KR101692237B1 - Manufacturing method of three-dimensional structures using the electrohydrodynamic jet printing apparatus - Google Patents
Manufacturing method of three-dimensional structures using the electrohydrodynamic jet printing apparatus Download PDFInfo
- Publication number
- KR101692237B1 KR101692237B1 KR1020150034250A KR20150034250A KR101692237B1 KR 101692237 B1 KR101692237 B1 KR 101692237B1 KR 1020150034250 A KR1020150034250 A KR 1020150034250A KR 20150034250 A KR20150034250 A KR 20150034250A KR 101692237 B1 KR101692237 B1 KR 101692237B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- nozzle
- substrate
- conductive ink
- jet printing
- dimensional structure
- Prior art date
Links
- 238000007639 printing Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000011231 conductive filler Substances 0.000 claims abstract description 6
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 claims description 13
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 claims description 13
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 claims description 13
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 11
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 9
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 8
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 claims description 6
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 claims description 6
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 claims description 6
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 6
- WUOACPNHFRMFPN-SECBINFHSA-N (S)-(-)-alpha-terpineol Chemical compound CC1=CC[C@@H](C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-SECBINFHSA-N 0.000 claims description 4
- OVKDFILSBMEKLT-UHFFFAOYSA-N alpha-Terpineol Natural products CC(=C)C1(O)CCC(C)=CC1 OVKDFILSBMEKLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229940088601 alpha-terpineol Drugs 0.000 claims description 4
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 4
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 claims description 4
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 16
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 6
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 5
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010146 3D printing Methods 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 229910002651 NO3 Inorganic materials 0.000 description 3
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N Nitrate Chemical compound [O-][N+]([O-])=O NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 3
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 2
- SKRWFPLZQAAQSU-UHFFFAOYSA-N stibanylidynetin;hydrate Chemical compound O.[Sn].[Sb] SKRWFPLZQAAQSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001242 acetic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 1
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000008204 material by function Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 150000002823 nitrates Chemical class 0.000 description 1
- 229920005596 polymer binder Polymers 0.000 description 1
- 239000002491 polymer binding agent Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
- B22F3/10—Sintering only
- B22F3/105—Sintering only by using electric current other than for infrared radiant energy, laser radiation or plasma ; by ultrasonic bonding
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
- B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
- B33Y10/00—Processes of additive manufacturing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
- B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
- B33Y50/00—Data acquisition or data processing for additive manufacturing
- B33Y50/02—Data acquisition or data processing for additive manufacturing for controlling or regulating additive manufacturing processes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
- B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
- B33Y70/00—Materials specially adapted for additive manufacturing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
- B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
- B33Y70/00—Materials specially adapted for additive manufacturing
- B33Y70/10—Composites of different types of material, e.g. mixtures of ceramics and polymers or mixtures of metals and biomaterials
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
- B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
- B41J2/06—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by electric or magnetic field
Abstract
본 발명은, 전기전도성의 필러와 고분자계 바인더를 포함하는 전도성 잉크를 형성하는 단계와, 상기 전도성 잉크를 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 원료공급부에 투입하는 단계와, 상기 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 노즐과 기판이 놓인 접지전극 사이에 전압을 인가하는 단계와, 상기 원료공급부에서 상기 노즐로 상기 전도성 잉크를 공급하는 단계와, X축 및 Y축을 따라 이동이 가능하게 구비된 기판을 기준으로 Z축을 따라 상기 노즐이 상하로 움직이게 하고 상기 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 노즐에서 상기 전도성 잉크를 디자인된 패턴으로 상기 기판 위에 분사하는 단계 및 상기 기판에 분사된 3차원 구조의 결과물을 열처리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용한 3차원 구조물의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용하여 형태와 패턴이 제어된 3차원 구조물을 제조할 수 있다.The present invention relates to a method of forming a conductive ink, comprising the steps of: forming a conductive ink comprising an electrically conductive filler and a polymeric binder; injecting the conductive ink into a feedstock of an electrohydraulic jet printing apparatus; Applying a voltage between a nozzle and a ground electrode on which the substrate is placed; supplying the conductive ink to the nozzle at the material supply unit; and moving the Z-axis relative to the substrate, Jetting the conductive ink onto the substrate in a designed pattern, causing the nozzle to move up and down, and heat-treating the resultant of the three-dimensional structure projected onto the substrate, in a nozzle of the electrohydraulic jet printing apparatus The present invention relates to a method of manufacturing a three-dimensional structure using an electrohydraulic jet printing apparatus, . According to the present invention, a three-dimensional structure in which shape and pattern are controlled by using an electrohydraulic jet printing apparatus can be manufactured.
Description
본 발명은 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용하여 3차원 구조물을 제조하는 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용하여 형태와 패턴이 제어된 3차원 구조물을 제조하는 방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a method of manufacturing a three-dimensional structure using an electrohydraulic jet printing apparatus, and more particularly, to a method of manufacturing a three-dimensional structure in which shape and pattern are controlled using an electrohydraulic jet printing apparatus .
