KR101677732B1

KR101677732B1 - Scribing wheel and method for manufacturing the same

Info

Publication number: KR101677732B1
Application number: KR1020130099503A
Authority: KR
Inventors: 다까시 세끼지마; 요시유끼 아사이
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2010-10-08
Filing date: 2013-08-22
Publication date: 2016-11-18
Also published as: TW201441172A; TW201219326A; CN104529143A; CN102557422A; TWI449680B; CN102557422B; JP2012081623A; TWI529147B; KR20120036740A; KR20130102521A; JP5174118B2

Abstract

본 발명의 과제는 원판 형상 휠의 원주를 따라 V자형의 날 끝을 형성한 스크라이빙 휠에 있어서, 스크라이브해서 분단한 취성 재료 기판의 단부면 강도를 향상시키는 것이다.
스크라이빙 휠의 원주를 예비 연마에 의해 V자 형상으로 형성해서 연마면(13)으로 하고, 다음에 선단 부분을 원하는 꼭지각 α2가 되도록 마무리 연마에 의해 연마면(16)을 형성한다. 또한 연마면(16)을 슈퍼 피니싱 연마하여, 연마면(17)을 형성한다. 이렇게 하면 날 끝의 능선의 요철을 적게 할 수 있고, 스크라이브 했을 때의 취성 재료 기판의 단부면 강도를 향상시킬 수 있다. The object of the present invention is to improve the end face strength of a brittle material substrate scribed and divided in a scribing wheel in which a V-shaped blade edge is formed along the circumference of a disc-shaped wheel.
The circumference of the scribing wheel is formed into a V-shape by preliminary polishing to form the polishing surface 13, and then the polishing surface 16 is formed by finish polishing so that the tip portion becomes a desired vertex angle? 2. Further, the polishing surface 16 is subjected to super finishing polishing to form the polishing surface 17. By doing so, it is possible to reduce the roughness of the ridgeline at the end of the blade and to improve the strength of the end face of the brittle material substrate when scribed.

Description

[0001] SCRIBING WHEEL AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME [0002]

본 발명은 글래스 기판 등의 취성 재료 기판을 스크라이브하기 위한 스크라이빙 휠 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing wheel for scribing a brittle material substrate such as a glass substrate and a manufacturing method thereof.

종래의 스크라이빙 휠은 초경합금제 또는 소결 다이아몬드제의 원판에 대하여 원주부를 양측으로부터 서로 비스듬히 절삭하여, 원주면에 V자형의 날 끝을 형성하고 있다. 스크라이빙 휠은 중심에 관통 구멍을 가지고 있고, 스크라이빙 장치의 스크라이브 헤드 등에 회전 가능하게 피봇장착되어 사용된다. A conventional scribing wheel is formed by cutting a circumferential portion of a cemented carbide or sintered diamond-shaped disk obliquely from both sides to form a V-shaped blade end on a circumferential surface. The scribing wheel has a through hole at the center and is used to be rotatably pivotally mounted on a scribing head of a scribing device or the like.

종래는 스크라이빙 휠의 원주면에 V자형의 날 끝을 형성하기 위해서는 우선 원판(101)의 중심에 관통 구멍(102)을 형성한다. 도 1의 (a)는 이 원판(101)의 측면도를 도시하고 있다. 그 다음에 도 1의 (b)에 측면도, 도 1의 (c)에 정면도를 도시한 바와 같이 원주 부분을 양측으로부터 V자 형상으로 연마해서 날 끝부(103)로 한다. 경우에 따라서는 날 끝부(103)를 더욱 미세한 입도의 연마제에 의해 마무리 연마하여, 스크라이빙 휠(100)을 구성하고 있다.Conventionally, in order to form a V-shaped blade edge on the circumferential surface of the scribing wheel, a through hole 102 is formed at the center of the disk 101 first. Fig. 1 (a) shows a side view of the disk 101. Fig. Then, as shown in a side view in Fig. 1 (b) and a front view in Fig. 1 (c), the circumferential portion is polished in a V-shape from both sides to form a blade end portion 103. [ In some cases, the blade end portion 103 is finishingly polished by a finer granular material to constitute the scribing wheel 100.

