KR101657429B1 - Glass substrate for flat panel display and method for manufacturing the same, and liquid crystal display - Google Patents

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Abstract

고콘트라스트의 플랫 패널 디스플레이의 유리 기판으로서, 투광성을 갖지 않고, 긴 변 길이가 50㎛를 초과하고, 짧은 변 길이가 5㎛ 미만인 내부 결함과, 상기 내부 결함의 위치에 대응하는 상기 유리 기판의 주 표면 상의 위치에, 상기 주 표면으로부터의 높이가 0.15㎛ 미만인 볼록부를 갖는 유리 기판을 사용한다.A glass substrate for a high-contrast flat panel display comprising: an internal defect having no light transmitting property, having a long side length exceeding 50 占 퐉 and a short side length of less than 5 占 퐉, A glass substrate having convex portions having a height from the main surface of less than 0.15 占 퐉 is used at a position on the surface.

Description

플랫 패널 디스플레이용 유리 기판 및 그 제조 방법, 및 액정 디스플레이 {GLASS SUBSTRATE FOR FLAT PANEL DISPLAY AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY}FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a glass substrate for a flat panel display, a method of manufacturing the same,

본 발명은, 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판 및 그 제조 방법, 액정 디스플레이에 관한 것이다.The present invention relates to a glass substrate for a flat panel display, a manufacturing method thereof, and a liquid crystal display.

액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이에 사용되는 유리 기판에는, 유리 기판 중에 존재하는 내부 결함에 대해 요구되는 기준이 있다. 기준을 만족시키지 않는 유리 기판은, 폐기 처분 등이 되고 있었다.Glass substrates used in flat panel displays such as liquid crystal displays, plasma displays, etc. have a required criterion for internal defects present in glass substrates. Glass substrates that do not satisfy the criteria have been disposal.

그러나, 내부 결함이 광을 차단하는 일이 없는 기포인 경우는, 유리 기판이 내부 결함을 갖는 경우라도 불량품이라고는 판별하지 않는 판별 방법이 제안되어 있다(특허문헌 1 참조).However, in the case of bubbles in which internal defects do not block light, a discrimination method which does not discriminate defective products even when the glass substrate has internal defects has been proposed (see Patent Document 1).

이에 대해, 이물질 등의 투광성을 갖지 않는 내부 결함에 대해서는, 여전히 엄격한 기준이 적용되고 있고, 특히 액정 디스플레이용 유리 기판에 있어서는, 유리 기판 중에 소정의 사이즈를 초과하는 크기의 내부 결함이 존재하는 경우, 불량품이라고 판별된다.On the other hand, strict criterion is still applied to internal defects having no light transmittance such as foreign substances. Particularly in a glass substrate for a liquid crystal display, when an internal defect having a size exceeding a predetermined size exists in a glass substrate, It is determined to be a defective product.

일본 특허 제4618426호 공보Japanese Patent No. 4618426

본 발명은, 고콘트라스트의 플랫 패널 디스플레이에 사용하는 것이 가능한 유리 기판 및 그 제조 방법, 및 액정 디스플레이를 제공하는 것을 목적으로 한다.It is an object of the present invention to provide a glass substrate which can be used for a high-contrast flat panel display, a manufacturing method thereof, and a liquid crystal display.

본 발명자는, 예의 검토한 결과, 예를 들어 IPS(In-Place-Switching) 방식, VA(Virtical Alignment) 방식 등의 고콘트라스트의 액정 디스플레이에서는, 종래의 액정 디스플레이에서는 품질상 문제가 되지 않았던 유리 기판 주 표면의 볼록부가, 디스플레이의 품질에 크게 영향을 미치는 것을 발견하였다. 이때, 내부 결함이 투광성을 갖지 않고, 내부 결함의 긴 변 길이가 50㎛를 초과하는 경우라도, 짧은 변 길이가 5㎛ 미만이고, 또한 내부 결함에 기인하는 볼록부가, 유리 기판의 주 표면에 있어서 소정 높이 이상 형성되지 않으면, 고화질 디스플레이용의 유리 기판에도 사용 가능한 것을 발견하였다. 보다 구체적으로는, 유리 기판 상에 볼록부가 존재하는 경우라도, 볼록부의 높이가 0.15㎛ 미만인 경우는, 상기 볼록부가 디바이스 형성측의 면에 사용되었다고 해도, 품질상 문제가 되지 않는 것을 발견하였다.As a result of intensive investigations, the inventors of the present invention have found that, in a high contrast liquid crystal display such as an IPS (In-Place-Switching) system or VA (Virtical Alignment) system, The convexity of the surface greatly affects the quality of the display. At this time, even if the internal defect does not have translucency and the long side length of the internal defect exceeds 50 탆, the short side length is less than 5 탆, and the convex portion due to the internal defect is formed on the main surface of the glass substrate It has been found that a glass substrate for a high-quality display can be used even if it is not formed over a predetermined height. More specifically, even when a convex portion exists on a glass substrate, when the height of the convex portion is less than 0.15 占 퐉, it has been found that quality is not a problem even if the convex portion is used on the device formation side.

본 발명자는, 이상의 지견에 기초하여, 본 발명을 완성시켰다.The present inventors have completed the present invention based on the above findings.

즉, 본 발명의 일 형태에 관한 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판은,That is, in the glass substrate for a flat panel display according to one embodiment of the present invention,

유리 기판으로서,As a glass substrate,

긴 변 길이가 50㎛를 초과하고 200㎛ 이하이며, 짧은 변 길이가 5㎛ 미만인 차광성의 내부 결함과,Shielding inner defect having a long side length of more than 50 mu m and not more than 200 mu m and a short side length of less than 5 mu m,

상기 내부 결함의 위치에 대응하는 상기 유리 기판의 주 표면 상의 위치에 형성되고, 상기 주 표면으로부터의 높이가 0.15㎛ 미만인 볼록부를 갖고,
두께가 0.1∼1.5mm이고,
SiO2는 55∼75몰％, Al2O3는 5∼20몰％, B2O3는 0∼15몰％, RO는 5∼20몰％(R은 Mg, Ca, Sr 및 Ba 중 상기 유리 기판에 포함되는 모든 원소를 나타냄), R'2O는 0∼0.8몰％(R'은 Li, K 및 Na 중 상기 유리 기판에 포함되는 모든 원소를 나타냄)를 포함하는 유리 기판을, 플랫 패널 디스플레이 유리 기판으로서 사용하는 것을 특징으로 한다.A convex portion formed at a position on the main surface of the glass substrate corresponding to the position of the internal defect and having a height from the main surface of less than 0.15 mu m,
A thickness of 0.1 to 1.5 mm,
SiO 2 is 55 to 75 mol%, Al 2 O 3 is 5 to 20 mol%, B 2 O 3 is 0 to 15 mol%, RO is 5 to 20 mol% (R is Mg, Ca, Sr, And R ' 2 O represents 0 to 0.8 mol% (R' represents all the elements included in the glass substrate among Li, K and Na) And is used as a panel display glass substrate.

차광성의 내부 결함이 유리 중에 존재하면, 표시 화소의 결함 등에 의해 디스플레이 품질상의 문제를 발생시킨다.If a light-blocking internal defect is present in the glass, a defect in the display quality causes a problem on the display quality.

또한, 내부 결함이 유리 기판의 주 표면 근방에 존재하면, 유리 기판의 주 표면에는 볼록부가 형성되기 쉽다.Further, if an internal defect exists in the vicinity of the main surface of the glass substrate, a convex portion tends to be formed on the main surface of the glass substrate.

특히, 소정의 크기를 초과하는 차광성의 내부 결함에 기인하여 주 표면에 볼록부가 형성된 유리 기판은, 고콘트라스트의 디스플레이에 사용되면 품질면에서 문제가 발생한다고 하여, 일률적으로 불량품이라고 판별되고 있었다. 그러나, 긴 변 길이가 50㎛를 초과하고, 짧은 변 길이가 5㎛ 미만인 내부 결함에 기인하여 형성되는 볼록부가 유리 기판의 주 표면에 존재하는 경우라도, 볼록부의 유리 기판의 주 표면으로부터의 높이가 0.15㎛ 미만인 경우에는, 고콘트라스트의 디스플레이에 사용해도 문제가 발생하지 않는 것도 알 수 있었다.In particular, a glass substrate on which a convex portion is formed on the main surface due to a light-blocking internal defect exceeding a predetermined size has been judged to be defective uniformly because of a problem in quality when it is used in a high contrast display. However, even when a convex portion formed on the main surface of the glass substrate due to an internal defect having a long side length exceeding 50 占 퐉 and a short side length of less than 5 占 퐉 is present, the height of the convex portion from the main surface of the glass substrate is When the thickness is less than 0.15 mu m, it is also found that no problem occurs even when used for a high contrast display.

따라서, 본 발명에서는, 종래, 제품으로서 품질상 문제가 되지 않음에도 불구하고, 상기한 바와 같은 내부 결함이 존재한다는 이유만으로 불량품이라고 취급되고 있었던 유리 기판을 제품으로서 사용할 수 있도록 하여, 유리 기판 제조의 수율을 개선하고 있다.Therefore, in the present invention, it is possible to use a glass substrate, which has been treated as a defective product, only as a result of the existence of the above-mentioned internal defect as a product, .

상기 내부 결함은, 긴 변 길이가 200㎛ 이하이고, 짧은 변 길이가 1㎛ 이상이고,Wherein the internal defect has a long side length of 200 mu m or less, a short side length of 1 mu m or more,

상기 볼록부의 상기 주 표면으로부터의 높이가 0.10㎛ 미만이고,The height of the convex portion from the main surface is less than 0.10 m,

상기 내부 결함이, 상기 주 표면으로부터 50㎛ 미만의 깊이 영역에 존재해도 된다.The internal defect may be present in a depth region of less than 50 mu m from the main surface.

내부 결함의 긴 변 길이가 200㎛ 이하이고, 또한 짧은 변 길이가 1㎛∼10㎛인 내부 결함은 긴 변 길이가 50㎛를 초과하는 크기라도, 육안으로는 존재하고 있는 것을 알기 어렵다. 따라서, 여기서는, 이러한 사이즈의 내부 결함을 갖는 유리 기판을 대상으로 하고 있다.It is hard to know that an internal defect having a long side length of an internal defect of 200 mu m or less and a short side length of 1 mu m to 10 mu m exists in the naked eye even if the length of the long side exceeds 50 mu m. Therefore, here, a glass substrate having an internal defect of this size is targeted.