제조업의 일반적인 생산방식은 원재료를 자르고 다듬어서 만드는 절삭가공 방식에 의해 이루어진다. 그러나, 다양해지는 고객들의 요구에 맞추어 대량생산이 아닌 맞춤형 다품종 소량생산이 요구되고 있다. 3차원 프린팅 기술은 이러한 요구조건에 적합한 기술로서 제조업에 새로운 패러다임을 제시하고 있다. 3차원 프린팅 기술은 적층 제조기술이라고 하며, 일반적으로 잉크를 노즐을 통해 기계적으로 토출하는 방식을 적용한다. 노즐을 통해 토출된 잉크를 일반적으로 레이저로 소결하는 방식을 적용한다. The general manufacturing method of the manufacturing industry is made by the cutting method of cutting and trimming the raw materials. However, in order to meet the needs of diverse customers, it is required to produce a small quantity of customized multi-product instead of mass production. 3D printing technology is a technology that meets these requirements and presents a new paradigm in manufacturing. The three-dimensional printing technique is referred to as a lamination manufacturing technique. In general, a method of mechanically discharging ink through a nozzle is applied. The ink ejected through the nozzles is generally sintered with a laser.
일반적인 3차원 프린팅 기술에서 적용하는 방식과 달리, 전기수력학적 제트 프린팅법은 적절한 액체를 잉크로 사용하고, 잉크가 나오는 핀 형태의 노즐과 잉크가 방사되는 기판을 두는 접지전극 사이에 고전압을 인가하여 발생하는 전위차에 의해 프린팅을 하는 것이다. 일반적인 전기수력학적 제트 프린팅은 섬유 형태로 잉크를 뽑으면서 마스크나 에칭 공정 없이 기판 위에 2차원적으로 디자인된 패턴을 형성하며 프린팅된다. Unlike the conventional three-dimensional printing technique, the electro-hydro jet printing method uses a suitable liquid as an ink and applies a high voltage between a pin-shaped nozzle from which the ink is ejected and a ground electrode And the printing is performed by the potential difference generated. Typical electrohydrodynamic jet printing is printing with a two-dimensionally designed pattern on the substrate without a mask or etch process, while drawing ink in fiber form.
이러한 전기수력학적 제트 프린팅법은 2차원적 패턴을 제작하는데 사용되어 왔다. 본 발명의 발명자들은 전기수력학적 제트 프린팅법을 이용하여 2차원적 패턴이 아닌 3차원 구조물을 제조하는 방법을 연구하였다.
This electrohydrodynamic jet printing method has been used to fabricate two-dimensional patterns. The inventors of the present invention have studied a method of manufacturing a three-dimensional structure instead of a two-dimensional pattern by using the electro-hydro jet printing method.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용하여 형태와 패턴이 제어된 3차원 구조물을 제조하는 방법을 제공함에 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a three-dimensional structure in which the shape and pattern are controlled by using an electrohydraulic jet printing apparatus.
본 발명은, 전기전도성의 필러와 고분자계 바인더를 포함하는 전도성 잉크를 형성하는 단계와, 상기 전도성 잉크를 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 원료공급부에 투입하는 단계와, 상기 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 노즐과 기판이 놓인 접지전극 사이에 전압을 인가하는 단계와, 상기 원료공급부에서 상기 노즐로 상기 전도성 잉크를 공급하는 단계와, X축 및 Y축을 따라 이동이 가능하게 구비된 기판을 기준으로 Z축을 따라 상기 노즐이 상하로 움직이게 하고 상기 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 노즐에서 상기 전도성 잉크를 디자인된 패턴으로 상기 기판 위에 분사하는 단계 및 상기 기판에 분사된 3차원 구조의 결과물을 열처리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용한 3차원 구조물의 제조방법을 제공한다. The present invention relates to a method of forming a conductive ink, comprising the steps of: forming a conductive ink comprising an electrically conductive filler and a polymeric binder; injecting the conductive ink into a feedstock of an electrohydraulic jet printing apparatus; Applying a voltage between a nozzle and a ground electrode on which the substrate is placed; supplying the conductive ink to the nozzle at the material supply unit; and moving the Z-axis relative to the substrate, Jetting the conductive ink onto the substrate in a designed pattern, causing the nozzle to move up and down, and heat-treating the resultant of the three-dimensional structure projected onto the substrate, in a nozzle of the electrohydraulic jet printing apparatus The method of manufacturing a three-dimensional structure using an electrohydraulic jet printing apparatus, to provide.
상기 필러는 Ag, Au, Pt, Cu 및 Ni 중에서 선택된 1종 이상의 금속을 포함할 수 있다.The filler may comprise at least one metal selected from Ag, Au, Pt, Cu and Ni.
상기 필러는 그라파이트 및 탄소나노튜브 중에서 선택된 1종 이상의 탄소물질을 포함할 수 있다.The filler may comprise at least one carbon material selected from graphite and carbon nanotubes.
상기 필러는 Sn 및 Zn 중에서 선택된 1종 이상의 금속을 포함하는 나이트레이트계, 클로라이드계 및 아세테이트계 중에서 선택된 1종 이상의 금속염을 포함할 수 있다.The filler may include at least one metal salt selected from a nitrate, chloride and acetate based metal including at least one metal selected from Sn and Zn.
상기 고분자계 바인더는 분자량이 50,000∼2,000,000인 폴리비닐피롤리돈, 폴리메틸메타아크릴레이트 및 폴리비닐클로라이드 중에서 선택된 1종 이상의 물질을 포함할 수 있다.The polymeric binder may include at least one material selected from polyvinylpyrrolidone having a molecular weight of 50,000 to 2,000,000, polymethylmethacrylate, and polyvinyl chloride.
상기 전도성 잉크는 디메틸포름아미드, 알파-테르피네올 및 클로로포름 중에서 1종 이상의 용매를 포함할 수 있다.The conductive ink may comprise at least one solvent selected from the group consisting of dimethylformamide, alpha-terpineol and chloroform.
