KR101649579B1 - 광 검출기 및 광을 측정하는 방법 - Google Patents

광 검출기 및 광을 측정하는 방법 Download PDF

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Abstract

적어도 하나의 파장 선택 광 검출기(10), 렌즈(20) 및 개구(30)를 포함하는 광 센서(1)가 제안된다. 파장 선택 광 검출기는 센서 위에 떨어지는 미리 정해진 파장 범위 내의 광을 검출하는 것을 허용한다. 렌즈는 광 검출기 위에 광을 투영하고 개구는 광 센서의 뷰의 필드를 한정한다. 광 검출기(10), 렌즈(20), 및 개구(30)는 텔레센트릭 구성으로 배치된다. 바람직하게는, 이것은 개구에 입사하는 광의 방향과 무관하게 미리 정해진 각도들의 범위 내의 광이 파장 선택 광 검출기 위에 부딪히게 하여, 파장 선택 광 검출기의 각도 의존 응답을 제거한다.

Description

광 검출기 및 광을 측정하는 방법{PHOTO-DETECTOR AND METHOD OF MEASURING LIGHT}
본 발명은 광 센서 위에 떨어지는 미리 정해진 파장 범위 내의 광을 검출하기 위한 적어도 하나의 파장 선택 광 검출기, 광 검출기 위에 광을 투영하기 위한 렌즈, 및 광 센서의 뷰의 필드를 한정하기 위한 개구를 포함하는 광 센서 - 상기 렌즈는 제1 및 제2 초점면을 가지며, 광 검출기 및 개구는 각각 제1 초점면과 제2 초점면에 배치됨 - 에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 광을 측정하는 방법에 관한 것이다. 이러한 광 센서들은 특히 조명 패턴들의 검출 및 제어에서 이용된다.
수 개의 광원들에 의해 생성된 실내의 광 분위기의 조정 및 단일 컬러 광원들의 제어는 조명 및 컬러 패턴들의 적절한 측정이 필요하다. 이것은 LED들(light emitting diodes)의 경우 시간이 경과함에 따라 출력 스펙트럼을 변화시키는 경향이 있기 때문에 특히 중요하다. 또한, 이들의 출력 스펙트럼은 구동 레벨의 함수이며 LED마다 상이하다. 따라서, 정확한 제어는 광 출력 스펙트럼의 정확한 측정이 필요하다. 협대역 컬러 필터들을 갖는 광 검출기들의 어레이에 기초한 광 센서들은 출력 스펙트럼의 측정을 가능하게 한다. 모든 광 검출기는 스펙트럼의 작은 부분을 측정하여 전체 스펙트럼의 재구성을 가능하게 한다.
예를 들어 유전체 층들의 스택에 기초한 간섭(interference) 필터들 및 소위 패브리-페롯 에탈론들(Fabry-Perot etalons)이 가장 보편적인 유형의 협대역 컬러 필터들을 구성한다. 바람직하게는, 이 필터들은 매우 좁은 스펙트럼 응답을 가질 수 있다. 그러나, 필터의 중심 파장(central wavelength)은 광의 입사각도에 크게 의존한다. 따라서, 광 센서의 스펙트럼 응답은 상이한 방향들로부터 그 위에 부딪히는 광선들마다 상이할 것이다. 이것은 분명히 광 스펙트럼의 정확한 측정을 방해하는 단점이 된다. 또한, 협대역 필터들은 오직 적은 양의 스펙트럼을 투과하여, 광 센서의 감도를 약화시킨다. 또한, 고해상도로 스펙트럼을 결정하는 것은 이 필터들을 많이 필요로 한다. US 2005/0260741은 생물학적 시료의 정량적 분석(quantitative analysis)을 위한 이미징 시스템을 기술한다. 상기 시스템은 렌즈, (조절 가능한) 개구 및 CCD 등의 광 검출 장치를 포함하는 검출 렌즈 시스템을 포함한다. 렌즈, 개구 및 검출 장치는 실질적으로 텔레센트릭이 되도록 설계된다.
