KR101694674B1 - calibration device of camera - Google Patents

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KR101694674B1
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김주환
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주식회사 힘스
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Abstract

The present invention relates to a calibration device of a monitoring camera and a calibration method thereof. Especially, the calibration device includes a calibration panel having an upper pattern and a lower pattern which are measured by the camera and disposed to be spaced apart in a vertical direction. The present invention simplifies a structure of the device to reduce manufacturing costs, improves calibration accuracy, and allows calibration to be easily performed whenever needed since the device is compact.

Description

검사용 카메라의 캘리브레이션 장치{calibration device of camera}[0001] CALIBRATION DEVICE FOR CALIBRATION DEVICE {

본 발명은 검사용 카메라의 캘리브레이션 장치 및 검사용 카메라의 캘리브레이션 방법에 관한 것으로써, 특히, 카메라에 의해 측정되는 상부 패턴과, 하부 패턴이 상하방향으로 이격되게 배치되는 캘리브레이션 패널을 포함하는 검사용 카메라의 캘리브레이션 장치 및 검사용 카메라의 캘리브레이션 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a calibration device for a camera for inspection and a calibration method for a camera for inspection, and more particularly to an inspection camera including an upper pattern measured by a camera and a calibration panel arranged so that the lower pattern is vertically spaced apart. And a method of calibrating a camera for inspection.

일반적으로, LCD 등과 같은 디스플레이패널의 제조에 사용되는 마스크는 두께 50~150㎛ 내외의 두께를 갖는 박판에 다수개의 슬릿이나 관통공을 형성한 것으로, 두께가 매우 얇아서, 도 1에 도시한 바와 같이, 중앙부에 상하방향의 관통공이 형성된 사각 테두리형상으로 구성된 마스크프레임(2)에 고정된 상태로 취급된다.In general, a mask used for manufacturing a display panel such as an LCD is formed by forming a plurality of slits or through holes on a thin plate having a thickness of about 50 to 150 mu m and having a very thin thickness. As shown in Fig. 1, And is fixed to the mask frame 2 having a rectangular frame shape with vertically extending through holes formed at the center thereof.

한편, 이와같이 구성된 마스크(1)를 검사하는 마스크 검사장치(10)는 한국등록특허공보 제10-0984271호에 도시된 바와 같이, 베드(11)와; 상기 베드(11)에 구비되며 상면에 마스크프레임(2)을 올려놓아 고정할 수 있도록 된 클램프스테이지(12)와; 상기 클램프스테이지(12)의 상부에 설치되어 마스크프레임(2)에 고정된 마스크(1)를 촬영하는 카메라(13)와; 상기 클램프스테이지(12)와 카메라(13)의 X축 및 Y축 위치를 조절하는 이송유닛(14)과; 상기 이송유닛(14)에 의해 상대운동되는 클램프스테이지(12) 및 카메라(13)의 이송거리를 측정하는 이송거리측정유닛(15)과, 상기 카메라(13)와 이송유닛(14) 및 이송거리측정유닛(15)을 제어하는 제어유닛이 구비된다.On the other hand, as shown in Korean Patent Registration No. 10-0984271, the mask inspection apparatus 10 for inspecting the thus configured mask 1 comprises a bed 11; A clamp stage (12) provided on the bed (11) and capable of fixing the mask frame (2) on its upper surface; A camera 13 installed on the clamp stage 12 for photographing the mask 1 fixed to the mask frame 2; A transfer unit (14) for adjusting the X axis and Y axis positions of the clamp stage (12) and the camera (13); A transfer distance measurement unit 15 for measuring a transfer distance of the clamp stage 12 and the camera 13 relative to each other by the transfer unit 14 and a transfer distance measurement unit 15 for measuring the transfer distance of the camera 13, A control unit for controlling the measuring unit 15 is provided.

이때, 상기 클램프스테이지(12)는 상기 베드(11)에 X축으로 슬라이드가능하게 장착되어 상기 이송유닛(14)에 의해 X축방향으로 위치조절되며, 상기 카메라(13)는 상기 베드(11)의 상부에 Y축 방향으로 구비된 슬라이드가이드(11a)에 장착되어 상기 이송유닛(14)에 의해 Y축방향으로 위치조절된다. 나아가, 카메라(13)가 Z축방향으로 위치조절될수도 있다.The clamp stage 12 is slidably mounted on the bed 11 in the X axis direction and is adjusted in the X axis direction by the transfer unit 14. The camera 13 is mounted on the bed 11, Is mounted on a slide guide (11a) provided in the Y-axis direction on the upper part of the conveying unit (14) and its position is adjusted in the Y-axis direction by the conveying unit (14). Furthermore, the camera 13 may be positioned in the Z-axis direction.

