KR101692237B1 - 전기수력학 제트 프린팅 장치를 이용한 3차원 구조물의 제조방법 - Google Patents

전기수력학 제트 프린팅 장치를 이용한 3차원 구조물의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 전기전도성의 필러와 고분자계 바인더를 포함하는 전도성 잉크를 형성하는 단계와, 상기 전도성 잉크를 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 원료공급부에 투입하는 단계와, 상기 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 노즐과 기판이 놓인 접지전극 사이에 전압을 인가하는 단계와, 상기 원료공급부에서 상기 노즐로 상기 전도성 잉크를 공급하는 단계와, X축 및 Y축을 따라 이동이 가능하게 구비된 기판을 기준으로 Z축을 따라 상기 노즐이 상하로 움직이게 하고 상기 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 노즐에서 상기 전도성 잉크를 디자인된 패턴으로 상기 기판 위에 분사하는 단계 및 상기 기판에 분사된 3차원 구조의 결과물을 열처리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용한 3차원 구조물의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용하여 형태와 패턴이 제어된 3차원 구조물을 제조할 수 있다.

Description

전기수력학 제트 프린팅 장치를 이용한 3차원 구조물의 제조방법{Manufacturing method of three-dimensional structures using the electrohydrodynamic jet printing apparatus}
본 발명은 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용하여 3차원 구조물을 제조하는 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용하여 형태와 패턴이 제어된 3차원 구조물을 제조하는 방법에 관한 것이다.
제조업의 일반적인 생산방식은 원재료를 자르고 다듬어서 만드는 절삭가공 방식에 의해 이루어진다. 그러나, 다양해지는 고객들의 요구에 맞추어 대량생산이 아닌 맞춤형 다품종 소량생산이 요구되고 있다. 3차원 프린팅 기술은 이러한 요구조건에 적합한 기술로서 제조업에 새로운 패러다임을 제시하고 있다. 3차원 프린팅 기술은 적층 제조기술이라고 하며, 일반적으로 잉크를 노즐을 통해 기계적으로 토출하는 방식을 적용한다. 노즐을 통해 토출된 잉크를 일반적으로 레이저로 소결하는 방식을 적용한다.
일반적인 3차원 프린팅 기술에서 적용하는 방식과 달리, 전기수력학적 제트 프린팅법은 적절한 액체를 잉크로 사용하고, 잉크가 나오는 핀 형태의 노즐과 잉크가 방사되는 기판을 두는 접지전극 사이에 고전압을 인가하여 발생하는 전위차에 의해 프린팅을 하는 것이다. 일반적인 전기수력학적 제트 프린팅은 섬유 형태로 잉크를 뽑으면서 마스크나 에칭 공정 없이 기판 위에 2차원적으로 디자인된 패턴을 형성하며 프린팅된다.
이러한 전기수력학적 제트 프린팅법은 2차원적 패턴을 제작하는데 사용되어 왔다. 본 발명의 발명자들은 전기수력학적 제트 프린팅법을 이용하여 2차원적 패턴이 아닌 3차원 구조물을 제조하는 방법을 연구하였다.
대한민국 등록특허공보 제10-0919411호
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용하여 형태와 패턴이 제어된 3차원 구조물을 제조하는 방법을 제공함에 있다.
본 발명은, 전기전도성의 필러와 고분자계 바인더를 포함하는 전도성 잉크를 형성하는 단계와, 상기 전도성 잉크를 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 원료공급부에 투입하는 단계와, 상기 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 노즐과 기판이 놓인 접지전극 사이에 전압을 인가하는 단계와, 상기 원료공급부에서 상기 노즐로 상기 전도성 잉크를 공급하는 단계와, X축 및 Y축을 따라 이동이 가능하게 구비된 기판을 기준으로 Z축을 따라 상기 노즐이 상하로 움직이게 하고 상기 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 노즐에서 상기 전도성 잉크를 디자인된 패턴으로 상기 기판 위에 분사하는 단계 및 상기 기판에 분사된 3차원 구조의 결과물을 열처리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용한 3차원 구조물의 제조방법을 제공한다.
