KR101691100B1 - Device and method for measuring workpiece characteristic - Google Patents

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가부시키가이샤 도쿄 웰드
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Abstract

본 발명은, 워크의 저경도부에 흠집을 내지 않고 고정해서 워크에 대해 정밀하게 특성 측정을 행하는 것을 과제로 한다.
이러한 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 워크의 특성 측정 장치(100)는, 반송 테이블(2)의 외주부에 설치되며, 워크 수납 구멍 내에 수납된 워크(W1)의 특성 측정을 행하는 워크의 특성 검사부(10)를 구비하고 있다. 워크의 특성 검사부(10)는, 워크(W1)에 맞닿아서 워크의 특성 검사를 행하는 검사 부재(P1a, P1b)와, 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)를 워크 수납 구멍(3) 중 개구부에 대향하는 내벽(3si, 5s)측을 향해서 고정하는 고정 수단(15)을 갖고 있다. 각 워크 수납 구멍(3)의 내벽(3si, 5s)에 워크(W1)가 내벽(3si, 5s)에 맞닿았을 경우에 워크(W1)의 저경도부를 도피시키는 노치부(3si)가 형성되어 있다.
An object of the present invention is to precisely perform characteristic measurement on a work by fixing a low hardness portion of the work without scratching.
As a means for solving such a problem, a workpiece characteristic measuring apparatus 100 is provided on the outer periphery of the transport table 2 and includes a workpiece inspection section (not shown) for measuring the characteristics of the workpiece W1 accommodated in the work receiving hole 10). The characteristic inspection portion 10 of the workpiece includes inspection members P1a and P1b which contact the work W1 to inspect the characteristics of the workpiece and a workpiece W1 in the workpiece reception hole 3, And fixing means 15 for fixing toward the inner walls 3si and 5s facing the middle openings. A notch portion 3si for escaping the low hardness portion of the work W1 is formed on the inner walls 3si and 5s of the work receiving holes 3 when the work W1 touches the inner walls 3si and 5s have.

Figure 112015116464956-pat00009
Figure 112015116464956-pat00009

Description

워크의 특성 측정 장치 및 워크의 특성 측정 방법{DEVICE AND METHOD FOR MEASURING WORKPIECE CHARACTERISTIC}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a workpiece characteristic measuring apparatus,

본 발명은, 반송 테이블에 형성된 복수의 워크 수납 구멍에 전자 부품 등의 워크를 개별적으로 수납해서 반송해, 반송 테이블의 회전 경로에 배치된 워크의 특성 측정부에 의해 워크의 특성을 측정하는 워크의 특성 측정 장치 및 워크의 특성 측정 방법에 관한 것이며, 특히 압압(押壓)에 의해 흠집이 생기기 쉬운 저경도부를 갖는 워크의 측정 시에, 저경도부를 압압하지 않고 워크를 고정할 수 있는 워크의 특성 측정 장치 및 워크의 특성 측정 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a workpiece for measuring the characteristics of a workpiece by means of a workpiece characteristic measuring section arranged in a rotation path of a conveyance table, in which workpieces such as electronic parts are individually housed and conveyed in a plurality of work receiving holes formed in a conveyance table The present invention relates to a characteristic measuring apparatus and a characteristic measuring method of a workpiece. In particular, it relates to a characteristic of a workpiece capable of fixing a workpiece without pressing a low hardness portion at the time of measurement of a workpiece having a low hardness portion prone to scratches by pressing And a method for measuring the characteristics of a workpiece.

종래부터, 회전 가능한 반송 테이블에 형성되는 복수의 워크 수납 구멍에 전자 부품 등의 워크를 개별적으로 수납해서 반송하는 워크 특성 측정 장치가 알려져 있다(특허문헌 1 참조).2. Description of the Related Art Conventionally, there is known a workpiece characteristic measuring apparatus for individually housing and transporting workpieces such as electronic parts in a plurality of workpiece receiving holes formed in a rotatable transport table (see Patent Document 1).

특허문헌 1에 기재된 워크 반송 장치의 평면도를 도 28에 나타낸다. 워크 반송 장치(100)는 수평인 테이블 베이스(101) 상에 배치된 회전 가능한 반송 테이블(102)을 갖는다.Fig. 28 shows a plan view of the work transfer device disclosed in Patent Document 1. Fig. The work carrier apparatus 100 has a rotatable carrier table 102 disposed on a horizontal table base 101.

반송 테이블(102)의 외주부에는 도 29에 나타내는 칩형 전자 부품 등의 워크(WO)를 개별적으로 수납하는 복수의 워크 수납 구멍(103)이 형성되어 있다. 반송 테이블(102)은 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해, 중심축(104)의 주위를 시계 방향(화살표(A) 방향)으로 간헐 회전한다. 또한, 후술하는 분리 공급부(107)에 위치하는 워크 수납 구멍(103)을 제외하고, 워크 수납 구멍(103)의 상면은 테이블 커버(105)에 의해 덮여 있다.A plurality of work receiving holes 103 for individually accommodating the workpieces WO such as chip-type electronic parts shown in Fig. 29 are formed on the outer peripheral portion of the transport table 102. [ The transport table 102 intermittently rotates around the center shaft 104 in the clockwise direction (the direction of arrow A) by the action of a drive mechanism (not shown). The upper surface of the work receiving hole 103 is covered with a table cover 105, except for the work receiving hole 103 located in the separation / supply unit 107, which will be described later.

워크(WO)의 사시도를 도 29에 나타낸다. 워크(WO)는 발광 다이오드(LED)이며, 상면에 발광면(WOs)을 갖는 직방체 형상의 본체(WOx)와, 본체(WOx)로부터 길이 방향의 앞쪽 및 뒤쪽으로 돌출하는 리드 단자(WOa, WOb)를 갖고 있다.A perspective view of the work (WO) is shown in Fig. The work WO is a light emitting diode (LED), and includes a rectangular parallelopiped body WOx having light emitting surfaces WOs on its top surface and lead terminals WOa, WOb (WOb) extending forward and backward in the longitudinal direction from the body WOx. ).

워크(WO)를 도 29에 있어서의 EO 방향, FO 방향, GO 방향, HO 방향으로부터 본 도면을 각각 도 30의 (a)(b)(c)(d)에 나타낸다. 도 30의 (a)(c)에 나타내는 바와 같이, 리드 단자(WOa, WOb)는 각각 본체(WOx)의 뒤쪽면(WOc), 앞쪽면(WOd)으로부터 돌출하고, 그들의 저면(底面)은 본체(WOx)의 저면에 일치한다. 워크(WO)의 내부 회로를 도 31에 나타낸다. 내부 회로는 발광 다이오드(DO)이며, 리드 단자(WOa)가 애노드, 리드 단자(WOb)가 캐소드이다. 리드 단자(WOa, WOb)의 사이에 WOa가 고전위로 되도록 전압을 인가하면 발광 다이오드(DO)가 발광한다.FIG. 30 (a), (b), (c) and (d) show the work (WO) viewed from the EO direction, the FO direction, the GO direction and the HO direction in FIG. The lead terminals WOa and WOb protrude from the rear face WOc and the front face WOd of the body WOx and their bottom faces protrude from the rear face W0c of the main body WOx as shown in Figures 30 (a) and 30 (c) (WOx). The internal circuit of the work (WO) is shown in Fig. The internal circuit is a light emitting diode (DO), the lead terminal (WOa) is the anode, and the lead terminal (WOb) is the cathode. When a voltage is applied between the lead terminals WOa and WOb so that WOa becomes high in potential, the light emitting diode DO emits light.

이때, 외관상은 도 29에 있어서의 발광면(WOs)이 발광한다. 또, 발광면(WOs)은 도 30의 (b)(c)에 나타내는 바와 같이, 본체(WOx)의 상면(WOt)보다 약간 오목하게 되어 있다. 시판되고 있는 발광 다이오드의 예로서, 도 29에 나타내는 본체(WOx)의 세로(XO)가 3㎜, 가로(YO)가 5㎜, 높이(ZO)가 1㎜, 리드 단자(WOa 및 WOb)의 돌출부의 길이(j)가 0.3㎜, 높이(k)가 0.25㎜인 것이 있다.At this time, the light emitting surface WOs in FIG. 29 emits light in appearance. The light emitting surface WOs is slightly concave than the top surface WOt of the body WOx as shown in Figs. 30 (b) and 30 (c). As examples of the commercially available light emitting diodes, there are shown an example of a commercially available light emitting diode in which the body (WOx) shown in Fig. 29 has a length XO of 3 mm, a lateral length YO of 5 mm, a height ZO of 1 mm, and lead terminals WOa and WOb The length j of the projecting portion is 0.3 mm, and the height k is 0.25 mm.

도 29에 나타내는 워크(WO)는, 도 28에 나타내는 워크 반송 장치에 있어서 직선 형상의 리니어 피더(106)의 진동의 작용에 의해 일렬로 화살표(B) 방향으로 반송된다. 이때, 도 29에 나타내는 리드 단자(WOb)가 도 28에 나타내는 화살표(B) 방향에 위치하도록 되어 있다. 리니어 피더(106)의 종단부는 반송 테이블(102)의 외주부에 형성된 워크 수납 구멍(103)의 개구부에 대향해 있으며, 거기에는 분리 공급부(107)가 설치되어 있다. 리니어 피더(106) 상에서 일렬 상태로 반송된 워크(WO)는, 분리 공급부(107)에 있어서 분리되어 반송 테이블(102)의 외주부에 형성된 워크 수납 구멍(103)에 개별적으로 수납된다. 그리고, 반송 테이블(102)의 도 28에 있어서의 화살표(A) 방향의 간헐 회전에 의해서 반송된다.The workpiece WO shown in Fig. 29 is conveyed in the direction of the arrow B by the action of the vibration of the linear feeder 106 of the linear shape in the workpiece conveyance device shown in Fig. At this time, the lead terminal WOb shown in Fig. 29 is positioned in the direction of the arrow B shown in Fig. The longitudinal end of the linear feeder 106 is opposed to the opening of the work receiving hole 103 formed in the outer peripheral portion of the conveyance table 102, and a separation supply portion 107 is provided in the opening. The workpieces WO conveyed in a line on the linear feeder 106 are individually separated in the separating and supplying section 107 and individually housed in the work receiving holes 103 formed in the outer peripheral portion of the transport table 102. Then, it is conveyed by the intermittent rotation of the conveyance table 102 in the direction of arrow A in Fig.

반송 테이블(102)의 외주부에는, 간헐 회전 방향(화살표(A) 방향)을 따라 제1 검사부(108), 제2 검사부(109), 배출부(110)가 이 순서로 설치되어 있다. 제1 검사부(108)에 있어서 워크(WO)의 전기 특성 검사가 행해진다. 그 모습을 도 28의 C-C' 단면도로 해서 도 32 내지 도 34에 나타낸다.A first inspection unit 108, a second inspection unit 109 and a discharge unit 110 are provided in this order along the intermittent rotation direction (direction of arrow A) on the outer peripheral portion of the transport table 102. In the first inspection section 108, the electric characteristics of the work WO are inspected. This is shown in Figs. 32 to 34, taken along the line C-C 'in Fig.

도 32에 있어서, 반송 테이블(102)이 정지해 제1 검사부(108)에 워크(WO)가 위치해 있다. 제1 검사부(108)에 있어서 리드 단자(WOa, WOb)의 바로 아래 위치의 테이블 베이스(101) 내에는 프로브(POa, POb)가 배치되어 있다. 그리고, 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해, 프로브(POa, POb)가 도 33에 나타내는 바와 같이, 리드 단자(WOa, WOb)를 향해서 화살표(K1) 방향으로 진출한다. 그리고, 프로브(POa, POb)는 리드 단자(WOa, WOb)에 맞닿은 상태에서 워크(WO)를 밀어올리고, 워크 수납 구멍(103)의 상면을 덮고 있는 제1 검사부 커버(108a)의 하면(108as)에 워크(WO)의 상면(WOt)이 맞닿은 상태에서 정지한다. 이 상태에서, 프로브(POa, POb)는 도시되지 않은 측정기에 접속되어 워크(WO)의 전기 특성을 측정한다.In Fig. 32, the transport table 102 stops, and the work WO is located in the first inspection unit 108. The probes POa and POb are arranged in the table base 101 immediately below the lead terminals WOa and WOb in the first inspection section 108. [ The probes POa and POb advance in the direction of the arrow K1 toward the lead terminals WOa and WOb as shown in FIG. 33 by the action of a driving mechanism not shown. The probes POa and POb push up the work WO while contacting the lead terminals WOa and WOb and move the lower surface 108a of the first inspection section cover 108a covering the upper surface of the work receiving hole 103 ) With the top surface WOt of the work WO. In this state, the probes POa and POb are connected to a measuring device not shown to measure the electric characteristics of the work WO.

그 후, 도 34에 나타내는 바와 같이, 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해, 프로브(POa, POb)가 화살표(K2) 방향으로 퇴출해서 도 32에 나타내는 상태로 되돌아간다. 그리고, 반송 테이블(102)이 간헐 회전해서 워크(WO)가 반송된다. 그 후, 워크(WO)가 제2 검사부(109)에 도달해서 제1 검사부(108)와는 서로 다른 검사 항목에 대해 검사를 실시한다. 그리고, 배출부(110)에 도달해서 도시되지 않은 배출 수단에 의해 워크 수납 구멍(103)으로부터 배출된다.Thereafter, as shown in Fig. 34, by the action of a drive mechanism (not shown), the probes POa and POb exit in the direction of arrow K2 and return to the state shown in Fig. Then, the transport table 102 rotates intermittently, and the work WO is transported. Thereafter, the work WO reaches the second inspection section 109 and performs inspection on different inspection items from the first inspection section 108. [ Then, it reaches the discharge portion 110 and is discharged from the work receiving hole 103 by the unillustrated discharge means.

이상과 같은, 종래기술에 따른 워크 반송 장치(100)에는 이하의 문제점이 있다. 도 33에 나타내는 바와 같이, 워크(WO)의 전기 특성 측정에 있어서, 프로브(POa, POb)는 리드 단자(WOa, WOb)에 맞닿은 상태에서 워크(WO)를 밀어올리고, 워크 수납 구멍(103)의 상면을 덮고 있는 제1 검사부 커버(108a)의 하면(108as)에 워크(WO)의 상면(WOt)이 맞닿은 상태에서 정지한다. 이 상태에서 측정을 실시하는 이유는, 워크(WO)를 고정한 상태에서 프로브(POa, POb)와 리드 단자(WOa, WOb)를 맞닿게 함으로써, 프로브(POa, POb)가 리드 단자(WOa, WOb)에 충분히 큰 압력으로 맞닿아서 접촉 저항이 저감되어 측정 정밀도를 확보할 수 있기 때문이다.The work carrier apparatus 100 according to the related art as described above has the following problems. 33, the probes POa and POb push up the work WO while contacting the lead terminals WOa and WOb in the measurement of the electric properties of the work WO, The upper surface WOt of the work WO comes into contact with the lower surface 108as of the first inspection section cover 108a covering the upper surface of the first inspection section cover 108a. The reason why the measurement is performed in this state is that the probes POa and POb contact the lead terminals WOa and WOb by bringing the probes POa and POb and the lead terminals WOa and WOb into contact with each other while fixing the work WO, ) At a sufficiently large pressure to reduce the contact resistance and ensure the measurement accuracy.

그런데, 도 29에 나타내는 워크(WO)의 본체(WOx)는 압압에 의해 흠집이 생기기 어려운 고경도부인 유전체에 의해 덮여 있다. 이 때문에, 그 상면(WOt)이 도 33에 나타내는 바와 같이 제1 검사부 커버(108a)의 하면(108as)에 맞닿아도, 그 후에 도 34에 나타내는 바와 같이 이간하면, 본체(WOx)의 상면(WOt)에 흠집이 생기지 않는다.Incidentally, the body WOx of the work (WO) shown in Fig. 29 is covered with a dielectric substance having a hardness hardly causing scratches by pressing. Therefore, even if the upper surface WOt thereof abuts against the lower surface 108as of the first examination section cover 108a as shown in Fig. 33, the upper surface WOt is separated from the upper surface 108x of the main body WOx WOt) is not scratched.

이에 반해, 도 29에 나타내는 발광면(WOs)은, 압압에 의해 흠집이 생기기 쉬운 저경도부인 수지에 의해 형성되어 있어, 제1 검사부 커버(108a)의 하면(108as)에 맞닿았을 경우, 그 후 도 34에 나타내는 바와 같이 이간해도, 도 29에 나타내는 발광면(WOs)에 흠집이 생겨 버린다.On the other hand, the light-emitting surface WOs shown in Fig. 29 is formed of a resin having a low hardness, which is liable to be scratched by pressing, and when it comes into contact with the lower surface 108as of the first inspection cover 108a, Thereafter, as shown in FIG. 34, the light emitting surface WOs shown in FIG. 29 is scratched.

일반적으로 도 29에 나타내는 워크(WO)의 경우에는, 도 30의 (b)(c)에 나타내는 바와 같이, 발광면(WOs)은 본체(WOx)의 상면의 내부에 형성되며, 또한 상면보다 약간 오목하게 되어 있으므로, 발광면(WOs)이 제1 검사부 커버(108a)의 하면(108as)에 맞닿지 않는다.In general, in the case of the work WO shown in Fig. 29, as shown in Figs. 30 (b) and 30 (c), the light emitting surface WOs is formed inside the upper surface of the body WOx, The light emitting surface WOs does not touch the lower surface 108as of the first test section cover 108a.

그러나, 발광 다이오드 중에는, 발광하는 부분(이하 발광부)이 도 29의 워크(WO)에 있어서의 발광면(WOs)과 같은 평면 형상이 아닌, 워크의 상면으로부터 위쪽으로 더 돌출해 있는 입체 형상인 것이 있다. 또한, 발광부가 상면의 주위를 덮어 사방으로 더 돌출해 있는 형상인 것도 있다. 그 경우에는, 측정 시에 워크를 고정할 때에, 도 33에 나타내는 바와 같은 종래기술에 따른 고정 방법을 채용하면 압압되는 것에 의해 발광부에 흠집이 생겨 버린다.However, in the light emitting diode, the light emitting portion (hereinafter referred to as light emitting portion) is not a planar shape as the light emitting surface WOs in the work WO shown in Fig. 29, but a three-dimensional shape that further protrudes upward from the upper surface of the work There is. There is also a shape in which the light emitting portion covers the periphery of the upper surface and further protrudes in all directions. In this case, when fixing the workpiece at the time of measurement, if the fixing method according to the prior art as shown in Fig. 33 is employed, the light emitting portion is scratched by being pressed.

한편, 이 상태를 회피하기 위해 워크를 워크 수납 구멍(103) 내에 둔채로 고정하지 않는 상태에서 프로브를 워크의 단자에 맞닿게 하면, 프로브를 워크의 단자에 충분히 큰 압력에 의해 맞닿게 할 수 없어진다. 이 때문에, 프로브와 워크의 단자 사이의 접촉 저항이 커져 측정 정밀도를 확보할 수 없어진다. 또한, 저경도부인 발광부를 어디에도 맞닿게 하지 않고 고경도부인 본체만을 워크 수납 구멍(103)의 주위의 어딘가에 맞닿게 해서 고정하는 것은 어려우며, 또한 맞닿게 할 수 있는 범위가 좁아진다. 또한, 이와 같이 고정할 때에 워크의 고경도부만을 압압하면, 압압력이 좁은 범위에 인가되기 때문에 워크의 자세가 기울어지는 등의 이상이 생겨 올바른 측정을 할 수 없어질 우려가 있다.On the other hand, if the probe is brought into contact with the terminal of the workpiece in a state in which the workpiece is not fixedly held in the work receiving hole 103 in order to avoid this state, the probe can not be brought into contact with the terminal of the workpiece by a sufficiently large pressure . Therefore, the contact resistance between the probes and the terminals of the work becomes large, and measurement accuracy can not be ensured. In addition, it is difficult to fix only the main body having a high hardness in contact with the periphery of the work receiving hole 103 and to fix the light emitting portion having a low hardness anywhere, and the range in which it can be abutted is narrowed. In addition, when pressing only the high-hardness portion of the work in this manner, the pressing pressure is applied in a narrow range, which causes an abnormality such as an inclination of the workpiece, which may result in failure to perform the correct measurement.

