 지지하여, 한 쌍의 지지 프레임(120)이 본 발명의 AGV(210)를 이용한 번인 랙 이송장치(100)를 전반적으로 지지되도록 한다. The pair of vertical support members 121 are arranged at an interval on one side or the other of the upper part of the rectangular base plate 113 of the rotary part 110 so as to face each other and connected to the upper part of the rectangular base plate 113. The horizontal support member 122 is connected to the pair of vertical support members 121 to support the pair of vertical support members 121 so that the pair of support frames 120 are connected to the AGV 210 of the present invention Thereby making the burn-in rack transporting apparatus 100 generally supported.

둘 이상의 번인 랙 수납부재(130)는 각각 도 2 및 도 5에서와 같이 한 쌍의 수직 지지판(131)과 수평 지지판(132)을 포함하여 구성된다. The two or more burn-in rack accommodating members 130 include a pair of vertical supporting plates 131 and a horizontal supporting plate 132, as shown in FIGS. 2 and 5, respectively.

한 쌍의 수직 지지판(131)은 한 쌍의 지지 프레임(120)을 기준으로 서로 수직방향(Z)으로 이격되어 배치되며, 수직 이송부(140)와 연결되어 수직 이송부(140)에 의해 수직방향(Z)으로 이송된다. 수평 지지판(132)은 한 쌍의 수직 지지판(131)의 상부나 하부의 끝단에 연결되어 한 쌍의 수직 지지판(131)을 지지하여 내측으로 번인 랙(220)이 수납되는 공간을 제공한다. The pair of vertical support plates 131 are spaced apart from each other in the vertical direction Z with respect to the pair of support frames 120. The vertical support plates 131 are connected to the vertical transfer unit 140, Z). The horizontal support plate 132 is connected to the upper or lower ends of the pair of vertical support plates 131 to support a pair of vertical support plates 131 to provide a space for accommodating the burning racks 220 therein.

수직 이송부(140)는 도 5 내지 도 7에서와 같이 한 쌍의 제1수직 이송블럭(141), 한 쌍의 제2수직 이송블럭(142), 볼스크류 이송기구(143) 및 한 쌍의 쇽 업저버(shock absorber)(144)를 포함하여 구성된다. 5 to 7, the vertical transfer unit 140 includes a pair of first vertical transfer blocks 141, a pair of second vertical transfer blocks 142, a ball screw transfer mechanism 143, and a pair of shocks And a shock absorber 144 as shown in FIG.

한 쌍의 제1수직 이송블럭(141)은 도 5 내지 도 7에서와 같이 각각 한 쌍의 지지 프레임(120) 중 하나의 한 쌍의 수직 지지판(121)에 각각 LM 가이드(140a)를 개재하여 연결되며, 각각의 일측의 면에 둘 이상의 번인 랙 수납부재(130)의 수직 지지판(131) 중 하나에 연결된다. 한 쌍의 제2수직 이송블럭(142)은 한 쌍의 제1수직 이송블럭(141)과 마주대하도록 한 쌍의 지지 프레임(120) 중 다른 하나의 한 쌍의 수직 지지판(121)에 각각 LM 가이드(140a)를 개재하여 연결되며, 둘 이상의 번인 랙 수납부재(130)의 수직 지지판(131) 중 다른 하나에 연결된다. 예를 들어, 한 쌍의 제1수직 이송블럭(141)은 한 쌍의 지지 프레임(120)을 기준으로 한 쌍의 지지 프레임(120) 중 원형 베이스판(111)의 일측에서 서로 이격되어 배치되는 한 쌍의 수직 지지판(121)에 각각 LM 가이드(140a)를 개재하여 연결되며, 한 쌍의 제2수직 이송블럭(142)은 한 쌍의 지지 프레임(120) 중 원형 베이스판(111)의 타측에서 서로 이격되어 배치되는 한 쌍의 수직 지지판(121)에 각각 LM 가이드(140a)를 개재하여 연결된다. 5 to 7, a pair of first vertical transfer blocks 141 are respectively connected to a pair of vertical support plates 121 of one of a pair of support frames 120 through an LM guide 140a And is connected to one of the vertical support plates 131 of the two or more bunning rack receiving members 130 on one side thereof. The pair of second vertical transfer blocks 142 are mounted on a pair of the vertical support plates 121 of the other one of the pair of support frames 120 so as to face the pair of first vertical transfer blocks 141, And is connected to the other one of the vertical support plates 131 of the two or more bunning rack receiving members 130. [ For example, the pair of first vertical transfer blocks 141 are spaced from each other at one side of the circular base plate 111 of the pair of support frames 120 with respect to the pair of support frames 120 And the pair of second vertical transfer blocks 142 are connected to the pair of vertical support plates 121 via the LM guides 140a and the pair of support frames 120 are connected to the other side of the circular base plate 111 And are connected to a pair of vertical support plates 121 spaced apart from each other at an LM guide 140a.