본 발명의 목적은 이 문제들 중 적어도 하나를 완화시키는 것을 개시하는 종류의 광 센서를 제공하는 것이다. 이 목적은 청구항 1에 한정된 본 발명에 따른 광 센서로 달성된다. 상기 센서 위에 떨어지는 미리 정해진 파장 범위 내의 광을 검출하기 위한 적어도 하나의 파장 선택 광 검출기, 광 검출기 위에 광을 투영하기 위한 렌즈, 및 센서의 뷰의 필드를 한정하는 개구를 포함하며, 광 검출기, 렌즈, 및 개구는 텔레센트릭(telecentric) 구성으로 배치되고 개구는 개구 내에 포함된 전자 광학 광 변조기에 의해 크기, 형상 또는 위치가 제어 가능하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 광 센서가 개시된다. 이러한 구성에서 광 검출기 및 개구는 렌즈로부터 그 초점길이와 일치하는 거리에 위치된다. 즉, 본 발명은 렌즈가 제1 및 제2 초점면을 갖고, 광 검출기 및 개구는 각각 제1 및 제2 초점면에 배치된다. 바람직하게는, 광은 개구에 입사하는 광의 방향과 무관하게 미리 정해진 각도 범위(예를 들어, 법선 방향의 입사 근처) 내에서 파장 선택 광 검출기 위에 부딪혀, 각도에 의존하는 응답을 제거할 것이다. 또한, 개구 및 렌즈는 파장 선택 광 검출기보다 훨씬 더 클 수 있기 때문에 더 많은 광이 수집되어 감도를 개선할 수 있다.
개구는 개구 내에 포함된 전자 광학 광 변조기에 의해 크기, 형상 또는 위치가 제어 가능하게 되도록 배치된다. 바람직하게는, 이것은 광이 광 검출기 위에 부딪히는 각도들의 범위를 제어하는 것을 허용하여, 파장 선택 광 검출기 및 광 센서의 스펙트럼 응답의 제어를 가능하게 한다. 또 다른 장점으로서, 스펙트럼 응답을 제어하는 것은 고해상도 성능을 유지하면서 광 검출기들의 수를 감소시키는 것을 허용한다. 이것은 센서가 더 간단해지고 더 소형이 되도록 한다.
일 실시예에서 전자 광학 광 변조기는 액정 셀, 전기 습윤(electro-wetting) 셀, 또는 전기 영동(electrophoresis) 셀을 포함한다. 바람직하게는, 이것은 스펙트럼 스캐닝 성능을 가능하게 하는 동적이고 제어 가능한 개구 시스템을 구현하는 것을 허용한다.
일 실시예에서 개구는 링 형상이 되도록 배치된다. 바람직하게는, 링 직경은 광 센서의 피크 투과 파장(peak transmission wavelength)을 한정한다. 또한, 링 폭은 광 센서의 스펙트럼 응답의 폭을 한정한다.
일 실시예에서 파장 선택 광 검출기는 간섭 필터 또는 패브리-페롯 에탈론을 포함한다. 일 실시예에서, 렌즈는 광축(optical axis)을 갖고 개구의 위치는 센서 위에 떨어지는 광의 스펙트럼을 스캐닝하는 것을 허용하도록 광축에 수직인 면 내에서 제어 가능하게 되도록 배치된다. 바람직하게는, 이것은 광 센서 위에 떨어지는 광의 스펙트럼 및 각도 정보를 결정하는 것을 허용한다.
본 발명의 제2 양태에 따라, (i)미리 정해진 파장 범위 내의 광을 검출하기 위한 적어도 하나의 파장 선택 광 검출기를 제공하는 단계, (ii)광 검출기 위에 광을 투영하기 위한 렌즈를 제공하는 단계, 및 (iii)광 검출기의 뷰의 필드를 한정하기 위한 개구를 제공하는 단계를 포함하며, 개구 내에 포함된 전자 광학 광 변조기에 의해 크기, 형상 또는 위치가 제어 가능하게 되도록 개구를 배치하고 광 검출기, 렌즈, 및 개구를 텔레센트릭 구성으로 위치시키는 것을 특징으로 하는 광을 측정하는 방법을 제공한다.
일 실시예에서, 상기 방법은 센서 위에 떨어지는 광의 스펙트럼을 스캐닝하는 것을 허용하기 위하여 렌즈의 광축에 수직인 면 내의 개구의 형상, 크기 또는 위치를 더 포함한다.
본 발명의 이들 및 다른 양태들은 이하에 기술된 실시예들을 참조하여 자명해질 것이다.