상기 필러는 Ag, Au, Pt, Cu 및 Ni 중에서 선택된 1종 이상의 금속을 포함할 수 있다.
상기 필러는 그라파이트 및 탄소나노튜브 중에서 선택된 1종 이상의 탄소물질을 포함할 수 있다.
상기 필러는 Sn 및 Zn 중에서 선택된 1종 이상의 금속을 포함하는 나이트레이트계, 클로라이드계 및 아세테이트계 중에서 선택된 1종 이상의 금속염을 포함할 수 있다.
상기 고분자계 바인더는 분자량이 50,000∼2,000,000인 폴리비닐피롤리돈, 폴리메틸메타아크릴레이트 및 폴리비닐클로라이드 중에서 선택된 1종 이상의 물질을 포함할 수 있다.
상기 전도성 잉크는 디메틸포름아미드, 알파-테르피네올 및 클로로포름 중에서 1종 이상의 용매를 포함할 수 있다.
상기 열처리는 상기 고분자계 바인더를 태워서 제거하기 위하여 300∼600℃의 온도에서 수행하는 것이 바람직하다.
상기 노즐의 Z축 이동 속도는 1∼500 mm/sec로 조절하는 것이 바람직하고, 상기 접지전극과 상기 노즐 사이에 인가되는 전압은 0.5∼10kV가 되게 제어하는 것이 바람직하며, 노즐 팁의 테일러 콘과 기판 사이의 거리는 10∼1000㎛가 되게 제어하는 것이 바람직하다.
종래의 전기수력학적 제트 프린팅 장치는 2차원적 패턴을 제작하는데 사용되었으나, 본 발명에 의하면 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용하여 형태와 패턴이 제어된 3차원 구조물을 제조할 수 있다. 3차원 구조물을 제조하기 위하여 전기수력학적 제트 프린팅용 잉크를 제조하고, 이를 이용하여 크기와 배열이 제어된 3차원 구조물을 제조한다.
도 1은 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 2는 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 노즐에서 연속적으로 잉크가 나오면서 기판에 3차원 구조물이 생성되는 모습을 보여주는 인-시츄(In-situ) 스냅 샷 사진이다.
도 3은 실험예 1에 따라 제조된 3차원 구조물의 사진으로서 다른 직경과 길이를 갖는 3차원 구조물의 사진이다.
도 4는 실험예 1에 따라 제조된 3차원 구조물의 사진으로서 기판 위에 세워져서 간격이 제어된 3차원 구조물의 사진이다.
도 5는 실험예 1에 따라 제조된 6×9의 어레이 패턴을 갖는 3차원 구조물의 사진이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 그러나, 이하의 실시예는 이 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용한 3차원 구조물의 제조방법은, 전기전도성의 필러와 고분자계 바인더를 포함하는 전도성 잉크를 형성하는 단계와, 상기 전도성 잉크를 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 원료공급부에 투입하는 단계와, 상기 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 노즐과 기판이 놓인 접지전극 사이에 전압을 인가하는 단계와, 상기 원료공급부에서 상기 노즐로 상기 전도성 잉크를 공급하는 단계와, X축 및 Y축을 따라 이동이 가능하게 구비된 기판을 기준으로 Z축을 따라 상기 노즐이 상하로 움직이게 하고 상기 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 노즐에서 상기 전도성 잉크를 디자인된 패턴으로 상기 기판 위에 분사하는 단계 및 상기 기판에 분사된 3차원 구조의 결과물을 열처리하는 단계를 포함한다.
이하에서, 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용하여 3차원 구조물을 제조하는 방법을 더욱 구체적으로 설명한다. 도 1은 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 1을 참조하면, 전기수력학적(electrohydrodynamic) 제트 프린팅 장치는 노즐과 접지전극(ground electrode) 사이에 전압을 인가하여 생기는 전위차(potential difference)를 이용하여 프린팅을 실시하는 장치이다.