특허 제3759317호 공보Patent No. 3759317

글래스 기판 등의 취성 재료 기판을 분단할 때는, 스크라이빙 휠을 사용해서 스크라이브한 후 스크라이브 라인에 따라 분단하나, 분단한 취성 재료 기판 단부면에는 흠집이 남기 때문에 압력이 가해졌을 때에 단부면으로부터 파괴되는 경우가 많다. 스크라이빙 휠의 원주면에 형성된 V자형의 날 끝에 요철이 있으면 분단했을 때의 취성 재료 기판 단부면에 흠집이 남기 때문에, 취성 재료 기판의 기계적인 강도가 저하된다. 그로 인해, 스크라이빙 휠의 V자형의 날 끝의 능선에는 가능한 한 요철이 적은 쪽이 바람직하다. 최근에는 플랫 패널 디스플레이 등에 사용하는 글래스 기판의 박판화가 요망되고 있고, 또한 휴대 기기 등의 소형 기기에서는 글래스의 판 두께가 예를 들어 0.4mm 내지 0.2mm로 얇게 되어 있다. 이러한 얇은 글래스에서는 기판의 강도가 저하하기 때문에, 취성 재료 기판 단부면 강도의 저하가 큰 문제가 되고 있다. When a brittle material substrate such as a glass substrate is divided, scribing is performed using a scribing wheel, followed by division according to the scribe line, and scratches are left on the end faces of the divided brittle material substrate. . If the V-shaped blade edge formed on the circumferential surface of the scribing wheel has irregularities, scratches are left on the end surface of the brittle material substrate at the time of division, and the mechanical strength of the brittle material substrate is lowered. Therefore, it is preferable that the ridgeline of the V-shaped blade edge of the scribing wheel has as few irregularities as possible. In recent years, it has been desired to thin a glass substrate used for a flat panel display or the like, and in a small-sized device such as a portable apparatus, the thickness of the glass is thin, for example, from 0.4 mm to 0.2 mm. In such a thin glass, the strength of the substrate is lowered, so that the strength of the end face of the brittle material substrate is greatly reduced.

스크라이빙 휠의 날 끝 능선의 요철을 적게 하기 위해서는, 더욱 미세한 연마제를 사용해서 연마할 필요가 있다. 그런데 종래의 스크라이빙 휠에서는, V자형의 날 끝을 형성하기 위한 예비 연마와 마무리 연마를 동일한 면적에 대해서 하고 있다. 연마제의 입경은 작을수록 연마하기 어려워지기 때문에, 마무리 연마에 있어서 입경이 작은 연마제를 사용할 수록 가공 시간이 길어진다고 하는 문제점이 있었다. In order to reduce the unevenness of the ridgeline of the edge of the scribing wheel, it is necessary to polish using a finer abrasive. However, in the conventional scribing wheel, the preliminary polishing and the finish polishing for forming the V-shaped blade end are performed for the same area. The smaller the particle size of the abrasive is, the more difficult it is to grind. Therefore, there is a problem that the use of an abrasive having a small particle diameter in the finish polishing increases the processing time.

본 발명은 이러한 종래의 문제점에 착안해서 이루어진 것으로, 스크라이빙 휠에 있어서 V자형의 날 끝을 형성할 때의 연마 가공 시간을 단축하는 스크라이빙 휠 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a scribing wheel for shortening a polishing time for forming a V-shaped blade edge in a scribing wheel and a manufacturing method thereof .

