KR101695863B1 - 유체 레벨 센서 - Google Patents

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이재희
신동민
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플로우닉스 주식회사
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Abstract

본 발명은 소정길이로 연장된 비도전성의 베이스 부재; 상기 베이스 부재의 길이방향을 따라 연장되고 서로 이격되어 배치되는 복수의 검출용 도전성 라인들; 상기 도전성 라인들과 이격되도록 상기 베이스 부재의 길이방향을 따라 연장되는 하나의 공통 도전성 라인; 상기 검출용 도전성 라인들 및 공통 도전성 라인과 개별적으로 연결되고, 유체에 의해 각각의 검출용 도전성 라인들과 상기 공통 도전성 라인의 통전 여부를 판단하는 검출 모듈; 상기 검출용 도전성 라인의 길이방향을 따라 소정의 간격으로 이격되어 상기 검출용 도전성 라인이 각각 복수의 영역으로 분리되도록 하는 복수의 구멍들; 및 상기 검출용 도전성 라인의 구멍들 중 길이방향을 따라 인접한 2개의 구멍을 연결하여 상기 검출용 도전성 라인의 분리된 영역들이 전기적으로 연결되도록 하는 복수의 점퍼를 포함하고, 상기 점퍼들은 복수의 상기 검출용 도전성 라인들이 서로 다른 감지 길이를 갖도록 상기 검출용 도전성 라인의 구멍들에 장착되는 것을 특징으로 하는 유체 레벨 센서에 관한 것이다.

Description

유체 레벨 센서{Fluid level sensor}
본 발명은 누설된 유체의 높이를 측정하는 유체 레벨 센서에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 공정에는 많은 화학 물질들이 이용된다. 예를 들면, 웨이퍼의 절단 및 연마 후 세정 공정에 사용되는 세정액, 웨이퍼의 감광 공정에 사용되는 감광액, 웨이퍼의 현상 공정에 사용되는 현상액, 웨이퍼 식각 공정에 사용되는 식각액 등이 반도체 제조 공정에 이용된다.
이러한 화학 물질들은 이송관(배관)을 통해 각 공정이 수행되는 위치까지 내외부에서 이송되는데, 이송관의 불량 및 열화에 의해 화학 물질이 이송관 외부로 누설되는 일이 발생할 수 있다. 누설된 화학 물질은 사람은 물론 반도체 제조 현장의 다른 장치나 부품들에 악영향을 끼치므로, 이송관의 누설을 감지하여 빠르게 조치를 취할 필요가 있다.
특히, 저장 탱크 내부로 누설된 화학 물질은 일정량 이상으로 누설되기 전에 작업자가 조치를 취해야 물적 그리고 인적 피해를 최소화할 수 있다.
이러한 상황을 감안하여 저장 탱크 내부로 누설되는 유체가 일정 높이 이상이 되면, 누설을 감지하는 다양한 레벨 센서들이 개발되었다.
공개특허공보 제10-2002-0072452호(2002. 9. 16. 공개)는 유체가 수용된 용기와; 일단이 상기 용기의 측벽에 높이방향을 따라 측정될 유체의 레벨 간격으로 배열되어 상기 용기와 연통되도록 장착되고, 타단이 공통관에 연결되어 서로 만나도록 된 다수개의 음파관과; 상기 용기 내로 음파를 발생시키고 상기 음파관 및 공통관을 통해 전달된 음파를 수신하여 유량을 측정하도록 된 저수레벨 센서보드를 포함하는 유량 측정 장치 및 방법을 개시한다. 이 선행문헌은 유량에 따라 검출되는 음파량이 달라지는 원리를 이용하여 유체의 종류에 관계없이 정밀하게 유량을 측정할 수 있다. 그러나, 이 선행문헌에 개시된 유체의 레벨 간격으로 배열된 복수의 음파관을 포함하므로 구조가 복잡하고 센서 자체가 어느 정도의 공간을 차지한다는 단점이 있다.