일본국 특개2012-20822호 공보Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2012-20822

본 발명의 목적은 이와 같은 점을 고려해서 이루어진 것이며, 발광 다이오드 등과 같이 압압에 의해 흠집이 생기기 어려운 고경도부와, 압압에 의해 흠집이 생기기 쉬운 저경도부를 갖는 워크의 전기적 특성 등을 측정할 때에, 고경도부만을 압압함으로써 저경도부에 흠집이 생기지 않고 워크를 고정할 수 있는 워크의 특성 측정 장치 및 워크의 특성 측정 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The object of the present invention is achieved in view of the above points, and it is an object of the present invention to provide a light-emitting diode and the like, which are used for measuring electrical characteristics and the like of a work having a hard portion hard to be scratched by a pressing force and a low hardness portion easy to be scratched by pressing And it is an object of the present invention to provide a characteristic measuring device for a workpiece and a characteristic measuring method for a workpiece capable of fixing a workpiece without causing a scratch on the low hardness part by pressing only the hardened part.

본 발명은, 고경도부와 저경도부를 갖는 워크의 특성을 측정하는 워크의 특성 측정 장치에 있어서, 테이블 베이스와, 상기 테이블 베이스 상에 회전 가능하게 배치되며, 바깥쪽으로 개구되는 개구부를 가짐과 함께 워크를 수납하는 복수의 워크 수납 구멍이 외주연(外周緣)을 따라 설치된 반송 테이블과, 상기 반송 테이블의 외주부에 설치되며, 상기 워크 수납 구멍 내에 수납된 워크의 특성 측정을 행하는 워크의 특성 검사부를 구비하고, 상기 워크의 특성 검사부는, 워크에 맞닿아서 워크의 특성 검사를 행하는 검사 부재와, 워크 수납 구멍 내의 워크를 워크 수납 구멍 중 개구부에 대향하는 내벽측을 향해서 고정하는 고정 수단을 갖고, 각 워크 수납 구멍의 내벽에 워크가 내벽에 맞닿았을 경우에 워크의 저경도부를 도피시키는 노치부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 장치이다.The present invention relates to a workpiece characteristic measuring apparatus for measuring a characteristic of a workpiece having a hard portion and a low hardness portion, the workpiece characteristic measuring apparatus comprising a table base and an opening portion rotatably disposed on the table base, A workpiece inspection section for measuring the characteristics of a workpiece accommodated in the work receiving hole and provided on an outer periphery of the conveyance table; Wherein the characteristic inspection unit of the workpiece includes an inspection member which performs a property inspection of the workpiece in contact with the workpiece and a fixing means which fixes the workpiece in the workpiece storage hole toward the inner wall side facing the opening of the workpiece reception hole, A notch portion for escaping the low hardness portion of the work is formed on the inner wall of each work receiving hole when the work is brought into contact with the inner wall Is a characteristic measuring device for a workpiece.

본 발명은, 상기 고정 수단은 개구부로부터 내벽측을 향해서 워크의 고경도부를 압압하는 푸셔로 이루어지고, 상기 워크의 특성 검사부는 푸셔의 이동 거리를 계측하는 거리 계측 수단과, 거리 계측 수단에 의해 계측된 이동 거리가 미리 규정된 거리보다 클 경우에, 제어부에 의해 작동해서 워크 수납 구멍 내의 워크를 배출하는 강제 배출 수단을 더 갖는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 장치이다.The present invention is characterized in that the fixing means comprises a pusher for pressing the high hardness portion of the work from the opening toward the inner wall side, the characteristic inspection portion of the work includes distance measuring means for measuring the moving distance of the pusher, Further comprising a forced discharging means for discharging the work in the work receiving hole by being operated by the control portion when the moved distance is larger than a predetermined distance.

본 발명은, 상기 워크의 특성 검사부는, 테이블 베이스에 설치되어 테이블 베이스를 향해서 워크를 흡인하는 흡인 통로와, 흡인 통로 내의 진공도를 계측하는 진공도 계측 수단과, 진공도 계측 수단에 의해 계측된 진공도가 미리 규정된 진공도보다 낮을 경우에, 제어부에 의해 워크 수납 구멍 내의 워크를 배출하는 강제 배출 수단을 더 갖는 것을 특징으로 하는 특성 측정 장치이다.The present invention is characterized in that the characteristic inspection section of the workpiece includes a suction passage provided on the table base for suctioning the work toward the table base, a vacuum degree measuring means for measuring the vacuum degree in the suction passage, and a vacuum degree measuring means for measuring the vacuum degree measured by the vacuum degree measuring means in advance And a forced discharging means for discharging the work in the work receiving hole by the control unit when the degree of vacuum is lower than the prescribed degree of vacuum.

본 발명은, 상기 강제 배출 수단은, 워크 수납 구멍 내의 워크가 배출된 것을 검출하는 배출 검출 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 장치이다.The present invention is characterized in that the forced discharge means includes a discharge detecting means for detecting discharge of a work in a work receiving hole.

본 발명은, 고경도부와 저경도부를 갖는 워크의 특성을 측정하는 워크의 특성 측정 방법에 있어서, 테이블 베이스 상에 회전 가능하게 배치되며, 바깥쪽으로 개구되는 개구부를 가짐과 함께 워크를 수납하는 복수의 워크 수납 구멍이 외주연을 따라 설치된 반송 테이블에 의해서 워크를 반송하는 반송 공정과, 상기 반송 테이블의 외주부에 설치되며, 상기 워크 수납 구멍 내에 수납된 워크의 특성 검사를 워크의 특성 검사부에 의해서 행하는 워크의 특성 검사 공정을 구비하고, 상기 워크의 특성 검사 공정은, 워크 수납 구멍 내의 워크를 워크 수납 구멍 중 개구부에 대향하는 내벽측을 향해서 고정 수단에 의해 고정하는 워크의 고정 공정과, 워크에 맞닿아서 워크의 특성 검사를 행하는 검사 부재에 의해 워크의 특성 검사를 행하는 검사 공정을 갖고, 각 워크 수납 구멍의 내벽에 워크가 내벽에 맞닿았을 경우에 워크의 저경도부를 도피시키는 노치부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 방법이다.According to the present invention, there is provided a workpiece characteristic measuring method for measuring a characteristic of a workpiece having a high hardness portion and a low hardness portion, the method comprising the steps of: And a workpiece inspecting section for inspecting a workpiece accommodated in the work receiving hole, the workpiece inspecting section being provided on an outer circumferential portion of the transporting table, for transporting the workpiece by a transporting table provided along the outer periphery of the work receiving hole of the transporting table Characterized in that the step of inspecting the characteristics of the work includes a step of fixing the work in the work receiving hole by means of the fixing means toward the inner wall side facing the opening of the work receiving hole, And an inspection step of performing a property inspection of the work with an inspection member which performs a property inspection of the work, The work is a work measuring method of the properties, it characterized in that the inner wall of the receiving hole in the workpiece is added to escape notch portion that hardness of the work, if the fit is formed reaching to the inner wall.

본 발명은, 상기 고정 수단은 개구부로부터 내벽측을 향해서 워크의 고경도부를 압압하는 푸셔로 이루어지고, 상기 워크의 특성 측정 공정은 푸셔의 이동 거리를 계측하는 거리 계측 공정과, 거리 계측 공정에 의해 계측된 이동 거리가 미리 규정된 거리보다 클 경우에, 제어부에 의해 작동해서 워크 수납 구멍 내의 워크를 배출하는 강제 배출 공정을 더 갖는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 방법이다.The present invention is characterized in that the fixing means comprises a pusher for pressing the high hardness portion of the work from the opening toward the inner wall side, wherein the step of measuring the characteristics of the work includes a distance measuring step of measuring the moving distance of the pusher, And a forced discharging step of discharging the work in the work receiving hole by operating by the control unit when the measured traveling distance is greater than a predetermined distance.

본 발명은, 상기 워크의 특성 측정 공정은, 테이블 베이스에 설치된 흡인 통로에 의해 테이블 베이스를 향해서 워크를 흡인하는 흡인 공정과, 흡인 통로 내의 진공도를 계측하는 진공도 계측 공정과, 진공도 계측 공정에 의해 계측된 진공도가 미리 규정된 진공도보다 낮을 경우에, 제어부에 의해 워크 수납 구멍 내의 워크를 배출하는 강제 배출 공정을 더 갖는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 방법이다.The present invention is characterized in that the characteristic measurement step of the workpiece includes a suction step of suctioning the workpiece toward the table base by a suction passage provided on the table base, a vacuum degree measurement step of measuring the degree of vacuum in the suction path, Further comprising a forced discharging step of discharging the work in the work receiving hole by the control unit when the degree of vacuum is lower than a predetermined degree of vacuum.

본 발명은, 상기 강제 배출 공정은, 워크 수납 구멍 내의 워크가 배출된 것을 검출하는 배출 검출 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 방법이다.According to the present invention, the forced discharge step includes a discharge detection step of detecting discharge of a work in the work receiving hole.

이상과 같이 본 발명에 따르면, 워크의 저경도부에 흠집을 내지 않고 워크를 고정해서 워크에 대해 정밀도가 좋은 특성 측정을 행할 수 있다.INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, according to the present invention, it is possible to perform characteristic measurement with high accuracy for a work by fixing the work without scratching the low hardness portion of the work.

도 1은 본 발명에 따른 워크 특성 측정 장치를 나타내는 평면도.
도 2는 워크를 나타내는 사시도.
도 3의 (a)(b)(c)(d)는 각각 워크를 도 2에 있어서의 E1 방향, F1 방향, G1 방향, H1 방향으로부터 본 도면.
도 4는 워크의 내부 회로를 나타내는 도면.
도 5는 워크 수납 구멍을 나타내는 사시도.
도 6은 워크 수납 구멍 근방의 반송 테이블을 나타내는 평면도.
도 7의 (a)는 워크 수납 구멍이 도 1에 있어서의 위치(N)에 있을 때의 도 6에 있어서의 R1 단면도, 도 7의 (b)(c)는 워크 수납 구멍이 도 1에 있어서의 불량품 배출부 및 양품 배출부에 있을 때의 도 6에 있어서의 R1 단면도, 도 7의 (d)는 도 6에 있어서의 R2 단면도.
도 8은 도 5에 나타내는 워크 수납 구멍에 워크가 수납되어 있는 모습을 나타내는 사시도.
도 9는 도 8을 화살표(U1) 방향으로부터 본 투시도.
도 10은 워크 수납 구멍이 도 1에 나타내는 광전기 특성 검사부에 정지해 있는 모습을 나타내는 사시도.
도 11은 프로브 통로를 도 10에 있어서의 화살표(U2) 방향으로부터 본 투시도.
도 12는 워크가 광전기 특성 검사부에 도달했을 때의 모습을 도 10에 있어서의 화살표(U2) 방향으로부터 본 투시도.
도 13은 워크가 광전기 특성 검사부에 있어서 고정되어 검사되는 모습을 나타내는 도면.
도 14는 워크가 광전기 특성 검사부에 있어서 고정되어 검사되는 모습을 나타내는 도면.
도 15는 워크가 광전기 특성 검사부에 있어서 고정되어 검사되는 모습을 나타내는 도면.
도 16의 (a)(b)(c)는 도 13에 있어서, 푸셔가 화살표(M1) 방향으로 진출해서 맞닿음부의 선단면이 워크의 본체의 면에 맞닿을 때에, 워크가 워크 수납 구멍 내에서 경사지는 일례의 설명도.
도 17은 도 16의 (c)의 상태에서, 프로브를 도 14에 있어서의 화살표(K1) 방향으로 상승시킨 모습을 나타내는 도면.
도 18은 푸셔를 나타내는 평면도.
도 19의 (a)(b)는 도 18에 있어서의 검출 블록 및 근접 센서의 작용에 대한 설명을 위한 영역(V1)의 확대도.
도 20의 (a)(b)는 워크의 본체의 제조 편차에 기인해서, 광전기 특성 검사부에 있어서의 워크 수납 구멍 내의 워크의 자세가 경사지는 다른 요인의 설명도.
도 21의 (a)(b)는 반송 테이블의 회전 방향의 뒤쪽만이 고정된 워크에 대해서, 도 11에 나타내는 프로브가 화살표(K1) 방향으로 상승했을 때의 모습을 반송 테이블의 중심축측으로부터 본 투시도.
도 22는 광전기 특성 검사부에 있어서의 워크의 자세가 경사진 것을 검출했을 때에 당해 워크를 워크 수납 구멍으로부터 배출하는 작용의 설명도.
도 23은 광전기 특성 검사부에 있어서의 워크의 자세가 경사진 것을 검출했을 때에 당해 워크를 워크 수납 구멍으로부터 배출하는 작용의 설명도.
도 24는 광전기 특성 검사부에 있어서의 워크의 자세가 경사진 것을 검출했을 때에 당해 워크를 워크 수납 구멍으로부터 배출하는 작용의 설명도.
도 25는 광전기 특성 검사부에 있어서의 워크의 자세가 경사진 것을 검출했을 때에 당해 워크를 워크 수납 구멍으로부터 배출하는 작용의 설명도.
도 26은 광전기 특성 검사부에 있어서의 워크의 자세가 경사진 것을 검출했을 때에 당해 워크를 워크 수납 구멍으로부터 배출하는 작용의 설명도.
도 27은 광전기 특성 검사부에 있어서의 워크의 자세가 경사진 것을 검출했을 때에 당해 워크를 워크 수납 구멍으로부터 배출하는 작용의 설명도.
도 28은 종래기술에 따른 워크 반송 장치의 평면도.
도 29는 워크를 나타내는 사시도.
도 30의 (a)(b)(c)(d)는 각각 워크를 도 29에 있어서의 EO 방향, FO 방향, GO 방향, HO 방향으로부터 본 도면.
도 31은 워크의 내부 회로를 나타내는 도면.
도 32는 종래기술에 따른 워크의 전기 특성 검사를 나타내는 설명도.
도 33은 종래기술에 따른 워크의 전기 특성 검사를 나타내는 설명도.
도 34는 종래기술에 따른 워크의 전기 특성 검사를 나타내는 설명도.
BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1 is a plan view showing a workpiece characteristic measuring apparatus according to the present invention. FIG.
2 is a perspective view showing a work.
3 (a), 3 (b), 3 (c) and 3 (d) are views seen from the E1 direction, the F1 direction, the G1 direction and the H1 direction in FIG.
4 is a view showing an internal circuit of a work.
5 is a perspective view showing a work receiving hole;
6 is a plan view showing a conveyance table in the vicinity of the work receiving hole;
Fig. 7 (a) is a sectional view taken along line R1 in Fig. 6 when the work receiving hole is at the position N in Fig. 1, and Figs. 7 (b) Fig. 7 (d) is a cross-sectional view taken along the line R2 in Fig. 6; Fig.
Fig. 8 is a perspective view showing a state in which a work is stored in the work receiving hole shown in Fig. 5; Fig.
Fig. 9 is a perspective view of Fig. 8 viewed from the direction of the arrow U1; Fig.
Fig. 10 is a perspective view showing a state in which the work receiving hole is stopped in the photoelectric property inspection portion shown in Fig. 1; Fig.
Fig. 11 is a perspective view of the probe passage viewed from the direction of the arrow U2 in Fig. 10; Fig.
Fig. 12 is a perspective view of the work when the work reaches the photoelectric characteristics inspection unit, as viewed from the direction of the arrow U2 in Fig. 10; Fig.
13 is a view showing a state in which a work is fixed and inspected in an optoelectronic characteristic inspection unit;
14 is a view showing a state in which a work is fixed and inspected in an optoelectronic characteristic inspection unit;
15 is a view showing a state in which a workpiece is fixed and inspected in an optoelectronic characteristic inspection unit;
16 (a), 16 (b) and 16 (c) show the state in which when the pusher advances in the direction of the arrow M1 and the front end face of the abutting portion comes into contact with the face of the main body of the work, Fig.
Fig. 17 is a view showing a state in which the probe is elevated in the direction of the arrow K1 in Fig. 14 in the state of Fig. 16 (c); Fig.
18 is a plan view showing the pusher;
Figs. 19A and 19B are enlarged views of a region V1 for explaining the action of the detection block and the proximity sensor in Fig. 18; Fig.
20 (a) and 20 (b) are explanatory diagrams of other factors in which the posture of the work in the work receiving hole in the photoelectric characteristic inspecting portion is inclined due to the manufacturing deviation of the main body of the work.
21 (a) and 21 (b) show a state in which the probe shown in Fig. 11 is lifted in the direction of the arrow K1 with respect to a work to which only the rear side in the rotational direction of the transport table is fixed, perspective drawing.
22 is an explanatory diagram of an action of discharging the workpiece from the work receiving hole when the posture of the workpiece in the opto-electric characteristic inspection unit is inclined.
23 is an explanatory diagram of an action of discharging the workpiece from the work receiving hole when the posture of the workpiece in the photoelectricity characteristic inspection section is inclined.
Fig. 24 is an explanatory diagram of an action of discharging the work from the work receiving hole when the posture of the work in the optoelectronic characteristic checking unit is detected to be inclined. Fig.
Fig. 25 is an explanatory diagram of an action of discharging the work from the work receiving hole when the posture of the work in the optoelectric characteristic inspection unit is detected to be inclined. Fig.
26 is an explanatory diagram of an action of discharging the work from the work receiving hole when the posture of the work in the opto-electric characteristic inspection unit is detected to be inclined.
Fig. 27 is an explanatory diagram of an action of discharging the work from the work receiving hole when the posture of the work in the optoelectronic characteristic checking unit is detected to be inclined. Fig.
28 is a plan view of a workpiece conveying apparatus according to the prior art;
29 is a perspective view showing a work.
30 (a), 30 (b), 30 (c) and 30 (d) are views seen from the EO direction, the FO direction, the GO direction, and the HO direction in FIG.
31 is a view showing an internal circuit of a work;
32 is an explanatory view showing electric property inspection of a work according to the prior art;
FIG. 33 is an explanatory view showing electric characteristics inspection of a work according to the prior art; FIG.
34 is an explanatory view showing electric characteristics inspection of a work according to the prior art;

이하, 도면을 참조해서 본 발명의 실시형태에 대해 기술한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

최초에 본 발명에 따른 워크 특성 측정 장치에 의해 측정되는 워크(W1)에 대해 기술한다. 우선 워크(W1)의 사시도를 도 2에 나타낸다. 워크(W1)는 발광 다이오드(LED)이며, 본체(W1x)와, 본체(W1x)의 하면에 형성되는 전극(W1a, W1b)과, 발광체(W1p)로 이루어진다. 워크(W1)를 도 2에 있어서의 E1 방향, F1 방향, G1 방향, H1 방향으로부터 본 도면을, 각각 도 3의 (a)(b)(c)(d)에 나타낸다. 도 3의 (a)(b)(c)에 나타내는 바와 같이, 발광체(W1p)는 본체(W1x)의 상면을 덮으며, 또한 당해 상면보다 위쪽으로 돌출한 형상을 지닌다.First, a work W1 measured by the workpiece characteristic measuring apparatus according to the present invention will be described. A perspective view of the work W1 is shown in Fig. The work W1 is a light emitting diode and comprises a main body W1x, electrodes W1a and W1b formed on the lower surface of the main body W1x and a light emitting body W1p. Fig. 3 (a), (b), (c) and (d) show the workpiece W1 viewed from E1 direction, F1 direction, G1 direction and H1 direction in Fig. As shown in Figs. 3 (a), 3 (b) and 3 (c), the light-emitting body W1p covers the upper surface of the main body W1x and has a shape protruding upward from the upper surface.

그리고, 발광체(W1p)는 본체(W1x)와의 경계 부분에 있어서 본체(W1x)의 주위로 약간 돌출하는 가장자리부(W1e)를 갖는다. 또한, 도 3의 (c)(d)에 나타내는 바와 같이, 본체(W1x)의 하면에는 극히 얇은 전극(W1a, W1b)이 형성되어 있다. 본체(W1x)는 압압에 의해 흠집이 생기기 어려운 고경도부인 유전체에 의해 덮여 있으며, 이에 따라 본체(W1x)는 고경도부(W1x)를 구성한다. 이에 반해 발광부(W1p)는 압압에 의해 흠집이 생기기 쉬운 저경도부인 수지에 의해 형성되어 있다. 이에 따라 발광부(W1p)는 저경도부(W1p)를 구성한다.The light emitting body W1p has an edge W1e slightly protruding around the main body W1x at the boundary portion with the main body W1x. 3 (c) and (d), extremely thin electrodes W1a and W1b are formed on the bottom surface of the main body W1x. The main body W1x is covered by a dielectric member having a hardness hardly causing scratches by pressing, and accordingly the main body W1x constitutes the hardened portion W1x. On the contrary, the light-emitting portion W1p is formed of a resin having a low hardness, which is likely to be scratched by pressing. Thus, the light emitting portion W1p constitutes a low hardness portion W1p.