이 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 원판 형상 휠의 원주부를 따라 V자형의 날 끝을 형성하여 이루어지는 스크라이빙 휠의 제조 방법이며, 원판의 중심 위치에 관통 구멍을 형성하고, 상기 원판의 원주를 따라 측면의 양측으로부터 서로 경사지게 절삭되도록 예비 연마해서 제1 연마면을 형성함으로써 원주 부분을 제1의 꼭지각을 갖는 V자 형상으로 하여 형성하고, 상기 V자 형상의 제1 연마면의 선단 부분만을 마무리 연마해서 제1 꼭지각보다 큰 제2 꼭지각을 갖는 날 끝부로 하여 제2 연마면을 형성하고, 상기 제2 연마면을 슈퍼 피니싱 연마하는 것이다. In order to solve this problem, the present invention is a manufacturing method of a scraping wheel, wherein a V-shaped blade edge is formed along a circumference of a disc-shaped wheel, wherein a through hole is formed at a center position of the disc, Like shape having a first apex angle so as to form a first polishing surface by preliminarily polishing so as to be sloped from both sides of the side face along the circumference of the side face so as to form a V- The second polishing surface is formed as a blade edge having a second apex angle larger than the first apex angle, and the second polishing surface is polished by super finishing.

이 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은, 원판 형상 휠의 원주부를 따라 V자형의 날 끝을 형성하여 이루어지는 스크라이빙 휠의 제조 방법이며, 원판의 중심 위치에 관통 구멍을 형성하고, 상기 원판의 원주를 따라 측면의 양측으로부터 서로 경사지게 절삭되도록 예비 연마해서 제1 연마면을 형성함으로써 원주 부분을 제1 꼭지각을 갖는 V자 형상으로 하여 형성하고, 상기 V자 형상의 제1 연마면을 마무리 연마해서 제2 연마면을 형성하고, 상기 제2 연마면의 선단 부분만을 제1 꼭지각보다 큰 제2 꼭지각을 갖는 날 끝부로서 슈퍼 피니싱 연마하는 것이다. In order to solve this problem, the present invention is a manufacturing method of a scraping wheel, wherein a V-shaped blade edge is formed along a circumference of a disc-shaped wheel, wherein a through hole is formed at a center position of the disc, So as to form a first polishing surface so as to form a V-shape having a first apex angle, and the first V-shaped polishing surface is subjected to finish polishing And super finishing is performed as a blade edge portion having a second apex angle larger than the first apex angle only at the tip end portion of the second polishing surface.

여기서 상기 슈퍼 피니싱 연마에 사용하는 연마제는, 바람직하게는 6000번 이상이며, 더욱 바람직하게는 8000번 이상이며, 더욱 바람직하게는 10000번 이상이다. 입도 3000번 이하이면, 분단한 취성 재료 기판 단부면에는 흠집이 남기 쉬운 경향이 있다. The abrasive used in the superfinishing polishing is preferably at least 6,000 times, more preferably at least 8,000 times, and more preferably at least 10,000 times. If the particle size is 3,000 or less, scratches tend to remain on the end faces of the divided brittle material substrate.

이 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 스크라이빙 휠은, 원판 형상 휠의 원주부를 따라 제1 꼭지각이 되도록 V자 형상으로 형성한 제l 연마면을 갖고, 상기 제l 연마면의 선단의 능선에 상기 제1 꼭지각보다 큰 제2 꼭지각을 갖는 제2 연마면을 갖는 것이다.In order to solve this problem, a scribing wheel of the present invention has a first polishing surface formed in a V-shape so as to be a first apex angle along a circumference of a disc-like wheel, And a second polishing surface having a second apex angle larger than the first apex angle on the ridge line.

이와 같은 특징을 갖는 본 발명에 따르면, 스크라이빙 휠의 날 끝을 예비 연마하고, V자형으로 구성함과 동시에, 그 선단 부분만을 마무리 연마하고, 그 후에 슈퍼 피니싱 연마하고 있다. 따라서 날 끝으로서 필요한 능선 부분의 요철을 적게 할 수 있다. 이 때문에 스크라이빙 휠을 사용해서 취성 재료 기판을 분단했을 때에 단부면 강도를 향상시킬 수 있다고 하는 우수한 효과가 얻어진다. 이러한 특징은 특히 얇은 취성 재료 기판을 스크라이브하고, 절단할 때에 특히 유효해진다.According to the present invention having such characteristics, the blade end of the scribing wheel is preliminarily polished to form a V-shape, and only the front end portion thereof is finishingly polished, and then super finishing is performed. Therefore, it is possible to reduce the unevenness of the ridge line portion required as the end of the blade. Therefore, when the brittle material substrate is divided using the scribing wheel, an excellent effect that the strength of the end face can be improved can be obtained. This feature is particularly effective when scribing and cutting a thin brittle material substrate.

