KR101651539B1 - 엘씨디 패널 테스트용 베이스 필름, 이를 포함하는 프로브 블록 및 프로브 유닛 - Google Patents

Abstract

본 발명은 필름(10); 상기 필름(10)상에 형성된 범프층(20); 및 상기 필름(10) 및 범프층(30) 상에 형성되는 배선층(30)을 포함하고, 상기 범프층(30) 상에 형성된 배선층(30) 영역은 필름(10) 상에 형성된 배선층(30) 보다 돌출된 것을 특징으로 하는 엘씨디 패널 테스트용 베이스 필름, 이를 포함하는 프로브블록, 및 프로브유닛을 제공한다.

Description

엘씨디 패널 테스트용 베이스 필름, 이를 포함하는 프로브 블록 및 프로브 유닛{BASE FILM FOR LCD PANEL TEST, PROBE BLOCK, PROBE UNIT COMPRISING THE SAME}

본 발명은 엘씨디(LCD) 테스트용 베이스 필름, 이를 포함하는 프로브 블록 및 프로브 유닛에 관한 것으로, 보다 상세하게는 베이스 필름상에 형성된 범프층이 측정하고자 하는 엘씨디용 출력패드와 접촉 혹은 슬라이딩시에 외부힘에 의해 쉽게 떨어져 나가지 않아 수명을 연장함과 동시에 신뢰성 있는 테스트를 수행할 수 있도록 하면서, 필름상에 형성되는 범프층 사이에 별도의 절연층을 형성할 필요가 없어 공정이 단순하며 전체적인 생산단가를 줄일 수 있는 효과를 제공하는 엘씨디 테스트용 베이스 필름, 이를 포함하는 프로브 블록, 및 프로브 유닛에 관한 것이다.

일반적으로, 액정 디스플레이를 제조하는 공정 중에는 액정 디스플레이 패널의 양품을 선별하는 검사 공정이 포함된다.

상기 검사 공정에서 양품으로 판정된 패널에는 구동 모듈이 부착된다. 상기 검사 공정은 상기 구동 모듈이 부착되는 부분에 전기적 신호를 전송하여 패널의 동작 상태를 모니터링 하는 공정이고, 이때, 패널과 전기적으로 접속되는 프로브 유닛이 설치된다.

프로브 유닛은 도 4에 도시한 바와 같은 구성을 취하며, 엘씨디 패널(300)의 출력패드(310)와 프로브 베이스(500)를 전기적으로 접속하기 위한 베이스 필름이 프로브 블록(200) 위에 부착된다.

이러한 베이스 필름은 도 1에 도시한 바와 같이, 필름(1) 상에 배선층(3)이 형성되고, 배선 상의 양단에 각각 한쌍의 범프층(2)이 형성된다. 이때 통상적으로 상기 범프는 Ni-Co 금속으로 이루어지며, 이 위에 전도성의 개선을 위한 금(Au) 층(4)이 도포되어진다.

하지만, 범프층(2)은 폭이 좁아(약 10㎛) 엘씨디 패널의 출력패드와 접촉하는 과정 혹은 슬라이딩에 의해 쉽게 배선으로부터 떨어져 나가게 되는 문제가 있다.

이를 위해 도 2에서와 같이 범프층(2) 사이를 포토레지스트와 같은 절연물질(5)을 이용하여 패시베이션(passivation) 처리하여 범프층(2)을 지지해 주는 공정이 요구되어 왔으며, 이는 공정의 수를 증가시키는 것은 물론 재료비를 상승시키는 원인이 되고 있다.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래기술이 가지는 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 그 목적은 베이스 필름상에 형성된 범프층이 측정하고자 하는 엘씨디용 출력패드와 접촉 혹은 슬라이딩 시에 외부힘에 의해 쉽게 떨어져 나가지 않아 수명을 연장함과 동시에 신뢰성 있는 테스트를 수행할 수 있도록 하면서, 필름상에 형성되는 범프층 사이에 별도의 절연층을 형성할 필요가 없어 공정이 단순하며 전체적인 생산단가를 줄일 수 있는 효과를 제공하는 엘씨디 테스트용 베이스 필름, 이를 포함하는 프로브 블록, 및 프로브 유닛을 제공함에 있다.