볼스크류 이송기구(143)는 도 5 및 도 6에서와 같이 한 쌍의 제1수직 이송블럭(142)에 연결되며, 회전부(110)의 사각형 베이스판(113)의 상부의 일측에 하부가 연결되어 한 쌍의 제1수직 이송블럭(141)과 한 쌍의 제2수직 이송블럭(142)을 LM 가이드(140a)를 따라 수직방향(Z)으로 이송시킴에 의해 둘 이상의 번인 랙 수납부재(130)를 수직방향(Z)으로 이송시킨다. 즉, 볼스크류 이송기구(143)는 도 6에서와 같이 볼스크류 이송기구(143)에 구비되는 이동블럭(143)이 둘 이상의 번인 랙 수납부재(130) 중 하나의 수직 지지판(131)에 연결되고 끝단이 둘 이상의 번인 랙 수납부재(130) 중 다른 하나의 수직 지지판(131)에 연결됨으로써 둘 이상의 번인 랙 수납부재(130)를 일정한 간격을 유지한 상태로 수직방향(Z)으로 이송시킴에 의해 각각에 구비되는 포크(160)를 동시에 연동시켜 수직방향(Z)으로 이송시킬 수 있게 된다. 5 and 6, the ball screw transfer mechanism 143 is connected to a pair of first vertical transfer blocks 142, and a lower portion is connected to one side of the upper portion of the rectangular base plate 113 of the rotation unit 110 So that a pair of first vertical transfer blocks 141 and a pair of second vertical transfer blocks 142 are transferred in the vertical direction Z along the LM guide 140a, ) In the vertical direction (Z). 6, the moving block 143 provided in the ball screw feeding mechanism 143 is connected to one vertical support plate 131 of the two or more bunk rack receiving members 130, And the other end of the bunch rack housing member 130 is connected to the other one of the vertical support plates 131 of the two or more bunk rack storage members 130 so that the two or more bunk rack storage members 130 are transported in the vertical direction Z The fork 160 provided for each of them can be simultaneously moved in the vertical direction Z to be interlocked.

한 쌍의 쇽 업저버(144)는 볼스크류 이송기구(143)와 마주대하도록 회전부(110)의 사각형 베이스판(113)의 타측의 상부에 하측이 제1연결블럭(144a)을 개재하여 각각 연결되며, 상측은 각각 제2연결블럭(144b)을 개재하여 한 쌍의 수직 지지판(131) 중 하나와 연결되어 볼스크류 이송기구(143)에 의해 수직방향(Z)으로 이송되는 둘 이상의 번인 랙 수납부재(130)를 지지한다. 이러한 한 쌍의 쇽 업저버는 회전부(110)의 사각형 베이스판(113)의 타측의 상부에 서로 간격을 두고 이격되어 제1연결블럭(144a)을 개재하여 연결되며, 각각은 가스 쇽 업저버(gas shock absorber)가 사용되어 본 발명의 AGV(210)를 이용한 번인 랙 이송장치(100)를 수직방향(Z)으로 이송 시 번인 랙 이송장치(100)의 자중에 의한 수평방향(X,Y)의 편차를 줄이고, 보다 작은 구동원을 이용해 수직방향으로 이동시킬 수 있게 된다. The pair of shock absorbers 144 are connected to the upper part of the other side of the rectangular base plate 113 of the rotary part 110 so as to face the ball screw transfer mechanism 143 via the first connection block 144a And the upper side thereof is connected to one of the pair of vertical support plates 131 via the second connection block 144b and is guided by the ball screw conveying mechanism 143 in the vertical direction Z, Thereby supporting the member 130. The pair of shock absorbers are spaced apart from each other on the other side of the rectangular base plate 113 of the rotary part 110 and connected to each other through a first connection block 144a, (X, Y) due to the own weight of the burn-in rack transporting apparatus 100 when the burn-in rack transporting apparatus 100 using the AGV 210 of the present invention is transported in the vertical direction Z, And can be moved in a vertical direction using a smaller driving source.

수평 이송부(150)는 도 1, 도 2, 도 8 및 도 9에서와 같이 한 쌍의 볼스크류 이송기구(151), 수평 이송판(152) 및 랙 엔 피니언(rack and pinion) 이송기구(153)를 포함하여 구성된다. The horizontal transfer unit 150 includes a pair of ball screw transfer mechanisms 151, a horizontal transfer plate 152, and a rack and pinion transfer mechanism 153 (see FIG. 1, FIG. 2, FIG. 8, ).

한 쌍의 볼스크류 이송기구(151)는 도 8 및 도 9에서와 같이 한 쌍의 지지 프레임(120)에 각각 구비되는 수평 지지부재(122)의 상부에 연결블럭(151a)을 개재하여 연결된다.The pair of ballscrew feed mechanisms 151 are connected to the upper portion of the horizontal support member 122 provided on each of the pair of support frames 120 through the connection block 151a as shown in Figs. 8 and 9 .