워크(W1)의 내부 회로를 도 4에 나타낸다. 내부 회로는 발광 다이오드(D1)이며, 전극(W1a)이 애노드, 전극(W1b)이 캐소드이다. 전극(W1a, W1b)의 사이에 W1a가 고전위로 되도록 전압을 인가하면 발광 다이오드(D1)가 발광한다. 이때, 외관상은 도 2에 있어서의 발광체(W1p)가 발광한다. 또한, 도 3의 (d)에 나타내는 바와 같이, 전극(W1a)에는 애노드인 것을 나타내는 애노드 마크(W1ar)가 반원형의 노치로서 형성되어 있다.An internal circuit of the work W1 is shown in Fig. The internal circuit is the light emitting diode D1, the electrode W1a is the anode, and the electrode W1b is the cathode. When a voltage is applied between the electrodes W1a and W1b such that W1a is high, the light emitting diode D1 emits light. At this time, the light emitting body W1p in Fig. 2 emits light apparently. In addition, as shown in Fig. 3 (d), the electrode W1a is formed with an anode mark W1ar, which is an anode, as a semicircular notch.

시판되고 있는 발광 다이오드의 예로서, 도 2에 나타내는 본체(W1x)의 폭(X1)이 1.5㎜∼2.0㎜, 길이(Y1)가 2.0㎜∼2.5㎜, 높이(Z1)가 0.7∼1.0㎜, 도 3의 (b)에 나타내는 본체 폭(X1a)이 1.5㎜∼1.7㎜, 본체 높이(Z1a)가 0.2∼0.4㎜, 전극의 두께(Z1e)가 0.05㎜ 정도, 도 3의 (c)에 나타내는 본체 길이(Y1a)가 2.0㎜ 정도인 것이 있다.Examples of commercially available light emitting diodes include a main body W1x having a width X1 of 1.5 mm to 2.0 mm, a length Y1 of 2.0 mm to 2.5 mm, a height Z1 of 0.7 mm to 1.0 mm, The body height X1a is 1.5 mm to 1.7 mm, the body height Z1a is 0.2 to 0.4 mm, the electrode thickness Z1e is about 0.05 mm, and the body width X1a shown in FIG. 3 (b) And the body length Y1a is about 2.0 mm.

다음으로 도면을 참조해서 본 발명에 따른 워크의 특성 측정 장치(100)에 대해 기술한다.Next, an apparatus 100 for measuring a characteristic of a work according to the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 워크의 특성 측정 장치(100)는 고경도부(W1x)와 저경도부(W1p)를 갖는 워크(W1)의 특성을 측정하는 것이며, 테이블 베이스(1)와, 테이블 베이스(1) 상에 회전 가능하게 설치된 반송 테이블(2)을 구비하고 있다. 또한 반송 테이블(2)의 외주연을 따라 복수의 워크 수납 구멍(3)이 설치되어 있다. 또한 각 워크 수납 구멍(3)은 워크(W1)를 수납하는 것이며, 바깥쪽으로 개구되는 개구부(30)와, 개구부(30)에 대향하는 내면벽(3si)과, 워크 수납 구멍(3)의 양 측면으로 되는 좌벽면(3sf1) 및 우벽면(3sf2)을 갖고 있다.As shown in Figs. 1 and 5, a workpiece characteristic measuring apparatus 100 is for measuring the characteristics of a work W1 having a high hardness portion W1x and a low hardness portion W1p, And a conveyance table 2 rotatably provided on the table base 1. Further, a plurality of work receiving holes 3 are provided along the outer periphery of the transport table 2. Each of the work receiving holes 3 accommodates the work W1 and includes an opening 30 opened outwardly, an inner wall 3si opposed to the opening 30, an amount of the work receiving hole 3 And has a left side wall surface 3sf1 and a right wall surface 3sf2 which are side surfaces.

또 후술과 같이 워크 수납 구멍(3)의 내면벽(3si)은 후술하는 테이블 팁(5)의 압압면(5s)과 함께 워크 수납 구멍(3)의 내벽을 구성한다.As will be described later, the inner wall 3si of the work receiving hole 3 forms the inner wall of the work receiving hole 3 together with the pressing surface 5s of the table tip 5 to be described later.

또한 반송 테이블(2)은 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 중심축(4)의 주위를 시계 방향(화살표(A) 방향)으로 간헐 회전한다. 그리고, 반송 테이블(2)의 워크 수납 구멍(3)이 형성된 위치에 있어서의 테이블 베이스(1)측의 면에는, 각 워크 수납 구멍(3)으로부터 보았을 때 중심축(4)의 측에 인접하는 위치에 반송 테이블(2)에 조립된 테이블 팁(5)이 형성되어 있다.The transport table 2 also intermittently rotates around the center shaft 4 in the clockwise direction (the direction of arrow A) by the action of a drive mechanism (not shown). The table base 1 side surface at the position where the work receiving hole 3 of the conveyance table 2 is formed is provided with a plurality of projections 3b which are adjacent to the central axis 4 A table tip 5 assembled to the transport table 2 is formed.

또한 도 1에 있어서, 반송 테이블(2)을 향해서 직선 형상의 리니어 피더(6)가 배치되어 있다. 리니어 피더(6)는 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 진동해 워크(W1)를 일렬 상태로 반송 테이블(2)을 향해서 화살표(B) 방향으로 반송한다. 리니어 피더(6)의 종단부는 반송 테이블(2)의 외주연에 형성된 워크 수납 구멍(3)의 개구부에 대향하며, 거기에 분리 공급부(7)가 배치되어 있다. 분리 공급부(7)는 리니어 피더(6)에 의해 반송된 워크(W1)를 워크 수납 구멍(3)에 개별적으로 공급하는 기능을 갖는다.1, a linear feeder 6 having a linear shape is disposed toward the conveyance table 2. [ The linear feeder 6 is oscillated by the action of a drive mechanism (not shown) and conveys the workpiece W1 in a row in the direction of the arrow B toward the transport table 2. The end portion of the linear feeder 6 is opposed to the opening of the work receiving hole 3 formed in the outer periphery of the conveyance table 2 and the separation supply portion 7 is disposed therein. The separating and supplying unit 7 has a function of individually feeding the work W1 carried by the linear feeder 6 to the work receiving hole 3.

또한 도 1에 나타내는 바와 같이, 반송 테이블(2)의 외주부에 분리 공급부(7)로부터 반송 테이블(2)의 회전 방향(화살표(A) 방향)을 따라, 워크(W1)의 상면을 촬상(撮像)해서 외관 검사를 행하는 제1 화상 검사부(8), 워크(W1)의 하면을 촬상해서 외관 검사를 행하는 제2 화상 검사부(9), 워크(W1)의 광 특성 및 전기 특성의 검사를 행하는 측정 수단으로서의 광전기 특성 검사부(10), 상기 각 검사의 결과가 불량이었던 워크(W1)를 워크 수납 구멍(3)으로부터 배출하는 불량품 배출부(11), 상기 각 검사의 결과가 양품이었던 워크(W1)를 워크 수납 구멍(3)으로부터 배출하는 양품 배출부(12)가, 이 순서로 배치되어 있다.1, the upper surface of the work W1 is picked up from the separation supply portion 7 along the rotation direction (direction of arrow A) of the transport table 2 to the outer peripheral portion of the transport table 2, A second image inspection section 9 for picking up a lower surface of the work W1 and performing an inspection on the lower surface of the work W1; a measurement section 9 for checking the optical characteristics and electric characteristics of the work W1; A defective product discharging portion 11 for discharging the work W1 whose results of the respective inspections are defective from the work receiving hole 3; a work W1 whose result of each inspection is good; And a good article discharge portion 12 for discharging the workpiece from the work receiving hole 3 are arranged in this order.

또, 반송 테이블(2)의 워크 수납 구멍(3)의 상면 및 반송 테이블(2)의 외측은, 상기한 분리 공급부(7), 제1 화상 검사부(8), 제2 화상 검사부(9), 광전기 특성 검사부(10), 불량품 배출부(11), 양품 배출부(12)를 제외하고, 각각 테이블 커버(13) 및 테이블 가이드(14)에 의해 덮여 있다.The upper surface of the work receiving hole 3 of the transport table 2 and the outer side of the transport table 2 are connected to the separation feed section 7, the first image inspection section 8, the second image inspection section 9, Are covered by the table cover (13) and the table guide (14), respectively, except for the opto-electronic characteristic inspection portion (10), the defective product discharge portion (11) and the good product discharge portion (12).

광전기 특성 검사부(특성 검사부)(10)에 있어서의 반송 테이블(2)의 외측에는, 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 워크 수납 구멍(3)의 개구부를 향해서, 화살표(M1 및 M2) 방향으로 진퇴 가능한 푸셔(15)가 배치되어 있다. 푸셔(15)는 광전기 특성 검사부(10)에 있어서 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)의 검사를 행할 때에 워크(W1)를 압압하는 워크 고정 수단으로서의 기능을 갖는다.(Not shown) toward the opening of the work receiving hole 3 by the action of a drive mechanism (not shown) in the direction of the arrows M1 and M2 on the outside of the conveying table 2 in the photoelectric property inspection portion A pusher 15 capable of advancing and retreating is disposed. The pusher 15 has a function as a work fixing means for pressing the work W1 when inspecting the work W1 in the work receiving hole 3 in the opto-electric characteristic inspection portion 10. [

또한, 반송 테이블(2)의 상측이며 광전기 특성 검사부(10)의 근방에는, 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 도 1에 나타내는 대기 위치와 광전기 특성 검사부(10) 바로 위 위치 사이에서 화살표(L1 및 L2) 방향으로 진퇴하는 자세 불량 워크 배출부(강제 배출 수단)(16)가 배치되어 있다. 자세 불량 워크 배출부(16)는, 광전기 특성 검사부(10)에 있어서, 후술과 같이 자세 불량으로 판단된 워크(W1)를 워크 수납 구멍(3)으로부터 배출하는 강제 배출 수단으로서의 기능을 갖는다. 그리고, 이 자세 불량 워크 배출부(16)는 워크(W1)를 흡인하는 배출 헤드(16a)와, 흡인한 워크(W1)를 후술하는 수납 상자(25)로 유도하는 배출 파이프(16b)를 갖는다. 또한, 전술한 각 부의 동작에 대해 제어를 행하는 제어부(17)가 배치되어 있다.In the vicinity of the optoelectronic characteristic checking unit 10 on the upper side of the conveying table 2, an arrow L1 (see FIG. 1) is provided between the waiting position shown in FIG. 1 and the position right above the optoelectronic characteristic checking unit 10 And a posture defective work discharge portion (forced discharge means) 16 moving forward and backward in the direction of L2. The posture malfunctioning work discharge unit 16 has a function as a forced discharge means for discharging the workpiece W1 determined to be malfunctioning from the work receiving hole 3 in the optoelectronic characteristic inspection unit 10 as described later. The posture malfunction discharge unit 16 has a discharge head 16a for sucking the workpiece W1 and a discharge pipe 16b for guiding the sucked workpiece W1 to a storage box 25 to be described later . In addition, a control section 17 for controlling the operations of the above-described components is disposed.

다음으로 워크 수납부(3)에 대해 기술한다. 도 5는 워크 수납 구멍(3)의 사시도이며, 도 1에 있어서의 반송 테이블(2)의 회전 방향인 화살표(A)가 도 5에 나타나 있다. 워크 수납 구멍(3)은 반송 테이블(2)의 외측을 향해서 개구되어 있다. 전술과 같이, 워크 수납 구멍(3)은 대향하는 좌벽면(3sf1) 및 우벽면(3sf2)과 내벽면(3si)에 의해 3방향이 둘러싸여 있으며 나머지 1면이 개구부(30)로 된다.Next, the work storage section 3 will be described. Fig. 5 is a perspective view of the work receiving hole 3, and an arrow A, which is the rotating direction of the transport table 2 in Fig. 1, is shown in Fig. The work receiving hole 3 is opened toward the outside of the conveying table 2. As described above, the work receiving hole 3 is surrounded by the facing left wall face 3sf1 and the right wall face 3sf2 and the inner wall face 3si in three directions, and the remaining one face becomes the opening portion 30. [

상기 3개의 벽면 중 내벽면(3si)이 도 1에 나타내는 중심축(4)측에 위치해 있다. 또한, 전술과 같이, 반송 테이블(2) 중 워크 수납 구멍(3)이 형성된 위치에 있어서의 테이블 베이스(1)측의 면에는, 각 워크 수납 구멍(3)으로부터 보았을 때 중심축(4)의 측에 인접하는 위치에 테이블 팁(5)이 조립되어 있다. 그리고, 반송 테이블(2)의 외측을 향한 테이블 팁(5)의 압압면(5s)은 워크 수납 구멍(3)의 내벽면(3si)보다 길이(δ1)만큼 반송 테이블(2)의 외측, 즉 워크 수납 구멍(3) 내로 돌출해 있다.The inner wall surface 3si of the three wall surfaces is located on the side of the central axis 4 shown in Fig. As described above, on the table base 1 side surface at the position where the work receiving hole 3 is formed in the conveying table 2, there are formed, on the side of the work receiving hole 3, And the table tip 5 is assembled at a position adjacent to the table tip 5 side. The pressing surface 5s of the table tip 5 toward the outside of the conveyance table 2 is located outside the conveyance table 2 by a length delta 1 longer than the inner wall surface 3si of the work receiving hole 3 And protrudes into the work receiving hole 3.

이와 같이 구성된 워크 수납 구멍(3)의 내벽면(3si)과 압압면(5s)에 의해 개구부(30)에 대향하는 내벽이 구성되어 있다. 또한, 테이블 팁(5)의 압압면(5s)에는, 워크 수납 구멍(3)의 좌벽면(3sf1) 및 우벽면(3sf2)에 접하는 위치에, 제1 테이블 팁 진공 통로(51v) 및 제2 테이블 팁 진공 통로(52v)가 형성되어 있다. 제1 테이블 팁 진공 통로(51v) 및 제2 테이블 팁 진공 통로(52v)는 후술과 같이 진공 발생원(18)에 연통해 화살표(S1 및 S2) 방향으로 상시 흡인되어 있다.The inner wall surface 3si and the pressing surface 5s of the work receiving hole 3 thus configured form an inner wall facing the opening 30. [ The pressing surface 5s of the table tip 5 is provided with the first table-tip vacuum passage 51v and the second table-tip vacuum passage 51e at positions in contact with the left wall surface 3sf1 and the right wall surface 3sf2 of the work receiving hole 3, A table-tip vacuum passage 52v is formed. The first table-tip vacuum passage 51v and the second table-tip vacuum passage 52v are constantly sucked in the directions of the arrows S1 and S2 through the vacuum generating source 18 as described later.

또한, 반송 테이블(2)에는, 워크 수납 구멍(3)의 내벽면(3si)의 중앙부이며 테이블 팁(5)의 바로 위 위치에, 반송 테이블 에어 분사 통로(31a)가 형성되어 있다. 반송 테이블 에어 분사 통로(31a)는 후술하는 배출부 전환 밸브(19)의 작용에 의해 화살표(J1) 방향으로 압축 에어가 분사된다.A conveying table air jetting passage 31a is formed in the conveying table 2 at the center of the inner wall surface 3si of the work receiving hole 3 and just above the table tip 5. The conveying table air jetting passage 31a is caused to inject compressed air in the direction of the arrow J1 by the action of the discharge portion switching valve 19 which will be described later.

워크 수납 구멍(3) 근방의 반송 테이블(2)의 평면도를 도 6에 나타낸다. 도 6에는 도 1에 있어서의 반송 테이블(2)의 회전 방향인 화살표(A)가 나타나 있다. 또한, 도 6에 있어서의 워크 수납 구멍(3)이 도 1에 있어서의 위치(N)에 있을 때의, 도 6에 나타내는 반송 테이블 에어 분사 통로(31a)의 R1 단면도를 도 7의 (a)에, 또한 제1 테이블 팁 진공 통로(51v)의 R2 단면도를 도 7의 (d)에 각각 나타낸다.6 shows a plan view of the conveyance table 2 in the vicinity of the work receiving hole 3. Fig. 6 shows an arrow A, which is the rotational direction of the transport table 2 in Fig. 7 is a cross-sectional view taken along the line R1 of the conveying table air jetting passage 31a shown in Fig. 6 when the work receiving hole 3 in Fig. 6 is at the position N in Fig. And the R2 sectional view of the first table-tip vacuum passage 51v is shown in Fig. 7 (d).

도 5에 있어서, 반송 테이블(2) 중 워크 수납 구멍(3)의 내벽면(3si)으로부터 수평 방향으로 형성된 반송 테이블 에어 분사 통로(31a)는, 도 6에 나타내는 바와 같이 회전축(4)(도 1)의 방향 즉 도 6에 있어서의 오른쪽 방향에 있어서 약간 넓어지며, 또한 도 7의 (a)에 나타내는 바와 같이, 90° 방향을 바꿔 테이블 팁(5)을 관통해서 테이블 베이스(1)의 상면에 이른다.6, the conveying table air jetting passage 31a formed in the horizontal direction from the inner wall surface 3si of the work receiving hole 3 in the conveying table 2 is provided with a rotary shaft 4 6 (a), the direction of 90 占 is changed to penetrate the table tip 5 and the upper surface of the table base 1 .

한편, 도 5에 나타내는 바와 같이, 테이블 팁(5)의 압압면(5s)으로부터 테이블 팁(5)에 수평 방향으로 형성된 제1 테이블 팁 진공 통로(51v)는, 도 7의 (d)에 나타내는 바와 같이 회전축(4)(도 1)의 방향 즉 도 6에 있어서의 오른쪽 방향에 있어서 90° 방향을 바꿔 반송 테이블(2)에 이르고, 그 후, 90° 더 방향을 바꿔 테이블 팁(5)의 바로 위에 위치하는 반송 테이블(2)의 하면에 있어서, 제1 반송 테이블 진공 통로(31v)로 된다.5, the first table-tip vacuum passage 51v formed in the horizontal direction from the pressing surface 5s of the table tip 5 to the table tip 5 is formed in the shape of As shown in Fig. 6, the direction of the rotation axis 4 (Fig. 1), that is, the 90 占 direction in the right direction in Fig. 6, is changed to the transport table 2, The first conveying table vacuum passage 31v is formed on the lower surface of the conveyance table 2 positioned immediately above.

또한 도 6에 나타내는 바와 같이, 테이블 팁(5)에 형성된 제2 테이블 팁 진공 통로(52v)는 제1 테이블 팁 진공 통로(51v)와 마찬가지의 경로로 반송 테이블(2)의 하면에 있어서 제2 반송 테이블 진공 통로(32v)로 되고, 제1 반송 테이블 진공 통로(31v)와 제2 반송 테이블 진공 통로(32v)는 도 6에 나타내는 바와 같이 합체되어 반송 테이블 기간(基幹) 진공 통로(3v)로 된다.6, the second table-tip vacuum passage 52v formed on the table tip 5 is provided on the lower surface of the transport table 2 in the same path as the first table-tip vacuum passage 51v, The conveyance table vacuum passage 32v is formed and the first conveyance table vacuum passage 31v and the second conveyance table vacuum passage 32v are combined as shown in FIG. 6 to be conveyed to the conveyance table main vacuum passage 3v do.

그리고, 도 7의 (d)에 나타내는 바와 같이, 이 반송 테이블 기간 진공 통로(3v)는 90° 방향을 바꿔 테이블 팁(5)을 관통해 테이블 베이스(1) 내에 이른다. 그리고, 테이블 베이스(1) 내에 설치된 진공 발생원(18)에 연통하며, 이에 따라, 제1 테이블 팁 진공 통로(51v) 및 제2 테이블 팁 진공 통로(52v)는 화살표(S1 및 S2) 방향으로 상시 흡인되어 있다. 즉, 워크 수납 구멍(3) 내는 상시 진공 흡인되어 있다. 또, 반송 테이블 기간 진공 통로(3v)는 도 7의 (a)에도 나타나 있다.7 (d), the vacuum passage 3v during this conveyance table is turned in the 90 ° direction so as to pass through the table tip 5 into the table base 1. The first table-tip vacuum passage 51v and the second table-tip vacuum passage 52v communicate with the vacuum generating source 18 provided in the table base 1 so that the first table-tip vacuum passage 51v and the second table- And is sucked. That is, the work receiving hole 3 is always vacuum-sucked. The vacuum passage 3v during the transport table is also shown in Fig. 7 (a).