전기수력학적 제트 프린팅 장치는 원료공급부(10), 노즐(20), 기판(30), 스테이지부(40), 전원공급장치(50) 및 제어부(미도시)를 포함한다.
원료공급부(10)는 전도성 잉크를 노즐(20)로 공급하는 역할을 한다. 원료공급부(10)에는 시린지 펌프(미도시)가 구비될 수 있으며, 상기 시린지 펌프는 펌핑하여 전도성 잉크가 노즐(20)로 원활하게 공급될 수 있게 하는 역할을 한다.
노즐(20)은 원료공급부(10)로부터 공급된 전도성 잉크를 일정한 수력학적 압력(hydrodynamic pressure)으로 기판(30)에 분무하는 역할을 한다. 노즐(20)은 기판(30)으로부터 이격되어 위치하고 노즐(20)은 Z축을 따라 상하로 움직일 수 있게 구비된다.
스테이지부(40)는 기판(30)의 하부에 위치하여 기판(30)을 유지하면서 제어부에 입력된 패턴대로 형성되도록 기판(30)을 정밀하게 이동시킨다. 스테이지부(40)는 x축 및 y축의 움직임에 대한 컨트롤이 가능한 제어부의 명령에 따라 X축 및 Y축으로 움직일 수 있게 구성된다.
전원공급장치(50)는 노즐(20)에 연결되어 전압을 인가한다.
이와 같이 구성된 전기수력학적 제트 프린팅 장치는 전압공급장치(50)에 의해 노즐(20)과 접지전극 사이에 전압이 인가되게 되면 노즐(20) 팁의 메니스커스(meniscus)의 모양이 변형되게 되고 이때 발생하는 젯(jet)이 기판(30)에 입력된 형태의 패턴을 형성하게 된다.
전기수력학적 제트 프린팅 장치의 원료공급부(10)에 공급되는 전도성 잉크로는 분자량이 50,000∼2,000,000인 폴리비닐피롤리돈(PVP; polyvinylpyrrolidone), 폴리메틸메타아크릴레이트(PMMA; polymethylmethacrylate) 및 폴리비닐클로라이드(PVC; Polyvinyl Chloride) 중에서 선택된 1종 이상의 고분자계 바인더와 전기전도성의 필러를 포함하는 용액을 사용한다. 상기 필러는 Ag, Au, Pt, Cu 및 Ni 중에서 선택된 1종 이상의 금속으로 이루어지거나, 그라파이트 및 탄소나노튜브 중에서 선택된 1종 이상의 탄소물질로 이루어지거나, Sn 및 Zn 중에서 선택된 1종 이상의 금속을 포함하는 나이트레이트계, 클로라이드계 및 아세테이트계 중에서 1종 이상의 금속염으로 이루어질 수 있다. Sn 및 Zn 중에서 선택된 1종 이상의 금속을 포함하는 나이트레이트계 금속염으로는 Sn(NO3)2, Sn(NO3)4, Zn(NO3)2 등을 그 예로 들 수 있다. Sn 및 Zn 중에서 선택된 1종 이상의 금속을 포함하는 클로라이드계 금속염으로는 SnCl2, SnCl4, ZnCl2 등을 그 예로 들 수 있다. Sn 및 Zn 중에서 선택된 1종 이상의 금속을 포함하는 아세테이트계 금속염으로는 Sn(CH3CO2)2, Sn(CH3CO2)4, Zn(CH3CO2)2 등을 그 예로 들 수 있다.
Sn 및 Zn 중에서 선택된 1종 이상의 금속을 포함하는 나이트레이트계, 클로라이드계 및 아세테이트계 중에서 1종 이상의 금속염을 필러로 사용하는 경우에, 열처리 후에 제조된 3차원 구조물은 SnO2 및 ZnO 중에서 선택된 1종 이상의 금속산화물을 포함하게 된다.