도 1은 종래예에 의한 스크라이빙 휠과 그 제조 과정을 도시하는 측면도 및 정면도이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 의한 스크라이빙 휠의 정면도 및 측면도이다.
도 3은 본 실시 형태에 의한 스크라이빙 휠의 제조 과정을 도시하는 측면도이다.
도 4는 슈퍼 피니싱 연마를 행한 스크라이빙 휠의 선단 부분을 도시하는 확대도이다.
도 5는 스크라이빙 휠의 기계적 강도의 시험 상태를 도시하는 도면이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 형태에 의한 스크라이빙 휠의 제조 과정을 도시하는 측면도이다.1 is a side view and a front view showing a conventional scribing wheel and its manufacturing process.
2 is a front view and a side view of a scribing wheel according to an embodiment of the present invention.
3 is a side view showing a manufacturing process of the scraping wheel according to the embodiment.
Fig. 4 is an enlarged view showing a tip portion of the scraping wheel subjected to superfinishing polishing; Fig.
5 is a diagram showing a test state of the mechanical strength of the scribing wheel.
6 is a side view showing a manufacturing process of a scribing wheel according to another embodiment of the present invention.

도 2의 (a)는 본 발명의 실시 형태에 의한 스크라이빙 휠의 정면도, 도 2의 (b)는 그 측면도이다. 또 도 3의 (a) 내지 (d)는 이 실시 형태의 스크라이빙 휠의 제조 과정을 도시하는 측면도다. 스크라이빙 휠을 제조할 때는, 우선 도 3의 (a)에 도시하는 원판(11)의 중앙에 도 3의 (b)에 도시한 바와 같이 축 구멍이 되는 관통 구멍(12)을 형성한다. 다음에 이 관통 구멍(12)에 모터 등의 회전축을 연통하여 회전시키면서, 도 3의 (a)에 도시하는 원판(11)의 전체 원주를 양측으로부터 예비 연마해서 도 3의 (b)에 도시한 바와 같이 V자형으로 형성한다. 이 예비 연마의 공정에서는, 예를 들어 입도 300번의 미세분말의 연마제를 사용한 연마를 하는 것으로 한다. 이렇게 해서 형성한 연마면을 연마면(13)으로 한다. 이때의 꼭지각 α1은 날 끝으로서 필요해지는 꼭지각보다도 날카롭게 연마한다. 꼭지각 α1은 바람직하게는 15°내지 140°이며, 더욱 바람직하게는 60°내지 120°이며, 더욱 바람직하게는 80°내지 100°이다. 15°이하이면 능선 선단이 가공시에 파손하기 쉽고, 140°이상이면 날 끝으로서의 실용성이 없어진다. Fig. 2 (a) is a front view of the scraping wheel according to the embodiment of the present invention, and Fig. 2 (b) is a side view thereof. 3 (a) to 3 (d) are side views showing the manufacturing process of the scraping wheel of this embodiment. In manufacturing the scribing wheel, first, a through hole 12 is formed in the center of the disk 11 shown in Fig. 3A as a shaft hole as shown in Fig. 3B. Next, the entire circumference of the disk 11 shown in FIG. 3A is preliminarily polished from both sides while rotating the rotating shaft of a motor or the like connected to the through hole 12, Shaped as shown in FIG. In this preliminary polishing step, for example, polishing is carried out using an abrasive of 300 fine particles. The thus formed polishing surface is referred to as a polishing surface 13. At this time, the vertex angle? 1 is sharpened more sharply than the vertex angle required as a blade edge. The apex angle? 1 is preferably 15 ° to 140 °, more preferably 60 ° to 120 °, and still more preferably 80 ° to 100 °. When the angle is less than 15 degrees, the tip of the ridgeline tends to be damaged at the time of processing. When the angle is 140 degrees or more, practicality as a blade tip is lost.