수평 이송판(152)은 도 8 및 도 9에서와 같이 한 쌍의 볼스크류 이송기구(151) 사이에 위치되도록 배치되며 한 쌍의 지지 프레임(120)에 각각 구비되는 수평 지지부재(122)의 상부에 LM 가이드(150a)를 개재하여 연결되어 한 쌍의 볼스크류 이송기구(151)에 의해 수평방향(X)으로 이송된다. 이러한 수평 이송판(152)의 하부에 일정한 간격을 두고 한 쌍의 번인 랙 이송 가이드부재(154)가 연결된다. 8 and 9, the horizontal transfer plate 152 is disposed between the pair of the ball screw transfer mechanisms 151 and includes a horizontal support member 122 And is conveyed in the horizontal direction X by a pair of ball screw conveying mechanisms 151 connected to the upper portion via the LM guide 150a. A pair of bunk rack transport guide members 154 are connected to the lower portion of the horizontal transport plate 152 at regular intervals.

랙 엔 피니언(rack and pinion) 이송기구(153)는 도 8 및 도 9에서와 같이 수평 이송판(152)의 상부에 연결블럭(153d)을 개재하여 연결되어 포크(160)를 수평으로 이송시킨다. 이러한 랙 엔 피니언 이송기구(153)는 랙(153a), 피니언(153b) 및 모터(153c)를 포함하여 구성된다. 랙(153a)은 수평 이송판(152)의 상부에 연결블럭(153d)을 개재하여 연결되며, 피니언(153b)은 랙(153a)에 연결된다. 모터(153c)는 피니언(153b)에 연결되어 피니언(153b)을 회전시킴에 의해 랙(153a)을 수평방향(X)으로 이송시켜 포크(160)가 수평방향(X)으로 이송되도록 한다. The rack and pinion feed mechanism 153 is connected to the upper portion of the horizontal feed plate 152 via a connecting block 153d as shown in FIGS. 8 and 9 to feed the fork 160 horizontally . The rack and pinion feed mechanism 153 includes a rack 153a, a pinion 153b, and a motor 153c. The rack 153a is connected to the upper part of the horizontal feed plate 152 via a connection block 153d and the pinion 153b is connected to the rack 153a. The motor 153c is connected to the pinion 153b to rotate the pinion 153b so that the rack 153a is moved in the horizontal direction X so that the fork 160 is transferred in the horizontal direction X. [

한 쌍의 번인 랙 이송 가이드부재(154)는 도 8 및 도 9에서와 같이 한 쌍의 연결판(154a)과 한 쌍의 롤러(154b)를 포함하여 구성된다. 한 쌍의 연결판(154a)은 수평 이송판(152)의 하부에 일정한 간격을 두고 연결되며, 한 쌍의 롤러(154b)는 각각 한 쌍의 연결판(154a)에 각각 일정한 간격을 두고 연결되어 번인 랙(220)의 이송 시 가이드한다. The pair of burn-in rack conveying guide members 154 include a pair of connecting plates 154a and a pair of rollers 154b as shown in Figs. The pair of connecting plates 154a are connected to the lower portion of the horizontal feeding plate 152 at regular intervals and the pair of rollers 154b are respectively connected to the pair of connecting plates 154a at regular intervals Guide the burn-in rack 220 during conveyance.

포크(160)는 도 8 및 도 9에서와 같이 보조 수평연결블럭(161), 보조 수직연결블럭(162), 포크부재(163) 및 탄성 스프링부재(164)를 포함하여 구성된다.  The fork 160 includes the auxiliary horizontal connecting block 161, the auxiliary vertical connecting block 162, the fork member 163 and the elastic spring member 164 as shown in FIGS.

보조 수평연결블럭(161)은 피니언(153b)의 일측의 끝단에 연결되며, 보조 수직연결블럭(162)은 보조 수평연결블럭(161)의 하부에 연결된다. 포크부재(163)는 보조 수평연결블럭(161)의 일측에 배치되어 번인 랙(220)의 하부에 형성된 걸림홈(221: 도 10에 도시됨)에 락킹(locking)되며, 탄성 스프링부재(164)는 보조 수평연결블럭(161)와 포크부재(163) 사이에 연결되어 포크부재로 탄성력(163)을 제공하여 포크부재(163)가 번인 랙(220)의 하부에 형성된 걸림홈(221)으로 삽입되어 락킹 시 충격을 경감시켜준다. 이상의 본 발명의AGV(210)를 이용한 번인 랙 이송장치(100)에서 LM 가이드(140a,150a)는 LM 레일과 LM 이동블럭으로 이루어지는 공지된 기술이 적용되며, 볼스크류 이송기구(143,151) 또한, 볼 스크류, 벨트 및 모터로 이루어지는 공지된 기술이 적용됨으로 상세한 설명을 생략했다.The auxiliary horizontal connecting block 161 is connected to one end of the pinion 153b and the auxiliary vertical connecting block 162 is connected to the lower portion of the auxiliary horizontal connecting block 161. The fork member 163 is disposed at one side of the auxiliary horizontal connecting block 161 and locked to a latching groove 221 (shown in FIG. 10) formed at the lower portion of the burning rack 220, and the elastic spring member 164 Is connected between the auxiliary horizontal connecting block 161 and the fork member 163 to provide a resilient force 163 to the fork member 163 so that the fork member 163 is inserted into the latch groove 221 formed in the lower portion of the rack 220 It is inserted to reduce the shock when locking. In the burn-in rack transporting apparatus 100 using the AGV 210 according to the present invention, the LM guides 140a and 150a are formed of a known technology including an LM rail and an LM moving block. The ball screw transport mechanisms 143 and 151, A ball screw, a belt, and a motor are applied, so that a detailed description has been omitted.