상기 전도성 잉크는 다음과 같이 제조할 수 있다. 분자량이 50,000∼2,000,000인 폴리비닐피롤리돈(PVP; polyvinylpyrrolidone), 폴리메틸메타아크릴레이트(PMMA; polymethylmethacrylate), 폴리비닐클로라이드(PVC; Polyvinyl Chloride) 중에서 선택된 1종 이상의 고분자계 바인더를 에탄올과 같은 용매에 용해시켜 바인더 용액을 형성한다. 디메틸포름아미드(DMF; dimethylformamide), 알파-테르피네올(α-Terpineol) 및 클로로포름(Chloroform) 중에서 1종 이상의 용매에 전기전도성의 필러를 분산시킨다. 필러가 분산된 용액과 바인더 용액을 혼합한다. 이와 같이 제조되는 전도성 잉크는 고분자계 바인더, 필러 및 용매의 혼합비를 조절하여 점도를 제어한다. 필러로 사용되는 금속이나 탄소물질은 용액 내에 잘 분산되어 있어야 하고, 필러로 사용되는 금속염은 용액 내에 잘 용해되어 있어야 한다. 전도성 잉크의 점도는 50∼2500 cP 정도인 것이 바람직하다.
3차원 구조물을 형성하기 위한 기판(30)은 실리콘 웨이퍼, 투명전도막, 이글 글라스, 슬라이드 글라스 등을 사용하는 것이 바람직하다. 상기 투명전도막은 ITO(indium tin oxide), FTO(fluorine-doped tin oxide), ATO(antimony tin oxide) 등일 수 있다. 각각 전기전도도가 다른 선택된 기판(30)에 따라 인가하는 전압 크기는 변화된다. 기판(30)은 스테이지부(40)에 장착되어 X축 또는 Y축으로 1∼500 mm/sec 정도의 속도로 움직일 수 있게 구성되는 것이 바람직하다.
불안정한 계면은 원뿔형의 모양을 가지는데, 이를 테일러 콘(Taylor cone)이라고 부르며, 콘(cone)의 끝에서 일련의 액적 또는 가느다란 제트(jet)가 방출된다. 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 노즐 팁에 맺히는 테일러 콘의 크기는 원료공급부(10)로부터 노즐(20)로 공급되는 전도성 잉크의 유량과 노즐 팁의 직경에 의해 제어된다. 노즐(20)로 공급되는 전도성 잉크의 유량은 0.1∼20㎛/min 정도의 속도를 갖도록 하는 바람직하다. 노즐(20)의 내경은 2∼1000㎛ 정도인 것이 바람직하다.
양의 고전압이 인가된 노즐(20)을 전도성 잉크가 통과할 때 전도성 잉크 속에 용해되어 있던 음이온들이 인력에 의해 이동하고, 양이온들은 반발력에 의해 노즐 끝에 맺혀있는 메니스커스로 이동하여 전하 분리 현상이 발생한다. 이때 충분한 전압이 인가되면 맺혀있는 물방울의 곡면에 작용하는 전기력과 양이온들의 반발력이 잉크의 표면장력보다 커지면서 형성된 테일러 콘(Taylor cone)에서 제트가 발생하며 전도성 잉크가 분사된다. 일반적인 전기수력학적 제트 프린팅은 섬유 형태로 전도성 잉크를 뽑으면서 마스크나 에칭 공정 없이 기판(30) 위에 디자인된 패턴으로 3차원 구조물 형태로 프린팅된다.
테일러 콘의 형상은 노즐(20)과 기판(30)을 놓는 스테이지부(40)(또는 접지전극) 사이에 인가되는 전압에 의해 제어된다. 스테이지부(40)(또는 접지전극)와 노즐(20) 사이에 인가되는 전압은 0.5∼10kV 정도인 것이 바람직하다.