공개특허공보 제10-2013-0004151호(2013. 1. 9. 공개)는 유체가 압력하에서 통과해서 흐르는 유체 튜브; 상기 유체 튜브를 통과해서 흐르는 유체의 적어도 일부가 압력 펄스 인듀서를 인게이지하도록(engage) 상기 유체 튜브 내에 배치된 압력 펄스 인듀서; 상기 압력 펄스 인듀서에, 상기 탱크내의 유체 레벨의 함수로서 변하는 힘을 제공하도록 상기 압력 펄스 인듀서에 동작가능하게 연관된 유체 레벨 반응 부재; 및 상기 튜브를 통과해서 흐르는 유체의 압력을 감지하는 압력 센서로서, 상기 압력 펄스 인듀서는 유체 레벨의 함수로서의 상기 유체의 압력 변화를 유도하고, 상기 압력 변화는 상기 압력 센서에 의해 감지되는, 압력 센서를 포함하는 유체 레벨 센서를 개시한다. 그러나, 이 선행문헌에 개시된 유체 레벨 센서는 압력 펄스 인듀서, 반응 부재, 압력 센서 등의 고가의 부품을 필요로 한다는 단점이 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로서, 구조가 간단하고 제조 원가를 절감할 수 있는 유체 레벨 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 사용자가 직접 감지 높이의 간격을 간단하게 설정할 수 있는 유체 레벨 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 소정길이로 연장된 비도전성의 베이스 부재; 상기 베이스 부재의 길이방향을 따라 연장되고 서로 이격되어 배치되는 복수의 검출용 도전성 라인들; 상기 도전성 라인들과 이격되도록 상기 베이스 부재의 길이방향을 따라 연장되는 하나의 공통 도전성 라인; 상기 검출용 도전성 라인들 및 공통 도전성 라인과 개별적으로 연결되고, 유체에 의해 각각의 검출용 도전성 라인들과 상기 공통 도전성 라인의 통전 여부를 판단하는 검출 모듈; 상기 검출용 도전성 라인의 길이방향을 따라 소정의 간격으로 이격되어 상기 검출용 도전성 라인이 각각 복수의 영역으로 분리되도록 하는 복수의 구멍들; 및 상기 검출용 도전성 라인의 구멍들 중 길이방향을 따라 인접한 2개의 구멍을 연결하여 상기 검출용 도전성 라인의 분리된 영역들이 전기적으로 연결되도록 하는 복수의 점퍼를 포함하고, 상기 점퍼들은 복수의 상기 검출용 도전성 라인들이 서로 다른 감지 길이를 갖도록 상기 검출용 도전성 라인의 구멍들에 장착되는 것을 특징으로 한다.
대안적으로, 소정길이로 연장된 비도전성의 베이스 부재; 상기 베이스 부재의 길이방향을 따라 연장되고 서로 이격되어 배치되며 서로 다른 길이로 연장되는 복수의 검출용 도전성 라인들; 상기 도전성 라인들과 이격되도록 상기 베이스 부재의 길이방향을 따라 연장되는 하나의 공통 도전성 라인; 및 상기 검출용 도전성 라인들 및 공통 도전성 라인과 개별적으로 연결되고, 유체에 의해 각각의 검출용 도전성 라인들과 상기 공통 도전성 라인의 통전 여부를 검출하는 검출 모듈을 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 검출용 도전성 라인과 공통 도전성 라인은 불소 수지와 도전성 물질의 혼합물로 이루어지고 상기 베이스 부재의 표면에 도포 또는 인쇄되거나, 상기 베이스 부재의 표면에 용착될 시트에 도포 또는 인쇄되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 베이스 부재는 튜브 형상, 봉 형상 또는 복수의 측면을 갖는 막대 형상으로 이루어지고, 수지 또는 비금속 소재로 제조되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 베이스 부재는 서로 이격되고 동일한 방향을 향하는 제1 표면 및 제2 표면을 갖도록 2겹으로 이루어지고, 상기 제1 표면에는 검출용 도전성 라인과 공통 도전성 라인이 형성되고, 상기 제2 표면에는 검출용 도전성 라인이 형성된 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 2겹으로 된 베이스 부재의 제1 표면과 제2 표면 사이의 간격을 유지하는 스페이서를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
한편, 저장 탱크의 장착 구멍을 밀봉하는 가스켓 및 상기 장착 구멍의 외부에 나사 결합되는 캡을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 검출용 도전성 라인들이 서로 다른 감지 길이를 가지므로, 검출용 도전성 라인의 수만큼 서로 다른 레벨로 누설 유체를 검출할 수 있다. 따라서, 고가의 부품들을 사용하지 않고 간단한 방식으로 유체 레벨 센서를 구현할 수 있다.