상기 열처리는 상기 고분자계 바인더를 태워서 제거하기 위하여 300∼600℃의 온도에서 수행하는 것이 바람직하다.The heat treatment is preferably carried out at a temperature of 300 to 600 ° C in order to burn and remove the polymeric binder.
상기 노즐의 Z축 이동 속도는 1∼500 mm/sec로 조절하는 것이 바람직하고, 상기 접지전극과 상기 노즐 사이에 인가되는 전압은 0.5∼10kV가 되게 제어하는 것이 바람직하며, 노즐 팁의 테일러 콘과 기판 사이의 거리는 10∼1000㎛가 되게 제어하는 것이 바람직하다.
Preferably, the Z-axis moving speed of the nozzle is adjusted to 1 to 500 mm / sec, and the voltage applied between the ground electrode and the nozzle is controlled to be 0.5 to 10 kV. It is preferable to control the distance between the substrates to be 10 to 1000 mu m.
종래의 전기수력학적 제트 프린팅 장치는 2차원적 패턴을 제작하는데 사용되었으나, 본 발명에 의하면 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용하여 형태와 패턴이 제어된 3차원 구조물을 제조할 수 있다. 3차원 구조물을 제조하기 위하여 전기수력학적 제트 프린팅용 잉크를 제조하고, 이를 이용하여 크기와 배열이 제어된 3차원 구조물을 제조한다.
A conventional electrohydrodynamic jet printing apparatus has been used to fabricate a two-dimensional pattern. However, according to the present invention, a three-dimensional structure in which shape and pattern are controlled using an electrohydraulic jet printing apparatus can be manufactured. In order to fabricate a three - dimensional structure, an electrohydrodynamic jet printing ink is prepared, and a three - dimensional structure having a controlled size and arrangement is manufactured.
도 1은 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 2는 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 노즐에서 연속적으로 잉크가 나오면서 기판에 3차원 구조물이 생성되는 모습을 보여주는 인-시츄(In-situ) 스냅 샷 사진이다.
도 3은 실험예 1에 따라 제조된 3차원 구조물의 사진으로서 다른 직경과 길이를 갖는 3차원 구조물의 사진이다.
도 4는 실험예 1에 따라 제조된 3차원 구조물의 사진으로서 기판 위에 세워져서 간격이 제어된 3차원 구조물의 사진이다.
도 5는 실험예 1에 따라 제조된 6×9의 어레이 패턴을 갖는 3차원 구조물의 사진이다.1 is a schematic view showing an electrohydraulic jet printing apparatus.
FIG. 2 is an in-situ snapshot photograph showing a state in which a three-dimensional structure is generated on a substrate as ink continuously flows out from a nozzle of an electrohydraulic jet printing apparatus. FIG.
Fig. 3 is a photograph of a three-dimensional structure having different diameters and lengths as a photograph of a three-dimensional structure manufactured according to Experimental Example 1. Fig.
FIG. 4 is a photograph of a three-dimensional structure manufactured according to Experimental Example 1, which is a photograph of a three-dimensional structure, which is formed on a substrate and whose gap is controlled.
5 is a photograph of a three-dimensional structure having a 6 x 9 array pattern manufactured according to Experimental Example 1. Fig.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 그러나, 이하의 실시예는 이 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, it should be understood that the following embodiments are provided so that those skilled in the art will be able to fully understand the present invention, and that various modifications may be made without departing from the scope of the present invention. It is not. Wherein like reference numerals refer to like elements throughout.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용한 3차원 구조물의 제조방법은, 전기전도성의 필러와 고분자계 바인더를 포함하는 전도성 잉크를 형성하는 단계와, 상기 전도성 잉크를 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 원료공급부에 투입하는 단계와, 상기 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 노즐과 기판이 놓인 접지전극 사이에 전압을 인가하는 단계와, 상기 원료공급부에서 상기 노즐로 상기 전도성 잉크를 공급하는 단계와, X축 및 Y축을 따라 이동이 가능하게 구비된 기판을 기준으로 Z축을 따라 상기 노즐이 상하로 움직이게 하고 상기 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 노즐에서 상기 전도성 잉크를 디자인된 패턴으로 상기 기판 위에 분사하는 단계 및 상기 기판에 분사된 3차원 구조의 결과물을 열처리하는 단계를 포함한다. A method of manufacturing a three-dimensional structure using an electrohydraulic jet printing apparatus according to a preferred embodiment of the present invention includes the steps of forming a conductive ink including an electrically conductive filler and a polymeric binder; Applying a voltage between a nozzle of the electrohydraulic jet printing apparatus and a ground electrode on which the substrate is placed, supplying the conductive ink to the nozzle at the material supply unit, And moving the nozzle up and down along the Z axis with respect to a substrate provided so as to be movable along the X axis and the Y axis and injecting the conductive ink from the nozzle of the electrohydrodynamic jet printing apparatus onto the substrate in a designed pattern And heat treating the resultant of the three-dimensional structure projected onto the substrate The.
이하에서, 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용하여 3차원 구조물을 제조하는 방법을 더욱 구체적으로 설명한다. 도 1은 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 개략적으로 도시한 구성도이다. Hereinafter, a method for manufacturing a three-dimensional structure using an electrohydraulic jet printing apparatus will be described in more detail. 1 is a schematic view showing an electrohydraulic jet printing apparatus.