그리고, 상기 이송유닛(14)은 리니어모터를 상기 베드(11)에 X축 방향으로 장착하여 구성되어 상기 클램프스테이지(12)를 X축 방향으로 이송하는 X축 이송유닛(14a)과, 리니어모터를 상기 슬라이드가이드(11a)에 Y축 방향으로 장착하여 구성되어 상기 카메라(13)를 Y축 방향으로 이송하는 Y축 이송유닛(14b)으로 이루어져, 카메라(13)와 클램프스테이지(12)를 각각 X축 및 Y축 방향으로 이송하므로써, 카메라(13)를 이용하여 클램프스테이지(12)에 설치된 마스크(1)의 각 부분을 촬영할 수 있도록 한다. 마스크(1)는 평편하지 않고 아래로 약간 오목하게 굴곡지게 형성된다.The transfer unit 14 includes an X axis transfer unit 14a configured to mount a linear motor to the bed 11 in the X axis direction and to transfer the clamp stage 12 in the X axis direction, And a Y-axis transfer unit 14b configured to mount the camera 13 and the clamp stage 12 in the Y-axis direction on the slide guide 11a and to transfer the camera 13 in the Y-axis direction. X axis and Y axis directions so that each part of the mask 1 provided on the clamp stage 12 can be photographed by using the camera 13. [ The mask 1 is formed not to be flat but to bend slightly downwardly.

또한, 상기 이송거리측정유닛(15)은 상기 X축 이송유닛(14a)에 연결된 X축 측정유닛(15a)과, Y축 이송유닛(14b)에 연결된 Y축 측정유닛(15b)으로 이루어져, 이송유닛(14)에 의해 슬라이드되는 클램프스테이지(12)와 카메라(13)의 X축 및 Y축 방향 이송거리를 측정하여 출력하는 것으로, 상기 제어유닛은 상기 이송거리측정유닛(15)의 출력신호를 피드백하여, 클램프스테이지(12)와 카메라(13)를 정확한 거리만큼 이동시키거나, 카메라(13)의 이동거리를 측정하여 카메라(13)에 의해 촬영된 지점간의 거리나 간격을 알 수 있다. 이때, 상기 이송거리측정유닛(15)은 미세한 눈금이 그려진 스케일과, 상기 스케일을 따라 위치이동하면서 스케일에 그려진 눈금을 감지하는 엔코더를 이용하는 펄스 엔코더 방식의 장치가 주로 사용된다.The feed distance measuring unit 15 includes an X axis measuring unit 15a connected to the X axis feed unit 14a and a Y axis measuring unit 15b connected to the Y axis feed unit 14b, Axis direction and the Y-axis direction distance of the clamp stage 12 and the camera 13 that are slid by the unit 14 and outputs the measurement result, the control unit determines the output signal of the feed distance measuring unit 15 The distance and interval between the points photographed by the camera 13 can be determined by feeding back the clamp stage 12 and the camera 13 by the correct distance or by measuring the moving distance of the camera 13. [ At this time, the feed distance measuring unit 15 mainly uses a pulse encoder type apparatus using an encoder for detecting a scale drawn on a scale and a scale drawn on a scale while moving along the scale.

따라서, 상기 클램프스테이지(12)와 카메라(13)를 X축 또는 Y축방향으로 위치이송하고, 카메라(13)를 이용하여 마스크(1)의 각부를 촬영한 후 영상을 판독하여 마스크(1)의 이상유무를 판독하거나, 카메라(13)의 의해 촬영된 2지점의 거리를 측정하므로써, 마스크(1)의 이상유무 또는 마스크(1)의 설치상태 이상여부를 확인할 수 있다.Therefore, the clamp stage 12 and the camera 13 are moved in the X-axis or Y-axis direction and the camera 1 is used to photograph each part of the mask 1, The presence or absence of abnormality of the mask 1 or whether or not the mask 1 is abnormal can be confirmed by measuring the distance between two points photographed by the camera 13. [

한편, 최근들어, 이러한 마스크(1)를 이용하여 제작되는 디스플레이 제품의 정밀도가 점점 높아짐에 따라, 상기 마스크 검사장치(10) 역시 ㎛ 단위의 측정정밀도를 갖도록 정밀하게 제작되어야 하지만, 이러한 마스크 검사장치(10)는 상기 이송거리측정유닛(15)의 세팅 오류 등이 발생되며, 이러한 오류에 에 의해 측정오차가 발생되는 문제점이 있었다.Meanwhile, in recent years, as the precision of a display product manufactured using such a mask 1 becomes higher and higher, the mask inspection apparatus 10 must also be precisely manufactured to have a measurement accuracy in the order of μm. However, A setting error of the feed distance measuring unit 15 or the like occurs in the feed distance measuring unit 10, and a measurement error is generated due to the error.

종래에는, 이러한 마스크 검사장치의 카메라의 수직도를 측정하기 위해, 다이얼 게이지 또는 레이져 인터페러미터(한국공개특허공보 제2001-0014187호)를 이용하였다. 그러나, 이러한 다이얼 게이지와 같은 물리적 방법을 이용할 경우, 오차가 발생하는 문제가 있다. 또한, 레이저 간섭계를 이용할 경우, 필요할 때마다 레이져 간섭계를 별도로 설치해야 하는 번거로움이 있고, 장치의 부피도 클 뿐만 아니라, 장치가 고가인 문제점이 있다.Conventionally, a dial gauge or a laser interferometer (Korean Patent Laid-Open Publication No. 2001-0014187) was used to measure the verticalness of the camera of such a mask inspection apparatus. However, when a physical method such as a dial gauge is used, there is a problem that an error occurs. Further, when the laser interferometer is used, there is a problem that it is necessary to separately install the laser interferometer every time it is needed, and the apparatus is not only bulky but also expensive.