또한, 상기 내부 결함의 긴 변 길이가 50㎛를 초과하고 80㎛ 미만이고, 짧은 변 길이가 1㎛ 미만이어도 된다.Further, the length of the long side of the internal defect may be more than 50 탆 and less than 80 탆, and the short side length may be less than 1 탆.

상기 내부 결함은, 선상 백금이어도 된다. 유리 기판의 제조는, 백금 또는 백금 합금제의 반응 장치를 사용하여 행해지는 경우가 있는데, 예를 들어 무알칼리 유리나 알칼리 미량 함유 유리를 원료로 하여 유리 기판을 제조하는 경우, 이들 무알칼리 유리, 알칼리 미량 함유 유리는, 고온 점성이 높기 때문에, 청징조에서는, 특히 용융 유리의 온도를 높게 유지할 필요가 있다. 청징조는, 내열성의 점에서 백금 혹은 백금 합금을 포함하지만, 용융 유리를 고온으로 가열하기 위하여 고온 상태로 되는 청징조에 있어서, 청징조의 기상 공간과 접하는 내벽면으로부터 백금은 휘발되기 쉽다. 또한, 휘발된 백금은, 그 일부가 기상 공간의 내벽면에 재응고되어 내벽면에 백금 혹은 백금 합금의 결정립을 형성하기 쉽다. 이로 인해, 용융 유리 중에 청징조의 내벽면으로부터 결정립의 일부가 이탈하여 선상 백금으로 되어 유리 기판 중에 낙하하는 경우가 있다. 여기서는, 특히 선상 백금을 내부 결함으로서 갖는 유리 기판을 대상으로 하여, 내부 결함의 짧은 변 길이가 5㎛ 미만이며, 유리 기판의 주 표면 볼록부가 0.15㎛ 미만인 경우에, 제품으로서 사용하도록 하고 있다.The internal defect may be a line platinum. The glass substrate may be produced by using a reaction apparatus made of platinum or a platinum alloy. For example, when a glass substrate is produced from a glass containing no alkali or a small amount of alkali as a raw material, these alkali-free glass, alkali Since the minor amount of glass has a high high-temperature viscosity, it is necessary to keep the temperature of the molten glass particularly high in the blue sign. The blue sign includes platinum or a platinum alloy in terms of heat resistance, but platinum is liable to volatilize from the inner wall surface in contact with the vapor space of the blue sign in the blue sign which becomes a high temperature state to heat the molten glass at a high temperature. In addition, some of the volatilized platinum is easily re-solidified on the inner wall surface of the vapor phase space, and crystal grains of platinum or platinum alloy are easily formed on the inner wall surface. As a result, a part of the crystal grains may escape from the inner wall surface of the blue screen in the molten glass, and may be plummeted on the line to drop into the glass substrate. Here, the glass substrate used as a product is particularly intended for a glass substrate having a line-shaped platinum as an internal defect when the short side length of the internal defect is less than 5 占 퐉 and the main surface convex portion of the glass substrate is less than 0.15 占 퐉.

상기 내부 결함은, 상기 주 표면으로부터 50㎛ 미만의 깊이 영역에 존재해도 된다.The internal defect may be present in a depth region of less than 50 mu m from the main surface.

유리 기판의 주 표면 볼록부는, 내부 결함이 유리 기판의 주 표면에 가까운 부분에 있을수록, 주 표면으로부터의 높이가 커져, 그만큼, 디스플레이의 품질에 영향을 미치기 쉬워진다. 그러나, 본 발명의 유리 기판에서는, 그러한 경우라도, 상기 소정의 조건을 만족시키면, 제품으로서 사용할 수 있다.The greater the height of the main surface convex portion of the glass substrate from the main surface, the closer to the main surface of the glass substrate the internal defects are, the more likely the quality of the display is affected. However, even in such a case, the glass substrate of the present invention can be used as a product if the predetermined conditions are satisfied.

또한, 상기 내부 결함의 긴 변 길이가 50㎛를 초과하고 80㎛ 미만이고, 짧은 변 길이가 1㎛ 미만이어도 된다.Further, the length of the long side of the internal defect may be more than 50 탆 and less than 80 탆, and the short side length may be less than 1 탆.

본 발명의 일 형태에 관한 액정 디스플레이는,In a liquid crystal display according to an aspect of the present invention,

상술한 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판을 사용한 액정 디스플레이로서,As a liquid crystal display using the above-described glass substrate for a flat panel display,

상기 유리 기판의 한쪽의 주 표면에 컬러 필터 또는 TFT 디바이스가 형성되고, 상기 주 표면측에 액정층이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.A color filter or a TFT device is formed on one main surface of the glass substrate, and a liquid crystal layer is formed on the main surface side.

상기 액정 디스플레이는, 2000:1 이상의 콘트라스트비를 갖는 경우에 바람직하게 사용된다.The liquid crystal display is preferably used when it has a contrast ratio of 2000: 1 or more.

본 발명의 다른 일 형태에 관한 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판의 제조 방법은,According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a glass substrate for a flat panel display,

두께가 0.1∼1.5mm이고, SiO2는 55∼75몰％, Al2O3는 5∼20몰％, B2O3는 0∼15몰％, RO는 5∼20몰％(R은 Mg, Ca, Sr 및 Ba 중 상기 유리 기판에 포함되는 모든 원소를 나타냄), R'2O는 0∼0.8몰％(R'은 Li, K 및 Na 중 상기 유리 기판에 포함되는 모든 원소를 나타냄)를 포함하는 유리 기판을 제조하는 유리 기판 제조 공정과, 상기 유리 기판 제조 공정에서 제조된 유리 기판을 검사하는 유리 기판 검사 공정을 구비하고,, SiO 2 is 55 to 75 mol%, Al 2 O 3 is 5 to 20 mol%, B 2 O 3 is 0 to 15 mol%, RO is 5 to 20 mol% (R is Mg And R ' 2 O represents 0 to 0.8 mol% (R' represents all the elements contained in the glass substrate among Li, K and Na), Ca, Sr and Ba, And a glass substrate inspection process for inspecting the glass substrate manufactured in the glass substrate production process,

상기 유리 기판 검사 공정에서는, 투광성을 갖지 않고, 긴 변 길이가 50㎛를 초과하고 200㎛ 이하이며, 짧은 변 길이가 5㎛ 미만인 내부 결함을 갖고, 상기 내부 결함의 위치에 대응하는 상기 유리 기판의 주 표면 상의 위치에 형성되고, 상기 주 표면으로부터의 높이가 0.15㎛ 이상인 볼록부를 갖는 유리 기판을 불량이라고 판별하는 것을 특징으로 한다.Wherein the glass substrate inspection step has an internal defect having no light transmittance, a long side length of more than 50 mu m and not more than 200 mu m and a short side length of less than 5 mu m, And a glass substrate having a convex portion formed at a position on the main surface and having a height of 0.15 mu m or more from the main surface is determined as defective.

이 방법에 의하면, 투광성을 갖지 않는 소정 사이즈를 초과하는 크기의 내부 결함을 갖고 있어도, 고콘트라스트의 플랫 패널 디스플레이에 사용하는 것이 가능한 유리 기판을 선별할 수 있다. 이에 의해, 제품 수율이 좋아진다.According to this method, it is possible to select a glass substrate which can be used for a high-contrast flat panel display even if it has an internal defect of a size exceeding a predetermined size that does not have translucency. As a result, the product yield is improved.

상기 내부 결함은, 50㎛를 초과하고 80㎛ 미만의 긴 변 길이를 갖고, 1㎛ 미만의 짧은 변 길이를 가져도 된다.The internal defect may have a long side length of more than 50 mu m and less than 80 mu m and a short side length of less than 1 mu m.

상기 내부 결함은, 선상 백금이어도 된다.The internal defect may be a line platinum.

본 발명에 따르면, 투광성을 갖지 않는 소정 사이즈를 초과하는 크기의 내부 결함을 갖고 있어도, 고콘트라스트의 플랫 패널 디스플레이에 사용하는 것이 가능한 유리 기판이 얻어진다.According to the present invention, it is possible to obtain a glass substrate which can be used for a high-contrast flat panel display even if it has an internal defect of a size exceeding a predetermined size which does not have translucency.

도 1은 본 실시 형태의 유리 기판의 두께 방향 단면을 도시하는 도면이다.
도 2는 도 1에 도시하는 유리 기판을 구비하는 본 실시 형태의 액정 디스플레이의 단면을 도시하는 도면이다.
도 3은 본 실시 형태의 유리 기판의 제조 방법의 플로우의 일례를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 실시 형태에 있어서의 용해 공정∼절단 공정을 행하는 장치의 일례를 모식적으로 도시하는 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a view showing a cross section in the thickness direction of the glass substrate of the present embodiment. Fig.
2 is a diagram showing a cross section of the liquid crystal display of the present embodiment having the glass substrate shown in Fig.
Fig. 3 is a view showing an example of a flow of a manufacturing method of a glass substrate according to the present embodiment.
Fig. 4 is a diagram schematically showing an example of a device for performing the dissolving step to the cutting step in the present embodiment.

이하, 본 발명의 유리 기판 및 유리 기판의 제조 방법, 및 액정 디스플레이에 대해 설명한다.Hereinafter, the glass substrate and the manufacturing method of the glass substrate of the present invention, and the liquid crystal display will be described.

(유리 기판)(Glass substrate)

도 1에, 본 발명의 일 실시 형태에 의한 유리 기판(1)의 두께 방향 단면도를 도시한다.Fig. 1 shows a cross-sectional view in the thickness direction of a glass substrate 1 according to an embodiment of the present invention.

우선, 유리 기판(1)의 개략을 설명한다.First, the outline of the glass substrate 1 will be described.

유리 기판(1)의 두께는, 0.1∼1.5㎜이며, 바람직한 두께의 상한값은, 1.1㎜, 0.7㎜, 0.5㎜이고, 가장 바람직한 상한값은 0.4㎜이다. 한편, 바람직한 두께의 하한값은, 0.2㎜이다.The thickness of the glass substrate 1 is 0.1 to 1.5 mm, the upper limit value of the preferable thickness is 1.1 mm, 0.7 mm, and 0.5 mm, and the most preferable upper limit value is 0.4 mm. On the other hand, the lower limit value of the preferable thickness is 0.2 mm.