도 1을 참조하면, 전기수력학적(electrohydrodynamic) 제트 프린팅 장치는 노즐과 접지전극(ground electrode) 사이에 전압을 인가하여 생기는 전위차(potential difference)를 이용하여 프린팅을 실시하는 장치이다.Referring to FIG. 1, an electrohydrodynamic jet printing apparatus is a device that performs printing using a potential difference generated by applying a voltage between a nozzle and a ground electrode.
전기수력학적 제트 프린팅 장치는 원료공급부(10), 노즐(20), 기판(30), 스테이지부(40), 전원공급장치(50) 및 제어부(미도시)를 포함한다. The electrohydraulic jet printing apparatus includes a raw
원료공급부(10)는 전도성 잉크를 노즐(20)로 공급하는 역할을 한다. 원료공급부(10)에는 시린지 펌프(미도시)가 구비될 수 있으며, 상기 시린지 펌프는 펌핑하여 전도성 잉크가 노즐(20)로 원활하게 공급될 수 있게 하는 역할을 한다. The raw
노즐(20)은 원료공급부(10)로부터 공급된 전도성 잉크를 일정한 수력학적 압력(hydrodynamic pressure)으로 기판(30)에 분무하는 역할을 한다. 노즐(20)은 기판(30)으로부터 이격되어 위치하고 노즐(20)은 Z축을 따라 상하로 움직일 수 있게 구비된다. The
스테이지부(40)는 기판(30)의 하부에 위치하여 기판(30)을 유지하면서 제어부에 입력된 패턴대로 형성되도록 기판(30)을 정밀하게 이동시킨다. 스테이지부(40)는 x축 및 y축의 움직임에 대한 컨트롤이 가능한 제어부의 명령에 따라 X축 및 Y축으로 움직일 수 있게 구성된다.The
전원공급장치(50)는 노즐(20)에 연결되어 전압을 인가한다.The
이와 같이 구성된 전기수력학적 제트 프린팅 장치는 전압공급장치(50)에 의해 노즐(20)과 접지전극 사이에 전압이 인가되게 되면 노즐(20) 팁의 메니스커스(meniscus)의 모양이 변형되게 되고 이때 발생하는 젯(jet)이 기판(30)에 입력된 형태의 패턴을 형성하게 된다.When the voltage is applied between the
전기수력학적 제트 프린팅 장치의 원료공급부(10)에 공급되는 전도성 잉크로는 분자량이 50,000∼2,000,000인 폴리비닐피롤리돈(PVP; polyvinylpyrrolidone), 폴리메틸메타아크릴레이트(PMMA; polymethylmethacrylate) 및 폴리비닐클로라이드(PVC; Polyvinyl Chloride) 중에서 선택된 1종 이상의 고분자계 바인더와 전기전도성의 필러를 포함하는 용액을 사용한다. 상기 필러는 Ag, Au, Pt, Cu 및 Ni 중에서 선택된 1종 이상의 금속으로 이루어지거나, 그라파이트 및 탄소나노튜브 중에서 선택된 1종 이상의 탄소물질로 이루어지거나, Sn 및 Zn 중에서 선택된 1종 이상의 금속을 포함하는 나이트레이트계, 클로라이드계 및 아세테이트계 중에서 1종 이상의 금속염으로 이루어질 수 있다. Sn 및 Zn 중에서 선택된 1종 이상의 금속을 포함하는 나이트레이트계 금속염으로는 Sn(NO3)2, Sn(NO3)4, Zn(NO3)2 등을 그 예로 들 수 있다. Sn 및 Zn 중에서 선택된 1종 이상의 금속을 포함하는 클로라이드계 금속염으로는 SnCl2, SnCl4, ZnCl2 등을 그 예로 들 수 있다. Sn 및 Zn 중에서 선택된 1종 이상의 금속을 포함하는 아세테이트계 금속염으로는 Sn(CH3CO2)2, Sn(CH3CO2)4, Zn(CH3CO2)2 등을 그 예로 들 수 있다. The conductive ink supplied to the raw
Sn 및 Zn 중에서 선택된 1종 이상의 금속을 포함하는 나이트레이트계, 클로라이드계 및 아세테이트계 중에서 1종 이상의 금속염을 필러로 사용하는 경우에, 열처리 후에 제조된 3차원 구조물은 SnO2 및 ZnO 중에서 선택된 1종 이상의 금속산화물을 포함하게 된다. Sn, and Zn, the three-dimensional structure produced after the heat treatment is one selected from among SnO 2 and ZnO. In the case of using at least one metal salt among nitrate, chloride and acetate, Or more of the metal oxide.