또한, 도 6에 있어서의 워크 수납 구멍(3)이 도 1에 있어서의 불량품 배출부(11) 및 양품 배출부(12)에 위치하는 경우에 있어서의, 도 6에 나타내는 반송 테이블 에어 분사 통로(31a)의 R1 단면도를 도 7의 (b)(c)에 나타낸다. 도 7의 (b)(c)와 도 7의 (a)가 서로 다른 점은, 도 7의 (a)에 있어서 테이블 베이스(1)의 상면이 종단(終端)으로 되어 있던 반송 테이블 에어 분사 통로(31a)가, 도 7의 (b)(c)에 있어서는 테이블 베이스(1) 내에 통해 있는 것이다.6 in the case where the work receiving hole 3 in Fig. 6 is located in the defective article discharging portion 11 and the good article discharging portion 12 in Fig. 1 Figs. 7 (b) and 7 (c) show cross-sectional views taken along line R1 of Fig. 7A and 7B are different from each other in that the top surface of the table base 1 in Fig. 7A is the terminating end of the conveying table air- (B) and (c) of FIG. 7 are provided in the table base 1.

그리고, 반송 테이블 에어 분사 통로(31a)는 테이블 베이스(1) 내에 배치된 배출부 전환 밸브(19)에 접속되어 있다. 배출부 전환 밸브(19)는, 반송 테이블 에어 분사 통로(31a)의 연통처를 대기압 및 압축 에어원(20)으로부터 선택하는 작용을 갖는다. 도 7의 (b)는 배출부 전환 밸브(19)가 n측 즉 대기압을 선택하고 있는 모습을 나타낸다. 이때, 반송 테이블 에어 분사 통로(31a) 내는 대기압을 유지한다. 또한, 도 7의 (c)는 배출부 전환 밸브(19)가 a측 즉 압축 에어원(20)을 선택하고 있는 모습을 나타낸다. 이때, 반송 테이블 에어 분사 통로(31a) 내에는 화살표(J1) 방향으로 압축 에어가 분사된다. 이와 같이, 반송 테이블 에어 분사 통로(31a)가 테이블 베이스(1) 내에 통해서 배출부 전환 밸브(19)에 접속되는 것은, 도 1에 있어서의 불량품 배출부(11) 및 양품 배출부(12)에 있을 때뿐이다.The conveying table air jetting passage 31a is connected to a discharge portion switching valve 19 disposed in the table base 1. [ The discharge portion switching valve 19 has an action of selecting the communication destination of the conveying table air jetting passage 31a from the atmospheric pressure and the compressed air source 20. 7 (b) shows a state in which the discharge portion switching valve 19 selects the n side, that is, the atmospheric pressure. At this time, the atmospheric pressure is maintained in the conveying table air jet passage 31a. 7 (c) shows a state in which the discharge portion switching valve 19 selects the a side, that is, the compressed air source 20. At this time, compressed air is injected in the conveying table air jet passage 31a in the direction of the arrow J1. The reason why the conveying table air jetting passage 31a is connected to the discharge portion switching valve 19 through the table base 1 as described above is that the defective product discharging portion 11 and the good product discharging portion 12 shown in Fig. Only when there is.

그 이유는, 전술과 같이, 불량품 배출부(11) 및 양품 배출부(12)는 각각 검사 결과가 불량이었던 워크 및 양품이었던 워크를 워크 수납 구멍(3)으로부터 배출하는 기능을 갖고 있기 때문이다. 즉, 워크(W1)를 수납한 워크 수납 구멍(3)이 불량품 배출부(11) 및 양품 배출부(12)에 정지하면, 도 1의 제어부(17)의 제어에 의해, 최초에는 도 7의 (b)와 같이 배출부 전환 밸브(19)가 n측 즉 대기압을 선택한다. 이때, 반송 테이블 에어 분사 통로(31a) 내는 대기압을 유지한다. 다음으로, 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)가 당해 배출부에 있어서 배출되어야 할 워크인 경우에는, 도 1의 제어부(17)의 제어에 의해, 도 7의 (c)와 같이 배출부 전환 밸브(19)가 a측 즉 압축 에어원(20)을 선택한다. 이때, 반송 테이블 에어 분사 통로(31a) 내에는 화살표(J1) 방향으로 압축 에어가 분사된다. 이때 도 5에 있어서, 워크 수납 구멍(3) 내에 화살표(J1) 방향으로 압축 에어가 분사된다. 이 압축 에어의 작용에 의해, 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)는 반송 테이블(2)의 외주측을 향해 튀어나가, 도시되지 않은 배출 파이프로 유도되어 도시되지 않은 수납 상자에 수납된다. 또, 전술과 같이, 워크 수납 구멍(3) 내는 상시 진공 흡인되어 있지만, 화살표(J1) 방향의 압축 에어의 분사 압력은 진공 흡인력에 이겨낼 수 있는 크기로 설정되어 있기 때문에, 워크 수납 구멍(3)으로부터의 워크의 배출은 원활하게 행해진다.This is because, as described above, the defective-product discharging portion 11 and the good-product discharging portion 12 each have a function of discharging the work which was a defective inspection result and the work which was good goods from the work receiving hole 3. That is, when the work receiving hole 3 containing the work W1 is stopped by the defective article discharging portion 11 and the good article discharging portion 12, first, by the control of the controller 17 shown in Fig. 1, (b), the discharge portion switching valve 19 selects the n side, that is, the atmospheric pressure. At this time, the atmospheric pressure is maintained in the conveying table air jet passage 31a. Next, in the case where the work W1 in the work receiving hole 3 is a work to be discharged in the discharge portion, as shown in Fig. 7 (c), by the control of the controller 17 in Fig. 1, The switch valve 19 selects the a side, that is, the compressed air source 20. At this time, compressed air is injected in the conveying table air jet passage 31a in the direction of the arrow J1. 5, compressed air is injected into the work receiving hole 3 in the direction of the arrow J1. Due to the action of the compressed air, the work W1 in the work receiving hole 3 protrudes toward the outer peripheral side of the transport table 2 and is led to a discharge pipe (not shown) and stored in a storage box (not shown). As described above, since the vacuum in the work receiving hole 3 is constantly vacuumed, the jetting pressure of the compressed air in the direction of the arrow J1 is set to such a size as to be able to overcome the vacuum suction force. The workpiece is smoothly discharged.

도 5에 나타내는 워크 수납 구멍(3)에 워크(W1)가 수납되어 있는 모습을 사시도로 해서 도 8에 나타낸다. 여기에, 도 8에 있어서는, 도 1에 나타내는 테이블 커버(13) 및 테이블 가이드(14)는 생략하고 있다. 또한, 도 8을 화살표(U1) 방향으로부터 본 투시도를 도 9에 나타낸다. 단, 도 9에 있어서는 간단하게 하기 위해 제1 테이블 팁 진공 통로(51v)만 나타내고 있다.Fig. 8 is a perspective view showing a state in which the work W1 is housed in the work receiving hole 3 shown in Fig. In FIG. 8, the table cover 13 and the table guide 14 shown in FIG. 1 are omitted. Fig. 9 shows a perspective view of Fig. 8 viewed from the direction of arrow U1. However, in FIG. 9, only the first table-tip vacuum passage 51v is shown for the sake of simplicity.

도 8 및 도 9에 나타내는 바와 같이, 워크(W1)는 저경도부인 발광체(W1p)를 워크 수납 구멍(3)의 상측을 향해, 고경도부인 본체(W1x)의 일면(W1s2)을 테이블 팁(5)의 압압면(5s)에 맞닿게 해서 워크 수납 구멍(3)에 수납되어 있다. 그리고, 고경도부인 본체(W1x)와 저경도부인 발광체(W1p)의 양쪽이 워크 수납 구멍(3)의 개구부(30) 및 그것에 대향하는 내벽(내벽면(3si)과 압압면(5s))에 면해 있다.As shown in Figs. 8 and 9, the work W1 has a light-emitting body W1p with a low hardness directed toward the upper side of the work receiving hole 3, and one surface W1s2 of the main body W1x, (5s) of the work receiving holes (5). Both the main body W1x having a high hardness and the light emitting body W1p having a low hardness are attached to the opening 30 of the work receiving hole 3 and the inner walls (the inner wall surface 3si and the pressing surface 5s) I'm facing it.

이때, 전술과 같이, 제1 테이블 팁 진공 통로(51v) 및 제2 테이블 팁 진공 통로(52v)는 화살표(S1 및 S2) 방향으로 상시 흡인되어 있다. 이 흡인의 작용에 의해 워크(W1)는 도 8 및 도 9의 자세를 유지한다. 또한, 전술과 같이, 워크(W1)의 발광체(W1p)는 본체(W1x)와의 경계 부분에 있어서, 본체(W1x)의 주위로 약간 돌출하는 가장자리부(W1e)를 갖는다. 그 돌출 길이를 도 9에 있어서 δ2로 나타낸다. 한편, 전술과 같이, 반송 테이블(2)의 외측을 향한 테이블 팁(5)의 압압면(5s)은, 워크 수납 구멍(3)의 내벽면(3si)보다 길이(δ1)만큼 워크 수납 구멍(3) 내로 돌출해 있다(도 5). 이 돌출 길이(δ1)를 δ1>δ2의 관계를 만족하도록 설정함으로써, 도 9에 나타내는 바와 같이, 내벽면(3si)과 압압면(5s)으로 이루어지는 워크 수납 구멍(3)의 내벽에는, 저경도부인 가장자리부(W1e)의 외주가 맞닿는 범위에 벽면이 형성되지 않도록 하고 있다. 즉, 고경도부인 본체(W1x)의 일면(W1s2)이 테이블 팁(5)의 압압면(5s)에 맞닿아서 화살표(S1) 방향의 흡인에 의해 압압되어도 저경도부인 가장자리부(W1e)는 어디에도 맞닿지 않는다. 이에 따라, 압압에 의해 가장자리부(W1e)에 흠집이 생기는 것을 방지할 수 있다.At this time, as described above, the first table-tip vacuum passage 51v and the second table-tip vacuum passage 52v are constantly sucked in the directions of arrows S1 and S2. By this action of the suction, the work W1 maintains the posture shown in Figs. 8 and 9. Further, as described above, the light emitting body W1p of the work W1 has the edge portion W1e slightly protruding around the main body W1x at the boundary portion with the main body W1x. The projecting length is represented by? 2 in Fig. On the other hand, as described above, the pressing surface 5s of the table tip 5 facing the outside of the conveyance table 2 is pressed against the work receiving hole 3 (length) by a length? 1 longer than the inner wall surface 3si of the work receiving hole 3 3) (Fig. 5). 9, the inner wall surface of the work receiving hole 3 formed of the inner wall surface 3si and the pressing surface 5s is formed with a small diameter (diameter) And a wall surface is not formed in a range in which the outer periphery of the minor edge portion W1e comes into contact with each other. That is, even if one face W1s2 of the body W1x having a high hardness comes into contact with the pressing face 5s of the table tip 5 and is pressed by suction in the direction of the arrow S1, the edge portion W1e having a low hardness It does not touch anywhere. As a result, it is possible to prevent the edge portion W1e from being scratched by the pressure.

도 9에 있어서, 워크 수납 구멍(3)의 내벽을 구성하는 내벽면(3si)은, 발광체(저경도부)(W1p)와 맞닿지 않으며, 마찬가지로 내벽을 구성하는 테이블 팁(5)의 압압면(5s)에 대해서, 발광체(W1p)를 도피시키는 노치부로서 기능한다.9, the inner wall surface 3si constituting the inner wall of the work receiving hole 3 does not come into contact with the light emitting body (low hardness portion) W1p, and likewise, And functions as a notch portion for escaping the light-emitting body W1p with respect to the light-emitting element 5s.

다음으로, 워크 수납 구멍(3)이 도 1에 나타내는 광전기 특성 검사부(10)에 정지해 있는 모습을 사시도로 해서 도 10에 나타낸다. 광전기 특성 검사부(10)의 테이블 베이스(1)에는 흡인 분사 통로(10a)가 형성되어 있다. 흡인 분사 통로(10a)는 후술하는 검사부 전환 밸브(21)의 작용에 의해 화살표(S3) 방향으로 진공 흡인되며, 혹은 화살표(J2) 방향으로 압축 에어가 분사된다. 또한, 흡인 분사 통로(10a)를 반송 테이블(2)의 직경 방향으로 사이에 두는 형태로 프로브 통로(10b, 10c)가 형성되어 있다.Next, FIG. 10 is a perspective view showing a state in which the work receiving hole 3 is stopped in the photoelectric characteristic inspection section 10 shown in FIG. A suction path 10a is formed in the table base 1 of the photoelectrical characteristic checking unit 10. The suction jet passage 10a is evacuated in the direction of the arrow S3 by the action of the inspection portion switching valve 21 to be described later or the compressed air is jetted in the direction of the arrow J2. In addition, the probe passages 10b and 10c are formed in such a manner that the suction injection path 10a is placed in the radial direction of the transfer table 2.

프로브 통로(10b, 10c)를 도 10에 있어서의 화살표(U2) 방향으로부터 본 투시도로 해서 도 11에 나타낸다. 테이블 베이스(1) 내의 프로브 통로(10b, 10c)에는 각각 프로브(P1a, P1b)가 배치되어 있으며, 그들은 테이블 베이스 내에 있어서 도시되지 않은 측정기에 접속되어 있다. 그리고, 프로브(P1a, P1b)는 워크(W1)와 맞닿아서 워크(W1)의 특성 검사를 행하는 검사 부재로서 기능하며, 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 K1 방향 및 K2 방향으로 승강 가능하게 되어 있다.Fig. 11 is a perspective view of the probe passages 10b and 10c as viewed from the direction of the arrow U2 in Fig. Probes P1a and P1b are arranged in the probe passages 10b and 10c in the table base 1 and they are connected to a measuring device not shown in the table base. The probes P1a and P1b function as an inspection member for performing a property inspection of the work W1 while being in contact with the work W1 and are movable up and down in the K1 direction and the K2 direction by the action of a drive mechanism .

워크 수납 구멍(3)이 광전기 특성 검사부(10)에 위치할 때에는, 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)은 프로브 통로(10b, 10c)의 바로 위에 위치한다. 이 때문에, K1 방향으로 상승한 프로브(P1a, P1b)는 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)에 맞닿는다. 또한, 도 10에 나타내는 바와 같이, 광전기 특성 검사부(10)에 있어서의 반송 테이블(2)의 외측에는, 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 워크 수납 구멍(3)의 개구부(30)를 향해서 화살표(M1 및 M2) 방향으로 진퇴 가능한 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)가 배치되어 있다.The electrodes W1a and W1b of the work W1 in the work receiving hole 3 are located directly above the probe passages 10b and 10c when the work receiving hole 3 is located in the photoelectric characteristic inspection section 10. [ Therefore, the probes P1a and P1b rising in the K1 direction contact the electrodes W1a and W1b of the work W1. 10, on the outer side of the transport table 2 in the opto-electronic characteristic inspection section 10, an operation of an unillustrated driving mechanism causes an arrow 30 to be directed toward the opening 30 of the work receiving hole 3, And the abutment portion 15a of the pusher 15 capable of advancing and retreating in the direction of the arrows M1 and M2 is disposed.

다음으로 이와 같은 구성으로 이루어지는 본 실시형태의 작용에 대해 설명한다.Next, the operation of this embodiment having such a configuration will be described.

도 1에 있어서, 워크(W1)는 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 진동하는 리니어 피더(6)에 의해 일렬 상태로 화살표(B) 방향으로 반송된다. 그때, 워크(W1)의 도 2에 나타내는 전극(W1a, W1b)이 도 1에 있어서의 화살표(B) 방향을 따르도록 반송된다. 이때 전극(W1a, W1b) 중 무엇이 화살표(B) 방향의 전후에 위치하는지는 정해져 있지 않다.In Fig. 1, the work W1 is conveyed in the direction of the arrow B in a line by the linear feeder 6 which vibrates by the action of a drive mechanism (not shown). At this time, the electrodes W1a and W1b shown in Fig. 2 of the work W1 are transported along the direction of the arrow B in Fig. At this time, it is not determined which of the electrodes W1a and W1b is located before or after the arrow B direction.

리니어 피더(6)에 의해 반송된 워크(W1)는, 도 1에 나타내는 분리 공급부(7)에 있어서, 도시되지 않은 분리 기구의 작용에 의해 개별적으로 분리되어 반송 테이블(2)의 워크 수납 구멍(3)에 수납된다. 그리고, 워크 수납 구멍(3) 내에 수납된 워크(W1)는 반송 테이블(2)의 화살표(A) 방향의 간헐 회전에 의해 반송되어 최초에 제1 화상 검사부(8)에 도달한다. 그리고, 도시되지 않은 촬상 수단에 의해 워크(W1)의 상면을 촬상해서 외관 검사를 행한다. 다음으로 워크(W1)가 제2 화상 검사부(9)에 도달해서 도시되지 않은 촬상 수단에 의해 워크(W1)의 하면을 촬상해서 외관 검사를 행한다. 그리고, 이 촬상 화상을 화상 처리 프로그램에 의해 처리해서, 도 3의 (d)에 나타내는 애노드 마크(W1ar)를 검출해 당해 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)의 위치를 판별한다. 그 정보는 도 1에 나타내는 제어부(17)로 송신된다.The work W1 conveyed by the linear feeder 6 is separated individually by the action of a separating mechanism (not shown) in the separating and supplying section 7 shown in Fig. 1, 3). The work W1 stored in the work receiving hole 3 is conveyed by the intermittent rotation of the conveyance table 2 in the direction of arrow A to reach the first image inspection section 8 first. Then, the upper surface of the work W1 is picked up by the imaging means (not shown), and the visual inspection is performed. Next, the work W1 reaches the second image inspection section 9, and the lower surface of the work W1 is imaged by the imaging means (not shown) to perform the visual inspection. The picked-up image is then processed by an image processing program to detect the position of the electrodes W1a and W1b of the work W1 by detecting the anode mark W1ar shown in Fig. 3 (d). The information is transmitted to the control unit 17 shown in Fig.

반송 테이블(2)이 더 회전해서 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)는 광전기 특성 검사부(10)에 도달한다. 그리고 전술과 같이, 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)은 도 11에 있어서의 프로브 통로(10b, 10c)의 바로 위에 위치한다. 이때의 모습을 도 10에 있어서의 화살표(U2) 방향으로부터 본 투시도로 해서 도 12에 나타낸다.The transport table 2 further rotates so that the work W1 in the work receiving hole 3 reaches the photoelectric characteristic inspection section 10. [ As described above, the electrodes W1a and W1b of the work W1 in the work receiving hole 3 are positioned directly above the probe passages 10b and 10c in Fig. This state is shown in Fig. 12 as a perspective view seen from the direction of the arrow U2 in Fig.

도 12에 있어서, 흡인 분사 통로(10a)는 테이블 베이스(1) 내에 있어서 검사부 전환 밸브(21)에 접속되어 있다. 검사부 전환 밸브(21)는, 흡인 분사 통로(10a)의 연통처를 진공 발생원(22) 및 압축 에어원(23)으로부터 선택하는 작용을 갖는다. 도 12는 검사부 전환 밸브(21)가 v측 즉 진공 발생원(22)측을 선택하고 있는 모습을 나타낸다. 이때, 검사부 전환 밸브(21)와 진공 발생원(22)에 의해 워크(W1)의 테이블 베이스측의 면을 진공 흡인함과 함께, 흡인 분사 통로(10a)는 흡인 통로로서 작용한다.In Fig. 12, the suction injection path 10a is connected to the inspection part switching valve 21 in the table base 1. [ The inspection portion switching valve 21 has an action of selecting the communication destination of the suction injection passage 10a from the vacuum generating source 22 and the compressed air source 23. 12 shows a state in which the inspection portion switching valve 21 selects the v side, i.e., the side of the vacuum generating source 22. At this time, the surface of the work W1 on the table base side is vacuumed by the inspection portion switching valve 21 and the vacuum generating source 22, and the suction jet passage 10a acts as a suction passage.

즉, 흡인 분사 통로(10a) 내가 화살표(S3) 방향으로 진공 흡인되어, 워크(W1)의 테이블 베이스측의 저면은 테이블 베이스(1)의 상면에 흡착된다.That is, the suction injection passage 10a is evacuated in the direction of the arrow S3 so that the bottom surface of the work W1 on the table base side is adsorbed on the upper surface of the table base 1.