유리 기판(1)의 사이즈는, 500∼2500㎜×2500∼3500㎜(짧은 방향 길이×길이 방향 길이)이다.The size of the glass substrate 1 is 500 to 2500 mm x 2500 to 3500 mm (short direction length x length direction length).

유리 기판(1)의 종류는, 보로실리케이트 유리, 알루미노실리케이트 유리, 알루미노보로실리케이트 유리, 소다 석회 유리, 알칼리실리케이트 유리, 알칼리알루미노실리케이트 유리, 알칼리알루미노게르마네이트 유리 등을 들 수 있다. 또한, 액정 디스플레이용 유리판이나 유기 EL(Electro-Luminescence)용 유리판으로서는, 알칼리를 실질적으로 함유하지 않거나, 혹은 알칼리를 극미량밖에 함유하지 않는 유리판을 적용하는 것이 바람직하다.Examples of the glass substrate 1 include borosilicate glass, aluminosilicate glass, aluminoborosilicate glass, soda lime glass, alkali silicate glass, alkali aluminosilicate glass, and alkali alumino germanate glass . In addition, as a glass plate for a liquid crystal display or a glass plate for an organic EL (Electro-Luminescence), it is preferable to apply a glass plate substantially containing no alkali or containing only a very small amount of alkali.

유리 기판(1)은, 액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이, 유기 EL 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이용이며, 고콘트라스트의 플랫 패널 디스플레이용으로서 바람직하게 사용된다. 고콘트라스트의 플랫 패널 디스플레이로서는, 예를 들어IPS 방식 또는 VA 방식의 액정 디스플레이를 들 수 있다. 또한, 고콘트라스트라 함은, 콘트라스트비가 2000:1∼3000:1 정도 이상의 것을 말한다.The glass substrate 1 is used for a flat panel display such as a liquid crystal display, a plasma display, and an organic EL display, and is preferably used for a high-contrast flat panel display. As the high-contrast flat panel display, for example, an IPS system or a VA system liquid crystal display can be mentioned. The high contrast means that the contrast ratio is about 2000: 1 to 3000: 1 or more.

유리 기판(1)은, 본 실시 형태에서는, 액정 디스플레이에 사용되며, 한쪽의 주 표면(3)은, 반도체 소자 어레이 또는 컬러 필터 등의 박막이 형성되는 평활한 면이고, 다른 쪽의 주 표면은, 편광 필터가 설치되는 평활한 면이다.The glass substrate 1 is used in a liquid crystal display in the present embodiment and one main surface 3 is a smooth surface on which a thin film such as a semiconductor element array or color filter is formed and the other main surface , And a flat surface on which a polarizing filter is installed.

도 1에서는, 액정 디스플레이에 사용되는 유리 기판(1)은, 투광성을 갖지 않는 내부 결함(10)을 갖고 있다.In Fig. 1, the glass substrate 1 used for a liquid crystal display has internal defects 10 which do not have translucency.

투광성을 갖지 않는 내부 결함(10)이라 함은, 유리 기판(1) 중에 존재하는 차광성의 결함을 말한다. 유리 기판(1)의 주 표면(3)에 그 일부가 나타나 있는 것은, 내부 결함(10)에는 포함되지 않는다. 내부 결함(10)은, 본 실시 형태에서는, 단면이 원형 또는 삼각형 등인 선상 백금이다. 선상 백금은, 유리 기판의 제조시에, 백금 또는 백금 합금제의 청징조 등의 장치로부터 용융 유리 중에 낙하하여 혼입되었다고 여겨지고 있는, 가늘고 길고 단면이 다각형인 백금 이물질이다. 유리 기판 중에서는, 유리 기판의 제조 공정 중, 용융 유리가 일방향으로 흐름으로써 복수의 선상 백금은 일방향으로 방향을 정렬시키고 있다. 구체적으로는, 도 1에 도시하는 가늘고 긴 선상 백금의 긴 변의 방향은, 후술하는 도 4에 도시하는 성형 장치(200)를 흐르는 시트 유리가 흐르는 방향(도 4 중의 화살표 방향)으로 정렬되어 있다.The internal defect 10 having no translucency means a light-blocking defect present in the glass substrate 1. It is not included in the internal defect 10 that part of the main surface 3 of the glass substrate 1 is shown. The internal defect 10 is, in the present embodiment, a line-shaped platinum having a circular or triangular cross-section. The on-line platinum is a platinum foreign substance which is thin and long and has a polygonal cross section, which is considered to have fallen into molten glass from a device such as a blue sign made of platinum or a platinum alloy at the time of manufacturing a glass substrate. Among the glass substrates, the molten glass flows in one direction during the manufacturing process of the glass substrate, so that the plurality of line-shaped platinum aligns directions in one direction. Specifically, the direction of the long side of the elongated thin linear platinum shown in Fig. 1 is aligned in the direction (arrow direction in Fig. 4) in which the sheet glass flowing in the molding apparatus 200 shown in Fig. 4 described later flows.

내부 결함(10)은, 긴 변 길이 L2가 50㎛를 초과하고, 짧은 변 길이 L1이 5㎛ 미만이다. 여기서, 긴 변 길이 L2는, 내부 결함(10)에 있어서 길이가 최대로 되는 부분의 길이이며, 통상 유리 기판(1)이 연장되는 방향(도 1에 있어서 지면 수평 방향)의 길이이다. 또한, 짧은 변 길이 L1은, 긴 변 길이 L2의 방향과 대략 직교하는 방향에 있어서, 길이가 최대로 되는 부분의 길이이며, 통상 유리 기판(1)의 판 두께 방향(도 1에 있어서 지면 상하 방향)의 길이이다.The internal defects 10 have a long side length L2 of more than 50 mu m and a short side length L1 of less than 5 mu m. Here, the long side length L2 is the length of the portion where the length of the internal defect 10 is the maximum, and is generally the length in the direction in which the glass substrate 1 extends (the horizontal direction in FIG. 1). The short side length L1 is the length of the portion where the length becomes maximum in a direction substantially perpendicular to the direction of the long side length L2 and is generally the length in the thickness direction of the glass substrate 1 ).

긴 변 길이 L2가 50㎛를 초과하는 크기의 내부 결함(10)에 기인하여 주 표면(3)에 볼록부(7)(후술)가 형성된 유리 기판(1)은, IPS 방식, VA 방식의 고콘트라스트의 액정 디스플레이 등에 사용된 경우에, 디스플레이의 품질(시인 가능한 표시 불균일, 화소 결함 등)에 문제를 발생시킬 가능성이 있다. 그러나, 그러한 내부 결함(10)이 존재하는 경우라도, 그 짧은 변 길이 L1이 5㎛ 미만이고, 볼록부의 형상(높이)이 0.15㎛ 미만이면 볼록부가 차광성의 내부 결함에 기인하는 것이라도, 고콘트라스트의 디스플레이에 사용해도 품질상 문제가 발생하지 않는다.The glass substrate 1 on which the convex portion 7 (described later) is formed on the main surface 3 due to the internal defect 10 having the long side length L2 exceeding 50 占 퐉 has the IPS system and the VA system There is a possibility of causing problems in the quality of the display (visible display unevenness, pixel defects, etc.) when used in a liquid crystal display of contrast or the like. Even if such internal defect 10 exists, even if the short side length L1 is less than 5 占 퐉 and the shape (height) of the convex portion is less than 0.15 占 퐉, the convex portion is caused by the inner defect of the light- There is no quality problem when used for contrast display.

본 실시 형태에서는, 내부 결함(10)은, 예를 들어 긴 변 길이 L2는 200㎛ 이하 또는 200∼52㎛이고, 짧은 변 길이 L1은 1㎛ 이상 또는 1∼4㎛이다. 또한, 볼록부(7)의 긴 변 길이는, 내부 결함의 긴 변 길이와 거의 동일한 길이이거나, 그 이하이다.In the present embodiment, for example, the long side length L2 of the internal defect 10 is 200 m or less or 200 to 52 m, and the short side length L1 is 1 m or more or 1 to 4 m. The long side length of the convex portion 7 is substantially equal to or less than the long side length of the internal defect.

다른 바람직한 형태로서, 내부 결함(10)의 형상에 관하여, 내부 결함(10)의 긴 변 길이 L2가 50㎛를 초과하고 80㎛ 미만이고, 짧은 변 길이 L1이 1㎛ 미만이다. 짧은 변 길이 L1은, 예를 들어 0.1㎛ 이상이다. 이 경우, 볼록부(7)의 주 표면으로부터의 돌출 높이가 0.15㎛ 미만이다. 이러한 내부 결함(10) 및 볼록부(7)가 있어도, 고콘트라스트의 디스플레이에 사용해도 품질상 전혀 문제가 발생하지 않는다.As another preferred embodiment, regarding the shape of the internal defect 10, the long side length L2 of the internal defect 10 is more than 50 mu m and less than 80 mu m, and the short side length L1 is less than 1 mu m. The short side length L1 is 0.1 mu m or more, for example. In this case, the projection height from the main surface of the convex portion 7 is less than 0.15 mu m. Even if the internal defects 10 and the convex portions 7 are present in the high contrast display, no problem occurs in quality.