상기 전도성 잉크는 다음과 같이 제조할 수 있다. 분자량이 50,000∼2,000,000인 폴리비닐피롤리돈(PVP; polyvinylpyrrolidone), 폴리메틸메타아크릴레이트(PMMA; polymethylmethacrylate), 폴리비닐클로라이드(PVC; Polyvinyl Chloride) 중에서 선택된 1종 이상의 고분자계 바인더를 에탄올과 같은 용매에 용해시켜 바인더 용액을 형성한다. 디메틸포름아미드(DMF; dimethylformamide), 알파-테르피네올(α-Terpineol) 및 클로로포름(Chloroform) 중에서 1종 이상의 용매에 전기전도성의 필러를 분산시킨다. 필러가 분산된 용액과 바인더 용액을 혼합한다. 이와 같이 제조되는 전도성 잉크는 고분자계 바인더, 필러 및 용매의 혼합비를 조절하여 점도를 제어한다. 필러로 사용되는 금속이나 탄소물질은 용액 내에 잘 분산되어 있어야 하고, 필러로 사용되는 금속염은 용액 내에 잘 용해되어 있어야 한다. 전도성 잉크의 점도는 50∼2500 cP 정도인 것이 바람직하다. The conductive ink may be prepared as follows. At least one polymeric binder selected from polyvinylpyrrolidone (PVP), polymethylmethacrylate (PMMA), and polyvinyl chloride (PVC) having a molecular weight of 50,000 to 2,000,000 is dissolved in a solvent such as ethanol To form a binder solution. Electrically conductive fillers are dispersed in at least one solvent in dimethylformamide (DMF), alpha-terpineol, and chloroform. The solution in which the filler is dispersed is mixed with the binder solution. The conductive ink thus prepared controls the viscosity by controlling the mixing ratio of the polymeric binder, the filler and the solvent. The metal or carbon material used for the filler should be well dispersed in the solution, and the metal salt used as the filler should be well dissolved in the solution. The viscosity of the conductive ink is preferably about 50 to 2500 cP.
3차원 구조물을 형성하기 위한 기판(30)은 실리콘 웨이퍼, 투명전도막, 이글 글라스, 슬라이드 글라스 등을 사용하는 것이 바람직하다. 상기 투명전도막은 ITO(indium tin oxide), FTO(fluorine-doped tin oxide), ATO(antimony tin oxide) 등일 수 있다. 각각 전기전도도가 다른 선택된 기판(30)에 따라 인가하는 전압 크기는 변화된다. 기판(30)은 스테이지부(40)에 장착되어 X축 또는 Y축으로 1∼500 mm/sec 정도의 속도로 움직일 수 있게 구성되는 것이 바람직하다. The
불안정한 계면은 원뿔형의 모양을 가지는데, 이를 테일러 콘(Taylor cone)이라고 부르며, 콘(cone)의 끝에서 일련의 액적 또는 가느다란 제트(jet)가 방출된다. 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 노즐 팁에 맺히는 테일러 콘의 크기는 원료공급부(10)로부터 노즐(20)로 공급되는 전도성 잉크의 유량과 노즐 팁의 직경에 의해 제어된다. 노즐(20)로 공급되는 전도성 잉크의 유량은 0.1∼20㎛/min 정도의 속도를 갖도록 하는 바람직하다. 노즐(20)의 내경은 2∼1000㎛ 정도인 것이 바람직하다.The unstable interface has a conical shape, called the Taylor cone, which emits a series of droplets or a jet at the end of the cone. The size of the Taylor cone formed on the nozzle tip of the electrohydraulic jet printing apparatus is controlled by the flow rate of the conductive ink supplied from the raw
양의 고전압이 인가된 노즐(20)을 전도성 잉크가 통과할 때 전도성 잉크 속에 용해되어 있던 음이온들이 인력에 의해 이동하고, 양이온들은 반발력에 의해 노즐 끝에 맺혀있는 메니스커스로 이동하여 전하 분리 현상이 발생한다. 이때 충분한 전압이 인가되면 맺혀있는 물방울의 곡면에 작용하는 전기력과 양이온들의 반발력이 잉크의 표면장력보다 커지면서 형성된 테일러 콘(Taylor cone)에서 제트가 발생하며 전도성 잉크가 분사된다. 일반적인 전기수력학적 제트 프린팅은 섬유 형태로 전도성 잉크를 뽑으면서 마스크나 에칭 공정 없이 기판(30) 위에 디자인된 패턴으로 3차원 구조물 형태로 프린팅된다. When the conductive ink passes through the
테일러 콘의 형상은 노즐(20)과 기판(30)을 놓는 스테이지부(40)(또는 접지전극) 사이에 인가되는 전압에 의해 제어된다. 스테이지부(40)(또는 접지전극)와 노즐(20) 사이에 인가되는 전압은 0.5∼10kV 정도인 것이 바람직하다. The shape of the Taylor cone is controlled by the voltage applied between the
노즐(20)이 움직이는 Z축의 이동속도는 3차원 구조물의 길이를 제어하고 테일러 콘의 형상을 제어한다. 테일러 콘의 크기 및 형상은 일정하고 균일한 직경을 갖는 3차원 구조물을 제작하기 위해 제어된다. 균일한 3차원 구조물을 제작하기 위해 추가적으로 노즐 팁 끝에 맺힌 테일러 콘과 기판(30) 사이의 거리를 제어한다. 노즐 팁의 테일러 콘과 기판 사이의 거리는 10∼1000㎛ 정도인 것이 바람직하다. 노즐의 Z축 이동 속도는 1∼500 mm/sec 정도인 것이 바람직하다. The moving speed of the Z axis on which the
전기수력학적 제트 프린팅 장치에 의해 프린팅된 3차원 구조물은 구조물 간의 간격이 제어되고, 디자인된 어레이 구조를 갖도록 의도된 패턴으로 프린팅 된다. The three dimensional structure printed by the electrohydraulic jet printing apparatus is printed in a pattern intended to control the spacing between the structures and to have the designed array structure.