더욱이, 점퍼를 이용하여 구멍들을 선택적으로 연결할 수 있어, 사용자는 원하는 간격으로 검출 레벨을 설정할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 유체 레벨 센서를 개략적으로 도시한 측면 구성도,
도 2a는 육면체 형상의 베이스 부재를 도시한 횡단면도로서, 도전성 라인이 표면에 직접 도포 또는 인쇄된 베이스 부재를 개략적으로 도시한 도면,
도 2b는 육면체 형상의 베이스 부재를 도시한 횡단면도로서, 도전성 라인이 도포 또는 인쇄된 시트가 표면에 용착된 베이스 부재를 개략적으로 도시한 도면,
도 3a는 봉 형상 또는 튜브 형상의 베이스 부재를 개략적으로 도시한 횡단면도로서, 도전성 라인이 표면에 직접 도포 또는 인쇄된 베이스 부재를 개략적으로 도시한 도면,
도 3b는 봉 형상 또는 튜브 형상의 베이스 부재를 개략적으로 도시한 횡단면도로서, 도전성 라인이 도포 또는 인쇄된 시트가 표면에 용착된 베이스 부재를 개략적으로 도시한 도면,
도 4a는 2겹으로 된 튜브 형상의 베이스 부재를 개략적으로 도시한 사시도,
도 4b는 도 4a의 횡단면도,
도 5a는 2겹으로 된 튜브 형상 베이스 부재의 내부에 스페이서가 설치된 모습을 도시한 횡단면도,
도 5b는 2겹으로 된 튜브 형상 베이스 부재의 내부에, 도 5a의 스페이서와는 다른 형태의 스페이서가 설치된 모습을 도시한 횡단면도,
도 6은 본 발명의 대안적인 예에 따른 유체 레벨 센서를 개략적으로 도시한 측면 구성도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 유체 레벨 센서에 대한 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 아래에서 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 구성요소를 지칭하는 용어들은 각각의 구성 요소들의 기능을 고려하여 명명된 것이므로, 본 발명의 기술적 구성요소를 한정하는 의미로 이해되어서는 안 될 것이다.
본 발명에 따른 유체 레벨 센서는 저장 탱크(10)의 내부에 설치되어 저장 탱크(10)의 내부로 누설된 유체의 레벨, 즉 높이를 검출하는 장치이다. 도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 유체 레벨 센서는 길이방향으로 길게 연장된 베이스 부재(110), 베이스 부재(110)의 표면에 구비된 복수의 검출용 도전성 라인들(120), 베이스 부재(110)의 표면에 구비된 하나의 공통 도전성 라인(130, 도 2a 내지 3b 참조), 검출용 도전성 라인(120)과 공통 도전성 라인(130)의 통전 여부를 검출하는 검출 모듈(140), 검출용 도전성 라인(120)을 따라 구비된 복수의 구멍들(150), 및 길이방향을 따라 인접한 2개의 구멍들(150)을 전기적으로 연결하는 복수의 점퍼들(160)을 포함한다.
베이스 부재(110)는 전기적으로 절연되는 비도전성 소재로 이루어지고, 저장 탱크(10)의 내부에 수직방향으로 삽입되도록 소정길이로 연장된다.
검출용 도전성 라인들(120)은 베이스 부재(110)의 길이방향을 따라 베이스 부재(110)의 하단까지 연장되고 베이스 부재(110)의 횡방향을 따라 서로 이격되어 배치된다.