한국공개특허공보 제2001-0014187호Korean Patent Publication No. 2001-0014187

본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 장치의 구조가 단순하여 제조단가가 낮아지고, 캘리브레이션 정밀도를 향상시킬 수 있고, 장치가 컴팩트하여 필요할 때마다 캘리브레이션 할 수 있는 검사용 카메라의 캘리브레이션 장치 및 검사용 카메라의 캘리브레이션 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a method and apparatus for calibrating a camera for inspection which can simplify the structure of the apparatus, lower the manufacturing cost, improve the calibration accuracy, And a method of calibrating the apparatus and the camera for inspection.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 카메라의 캘리브레이션 장치 는 상부 패턴과, 상기 상부 패턴과 상하방향으로 이격되게 배치되는 하부 패턴이 형성된 캘리브레이션 패널을 포함하며, 상기 상부 패턴과 상기 하부 패턴은 카메라에 의해 측정되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a calibration apparatus for an inspection camera, the calibration apparatus including a calibration panel having an upper pattern and a lower pattern spaced apart from the upper pattern in a vertical direction, And is measured by a camera.

상기 캘리브레이션 패널은 글라스로 구비되며, 상기 글라스의 상면에는 상기 상부 패턴이 형성되고, 상기 글라스의 하면에는 상기 하부 패턴이 형성될 수 있다.The calibration panel may be formed of a glass, the upper pattern may be formed on an upper surface of the glass, and the lower pattern may be formed on a lower surface of the glass.

상기 캘리브레이션 패널의 하부에는 상기 캘리브레이션 패널을 비추는 조명부재가 배치될 수 있다.And a lighting member for illuminating the calibration panel may be disposed below the calibration panel.

상기 조명부재와 상기 캘리브레이션 패널 사이에는 확산플레이트가 배치될 수 있다.A diffusion plate may be disposed between the illumination member and the calibration panel.

상부에 상기 캘리브레이션 패널이 안착되는 안착홈이 형성되며 상하방향으로 관통공이 형성되는 제1브라켓과, 상기 제1브라켓의 하부에 배치되고, 통형상으로 형성되며, 상기 조명부재가 설치되는 제2브라켓과, 통형상으로 형성되어 상기 제2브라켓이 내부에 배치되는 제3브라켓을 포함하며, 상기 관통공은 상기 안착홈에 연통되고, 상기 제1브라켓과 상기 제2브라켓 사이에는 상기 확산플레이트가 배치되며, 상기 조명부재와 상기 제3브라켓의 하단 사이에 이격공간이 형성되도록 상기 제2브라켓과 상기 제3브라켓은 연결되고, 상기 제3브라켓의 둘레에는 절개구멍이 상기 이격공간에 연통되도록 형성될 수 있다.A first bracket having a mounting groove on an upper portion thereof for receiving the calibration panel and having a through hole formed in a vertical direction, a second bracket disposed on a lower portion of the first bracket and formed in a cylindrical shape, And a third bracket formed in a cylindrical shape and having the second bracket disposed therein, the through hole communicating with the seating groove, and the diffusion plate is disposed between the first bracket and the second bracket The second bracket and the third bracket are connected to each other so that a space is formed between the illuminating member and the lower end of the third bracket, and a cutting hole is formed around the third bracket to communicate with the spacing space .

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 카메라의 캘리브레이션 방법은 카메라를 통해 상부 패턴의 센터와 상기 상부 패턴의 하부에 배치되는 하부 패턴의 센터의 위치의 제1차이값을 감지하는 제1감지단계와, 상기 카메라를 상부 또는 하부로 이동시키는 이동단계와, 상기 카메라를 통해 상기 상부 패턴의 센터와 상기 하부 패턴의 센터의 위치의 제2차이값을 감지하는 제2감지단계와, 상기 제1차이값과 상기 제2차이값의 변화가 있는지 여부를 확인하는 확인단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of calibrating a camera for inspection, the method comprising the steps of: sensing a first difference value between a center of an upper pattern and a center of a lower pattern disposed below the upper pattern, A second sensing step of sensing a second difference value between the center of the upper pattern and the center of the lower pattern through the camera; And a confirmation step of checking whether the difference value and the second difference value are changed.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 검사용 카메라의 캘리브레이션 장치 및 검사용 카메라의 캘리브레이션 방법 에 따르면, 다음과 같은 효과가 있다.According to the calibration apparatus of the inspection camera and the calibration method of the inspection camera of the present invention as described above, the following effects can be obtained.

카메라에 의해 측정되는 상부 패턴과, 하부 패턴이 상하방향으로 이격되게 배치되는 캘리브레이션 패널을 포함하여, 장치의 구조가 단순하여 제조단가가 낮아지고, 캘리브레이션 정밀도를 향상시킬 수 있고, 장치가 컴팩트하여 필요할 때마다 캘리브레이션 할 수 있으며, 카메라의 수직도를 원활하게 캘리브레이션 할 수 있다. 또한, 본 발명은 카메라가 구비된 각각의 검사장치의 호기 간 편차도 줄일 수 있다.And a calibration panel in which the upper pattern measured by the camera and the lower pattern are arranged so as to be spaced apart from each other in the vertical direction can be simplified so that the manufacturing cost can be reduced and the calibration accuracy can be improved and the apparatus can be compact, Every time you calibrate, you can smoothly calibrate the camera's vertical view. In addition, the present invention can reduce the variation in the breath interval of each inspection apparatus provided with the camera.