본 발명의 추가적인 세부사항들, 특징들 및 장점들은 도면과 연계된 이하의 예시적이고 바람직한 실시예들의 설명에 개시된다.
도 1은 파장 선택 광 검출기들의 어레이를 갖는 종래기술의 광 센서를 개략적으로 도시한다.
도 2는 본 발명에 따른 광 센서의 일 실시예를 개략적으로 도시한다.
도 3은 본 발명에 따른 광 센서의 다른 실시예를 개략적으로 도시한다.
도 4는 본 발명에 따른 광 센서의 제3 실시예를 개략적으로 도시한다.
도 5는 본 발명에 따른 광 센서의 제4 실시예를 개략적으로 도시한다.
도 6은 본 발명에 따른 광 센서에서 이용 가능한 개구의 두 실시예들을 개략적으로 도시한다.
도 1은 파장 선택 광 검출기들(10)의 어레이를 갖는 광 센서(1)를 개략적으로 도시한다. 광 센서는 광 센서들(10) 위에 광을 투영하기 위한 렌즈(20), 및 센서의 뷰의 필드(field of view)를 한정하기 위한 개구(30)를 더 포함한다. 광 센서(1)는 사용자에 대한 검출된 광의 추가적인 처리 및 제공을 위하여 적절한 전자장치들 및 사용자 인터페이스(도시하지 않음)를 더 포함한다.
파장 선택 광 검출기들(10)은 간섭 필터 또는 패브리-페롯 에탈론에 의해 커버된 CCD(charge coupled device) 또는 다이오드로 만들어질 수 있다. 이 필터들의 변화하는 투과 기능(transmission function)(즉, 파장 선택도)은 두 개(또는 그 이상)의 반사면들 사이의 광의 복수의 반사들 간의 간섭에 의해 발생된다. 투과된 빔들이 동상(in phase)이면 보강 간섭(constructive interference)이 발생한다. 이것은 필터의 고투과율 피크(high-transmission peak)에 대응한다. 투과된 빔들이 이상(out of phase)이면 투과율 최소값에 대응하는 상쇄 간섭(destructive interference)이 발생한다. 다수 반사된(multiply-reflected) 빔들이 동상인지 여부는 광의 파장(λ), 광이 필터를 통해 이동하는 각도(θ), 필터(층들)의 두께(t) 및 반사면들 사이의 재료의 굴절률(n)에 의존한다. 각각의 투과된 빔 사이의 광경로 길이 차이(optical path length difference)(2ntcosθ)가 λ의 정수배일 때 최대 투과율이 발생한다. 필터가 투과하게 되는 파장 범위는 정밀함(finesse)의 제어를 통해 매우 선택적으로 될 수 있다. 이것은 상이한 (층)두께들을 갖는 다수의 필터들을 갖는 광 검출기들(10)의 어레이의 설계를 허용한다. 이러한 어레이는 센서 위에 떨어지는 광 스펙트럼의 정확한 측정을 가능하게 한다. 그러나 상기의 투과율 관계는 광의 입사 각도를 증가시키기 위하여 피크 투과 파장이 청색으로 시프트하는 것을 명확히 보여준다. 따라서, 이러한 광 센서(1)는 비법선 각도들에서 센서 위에 떨어지는 광에 대하여 상이한 스펙트럼 범위들을 측정하고 결정할 것이다.
본 발명의 제1 양태에 따라, 파장 선택 광 검출기(10), 렌즈(20), 및 개구(30)는 텔레센트릭 구성으로 배치된다. 텔레센트릭 구성에서 광 검출기(10) 및 개구(30)는 둘 다 렌즈(20)로부터 그 초점 길이 f(도 2의 (a) 및 (b) 참조)와 일치하는 거리에 위치된다. 렌즈(20)의 초점면 내에 개구(30)를 위치시키는 것은 렌즈(20)의 광축(21)을 향해 굴절된 광선들을 발생시킨다. 렌즈(20)의 초점면에 광 검출기(10)를 위치시키는 것은 광 검출기 상에 포커스된 광선들을 발생시킨다. 따라서 바람직하게는, 개구(30)를 통과하는 광선들이 광 검출기에 대한 법선 주위의 원뿔(cone) 내의 각도들로 파장 선택 광 검출기(10) 위에 부딪힌다. 도 2의 (a) 및 (b)의 비교로부터 알 수 있는 바와 같이, 개구(30)의 크기는 원뿔의 폭을 결정한다. 파장 선택 광 검출기(10)의 스펙트럼 응답은 원뿔 폭에 의존하므로, 개구 폭 또는 크기의 조정은 광 센서(1)의 스펙트럼 감도의 제어를 허용한다. 바람직하게는, 개구(30) 폭/크기를 변화시키는 것은 센서의 (강도) 감도와 스펙트럼 해상도 사이에 균형을 이루는 것을 허용한다.