유리 기판(1)은, 내부 결함(10)의 위치(이하, 내부 결함(10)의 수평 방향 위치라고도 함)에 대응하는 유리 기판(1)의 주 표면(3)의 위치에, 주 표면(3)으로부터의 높이 h가 0.15㎛ 미만, 예를 들어 0.10㎛ 미만인 볼록부(7)가 형성되어 있다. 여기서, 높이 h는, 볼록부(7)에 있어서 주 표면(3)으로부터의 높이가 최대로 되는 부분의 높이이다. 내부 결함(10)의 수평 방향 위치와 대응하는 유리 기판(1)의 주 표면(3)의 위치에 형성된 볼록부(7)는, 내부 결함(10)에 기인하여 형성되었다고 생각된다. 이러한 볼록부(7)를 갖는 유리 기판(1)은, 고콘트라스트의 액정 디스플레이에 사용되면, 액정의 구동에 영향을 미칠 가능성이 있지만, 높이 h가 0.15㎛ 미만이면 그러한 문제는 발생하지 않는다.The glass substrate 1 is placed on the main surface 3 of the glass substrate 1 corresponding to the position of the internal defect 10 (hereinafter also referred to as the horizontal position of the internal defect 10) 3 having a height h of less than 0.15 mu m, for example, less than 0.10 mu m are formed. Here, the height h is the height of the portion of the convex portion 7 where the height from the main surface 3 is the maximum. It is considered that the convex portion 7 formed at the position of the main surface 3 of the glass substrate 1 corresponding to the horizontal position of the internal defect 10 is formed due to the internal defect 10. [ When the glass substrate 1 having such a convex portion 7 is used in a high contrast liquid crystal display, there is a possibility of affecting the driving of the liquid crystal, but such a problem does not occur if the height h is less than 0.15 mu m.

여기서, 도 2를 참조하여, 볼록부(7)가 미치는 액정의 구동에의 영향에 대해 설명한다. 도 2에, 유리 기판(1)을 사용하여 제조된 본 실시 형태의 액정 디스플레이의 판 두께 방향의 단면을 나타낸다. 이 액정 디스플레이는, IPS 방식의 디스플레이이며, 도 2에 있어서 상방으로부터, 유리 기판(11), 액정층(20), 유리 기판(1), 백라이트(22)가 적층되어 있다. 유리 기판(11)은, 유리 기판(1)과 마찬가지의 유리 원료를 포함하는 유리 기판이지만, 내부 결함을 갖지 않고, 주 표면에 볼록부를 갖지 않는다. 유리 기판(11)의 액정층(20)측의 주 표면에는, 도시하지 않은 TFT(Thin Film Transistor) 및 화소 전극이 매트릭스 형상으로 배치되어 형성된다. 액정층(20)에는, 액정이 주입되어 있다. 유리 기판(1)은, 상술한 바와 같이 내부 결함(10)을 갖고, 주 표면에 볼록부(7)가 형성되어 있다. 유리 기판(1)은, 볼록부(7)가 형성된 측의 주 표면을 액정층(20)을 향해 배치되고, 이 주 표면에는 컬러 필터가 형성된다. 또한, 유리 기판(11, 1)의, 액정층(20)과 반대측의 주 표면에는 각각, 도시하지 않은 편광 필터가 배치되어 있다.Here, the influence of the convex portion 7 on the driving of the liquid crystal will be described with reference to Fig. Fig. 2 shows a cross section in the thickness direction of the liquid crystal display of the present embodiment manufactured using the glass substrate 1. Fig. This liquid crystal display is an IPS type display. In Fig. 2, a glass substrate 11, a liquid crystal layer 20, a glass substrate 1, and a backlight 22 are laminated from above. The glass substrate 11 is a glass substrate containing a glass raw material similar to that of the glass substrate 1 but has no internal defect and has no convex portion on the main surface. On the main surface of the glass substrate 11 on the liquid crystal layer 20 side, TFT (Thin Film Transistor) and pixel electrodes (not shown) are arranged in a matrix. In the liquid crystal layer 20, a liquid crystal is injected. The glass substrate 1 has the internal defects 10 as described above, and the convex portion 7 is formed on the main surface. The glass substrate 1 has the main surface on the side where the convex portion 7 is formed facing the liquid crystal layer 20 and a color filter is formed on the main surface. A polarizing filter (not shown) is disposed on the main surface of the glass substrate 11 (1) opposite to the liquid crystal layer 20, respectively.

이 액정 디스플레이에 있어서, 유리 기판의 볼록부의 높이가 예를 들어 0.2㎛ 정도인 경우는, 액정층(20)에 전압이 가해지면, 볼록부(7)가 형성된 유리 기판(1)의 영역에서는, 볼록부(7)가 형성되어 있지 않은 주위의 영역에 비해 저전압에서 액정이 반응하여, 디스플레이에 있어서 주위의 영역보다도 빨리 밝아진다. 한편, 액정층(20)에 가해지고 있는 전압이 떨어지면, 볼록부(7)가 형성된 유리 기판(1)의 영역에서는, 상기 주위의 영역에 비해 디스플레이의 주위 영역보다도 늦게 어두워진다. 이와 같이 유리 기판의 주 표면에, 0.15㎛ 이상의 높이의 볼록부가 존재하는 경우는, 저전압에서 액정이 구동하고, 액정의 구동차가 발생함으로써, 종래의 콘트라스트(콘트라스트비가 1000:1 미만, 예를 들어 500:1∼800:1 정도)의 액정 디스플레이에서는 문제가 되지 않았던, 다른 영역(주위의 영역)과의 발색 또는 발광 형태의 근소한 차이가 편광 필터에 의해 강조되어, 표시 불균일로서 시인되어버린다. 이에 대해, 볼록부(7)의 높이 h가 0.15㎛ 미만인 경우는, 상기한 바와 같은 액정의 구동차가 편광 필터에 의해, 표시 불균일로 되어 시인될 정도로 강조되는 일은 없다. IPS 방식의 액정 디스플레이에서는, 액정을 유리 기판 상에 수평(광 입사 방향에 대해 수직)으로 배열하여, 수평 방향(면내 방향)으로 구동하여(액정 분자를 유리 기판과 평행한 면내에서 회전시켜) 광의 투과량을 제어한다. 이로 인해, IPS 방식의 경우, 유리 기판의 면내에 돌출되는 높이가 0.15㎛ 이상인 볼록부(7)가 존재하면, 액정의 배열·구동 각도가 어긋나, 광의 투과량이 변화되어, 패널의 국소적인 밝기 등의 표시 불균일을 발생한다. 즉, IPS 방식에서는, 볼록부(7)가 액정의 배향에 미치는 영향은 크다.In the liquid crystal display, when the height of the convex portion of the glass substrate is, for example, about 0.2 탆, in the region of the glass substrate 1 on which the convex portion 7 is formed when a voltage is applied to the liquid crystal layer 20, The liquid crystal reacts at a low voltage with respect to the surrounding area where the convex portion 7 is not formed and becomes brighter than the surrounding area in the display. On the other hand, when the voltage applied to the liquid crystal layer 20 is lowered, the region of the glass substrate 1 on which the convex portion 7 is formed becomes darker than the peripheral region of the display later than the surrounding region. When a convex portion having a height of 0.15 占 퐉 or more is present on the main surface of the glass substrate as described above, the liquid crystal is driven at a low voltage and a driving car of the liquid crystal is generated, so that a conventional contrast (a contrast ratio of less than 1000: 1, : About 1: 800: 1), a slight difference in the coloring or the luminescent pattern from the other region (the peripheral region) is emphasized by the polarizing filter, and is visually recognized as display unevenness. On the other hand, when the height h of the convex portion 7 is less than 0.15 mu m, the above-mentioned liquid crystal driving vehicle is not emphasized by the polarizing filter to such an extent that the display is uneven. In the IPS liquid crystal display, liquid crystals are arranged horizontally (perpendicular to the light incidence direction) on a glass substrate and driven in the horizontal direction (in-plane direction) (liquid crystal molecules are rotated in a plane parallel to the glass substrate) Thereby controlling the amount of permeation. Therefore, in the case of the IPS system, if the convex portion 7 having a height of 0.15 mu m or more protruding in the surface of the glass substrate exists, the arrangement and driving angle of the liquid crystal are shifted and the light transmission amount is changed, The display unevenness occurs. That is, in the IPS system, the influence of the convex portion 7 on the orientation of the liquid crystal is large.

특히, 선상 백금과 같은 막대 형상의 내부 결함(10)에 기인하여 형성된 볼록부(7)는, 유리 기판(1)의 주 표면(3)에 대해 급준한 상승 각도를 가지므로(국부적으로 융기되므로), 액정층(20)의 갭(판 두께 방향의 거리)이 좁아져 있는 영역(볼록부(7)가 형성된 영역)에서는, 콘트라스트차가 눈에 띄기 쉽다. 게다가, 볼록부(7)는, 긴 변 길이가 50㎛를 초과하는 긴 변 길이 L2를 갖는 내부 결함에 기인하여 형성됨으로써, 긴 변 방향으로 연장된 볼록 영역으로서 시인되기 쉽다. 본 발명의 유리 기판(1)은, 볼록부(7)의 높이 h가 0.15㎛ 미만임으로써, 이러한 고콘트라스트의 디스플레이에도 사용 가능하다.Particularly, since the convex portion 7 formed due to the rod-like internal defect 10 such as the on-line platinum has a steep rising angle with respect to the main surface 3 of the glass substrate 1 ), The contrast difference is likely to be conspicuous in a region where the gap (distance in the plate thickness direction) of the liquid crystal layer 20 is narrow (the region where the convex portion 7 is formed). In addition, the convex portion 7 is formed due to an internal defect having a long side length L2 exceeding 50 mu m, so that the convex portion 7 is liable to be visually recognized as a convex region extending in the long side direction. Since the height h of the convex portion 7 is less than 0.15 mu m, the glass substrate 1 of the present invention can be used for such high contrast display.

본원 발명자는, 유리 기판의 내부에 차광성의 내부 결함이 존재함으로써 주 표면에 볼록부가 형성된 경우에는, 내부 결함 근방의 유리의 상태가 기포 등의 내부 결함의 경우와 다르기 때문에, 디스플레이 표시 품질에의 영향이 보다 현저하게 나타난다고 생각하고 있다. 차광성의 내부 결함이 디스플레이 표시 품질에 영향을 미치는 이유 중 하나로서, 차광성의 내부 결함이 형성되어 유리 기판 중에 존재하는 것이 내부 결함 근방의 유리 상태(예를 들어, 밀도)에 미소한 영향을 미치고, 이것이 상기한 액정의 구동이나, 볼록한 형상과 합쳐져, 또한 광의 투과량의 감소도 합쳐져, 디스플레이의 표시 품질에 현저하게 영향을 미치는 것이 생각되고 있다.The inventor of the present invention has found that when a convex portion is formed on the main surface due to the presence of a light-blocking internal defect in the glass substrate, the state of the glass in the vicinity of the internal defect is different from that in the case of internal defects such as bubbles, I think the impact is more pronounced. One of the reasons why the light blocking internal defect affects display display quality is that the light blocking internal defect is formed and the presence in the glass substrate has a small influence on the glass state (for example, density) in the vicinity of the internal defect And it is considered that this is combined with the drive of the liquid crystal described above, the combination of the convex shape and the reduction of the light transmission amount, and the display quality of the display is significantly influenced.