상기 캘리브레이션 패널은 글라스로 구비되며, 상기 글라스의 상면에는 상기 상부 패턴이 형성되고, 상기 글라스의 하면에는 상기 하부 패턴이 형성되어, 장치가 더욱 컴팩트해진다.The calibration panel is provided with a glass, the upper pattern is formed on the upper surface of the glass, and the lower pattern is formed on the lower surface of the glass, so that the device becomes more compact.

상기 캘리브레이션 패널의 하부에는 상기 캘리브레이션 패널을 비추는 조명부재가 배치되어, 상기 카메라가 상기 상부 패턴 및 상기 하부 패턴을 더욱 정밀하게 측정할 수 있다.An illumination member for illuminating the calibration panel is disposed at a lower portion of the calibration panel, so that the camera can more accurately measure the upper pattern and the lower pattern.

상기 조명부재와 상기 캘리브레이션 패널 사이에는 확산플레이트가 배치되어, 상기 캘리브레이션 패널에 조명을 더욱 효과적으로 비출수 있다.A diffusion plate may be disposed between the illumination member and the calibration panel to illuminate the calibration panel more effectively.

상부에 캘리브레이션 패널이 안착되는 안착홈이 형성되며 상하방향으로 관통공이 형성되는 제1브라켓과, 상기 제1브라켓의 하부에 배치되고, 통형상으로 형성되며, 상기 조명부재가 설치되는 제2브라켓과, 통형상으로 형성되어 상기 제2브라켓이 내부에 배치되는 제3브라켓을 포함하며, 상기 관통공은 상기 안착홈에 연통되고, 상기 제1브라켓과 상기 제2브라켓 사이에는 상기 확산플레이트가 배치되며, 상기 조명부재와 상기 제3브라켓의 하단 사이에 이격공간이 형성되도록 상기 제2브라켓과 상기 제3브라켓은 연결되고, 상기 제3브라켓의 둘레에는 절개구멍이 상기 이격공간에 연통되도록 형성되어, 장치가 컴팩트하게 될 수 있으며, 상기 캘리브레이션 패널 및 상기 확산플레이트 및 상기 조명부재가 더욱 안전하게 보호될 수 있다. 또한, 상기 조명부재에서 발생하는 열을 효과적으로 외부로 발산시킬 수 있다.A first bracket that is formed at a lower portion of the first bracket and has a through hole formed in an upper and lower direction, and a second bracket that is formed in a tubular shape, And a third bracket formed in a cylindrical shape and having the second bracket disposed therein, the through hole communicating with the seating groove, and the diffusion plate disposed between the first bracket and the second bracket The second bracket and the third bracket are connected to each other so that a space is formed between the illuminating member and the lower end of the third bracket and a cutting hole is formed around the third bracket so as to communicate with the spacing space, The apparatus can be made compact, and the calibration panel and the diffusion plate and the illumination member can be more safely protected. Further, heat generated in the illumination member can be effectively radiated to the outside.

도 1은 종래의 마스크 검사장치 평면도.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 검사용 카메라의 캘리브레이션 장치를 설치한 상태를 보여주는 사시도.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 검사용 카메라의 캘리브레이션 장치 분리 사시도(마운팅 브라켓 생략).
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 검사용 카메라의 캘리브레이션 장치의 캘리브레이션 패널의 상부 패턴과 하부 패턴 확대도.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 검사용 카메라의 캘리브레이션 장치의 단면도.1 is a plan view of a conventional mask inspection apparatus.
FIG. 2 is a perspective view showing a state in which a calibration device for a camera for inspection according to a preferred embodiment of the present invention is installed. FIG.
3 is an exploded perspective view (without a mounting bracket) of a calibration device of a camera for inspection according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 4 is an enlarged view of an upper pattern and a lower pattern of a calibration panel of a calibration device for an inspection camera according to a preferred embodiment of the present invention. FIG.
5 is a cross-sectional view of a calibration device for an inspection camera according to a preferred embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 일실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

참고적으로, 이하에서 설명될 본 발명의 구성들 중 종래기술과 동일한 구성에 대해서는 전술한 종래기술을 참조하기로 하고 별도의 상세한 설명은 생략한다.For reference, the same components as those of the conventional art will be described with reference to the above-described prior art, and a detailed description thereof will be omitted.

도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 검사용 카메라의 캘리브레이션 장치는, 상부 패턴(111)과, 상기 상부 패턴(111)과 상하방향으로 이격되게 배치되는 하부 패턴(112)이 형성된 캘리브레이션 패널(110)을 포함하며, 상기 상부 패턴(111)과 상기 하부 패턴(112)은 카메라(200)에 의해 측정되는 것을 특징으로 한다.2 to 5, the calibration apparatus for an inspection camera according to the present embodiment includes an upper pattern 111 and a lower pattern 112 spaced apart from the upper pattern 111 in the vertical direction And a calibration panel 110, wherein the upper pattern 111 and the lower pattern 112 are measured by the camera 200.