렌즈(20)의 초점면 내의 개구(30)의 크기뿐만 아니라 개구의 위치를 변화시키는 것은 광 센서(1)의 스펙트럼 응답의 더 큰 제어를 허용한다. 예를 들어, 링 형상의 개구(30)(도 3c 참조)로, 링 직경(40)은 파장 선택 광 검출기(10) 위에 광이 부딪히는 평균 각도(광 센서(1)의 피크 투과 파장을 한정함)를 설정하는 한편, 링 폭(50)은 광이 부딪히는 각도 분포의 폭(광 센서(1)의 스펙트럼 응답의 폭을 한정함)을 설정한다. 따라서, 링 직경(40)을 스캐닝하는 것은 미리 정해진 파장 범위에 걸쳐 스펙트럼 스캔하는 것과 같다. 바람직하게는, 원칙적으로 단일 검출기로 광 검출기 어레이 크기(즉, 광 검출기 필터 조합들의 수)를 감소시키는 것을 허용한다. 일 실시예에서, 전자 광학 광 변조기는 이러한 동적 제어 가능한 개구 시스템을 구성한다. 일 예로서, 전자 광학 변조기는 액정 셀, 전기 습윤 셀, 제어 전압의 영향 하에 초점면 내의 잉크 입자들을 이동시키는 인-플레인(in-plane) 전기 영동 셀, 또는 심지어 기계적으로 동작된 개구일 수 있다.
도 3a 및 도 3b가 도시하는 바와 같이, (i) 렌즈(20)의 광축(21)에 수직인 면 내의 개구(30)의 위치는 파장 선택 광 검출기들(10)의 어레이에 광이 부딪히는 평균 각도에 직접적으로 관련되고 (ii) 어레이 내의 광 검출기(10)의 위치는 개구(30) 위에 입사하는 광의 방향에 직접적으로 관련된다. 따라서, 렌즈(20)의 초점면 내의/초점면을 통한 개구의 스캐닝 또는 재배치는 광 센서(1) 위에 떨어지는 광의 스펙트럼 및 각도 정보 둘 다를 결정하는 것을 허용한다.
도 4는 본질적으로 본 발명에 따른 광 센서들의 어레이(1)를 포함하는 광 센서(100)를 다른 실시예에서 개략적으로 도시한다. 따라서, 광 센서(100)는 파장 선택 광 검출기들의 어레이(110), 렌즈들의 어레이(120) 및 개구들의 어레이(130)를 포함하며, 이 세 어레이들은 텔레센트릭 구성으로 배치된다. 파장 의존적인 광 검출기들의 어레이(110)를 서브어레이들(111, 112, 113)로 배열하는 것은 서브어레이들을 단일 렌즈 및 단일 개구에 할당하는 것을 허용한다. 서브어레이들은 모두 동일한 스펙트럼 응답을 갖는 광 검출기들을 포함한다. 따라서, 예를 들어, 서브어레이(111)는 주로 가시 스펙트럼의 적색 부분의 응답을 갖는 파장 선택 광 검출기들(11)을 포함한다. 유사하게, 서브어레이(112) 내의 광 검출기들(12)은 주로 녹색 부분 내에 그들의 스펙트럼 응답을 갖는 한편, 서브어레이(113) 내의 광 검출기들(13)은 가시 스펙트럼의 청색 부분에 응답을 갖는다. 분명히, 서브어레이들의 수 및 파장 선택 광 검출기들의 특정 스펙트럼 응답들의 (대응하는) 수에는 특별한 제한이 존재하지 않는다. 따라서, 광 검출기들을 서브어레이들로 배치하는 것은 서브어레이들(111, 112, 113) 내의 광 검출기들(11, 12, 13)에 입사하는 광의 위치로부터 개구 어레이(130)에 입사하는 광의 각도 분포를 결정하는 것을 허용한다.