다음에 예비 연마에서 연마한 연마면(13)에 마무리 연마를 한다. 마무리 연마에서는, 예를 들어 입도 2000번의 미세분말의 연마제를 사용한다. 마무리 연마에서는 도 3의 (c)에 도시한 바와 같이 외형은 대부분 변화되지 않는다. 이렇게 해서 형성한 연마면을 연마면(14)으로 한다. Next, the polished surface 13 polished in the preliminary polishing is subjected to finish polishing. In the finish polishing, for example, an abrasive of fine powder having a particle size of 2000 is used. In the finish polishing, as shown in Fig. 3 (c), most of the external shape is not changed. The thus formed polishing surface is referred to as a polishing surface 14.

또한 본 실시 형태에서는 도 3의 (d)에 도시한 바와 같이 선단 부분에 대해서만 슈퍼 피니싱 연마를 한다. 이 슈퍼 피니싱 연마에서는 입도 6000번 이상의 미세분말의 연마제를 사용해서 연마한다. 또한 이 공정에서는 선단 부분만 원하는 꼭지각 α2(α2>α1)가 되도록 연마를 한다. 도 4는 이 선단 부분을 도시하는 확대도다. 이렇게 해서 형성한 슈퍼 피니싱에 의한 연마면을 15로 한다. 여기서 연마제의 입도는 바람직하게는 입도 6000번 이상이며, 더욱 바람직하게는 8000번 이상이며, 더욱 바람직하게는 10000번 이상이다. 입도 3000번 이하이면, 분단한 취성 재료 기판 단부면에는 흠집이 남기 쉬운 경향이 있다. 여기서 꼭지각 α2는 바람직하게는 90° 내지 140°, 더욱 바람직하게는 95°내지 125°, 더욱 바람직하게는 100°내지 115° 로 한다. 꼭지각 α2가 큰 것은 높은 스크라이브 하중에서 사용하는데 적합하고, 꼭지각 α2가 작은 것은 낮은 스크라이브 하중에서 사용하는데 적합하다. Further, in this embodiment, as shown in Fig. 3 (d), super finishing polishing is performed only on the tip portion. In this superfinishing polishing, polishing is carried out using an abrasive of fine powder having a particle size of 6,000 or more. Also, in this step, only the tip portion is polished so that the desired apical angle? 2 (? 2>? 1) is obtained. 4 is an enlarged view showing this tip portion. The polished surface formed by the super finishing thus formed is set to 15. The particle size of the abrasive is preferably at least 6,000 times, more preferably at least 8,000 times, and even more preferably at least 10,000 times. If the particle size is 3,000 or less, scratches tend to remain on the end faces of the divided brittle material substrate. Here, the vertex angle? 2 is preferably 90 ° to 140 °, more preferably 95 ° to 125 °, and still more preferably 100 ° to 115 °. A large vertex angle α2 is suitable for use at high scribe loads, and a small vertex angle α2 is suitable for use at low scribe loads.

이와 같이 날 끝을 2단의 V자 형상으로 함으로써 스크라이빙 휠로서 필요한 날 끝의 선단 부분만을 슈퍼 피니싱 연마로 하여 가공 면적을 줄임으로써 가공 시간을 단축하면서, 날 끝의 능선의 요철을 적게 할 수 있다. By making the edge of the blade into two V-shaped shapes as described above, only the tip portion of the blade edge required as a scribing wheel is subjected to super finishing polishing to reduce the machining area, thereby shortening the machining time and reducing the unevenness of the ridge of the blade edge .