캘리브레이션 패널(110)은 사각형상의 투명한 글라스 패널로 구비되어, 상면에 상부 패턴(111)이 형성되고, 하면에 하부 패턴(112)이 형성된다.The calibration panel 110 is provided with a rectangular transparent glass panel. An upper pattern 111 is formed on the upper surface, and a lower pattern 112 is formed on the lower surface.

따라서, 하부 패턴(112)은 상부 패턴(111)과 상하방향으로 이격되게 배치된다.Accordingly, the lower pattern 112 is vertically spaced from the upper pattern 111. [

상부 패턴(111)과 하부 패턴(112)은 센터(중심)가 일직선상에 배치된다. 상기 일직선은 베드(11)에 수직하다.The upper (upper) pattern 111 and the lower (lower) pattern 112 are arranged in a straight line at the center (center). The straight line is perpendicular to the bed 11.

상부 패턴(111)과 하부 패턴(112)은 캘리브레이션 패널(110)의 중심에 배치된다.The upper pattern 111 and the lower pattern 112 are disposed at the center of the calibration panel 110.

상부 패턴(111)은 십자 모양(+) 이외의 부분이 검은색(불투명)으로 형성되고, 십자 모양 부분이 투명하게 형성된다. 즉, 상부 패턴(111)은 중심부가 투명하게 형성된다.The upper pattern 111 is formed in black (opaque) except for the cross shape (+), and the cross shape portion is formed transparent. That is, the center portion of the upper pattern 111 is formed to be transparent.

하부 패턴(112)은 십자 모양의 검은색으로 형성된다. 하부 패턴(112)의 십자 모양은 캘리브레이션 패널(110)의 중심에 배치된다. 하부 패턴(112)의 십자 모양은 상부 패턴(111)의 십자 모양보다 작게 형성된다. 또한, 상부 패턴(111)은 하부 패턴(112)의 상부가 투명하게 형성되어, 도 4에 도시된 바와 같이, 상부 패턴(111)의 상부에서 하부 패턴(112)이 보이게 된다. 따라서, 상부 패턴(111) 및 하부 패턴(112)은 캘리브레이션 패널(110)의 상부에 배치되는 카메라(200)에 의해 측정될 수 있다.The lower pattern 112 is formed into a cross-shaped black color. The cross shape of the lower pattern 112 is disposed at the center of the calibration panel 110. The cross shape of the lower pattern 112 is formed to be smaller than the cross shape of the upper pattern 111. In addition, the upper pattern 111 is formed so that the upper portion of the lower pattern 112 is transparent, and the lower pattern 112 is visible at the upper portion of the upper pattern 111, as shown in FIG. Therefore, the upper pattern 111 and the lower pattern 112 can be measured by the camera 200 disposed on the top of the calibration panel 110. [

캘리브레이션 패널(110)의 하부에는 캘리브레이션 패널(110)을 비추는 조명부재(170)가 배치된다. A lighting member 170 for illuminating the calibration panel 110 is disposed below the calibration panel 110.

조명부재(170)는 LED(미도시)와 LED PCB를 포함한다.The illumination member 170 includes an LED (not shown) and an LED PCB.

LED PCB는 원판형상으로 형성되어, 수평하게 배치된다.The LED PCB is formed in a circular plate shape and arranged horizontally.

이러한, 조명부재(170)로 인해, 카메라(200)가 상부 패턴(111) 및 하부 패턴(112)을 더욱 정밀하게 측정할 수 있다. 카메라(200)는 마스크 검사장치의 베드(11)에 상하(z방향), 좌우(x방향), 전후(y방향) 방향으로 이동가능하게 설치되어, 마스크를 검사한다. 베드(11)에는 카메라(200)를 통해 검사되는 검사대상물(마스크)이 놓여진다.With this illumination member 170, the camera 200 can measure the upper pattern 111 and the lower pattern 112 more precisely. The camera 200 is installed on the bed 11 of the mask inspection apparatus so as to be movable up and down (z direction), right and left (x direction) and back and forth (y direction) directions to inspect the mask. An object to be inspected (mask) to be inspected through the camera 200 is placed on the bed 11.

나아가, 조명부재(170)와 캘리브레이션 패널(110) 사이에는 확산플레이트(150)가 배치된다.Further, a diffusion plate 150 is disposed between the illumination member 170 and the calibration panel 110.

확산플레이트(150)는 상기 LED PCB보다는 외경이 작고, 캘리브레이션 패널(110)보다는 외경이 크도록 형성된다.The diffusion plate 150 is formed to have a smaller outer diameter than the LED PCB and an outer diameter larger than that of the calibration panel 110.

이러한 확산플레이트(150)로 인해, 캘리브레이션 패널(110)에 조명을 더욱 효과적으로 비출수 있다.This diffusion plate 150 allows the illumination of the calibration panel 110 more effectively.