또 다른 실시예에서, 도 5에 도시된 광 센서(200)는 다시 텔레센트릭 구성으로 배치된 파장 선택 광 검출기들의 어레이(210), 렌즈(220) 및 개구(230)를 포함한다. 광 검출기들의 어레이(210)는 각각이 가시 스펙트럼의 상이한 부분들에서의 주 스펙트럼 응답을 갖는 파장 선택 광 검출기들(11, 12, 13)을 포함하는 서브어레이들(211, 212, 213)로 배치된다. 각각의 서브어레이(211, 212, 213) 내의 파장 선택 광 검출기들(11, 12, 13)은 예를 들어, 베이어 패턴(Bayer pattern)(즉, 하나의 '적색', 하나의 '청색', 두 개의 '녹색' 픽셀들)으로 배치될 수 있다. 따라서, 보통의 카메라 시스템과 유사하게, '적색-녹색-청색' 픽셀 패턴은 다수 회 반복된다. 다시 상이한 스펙트럼 응답들을 갖는 광 검출기들의 수는 제한되지 않으며, 이 스펙트럼 응답들은 가시 스펙트럼의 적색, 녹색 및 청색 부분에 위치될 필요도 없다. 수 및 스펙트럼 위치는 단지 당업자에게 설계 자유를 제공하는 요소이다. 바람직하게는, 이 실시예는 전해상도(full resolution) 각도 및 스펙트럼 정보를 획득하기 위하여 다양한 컬러 필터들로부터의 신호들을 내삽(interpolating)하는 것을 허용한다. 이 실시예는 오직 하나의 렌즈 및 개구가 필요하다는 주요한 장점을 갖는다.
도 2의 (a) 및 (b)에서의 실시예와 관련하여 설명된 바와 같이, 가변 개구의 크기는 광 검출기(10) 상의 광의 입사의 각도(또는 더욱 정확히는 각도 분포의 폭)를 제어하므로, 스펙트럼 응답의 폭이 조정될 수 있다. 따라서, 개구 크기를 제어하는 경우에 균형이 이루어진다(즉, 큰 개구는 많은 광을 제공하지만 또한 넓은 각도 및 따라서 넓은 스펙트럼 분포를 제공하는 한편, 작은 개구는 낮은 투과율(및 따라서 잡음), 그러나 양호한 해상도를 제공한다. 유효하게는, 광 검출기면 상의 결과적인 파워 분포는 스펙트럼 파워 분포와 개구 형상의 콘벌루션이다. 일 실시예에서, 단일(코딩되지 않은(uncoded)) 개구(30) 대신에(도 6a), 광 센서(1)는 코딩된 링 형상의 개구를 포함한다(도 6b). 바람직하게는 코딩된 개구의 푸리에 변환(개구의 공간 주파수 응답)은 유리한 방식으로 변화되어, 스펙트럼의 디콘벌루션이 더 용이해진다(즉, 실제 공간(real space)에서의 콘벌루션은 주파수/푸리에 공간에서 가장 용이하게 계산되는데, 그 이유는 실제 공간에서의 콘벌루션은 푸리에 공간에서의 단순한 곱하기이기 때문이다. 1 차원 블럭 형상의 슬릿 투과 함수 및 2 차원 원형 개구의 푸리에 변환은 각각 sinc 함수 및 Airy 함수이다. 측정된 스펙트럼은 슬릿 또는 개구의 투과 함수와 실제 스펙트럼의 콘벌루션이다. 푸리에 공간에서 이것은 실제 스펙트럼의 푸리에 변환이 sinc 함수 또는 Airy 함수와 곱해지는 것을 의미한다. 측정된 스펙트럼으로부터 실제 스펙트럼을 복구하기 위하여(디콘디콘션) 측정된 스펙트럼의 푸리에 변환을 sinc 함수 또는 Airy 함수로 나눌 수 있다. Sinc 및 Airy 함수들이 매우 작아짐에 따라(심지어는 소정의 주파수들에서는 0), 이 주파수들은 매우 강하게 증폭될 필요가 있을 것이다(0으로 나눔). 따라서, 완전한 복구는 가능하지 않다. (의사-랜덤) 코딩된 슬릿 또는 개구를 이용하여 푸리에 변환은 나중에 디콘벌루션에 대하여 훨씬 더 유리하면서도(즉, 작은 값들 없음), 여전히 많은 신호를 투과한다. 이 목적으로, 광 센서는 이 디콘벌루션을 수행하는 신호 처리 유닛을 포함한다. 또한, 코딩된 링 형상 개구의 구현은 스펙트럼 해상도를 감소시키거나 그 크기를 증가시키지 않으면서 광 센서(1)의 투과율 및 따라서 감도를 증가시킨다.