공통 도전성 라인(130)은 검출용 도전성 라인들(120)과 마찬가지로, 베이스 부재(110)의 길이방향을 따라 베이스 부재(110)의 말단까지 연장되고, 베이스 부재(110)의 횡방향을 따라 검출용 도전성 라인들(120)과 이격되어 배치된다. 여기서, 검출용 도전성 라인들(120)과 공통 도전성 라인(130)은 서로 다른 극성을 갖는다. 따라서, 검출용 도전성 라인들(120) 중 하나와 공통 도전성 라인(130)이 누설 유체와 접촉하면 검출용 도전성 라인들(120) 중 하나와 공통 도전성 라인(130)이 통전된다.
검출 모듈(140)은 검출용 도전성 라인들(120) 및 공통 도전성 라인(130)과 개별적으로 연결되는 복수의 단자들(미도시)을 구비한다. 도면에 구체적으로 도시하지는 않았지만, 검출 모듈(140)은 검출용 도전성 라인들(120) 및 공통 도전성 라인(130)의 수와 대응되는 수 단자들을 구비하고, 이 단자들은 검출용 도전성 라인들(120) 및 공통 도전성 라인(130)과 하나씩 연결된다. 이 검출 모듈(140)은 저장 탱크(10) 내부의 누설 유체에 의해 각각의 도전성 라인들(120) 및 공통 도전성 라인(130)의 통전 여부를 검출함으로써, 유체 누설을 판단함과 동시에 어느 검출용 도전성 라인(120)이 통전되었는지를 확인하여 누설 유체의 레벨을 판단한다.
구멍들(150)은 공통 도전성 라인(130)에는 구비되지 않고, 검출용 도전성 라인(120)에만 구비된다. 구체적으로, 구멍들(150)은 검출용 도전성 라인(120)의 길이방향을 따라 소정의 간격으로 이격되어 검출용 도전성 라인(120)이 각각 길이방향을 따라 복수의 영역으로 분리될 수 있게 한다. 즉, 구멍들(150)에 의해 분리된 복수의 영역들은 서로 전기적으로 연결되어 있지 않다. 이 구멍들(150)은 베이스 부재(110)의 일정 높이에서 베이스 부재(110)의 하단 부근까지 형성된다.
점퍼들(160)은 각각 검출용 도전성 라인(120)의 길이방향을 따라 인접한 2개의 구멍들(150)에 끼워지는 2개의 삽입 단자를 구비하고, 인접한 2개의 구멍들(150)을 연결하여 검출용 도전성 라인(120)의 분리된 영역들을 전기적으로 연결시킨다.
여기서, 점퍼들(160)은 복수의 검출용 도전성 라인들(120)이 서로 다른 레벨 감지 길이를 갖도록 검출용 도전성 라인(120)의 구멍들(150)에 장착된다. 예를 들면, 검출용 도전성 라인들(120) 중 하나에는 구멍들(150)이 모두 점퍼(160)에 의해 전기적으로 연결되고, 다른 하나의 검출용 도전성 라인(120)에는 하단의 2개를 제외한 나머지 구멍들(150)이 모두 점퍼(160)에 의해 전기적으로 연결되고, 또 다른 하나의 검출용 도전성 라인(120)에는 하단의 4개를 제외한 나머지 구멍들(150)이 모두 점퍼(160)에 의해 전기적으로 연결된다.
따라서, 검출용 도전성 라인들(120)은 베이스 부재(110)의 상단으로부터 하방을 향하여 서로 다른 감지 길이를 갖게 되고, 이에 따라 저장 탱크(10) 내부의 누설 유체는 검출용 도전성 라인(120)의 수만큼 서로 다른 레벨로 검출될 수 있다. 예를 들어 검출용 도전성 라인(120)이 7개인 경우에는 누설 유체는 7단계의 레벨 검출이 가능하다.
더욱이, 점퍼(160)를 이용하여 구멍들(150)을 선택적으로 연결할 수 있어, 사용자는 원하는 높이의 검출 레벨을 설정할 수 있다.