또, 검사부 전환 밸브(21)와 진공 발생원(22) 사이의 흡인 통로(22x)에는 진공도를 계측하기 위한 진공도 계측 수단으로서의 진공압계(眞空壓計)(24)가 접속되어 있다. 또한, 도 12에 있어서, 프로브 통로(10b, 10c) 내의 프로브(P1a, P1b)는 테이블 베이스(1) 내의 대기 위치에 있다. 또한, 워크 수납 구멍(3)으로부터 보았을 때 반송 테이블(2)의 외측에 위치해 있는 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)는, 그 선단면(15as)이 테이블 가이드(14)의 반송 테이블(2)측의 면(14s)과 대략 한 면으로 되는 대기 위치에 있다.A vacuum pressure meter 24 as a vacuum degree measuring means for measuring the degree of vacuum is connected to the suction passage 22x between the inspection portion switching valve 21 and the vacuum generating source 22. In Fig. 12, the probes P1a and P1b in the probe passages 10b and 10c are in the standby position in the table base 1. The abutment portion 15a of the pusher 15 positioned on the outer side of the transport table 2 as viewed from the work receiving hole 3 is positioned such that its distal end face 15as is located on the transport table 2) side surface 14s.

이 상태에서 제어부(17)의 제어에 의해 워크(W1)가 광전기 특성 검사부(10)에 있어서 고정되어 검사된다. 워크(W1)에 대한 고정 및 검사의 작용을 도 13 내지 도 15를 이용해서 설명한다.Under this condition, the work W1 is fixed and inspected in the photoelectric characteristic inspection section 10 under the control of the control section 17. [ The operation of fixing and inspection of the work W1 will be described with reference to Figs. 13 to 15. Fig.

우선 도 13에 나타내는 바와 같이, 푸셔(15)는 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 워크 수납 구멍(3) 내에 화살표(M1) 방향을 향해서 진출한다. 그리고, 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)이 워크(W1)의 본체(W1x)의 면(W1s1)에 맞닿는다. 다음으로 도시되지 않은 가압 수단이 푸셔(15)를 화살표(M1) 방향으로 가압해 워크(W1)의 본체(W1x)의 면(W1s2)은 테이블 팁(5)의 압압면(5s)에 압압된다. 이때 워크(W1)는 광전기 특성 검사부(10)에 있어서, 흡인 분사 통로(10a)에 있어서의 화살표(S3) 방향의 진공 흡인의 작용에 의해 테이블 베이스(1)의 상면에 흡착됨과 함께, 푸셔(15)의 작용에 의해 테이블 팁(5)의 압압면(5s)에 압압되어 고정된다.First, as shown in Fig. 13, the pusher 15 advances in the direction of an arrow M1 in the work receiving hole 3 by the action of a drive mechanism (not shown). The distal end face 15as of the abutting portion 15a is brought into contact with the face W1s1 of the main body W1x of the work W1. A pressing means not shown pushes the pusher 15 in the direction of the arrow M1 so that the surface W1s2 of the main body W1x of the work W1 is pressed against the pressing surface 5s of the table tip 5 . At this time, the work W1 is attracted to the upper surface of the table base 1 by the action of vacuum suction in the direction of the arrow S3 in the suction injection path 10a in the opto-electronic characteristic inspection unit 10, 15 to the pressing surface 5s of the table tip 5 to be fixed.

다음으로, 제어부(17)에 의해 제어되는 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해, 프로브(P1a, P1b)는 도 14에 있어서의 화살표(K1) 방향으로 상승해서 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)에 맞닿는다. 그런데 전술과 같이, 제2 화상 검사부(9)에 있어서, 도 3의 (d)에 나타내는 애노드 마크(W1ar)를 검출해서 당해 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)의 위치를 판별한 정보가 제어부(17)로 송신되어 있다. 이 정보에 의거해서, 제어부(17)의 제어에 의해, 광전기 특성 검사부(10)에 있어서 워크(W1)의 전기 회로(도 4)인 발광 다이오드(D1)의 애노드(전극(W1a))와 캐소드(전극(W1b))에 대해서, 도시되지 않은 측정기가 올바르게 접속되도록 당해 측정기가 프로브(P1a, P1b)에 접속된다. 또, 도 14에 있어서는, 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)은 각각 반송 테이블(2)의 외주측 및 중심축(4)(도 1)측에 위치해 있다. 워크 수납 구멍(3) 내의 모든 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)이 도 14와 동일한 위치에 있다고는 할 수 없지만, 본 명세서의 도면에 있어서는 간단하게 하기 위해 모든 도면에 있어서 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)의 위치는 도 14와 동일하게 기재하고 있다.Next, the probes P1a and P1b rise in the direction of the arrow K1 in Fig. 14 by the action of a drive mechanism (not shown) controlled by the control unit 17 to move the electrodes W1a, W1b. 3 (d) and detects the positions of the electrodes W1a and W1b of the work W1 in the second image inspection section 9 as described above, And transmitted to the control unit 17. Based on this information, under control of the control unit 17, the anode (electrode W1a) of the light emitting diode D1, which is the electric circuit of the work W1 (Fig. 4) (Electrode W1b), the measuring instrument is connected to the probes P1a and P1b so that a measuring device (not shown) is correctly connected. 14, the electrodes W1a and W1b of the work W1 are located on the outer peripheral side and the central axis 4 (Fig. 1) side of the transport table 2, respectively. The wirings W1a and W1b of all the workpieces W1 in the work receiving hole 3 may not be located at the same positions as those in Fig. 14. In the drawings of the present specification, however, The positions of the electrodes W1a and W1b are described in the same manner as in Fig.

도 14에 있어서 프로브(P1a, P1b)가 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)에 맞닿으면, 이번에는 도시되지 않은 압압 수단이 프로브(P1a, P1b)를 화살표(K1) 방향으로 압압해 프로브(P1a, P1b)는 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)에 압압된다.14, when the probes P1a and P1b come into contact with the electrodes W1a and W1b of the work W1, the pressing means, not shown, presses the probes P1a and P1b in the direction of the arrow K1 The probes P1a and P1b are pressed against the electrodes W1a and W1b of the work W1.

이때, 상기와 같이, 워크(W1)는 흡인 분사 통로(10a)에 있어서의 화살표(S3) 방향의 진공 흡인의 작용 및 푸셔(15)의 압압 작용에 의해 고정되어 있다. 이 때문에, 프로브(P1a, P1b)는 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)과 충분히 큰 압력에 의해 맞닿을 수 있다. 즉, 프로브(P1a, P1b)와 워크의 전극(W1a, W1b) 사이의 접촉 저항이 작아져 측정 정밀도를 확보할 수 있다.At this time, as described above, the work W1 is fixed by the action of the vacuum suction in the direction of the arrow S3 in the suction injection path 10a and the pushing action of the pusher 15. Therefore, the probes P1a and P1b can be brought into contact with the electrodes W1a and W1b of the work W1 by a sufficiently large pressure. That is, the contact resistance between the probes P1a and P1b and the electrodes W1a and W1b of the work is reduced, and measurement accuracy can be ensured.

또한, 푸셔(15)의 작용에 의해, 워크(W1)의 본체(W1x)의 면(W1s2)이 테이블 팁(5)의 압압면(5s)에 의해 강한 힘으로 압압될 때, 고경도부인 본체(W1x)만이 테이블 팁(5)의 압압면(5s)에 맞닿고, 저경도부인 가장자리부(W1e)는 내면벽(3si)에 맞닿지 않는다. 그 이유는 전술과 같이, 도 9에 있어서 테이블 팁(5)의 압압면(5s)이 워크 수납 구멍(3)의 내벽면(3si)으로부터 돌출하는 돌출 길이(δ1)와, 워크(W1)의 발광체(W1p)가 본체(W1x)와의 경계 부분에 있어서 돌출하는 가장자리부(W1e)의 돌출 길이(δ2) 사이에 δ1>δ2의 관계가 있기 때문이다. 즉, 이 관계를 만족함으로써, 내벽면(3si)과 압압면(5s)으로 이루어지는 워크 수납 구멍(3)의 내벽에는, 저경도부인 가장자리부(W1e)의 외주가 맞닿는 범위에 벽면이 형성되지 않도록 하고 있는 것이다.When the surface W1s2 of the body W1x of the work W1 is pressed by the pressing surface 5s of the table tip 5 with a strong force by the action of the pusher 15, Only the upper edge W1x is brought into contact with the pressing surface 5s of the table tip 5 and the edge portion W1e with a lower hardness does not abut the inner surface wall 3si. 9, the pressing surface 5s of the table tip 5 has a protruding length delta 1 protruding from the inner wall surface 3si of the work receiving hole 3, There is a relationship of delta 1 > 2 between the protruding length [delta] 2 of the edge portion W1e protruding from the boundary portion of the luminous body W1p with the main body W1x. That is, by satisfying this relationship, it is possible to prevent the wall surface from being formed in the inner wall of the work receiving hole 3 formed of the inner wall surface 3si and the pressing surface 5s in the range where the outer periphery of the edge portion W1e, It is.

이와 같이 해서, 도 14에 있어서 워크(W1)는 고정되고, 프로브(P1a, P1b)는 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)과 충분히 큰 압력에 의해 맞닿아, 도시되지 않은 측정기와 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)이 접속된다. 그리고, 측정기로부터 전극(W1a, W1b)에 소정의 전압이 인가되어 발광체(W1p)가 발광한다.14, the probes P1a and P1b are brought into contact with the electrodes W1a and W1b of the work W1 by a sufficiently large pressure so that the measuring instrument and the workpiece W1 W1 are connected to the electrodes W1a and W1b. Then, a predetermined voltage is applied from the measuring device to the electrodes W1a and W1b, and the light emitting body W1p emits light.

광전기 특성 검사부(10)에 있어서는, 워크 수납 구멍(3)의 상측에는 테이블 커버(13)가 설치되어 있지 않고 개방되어 있다. 이 때문에, 이 발광체(W1p)의 광을 워크(W1)의 상측에 배치된 도시되지 않은 측정기에 의해 수광해 광의 파장이나 휘도 등의 광 특성 검사가 행해진다. 또한, 프로브(P1a, P1b)에 접속된 도시되지 않은 측정기에 의해, 상기 소정의 전압을 인가했을 때에 워크(W1)에서 흐르는 전류 등의 전기 특성 검사가 행해진다. 이들 광 특성 검사 및 전기 특성 검사의 결과는 도 1에 나타내는 제어부(17)로 송신된다.In the optoelectronic characteristic inspection section 10, the table cover 13 is not provided on the upper side of the work receiving hole 3 but is opened. Therefore, the light of the light emitting body W1p is received by a measuring device (not shown) arranged on the upper side of the work W1, and the optical characteristics such as the wavelength and the luminance of the light are inspected. Electrical characteristics such as a current flowing in the work W1 when the predetermined voltage is applied are inspected by a measuring device (not shown) connected to the probes P1a and P1b. The results of these optical characteristic inspection and electrical characteristic inspection are transmitted to the control unit 17 shown in Fig.

이상의 검사를 종료하면, 제어부(17)의 제어에 의한 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해, 프로브(P1a, P1b)가 도 15에 있어서의 화살표(K2) 방향으로 하강해서 도 12와 마찬가지의 대기 위치로 되돌아간다.When the above inspection is finished, the probes P1a and P1b are lowered in the direction of the arrow K2 in Fig. 15 by the action of a drive mechanism (not shown) under the control of the control unit 17, Return to position.

다음으로, 푸셔(15)는 도 15에 있어서의 M2 방향으로 퇴출해 도 12와 마찬가지의 대기 위치로 되돌아간다. 그리고, 반송 테이블(2)이 회전해서 검사를 종료한 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)는 도 1에 나타내는 불량품 배출부(11)로 반송된다. 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)가 불량품 배출부(11)에 도달하면, 제어부(17)는 광전기 특성 검사부(10)에 있어서의 당해 워크(W1)의 검사 결과가 불량인지의 여부를 판단해 불량인 것으로 판단되었을 경우, 제어부(17)가 배출부 전환 밸브(19)를 작동시켜, 도 5에 나타내는 반송 테이블 에어 분사 통로(31a)로부터 화살표(J1) 방향으로 압축 에어가 분사된다. 그리고, 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)는 반송 테이블(2)의 외주측을 향해 튀어나가, 도시되지 않은 배출 파이프로 유도되어 도시되지 않은 수납 상자에 수납된다. 한편, 광전기 특성 검사부(10)에 있어서의 당해 워크(W1)의 검사 결과가 양품인 것으로 판단되었을 경우에는, 불량품 배출부(11)에 있어서 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)는 배출되지 않고 양품 배출부(12)로 반송된다.Next, the pusher 15 is retracted in the direction M2 in Fig. 15 and returned to the standby position similar to that in Fig. Then, the work W1 in the work receiving hole 3, in which the transport table 2 has rotated and has been inspected, is transported to the defective article discharge unit 11 shown in Fig. When the work W1 in the work receiving hole 3 reaches the defective article discharge portion 11, the controller 17 determines whether or not the inspection result of the work W1 in the photoelectric characteristic inspection portion 10 is defective The controller 17 operates the discharge portion switching valve 19 so that compressed air is jetted in the direction of the arrow J1 from the delivery table air jetting passage 31a shown in Fig. Then, the work W1 in the work receiving hole 3 protrudes toward the outer peripheral side of the transport table 2, is guided to a discharge pipe (not shown), and stored in a storage box (not shown). On the other hand, when it is judged that the inspection result of the work W1 in the optoelectronic characteristic inspection part 10 is good, the work W1 in the work receiving hole 3 in the defective part discharging part 11 is not discharged And is transported to the good product discharge unit 12.

양품 배출부(12)에 도달한 양품 워크(W1)는 불량품 배출부(11)와 마찬가지로, 도 5에 나타내는 반송 테이블 에어 분사 통로(31a)로부터 분사되는 압축 에어의 작용에 의해, 반송 테이블(2)의 외주측을 향해 튀어나가, 도시되지 않은 배출 파이프로 유도되어 도시되지 않은 수납 상자에 수납된다.The good work W1 that has reached the good article discharge section 12 is moved in the same direction as the defective article discharge section 11 by the operation of the compressed air jetted from the conveyance table air jetting passage 31a shown in FIG. And is guided to a discharge pipe (not shown) and stored in a storage box (not shown).

그 동안, 도 13에 나타내는 바와 같이, 푸셔(15)가 화살표(M1) 방향으로 진출해서, 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)이 워크(W1)의 본체(W1x)의 면(W1s1)에 맞닿을 때에, 워크(W1)가 워크 수납 구멍(3) 내에서 경사져 버리는 경우가 있다. 그 일례를 도 13의 워크(W1) 근방의 확대도로 해서 도 16의 (a)(b)(c)에 나타낸다. 도 16의 (a)는, 푸셔(15)가 화살표(M1) 방향으로 진출해서, 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)이 워크(W1)의 본체(W1x)의 면(W1s1)에 맞닿았을 때의 모습을 나타낸다.13, the pusher 15 advances in the direction of the arrow M1 and the front end face 15as of the abutting portion 15a contacts the face W1s1 of the main body W1x of the work W1 The work W1 may be inclined in the work receiving hole 3 in some cases. An example of this is shown in Figs. 16 (a), (b) and (c) in the vicinity of the work W1 in Fig. 16A shows a state in which the pusher 15 advances in the direction of the arrow M1 so that the front end face 15as of the abutting portion 15a contacts the face W1s1 of the body W1x of the work W1 It shows the state when it hit.

도 16의 (a)(b)(c)에 나타내는 바와 같이, 본체(W1x)의 면(W1s1)은, 이것에 맞닿는 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)에 대해서 완전하게 평행은 아니다. 이것은, 워크(W1)의 본체(W1x)의 제조 편차에 기인하는 것이다.As shown in Figs. 16A, 16B and 16C, the surface W1s1 of the main body W1x is inclined with respect to the tip end face 15as of the abutting portion 15a of the pusher 15 abutting on the face W1s1 It is not completely parallel. This is caused by a manufacturing deviation of the main body W1x of the work W1.

워크(W1)의 각 부의 치수는 전술과 같이 고작 1∼3㎜이기 때문에 그 제조 오차를 저감하는 것은 극히 곤란하다. 그런데, 이들 평행이 아닌 2면이 맞닿으면, 그 면들의 한쪽의 끝으로부터 다른 쪽의 끝을 향할수록 간격이 벌어지는 대략 V자형의 극간(隙間)이 생긴다. 도 16의 (a)의 경우에는, 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)이 본체(W1x)의 면(W1s1)의 발광체(W1p)에 가까운 위치에 맞닿고, 거기에 화살표(M1) 방향으로의 진출에 의해 생기는 진출력(FX1)이 집중해서 인가된다. 그리고, 푸셔(15)의 선단면(15as)과 워크(W1)의 면(W1s1) 사이에는, 전극(W1a)이 형성되어 있는 본체(W1x)의 저면을 향할수록 간격이 α로 되도록 벌어지는 대략 V자형의 극간이 생겨 있다.Since the dimension of each part of the work W1 is 1 to 3 mm, as described above, it is extremely difficult to reduce the manufacturing error. However, when these two non-parallel surfaces come into contact with each other, a substantially V-shaped gap is formed in which the gap widens from one end to the other end of the surfaces. 16 (a), the tip end face 15as of the abutting portion 15a is brought into contact with a position close to the light emitting body W1p of the face W1s1 of the main body W1x, And the gentle output FX1 caused by the advance in the direction is concentrated. Between the front end face 15as of the pusher 15 and the face W1s1 of the work W1 is formed a substantially V Shaped gap is formed.

그런데, 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)는 지면(紙面)에 평행 방향으로 얇고 지면에 수직 방향으로 두껍게 형성되어 있으며, 또한 그 선단면(15as)과 면(W1s1)의 2면간에는 상기 얇게 형성된 방향을 따라 대략 V자형의 극간이 형성되어 있다.The abutment portion 15a of the pusher 15 is thin in a direction parallel to the paper surface and thicker in the vertical direction to the paper surface. Further, between the two surfaces of the front end surface 15as and the surface W1s1, A substantially V-shaped gap is formed along the thinly formed direction.

이 때문에 도 16의 (a)의 상태에서 푸셔(15)가 화살표(M1) 방향으로 더 진출하면, 진출력(FX1)의 작용에 의해, 이들 2면(15as, W1s1)간에 미끄러짐을 일으킨다. 그리고, 도 16의 (b)에 나타내는 바와 같이, 힘(FX1)이 인가되는 위치가 당해 극간의 간격이 벌어지는 측, 즉 전극(W1a)이 형성되어 있는 본체(W1x)의 저면측으로 이동한다. 이 때문에, 본체(W1x)의 저면의 전극(W1a)이 형성되어 있는 측이 테이블 베이스(1)의 상면으로부터 떠올라 워크(W1)의 자세가 워크 수납 구멍(3) 내에서 경사진다. 이 상태에서 푸셔(15)가 화살표(M1) 방향으로 더 진출하면, 도 16의 (c)에 나타내는 바와 같이, 워크(W1)의 경사가 더 커져, 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)이 워크(W1)의 하측으로 침입해서 정지한다. 맞닿음부(15a)가 도 16의 (c)에 나타내는 위치까지 진출해서 정지하는 이유는, 이 위치가 워크 수납 구멍(3) 내에 워크(W1)가 존재하지 않을 때에 푸셔(15)를 정지시키는 위치에 상당하기 때문이다.Therefore, when the pusher 15 further advances in the direction of the arrow M1 in the state of Fig. 16 (a), the gentle output FX1 causes slippage between these two surfaces 15as and W1s1. 16B, the position to which the force FX1 is applied is moved to the side where the interval between the gaps is widened, that is, the bottom face of the body W1x on which the electrode W1a is formed. The side of the bottom surface of the main body W1x on which the electrode W1a is formed is raised from the upper surface of the table base 1 and the posture of the work W1 is inclined in the work receiving hole 3. [ When the pusher 15 further advances in the direction of the arrow M1 in this state, the inclination of the work W1 becomes larger as shown in Fig. 16 (c), and the tip end face 15a of the abutting portion 15a ) Enters the lower side of the work W1 and stops. The reason that the abutting portion 15a advances to the position shown in Figure 16 (c) and stops is that the pusher 15 is stopped when the work W1 is not present in the work receiving hole 3 Position.

이상의 설명에 있어서는, 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)에 맞닿는 워크(W1)의 본체(W1x)의 면(W1s1)이 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)에 대해서 완전하게 평행은 아니기 때문에, 워크(W1)의 자세가 경사지는 경우에 대해 설명했다. 이 밖에, 도 16의 (a)에 있어서, 테이블 팁(5)의 압압면(5s)과, 압압면(5s)에 맞닿는 워크(W1)의 본체(W1x)의 면(W1s2)이 완전하게 평행이 아닌 경우에도, 마찬가지로 압압면(5s)과 면(W1s2)의 사이에 미끄러짐을 일으켜 워크(W1)의 자세가 경사진다.The face W1s1 of the body W1x of the work W1 abutting on the front end face 15as of the abutting portion 15a of the pusher 15 is brought into contact with the front end face 15as of the abutting portion 15a , The case where the posture of the work W1 is inclined has been described. 16 (a), the pressing surface 5s of the table tip 5 and the surface W1s2 of the main body W1x of the work W1 abutting the pressing surface 5s are completely parallel to each other A slip is generated between the pressing surface 5s and the surface W1s2 and the posture of the work W1 is inclined.