전술한 본 발명의 AGV(210)를 이용한 번인 랙 이송장치(100)의 동작을 첨부된 도 10 내지 도 12를 참조하여 개략적으로 설명하면 다음과 같다. The operation of the burn-in rack transport apparatus 100 using the AGV 210 of the present invention will be described with reference to FIGS. 10 to 12. FIG.

본 발명의AGV(210)를 이용한 번인 랙 이송장치(100)의 실시예는 도 2에서와 같이 번인 랙 수납부재(130)가 2개가 구비된다. 2개의 번인 랙 수납부재(130) 중 적어도 어느 하나에 번인 랙(220)을 수납하기 위한 방법은 먼저, 포크(160)를 번인 랙(220)의 걸림홈(221)에 락킹시킨다. 포크(160)는 수직 이송부(140)에 의해 수직방향(Z)으로 하강하여 번인 랙(220)의 하부의 높이와 일치되어 정렬되도록 한다. 수평 이송부(150)는 수직 이송부(140)에 의해 포크(160)가 번인 랙(220)의 하부와 정렬되면 도 10에서와 같이 포크(160)를 한 쌍의 볼스크류 이송기구(151)에 의해 수평 이송판(152)을 수평방향(X)으로 이송시킨 후 다시 수평 이송판(152)에 배치된 랙 엔 피니언 이송기구(153)를 이용하여 포크(160)를 번인 랙(220)의 걸림홈(221)으로 이송시킨다. The embodiment of the burn-in rack transport apparatus 100 using the AGV 210 of the present invention is provided with two burn-in rack accommodating members 130 as shown in FIG. The method for storing the bunker rack 220 in at least one of the two bunker rack receiving members 130 first locks the fork 160 into the bunker groove 221 of the bungh rack 220. [ The fork 160 is lowered in the vertical direction Z by the vertical transfer unit 140 to align with the height of the lower portion of the burning rack 220. [ When the vertical transfer unit 140 aligns the lower portion of the rack 220 with the fork 160 by the vertical transfer unit 140, the fork 160 is moved by the pair of ball screw transfer mechanisms 151 The horizontal transfer plate 152 is transferred in the horizontal direction X and then the fork 160 is inserted into the latch groove 152 of the burn-in rack 220 by using the rack and pinion transfer mechanism 153 disposed on the horizontal transfer plate 152. [ (Not shown).

수직 이송부(140)는 수평 이송부(150)에 의해 포크(160)가 번인 랙(220)의 걸림홈(221)의 위치로 이송되면 포크(160)를 수직방향(Z)으로 승강시켜 포크(160)가 번인 랙(220)의 걸림홈(221)에 걸려 락킹되도록 한다. 수평 이송부(150)는 수직 이송부(140)에 의해 포크(160)가 번인 랙(220)의 걸림홈(221)에 걸려 락킹되면 번인 랙(220)을 도 11 및 도 12에 도시된 화살표방향으로 이송시켜 번인 랙 수납부재(130)에 수납한다. 번인 랙(220)의 배출방법은 전술한 수납방법의 역순으로 진행되며, 수납방향이나 배출방향의 반대방향으로 배출하거나 수납하는 경우에는 회전부(110)가 구동된다. The vertical transferring unit 140 moves the fork 160 in the vertical direction Z to the fork 160 when the fork 160 is transferred to the position of the latching groove 221 of the rack 220 by the horizontal transferring unit 150. [ Is engaged with the latching groove 221 of the burn-in rack 220 to be locked. When the vertical conveyance unit 150 is locked by the hooking groove 221 of the rack 220 in which the fork 160 is buried by the vertical conveyance unit 140, the burnishing rack 220 is moved in the direction of the arrow shown in FIGS. 11 and 12 And stored in the burn-in rack housing member 130. The burning rack 220 is discharged in the reverse order of the storing method described above. When the burning rack 220 is discharged or housed in a direction opposite to the storing direction or the discharging direction, the rotating portion 110 is driven.