전기수력학적 제트 프린팅 장치에 의해 기판(30) 위에 형성된 3차원 구조물은 열처리 과정을 통해 고분자계 바인더의 하소 및 3차원 구조물의 치밀화를 제어한다. 열처리는 전기로, 레이저, 극초단파 전기로 등의 열원을 사용하는 것이 바람직하다. 상기 열처리는 고분자계 바인더를 태워서 제거하기 위하여 300∼600℃의 온도에서 수행하는 것이 바람직하다.The three-dimensional structure formed on the
이와 같이 제작된 3차원 구조물은 패턴 디자인에 의해 기판(30) 위에 배열되며, 상기 3차원 구조물은 Ag, Au, Pt, Cu 및 Ni 중에서 선택된 1종 이상의 금속으로 이루어지거나, 그라파이트 및 탄소나노튜브 중에서 선택된 1종 이상의 기능성 탄소물질로 이루어지거나, SnO2 및 ZnO 중에서 선택된 1종 이상의 금속산화물로 이루어진다. The three-dimensional structure thus fabricated is arranged on the
상기 3차원 구조물은 직경이 0.1∼10mm의 직경과 0.5∼2mm의 길이를 갖는 원통형 기둥의 형태를 가질 수 있다.The three-dimensional structure may have the form of a cylindrical column having a diameter of 0.1 to 10 mm and a length of 0.5 to 2 mm.
3차원 구조물은 패턴 디자인과 소재에 따라 전자소자의 전극, 센서의 감응물질 등으로 널리 활용된다. 3차원 구조물에 금속, 탄소물질, 금속산화물 등의 기능성 재료를 적용함으로써 폭넓은 응용이 가능하다. The three-dimensional structure is widely used as an electrode of an electronic device and a sensitive material of a sensor depending on a pattern design and a material. By applying functional materials such as metals, carbon materials, and metal oxides to three-dimensional structures, a wide range of applications is possible.
이하에서, 본 발명에 따른 실험예를 구체적으로 제시하며, 다음에 제시하는 실험예에 의하여 본 발명이 한정되는 것은 아니다. Hereinafter, experimental examples according to the present invention will be specifically shown, and the present invention is not limited to the following experimental examples.
<실험예 1><Experimental Example 1>
고분자계 바인더인 분자량 1,300,000인 폴리비닐피롤리돈(PVP) 7.73g을 용매인 에탄올 77.3g에 녹여 PVP 용액을 만들고, 알파-테르피네올(α-Terpineol) 3.524g에 은(Ag) 분말 21.645g이 분산된 은(Ag) 용액을 준비한 다음, PVP 용액과 은(Ag) 용액을 혼합하여 전도성 잉크를 형성하였다. 7.73 g of polyvinylpyrrolidone (PVP) having a molecular weight of 1,300,000 as a polymer binder was dissolved in 77.3 g of ethanol as a solvent to prepare a PVP solution. To 3.524 g of alpha-terpineol, 21.645 g of silver (Ag) The dispersed silver (Ag) solution was prepared, and then a PVP solution and a silver (Ag) solution were mixed to form a conductive ink.
상기 전도성 잉크 10㎖를 주사기에 주입한 후, 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 원료공급부에 부착하였다. 전도성 잉크의 유량을 5㎛/min의 속도로 하여 노즐에 전도성 잉크를 공급하였다. 노즐 팁의 잉크 방울과 기판과의 거리는 200㎛로 고정하였다. 10 ml of the conductive ink was injected into a syringe and then attached to the feed portion of the electrohydraulic jet printing apparatus. Conductive ink was supplied to the nozzle at a flow rate of 5 m / min for the conductive ink. The distance between the ink droplet of the nozzle tip and the substrate was fixed at 200 mu m.
기판이 위치된 접지전극과 노즐 사이에 1.6kV의 전압을 인가하고, 노즐의 Z축 이동속도를 100mm/sec로 하여 하부에서 상부로 이동하며, FTO(fluorine-doped tin oxide) 기판 위에 일정 간격을 가지고 6×9로 어레이된 3차원 Ag/PVP 구조물을 제작하였다. A voltage of 1.6 kV was applied between the ground electrode on which the substrate was placed and the nozzle, and the Z axis movement speed of the nozzle was moved from the lower part to the upper part at 100 mm / sec. A three - dimensional Ag / PVP structure with 6 × 9 array was fabricated.
이렇게 제작된 Ag/PVP 구조물은 공기 분위기의 전기로에서 승온속도 10℃/min로 400℃까지 올리고 30분 동안 열처리를 하여 3차원 구조물을 얻었다.
The thus fabricated Ag / PVP structure was heated in an electric furnace in an air atmosphere at a heating rate of 10 ° C./min to 400 ° C. and heat treated for 30 minutes to obtain a three-dimensional structure.
도 2는 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 노즐에서 연속적으로 잉크가 나오면서 기판에 3차원 구조물이 생성되는 모습을 보여주는 인-시츄(In-situ) 스냅 샷 사진이다. 도 2에서 '위에서 아래 방향으로 가면서 좁아지는 검은 부분'까지가 '노즐'을 나타내고, '좁아지는 검은 부분 아래로 평평하게 검게 보이는 부분'이 노즐에서 분사되면서 형성되는 3차원 구조의 Ag/PVP 구조물을 나타낸다. FIG. 2 is an in-situ snapshot photograph showing a state in which a three-dimensional structure is generated on a substrate as ink continuously flows out from a nozzle of an electrohydraulic jet printing apparatus. FIG. The Ag / PVP structure of the three-dimensional structure formed by spraying the nozzles from the nozzles to the black portion narrowing from the top to the bottom in FIG. 2, .