도 16의 (c)의 상태에서, 프로브(P1a, P1b)를 도 14에 있어서의 화살표(K1) 방향으로 상승시킨 모습을 도 17에 나타낸다. 도 17에 있어서, 프로브(P1a, P1b)는 워크 수납 구멍(3) 내에 침입해서 정지해 있다. 이때의 프로브(P1a, P1b)의 위치는 워크 수납 구멍(3) 내에 워크(W1)가 존재하지 않을 때에 프로브(P1a, P1b)를 정지시키는 위치에 대응한다. 도 17에 있어서, 전극(W1a)과 프로브(P1a)는 맞닿아 있지 않으므로 올바른 측정을 할 수 없다.Fig. 17 shows a state in which the probes P1a and P1b are raised in the direction of the arrow K1 in Fig. 14 in the state of Fig. 16 (c). In Fig. 17, the probes P1a and P1b enter the work receiving hole 3 and stop there. The positions of the probes P1a and P1b at this time correspond to the positions at which the probes P1a and P1b are stopped when the work W1 is not present in the work receiving hole 3. [ In Fig. 17, since the electrode W1a and the probe P1a are not in contact with each other, correct measurement can not be performed.

도 17의 상태를 정상으로 하기 위해, 도 15와 같이 프로브(P1a, P1b)를 화살표(K2) 방향으로 하강시켜서 대기 위치로 되돌리고, 푸셔(15)를 화살표(M2) 방향으로 퇴출시켜서 대기 위치로 되돌리고, 다시 푸셔(15)를 도 14와 같이 화살표(M1) 방향으로 진출시켜서 워크(W1)의 본체(W1x)에 맞닿게 하는 것이 필요하다. 그러나, 도 17의 상태로 되는 원인이 상기와 같은 워크(W1)의 형상에 따른 것이면, 다시 동일한 상태로 될 가능성이 극히 높다. 이 때문에, 도 17의 상태를 검출해서 워크(W1)를 배출하고, 후속의 신규 워크(W1)를 광전기 특성 검사부(10)에 도달시켜, 그 워크(W1)에 푸셔(15)를 맞닿게 해서 고정해 검사하는 것이 바람직하다.The probes P1a and P1b are lowered in the direction of the arrow K2 to return to the standby position and the pusher 15 is withdrawn in the direction of the arrow M2 as shown in Fig. It is necessary to return the pusher 15 to the main body W1x of the work W1 by advancing the pusher 15 in the direction of the arrow M1 as shown in Fig. However, if the cause of the state shown in Fig. 17 depends on the shape of the work W1 as described above, there is a very high possibility that the state becomes the same again. Therefore, the state of Fig. 17 is detected, the work W1 is discharged, the succeeding new work W1 reaches the opto-electronic characteristic inspection section 10, the pusher 15 is brought into contact with the work W1 It is preferable to fix it.

도 17의 상태를 검출하기 위해, 워크(W1)를 압압할 때의 푸셔(15)의 이동 거리를 계측하는 거리 계측 수단이 설치되어 있다. 이것에 대해 도 18 내지 도 19의 (a)(b)를 이용해서 설명한다. 도 18은 푸셔(15)의 평면도이다. 푸셔(15)는 반송 테이블(2)의 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)에 비해서 훨씬 크므로, 길이 방향의 도중을 생략한 표기로 하고 있다. 푸셔(15)는, 워크(W1)와 대략 동일한 폭을 갖는 맞닿음부(15a)와, 이 맞닿음부(15a)에 일체적으로 연결되며 테이블 가이드(14)의 간극에 들어가는 폭을 갖는 중앙부(15b)를 갖는다.In order to detect the state shown in Fig. 17, distance measuring means for measuring the moving distance of the pusher 15 when pressing the work W1 is provided. This will be described with reference to Figs. 18 to 19 (a) and 19 (b). 18 is a plan view of the pusher 15. Fig. Since the pusher 15 is much larger than the work W1 in the work receiving hole 3 of the transport table 2, the longitudinal direction is omitted. The pusher 15 has an abutment portion 15a having substantially the same width as the work W1 and a central portion 15a integrally connected to the abutting portion 15a and having a width entering the gap of the table guide 14 (15b).

또한 중앙부(15b)에 이어서, 도시되지 않은 구동 기구에 접속되는 기부(基部)(15c)가 일체적으로 연결되어 있다. 기부(15c)에는, 푸셔(15)가 대기 위치(도 12)로부터 워크(W1)의 본체(W1x)(도 12)에 맞닿을 때까지의 이동 거리를 계측하는 거리 계측 수단으로서의 검출 블록(15d) 및 근접 센서(15e)가 설치되어 있다. 검출 블록(15d)은 푸셔(15)의 위치를 나타내는 표지(標識)로서 기능하며, 후술과 같이 근접 센서(15e)에 의해 그 위치가 검출된다. 근접 센서(15e)는 기부(15c)로부터 이간하며 또한 검출 블록(15d)에 대향하는 위치에 배치되어 있다. 근접 센서(15e)는 검출 대상물의 존재 정보를 전기 신호로 변환해서 대상물이 접근했는지의 여부를 검출하는 기능을 갖는다. 근접 센서(15e)에는, 검출 블록(15d)의 접근을 검출한 경보를 도 1에 나타내는 제어부(17)에 송신하기 위한 케이블(15f)이 접속되어 있다.Further, following the central portion 15b, a base portion 15c connected to a driving mechanism (not shown) is integrally connected. The base 15c is provided with a detection block 15d serving as distance measuring means for measuring the moving distance from when the pusher 15 comes in contact with the main body W1x of the work W1 (Fig. 12) And a proximity sensor 15e are provided. The detection block 15d functions as a marker indicating the position of the pusher 15, and its position is detected by the proximity sensor 15e as described later. The proximity sensor 15e is disposed at a position apart from the base 15c and opposite to the detection block 15d. The proximity sensor 15e has a function of detecting whether or not the object has approached by converting the presence information of the detection object into an electric signal. The proximity sensor 15e is connected with a cable 15f for transmitting an alarm that detects the approach of the detection block 15d to the control unit 17 shown in Fig.

도 18에 있어서의 검출 블록(15d) 및 근접 센서(15e)의 작용에 대해, 영역(V1)의 확대도인 도 19의 (a)(b)를 이용해서 설명한다. 도 19의 (a) 및 도 19의 (b)에 있어서, 일점 쇄선으로 표시되는 경보 경계선(15x)보다 오른쪽에 근접 센서(15e)의 검출 물체인 검출 블록(15d)이 있을 경우, 근접 센서(15e) 내의 경보 송출부(15e1)에 의해 검출 블록(15d)의 접근을 검출한 경보(PALM)(도 19의 (b))가 도 1에 나타내는 제어부(17)로 송신된다. 이 경우, 도 19의 (a)에 있어서는 근접 센서(15e)와 검출 물체인 검출 블록(15d)의 간극(15G)이 크다. 즉 검출면(15ds)이 일점 쇄선으로 표시되는 경보 경계선(15x)보다 왼쪽에 있기 때문에, 근접 센서(15e)는 검출 블록(15d)을 검출하지 않는다.The operation of the detection block 15d and the proximity sensor 15e in Fig. 18 will be described with reference to Figs. 19 (a) and 19 (b) which are enlarged views of the area V1. 19A and 19B, when there is a detection block 15d, which is an object to be detected by the proximity sensor 15e, on the right of the alarm boundary line 15x indicated by the one-dot chain line, The alarm PALM (Fig. 19 (b)) which detects the approach of the detection block 15d by the alarm sending section 15e1 in the control section 15e shown in Fig. 1 is transmitted to the control section 17 shown in Fig. In this case, in Fig. 19A, the gap 15G between the proximity sensor 15e and the detection block 15d as the detection object is large. That is, the detection surface 15ds is on the left side of the alarm boundary line 15x indicated by the one-dot chain line, the proximity sensor 15e does not detect the detection block 15d.

이에 반해, 도 19의 (b)에 푸셔(15)가 화살표(M1) 방향으로 진출해 검출면(15ds)이 경보 경계선(15x)보다 오른쪽까지 도달한 모습을 나타낸다. 이 경우, 간극(15G)이 작아져 근접 센서(15e)는 검출 물체인 검출 블록(15d)을 검출한다. 그리고, 근접 센서(15e)로부터는 푸셔 경보(PALM)가 내보내져 도 18에 나타내는 케이블(15f)에 의해 도 1에 나타내는 제어부(17)로 송신된다.On the other hand, FIG. 19 (b) shows a state in which the pusher 15 advances in the direction of the arrow M1 and the detection surface 15ds reaches the right side of the alarm boundary line 15x. In this case, the gap 15G becomes small, and the proximity sensor 15e detects the detection block 15d which is the detection object. The pusher alarm PALM is sent out from the proximity sensor 15e and transmitted to the control unit 17 shown in Fig. 1 by the cable 15f shown in Fig.

다음으로, 도 19의 (a)(b)에 있어서의 경보 경계선(15x)의 설정예에 대해 기술한다. 예로서 이하의 조건을 생각할 수 있다.Next, a setting example of the alarm boundary 15x in Figs. 19 (a) and 19 (b) will be described. For example, the following conditions can be considered.

조건 1 : 워크 수납 구멍(3)에 워크(W1)가 수납되어 있지 않은 상태이며 푸셔(15)의 이동 거리는 0.4㎜임.Condition 1: The work W1 is not stored in the work receiving hole 3, and the moving distance of the pusher 15 is 0.4 mm.

조건 2 : 워크(W1)의 치수 편차 및 푸셔(15)의 제조 편차를 제외하고, 도 13에 나타내는 바와 같이 푸셔(15)가 워크(W1)를 올바르게 고정한 경우의 푸셔(15)의 이동 거리는 0.2㎜임Condition 2: The movement distance of the pusher 15 when the pusher 15 correctly holds the work W1, as shown in Fig. 13, except for the dimensional deviation of the work W1 and the manufacturing deviation of the pusher 15, is 0.2 Mm

조건 3 : 도 17에 나타내는 바와 같이 푸셔(15)가 워크(W1)를 올바르게 고정할 수 없었던 경우의 푸셔(15)의 이동 거리는 0.2㎜를 넘고 0.4㎜ 이하임.Condition 3: As shown in Fig. 17, the moving distance of the pusher 15 when the pusher 15 can not fix the work W1 correctly is more than 0.2 mm and not more than 0.4 mm.

조건 4 : 조건 1에 있어서 푸셔(15)를 0.4㎜ 이동시킨 상태에서, 도 19의 (a)(b)에 나타내는 근접 센서(15e)와 검출 블록(15d)의 간극(15G)이 0.1㎜로 되도록 조정함.Condition 4: When the gap 15G between the proximity sensor 15e and the detection block 15d shown in Figs. 19 (a) and 19 (b) is 0.1 mm in the condition 1 in which the pusher 15 is moved by 0.4 mm To be adjusted.

여기에, 도 19의 (a)와 같이 푸셔(15)의 진출 방향(M1)의 이동 거리가 작은, 즉 간극(15G)이 클 경우에는 도 13과 같이 올바르게 고정할 수 있었던 것으로 판단할 수 있는 것을 알 수 있다. 또한, 도 19의 (b)와 같이 당해 이동 거리가 큰, 즉 간극(15G)이 작은 경우에는 도 17과 같이 올바르게 고정할 수 없었던 것으로 판단할 수 있는 것을 알 수 있다. 따라서, 올바르게 고정할 수 있었던 경우의 간극(15G)은 조건 3, 4에 따라 0.1㎜에 0.2㎜를 가산한 0.3㎜ 이상으로 된다. 이 점에서, 도 19의 (a)(b)에 있어서의 경보 경계선(15x)은 근접 센서(15e)로부터 0.3㎜로 되도록 근접 센서(15e)에 내장된 도시되지 않은 조정 기구를 이용해서 설정하면 된다.If the movement distance of the pushing-out direction M1 of the pusher 15 is small as shown in Fig. 19 (a), that is, when the gap 15G is large as shown in Fig. 19 (a) . Further, it can be understood that when the moving distance is large, that is, when the clearance 15G is small as shown in Fig. 19 (b), it can be judged that the fixing can not be correctly fixed as shown in Fig. Therefore, the clearance 15G in the case where it can be fixed properly becomes 0.3 mm or more by adding 0.2 mm to 0.1 mm according to the conditions 3 and 4. In this regard, the alarm boundary line 15x in Figs. 19 (a) and 19 (b) is set by using an unillustrated adjusting mechanism built in the proximity sensor 15e so as to be 0.3 mm from the proximity sensor 15e do.

이상과 같이, 도 18에 나타내는 검출 블록(15d) 및 근접 센서(15e)에 의해, 푸셔(15)가 대기 위치(도 12)로부터 워크(W1)의 본체(W1x)(도 12)에 맞닿을 때까지의 이동 거리를 계측해서, 제어부(17)는 계측된 거리가 미리 규정된 거리보다 클 경우에 광전기 특성 검사부(10)에 있어서의 워크(W1)의 자세가 경사진 것을 검출할 수 있다.As described above, the detection block 15d and the proximity sensor 15e shown in Fig. 18 allow the pusher 15 to abut against the body W1x (Fig. 12) of the work W1 from the standby position (Fig. 12) The control unit 17 can detect that the posture of the work W1 in the photoelectric characteristic inspection unit 10 is inclined when the measured distance is greater than a predetermined distance.

전술한 바와 같은 워크(W1)의 본체(W1x)의 제조 편차에 기인해서, 광전기 특성 검사부(10)에 있어서의 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)의 자세가 경사지는 요인은 그 밖에도 있다. 그것에 대해 도 20 내지 도 22를 이용해서 설명한다. 도 20의 (a)는 도 13의 워크(W1) 근방의 확대 평면도이다. 단, 간단하게 하기 위해 워크(W1)의 발광체(W1p)는 기재하고 있지 않다. 도 20의 (a)는, 푸셔(15)가 화살표(M1) 방향으로 진출해서, 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)이 워크(W1)의 본체(W1x)의 면(W1s1)에 맞닿았을 때의 모습을 나타낸다. 여기에, 본체(W1x)의 면(W1s1)은, 전술한 워크(W1)의 본체(W1x)의 제조 편차에 의해, 이것에 맞닿는 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)에 대해 완전하게 평행은 아니다. 그리고, 이들 평행이 아닌 2면(W1s1, 15as)이 맞닿으면, 그 면들의 한쪽의 끝으로부터 다른 쪽의 끝을 향할수록 간격이 벌어지는 대략 V자형의 극간이 생긴다. 도 20의 (a)의 경우에는, 본체(W1x)의 면(W1s1)에 있어서의 반송 테이블(2)의 회전 방향(화살표(A) 방향)의 뒤쪽에 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)이 맞닿고, 거기에 푸셔(15)의 화살표(M1) 방향으로의 진출에 의해 생기는 진출력(FX2)이 집중해서 인가된다. 그리고, 선단면(15as)과 면(W1s1) 사이에는 반송 테이블(2)의 회전 방향(화살표(A) 방향)을 향할수록 간격이 β1로 되도록 벌어지는 대략 V자형의 극간이 생겨 있다.There are other factors that cause the posture of the work W1 in the work receiving hole 3 in the opto-electric characteristic inspection portion 10 to be inclined due to the manufacturing deviation of the main body W1x of the work W1 as described above . This will be described with reference to Figs. 20 to 22. Fig. 20 (a) is an enlarged plan view in the vicinity of the work W1 in Fig. However, for simplicity, the light emitting body W1p of the work W1 is not described. 20A shows a state in which the pusher 15 advances in the direction of the arrow M1 and the front end face 15as of the abutting portion 15a contacts the surface W1s1 of the main body W1x of the work W1 It shows the state when it hit. The surface W1s1 of the main body W1x is pressed against the distal end face 15as of the abutting portion 15a of the pusher 15 abutting on the above described work W1 by the manufacturing deviation of the main body W1x ). ≪ / RTI > When these two non-parallel surfaces (W1s1, 15as) come into contact with each other, a substantially V-shaped gap is formed in which the gap widens from one end of the surfaces to the other end. 20A shows a state in which the front end face of the abutting portion 15a is positioned behind the rotational direction (the direction of arrow A) of the transport table 2 on the surface W1s1 of the main body W1x And the gentle output FX2 caused by the advance of the pusher 15 in the direction of the arrow M1 is concentrated thereon. A substantially V-shaped gap is formed between the front end face 15as and the face W1s1 so that the interval becomes? 1 toward the rotation direction (arrow A direction) of the transport table 2.

그런데, 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)는 지면에 평행 방향으로 두껍고 지면에 수직 방향으로 얇게 형성되어 있으며, 또한 그 선단면(15as)과 면(W1s1)의 2면간에는 전술과 같이 두껍게 형성된 방향을 따라 대략 V자형의 극간이 형성되어 있다. 따라서, 도 20의 (a)에 있어서, 선단면(15as)과 면(W1s1)이 맞닿는 영역(V2)은 진출력(FX2)에 의해 압압되지만, 맞닿지 않는 영역(V3)은 전혀 압압되지 않는다. 즉, 워크(W1)는 반송 테이블(2)의 회전 방향(화살표(A) 방향)의 뒤쪽만이 고정된다.The abutment portion 15a of the pusher 15 is thick in the direction parallel to the paper surface and thinner in the direction perpendicular to the paper surface. Further, between the two surfaces of the front end surface 15as and the surface W1s1, A substantially V-shaped gap is formed along the formed direction. 20A, the area V2 where the front end face 15as and the face W1s1 are in contact is pressed by the gentle output FX2, but the area V3 that is not abutted is not pressed at all . That is, only the back of the work W1 in the rotational direction (direction of arrow A) of the transport table 2 is fixed.

또한, 도 20의 (b)는, 본체(W1x)의 면(W1s2)이, 이것에 맞닿는 테이블 팁(5)의 압압면(5s)에 대해서 완전하게 평행이 아닌 경우를 나타낸다. 도 20의 (b)에 있어서는, 압압면(5s)과 면(W1s2) 사이에 반송 테이블(2)의 회전 방향(화살표(A) 방향)을 향할수록 간격이 β2로 되도록 벌어지는 대략 V자형의 극간이 생겨 있다. 그리고, 도 20의 (a)와 마찬가지의 이유에 의해, 압압면(5s)과 면(W1s2)이 맞닿는 영역(V4)은 진출력(FX3)에 의해 압압되지만, 맞닿지 않는 영역(V5)은 전혀 압압되지 않는다. 그리고, 워크(W1)는 반송 테이블(2)의 회전 방향(화살표(A) 방향)의 뒤쪽만이 고정된다.20B shows a case where the surface W1s2 of the main body W1x is not completely parallel to the pressing surface 5s of the table tip 5 abutting on the surface W1s2. 20 (b), a substantially V-shaped gap between the pressing surface 5s and the surface W1s2 is formed so that the interval becomes? 2 toward the rotation direction (arrow A direction) of the transport table 2, There is. 20A, the region V4 where the pressure surface 5s and the surface W1s2 are in contact with each other is pressed by the gentle output FX3, but the region V5 which is not abutted is pressed It is not pressed at all. Then, only the back of the work W1 in the rotational direction (direction of arrow A) of the transport table 2 is fixed.

이와 같이, 반송 테이블(2)의 회전 방향(화살표(A) 방향)의 뒤쪽만이 고정된 워크(W1)에 대해서, 도 11에 나타내는 프로브(P1a, P1b)가 화살표(K1) 방향으로 상승했을 때의 모습을, 반송 테이블(2)의 중심축(4)(도 1)측으로부터 본 투시도로 해서 도 21의 (a)(b)에 나타낸다. 도 21의 (a)는, 도 20의 상태에서, 프로브 통로(10c) 내의 프로브(P1b)가 테이블 베이스(1) 내의 대기 위치에 있는 모습을 나타낸다. 이때, 프로브 통로(10b) 내의 프로브(P1a)는 프로브 통로(10c) 및 프로브(P1b)에 가려서 보이지 않지만 프로브(P1b)와 마찬가지로 대기 위치에 있다.As described above, the probes P1a and P1b shown in Fig. 11 rise in the direction of the arrow K1 with respect to the work W1 to which only the back side of the transport table 2 in the rotational direction (direction of arrow A) 21 (a) and 21 (b) is a perspective view of the transport table 2 as seen from the side of the central axis 4 (FIG. 1). FIG. 21A shows a state in which the probe P1b in the probe path 10c is in the standby position in the table base 1 in the state of FIG. At this time, the probe P1a in the probe path 10b is invisible from the probe path 10c and the probe P1b but is in the standby position like the probe P1b.