노즐(20)이 움직이는 Z축의 이동속도는 3차원 구조물의 길이를 제어하고 테일러 콘의 형상을 제어한다. 테일러 콘의 크기 및 형상은 일정하고 균일한 직경을 갖는 3차원 구조물을 제작하기 위해 제어된다. 균일한 3차원 구조물을 제작하기 위해 추가적으로 노즐 팁 끝에 맺힌 테일러 콘과 기판(30) 사이의 거리를 제어한다. 노즐 팁의 테일러 콘과 기판 사이의 거리는 10∼1000㎛ 정도인 것이 바람직하다. 노즐의 Z축 이동 속도는 1∼500 mm/sec 정도인 것이 바람직하다.
전기수력학적 제트 프린팅 장치에 의해 프린팅된 3차원 구조물은 구조물 간의 간격이 제어되고, 디자인된 어레이 구조를 갖도록 의도된 패턴으로 프린팅 된다.
전기수력학적 제트 프린팅 장치에 의해 기판(30) 위에 형성된 3차원 구조물은 열처리 과정을 통해 고분자계 바인더의 하소 및 3차원 구조물의 치밀화를 제어한다. 열처리는 전기로, 레이저, 극초단파 전기로 등의 열원을 사용하는 것이 바람직하다. 상기 열처리는 고분자계 바인더를 태워서 제거하기 위하여 300∼600℃의 온도에서 수행하는 것이 바람직하다.
이와 같이 제작된 3차원 구조물은 패턴 디자인에 의해 기판(30) 위에 배열되며, 상기 3차원 구조물은 Ag, Au, Pt, Cu 및 Ni 중에서 선택된 1종 이상의 금속으로 이루어지거나, 그라파이트 및 탄소나노튜브 중에서 선택된 1종 이상의 기능성 탄소물질로 이루어지거나, SnO2 및 ZnO 중에서 선택된 1종 이상의 금속산화물로 이루어진다.
상기 3차원 구조물은 직경이 0.1∼10mm의 직경과 0.5∼2mm의 길이를 갖는 원통형 기둥의 형태를 가질 수 있다.
3차원 구조물은 패턴 디자인과 소재에 따라 전자소자의 전극, 센서의 감응물질 등으로 널리 활용된다. 3차원 구조물에 금속, 탄소물질, 금속산화물 등의 기능성 재료를 적용함으로써 폭넓은 응용이 가능하다.
이하에서, 본 발명에 따른 실험예를 구체적으로 제시하며, 다음에 제시하는 실험예에 의하여 본 발명이 한정되는 것은 아니다.
<실험예 1>
고분자계 바인더인 분자량 1,300,000인 폴리비닐피롤리돈(PVP) 7.73g을 용매인 에탄올 77.3g에 녹여 PVP 용액을 만들고, 알파-테르피네올(α-Terpineol) 3.524g에 은(Ag) 분말 21.645g이 분산된 은(Ag) 용액을 준비한 다음, PVP 용액과 은(Ag) 용액을 혼합하여 전도성 잉크를 형성하였다.
상기 전도성 잉크 10㎖를 주사기에 주입한 후, 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 원료공급부에 부착하였다. 전도성 잉크의 유량을 5㎛/min의 속도로 하여 노즐에 전도성 잉크를 공급하였다. 노즐 팁의 잉크 방울과 기판과의 거리는 200㎛로 고정하였다.
기판이 위치된 접지전극과 노즐 사이에 1.6kV의 전압을 인가하고, 노즐의 Z축 이동속도를 100mm/sec로 하여 하부에서 상부로 이동하며, FTO(fluorine-doped tin oxide) 기판 위에 일정 간격을 가지고 6×9로 어레이된 3차원 Ag/PVP 구조물을 제작하였다.
이렇게 제작된 Ag/PVP 구조물은 공기 분위기의 전기로에서 승온속도 10℃/min로 400℃까지 올리고 30분 동안 열처리를 하여 3차원 구조물을 얻었다.