상기한 바와 같은 본 발명의 기술적 과제는 다음과 같은 수단에 의해 달성되어진다.

(1) 필름(10); 상기 필름(10)상에 형성된 범프층(20); 및 상기 필름(10) 및 범프층(30) 상에 형성되는 배선층(30)을 포함하고, 상기 범프층(30) 상에 형성된 배선층(30) 영역은 필름(10) 상에 형성된 배선층(30) 보다 돌출된 것을 특징으로 하는 엘씨디 패널 테스트용 베이스 필름.

(2) 상기 (1)에 있어서,

배선층(30) 간 사이에 절연층이 형성되지 않은 것을 특징으로 하는 엘씨디 패널 테스트용 베이스 필름.

(3) 상기 (1)에 있어서,

상기 범프층 상의 배선층(30) 위에 금(Au) 층이 더 형성된 것을 특징으로 하는 엘씨디 패널 테스트용 베이스 필름.

(4) 상기 (1)에 있어서,

상기 배선층(30)은 구리배선인 것을 특징으로 하는 엘씨디 패널 테스트용 베이스 필름.

(5) 상기 (1)의 엘씨디 패널 테스트용 베이스 필름이 장착된 프로브 블록.

(6) 상기 (5)의 프로브 블록이 머뉴플레이터에 부착되고, 상기 프로브 블록을 구성하는 엘씨디 테스트용 베이스 필름이 프로브 베이스와 전기적 접촉을 이루도록 결합된 것을 특징으로 하는 엘씨디 테스트용 프로브 유닛.

상기와 같이 본 발명에 의하면, 베이스 필름상에 형성된 접촉단자부가 측정하고자 하는 엘씨디용 접촉패드와 접촉 혹은 슬라이딩시에 외부힘에 의해 쉽게 떨어져 나가지 않아 수명을 연장함과 동시에 신뢰성 있는 테스트를 수행할 수 있도록 하면서, 필름상에 형성되는 접촉단자부 사이에 별도의 절연층을 형성할 필요가 없어 공정이 단순하며 전체적인 생산단가를 줄일 수 있는 효과를 제공한다.

도 1은 종래기술에 따른 엘씨디 패널 테스트용 베이스 필름의 구성도(측단면도)이다.
도 2는 종래기술에 따른 엘씨디 패널 테스트용 베이스 필름의 구성도(정단면도)이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 엘씨디 패널 테스트용 베이스 필름의 구성도(정단면도)이다.
도 4는 본 발명에 따른 엘씨디 패널 테스트용 프로브 블록을 포함하는 프로브유닛의 개략적인 구성도이다.

이하 본 발명의 내용을 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 엘씨디 테스트용 베이스 필름(100)의 구성도로써, 필름(10), 범프층(20), 배선층(30)을 포함한다.

상기 범프층(20)은 필름(10)의 양단에 각각 형성되고, 각 범프층(20)은 배선층(30)을 통해 전기적으로 연결되며, 배선층(30)은 양단의 한쌍의 범프층(30)에도 연장되어 형성되는 형태를 갖는다.

상기 돌출된 형태의 범프층(20) 및 배선층(30)은 각각 도 4에서 접촉단자가 되는 엘씨디 접촉단자(110)와 베이스 접촉단자(120)를 구성한다.

본 발명에서는 범프층(20)은 니켈 혹은 니켈-코발트 합금으로 형성될 수 있으며, 그 형상에 있어서 특별한 제한은 없다. 따라서, 사각기둥, 원기둥과 같이 소정 형상으로 돌출(대략 10~20 ㎛) 된 것이라면 어떠한 형태라도 본 발명에 적용될 수 있다.