본 발명은, 이러한 품질에 영향을 미치는 내부 결함이 존재하고 있었다고 해도, 고콘트라스트의 액정 디스플레이에 채용할 수 있는 유리 기판을 특정하는 것이다.The present invention specifies a glass substrate that can be employed in a high contrast liquid crystal display even if there is an internal defect affecting such quality.

유리 기판(1)은, 내부 결함(10)의 긴 변 길이가 50㎛를 초과하고 200㎛ 이하이고, 짧은 변 길이가 1㎛ 이상 5㎛ 미만이고, 내부 결함(10)이 유리 기판(1)의 주 표면(3)으로부터 50㎛ 미만의 깊이 영역 D 내에 존재해도, 볼록부(7)의 높이 h가 0.10㎛이면, 내부 결함(10) 및 볼록부(7)를 가져도 된다. 주 표면 부근에 나타난 내부 결함(10)은, 유리 기판(1)의 주 표면(3)을 융기시켜 볼록부(7)를 발생시킬 가능성이 높다. 그러나, 내부 결함(10)이 유리 기판(1)의 주 표면(3)으로부터 50㎛ 미만의 깊이 영역 D 내에 존재하는 경우라도, 볼록부(7)의 높이 h가 0.10㎛보다 낮은 경우, 고콘트라스트의 디스플레이에 사용해도 품질상 문제가 없다.The glass substrate 1 is formed such that the length of the long side of the internal defect 10 is more than 50 占 퐉 and not more than 200 占 퐉 and the length of the short side is not less than 1 占 퐉 and less than 5 占 퐉, The internal defect 10 and the convex portion 7 may be provided if the height h of the convex portion 7 is 0.10 占 퐉 even if the convex portion 7 is present in the depth region D of less than 50 占 퐉 from the main surface 3 of the main surface 3. [ The internal defect 10 in the vicinity of the main surface is likely to generate the convex portion 7 by protruding the main surface 3 of the glass substrate 1. However, even when the internal defect 10 exists in the depth region D of less than 50 占 퐉 from the main surface 3 of the glass substrate 1, when the height h of the convex portion 7 is lower than 0.10 占 퐉, There is no problem in quality even when used in displays.

이상의 유리 기판(1)은, 투광성을 갖지 않는 소정 길이를 초과하는 긴 변 길이 L2를 갖는 내부 결함(10)을 갖지만, 그 짧은 변 길이 L1은 5㎛보다 짧고, 또한 주 표면(3)에 형성된 볼록부(7)의 높이 h는 0.15㎛보다 낮으므로, 고콘트라스트의 디스플레이에 사용되어도, 디스플레이의 품질상 문제가 되지 않는다. 따라서, 종래는 불량품으로서 취급된 유리 기판을 제품으로서 이용할 수 있어, 수율이 개선된다.The glass substrate 1 described above has the internal defect 10 having the long side length L2 exceeding the predetermined length which does not have the light transmitting property but the short side length L1 thereof is shorter than 5 占 퐉, Since the height h of the convex portion 7 is lower than 0.15 占 퐉, even if it is used for a high contrast display, the quality of the display is not a problem. Therefore, a glass substrate conventionally treated as a defective product can be used as a product, and the yield is improved.

또한, 유리 기판(1)은, 다른 실시 형태에서는, 액정 디스플레이에 있어서 TFT측에 배치되는 유리 기판(상술한 유리 기판(11))으로서 사용되어도 된다. 이 경우, 유리 기판은, 볼록부가 형성된 측의 주 표면을 액정층을 향해 배치되어도, 디스플레이 품질에 영향을 미치는 일이 없다.In another embodiment, the glass substrate 1 may be used as a glass substrate (the glass substrate 11 described above) arranged on the TFT side in the liquid crystal display. In this case, even if the glass substrate is disposed toward the liquid crystal layer on the main surface on the side where the convex portions are formed, the display quality is not affected.

또한, 내부 결함(10)은 유리 기판(1) 중에, 복수 존재해도 된다. 볼록부(7)는, 유리 기판의 주 표면에 복수 있어도 된다.In addition, a plurality of internal defects 10 may be present in the glass substrate 1. The convex portion 7 may be provided on the main surface of the glass substrate.

(유리 기판의 제조 방법)(Production method of glass substrate)

다음으로, 유리 기판의 제조 방법에 대해 설명한다.Next, a method for manufacturing a glass substrate will be described.

도 3에, 유리 기판의 제조 방법의 플로우의 일례를 설명하는 도면을 나타낸다.Fig. 3 is a view for explaining an example of the flow of a manufacturing method of a glass substrate.

본 발명의 유리 기판의 제조 방법은, 유리 기판 제조 공정과, 검사 공정(스텝 S100)을 구비한다.A manufacturing method of a glass substrate of the present invention includes a glass substrate manufacturing step and an inspection step (step S100).

유리 기판 제조 공정은, 용해 공정(ST1)과, 청징 공정(ST2)과, 균질화 공정(ST3)과, 공급 공정(ST4)과, 성형 공정(ST5)과, 서냉 공정(ST6)과, 절단 공정(ST7)을 주로 갖는다. 이 밖에, 연삭 공정, 연마 공정, 세정 공정 등을 갖는다.The glass substrate manufacturing process includes a melting step ST1, a refining step ST2, a homogenizing step ST3, a supplying step ST4, a molding step ST5, a slow cooling step ST6, (ST7). In addition, it has a grinding process, a polishing process, a cleaning process, and the like.

용해 공정(ST1)은 용해로에서 행해진다. 용해로에서는, 유리 원료를, 용해로에 축적된 용융 유리의 액면에 투입하고, 가열함으로써 용융 유리를 만든다. 또한, 용해로의 내측 측벽 중 하나의 저부에 설치된 유출구로부터 하류 공정을 향해 용융 유리를 흘린다.The dissolving step ST1 is performed in the melting furnace. In a melting furnace, a glass raw material is charged into the melt surface of a molten glass accumulated in a melting furnace and heated to produce a molten glass. Further, the molten glass is flowed toward the downstream process from an outlet provided at the bottom of one of the inner sidewalls of the furnace.

또한, 유리 원료에는 청징제가 첨가된다. 환경 부하 저감의 관점에서, 청징제로서 산화주석을 사용하는 것이 바람직하다.Further, a refining agent is added to the glass raw material. From the viewpoint of reducing the environmental load, it is preferable to use tin oxide as the fining agent.

청징 공정(ST2)은, 적어도 청징관에 있어서 행해진다. 청징 공정에서는, 청징관 내의 용융 유리가 승온됨으로써, 용융 유리 중에 포함되는 CO2 또는 SO2를, 청징제의 환원 반응에 의해 발생한 O2의 기포가 흡수하여 성장하고, 용융 유리의 액면에 기포는 부상하여 기포에 포함되는 가스가 청징관 내의 기상 공간 내에 방출된다. 또한, 청징 공정에서는, 용융 유리의 온도를 저하시킴으로써, 청징제의 환원 반응에 의해 얻어진 환원 물질이 산화 반응을 한다. 이에 의해, 용융 유리에 잔존하는 기포 중의 O2 등의 가스 성분이 용융 유리 중에 재흡수되어, 기포가 소멸된다. 청징제에 의한 산화 반응 및 환원 반응은, 용융 유리의 온도를 제어함으로써 행해진다. 또한, 청징관은, 용융 유리로부터 기상 공간에 방출된 가스를 대기에 방출하기 위해, 대기에 연통된 통기관을 구비한다.The purifying step (ST2) is performed at least in the purifying tube. In the refining step, the molten glass in the purifying tube is heated so that CO 2 or SO 2 contained in the molten glass is absorbed by the bubbles of O 2 generated by the reduction reaction of the refining agent, and the bubbles grow on the surface of the molten glass And the gas contained in the air bubbles is discharged into the vapor phase space inside the cleaning tube. Further, in the refining step, the reducing material obtained by the reducing reaction of the refining agent performs the oxidation reaction by lowering the temperature of the molten glass. As a result, gas components such as O 2 in the bubbles remaining in the molten glass are reabsorbed into the molten glass, and the bubbles disappear. The oxidation reaction and the reduction reaction by the refining agent are performed by controlling the temperature of the molten glass. Further, the purifying tube has a vent pipe communicating with the atmosphere for discharging the gas discharged from the molten glass to the vapor space into the atmosphere.

균질화 공정(ST3)에서는, 청징관으로부터 연장되는 배관을 통해 공급된 교반조 내의 용융 유리를, 교반기를 사용하여 교반함으로써, 유리 성분의 균질화를 행한다. 이에 의해, 맥리 등의 원인인 유리의 조성 불균일을 저감시킬 수 있다.In the homogenization step (ST3), the molten glass in the stirring tank supplied through the pipe extending from the cleaning tube is homogenized by stirring using a stirrer. As a result, unevenness in the composition of the glass, which is a cause of spoilage, can be reduced.

공급 공정(ST4)에서는, 교반조로부터 연장되는 배관을 통해 용융 유리가 성형 장치에 공급된다.In the supplying step ST4, the molten glass is supplied to the molding apparatus through the pipe extending from the stirring tank.

성형 장치에서는, 성형 공정(ST5) 및 서냉 공정(ST6)이 행해진다.In the molding apparatus, a molding step (ST5) and a slow cooling step (ST6) are performed.

성형 공정(ST5)에서는, 용융 유리를 시트 유리로 성형하여, 시트 유리의 흐름을 만든다. 성형은, 오버플로우 다운드로우법이 사용된다.In the molding step (ST5), the molten glass is formed into a sheet glass to form a flow of the sheet glass. For forming, an overflow down-draw method is used.

서냉 공정(ST6)에서는, 성형되어 흐르는 시트 유리가 원하는 두께로 되어, 내부 변형이 발생하지 않도록, 또한 휨이 발생하지 않도록 냉각된다.In the slow cooling step (ST6), the formed sheet glass is cooled to a desired thickness so that internal deformation does not occur and no warping occurs.