도 2는 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 노즐에서 연속적으로 잉크가 나오면서 기판에 3차원 구조물이 생성되는 모습을 보여주는 인-시츄(In-situ) 스냅 샷 사진이다. 도 2에서 '위에서 아래 방향으로 가면서 좁아지는 검은 부분'까지가 '노즐'을 나타내고, '좁아지는 검은 부분 아래로 평평하게 검게 보이는 부분'이 노즐에서 분사되면서 형성되는 3차원 구조의 Ag/PVP 구조물을 나타낸다.
도 3은 실험예 1에 따라 제조된 3차원 구조물의 사진으로서 다른 직경과 길이를 갖는 3차원 구조물의 사진이다. 도 3은 열처리 후의 3차원 구조물을 보여준다.
도 4는 실험예 1에 따라 열처리 후에 제조된 3차원 구조물의 사진으로서 기판 위에 세워져서 간격이 제어된 3차원 구조물의 사진이다. 도 4에서 (a)는 3차원 구조물 사이의 간격이 0.5mm인 경우를 보여주는 사진이고, (b)는 3차원 구조물 사이의 간격이 1.0mm인 경우를 보여주는 사진이며, (c)는 3차원 구조물 사이의 간격이 2.0mm인 경우를 보여주는 사진이고, (d)는 3차원 구조물 사이의 간격이 4.0mm인 경우를 보여주는 사진이다.
도 5는 실험예 1에 따라 열처리 후에 제조된 6×9의 어레이 패턴을 갖는 3차원 구조물의 사진이며, 3차원 구조물 사이의 간격은 1.0mm이다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.
10: 원료공급부
20: 노즐
30: 기판
40: 스테이지부
50: 전원공급장치

Claims (8)

  1. 전기전도성의 필러와 고분자계 바인더를 포함하는 전도성 잉크를 형성하는 단계;
    상기 전도성 잉크를 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 원료공급부에 투입하는 단계;
    상기 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 노즐과 기판이 놓인 접지전극 사이에 전압을 인가하는 단계;
    상기 원료공급부에서 상기 노즐로 상기 전도성 잉크를 공급하는 단계;
    X축 및 Y축을 따라 이동이 가능하게 구비된 기판을 기준으로 Z축을 따라 상기 노즐이 상하로 움직이게 하고 상기 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 노즐에서 상기 전도성 잉크를 디자인된 패턴으로 상기 기판 위에 분사하는 단계; 및
    상기 기판에 분사된 3차원 구조의 결과물을 열처리하는 단계를 포함하며,
    상기 필러는 Sn(NO3)2, Sn(NO3)4, Zn(NO3)2, SnCl2, SnCl4, ZnCl2, Sn(CH3CO2)2, Sn(CH3CO2)4, 및 Zn(CH3CO2)2 중에서 선택된 1종 이상의 금속염을 포함하고,
    상기 열처리 후에 제조된 3차원 구조물은 SnO2 및 ZnO 중에서 선택된 1종 이상의 금속산화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용한 3차원 구조물의 제조방법.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 고분자계 바인더는 분자량이 50,000∼2,000,000인 폴리비닐피롤리돈, 폴리메틸메타아크릴레이트 및 폴리비닐클로라이드 중에서 선택된 1종 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용한 3차원 구조물의 제조방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 전도성 잉크는 디메틸포름아미드, 알파-테르피네올 및 클로로포름 중에서 1종 이상의 용매를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용한 3차원 구조물의 제조방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 열처리는 상기 고분자계 바인더를 태워서 제거하기 위하여 300∼600℃의 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용한 3차원 구조물의 제조방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 노즐의 Z축 이동 속도는 1∼500 mm/sec로 조절하고,
    상기 접지전극과 상기 노즐 사이에 인가되는 전압은 0.5∼10kV가 되게 제어하며,
    노즐 팁의 테일러 콘과 기판 사이의 거리는 10∼1000㎛가 되게 제어하는 것을 특징으로 하는 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용한 3차원 구조물의 제조방법.
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