이와 같이 수직 이송부(140)는 포크(160)를 수직방향(Z)으로 이송하기 위해 번인 랙 이송장치(100)를 수직방향으로 이송 시 한 쌍의 쇽 업저버(144)를 적용함으로써 번인 랙 이송장치(100)의 자중에 의한 수평방향의 편차를 줄이고, 보다 작은 구동원을 이용하여 수직방향으로 이동시킬 수 있게 된다. 수평 이송부(150)는 번인 랙(220)을 락킹(locking)하기 위해 포크(160)를 수평방향(X)으로 이송 시 2단으로 나누어 수평 이송 즉, 한 쌍의 볼스크류 이송기구(151)와 랙 엔 피니언 이송기구(153)를 이용하여 2단으로 나누어 수평 이송시킴으로써 번인 랙(220)의 하중에 의해 포크(160)가 수직방향(Z)의 아래로 쳐져 이탈되는 것을 방지할 수 있게 된다. The vertical transferring unit 140 applies a pair of shock absorbers 144 to the burnishing rack transferring apparatus 100 in the vertical direction to transfer the fork 160 in the vertical direction Z, It is possible to reduce the deviation in the horizontal direction due to the own weight of the driving unit 100 and to move it in the vertical direction by using a smaller driving source. The horizontal transfer unit 150 divides the fork 160 into two stages when the fork 160 is transferred in the horizontal direction X in order to lock the burner rack 220 and performs horizontal transfer, It is possible to prevent the fork 160 from falling down in the vertical direction Z by the load of the burn-in rack 220 by being horizontally transported in two stages using the rack-and-pinion transport mechanism 153.

회전부(110)는 번인 랙(220)의 수납방향이나 배출방향의 반대방향으로 배출하거나 수납하는 경우에 원형 베이스판(111)를 기준으로 원형 중공 가이드판(116)를 모터(117)로 구동시켜 번인 랙 수납부재(130)를 180도(degree) 회전시킴에 의해 번인 랙(220)을 양방향으로 인출하거나 수납할 수 있도록 함으로써 반도체 소자(도시 않음)의 번인 테스트 작업의 생산성을 개선시킬 수 있게 된다. 회전부(110)는 또한, 번인 랙 수납부재(130)를 회전 시 원형 베이스판(base plate)(111)의 원형 레일판(111a)을 셋 이상의 지지롤러(115)이 지지한 상태로 회전시킴에 의해 번인 랙 이송장치(100)의 하중에 의한 회전각 오차를 줄여 신뢰성이 있으며 정밀하게 회전시킬 수 있게 된다. The rotating part 110 drives the circular hollow guide plate 116 with the motor 117 on the basis of the circular base plate 111 when discharging or storing the burning rack 220 in the direction opposite to the storing direction or the discharging direction By rotating the burn-in rack accommodating member 130 by 180 degrees, the burn-in rack 220 can be drawn out or stored in both directions, thereby improving productivity of a burn-in test operation of a semiconductor element (not shown) . The rotating part 110 also rotates the burnishing rack accommodating member 130 in a state in which three or more supporting rollers 115 support the circular rail plate 111a of the circular base plate 111 The rotational angle error due to the load of the burn-in rack conveying apparatus 100 can be reduced, and reliable and precise rotation can be achieved.

본 발명의 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치는 반도체 제조 산업분야에 적용할 수 있다.The burn-in rack transfer apparatus using the AGV of the present invention can be applied to the semiconductor manufacturing industry.

100: 회전부 111: 원형 베이스판
112: 보조 가이드블럭 113: 사각형 베이스판
114: 회전롤러 115: 지지롤러
116: 원형 중공 가이드판 117: 모터
118: 케이블 보호 덕트 120: 지지 프레임
130: 번인 랙 수납부재 140: 수직 이송부
141: 제1수직 이송블럭 142: 제2수직 이송블럭
143: 볼스크류 이송기구 144: 쇽 업저버
150: 수평 이송부 151: 볼스크류 이송기구
152: 수평 이송판 153: 랙 엔 피니언
154: 번인 랙 이송 가이드부재 160: 포크100: rotating part 111: circular base plate
112: auxiliary guide block 113: rectangular base plate
114: rotating roller 115: supporting roller
116: circular hollow guide plate 117: motor
118: Cable protection duct 120: Support frame
130: a burn-in rack storing member 140:
141: first vertical transfer block 142: second vertical transfer block
143: ball screw feed mechanism 144: shock absorber
150: horizontal transfer unit 151: ball screw transfer mechanism
152: horizontal feed plate 153: rack-and-pinion
154: burn-in rack transport guide member 160: fork

Claims (11)