마찬가지로, 워크(W1)의 전극(W1a)은 전극(W1b)에 가려서 보이지 않는다.Similarly, the electrode W1a of the work W1 is hidden by the electrode W1b and is not seen.

또한, 검사부 전환 밸브(21)는 v측 즉 진공 발생원(22)측을 선택해 흡인 분사 통로(10a) 내는 화살표(S3) 방향으로 진공 흡인된다. 이 화살표(S3) 방향의 진공 흡인의 작용에 의해 워크(W1)는 테이블 베이스(1)의 상면에 흡착된다. 이때, 진공압계(24)는 흡인 통로(22x)의 진공도를 계측하고 있지만, 그 계측값은 상기한 흡착의 작용에 의해 충분히 높은 진공도를 나타내는 값이다.The inspection portion switching valve 21 selects the v side, i.e., the side of the vacuum generating source 22, and is vacuum-sucked in the direction of the arrow S3 in the suction jet passage 10a. The workpiece W1 is attracted to the upper surface of the table base 1 by the action of vacuum suction in the direction of the arrow S3. At this time, the vacuum pressure meter 24 measures the vacuum degree of the suction passage 22x, but the measured value is a value showing a sufficiently high degree of vacuum due to the action of adsorption.

다음으로, 이 상태에서 프로브(P1a, P1b)는 도 21의 (b)에 있어서의 화살표(K1) 방향으로 상승해서 워크(W1)의 전극(W1a, W1b)에 맞닿는다. 이때, 전술과 같이, 워크(W1)는 반송 테이블(2)의 회전 방향(화살표(A) 방향)의 뒤쪽만이 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)에 의해 고정되어 있다. 이 때문에, 프로브(P1b)가 상승해서 워크(W1)의 전극(W1b)에 맞닿으면, 워크(W1)의 고정되어 있지 않은 측, 즉 도 21의 (b)에 있어서의 화살표(A)의 앞쪽편이 위쪽으로 이동한다. 이때, 도 17과 마찬가지로 프로브(P1a, P1b)는 워크 수납 구멍(3) 내에 침입해서 정지해 있다. 도 21의 (b)에 있어서, 전극(W1b)과 프로브(P1b)는 올바르게 맞닿아 있지 않으며, 마찬가지로 도시되지 않은 전극(W1a)과 프로브(P1a)도 올바르게 맞닿아 있지 않다. 이 때문에, 올바른 측정을 할 수 없다.Next, in this state, the probes P1a and P1b rise in the direction of the arrow K1 in FIG. 21 (b) and contact the electrodes W1a and W1b of the work W1. At this time, as described above, only the back of the work W1 in the rotational direction (direction of arrow A) of the transport table 2 is fixed by the abutting portion 15a of the pusher 15. Therefore, when the probe P1b rises and comes into contact with the electrode W1b of the work W1, the side of the work W1 on which the work W1 is not fixed, that is, in the direction of arrow A in FIG. The front side moves upward. At this time, as in Fig. 17, the probes P1a and P1b enter the work receiving hole 3 and stop there. In Fig. 21 (b), the electrode W1b and the probe P1b are not properly in contact with each other, and similarly, the electrode W1a and the probe P1a, which are not shown, are not properly brought into contact with each other. Therefore, correct measurement can not be performed.

이와 같은 도 21의 (b)의 상태를 검출하기 위해 진공압계(24)가 배치되어 있다. 전술과 같이, 도 21의 (a)에 있어서는 화살표(S3) 방향의 진공 흡인의 작용에 의해 워크(W1)가 테이블 베이스(1)의 상면에 흡착되어 있다. 이 때문에, 진공압계(24)에 의한 흡인 통로(22x)의 진공도의 계측값은 충분히 높다. 이에 반해 도 21의 (b)에 있어서는, 워크(W1)의 저면이 테이블 베이스(1)의 상면으로부터 이간해 있다. 이 때문에, 흡인 분사 통로(10a)로부터 검사부 전환 밸브(21)를 경유해서 흡인 통로(22x)로 대기가 침입한다. 그리고, 진공압계(24)에 의한 흡인 통로(22x)의 진공도의 계측값은 낮아진다. 이 계측값이 미리 규정된 진공도보다 낮을 경우에 진공압계(24)는 진공 경보(VALM)를 내보내고, 그것을 도 1에 나타내는 제어부(17)에 송출한다.A vacuum pressure meter 24 is disposed to detect the state shown in FIG. 21 (b). 21A, the workpiece W1 is attracted to the upper surface of the table base 1 by the action of vacuum suction in the direction of the arrow S3. Therefore, the measurement value of the vacuum degree of the suction passage 22x by the vacuum pressure system 24 is sufficiently high. On the other hand, in FIG. 21 (b), the bottom surface of the work W1 is separated from the upper surface of the table base 1. Therefore, the atmosphere enters the suction passage 22x from the suction injection passage 10a via the inspection portion switching valve 21. Then, the measurement value of the vacuum degree of the suction passage 22x by the vacuum pressure system 24 is lowered. When the measured value is lower than the predetermined degree of vacuum, the vacuum pressure gauge 24 outputs the vacuum alarm VALM and sends it to the control unit 17 shown in Fig.

이상과 같이, 도 12에 나타내는 진공압계(24)에 의해 흡인 통로(22x)의 진공도를 계측해서, 계측된 진공도가 미리 규정된 진공도보다 낮을 경우에, 제어부(17)는 광전기 특성 검사부(10)에 있어서의 워크(W1)의 자세가 경사진 것을 검출한다.As described above, when the vacuum degree of the suction passage 22x is measured by the vacuum pressure meter 24 shown in Fig. 12 and the measured vacuum degree is lower than the predetermined vacuum degree, the control unit 17 controls the opto-electronic characteristic checking unit 10 Of the work W1 is inclined.

또, 상기한 설명에 있어서는, 도 20의 (a)(b)와 같이, 워크(W1)의 면(W1s1) 혹은 면(W1s2)에 있어서, 각 면의 반송 테이블(2)의 회전 방향(화살표(A) 방향)의 뒤쪽(도 20의 (a)에 있어서의 영역(V2) 및 도 20의 (b)에 있어서의 영역(V4))만이 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)에 의해 고정되는 것으로 했다.20 (a) and 20 (b), in the surface W1s1 or W1s2 of the work W1, the rotational direction of the transport table 2 on each surface (The area V2 in Fig. 20A and the area V4 in Fig. 20B) of the pusher 15 is in contact with the abutting portion 15a of the pusher 15 Fixed.

그러나, 워크(W1)의 본체(W1x)의 제조 편차에 따라서는, 도 20의 (a)(b)에 나타내는 대략 V자형의 극간이 β1 혹은 β2로 벌어지는 측이, 반송 테이블(2)의 회전 방향(화살표(A) 방향)의 뒤쪽(도 20의 (a)에 있어서의 영역(V2)측 및 도 20의 (b)에 있어서의 영역(V4)측)으로 되는 경우도 있다. 그 경우는, 면(W1s1) 혹은 면(W1s2)에 있어서, 각 면의 반송 테이블(2)의 회전 방향(화살표(A) 방향)의 앞쪽(도 20의 (a)에 있어서의 영역(V3) 및 도 20의 (b)에 있어서의 영역(V5))만이 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)에 의해 고정된다. 그리고, 그 상태에서 도 21의 (b)와 같이 프로브(P1b)가 상승해서 워크(W1)의 전극(W1b)에 맞닿으면, 워크(W1)는 도 21의 (b)에 있어서의 화살표(A)의 뒤쪽편이 위쪽으로 이동한다. 그 경우도, 도 12에 나타내는 진공압계(24)에 의해 흡인 통로(22x)의 진공도를 계측하면, 전술한 이유에 의해, 계측된 진공도가 미리 규정된 진공도보다 낮을 경우에, 제어부(17)는 광전기 특성 검사부(10)에 있어서의 워크(W1)의 자세가 경사진 것을 검출한다.However, depending on the manufacturing variation of the main body W1x of the work W1, the side where the substantially V-shaped gap shown in Figs. 20 (a) and 20 (b) (On the side of the region V2 in FIG. 20A and on the side of the region V4 in FIG. 20B) in the direction (the direction of the arrow A). 20 (a)) in the rotational direction (the direction of the arrow A) of the transport table 2 on each side of the surface W1s1 or the surface W1s2, And the area V5 in Fig. 20 (b)) are fixed by the abutting portion 15a of the pusher 15. [ When the probe P1b rises and comes into contact with the electrode W1b of the work W1 as shown in Fig. 21 (b) in this state, the work W1 moves in the direction of arrows A) is moved upward. In this case as well, when the degree of vacuum of the suction passage 22x is measured by the vacuum pressure meter 24 shown in FIG. 12, the control unit 17 determines that the measured degree of vacuum is lower than the predetermined degree of vacuum, Detects the inclination of the posture of the work W1 in the opto-electronic characteristic inspection section 10. [

이상과 같이, 본 발명에 따른 워크의 특성 측정 장치(100)는, 워크(W1)가 광전기 특성 검사부(10)에 있어서의 푸셔(15)의 작용에 의해 고정될 때에, 워크(W1)의 본체(W1x)의 제조 편차에 기인해서 워크 수납 구멍(3) 내에서 자세가 경사진 것을, 푸셔(15)의 이동 거리의 계측 및 흡인 통로(22x)의 진공도의 계측이라는 2종류의 계측에 의해 검출하고 있다. 이 때문에, 워크(W1)의 워크 수납 구멍(3) 내에 있어서의 자세의 경사를 확실하게 검출할 수 있다.As described above, the workpiece characteristic measuring apparatus 100 according to the present invention is characterized in that when the workpiece W1 is fixed by the action of the pusher 15 in the photoelectric characteristic inspecting section 10, The measurement of the moving distance of the pusher 15 and the measurement of the degree of vacuum of the suction passage 22x are performed by detecting the inclination of the posture in the work receiving hole 3 due to the manufacturing deviation of the workpiece W1x . Therefore, the inclination of the posture in the work receiving hole 3 of the work W1 can be reliably detected.

전술과 같이 도 18에 나타내는 검출 블록(15d) 및 근접 센서(15e), 혹은 도 12에 나타내는 진공압계(24)에 의해, 광전기 특성 검사부(10)에 있어서의 워크(W1)의 자세가 경사진 것을 검출하면, 각각 푸셔 경보(PALM) 혹은 진공 경보(VALM)가 내보내져 제어부(17)로 송신된다. 이러한 경보를 제어부(17)가 수신하면 제어부(17)의 제어에 의해 당해 워크(W1)를 워크 수납 구멍(3)으로부터 배출한다. 그 작용에 대해 도 22 내지 도 27을 이용해서 설명한다.The posture of the work W1 in the optoelectronic characteristic inspection section 10 is changed to the light path by the detection block 15d and the proximity sensor 15e shown in Fig. 18 or the vacuum pressure system 24 shown in Fig. 12, When a photo is detected, a pusher alarm (PALM) or a vacuum alarm (VALM) is sent out to the control unit 17. When the control unit 17 receives such an alarm, the work W1 is ejected from the work receiving hole 3 under the control of the control unit 17. [ The operation will be described with reference to Figs. 22 to 27. Fig.

도 22의 (a)는, 도 16의 (a)(b)(c)를 이용해서 설명한 바와 같이, 워크(W1)의 본체(W1x)의 면(W1s1)이, 이것에 맞닿는 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)에 대해 완전하게 평행이 아닌 것에 기인해서, 워크 수납 구멍(3) 내에서 경사져 있는 모습을 나타낸다. 또한, 도 22의 (b)는 도 21의 (a)를 반송 테이블(2)의 중심축(4)(도 1)측으로부터 본 도면이다.22A shows a state in which the surface W1s1 of the main body W1x of the work W1 touches the pusher 15 abutting on the surface W1s1 of the work W1 as described with reference to Figs. 16A, 16B, Is inclined in the work receiving hole 3 due to the fact that it is not completely parallel to the front end face 15as of the abutting portion 15a of the work receiving hole 15a. 22 (b) is a view of FIG. 21 (a) viewed from the center axis 4 (FIG. 1) side of the transport table 2.

도 22의 (a)(b)에 있어서, 푸셔(15)의 맞닿음부(15a)의 선단면(15as)이 워크(W1)의 하측으로 침입해서 정지해 있다. 또한, 프로브(P1a, P1b)가 화살표(K1) 방향으로 상승해 워크 수납 구멍(3) 내에 침입해서 정지해 있다. 그리고, 워크(W1)는 워크 수납 구멍(3) 내에서 자세가 경사져 있다. 도 22의 (a)의 하부에는, 이때의 도 18에 있어서의 검출 블록(15d) 및 근접 센서(15e) 근방(영역(V1))의 확대도를 아울러서 기재하고 있다. 이 도면은 도 19의 (b)와 동일하며 근접 센서(15e) 내의 경보 송출부(15e1)는 푸셔 경보(PALM)를 내보내고 있다. 또한, 도 22의 (b)에는, 흡인 분사 통로(10a)가 검사부 전환 밸브(21)의 작용에 의해 진공 발생원(22)에 연통해서, 흡인 분사 통로(10a) 내가 화살표(S3) 방향으로 진공 흡인되어 있는 모습을 아울러서 나타낸다.22 (a) and 22 (b), the tip end face 15as of the abutting portion 15a of the pusher 15 enters the lower side of the work W1 and stops. In addition, the probes P1a and P1b rise in the direction of the arrow K1, enter the work receiving hole 3, and stop. The posture of the work W1 is inclined in the work receiving hole 3. 22 (a), an enlarged view of the vicinity of the detection block 15d and the proximity sensor 15e (region V1) in FIG. 18 is also described. This diagram is the same as FIG. 19 (b), and the alarm sending unit 15e1 in the proximity sensor 15e sends a pusher alarm (PALM). 22 (b), the suction injection path 10a is connected to the vacuum generating source 22 by the action of the inspection part switching valve 21 and the suction path 10a is opened in the direction of the arrow S3 It also shows the aspirated state.

이 상태에서, 푸셔 경보(PALM)를 수신한 제어부(17)(도 1)의 제어에 의해 도 23의 (a)(b)의 상태로 된다. 즉, 푸셔(15)는 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 화살표(M2) 방향으로 퇴출해서 대기 위치에 정지한다. 그리고, 프로브(P1a, P1b)는 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 화살표(K2) 방향으로 하강해서 대기 위치에 정지한다. 이때, 푸셔(15)가 대기 위치까지 퇴출하므로, 상기 근접 센서(15e) 내의 경보 송출부(15e1)는 푸셔 경보(PALM)의 내보내기를 정지한다. 이 모습을 도 23의 (a)의 하부에 아울러서 나타낸다. 이 도면은 도 19의 (a)와 동일하다.In this state, by the control of the control unit 17 (Fig. 1) which has received the pusher alarm PALM, the state of Figs. 23A and 23B is obtained. That is, the pusher 15 is retracted in the direction of arrow M2 by the action of a driving mechanism (not shown) and stops at the standby position. Then, the probes P1a and P1b descend in the direction of the arrow K2 by the action of a driving mechanism (not shown) and stop at the standby position. At this time, since the pusher 15 is retracted to the standby position, the alarm sending unit 15e1 in the proximity sensor 15e stops the export of the pusher alarm (PALM). This figure is shown together with the lower part of FIG. 23 (a). This drawing is the same as FIG. 19 (a).

이상과 같이, 푸셔(15)와 프로브(P1a, P1b)가 모두 대기 위치에 정지함으로써, 도 23의 (a)(b)에 나타내는 바와 같이, 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)는 그 저면에 형성된 전극(W1a, W1b)이 테이블 베이스(1) 상면에 재치(載置)된다.As described above, both the pusher 15 and the probes P1a and P1b are stopped at the stand-by position, so that the work W1 in the work receiving hole 3, as shown in Figs. 23A and 23B, The electrodes W1a and W1b formed on the bottom surface are placed on the upper surface of the table base 1.

다음으로, 도 1에 나타내는 제어부(17)의 제어에 의해, 광전기 특성 검사부(10) 바로 위에 위치하는 도시되지 않은 측정기가, 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 상승해서 도시되지 않은 퇴피 위치에 정지한다.Next, under the control of the control section 17 shown in Fig. 1, the unillustrated measuring device located immediately above the photoelectric characteristic inspection section 10 ascends by the action of a driving mechanism (not shown) do.

그리고, 도 1에 나타내는 강제 배출 수단으로서의 자세 불량 워크 배출부(16)가, 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 도 1에 나타내는 대기 위치로부터 화살표(L1) 방향으로 진출해서, 지금까지 당해 측정기가 위치해 있던 광전기 특성 검사부(10) 바로 위에 정지한다. 이 모습을 도 24에 나타낸다.1 is advanced from the stand-by position shown in Fig. 1 in the direction of the arrow L1 by the action of a driving mechanism (not shown), and the attitude workpiece discharge portion 16 as the forced discharge means shown in Fig. And stops just above the photoelectric characteristic inspection unit 10 that was located. This state is shown in Fig.

여기에, 도 24 내지 도 27은, 도 23의 (b)와 마찬가지로, 광전기 특성 검사부(10)를 반송 테이블(2)의 중심축(4)(도 1)측으로부터 본 도면이다. 도 24에 있어서, 광전기 특성 검사부(10) 바로 위에는 워크(W1)를 흡인하는 자세 불량 워크 배출부(16)의 배출 헤드(16a)가 위치해 있다. 배출 헤드(16a)의 배출 통로(16ap)는 배출 파이프(16b)에 접속되며, 배출 파이프(16b)의 종단부에는 수납 상자(25)가 접속되어 있다. 배출 파이프(16b)가 수납 상자(25)에 접속되는 위치에는, 배출되는 워크(W1)가 수납 상자(25)에 수납된 것을 검출하는 배출 검출 수단으로서의 통과 센서(26)가 배치되어 있다.24 to 27 are views of the opto-electronic characteristic inspection unit 10 as viewed from the central axis 4 (Fig. 1) side of the transport table 2, similarly to Fig. 23 (b). 24, the discharge head 16a of the posture defective work discharging portion 16 for sucking the work W1 is positioned just above the opto-electronic characteristic inspection portion 10. [ The discharge passage 16ap of the discharge head 16a is connected to the discharge pipe 16b and the storage box 25 is connected to the end of the discharge pipe 16b. A passage sensor 26 as discharge detecting means for detecting that the discharged work W1 is stored in the storage box 25 is disposed at a position where the discharge pipe 16b is connected to the storage box 25. [

다음으로, 도 24의 상태에서 제어부(17)의 제어에 의해, 도 25에 나타내는 바와 같이, 검사부 전환 밸브(21)가 a측 즉 압축 에어원(23)측을 선택한다. 이에 따라, 흡인 분사 통로(10a)의 연통처가 압축 에어원(23)으로 되어 흡인 분사 통로(10a)에는 화살표(J2) 방향으로 압축 에어가 분사된다. 또한 동시에, 자세 불량 워크 배출부(16) 내에 배치된 도시되지 않은 진공 흡인 기구의 작용에 의해, 배출 통로(16ap)로부터 배출 파이프(16b)를 경유해서 수납 상자(25)에 이르는 경로가 수납 상자(25)를 향해서 화살표(S4) 방향으로 진공 흡인된다. 이 화살표(J2) 방향의 압축 에어의 분사와 화살표(S4) 방향의 진공 흡인이 동시에 작용해서 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)가 배출 헤드(16a)의 배출 통로(16ap)에 들어간다. 그리고, 도 26에 나타내는 바와 같이, 배출 파이프(16b)에 들어가 도 27에 나타내는 바와 같이 수납 상자(25)에 수납된다.Next, under the control of the control unit 17 in the state of Fig. 24, the inspection unit switching valve 21 selects the a side, i.e., the compressed air source 23 side, as shown in Fig. As a result, the communicating portion of the suction injection passage 10a becomes the compressed air source 23, and compressed air is injected in the direction of the arrow J2 to the suction injection passage 10a. At the same time, a path from the discharge passage 16ap to the storage box 25 via the discharge pipe 16b by the action of a vacuum suction mechanism (not shown) arranged in the posture- Is sucked in the direction of the arrow S4 toward the suction port (25). The ejection of the compressed air in the direction of the arrow J2 and the vacuum suction in the direction of the arrow S4 simultaneously operate so that the work W1 in the work receiving hole 3 enters the discharge passage 16ap of the discharge head 16a. Then, as shown in Fig. 26, it enters the discharge pipe 16b and is accommodated in the storage box 25 as shown in Fig.