본 발명은 상기에서 설명된 실시예들을 참조하여 명백해졌지만, 동일한 목적을 달성하기 위하여 대안의 실시예들이 이용될 수 있음이 자명할 것이다. 따라서, 본 발명의 범위는 상기에서 설명된 실시예들에 한정되는 것은 아니다. 따라서, 본 발명의 취지 및 범위는 청구범위 및 그 균등물들에 의해서만 한정되는 것이다.

Claims (10)

  1. 광 센서(light sensor; 1)로서,
    상기 센서 상에 떨어지는 미리 정해진 파장 범위 내의 광을 검출하기 위한 적어도 하나의 파장 선택 광 검출기(wavelength selective photo-detector; 10),
    상기 광을 상기 광 검출기 상에 투영하기 위한 렌즈(20),
    상기 센서의 뷰의 필드를 한정하기 위한 개구(30)
    를 포함하고,
    상기 렌즈(20)는 제1 및 제2 초점면을 갖고,
    상기 광 검출기(10) 및 상기 개구(30)는 각각 상기 제1 및 제2 초점면에 배치되며,
    상기 광 검출기(10)의 스펙트럼 응답을 제어하기 위하여, 상기 개구(30)는 상기 개구(30) 내에 포함된 전자 광학 광 변조기에 의해 크기, 형상 또는 위치가 제어 가능하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 광 센서(1).
  2. 제1항에 있어서, 상기 전자 광학 광 변조기는 액정 셀, 전기 습윤 셀(electro-wetting cell), 또는 전기 영동 셀(electrophoresis cell)을 포함하는 광 센서(1).
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 개구(30)는 링 형상이 되도록 배치되는 광 센서(1).
  4. 제3항에 있어서, 상기 개구(30)는 코딩된 링 형상 개구를 포함하도록 배치되고, 상기 파장 선택 광 검출기(10)는 간섭 필터 또는 페브리-페롯 에탈론(Fabry-Perot etalon)을 포함하는 광 센서(1).
  5. 제1항에 있어서, 상기 파장 선택 광 검출기(10)는 간섭 필터 또는 패브리-페롯 에탈론을 포함하는 광 센서(1).
  6. 제1항에 있어서, 상기 렌즈(20)는 광 축(21)을 가지며, 상기 개구(30)의 위치는 상기 광 축(21)에 수직인 면에서 제어 가능하도록 배치되어, 상기 광 센서(1) 상에 떨어지는 광의 스펙트럼을 스캐닝하는 것을 허용하는 광 센서(1).
  7. 광을 측정하는 방법으로서,
    미리 정해진 파장 범위 내의 광을 검출하기 위한 적어도 하나의 파장 선택 광 검출기(10)를 제공하는 단계,
    상기 광 검출기(10) 상에 상기 광을 투영하기 위한 렌즈(20)를 제공하는 단계, 및
    상기 광 검출기의 뷰의 필드를 한정하기 위한 개구(30)를 제공하는 단계
    를 포함하며,
    상기 광 검출기(10)의 스펙트럼 응답을 제어하기 위하여, 상기 개구(30) 내에 포함된 전자 광학 광 변조기에 의해 크기, 형상 또는 위치가 제어 가능하게 되도록 상기 개구(30)를 배치하는 단계, 및
    상기 광 검출기(10), 상기 렌즈(20), 및 상기 개구(30)를 텔레센트릭 구성(telecentric configuration)으로 배치하는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 광을 측정하는 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 렌즈(20)의 광 축(21)에 수직인 면에서 상기 개구(30)의 형상, 크기 또는 위치를 조정하여, 센서(1) 상에 떨어지는 광의 스펙트럼을 스캐닝하는 것을 허용하는 단계를 더 포함하는 광을 측정하는 방법.
  9. 삭제
  10. 삭제
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