AGV(automated guided vehicle)의 상부에 연결되는 회전부;
상기 회전부의 상부의 일측과 타측에 각각 마주대하도록 연결되는 한 쌍의 지지 프레임(frame);
상기 한 쌍의 지지 프레임의 내측에 수직방향으로 서로 간격을 두고 배치되어 각각 번인 랙을 수납하는 둘 이상의 번인 랙 수납부재;
상기 한 쌍의 지지 프레임과 LM 가이드(linear motion guide)를 개재하여 연결되어 상기 둘 이상의 번인 랙 수납부재를 상기 LM 가이드를 따라 수직방향으로 이송시키는 수직 이송부;
상기 둘 이상의 번인 랙 수납부재의 내측에 각각 LM 가이드를 개재하여 연결되어 번인 랙(burn in rack)을 수평방향으로 이송하는 수평 이송부;
상기 수평 이송부의 일측에 연결되어 수평 이송부에 의해 수평으로 이송되거나 상기 수직 이송부에 의해 이송되는 번인 랙 수납부재와 연동되어 수직방향으로 이송되어 번인 랙을 락킹하는 포크(pork)를 포함하며,
상기 포크는 수평 이송부의 피니언의 일측의 끝단에 연결되는 보조 수평연결블럭; 상기 보조 수평연결블럭의 하부에 연결되는 보조 수직연결블럭; 상기 보조 수직 연결블럭의 일측에 배치되어 번인 랙의 하부에 형성된 걸림홈에 락킹(locking)되는 포크부재; 및 상기 보조 수직연결블럭과 포크부재사이에 연결되어 포크부재로 탄성력을 제공하는 탄성 스프링부재를 포함하는 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치.A rotating part connected to an upper part of an automated guided vehicle (AGV);
A pair of support frames connected to one side and the other side of the upper part of the rotation part so as to face each other;
Two or more burn-in rack accommodating members disposed in the inside of the pair of support frames so as to be spaced apart from each other in the vertical direction and accommodating burn-in racks;
A vertical conveyance unit connected to the pair of support frames via an LM guide to convey the at least two burner rack receiving members in a vertical direction along the LM guide;
A horizontal conveying unit connected to the inside of the at least two burner rack receiving members via respective LM guides to convey burn in racks in a horizontal direction;
And a pork which is connected to one side of the horizontal conveyance unit and is horizontally conveyed by the horizontal conveyance unit or interlocked with the burn-in rack storage member conveyed by the vertical conveyance unit, and which is conveyed in the vertical direction to lock the burn-
An auxiliary horizontal connecting block connected to one end of the pinion of the horizontal feed portion; A supplementary vertical connection block connected to a lower portion of the auxiliary horizontal connection block; A fork member disposed at one side of the auxiliary vertical connection block and locked to a latching groove formed at a lower portion of the burn-in rack; And an elastic spring member connected between the auxiliary vertical connecting block and the fork member to provide an elastic force to the fork member. 제1항에 있어서,
상기 회전부는 상기 한 쌍의 지지 프레임을 회전시킴에 의해 번인 랙이 수납되는 둘 이상의 번인 랙 수납부재를 180도(degree) 회전시키는 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치.The method according to claim 1,
Wherein the rotating portion rotates the two or more bunning rack receiving members in which the bunching rack is accommodated by rotating the pair of supporting frames by 180 degrees. 제1항에 있어서,
상기 회전부는 AGV의 상부에 LM 가이드(linear motion guide)를 개재하여 연결되고, 가장자리를 따라 원형 레일판이 연결되며, 중심축에 중공형 원통부재가 연결되는 원형 베이스판;
상기 원형 베이스판의 상부에 상기 원형 레일판과 상기 중공형 원통부재 사이에 각각 일정한 등각도로 이격되어 연결되며, 원형 베이스판의 외주면을 향하는 방향의 면에 오목 가이드홈이 형성되는 셋 이상의 보조 가이드블럭;
상기 원형 베이스판의 상부에 원형 베이스판과 이격되도록 배치되고, 상기 원형 베이스판의 중공형 원통부재와 이격되도록 중심에 원형홈이 형성되는 사각형 베이스판;
상기 사각형 베이스판의 하부에 각각 일정한 등각도로 이격되도록 연결되며, 외주면에 오목 가이드홈이 형성되는 셋 이상의 회전롤러;
상기 사각형 베이스판의 하부에 각각 일정한 등각도로 이격되도록 연결되어 원형 베이스판의 원형 레일판을 따라 가이드되어 이동되는 셋 이상의 지지롤러;
상기 사각형 베이스판의 하부에 상기 셋 이상의 보조 가이드블럭과 상기 셋 이상의 회전롤러의 각각의 오목 가이드홈에 삽입되도록 연결되는 원형 중공 가이드판; 및
상기 사각형 베이스판의 일측에 연결되며 상기 원형 중공 가이드판과 벨트로 연결되어 벨트를 회전시킴에 의해 원형 중공 가이드판이 상기 셋 이상의 보조 가이드블럭과 상기 셋 이상의 회전롤러에 의해 가이드되어 회전되도록 함에 의해 상기 사각형 베이스판이 셋 이상의 지지롤러에 의해 지지된 상태에서 회전되도록 하는 모터를 포함하며,
상기 원형 중공 가이드판은 상기 사각형 베이스판의 하부에 상기 셋 이상의 보조 가이드블럭과 상기 셋 이상의 회전롤러의 각각의 오목 가이드홈에 삽입되도록 내주면에 볼록 가이드부재가 형성되며, 외주면에 상기 벨트가 삽입되도록 오목 가이드홈이 형성되며,
상기 벨트는 내주면에 상기 원형 중공 가이드판의 외주면에 형성되는 오목 가이드홈에 삽입되어 걸리도록 볼록 가이드부재가 형성되는 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치.The method according to claim 1,
The rotary unit includes a circular base plate connected to an upper portion of the AGV via an LM guide (linear motion guide), a circular rail plate connected along an edge thereof, and a hollow cylindrical member connected to the center shaft;
Wherein at least one of the three or more auxiliary guide blocks is formed at an upper portion of the circular base plate and is spaced at a constant angle between the circular rail plate and the hollow cylindrical member and has concave guide grooves formed on a surface thereof facing the outer peripheral surface of the circular base plate, ;