절단 공정(ST7)에서는, 절단 장치에 있어서, 성형 장치로부터 공급된 시트 유리를 소정의 길이로 절단함으로써, 판 형상의 유리판을 얻는다. 절단된 유리판은 다시, 소정의 크기로 절단되어, 목표 사이즈의 유리 기판이 만들어진다. 이 후, 유리 기판의 단부면의 연삭, 연마가 행해지고, 유리 기판의 세정이 행해진다.In the cutting step (ST7), in the cutting apparatus, the sheet glass supplied from the molding apparatus is cut to a predetermined length to obtain a plate-like glass plate. The cut glass plate is again cut to a predetermined size to produce a glass substrate having a target size. Thereafter, the end face of the glass substrate is ground and polished, and the glass substrate is cleaned.

여기서, 도 4를 참조하여, 용해 공정(ST1)∼절단 공정(ST7)을 행하는 유리판 제조 장치에 대해 설명한다. 도 4는 본 실시 형태에 있어서의 용해 공정(ST1)∼절단 공정(ST7)을 행하는 유리판 제조 장치의 일례를 모식적으로 도시하는 도면이다. 당해 장치는, 주로 용해 장치(100)와, 성형 장치(200)와, 절단 장치(300)를 갖는다. 용해 장치(100)는, 용해로(101)와, 청징관(청징조 본체)(102)과, 교반조(103)와, 유리 공급관(104, 105, 106)을 갖는다.Here, with reference to Fig. 4, a glass sheet manufacturing apparatus for performing the dissolving step (ST1) to cutting step (ST7) will be described. Fig. 4 is a diagram schematically showing an example of a glass plate manufacturing apparatus for performing the dissolving step (ST1) to cutting step (ST7) in the present embodiment. This apparatus mainly has a dissolving apparatus 100, a molding apparatus 200, and a cutting apparatus 300. The melting apparatus 100 has a melting furnace 101, a purifying tube (blue signing body) 102, a stirring tank 103, and glass feed pipes 104, 105 and 106.

도 4에 도시하는 용해 장치(100)에서는, 유리 원료의 투입이 버킷(101d)을 사용하여 행해진다. 청징관(102)에서는, 용융 유리(MG)의 온도를 조정하여, 청징제의 산화 환원 반응을 이용하여 용융 유리(MG)의 청징이 행해진다. 또한, 교반 조(103)에서는, 교반기(103a)에 의해 용융 유리(MG)가 교반되어 균질화된다. 성형 장치(200)에서는, 성형체(210)를 사용한 오버플로우 다운드로우법에 의해, 용융 유리(MG)로부터 시트 유리(SG)가 성형된다.In the dissolving apparatus 100 shown in Fig. 4, the glass raw material is injected using the bucket 101d. In the purifying tube 102, the temperature of the molten glass MG is adjusted, and the refining of the molten glass MG is performed using the redox reaction of the refining agent. In the stirring tank 103, the molten glass MG is stirred and homogenized by the stirrer 103a. In the molding apparatus 200, the sheet glass SG is formed from the molten glass MG by an overflow down-draw method using the molded body 210. [

또한, 도 4에 도시하는 용해로(101)로부터 성형 장치(200)에 이르는 용융 유리(MG)의 유로, 구체적으로는, 유리 공급관(104), 청징관(102), 유리 공급관(105), 교반조(103) 및 유리 공급관(106)의 용융 유리(MG)의 유로를 형성하는 유로 형성 부재는, 백금 또는 백금 합금으로 구성되어 있다.4, the flow path of the molten glass MG from the melting furnace 101 to the molding apparatus 200, specifically, the glass feed pipe 104, the purifying pipe 102, the glass feed pipe 105, The flow path forming member for forming the flow path of the molten glass (MG) in the tank (103) and the glass supply pipe (106) is made of platinum or a platinum alloy.

이러한 백금 또는 백금 합금으로 구성되는 유로 형성 부재는, 유리 기판의 제조(조업)를 개시할 때, 사전 가열된다.The flow path forming member made of such a platinum or platinum alloy is preheated when the production (operation) of the glass substrate is started.

용해 장치(100), 성형 장치(200)에서 제작되는 유리 기판으로서는, 이하의 유리 조성의 유리가 사용된다. 따라서, 이하의 유리 조성을 유리 기판이 갖도록 유리 원료는 사용된다.As the glass substrate to be manufactured in the melting apparatus 100 and the molding apparatus 200, glass having the following glass composition is used. Therefore, a glass raw material is used so that a glass substrate has the following glass composition.

SiO2 55∼75몰％,55 to 75 mol% of SiO 2 ,

Al2O3 5∼20몰％,5 to 20 mol% of Al 2 O 3 ,

B2O3 0∼15몰％,0 to 15 mol% of B 2 O 3 ,

RO:5∼20몰％(R은 Mg, Ca, Sr 및 Ba 중, 유리 기판에 포함되는 모든 원소)RO: 5 to 20 mol% (R is Mg, Ca, Sr and Ba, all elements included in the glass substrate)

R'2O:0∼0.8몰％(R'은 Li, K 및 Na 중, 유리 기판에 포함되는 모든 원소)R ' 2 O: 0 to 0.8 mol% (R' is Li, K and Na, all elements contained in the glass substrate)

상기 유리는, 고온 점성이 높은 유리의 일례이다. 이러한 유리에 있어서, 청징관(102)에 있어서 적정한 용융 유리의 점도로 탈포를 행하기 위해 용융 유리를 고온으로 가열한다. 청징제로서 산화주석을 포함하고, 점도가 102. 5푸아즈(1푸아즈＝0.1Pa·초)일 때의 용융 유리의 온도는, 예를 들어 1500∼1700℃이고, 청징관(102)의 내부에 있어서의 용융 유리 온도는 1600℃ 이상으로 되도록 가열된다. 이로 인해, 청징관(102)의 내벽으로부터 휘발물은 다량으로 휘발되어, 휘발물의 응집(석출)이 발생할 우려가 있다.The glass is an example of a glass having a high temperature and high viscosity. In such a glass, the molten glass is heated to a high temperature in order to perform defoaming at a proper viscosity of the molten glass in the cleaning tube 102. The temperature of the molten glass when the viscosity is 10 2 5 poise (1 poise = 0.1 Pa · sec) is 1500 to 1700 ° C, for example, The molten glass is heated so that the temperature of the molten glass in the inside of the molten glass becomes 1600 DEG C or higher. As a result, the volatiles are volatilized from the inner wall of the purifying tube 102 in a large amount, and there is a possibility that volatilization may occur (precipitation).

또한, 청징관(102)의 내부 기상 공간에 질소 등의 불활성 가스를 공급함으로써, 청징관(102)의 내부 기상 공간의 산소 농도(기상 공간 내의 산소 분압)를 적어도 대기에서의 산소 농도 미만으로 낮추어 휘발량을 저감시키는 것, 또한 청징관(102)의 내부 벽면(기상 공간에 노출된 벽면)에 있어서의 온도차를 저감시킴으로써(예를 들어, 기상 공간이 연통된 청징관(102) 내에 있어서, 온도차를 150℃ 이하로 함), 휘발된 백금의 석출을 억제하는 것이 행해지고 있지만, 장기에 걸친 조업 중에는, 조업 조건이 무너져 버려, 백금의 휘발·응집(석출)에 의한 내부 이물을 발생시켜 버리는 경우가 있다. 이 경우, 상술한 내부 결함(10) 및 볼록부(7)를 유리 기판이 갖는 것은 피할 수 없다.In addition, by supplying an inert gas such as nitrogen to the internal vapor space of the cleaning tube 102, the oxygen concentration (oxygen partial pressure in the vapor phase space) in the internal vapor phase space of the cleaning tube 102 is lowered to at least below the oxygen concentration in the atmosphere The amount of volatilization can be reduced and the temperature difference at the inner wall surface (wall surface exposed to the vapor space) of the cleaning tube 102 can be reduced (for example, in the cleaning tube 102 communicated with the vapor space, Is set to 150 占 폚 or lower) and the deposition of volatilized platinum is suppressed. However, during the operation over a long period of time, the operating conditions are destroyed, and internal impurities due to volatilization and coagulation have. In this case, it is unavoidable that the glass substrate has the internal defects 10 and the convex portions 7 described above.

유리 기판의 제조 방법의 설명으로 되돌아가, 검사 공정(ST8)에서는, 기포 등의 결함의 유무가 검사된 후, 검사 합격품의 유리판이 최종 제품으로서 포장된다. 또한, 검사 공정(ST8)에서는, 결함의 유무 외에, 투광성을 갖지 않는 내부 결함이나 유리판의 주 표면에 형성된 볼록부의 사이즈를 검사하여, 유리판이 불량품 인지 여부의 판별을 행한다.Returning to the description of the manufacturing method of the glass substrate, in the inspection step (ST8), the presence or absence of defects such as bubbles is inspected, and then the glass plate of the inspecting product is packaged as a final product. In the inspection step (ST8), whether or not the glass plate is defective is checked by checking the size of the internal defect which does not have translucency or the convex portion formed on the main surface of the glass plate in addition to the presence or absence of defects.

불량품인지 여부의 판별은, 구체적으로는, 투광성을 갖지 않고, 긴 변 길이가 50㎛를 초과하고, 바람직하게는 50㎛를 초과하고 80㎛ 미만이고, 짧은 변 길이가 5㎛ 미만, 바람직하게는 1㎛ 미만인 내부 결함을 갖고, 또한 유리판이 연장되는 방향에 있어서의 내부 결함의 위치와 대응하는 유리판의 주 표면 위치에 주 표면으로부터의 높이가 0.15㎛ 이상인 볼록부를 갖는 유리판을 불량으로 판별함으로써 행해진다. 유리판에 내부 결함이 존재하는 것은, 자동 검사 장치, 또는 검사원에 의해 판단된다. 투광성을 갖지 않는 내부 결함이 존재한다고 판단된 유리판은, 예를 들어 레이저 현미경을 사용하여, 내부 결함의 긴 변 길이 및 짧은 변 길이, 볼록부의 높이 및 깊이가 측정된다.More specifically, the determination of whether or not a defective product is a defective product may be carried out in the following manner. Specifically, it is not transparent and has a long side length of more than 50 占 퐉, preferably more than 50 占 퐉 and less than 80 占 퐉, The glass plate having an internal defect of less than 1 mu m and having a convex portion having a height of 0.15 mu m or more from the main surface at the main surface position of the glass plate corresponding to the position of the internal defect in the direction in which the glass plate extends, . The existence of internal defects on the glass plate is judged by the automatic inspection apparatus or the inspector. The glass plate determined to have an internal defect having no light transmittance is measured by using, for example, a laser microscope, the long side length and the short side length of the internal defect, the height and depth of the convex portion.