도 3은 실험예 1에 따라 제조된 3차원 구조물의 사진으로서 다른 직경과 길이를 갖는 3차원 구조물의 사진이다. 도 3은 열처리 후의 3차원 구조물을 보여준다. Fig. 3 is a photograph of a three-dimensional structure having different diameters and lengths as a photograph of a three-dimensional structure manufactured according to Experimental Example 1. Fig. Figure 3 shows the three-dimensional structure after heat treatment.
도 4는 실험예 1에 따라 열처리 후에 제조된 3차원 구조물의 사진으로서 기판 위에 세워져서 간격이 제어된 3차원 구조물의 사진이다. 도 4에서 (a)는 3차원 구조물 사이의 간격이 0.5mm인 경우를 보여주는 사진이고, (b)는 3차원 구조물 사이의 간격이 1.0mm인 경우를 보여주는 사진이며, (c)는 3차원 구조물 사이의 간격이 2.0mm인 경우를 보여주는 사진이고, (d)는 3차원 구조물 사이의 간격이 4.0mm인 경우를 보여주는 사진이다.FIG. 4 is a photograph of a three-dimensional structure formed on a substrate and controlled in spacing, as a photograph of the three-dimensional structure manufactured after the heat treatment according to Experimental Example 1. FIG. 4 (a) is a photograph showing a case where the interval between the three-dimensional structures is 0.5 mm, (b) is a photograph showing a case where the interval between the three-dimensional structures is 1.0 mm, (D) is a photograph showing a case where the interval between the three-dimensional structures is 4.0 mm. Fig.
도 5는 실험예 1에 따라 열처리 후에 제조된 6×9의 어레이 패턴을 갖는 3차원 구조물의 사진이며, 3차원 구조물 사이의 간격은 1.0mm이다.
FIG. 5 is a photograph of a three-dimensional structure having a 6 × 9 array pattern produced after heat treatment according to Experimental Example 1, and the space between the three-dimensional structures is 1.0 mm.
이상, 본 발명의 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, This is possible.
10: 원료공급부
20: 노즐
30: 기판
40: 스테이지부
50: 전원공급장치10:
20: Nozzle
30: substrate
40:
50: Power supply
Claims (8)
상기 전도성 잉크를 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 원료공급부에 투입하는 단계;
상기 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 노즐과 기판이 놓인 접지전극 사이에 전압을 인가하는 단계;
상기 원료공급부에서 상기 노즐로 상기 전도성 잉크를 공급하는 단계;
X축 및 Y축을 따라 이동이 가능하게 구비된 기판을 기준으로 Z축을 따라 상기 노즐이 상하로 움직이게 하고 상기 전기수력학적 제트 프린팅 장치의 노즐에서 상기 전도성 잉크를 디자인된 패턴으로 상기 기판 위에 분사하는 단계; 및
상기 기판에 분사된 3차원 구조의 결과물을 열처리하는 단계를 포함하며,
상기 필러는 Sn(NO3)2, Sn(NO3)4, Zn(NO3)2, SnCl2, SnCl4, ZnCl2, Sn(CH3CO2)2, Sn(CH3CO2)4, 및 Zn(CH3CO2)2 중에서 선택된 1종 이상의 금속염을 포함하고,
상기 열처리 후에 제조된 3차원 구조물은 SnO2 및 ZnO 중에서 선택된 1종 이상의 금속산화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용한 3차원 구조물의 제조방법.
Forming a conductive ink comprising an electrically conductive filler and a polymeric binder;
Feeding the conductive ink into a feedstock of an electrohydraulic jet printing apparatus;
Applying a voltage between a nozzle of the electrohydraulic jet printing apparatus and a ground electrode on which the substrate is placed;
Supplying the conductive ink to the nozzle at the raw material supply unit;
And moving the nozzle up and down along the Z axis with reference to a substrate movably along the X and Y axes and ejecting the conductive ink from the nozzles of the electrohydraulic jet printing device onto the substrate in a designed pattern ; And
And heat treating the resultant of the three-dimensional structure projected onto the substrate,
The filler is Sn (NO 3) 2, Sn (NO 3) 4, Zn (NO 3) 2, SnCl 2, SnCl 4, ZnCl 2, Sn (CH 3 CO 2) 2, Sn (CH 3 CO 2) 4 , And Zn (CH 3 CO 2 ) 2 ,
Wherein the three-dimensional structure produced after the heat treatment comprises at least one metal oxide selected from SnO 2 and ZnO.
The electrophotographic photoconductor of claim 1, wherein the polymeric binder comprises at least one material selected from the group consisting of polyvinylpyrrolidone having a molecular weight of 50,000 to 2,000,000, polymethylmethacrylate, and polyvinylchloride. A method for manufacturing a three - dimensional structure using a device.
The method of claim 1, wherein the conductive ink comprises at least one solvent selected from the group consisting of dimethylformamide, alpha-terpineol, and chloroform.
2. The method of claim 1, wherein the heat treatment is performed at a temperature of 300 to 600 DEG C to burn and remove the polymeric binder.