또한, 상부에 캘리브레이션 패널(110)이 안착되는 안착홈(121)이 형성되며 상하방향으로 관통공(122)이 형성되는 제1브라켓(120)과, 상기 제1브라켓(120)의 하부에 배치되고, 원통형상으로 형성되며, 상기 조명부재(170)가 설치되는 제2브라켓(160)과, 원통형상으로 형성되어 상기 제2브라켓(160)이 내부에 배치되는 제3브라켓(140)과, 장치를 베드(11)에 설치하는 마운팅 브라켓(180)을 더 포함한다.A first bracket 120 having a seating groove 121 in which a calibration panel 110 is seated and having a through hole 122 formed in an upper portion thereof and a second bracket 120 disposed at a lower portion of the first bracket 120 A third bracket 140 which is formed in a cylindrical shape and in which the second bracket 160 is disposed, and a second bracket 140 which is formed in a cylindrical shape and in which the illumination member 170 is installed, And a mounting bracket 180 for mounting the device on the bed 11. [

제1브라켓(120)은 상부 및 하부가 개방된 원통형상으로 형성된다.The first bracket 120 is formed into a cylindrical shape having open top and bottom.

제1브라켓(120)의 상면에는 안착홈(121)이 캘리브레이션 패널(110)의 형상에 대응되도록 사각형상으로 형성된다. On the upper surface of the first bracket 120, a seating groove 121 is formed in a rectangular shape corresponding to the shape of the calibration panel 110.

제1브라켓(120)은 안착홈(121) 하부에 관통공(122)이 안착홈(121)에 연통되도록 형성된다.The first bracket 120 is formed so that a through hole 122 communicates with the seating groove 121 at a lower portion of the seating groove 121.

제1브라켓(120)의 하면에는 확산플레이트(150)가 안착되는 확산플레이트 안착홈이 형성된다. 상기 확산플레이트 안착홈은 관통공(122)의 하부에 연통된다.A diffusion plate mounting groove on which the diffusion plate 150 is mounted is formed on the lower surface of the first bracket 120. The diffusion plate seating groove communicates with the lower portion of the through hole 122.

제2브라켓(160)은 제1브라켓(120)의 하부에 설치된다.The second bracket 160 is installed under the first bracket 120.

따라서, 제1브라켓(120)과 제2브라켓(160) 사이에는 확산플레이트(150)가 배치된다. Therefore, the diffusion plate 150 is disposed between the first bracket 120 and the second bracket 160.

조명부재(170)는 제2브라켓(160)의 하단에 볼팅 체결 등을 통해 설치된다.The lighting member 170 is installed at the lower end of the second bracket 160 through bolting or the like.

제2브라켓(160) 상부에는 플랜지(161)가 형성된다. 이러한 플랜지(161)에는 제1브라켓(120)이 설치되는 제1체결공과, 제3브라켓(140)이 설치되는 제2체결공이 각각 형성된다. 상기 제2체결공은 상기 제1체결공의 외측에 배치된다. 상기 제2체결공은 장공으로 형성되어 제2브라켓(160)에 더욱 용이하게 제3브라켓(140)을 설치할 수 있다.A flange 161 is formed on the upper portion of the second bracket 160. The flange 161 is formed with a first fastening hole on which the first bracket 120 is installed and a second fastening hole on which the third bracket 140 is installed. And the second fastening hole is disposed outside the first fastening hole. The second fastening hole may be formed as a long hole so that the third bracket 140 can be more easily installed on the second bracket 160.

또한, 제2브라켓(160)의 하단에는 인출절개부가 형성되어 있다. 상기 인출절개부는 제2브라켓(160)의 내외부와 연통되며, 하부가 개방되도록 형성된다.Further, a draw-out section is formed at the lower end of the second bracket 160. [ The withdrawal cutout portion is formed to communicate with the inner and outer portions of the second bracket 160 and the lower portion thereof is opened.

조명부재(170)에 연결된 전선은 상기 인출절개부를 통해 인출되어 전선 정리가 용이하게 될 수 있고, 전선이 안전하게 보호될 수 있다.The electric wire connected to the lighting member 170 can be pulled out through the pull-out cut-out portion to facilitate the electric wire arrangement, and the electric wire can be safely protected.

제3브라켓(140)은 플랜지(161)의 하부에 배치되어 설치된다.The third bracket 140 is disposed at the lower portion of the flange 161.

제3브라켓(140)은 상부는 개방되고 하부는 막힌 원통형상으로 형성된다.The third bracket 140 is formed in a cylindrical shape with its upper portion opened and the lower portion closed.

제3브라켓(140)의 내경은 제2브라켓(160)의 원통부의 외경보다 크도록 형성된다. 따라서, 제2브라켓(160)의 원통부가 제3브라켓(140) 내부에 삽입된다.The inner diameter of the third bracket 140 is larger than the outer diameter of the cylindrical portion of the second bracket 160. Accordingly, the cylindrical portion of the second bracket 160 is inserted into the third bracket 140.