A rectangular base plate spaced apart from the circular base plate at an upper portion of the circular base plate and having a circular groove formed at a center thereof so as to be spaced apart from the hollow cylindrical member of the circular base plate;
Three or more rotary rollers connected to the lower part of the rectangular base plate so as to be spaced apart from each other by a constant angle and having concave guide grooves formed on the outer circumferential surface thereof;
Three or more support rollers connected to the lower portion of the rectangular base plate so as to be spaced apart from each other at a constant angle and guided along the circular rail plate of the circular base plate;
A circular hollow guide plate connected to the lower portion of the rectangular base plate so as to be inserted into the concave guide grooves of the at least three auxiliary guide blocks and the at least three rotary rollers; And
The circular hollow guide plate is guided and rotated by the at least three auxiliary guide blocks and the at least three rotating rollers by rotating the belt by being connected to the circular hollow guide plate by a belt, And a motor for rotating the rectangular base plate while being supported by at least three support rollers,
The circular hollow guide plate is formed with a convex guide member on the inner circumferential surface so as to be inserted into each of the concave guide grooves of the at least three auxiliary guide blocks and the at least three rotary rollers at a lower portion of the rectangular base plate, Concave guide grooves are formed,
Wherein the belt has an inner circumferential surface formed with a convex guide member so as to be inserted into a concave guide groove formed in an outer circumferential surface of the circular hollow guide plate. 제3항에 있어서,
상기 원형 베이스판의 중공형 원통부재와 상기 사각형 베이스판의 원형홈 사이에 케이블 보호 덕트(cable protecion duct)가 구비되며,
상기 케이블 보호 덕트는 상기 원형 베이스판의 상부에 연결되며, 원형 베이스판의 중공형 원통부재의 외주면을 따라 원형 베이스판의 중공형 원통부재를 부분적으로 감싸도록 연장된 후 상기 사각형 베이스판의 원형홈의 내주면으로 굴곡되어 사각형 베이스판의 원형홈을 따라 사각형 베이스판의 원형홈을 부분적으로 감싸도록 형성되는 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치.The method of claim 3,
A cable protec- tion duct is provided between the hollow cylindrical member of the circular base plate and the circular groove of the rectangular base plate,
The cable protection duct is connected to the upper portion of the circular base plate and extends along the outer circumferential surface of the hollow cylindrical member of the circular base plate so as to partially enclose the hollow cylindrical member of the circular base plate, And is formed to partially surround the circular groove of the rectangular base plate along the circular groove of the rectangular base plate. 제1항에 있어서,
상기 한 쌍의 지지 프레임은 각각 회전부의 사각형 베이스판의 상부의 일측이나 타측에서 서로 마주대하도록 간격을 두고 배치되도록 각각 사각형 베이스판의 상부에 연결되는 한 쌍의 수직 지지부재; 및
상기 한 쌍의 수직 지지부재에 연결되어 한 쌍의 수직 지지부재를 지지하는 수평 지지부재를 포함하는 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치.The method according to claim 1,
The pair of support frames may include a pair of vertical support members connected to the upper portion of the rectangular base plate so as to be spaced apart from each other on one side or the other of the upper portion of the rectangular base plate of the rotary portion. And
And a horizontal support member connected to the pair of vertical support members and supporting a pair of vertical support members. 제1항에 있어서,
상기 둘 이상의 번인 랙 수납부재는 각각 서로 수직방향으로 이격되어 배치되며, 수직 이송부와 연결되어 수직 이송부에 의해 수직방향으로 이송되는 한 쌍의 수직 지지판; 및
상기 한 쌍의 수직 지지판의 상부나 하부의 끝단에 연결되어 한 쌍의 수직 지지판를 지지하는 수평 지지판를 포함하는 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치.The method according to claim 1,
The two or more bunning rack receiving members are spaced apart from each other in the vertical direction and are connected to the vertical conveying unit and are vertically conveyed by the vertical conveying unit; And
And a horizontal support plate connected to upper and lower ends of the pair of vertical support plates to support a pair of vertical support plates. 제1항에 있어서,
상기 수직 이송부는 한 쌍의 지지 프레임 중 하나의 한 쌍의 수직 지지판에 각각 LM 가이드를 개재하여 연결되며, 각각의 일측의 면에 둘 이상의 번인 랙 수납부재의 수직 지지판 중 하나에 연결되는 한 쌍의 제1수직 이송블럭;
상기 한 쌍의 제1수직 이송블럭과 마주대하도록 한 쌍의 지지 프레임 중 다른 하나의 한 쌍의 수직 지지판에 각각 LM 가이드를 개재하여 연결되며, 둘 이상의 번인 랙 수납부재의 수직 지지판 중 다른 하나에 연결되는 한 쌍의 제2수직 이송블럭;
상기 한 쌍의 제1수직 이송블럭에 연결되며 회전부의 사각형 베이스판의 상부의 일측에 하부가 연결되어 한 쌍의 제1수직 이송블럭과 한 쌍의 제2수직 이송블럭을 LM 가이드를 따라 수직방향으로 이송시킴에 의해 둘 이상의 번인 랙 수납부재를 수직방향으로 이송시키는 볼스크류 이송기구;