도 27에 있어서, 워크(W1)가 수납 상자(25)에 수납된 것을 통과 센서(26)가 검출해서 수납 정보(DIS)를 내보낸다. 수납 정보(DIS)는 도 1에 나타내는 제어부(17)로 송신되며, 제어부(17)의 제어에 의해 검사부 전환 밸브(21)가 v측 즉 진공 발생원(22)측을 선택한다.27, the passage sensor 26 detects that the work W1 is accommodated in the storage box 25 and outputs the storage information DIS. The storage information DIS is transmitted to the control unit 17 shown in Fig. 1, and under the control of the control unit 17, the inspection unit switching valve 21 selects the v side, i.e., the side of the vacuum generating source 22.

이에 따라, 흡인 분사 통로(10a)의 연통처가 진공 발생원(22)으로 되어 흡인 분사 통로(10a)는 화살표(S3) 방향으로 진공 흡인된다. 그리고, 광전기 특성 검사부(10) 바로 위에 위치해 있던 자세 불량 워크 배출부(16)가 화살표(L2) 방향으로 퇴출해서 도 1의 대기 위치에 정지한다. 그리고, 도시되지 않은 퇴피 위치에 정지해 있던 도시되지 않은 측정기가, 도시되지 않은 구동 기구의 작용에 의해 하강해서 광전기 특성 검사부(10) 바로 위에 정지한다. 다음으로, 제어부(17)의 제어에 의해 반송 테이블(2)이 화살표(A) 방향으로 회전해 워크(W1)를 수납한 다음번의 워크 수납 구멍(3)이 광전기 특성 검사부(10)에 도달한다. 그리고, 이 워크(W1)에 대해 전술한 전기 특성 및 광 특성의 측정이 행해진다.As a result, the communicating portion of the suction injection passage 10a becomes the vacuum generating source 22, and the suction injection passage 10a is vacuum-sucked in the direction of the arrow S3. Then, the posture malfunctioning workpiece discharging portion 16 positioned directly above the photoelectric characteristic inspection portion 10 is withdrawn in the direction of the arrow L2 to stop at the standby position in Fig. Then, the unillustrated measuring device stopped at a retracted position (not shown) is lowered by the action of a driving mechanism (not shown) and stops just above the photoelectric characteristic checking portion 10. [ Next, the transport table 2 is rotated in the direction of arrow A under the control of the control section 17, and the next work receiving hole 3 containing the work W1 reaches the photoelectric characteristic inspection section 10 . Then, the electrical characteristics and the optical characteristics described above are measured for the work W1.

상기한 광전기 특성 검사부(10)에 있어서의 자세 불량 워크 배출부(16)에 의한 워크(W1)의 배출에 관한 설명은, 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)가, 도 16의 (a)(b)(c)의 과정을 거쳐 도 17과 같이 자세가 경사졌을 경우에 대해 행했다. 한편, 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)가, 도 20의 (a) 또는 도 20의 (b)로부터 도 21의 (a)의 과정을 거쳐 도 21의 (b)와 같이 자세가 경사졌을 경우에는, 도 21의 (b)의 상태로부터 도 23의 (a)(b)와 같이 푸셔(15) 및 프로브(P1a, P1b)를 퇴출시켜 각각의 대기 위치로 되돌림으로써, 마찬가지로 워크 수납 구멍(3) 내의 워크(W1)는 그 저면에 형성된 전극(W1a, W1b)이 테이블 베이스(1) 상면에 재치된다.The description of the discharge of the work W1 by the posture deficiency work discharge unit 16 in the opto-electronic characteristic inspection unit 10 is the same as that of the work W1 in the work reception hole 3, (b) (c), the posture was inclined as shown in Fig. 17. On the other hand, the work W1 in the work receiving hole 3 passes through the process of Fig. 20 (a) or 20 (b) to 21 (a) The pusher 15 and the probes P1a and P1b are withdrawn from the state of FIG. 21 (b) to return to the respective standby positions as shown in FIGS. 23 (a) and 23 (b) The workpiece W1 in the workpiece 3 is placed on the upper surface of the table base 1 with the electrodes W1a and W1b formed on the bottom surface thereof.

이상과 같이, 워크 특성 측정 장치(100)는, 워크(W1)가 광전기 특성 검사부(10)에 설치된 푸셔(15)의 작용에 의해 고정될 때에, 워크(W1)의 본체(W1x)의 제조 편차에 기인해서 워크 수납 구멍(3) 내에서 자세가 경사진 것을 검출하면, 당해 워크(W1)를 자세 불량 워크로서 배출한 후에, 다음으로 광전기 특성 검사부(10)에 도달한 워크(W1)를 검사할 수 있다. 이 때문에, 자세 불량 워크를 신속하게 배출해서 정상인 워크를 검사하는 것이 가능하다. 또한, 불량 워크를 작업자가 수동으로 배출할 필요도 없다. 따라서, 검사 효율 및 검사 정밀도의 향상 및 작업원의 가동 시간 저감을 실현하는 것이 가능하다.As described above, when the workpiece W1 is fixed by the action of the pusher 15 provided on the optoelectronic characteristic checking unit 10, the workpiece characteristic measuring apparatus 100 is able to measure the workpiece W1x of the workpiece W1, After the work W1 is discharged as a posture bad work, the work W1 that has arrived at the photoelectric characteristics inspection section 10 is inspected can do. Therefore, it is possible to promptly eject the posture malfunctioning work and inspect the normal workpiece. In addition, there is no need for the operator to manually discharge the defective work. Therefore, it is possible to improve the inspection efficiency and inspection accuracy and to reduce the operation time of the worker.

이상의 설명에 있어서는, 워크(W1)의 검사를 행하는 특성 검사부로서 광전기 특성 검사부(10)의 예를 나타냈지만, 이에 한하지 않으며 특성 검사부로서 제1 화상 검사부(8) 및 제2 화상 검사부(9)를 이용해도 된다.In the above description, the photoelectric characteristic inspection unit 10 is shown as the characteristic inspection unit for inspecting the work W1. However, the present invention is not limited to this, and the first image inspection unit 8 and the second image inspection unit 9, May be used.

또한, 이상의 설명에 있어서는, 검사를 종료한 워크(W1)를 배출하는 배출부로서, 각 검사의 결과가 불량이었던 워크(W1)를 워크 수납 구멍(3)으로부터 배출하는 불량품 배출부(11)와, 상기 각 검사의 결과가 양품이었던 워크(W1)를 워크 수납 구멍(3)으로부터 배출하는 양품 배출부(12)의 2개를 설치한 예를 나타냈지만, 이에 한하지 않으며 양품 배출부(12) 대신에, 검사 결과에 의거해 워크(W1)를 복수의 등급으로 분류해서, 각 등급에 대응하는 수납 상자에 배출하는 분류 배출부를 배치해도 된다.In the above description, the discharge unit for discharging the inspected workpiece W1 includes a defective-part discharge unit 11 for discharging the workpiece W1 whose result of inspection is defective from the work receiving hole 3 And the good product discharging portion 12 for discharging the work W1 which was the good product as a result of the above inspection from the work receiving hole 3 has been described as an example. Instead, the work W1 may be classified into a plurality of grades based on the inspection result, and the sorting and discharging portion for discharging the work W1 into the storage box corresponding to each grade may be arranged.

또한, 이상의 설명에 있어서는, 반송 테이블(2)이 수평으로 설치되어 있는 예를 나타냈지만, 이에 한하지 않으며, 본 발명은 반송 테이블(2)이 수직으로 설치되어 있는 경우 및 경사져서 설치되어 있는 경우에도 적용할 수 있다.In the above description, the conveyance table 2 is provided horizontally. However, the present invention is not limited to this, and the present invention can be applied to a case where the conveyance table 2 is vertically installed or inclined .

또한, 이상의 설명에 있어서는, 광전기 특성 검사부(10)에 있어서 워크(W1)의 전극(W1a 및 W1b)에 대해 각각 1개의 프로브(P1a 및 P1b)를 맞닿게 하는 예를 나타냈지만, 이에 한하지 않으며, 본 발명은 전극(W1a 및 W1b)에 대해 각각 2개의 프로브를 맞닿게 하는 4단자 측정의 경우에도 적용할 수 있다.In the above description, the probes P1a and P1b are respectively brought into contact with the electrodes W1a and W1b of the work W1 in the photoelectric characteristic inspection section 10, but the present invention is not limited thereto , The present invention can also be applied to a case of four-terminal measurement in which two probes are respectively brought in contact with electrodes W1a and W1b.

이상과 같이 본 실시형태에 따르면, 반송 테이블(2)의 워크 수납 구멍(3)의 위치에 있어서, 중심측의 테이블 베이스(1)측에 워크 수납 구멍(3)에 인접해서 테이블 팁(5)을 형성하며, 테이블 팁(5)을 워크 수납 구멍(3) 내로 돌출시킨 압압면(5s)에 워크(W1)의 고경도부를 반송 테이블(2)의 외측으로부터 푸셔(15)에 의해 압압해 특성 측정 시에 고정하고 있다. 이 때문에, 워크(W1)의 저경도부인 발광체는 고정 시에 어디에도 맞닿지 않아 압압에 의해 흠집이 생기는 것을 방지할 수 있다. 또한, 압압 시에 워크(W1)의 제조 편차에 기인해서 생기는 워크(W1)의 자세 경사를, 푸셔(15)의 이동 거리 계측 및 흡인 통로(22x) 내의 진공도 계측으로 이루어지는 2종류의 계측에 의해 확실하게 검출할 수 있다. 또한, 자세 경사를 검출한 워크(W1)를 자세 불량 워크 배출부(16)에 의해 배출해서 다음의 워크를 검사하므로, 검사 효율 및 검사 정밀도의 향상 및 작업원의 가동 시간 저감을 실현할 수 있다.As described above, according to the present embodiment, the table tip 5 is provided adjacent to the work receiving hole 3 on the table base 1 side on the center side at the position of the work receiving hole 3 of the transfer table 2, And presses the high hardness portion of the work W1 from the outside of the transfer table 2 by the pusher 15 to the pressing surface 5s which protrudes the table tip 5 into the work receiving hole 3, It is fixed at the time of measurement. Therefore, the light emitting body having a low hardness of the work W1 can be prevented from being scratched by the pressing force because the light emitting body does not touch anything at the time of fixing. The attitude inclination of the work W1 caused by the manufacturing deviation of the work W1 at the time of pressing is measured by two kinds of measurement including the measurement of the moving distance of the pusher 15 and the measurement of the degree of vacuum in the suction passage 22x It can be reliably detected. Further, the work W1 having detected the posture inclination is ejected by the posture improper work ejection portion 16 to inspect the next workpiece, so that it is possible to improve inspection efficiency, inspection accuracy, and reduce the operation time of the worker.

1 : 테이블 베이스 2 : 반송 테이블
3 : 워크 수납 구멍 4 : 중심축
5 : 테이블 팁 5s : 압압면
6 : 리니어 피더 7 : 분리 공급부
8 : 제1 화상 검사부 9 : 제2 화상 검사부
10 : 광전기 특성 검사부 10a : 흡인 분사 통로
11 : 불량품 배출부 12 : 양품 배출부
13 : 테이블 커버 14 : 테이블 가이드
15 : 푸셔 15a : 맞닿음부
15d : 검출 블록 15e : 근접 센서
16 : 자세 불량 워크 배출부 16a : 배출 헤드
16b : 배출 파이프 17 : 제어부
18 : 진공 발생원 19 : 배출부 전환 밸브
20 : 압축 에어원 21 : 검사부 전환 밸브
22 : 진공 발생원 23 : 압축 에어원
24 : 진공압계 25 : 수납 상자
26 : 통과 센서 P1a, P1b : 프로브
W1 : 워크 W1x : 본체
W1p : 발광체 W1a, W1b : 전극
1: table base 2: return table
3: Work receiving hole 4: Center axis
5: Table tip 5s:
6: Linear feeder 7: Separation feeder
8: first image checking unit 9: second image checking unit
10: photoelectric characteristic inspection part 10a: suction jet passage
11: Defective product discharge part 12: Good product discharge part
13: Table Cover 14: Table Guide
15: pusher 15a: abutment part
15d: detection block 15e: proximity sensor
16: Bad posture work discharge part 16a: Discharge head
16b: exhaust pipe 17:
18: Vacuum generator 19: Discharge part switching valve
20: Compressed air source 21: Inspection portion switching valve
22: Vacuum generator 23: Compressed air source
24: vacuum pressure system 25: storage box
26: passage sensor P1a, P1b: probe
W1: Work W1x: Body
W1p: luminous body W1a, W1b: electrode

Claims (8)

고경도부와 저경도부를 갖는 워크의 특성을 측정하는 워크의 특성 측정 장치에 있어서,
테이블 베이스와,
상기 테이블 베이스 상에 회전 가능하게 배치되며, 바깥쪽으로 개구되는 개구부를 가짐과 함께 워크를 수납하는 복수의 워크 수납 구멍이 외주연(外周緣)을 따라 설치된 반송 테이블과,
상기 반송 테이블의 외주부에 설치되며, 상기 워크 수납 구멍 내에 수납된 워크의 특성 측정을 행하는 워크의 특성 검사부를 구비하고,
상기 워크의 특성 검사부는, 워크에 맞닿아서 워크의 특성 검사를 행하는 검사 부재와, 워크 수납 구멍 내의 워크를 워크 수납 구멍 중 개구부에 대향하는 내벽측을 향해서 고정하는 고정 수단을 갖고,
각 워크 수납 구멍의 내벽에 워크가 내벽에 맞닿았을 경우에 워크의 저경도부를 도피시키는 노치부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 장치.
A workpiece characteristic measuring apparatus for measuring a characteristic of a workpiece having a hard portion and a low hardness portion,
A table base,
A conveyance table rotatably disposed on the table base and provided with a plurality of work receiving holes having openings that open outwardly and accommodating the work pieces along an outer periphery;
And a characteristic inspection section of a workpiece installed on an outer periphery of the conveyance table for measuring a characteristic of a work stored in the work receiving hole,
The characteristic inspection portion of the work includes an inspection member that performs a property inspection of the work while contacting the work and a fixing means that fixes the work in the work reception hole to the inside wall side facing the opening portion of the work reception hole,
And a notch portion is formed on the inner wall of each work receiving hole to escape the low hardness portion of the work when the work is brought into contact with the inner wall.
제1항에 있어서,
상기 고정 수단은 개구부로부터 내벽측을 향해서 워크의 고경도부를 압압(押壓)하는 푸셔로 이루어지고,
상기 워크의 특성 검사부는 푸셔의 이동 거리를 계측하는 거리 계측 수단과, 거리 계측 수단에 의해 계측된 이동 거리가 미리 규정된 거리보다 클 경우에, 제어부에 의해 작동해서 워크 수납 구멍 내의 워크를 배출하는 강제 배출 수단을 더 갖는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the fixing means comprises a pusher for pressing the high-hardness portion of the work from the opening toward the inner wall,
A distance measuring unit for measuring a moving distance of the pusher; and a control unit for operating the workpiece in the work receiving hole when the moving distance measured by the distance measuring unit is greater than a predetermined distance Further comprising a forced discharge means.
제1항에 있어서,
상기 워크의 특성 검사부는, 테이블 베이스에 설치되어 테이블 베이스를 향해서 워크를 흡인하는 흡인 통로와, 흡인 통로 내의 진공도를 계측하는 진공도 계측 수단과, 진공도 계측 수단에 의해 계측된 진공도가 미리 규정된 진공도보다 낮을 경우에, 제어부에 의해 워크 수납 구멍 내의 워크를 배출하는 강제 배출 수단을 더 갖는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 장치.
The method according to claim 1,
The characteristic inspection unit of the workpiece includes a suction path that is installed on the table base and sucks the workpiece toward the table base, a degree of vacuum measurement means that measures the degree of vacuum in the suction path, and a degree of vacuum degree measured by the degree of vacuum measurement means Further comprising forced discharge means for discharging the work in the work receiving hole by the control section when the temperature of the workpiece is low.
제2항 또는 제3항에 있어서,
상기 강제 배출 수단은, 워크 수납 구멍 내의 워크가 배출된 것을 검출하는 배출 검출 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 장치.
The method according to claim 2 or 3,
Wherein the forced discharge means includes discharge detection means for detecting discharge of the work in the work receiving hole.
고경도부와 저경도부를 갖는 워크의 특성을 측정하는 워크의 특성 측정 방법에 있어서,
테이블 베이스 상에 회전 가능하게 배치되며, 바깥쪽으로 개구되는 개구부를 가짐과 함께 워크를 수납하는 복수의 워크 수납 구멍이 외주연을 따라 설치된 반송 테이블에 의해서 워크를 반송하는 반송 공정과,
상기 반송 테이블의 외주부에 설치되며, 상기 워크 수납 구멍 내에 수납된 워크의 특성 검사를 워크의 특성 검사부에 의해서 행하는 워크의 특성 검사 공정을 구비하고,
상기 워크의 특성 검사 공정은, 워크 수납 구멍 내의 워크를 워크 수납 구멍 중 개구부에 대향하는 내벽측을 향해서 고정 수단에 의해 고정하는 워크의 고정 공정과, 워크에 맞닿아서 워크의 특성 검사를 행하는 검사 부재에 의해 워크의 특성 검사를 행하는 검사 공정을 갖고,
각 워크 수납 구멍의 내벽에 워크가 내벽에 맞닿았을 경우에 워크의 저경도부를 도피시키는 노치부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 방법.
A method of measuring a characteristic of a workpiece having a hard portion and a low hardness portion,
A conveying step of conveying the workpiece by a conveyance table rotatably disposed on the table base and provided with a plurality of work receiving holes having openings that open outwardly,
And a characteristic inspecting step of the workpiece inspecting step of inspecting the characteristic of the workpiece accommodated in the work receiving hole, the workpiece inspecting step being provided on the outer periphery of the transporting table,
Characterized in that the step of inspecting the characteristics of the work includes a step of fixing the work in the work receiving hole by the fixing means toward the inner wall side facing the opening of the work receiving hole and a step of inspecting the characteristics of the work, And an inspection step of inspecting the characteristics of the workpiece by the member,
And a notch portion for escaping the low hardness portion of the work when the work is brought into contact with the inner wall is formed on the inner wall of each work receiving hole.
제5항에 있어서,
상기 고정 수단은 개구부로부터 내벽측을 향해서 워크의 고경도부를 압압하는 푸셔로 이루어지고,
상기 워크의 특성 측정 공정은 푸셔의 이동 거리를 계측하는 거리 계측 공정과, 거리 계측 공정에 의해 계측된 이동 거리가 미리 규정된 거리보다 클 경우에, 제어부에 의해 작동해서 워크 수납 구멍 내의 워크를 배출하는 강제 배출 공정을 더 갖는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 방법.
6. The method of claim 5,
Wherein the fixing means comprises a pusher for pressing the high-hardness portion of the work from the opening toward the inner wall,
A step of measuring a characteristic of the workpiece includes a distance measuring step of measuring a moving distance of the pusher and a step of measuring a distance of the pusher when the moving distance measured by the distance measuring step is larger than a predetermined distance, And a forced discharge step of discharging the workpiece.
제5항에 있어서,
상기 워크의 특성 측정 공정은, 테이블 베이스에 설치된 흡인 통로에 의해 테이블 베이스를 향해서 워크를 흡인하는 흡인 공정과, 흡인 통로 내의 진공도를 계측하는 진공도 계측 공정과, 진공도 계측 공정에 의해 계측된 진공도가 미리 규정된 진공도보다 낮을 경우에, 제어부에 의해 워크 수납 구멍 내의 워크를 배출하는 강제 배출 공정을 더 갖는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 방법.
6. The method of claim 5,
The characteristic measurement step of the workpiece includes a suction step of suctioning the workpiece toward the table base by a suction passage provided on the table base, a vacuum degree measurement step of measuring the degree of vacuum in the suction passage, and a vacuum degree measurement step of measuring the degree of vacuum in the vacuum degree measurement step Further comprising a forced discharging step of discharging the work in the work receiving hole by the control unit when the degree of vacuum is lower than the prescribed degree of vacuum.
제6항 또는 제7항에 있어서,
상기 강제 배출 공정은, 워크 수납 구멍 내의 워크가 배출된 것을 검출하는 배출 검출 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 워크의 특성 측정 방법.
8. The method according to claim 6 or 7,
Wherein the forced discharge step includes a discharge detection step of detecting discharge of a work in the work receiving hole.
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