배선층(30)은 일반적으로 구리(Cu) 배선이 사용되어진다.

이와 같이 본 발명의 실시예에서 상기 범프층(20)은 기존에 배선층 위에 설치되어 왔던 구성과는 달리 베이스 필름(10) 상에 소정 형상(사각기둥, 원기둥 등)으로 먼저 형성한 후, 범프층(20) 상에 배선층(30)을 형성하는 점에서 차이가 있다.

즉, 본 발명에서는 범프층(20)이 배선층(30) 안에 형성되도록 함으로써, 배선층(30)이 범프층(20)을 필름(10) 상에서 견고하게 고정시켜주는 효과를 제공한다.

필요에 따라 전기전도성을 좋게 하기 위해 상기 배선층(30) 위에는 금(Au)(40) 층을 더 형성할 수 있다.

상기와 같은 구조에 의하면 배선층(30)이 범프층(20)을 지지해주므로, 범프층(20)을 잡아주기 위한 별도의 절연층이 요구되지 않으며, 범프층(20) 위에 넓은 영역으로 배선층(30)이 형성되어 엘씨디 출력패드와 접촉시에도 이탈함이 없이 안정적으로 접촉할 수 있게 된다.

상기 본 발명에 따른 베이스 필름 위에 형성된 범프층(20) 및 배선층(30)은 다양한 방법을 이용하여 제조할 수 있으나, 바람직하게는 미세전자기계시스템(MEMS)을 이용하여 구현되어질 수 있다.

도 4는 본 발명에 따른 베이스 필름(100)이 장착된 프로브 블록(200)을 포함하는 프로브 유닛의 개략적인 구성도이다.

상기 베이스 필름(100)은 머뉴플레이터(M/P)(400) 하단에 장착된 프로브 블록(200)의 하부에 부착되어 전단의 엘씨디 접촉단자(110)는 엘씨디 패널(300)의 출력패드(310)와 접촉을 이루게 되고, 베이스 필름(100)의 베이스 접촉단자(120)는 프로브 베이스(500)의 입력단자에 전기적으로 접촉을 이루게 되어 엘씨디 패널(300)의 테스트가 수행되어진다.

상기 본 발명의 구성 중 프로브 베이스, 머뉴플레이터(M/P)는 종래 일반적인 장치 구성에 해당하는 것으로, 여기서는 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.

상기와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

10: 필름
20: 범프층
30: 배선층
40: 금(Au)층
100: 베이스 필름
200: 프로브 블록
300: 엘씨디 패널
400: 머뉴플레이터(M/P)
500: 프로브 베이스

Claims (6)

1. 필름(10); 상기 필름(10)상에 형성된 범프층(20); 및 상기 필름(10) 및 범프층(20) 상에 형성되는 배선층(30)을 포함하고, 상기 범프층(20) 상에 형성된 배선층(30) 영역은 필름(10) 상에 형성된 배선층(30) 보다 돌출된 것을 특징으로 하는 엘씨디 패널 테스트용 베이스 필름.
2. 제 1항에 있어서,
   배선층(30) 간에 절연층이 형성되지 않은 것을 특징으로 하는 엘씨디 패널 테스트용 베이스 필름.
3. 제 1항에 있어서,
   상기 범프층 상의 배선층(30) 위에 금(Au) 층이 더 형성된 것을 특징으로 하는 엘씨디 패널 테스트용 베이스 필름.
4. 제 1항에 있어서,
   상기 배선층(30)은 구리배선인 것을 특징으로 하는 엘씨디 패널 테스트용 베이스 필름.
5. 제 1항의 엘씨디 패널 테스트용 베이스 필름이 장착된 프로브 블록.
6. 제 5항의 프로브 블록이 머뉴플레이터에 부착되고, 상기 프로브 블록을 구성하는 엘씨디 테스트용 베이스 필름이 프로브 베이스와 전기적 접촉을 이루도록 결합된 것을 특징으로 하는 엘씨디 테스트용 프로브 유닛.
   

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