상기 접지전극과 상기 노즐 사이에 인가되는 전압은 0.5∼10kV가 되게 제어하며,
노즐 팁의 테일러 콘과 기판 사이의 거리는 10∼1000㎛가 되게 제어하는 것을 특징으로 하는 전기수력학적 제트 프린팅 장치를 이용한 3차원 구조물의 제조방법. The method according to claim 1, wherein the Z-axis moving speed of the nozzle is adjusted to 1 to 500 mm / sec,
A voltage applied between the ground electrode and the nozzle is controlled to be 0.5 to 10 kV,
Wherein the distance between the tail cone of the nozzle tip and the substrate is controlled to be 10 to 1000 占 퐉.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020150034250A KR101692237B1 (en) | 2015-03-12 | 2015-03-12 | Manufacturing method of three-dimensional structures using the electrohydrodynamic jet printing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020150034250A KR101692237B1 (en) | 2015-03-12 | 2015-03-12 | Manufacturing method of three-dimensional structures using the electrohydrodynamic jet printing apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20160110765A KR20160110765A (en) | 2016-09-22 |
| KR101692237B1 true KR101692237B1 (en) | 2017-01-04 |
Family
ID=57102695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020150034250A KR101692237B1 (en) | 2015-03-12 | 2015-03-12 | Manufacturing method of three-dimensional structures using the electrohydrodynamic jet printing apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101692237B1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3719466A1 (en) * | 2019-04-01 | 2020-10-07 | Heraeus Nexensos GmbH | 3d connector structure, method for producing same and temperature sensor |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102334753B1 (en) | 2020-02-25 | 2021-12-06 | 한국기계연구원 | Printing unit having carbon nano tube brush and method for printing using the same |
| WO2022005177A1 (en) * | 2020-06-29 | 2022-01-06 | 주식회사 페로카 | Apparatus and method for manufacturing microneedle patch using electrohydrodynamic printing |
| KR20230094237A (en) * | 2021-12-20 | 2023-06-28 | 주식회사 페로카 | Apparatus and method for manufacturing for micro-needle |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014502788A (en) * | 2010-12-28 | 2014-02-03 | ヨウル チョン ケミカル カンパニー， リミテッド | Back sheet for solar cell and method for producing the same |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100919411B1 (en) | 2008-04-25 | 2009-09-29 | 연세대학교 산학협력단 | Apparatus for printing electrohydrodynamic and method thereof |
| KR101302440B1 (en) * | 2011-12-09 | 2013-09-02 | 조선대학교산학협력단 | Electrohydrodynamic plotting device, method and 3 dimensional layered scaffold prepared from the method |
-
2015
- 2015-03-12 KR KR1020150034250A patent/KR101692237B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014502788A (en) * | 2010-12-28 | 2014-02-03 | ヨウル チョン ケミカル カンパニー， リミテッド | Back sheet for solar cell and method for producing the same |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3719466A1 (en) * | 2019-04-01 | 2020-10-07 | Heraeus Nexensos GmbH | 3d connector structure, method for producing same and temperature sensor |
| WO2020200613A1 (en) * | 2019-04-01 | 2020-10-08 | Heraeus Nexensos Gmbh, | 3d connector structure, method for producing a 3d connector structure and temperature sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20160110765A (en) | 2016-09-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101692237B1 (en) | Manufacturing method of three-dimensional structures using the electrohydrodynamic jet printing apparatus | |
| Wei et al. | High-resolution ac-pulse modulated electrohydrodynamic jet printing on highly insulating substrates | |
| CN100447974C (en) | Bonding pad, method for fabricating a bonding pad and an electronic device, and its fabricating method | |
| US9802363B2 (en) | Method for producing object | |
| Zhang et al. | Electro-hydrodynamic direct-writing technology toward patterned ultra-thin fibers: Advances, materials and applications | |
| TWI569883B (en) | Electrostatic coating method and electrostatic coating device | |
| KR20070083726A (en) | Device for etching a conductive layer and etching method | |
| CN113547739B (en) | 3D printer for preparing multi-material micro-nano composite film and working method thereof | |
| CN112122614B (en) | Self-excitation electrostatic field-driven spray deposition-based 3D printing device, working method and application thereof | |
| CN103906703A (en) | Method and apparatus for aligning nanowires deposited by an electrospinning process | |
| CN103029436A (en) | Apparatuses and methods for treating substrate | |
| KR20130035841A (en) | Apparatus and method for treating substrate | |
| KR101998352B1 (en) | Apparatus for injecting ink with multi-nozzles | |
| JP7012020B2 (en) | Bottom-up method for forming a wiring structure on a board | |
| KR101613348B1 (en) | System for fabricating transparent electorde and method for fabricating transparent electorde using the same | |
| JP5707953B2 (en) | Inkjet coating method and coating apparatus | |
| CN106587041A (en) | Film preparation device and preparation method based on ink-jet printing | |
| US10293602B2 (en) | Ink jetting apparatus for forming micro-fine liquid droplets and printing system including the same | |
| CN113650285B (en) | Jet printing method and device for jet printing three-dimensional microstructure by hot-melt electrohydrodynamic | |
| KR101937333B1 (en) | Apparatus and method for treating substrate | |
| KR20160112320A (en) | Manufacturing method of tin oxide line pattern using the electrohydrodynamic jet printing and gas sensor using the tin oxide line pattern | |
| KR101442672B1 (en) | Spray nozzle system using mask and method for fabricating touch screen for the same | |
| JP2014017360A (en) | Wiring formation method and wiring formation device | |
| EP3736050B1 (en) | Device and method for applying liquid media to a substrate surface | |
| Tang et al. | A new electrohydrodynamic printing method for patterns fabrication with low viscosity fluid of silicone oil |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20191204 Year of fee payment: 4 |