제2브라켓(160)의 원통부의 높이는 제3브라켓(140)의 높이보다 낮게 형성되어 제2브라켓(160)의 하단에 설치되는 조명부재(170)와 상기 제3브라켓(140)의 하단 사이에 이격공간이 형성된다. The height of the cylindrical portion of the second bracket 160 is lower than the height of the third bracket 140 so that the height of the cylindrical portion of the second bracket 160 is lower than the height of the third bracket 140 and between the illumination member 170 installed at the lower end of the second bracket 160 and the lower end of the third bracket 140 A spacing space is formed.

제3브라켓(140)의 둘레에는 절개구멍(141)이 상기 이격공간에 연통되도록 형성된다. 절개구멍(141)은 다수 개 형성되어, 원주방향을 따라 배치된다.A cutting hole 141 is formed around the third bracket 140 so as to communicate with the spacing space. A plurality of cut-out holes 141 are formed and arranged along the circumferential direction.

이로 인해, 캘리브레이션 장치가 컴팩트하게 될 수 있으며, 캘리브레이션 패널(110) 및 확산플레이트(150) 및 조명부재(170)가 더욱 안전하게 보호될 수 있다. 또한, 본 실시예의 캘리브레이션 장치는 조명부재(170)에서 발생하는 열을 효과적으로 외부로 발산시킬 수 있다.As a result, the calibration device can be made compact, and the calibration panel 110 and the diffusion plate 150 and the illumination member 170 can be more safely protected. In addition, the calibration apparatus of this embodiment can effectively dissipate heat generated in the illumination member 170 to the outside.

제3브라켓(140)은 마운팅 브라켓(180)에 설치되어, 마스크 검사장치의 베드(11)에 설치된다.The third bracket 140 is installed on the mounting bracket 180 and is installed on the bed 11 of the mask inspection apparatus.

마운팅 브라켓(180)은 수평판부와, 상기 수평판부에 수직하게 형성되는 수직판부를 포함한다. 상기 수평판부의 상부에 제3브라켓(140)이 설치된다. 상기 수직판부는 베드(11)의 측부에 설치된다.The mounting bracket 180 includes a horizontal plate portion and a vertical plate portion formed perpendicularly to the horizontal plate portion. And a third bracket 140 is installed on the upper portion of the horizontal plate portion. The vertical plate portion is provided on the side of the bed (11).

이하, 전술한 구성을 갖는 본 실시예의 검사용 카메라의 캘리브레이션 방법을 설명한다.Hereinafter, the calibration method of the inspection camera of the present embodiment having the above-described configuration will be described.

본 실시예의 검사용 카메라의 캘리브레이션 방법은, 카메라(200)를 통해 상부 패턴(111)의 센터와 상기 상부 패턴(111)의 하부에 배치되는 하부 패턴(112)의 센터의 위치의 제1차이값을 감지하는 제1감지단계와, 상기 카메라(200)를 상부 또는 하부로 이동시키는 이동단계와, 상기 카메라(200)를 통해 상기 상부 패턴(111)의 센터와 상기 하부 패턴(112)의 센터의 위치의 제2차이값을 감지하는 제2감지단계와, 상기 제1차이값과 상기 제2차이값의 변화가 있는지 여부를 확인하는 확인단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The calibration method of the inspection camera of the present embodiment is a method of calibrating a camera using a camera 200. The first difference value of the position of the center of the upper pattern 111 and the center of the lower pattern 112 disposed below the upper pattern 111 A moving step of moving the camera 200 to an upper portion or a lower portion of the camera 200; and a second step of moving the center of the upper pattern 111 and the center of the lower pattern 112 A second sensing step of sensing a second difference value of the first difference value and a confirmation step of confirming whether there is a change in the first difference value and the second difference value.

카메라(200)를 통해 캘리브레이션 패널(110)의 상부 패턴(111)에 포커스를 맞춰서 상부 패턴(111)의 센터의 위치를 감지(측정)한다.The position of the center of the upper pattern 111 is sensed (measured) by focusing on the upper pattern 111 of the calibration panel 110 through the camera 200.

카메라(200)를 통해 캘리브레이션 패널(110)의 하부 패턴(112)에 포커스를 맞춰서 하부 패턴(112)의 센터의 위치를 감지한다.Focuses the lower pattern 112 of the calibration panel 110 through the camera 200 to detect the position of the center of the lower pattern 112.

이와 같은 과정을 통해서 감지된 상부 패턴(111)의 센터의 위치와 하부 패턴(112)의 센터의 위치의 제1차이값을 도출한다.The first difference value between the position of the center of the upper pattern 111 and the position of the center of the lower pattern 112 is obtained through the above process.

이어서, 카메라(200)를 상부 또는 하부로 이동시킨다.Then, the camera 200 is moved upward or downward.

이후에, 다시 카메라(200)를 통해 캘리브레이션 패널(110)의 상부 패턴(111)에 포커스를 맞춰서 상부 패턴(111)의 센터의 위치를 감지하고, 카메라(200)를 통해 캘리브레이션 패널(110)의 하부 패턴(112)에 포커스를 맞춰서 하부 패턴(112)의 센터의 위치를 감지한다.Thereafter, the position of the center of the upper pattern 111 is detected by focusing on the upper pattern 111 of the calibration panel 110 through the camera 200, and the position of the center of the upper panel 111 is detected through the camera 200, And focuses the lower pattern 112 to detect the position of the center of the lower pattern 112.