유리 기판의 제조 방법은, 이상의 공정 외에, 포장 공정을 갖고, 포장 공정에서 적층된 복수의 유리 기판은, 납입처의 업자에게 반송된다.The glass substrate manufacturing method has a packaging step in addition to the above steps, and the plurality of glass substrates stacked in the packaging step are returned to the supplier of the destination.

내부 결함의 긴 변 길이가 50㎛를 초과하는 경우는, 상술한 바와 같이, 이것에 기인하여 유리 기판의 주 표면에 볼록부가 형성되어 당해 볼록부가 디스플레이 품질에 영향을 미칠 가능성이 높지만, 내부 결함의 짧은 변 길이가 5㎛ 미만이고, 유리 기판 주 표면의 볼록부 높이가 0.15㎛ 미만인 경우는, 액정의 동작에 영향을 미치지 않아 문제를 발생하지 않는다. 고콘트라스트의 디스플레이에 사용된 경우라도 디스플레이의 품질에 영향을 미치지 않는다. 따라서, 이상의 유리 기판의 제조 방법에 의하면, 이러한 유리 기판도 제품으로서 사용할 수 있도록, 불량품인지 여부의 판별을 행함으로써, 폐기되는 유리 기판을 저감시켜, 수율을 개선할 수 있다.When the long side length of the internal defect exceeds 50 탆, as described above, there is a high possibility that the convex portion is formed on the main surface of the glass substrate and the convex portion affects the display quality. However, When the short side length is less than 5 占 퐉 and the convex height of the main surface of the glass substrate is less than 0.15 占 퐉, the operation of the liquid crystal is not affected and no problem arises. Even when used in a high-contrast display, the quality of the display is not affected. Therefore, according to the manufacturing method of the above-described glass substrate, it is possible to reduce the glass substrate to be discarded and to improve the yield by discriminating whether or not such a glass substrate can be used as a product.

(실험예)(Experimental Example)

투광성을 갖지 않는 내부 결함으로서 선상 백금을 갖는 유리 기판의 샘플을, 오버플로우 다운드로우법에 의해 제조된 유리 기판으로부터 선별하고, 실시예 1로서, 선상 백금 이물질 사이즈가, 긴 변 길이 52∼200㎛이고, 짧은 변 길이 1∼4㎛, 또한 선상 백금에 기인하는 볼록부 높이가 0.03∼0.14㎛인 주 표면 상태를 갖는 유리 기판을 복수매 취득하였다. 그리고, 도 2에 도시하는 구조와 마찬가지인 IPS 방식의 액정 디스플레이를 복수 제작하였다. 유리 기판의 샘플은, 컬러 필터측의 기판으로서, 볼록부를 액정층(20)측을 향하게 하여 배치하였다. 또한, TFT측에는, 별도 제작한, 내부 결함 및 볼록부를 갖지 않는 유리 기판을 배치하였다(실시예 1).A sample of the glass substrate having the line-shaped platinum as the internal defect having no light-transmitting property was selected from the glass substrate produced by the overflow down-draw method. As Example 1, the size of the line- , A short side length of 1 to 4 mu m, and a convex height due to the line-shaped platinum of 0.03 to 0.14 mu m. A plurality of IPS liquid crystal displays similar to the structure shown in Fig. 2 were produced. A sample of the glass substrate was disposed on the color filter side with the convex portion facing the liquid crystal layer 20 side. On the TFT side, a separately prepared glass substrate having no internal defects and convex portions was disposed (Example 1).

또한, 실시예 1과 마찬가지로, 투광성을 갖지 않는 내부 결함으로서 선상 백금을 갖는 유리 기판의 샘플을, 오버플로우 다운드로우법에 의해 제조된 유리 기판으로부터 선별하고, 실시예 2로서, 선상 백금 이물질 사이즈가, 긴 변 길이 52∼78㎛이고, 짧은 변 길이 0.1㎛∼0.98㎛ 미만, 또한 선상 백금에 기인하는 볼록부 높이가 0.03∼0.14㎛인 주 표면 상태를 갖는 유리 기판을 복수매 취득하였다. 또한, 실시예 1과 마찬가지로, IPS 방식의 액정 디스플레이를 복수 제작하였다. 유리 기판의 샘플은, 컬러 필터측의 기판으로서, 볼록부를 액정층(20)측을 향하게 하여 배치하였다. 또한, TFT측에는, 별도 제작한, 내부 결함 및 볼록부를 갖지 않는 유리 기판을 배치하였다(실시예 2).Further, in the same manner as in Example 1, samples of glass substrates having line-shaped platinum as internal defects having no light-transmitting property were selected from the glass substrates produced by the overflow down-draw method. As Example 2, , A long side length of 52 to 78 mu m, a short side length of less than 0.1 mu m to less than 0.98 mu m, and a convex height due to linear platinum of 0.03 to 0.14 mu m. In addition, a plurality of IPS-mode liquid crystal displays were produced in the same manner as in Example 1. A sample of the glass substrate was disposed on the color filter side with the convex portion facing the liquid crystal layer 20 side. On the TFT side, a separately prepared glass substrate free from internal defects and convex portions was disposed (Example 2).

또한, 실시예 1, 2의 유리 기판의 샘플 대신에, 볼록부의 높이가 0.15㎛, 0.25㎛인 유리 기판의 샘플, 내부 결함의 짧은 변 길이가 5㎛, 10㎛인 유리 기판의 샘플을 사용하여, 각각, 액정 디스플레이를 제작하였다(비교예 1∼4).Further, in place of the samples of the glass substrates of Examples 1 and 2, samples of glass substrates having heights of convex portions of 0.15 mu m and 0.25 mu m and samples of glass substrates of short side lengths of 5 mu m and 10 mu m of internal defects were used , And liquid crystal displays were produced respectively (Comparative Examples 1 to 4).

또한, 볼록부의 높이가 0.15㎛∼0.2㎛이고, 내부 결함의 짧은 변 길이가 0.1∼1㎛이고, 긴 변 길이가 52∼78㎛인 유리 기판의 샘플을 사용하여, 액정 디스플레이를 제작하였다(비교예 5).Further, a liquid crystal display was fabricated using a sample of a glass substrate having a height of a convex portion of 0.15 mu m to 0.2 mu m, a short side length of an internal defect of 0.1 mu m to 1 mu m, and a long side length of 52 mu m to 78 mu m Example 5).

또한, 어느 쪽의 유리 기판에 있어서도, 선상 백금은 주 표면으로부터 50㎛ 미만의 깊이에 존재하였다. 선상 백금의 위치가 다른 한쪽의 표면측에 존재하는 경우, 패널 형성 후의 유리 기판의 슬리밍시에 표면에 나타나는 문제가 있다. 이로 인해, 오버플로우 다운드로우법에 의해 제조된 유리 기판에 있어서, 선상 백금이 존재하는 경우에는, 이면측에 존재하지 않는 것이 바람직하다.Further, in either of the glass substrates, the linear platinum was present at a depth of less than 50 占 퐉 from the main surface. When the position of the on-line platinum is present on the surface side of the other side, there is a problem that it appears on the surface when the glass substrate after the panel formation is slimming. Therefore, it is preferable that the glass substrate produced by the overflow down-draw method does not exist on the back surface side in the presence of the line-shaped platinum.

또한, 상기 액정 디스플레이는, 정면 콘트라스트가 3000:1의 콘트라스트비로 되도록 설계를 하였다.In addition, the liquid crystal display was designed so that the contrast ratio of the front side was 3000: 1.

(내부 결함, 볼록부의 측정)(Internal defect, measurement of convex portion)

유리 기판의 샘플 볼록부는, 자동 검사기에 축적된 결함 데이터에 기초하여, 샘플의 주 표면에 있어서의 수평 방향 위치가 특정된다. 또한, 내부 결함의 긴 변 길이 L2 및 짧은 변 길이 L1 및 볼록부의 높이 h 및 깊이 D는, 레이저 현미경을 사용하여 2400배의 배율로 측정하였다. 측정 결과를, 표 1에 나타낸다.The sample convex part of the glass substrate specifies the horizontal position on the main surface of the sample based on the defect data accumulated in the automatic tester. The long side length L2 and the short side length L1 of the internal defect and the height h and depth D of the convex portion were measured at a magnification of 2400 times using a laser microscope. The measurement results are shown in Table 1.

(정면 콘트라스트)(Front Contrast)

암실 내에서, 휘도계 BM-5A(탑콘사제)를 사용하여, 액정 디스플레이의 흑색 표시 상태 및 백색 표시 상태에서의 정면 휘도를 측정하고, 정면 콘트라스트를 산출하여 확인을 행하였다.In the dark room, the front luminance in the black display state and the white display state of the liquid crystal display was measured using the luminance system BM-5A (Topcon Corporation), and the front contrast was calculated and confirmed.

(디스플레이의 표시 불균일)(Display unevenness of display)

제작한 액정 디스플레이에 전압을 가하여 액정을 구동하고, 액정 디스플레이의 정면 및 경사 방향으로부터, 액정 디스플레이로부터 소정 거리만큼 이격된 위치에서 육안에 의해, 백색 표시로부터 흑색 표시 및 흑색 표시로부터 백색 표시에 걸쳐 표시 불균일이 전혀 확인되지 않은 것을 A(사용 가능), 표시 불균일이 확인된 것을 B(불량품)라고 평가하였다. 표시 불균일은, 한도 샘플과의 대비에 의해 판정을 행한다. 결과를, 표 1에 나타낸다.A voltage is applied to the manufactured liquid crystal display to drive the liquid crystal. The liquid crystal display is driven from the white display to the black display and from the black display to the white display at a position spaced apart from the liquid crystal display by a predetermined distance from the front and oblique directions of the liquid crystal display A (unusable) was judged to have no unevenness at all, and B (unacceptable) to the case where unevenness in display was confirmed. The display unevenness is determined by comparison with the limit sample. The results are shown in Table 1.