바람직하게는, 검출용 도전성 라인(120)과 공통 도전성 라인(130)은 불소 수지와 도전성 물질의 혼합물로 이루어진다. 그리고, 이 혼합물은 베이스 부재(110)의 표면에 도포 또는 인쇄되어 도전성 라인을 형성한다(도 2a 또는 3a 참조). 또는 이 혼합물은 별도의 시트(170)에 도포 또는 인쇄되고, 이 시트(170)가 베이스 부재(110)의 표면에 용착되어 도전성 라인(120, 130)을 형성할 수 있다(도 2b 또는 3b 참조).
도 2a, 2b 및 3b에서, 1개의 공통 도전성 라인(130)과 3개의 검출용 도전성 라인(120)이 베이스 부재(110)의 표면에 구비되어 있으므로, 총 3단계의 누설 유체의 레벨 검출이 가능하다.
여기서, 베이스 부재(110)는 도 2a와 2b에 도시된 것처럼 복수의 측면을 갖는 막대 형상으로 이루어질 수 있다. 그러면, 검출용 도전성 라인들(120)과 공통 도전성 라인(130)은 베이스 부재(110)의 측면에 하나씩 배치될 수 있다. 또는, 베이스 부재(110)는 도 3a와 3b에 도시된 것처럼 봉 형상 또는 튜브 형상으로 이루어질 수 있다.
한편, 베이스 부재(110)는 유체와 통전되지 않도록 수지 또는 비금속 소재로 제조되어야 한다. 바람직하게는, 베이스 부재(110)는 화학 물질에 대해 내약품성 및 내열성이 우수한 ETFE(Ethylene TetraFluoroEthylene), FEP(Flourinated Ethylene Prophylene), PTFE(PolyTetraFluoroeEhylene), PFA(Perfluorinated acids) 등의 불소 수지로 제조될 수 있다.
도 4a와 4b를 참조하면, 본 발명에 따른 유체 레벨 센서의 베이스 부재(110)는 이중, 즉 2겹으로 된 튜브 형태를 갖는다. 2겹으로 된 베이스 부재(110)는 외부의 제1 베이스 부재(111)와 제1 베이스 부재(111)의 내부에 삽입된 제2 베이스 부재(112)를 포함하고, 제1 베이스 부재(111)와 제2 베이스 부재(112)는 각각 동일한 방향, 즉 반경방향 외측을 향하는 제1 표면(111a)과 제2 표면(112a)을 구비한다. 그리고, 검출용 도전성 라인들(120)과 공통 도전성 라인(130)은 제1 표면(111a)과 제2 표면(112a)에 형성된다.
도 4a와 4b에는, 제1 표면(111a)에 1개의 공통 도전성 라인(130)과 3개의 검출용 도전성 라인(120)이 구비되고, 제2 표면(112a)에 4개의 검출용 도전성 라인(120)이 구비된 베이스 부재(110)를 도시하였다. 따라서, 7개의 검출용 도전성 라인(120)과 1개의 공통 도전성 라인(130)에 의해, 총 7단계의 누설 유체의 레벨 검출이 가능하다. 본 발명에서는 3단계 또는 7단계의 레벨 검출이 가능한 도전성 라인들(120)을 예시하였지만, 필요에 따라 3개 이상의 또는 7개의 이상의 검출용 도전성 라인(120)이 베이스 부재(110)의 표면에 구비될 수 있다.
도 5a와 5b를 참조하면, 2겹으로 된 제1 베이스 부재(111)와 제2 베이스 부재(112) 사이에는 제1 표면(111a)과 제2 표면(112a) 사이의 간격을 유지하는 스페이서(180)가 구비될 수 있다. 이 스페이서(180)는 제1 베이스 부재(111)의 외부에서 제2 베이스 부재(112)의 내부를 향하여 설치되는 도 5a에 도시된 형태, 또는 제1 베이스 부재(111)의 내부에서 제2 베이스 부재(112)를 관통하여 설치되는 도 5b에 도시된 형태일 수 있다. 그러나, 스페이서(180)는 제1 베이스 부재(111)와 제2 베이스 부재(110)가 서로 이격되어 제1 베이스 부재(111)의 도전성 라인들과 제2 베이스 부재(112)의 도전성 라인들이 서로 접지되지 않도록 하는 형태이면 어떠한 스페이서를 사용하여도 무방하다.