이와 같은 과정을 통해서 감지된 상부 패턴(111)의 센터의 위치와 하부 패턴(112)의 센터의 위치의 제2차이값을 도출한다.A second difference value between the position of the center of the upper pattern 111 and the position of the center of the lower pattern 112 is obtained through the above process.

상기 확인단계에서는 상기 제1차이값과 상기 제2차이값의 변화가 있는지 여부를 확인한다.In the checking step, whether the first difference value or the second difference value is changed is checked.

변화가 없으면, 카메라(200)가 베드(11)에 수직하게 설치된 것으로 판단한다.If there is no change, it is determined that the camera 200 is installed vertically on the bed 11.

변화가 있으면, 카메라(200)가 베드(11)에 수직하지 않게 설치된 것으로 판단하여, 변화 정도 값을 가지고 카메라(200)의 위치를 교정한다. 이를 통해 카메라(200)의 수직 세팅 오류를 교정할 수 있다.If there is a change, the camera 200 is determined not to be perpendicular to the bed 11, and the position of the camera 200 is corrected with the degree of change. This makes it possible to correct the vertical setting error of the camera 200.

이러한, 카메라(200)는 전술한 바와 같이 마스크를 검사하는 장치에 구비된 것일 수도 있으나, 용접기 등에 구비된 카메라의 캘리브레이션에도 동일한 방법이 적용가능하다. The camera 200 may be provided in an apparatus for inspecting a mask as described above, but the same method may be applied to calibration of a camera provided in a welding machine or the like.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야의 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있다.It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the following claims .

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **
110 : 캘리브레이션 패널 111 : 상부 패턴
112 : 하부패턴 120 : 제1브라켓
121 : 안착홈 122 : 관통공
140 : 제3브라켓 141 : 절개구멍
150 : 확산플레이트 160 : 제2브라켓
161 : 플랜지 170 : 조명부재DESCRIPTION OF REFERENCE NUMERALS
110: calibration panel 111: upper pattern
112: lower pattern 120: first bracket
121: seat groove 122: through hole
140: third bracket 141: incision hole
150: diffusion plate 160: second bracket
161: Flange 170: Lighting member

Claims (6)

삭제delete 상부 패턴과, 상기 상부 패턴과 상하방향으로 이격되게 배치되는 하부 패턴이 형성된 캘리브레이션 패널을 포함하며, 상기 상부 패턴과 상기 하부 패턴은 카메라에 의해 측정되고,
상기 캘리브레이션 패널의 아래에는 상기 캘리브레이션 패널을 비추는 조명부재가 배치되고,
상기 조명부재와 상기 캘리브레이션 패널 사이에는 확산플레이트가 배치되며,
상기 캘리브레이션 패널이 안착되는 안착홈이 형성되며 상하방향으로 관통공이 형성되는 제1브라켓;
상기 제1브라켓의 하부에 배치되고, 통형상으로 형성되며, 상기 조명부재가 설치되는 제2브라켓;
통형상으로 형성되어 상기 제2브라켓이 내부에 배치되는 제3브라켓을 포함하며,
상기 안착홈은 상기 제1브라켓의 상면에 형성되며,
상기 관통공은 상기 안착홈에 연통되고,
상기 제1브라켓과 상기 제2브라켓 사이에는 상기 확산플레이트가 배치되며,
상기 조명부재와 상기 제3브라켓의 하단 사이에 이격공간이 형성되도록 상기 제2브라켓과 상기 제3브라켓은 연결되고,
상기 제3브라켓의 둘레에는 절개구멍이 상기 이격공간에 연통되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 카메라의 캘리브레이션 장치.And a calibration panel having a top pattern and a bottom pattern spaced apart from the top pattern in a vertical direction, wherein the top pattern and the bottom pattern are measured by a camera,
A lighting member for illuminating the calibration panel is disposed under the calibration panel,
A diffusion plate is disposed between the illumination member and the calibration panel,
A first bracket in which a seating groove on which the calibration panel is seated is formed and a through hole is formed in a vertical direction;
A second bracket disposed at a lower portion of the first bracket and formed in a tubular shape, the second bracket having the illumination member installed therein;
And a third bracket formed in a cylindrical shape and having the second bracket disposed therein,
Wherein the seating groove is formed on an upper surface of the first bracket,
The through hole communicates with the seating groove,
Wherein the diffusion plate is disposed between the first bracket and the second bracket,
The second bracket and the third bracket are connected so that a space is formed between the lower end of the illuminating member and the third bracket,
And an incision hole is formed in the periphery of the third bracket so as to communicate with the spacing space. 제 2항에 있어서,
상기 캘리브레이션 패널은 투명한 패널로 구비되며, 상기 투명한 패널의 상면에는 상기 상부 패턴이 형성되고, 상기 투명한 패널의 하면에는 상기 하부 패턴이 형성된 것을 특징으로 하는 검사용 카메라의 캘리브레이션 장치.3. The method of claim 2,
Wherein the calibration panel is provided as a transparent panel, the upper pattern is formed on an upper surface of the transparent panel, and the lower pattern is formed on a lower surface of the transparent panel. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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