Figure 112015029368604-pct00001
Figure 112015029368604-pct00001

표 1에 의하면, 볼록부의 높이가 0.15㎛ 미만이고, 내부 결함의 짧은 변 길이가 1∼4㎛이고, 긴 변 길이가 52∼200㎛인 경우(실시예 1)는, 표시 불균일이 확인되지 않아, 고콘트라스트의 액정 디스플레이에 사용해도 품질상 문제가 없었다. 또한, 볼록부의 높이가 0.15㎛ 미만이고, 내부 결함의 짧은 변 길이가 1㎛ 미만(0.98μ 이하)이고, 긴 변 길이가 52∼78㎛인 경우(실시예 2), 표시 불균일이 확인되지 않아, 고콘트라스트의 액정 디스플레이에 사용해도 품질상 문제가 없었다. 이에 대해, 볼록부의 높이가 0.15㎛ 이상인 경우는(비교예 1, 2), 표시 불균일이 확인되었다. 또한, 내부 결함의 짧은 변 길이가 5㎛ 미만인 경우는(실시예 1), 표시 불균일이 확인되지 않아, 고콘트라스트의 액정 디스플레이에 사용해도 품질상 문제가 없었다. 이에 대해, 내부 결함의 짧은 변 길이가 5㎛ 이상인 경우는(비교예 3, 4), 표시 불균일이 확인되었다.According to Table 1, when the height of the convex portion is less than 0.15 mu m, the short side length of the internal defect is 1 mu m to 4 mu m, and the long side length is 52 mu m to 200 mu m (Example 1) , There was no problem in quality even when used in a high contrast liquid crystal display. Further, in the case where the height of the convex portion is less than 0.15 mu m, the short side length of the internal defect is less than 1 mu m (0.98 mu m or less) and the long side length is 52 to 78 mu m (Embodiment 2), display irregularity is not confirmed , There was no problem in quality even when used in a high contrast liquid crystal display. On the other hand, when the height of the convex portion was 0.15 mu m or more (Comparative Examples 1 and 2), display irregularity was confirmed. Further, when the short side length of the internal defect was less than 5 占 퐉 (Example 1), display irregularity was not confirmed and there was no problem in quality even when used for a high contrast liquid crystal display. On the other hand, when the short side length of the internal defect was 5 mu m or more (Comparative Examples 3 and 4), display irregularity was confirmed.

이상, 본 발명의 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판, 유리 기판의 제조 방법 및 액정 디스플레이에 대해 상세하게 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 본 발명의 주지를 일탈하지 않는 범위에 있어서, 다양한 개량이나 변경을 해도 되는 것은 물론이다.Although the glass substrate for a flat panel display, the method for manufacturing a glass substrate, and the liquid crystal display of the present invention have been described in detail above, the present invention is not limited to the above embodiments, It is needless to say that various improvements or modifications may be made.

1 : 유리 기판(플랫 디스플레이 유리 기판)
3 : 유리 기판의 주 표면
7 : 볼록부
10 : 내부 결함
h : 볼록부의 높이
D : 내부 결손의 유리 기판의 주 표면으로부터의 깊이 영역
L1 : 내부 결함의 짧은 변 길이
L2 : 내부 결함의 긴 변 길이1: Glass substrate (Flat display glass substrate)
3: main surface of glass substrate
7:
10: Internal defect
h: height of convex portion
D: depth region from the main surface of the glass substrate for internal defects
L1: Short side length of internal defect
L2: Long side length of internal defect

Claims (10)

유리 기판으로서,
투광성을 갖지 않고, 긴 변 길이가 50㎛를 초과하고 200㎛ 이하이며, 짧은 변 길이가 5㎛ 미만인 내부 결함과,
상기 내부 결함의 위치에 대응하는 상기 유리 기판의 주 표면 상의 위치에 형성되고, 상기 주 표면으로부터의 높이가 0.15㎛ 미만인 볼록부를 갖고,
두께가 0.1∼1.5mm이고,
SiO2는 55∼75몰％, Al2O3는 5∼20몰％, B2O3는 0∼15몰％, RO는 5∼20몰％(R은 Mg, Ca, Sr 및 Ba 중 상기 유리 기판에 포함되는 모든 원소를 나타냄), R'2O는 0∼0.8몰％(R'은 Li, K 및 Na 중 상기 유리 기판에 포함되는 모든 원소를 나타냄)를 포함하는 유리 기판을, 플랫 패널 디스플레이 유리 기판으로서 사용하는 것을 특징으로 하는 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판.As a glass substrate,
An internal defect having no light transmittance, a long side length exceeding 50 占 퐉 and a length of 200 占 퐉 or less, and a short side length of less than 5 占 퐉,
A convex portion formed at a position on the main surface of the glass substrate corresponding to the position of the internal defect and having a height from the main surface of less than 0.15 mu m,
A thickness of 0.1 to 1.5 mm,
SiO 2 is 55 to 75 mol%, Al 2 O 3 is 5 to 20 mol%, B 2 O 3 is 0 to 15 mol%, RO is 5 to 20 mol% (R is Mg, Ca, Sr, And R ' 2 O represents 0 to 0.8 mol% (R' represents all the elements included in the glass substrate among Li, K and Na) A glass substrate for a flat panel display, characterized by being used as a panel display glass substrate. 제1항에 있어서,
상기 내부 결함의 짧은 변 길이가 1㎛ 이상이고,
상기 볼록부의 상기 주 표면으로부터의 높이가 0.10㎛ 미만이고,
상기 내부 결함이, 상기 주 표면으로부터 50㎛ 미만의 깊이 영역에 존재하는 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판.The method according to claim 1,
Wherein the short side length of the internal defect is 1 占 퐉 or more,
The height of the convex portion from the main surface is less than 0.10 m,
Wherein the internal defect is present in a depth region of less than 50 mu m from the main surface. 제1항에 있어서,
상기 내부 결함의 긴 변 길이가 50㎛를 초과하고 80㎛ 미만이고, 짧은 변 길이가 1㎛ 미만인 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판.The method according to claim 1,
Wherein a length of the long side of the internal defect is more than 50 占 퐉 and less than 80 占 퐉, and a short side length is less than 1 占 퐉. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 내부 결함이, 선상 백금인 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the internal defect is a line platinum. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 상기 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판을 사용한 액정 디스플레이로서,
상기 유리 기판의 한쪽의 주 표면에 컬러 필터 또는 TFT 디바이스가 형성되고, 상기 주 표면측에 액정층이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이.A liquid crystal display using the glass substrate for a flat panel display according to any one of claims 1 to 3,
Wherein a color filter or a TFT device is formed on one main surface of the glass substrate, and a liquid crystal layer is provided on the main surface side. 제5항에 있어서,
2000:1 이상의 콘트라스트비를 갖는 액정 디스플레이.6. The method of claim 5,
2000: A liquid crystal display having a contrast ratio of 1 or more. 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판의 제조 방법으로서,
두께가 0.1∼1.5mm이고, SiO2는 55∼75몰％, Al2O3는 5∼20몰％, B2O3는 0∼15몰％, RO는 5∼20몰％(R은 Mg, Ca, Sr 및 Ba 중 상기 유리 기판에 포함되는 모든 원소를 나타냄), R'2O는 0∼0.8몰％(R'은 Li, K 및 Na 중 상기 유리 기판에 포함되는 모든 원소를 나타냄)를 포함하는 유리 기판을 제조하는 유리 기판 제조 공정과, 상기 유리 기판 제조 공정에서 제조된 유리 기판을 검사하는 유리 기판 검사 공정을 구비하고,
상기 유리 기판 검사 공정에서는, 투광성을 갖지 않고, 긴 변 길이가 50㎛를 초과하고 200㎛ 이하이며, 짧은 변 길이가 5㎛ 미만인 내부 결함을 갖고, 또한 상기 내부 결함의 위치에 대응하는 상기 유리 기판의 주 표면 상의 위치에 형성되고, 상기 주 표면으로부터의 높이가 0.15㎛ 이상인 볼록부를 갖는 유리 기판을 불량이라고 판별하는 것을 특징으로 하는 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판의 제조 방법.A method of manufacturing a glass substrate for a flat panel display,
, SiO 2 is 55 to 75 mol%, Al 2 O 3 is 5 to 20 mol%, B 2 O 3 is 0 to 15 mol%, RO is 5 to 20 mol% (R is Mg And R ' 2 O represents 0 to 0.8 mol% (R' represents all the elements contained in the glass substrate among Li, K and Na), Ca, Sr and Ba, And a glass substrate inspection process for inspecting the glass substrate manufactured in the glass substrate production process,
In the glass substrate inspection step, the glass substrate has internal defects which do not have translucency, have a long side length exceeding 50 占 퐉 and not more than 200 占 퐉, and a short side length of less than 5 占 퐉, And judging that the glass substrate having a convex portion at a height of 0.15 占 퐉 or more from the main surface is defective. 제7항에 있어서,
상기 내부 결함은, 50㎛를 초과하고 80㎛ 미만의 긴 변 길이를 갖고, 1㎛ 미만의 짧은 변 길이를 갖는 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판의 제조 방법.8. The method of claim 7,
Wherein the internal defect has a long side length exceeding 50 占 퐉 and less than 80 占 퐉 and a short side length of less than 1 占 퐉. 제7항 또는 제8항에 있어서,
상기 내부 결함이, 선상 백금인 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판의 제조 방법.9. The method according to claim 7 or 8,
Wherein the internal defect is platinum on-line. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 상기 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판을 사용한 액정 디스플레이로서,
상기 유리 기판의 내부 결함이 선상 백금이며,
상기 유리 기판의 한쪽의 주 표면에 컬러 필터 또는 TFT 디바이스가 형성되고, 상기 주 표면측에 액정층이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이.A liquid crystal display using the glass substrate for a flat panel display according to any one of claims 1 to 3,
Wherein an internal defect of the glass substrate is a linear platinum,
Wherein a color filter or a TFT device is formed on one main surface of the glass substrate, and a liquid crystal layer is provided on the main surface side.
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