이와 같이 날 끝의 능선을 날카롭게 한 스크라이빙 휠을 사용해서 스크라이브를 행하고, 취성 재료 기판을 분단하면, 취성 재료 기판의 절단면에 발생하는 흠집을 작게 할 수 있고, 취성 재료 기판 단부면 강도를 강하게 할 수 있다. 취성 재료 기판 단부면 강도는 절단 후의 취성 재료 기판의 기계적 강도를 지배하는 주요한 인자다. 따라서 본 실시 형태에 의한 스크라이빙 휠의 효과를 확인하기 위해서, 본 실시 형태와 종래의 스크라이빙 휠을 사용해서 분단한 취성 재료 기판의 기계적 강도를 비교했다. 도 5는 4점 굽힘 강도의 강도 시험을 하는 시험 장치의 일례를 나타내고 있다. 이 시험에서는 40mm×50mm로 스크라이브해서 분단한 0.3mm 두께의 글래스판을 시험편(20, 2l)으로서 사용했다. 시험편(20)은 종래의 스크라이빙 휠을 사용해서 분단한 것, 시험편(21)은 본 실시 형태에 의한 스크라이빙 휠을 사용해서 분단한 것이다. As described above, when scribing is performed using a scribing wheel that sharpens the ridgeline of the blade edge and the brittle material substrate is divided, it is possible to reduce the scratches on the cut surface of the brittle material substrate, can do. The strength of the end face of the brittle material substrate is a major factor controlling the mechanical strength of the brittle material substrate after cutting. Therefore, in order to confirm the effect of the scraping wheel according to the present embodiment, the mechanical strength of the brittle material substrate divided by using the conventional scraping wheel was compared with the present embodiment. Fig. 5 shows an example of a test apparatus for performing a strength test of four-point bending strength. In this test, a 0.3 mm thick glass plate, which was scribed and divided into 40 mm x 50 mm, was used as the test piece (20, 21). The test piece 20 is divided by using a conventional scribing wheel, and the test piece 21 is divided by using the scribing wheel according to the present embodiment.

도 5에 도시한 바와 같이 베이스(31)의 상면에 소정 간격, 예를 들어 20mm의 간격의 지지대(32, 33)을 배치하고, 그 상부에 시료가 되는 시험편(20), (21)을 스크라이브한 면을 하측으로 하여 배치한다. 시험편(20)의 상부에는 10mm의 간격의 압박부(34, 35)을 갖는 가압부(36)을 적재하고, 균일하게 압박해서 파단할 때까지의 압력을 측정했다. 그리고 종래의 스크라이빙 휠을 사용한 시험편(20)에서는, 상부로부터 인가한 압력이 평균으로 84.8N일 때에 단부면으로부터 분단되고 있었다. 이에 대해 본 실시 형태에 의한 스크라이빙 휠을 사용해서 분단한 시험편(21)을 사용한 경우에는, 평균 파괴 가압이 103.6N이 되어, 단부면 강도가 강해져 있는 것을 확인할 수 있었다. As shown in Fig. 5, support bars 32 and 33 having a predetermined interval, for example, 20 mm, are disposed on the upper surface of the base 31, and test pieces 20 and 21, Place one side down. The pressurizing portion 36 having the pressing portions 34, 35 spaced 10 mm apart was placed on the upper portion of the test piece 20, and the pressure until uniformly pressing and breaking was measured. In the test piece 20 using the conventional scribing wheel, when the pressure applied from the top was 84.8N on average, it was separated from the end surface. On the other hand, when the test piece 21 was divided using the scribing wheel according to the present embodiment, it was confirmed that the average breakdown pressure was 103.6 N and the strength of the end face was strong.