다시 도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 유체 레벨 센서는 저장 탱크(10)의 장착 구멍(11)을 밀봉하는 가스켓(191) 그리고 장착 구멍(11)의 외부에 나사 결합되는 캡(192)을 포함할 수 있다. 이러한 구성에 의해, 베이스 부재(110)가 저장 탱크(10)의 장착 구멍(11)에 삽입되면, 캡(192)이 장착 구멍(11)에 장착되고 가스켓(191)에 의해 장착 구멍(11)이 밀봉될 수 있다.
도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 유체 레벨 센서의 대안적인 예가 도시된다. 도 6에 도시된 유체 레벨 센서는 도 1에 도시된 유체 레벨 센서와 검출용 도전성 라인들(120)에 있어서 차이를 갖는다.
구체적으로, 검출용 도전성 라인들(120)은 서로 다른 길이로 연장되고, 전술한 구멍들(150)을 구비하지 않는다. 즉, 검출용 도전성 라인들(120)의 길이 차이로 인해 누설 유체의 레벨을 검출할 수 있다.
이상에서 설명된 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 보여준 것에 불과하며, 본 발명의 보호 범위는 이하 특허청구범위에 의하여 해석되어야 마땅할 것이다. 또한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것인 바, 본 발명과 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (7)

  1. 소정길이로 연장된 비도전성의 베이스 부재;
    상기 베이스 부재의 길이방향을 따라 연장되고 서로 이격되어 배치되는 복수의 검출용 도전성 라인들;
    상기 도전성 라인들과 이격되도록 상기 베이스 부재의 길이방향을 따라 연장되는 하나의 공통 도전성 라인;
    상기 검출용 도전성 라인들 및 공통 도전성 라인과 개별적으로 연결되고, 유체에 의해 각각의 검출용 도전성 라인들과 상기 공통 도전성 라인의 통전 여부를 판단하는 검출 모듈;
    상기 검출용 도전성 라인의 길이방향을 따라 소정의 간격으로 이격되어 상기 검출용 도전성 라인이 각각 복수의 영역으로 분리되도록 하는 복수의 구멍들; 및
    상기 검출용 도전성 라인의 구멍들 중 길이방향을 따라 인접한 2개의 구멍을 연결하여 상기 검출용 도전성 라인의 분리된 영역들이 전기적으로 연결되도록 하는 복수의 점퍼를 포함하고,
    상기 점퍼들은 복수의 상기 검출용 도전성 라인들이 서로 다른 감지 길이를 갖도록 상기 검출용 도전성 라인의 구멍들에 장착되는 것을 특징으로 하는 유체 레벨 센서.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 검출용 도전성 라인과 공통 도전성 라인은 불소 수지와 도전성 물질의 혼합물로 이루어지고 상기 베이스 부재의 표면에 도포 또는 인쇄되거나, 상기 베이스 부재의 표면에 용착될 시트에 도포 또는 인쇄되는 것을 특징으로 하는 유체 레벨 센서.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 베이스 부재는 튜브 형상, 봉 형상 또는 복수의 측면을 갖는 막대 형상으로 이루어지고, 수지 또는 비금속 소재로 제조되는 것을 특징으로 하는 유체 레벨 센서.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 베이스 부재는 서로 이격되고 동일한 방향을 향하는 제1 표면 및 제2 표면을 갖도록 2겹으로 이루어지고,
    상기 제1 표면에는 검출용 도전성 라인과 공통 도전성 라인이 형성되고, 상기 제2 표면에는 검출용 도전성 라인이 형성된 것을 특징으로 하는 유체 레벨 센서.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 2겹으로 된 베이스 부재의 제1 표면과 제2 표면 사이의 간격을 유지하는 스페이서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 레벨 센서.
  7. 제1항에 있어서,
    저장 탱크의 장착 구멍을 밀봉하는 가스켓 및 상기 장착 구멍의 외부에 나사 결합되는 캡을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 레벨 센서.
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