상기 볼스크류 이송기구와 마주대하도록 회전부의 사각형 베이스판의 타측의 상부에 하측이 제1연결블럭을 개재하여 각각 연결되며, 상측은 각각 제2연결블럭을 개재하여 한 쌍의 수직 지지판 중 하나와 연결되어 상기 볼스크류 이송기구에 의해 수직방향으로 이송되는 둘 이상의 번인 랙 수납부재를 지지하는 한 쌍의 쇽 업저버(shock absorber)를 포함하는 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치.The method according to claim 1,
The vertical transfer part is connected to a pair of vertical support plates of one of the pair of support frames via LM guides, and a pair of vertical support parts connected to one of the vertical support plates of the two or more bunning rack receiving members, A first vertical transfer block;
The first vertical transfer block is connected to the other one of the pair of vertical support plates via the LM guide so as to face the pair of first vertical transfer blocks, A pair of second vertical transfer blocks connected;
A pair of first vertical transfer blocks and a pair of second vertical transfer blocks connected to the pair of first vertical transfer blocks and connected to one side of an upper portion of the upper portion of the rectangular base plate of the rotating portion, To transport the two or more bunning rack receiving members in a vertical direction;
The lower side of the rectangular base plate of the rotary part is connected to the lower side of the rectangular support plate through the first connection block and the upper side of each of the pair of vertical support plates is connected to the one of the pair of vertical support plates via the second connection block, And a pair of shock absorbers for supporting at least two bunker rack receiving members connected to the balun rack and vertically transported by the ball screw feeding mechanism. 제7항에 있어서,
상기 한 쌍의 쇽 업저버는 회전부의 사각형 베이스판의 타측의 상부에 서로 간격을 두고 이격되어 제1연결블럭을 개재하여 연결되며, 각각은 가스 쇽 업저버(gas shock absorber)가 사용되는 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치.8. The method of claim 7,
The pair of shock absorbers are connected to each other through a first connection block spaced apart from each other at an upper portion of the other side of the rectangular base plate of the rotary part, and each of the shock absorbers includes a gas shock absorber, Rack transfer device. 제1항에 있어서,
상기 수평 이송부는 각각 한 쌍의 지지 프레임에 각각 구비되는 수평 지지부재의 상부에 연결블럭을 개재하여 연결되는 한 쌍의 볼스크류 이송기구;
상기 한 쌍의 볼스크류 이송기구 사이에 위치되도록 배치되며 한 쌍의 지지 프레임에 각각 구비되는 수평 지지부재의 상부에 LM 가이드를 개재하여 연결되어 한 쌍의 볼스크류 이송기구에 의해 수평방향으로 이송되는 수평 이송판; 및
상기 수평 이송판의 상부에 연결되어 포크를 수평으로 이송시키는 랙 엔 피니언(rack and pinion) 이송기구를 포함하며,
상기 랙 엔 피니언 이송기구는 상기 수평 이송판의 상부에 연결되는 랙, 상기 랙에 연결되는 피니언 및 상기 피니언에 연결되어 피니언을 회전시킴에 의해 랙을 수평방향으로 이송시켜 포크가 수평방향으로 이송되도록 하는 모터를 포함하는 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치.The method according to claim 1,
Wherein the horizontal transfer part includes a pair of ball screw transfer mechanisms connected to upper portions of horizontal support members respectively provided in the pair of support frames via connecting blocks;
Screw conveying mechanism, and is connected to an upper portion of a horizontal support member provided on each of the pair of support frames through an LM guide and is horizontally conveyed by a pair of ball screw conveying mechanisms Horizontal transfer plate; And
And a rack and pinion transfer mechanism connected to the upper portion of the horizontal transfer plate for horizontally transferring the fork,
The rack-and-pinion conveying mechanism includes a rack connected to an upper portion of the horizontal conveying plate, a pinion connected to the rack, and a pinion, which are connected to the pinion to rotate the pinion to horizontally convey the rack, And a motor for driving the burn-in rack using the AGV. 제9항에 있어서,
상기 수평 이송판의 하부에 일정한 간격을 두고 한 쌍의 번인 랙 이송 가이드부재가 연결되며,
상기 한 쌍의 번인 랙 이송 가이드부재는 상기 수평 이송판의 하부에 일정한 간격을 두고 연결되는 한 쌍의 연결판 및 상기 한 쌍의 연결판에 각각 일정한 간격을 두고 연결되어 번인 랙의 이송 시 가이드하는 한 쌍의 롤러를 포함하는 AGV를 이용한 번인 랙 이송장치.10. The method of claim 9,
A pair of bunk rack transport guide members are connected to a lower portion of the horizontal transport plate at regular intervals,
The pair of bunk rack transport guide members are connected to a pair of connecting plates connected to the lower part of the horizontal conveying plate at regular intervals and at a predetermined interval to the pair of connecting plates, A burn-in rack transfer device using an AGV including a pair of rollers. 삭제delete
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