또, 이 실시 형태에서는 원판의 스크라이빙 휠에 대하여 V자형에 예비 연마를 하고, 또한 마무리 연마를 한 후, 선단 부분만을 원하는 각도가 되도록 슈퍼 피니싱 연마를 하고 있다. 이것 대신에 마무리 연마를 할 때에 선단의 각도를 원하는 꼭지각 α2가 되도록 연마해도 좋다. 도 6은 이 실시 형태의 제조 과정을 도시하는 도면이다. 이 경우에는, 도 6의 (a)에 도시하는 원판(11)의 전체 둘레를 예비 연마해서 도 6의 (b)에 도시한 바와 같이 V자형으로 연마한다. 이 후, 선단 부분만을 꼭지각α2가 되도록 연마한다. 이때의 연마면을 (16)으로 한다. 그 다음에 도 6의 (d)에 도시한 바와 같이 선단의 연마면(16)에 다시 슈퍼 피니싱 연마에 의한 연마를 행한다. 이때의 연마면을 (17)로 한다. 예비 연마, 마무리 연마 및 슈퍼 피니싱 연마에서 사용하는 연마제는 전술한 실시 형태의 것과 동일하다. 꼭지각 α1, α2에 대해서도 전술한 바와 같다. 이 경우에는 마무리 연마의 단계에서 꼭지각 α2가 되도록 하고 있기 때문에, 제조 공정을 더욱 효율화할 수 있다. Further, in this embodiment, the V-shaped pre-polishing is performed on the scribing wheel of the original plate, the finish polishing is performed, and then the super finishing polishing is performed so that only the front end portion becomes a desired angle. Instead of this, the angle of the tip may be polished so as to have a desired apical angle? 2 when performing the finish polishing. 6 is a diagram showing a manufacturing process of this embodiment. In this case, the entire periphery of the disk 11 shown in Fig. 6A is preliminarily polished and polished in a V-shape as shown in Fig. 6B. Thereafter, the tip portion is polished so as to have a vertex angle? 2. The polishing surface at this time is defined as (16). Then, as shown in Fig. 6 (d), the polishing surface 16 at the front end is polished again by super finishing polishing. The polishing surface at this time is defined as (17). The abrasive used in the preliminary polishing, the finish polishing and the superfinishing polishing is the same as that of the above-described embodiment. The vertex angles? 1 and? 2 are as described above. In this case, since the apex angle? 2 is obtained at the stage of the finish polishing, the manufacturing process can be made more efficient.

또 여기에서 도시한 연마제의 입도는 일례이며, 이 입도에 한정되지 않는 것은 말할 필요도 없다. The grain size of the abrasive material shown here is an example, and it goes without saying that it is not limited to this grain size.

[산업상의 이용 가능성][Industrial Availability]

상술한 본 발명의 스크라이빙 휠은, 취성 재료 기판을 스크라이브하는 스크라이브 장치에 사용할 수 있고, 특히 얇은 취성 재료 기판을 스크라이브하는 스크라이브 장치에 유효하다.The scribing wheel of the present invention described above can be used in a scribing apparatus for scribing a brittle material substrate and is particularly effective for a scribing apparatus for scribing a thin brittle material substrate.

11 : 스크라이빙 휠
12 : 관통 구멍
13 내지 17 : 연마면11: Scraping wheel
12: Through hole
13 to 17: Polishing surface

Claims

And forming a blade tip having a ridge along a circumferential portion of the disc-shaped wheel, the method comprising the steps of:
The blade tip is preliminarily polished to form a first polishing surface,
Wherein the angle formed by the first polishing surface is a first apex angle, the first apex angle is not less than 80 degrees,
A second polishing surface is formed by finishing only the tip portion of the first polishing surface and forming a blade tip having a second apex angle larger than the first apex angle,
And the second polishing surface is polished by superfinishing with an abrasive having a particle size of 6000 or more so that the second apex angle is 90 to 140 °.

And forming a blade tip having a ridge along a circumferential portion of the disc-shaped wheel, the method comprising the steps of:
The blade tip is preliminarily polished to form a first polishing surface,
Wherein the angle formed by the first polishing surface is a first apex angle, the first apex angle is not less than 80 degrees,
The first polishing surface of the V shape is finely polished to form a second polishing surface,
The second polishing surface may be superfinished by an abrasive having a particle size of 6000 or more so that the second apex angle is 90 to 140 degrees, A method of manufacturing a scribing wheel for polishing.

The method of manufacturing a scraping wheel according to claim 1 or 2, wherein the second polishing surface is superfinished with an abrasive agent having a particle size of 10,000 or more.

A scribing wheel having a first polishing surface on a V-shaped blade edge having a ridge along a circumference of a disc-shaped wheel,
Wherein the angle formed by the first polishing surface is a first apex angle, the first apex angle is not less than 80 degrees,
And a second polishing surface having a second apex angle larger than the first apex angle on the ridge line at the tip of the first polishing surface, wherein the second polishing surface is superfinished with an abrasive having a particle size of 6000 or more, Wherein the vertex angle is 90 to 140 degrees.

The scribing wheel according to claim 4, wherein the second polishing surface is superfinished with an abrasive agent having a particle size of 10,000 or more.