KR101648383B1 - 교차전극 바이오센서 - Google Patents

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유용경
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Abstract

본 발명은 교차전극 바이오센서에 관한 것이다. 신호교차전극부(120)와 기준교차전극부(220)에 구동신호 인가부(1)를 통하여 구동주파수를 인가하면, 신호임피던스 측정부(125)에서는 신호교차전극부(120)에 대한 신호임피던스가 측정되고, 기준임피던스 측정부(225)에서는 기준교차전극부(220)에 대한 기준임피던스가 측정된다. 따라서 신호임피던스는 두 전극(21, 22) 사이에서 표적 생체물질(32)이 포획되는 경우에 대한 두 전극(21, 22) 사이의 임피던스가 될 것이고, 기준임피던스는 두 전극(21, 22) 사이에서 표적 생체물질(32)이 포획되지 않은 경우에 대한 두 전극(21, 22) 사이의 임피던스가 될 것이다. 차동증폭기(300)는 상기 신호임피던스와 기준임피던스를 각각 입력받아 상기 신호임피던스를 차동증폭하면서 결과신호를 출력한다. 기준임피던스를 기준으로 하여 신호임피던스를 차동증폭하면 이들 사이의 임피던스 차이가 명확하게 나타나기 때문에 표적 생체물질(32)이 미량이더라도 그 양을 정량적으로 정밀하게 검출할 수 있게 된다.

Description

교차전극 바이오센서{Bio-sensor having interdigitated microelectrode}
본 발명은 교차전극 바이오센서에 관한 것으로서, 특히 단백질 등과 같은 생체물질의 유무 및 그 농도를 전극 사이의 임피던스 측정을 통하여 검출하는 교차전극 바이오센서에 관한 것이다.
최근 들어 유전자, 단백질 등의 다양한 생체물질의 유무 및 그 농도를 전기적 방법으로 검출하는 바이오센서가 많이 개발되고 있다. 그 하나의 예가 다중선형전극(interdigitated electrode : IDE)을 이용하는 것이다. 이는 생체물질과 특이적 결합을 하는 수용체가 고정되는 영역이 지그재그 형태로서 실질적으로 매우 넓기 때문에 생체물질의 농도가 낮더라도 측정이 제대로 이루어진다는 평가를 받고 있다.
대한민국 등록특허 제777973호(2007.11.29.공고)에 개시된 내용이 이와 같은 다중선형전극(IDE)을 이용하는 것이다. 그러나 상기 등록특허의 경우에는 전극 사이에 흐르는 전류를 통하여 농도 측정이 이루어지기 때문에, 전극 사이에 전류가 통하도록 도전성입자를 별도로 이용해야 하는 번거로움이 있다.
대한민국 등록특허공보 제777973호(2007.11.29.공고)
따라서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 전극 사이에 전류가 통하도록 도전성 입자를 사용하지 않더라도, 전극 사이의 임피던스 측정을 통해서 소량의 생체물질의 존재 유무 및 그 농도를 정밀하게 검출할 수 있는 교차전극 바이오센서를 제공하는 데 있다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일예에 따른 교차전극 바이오센서는,
빗 모양을 하는 두 전극이 소정간격 이격되면서 엇갈리게 맞물리는 형태로 기판 상에 설치되며, 표적물질의 포획을 위하여 상기 두 전극 사이에 수용체가 설치되는 교차전극부;
상기 두 전극 사이에 10Hz ~100Hz의 구동주파수를 인가하는 구동신호 인가부; 및
상기 두 전극 사이의 임피던스를 측정하는 임피던스 측정부; 를 포함하여 이루어짐으로써,
상기 표적물질의 포획 여부에 따라 나타나는 상기 임피던스의 변화를 측정하여 상기 표적물질을 분석하는 것을 특징으로 한다.
상기 교차전극부 상에 채널이 형성되도록 상기 교차전극부 상에 보호캡이 설치되는 것이 바람직하고, 이 경우 상기 수용체가 설치되는 않는 상기 채널 내부의 면에 흡착방지층이 코팅되는 것이 더욱 바람직하다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 예에 따른 교차전극 바이오센서는,
빗 모양을 하는 두 전극이 소정간격 이격되면서 엇갈리게 맞물리는 형태로 기판 상에 설치되며, 표적물질의 포획이 이루어지지 않는 기준교차전극부;
빗 모양을 하는 두 전극이 소정간격 이격되면서 엇갈리게 맞물리는 형태로 상기 기판 상에 설치되며, 두 전극 사이에 설치되는 수용체에 의하여 표적물질의 포획이 이루어지는 신호교차전극부;
상기 기준교차전극부와 신호교차전극부에 구동주파수를 각각 인가하도록 설치되는 구동신호 인가부;
상기 기준교차전극부에 있는 두 전극 사이의 임피던스를 기준임피던스로서 측정하는 기준임피던스 측정부;
상기 신호교차전극부에 있는 두 전극 사이의 임피던스를 신호임피던스로서 측정하는 신호임피던스 측정부; 및
상기 기준임피던스 측정부 및 신호임피던스 측정부로서부터 상기 기준임피던스와 신호임피던스를 각각 입력받아 차동 증폭하도록 설치되는 차동증폭기; 를 포함하여 이루어짐으로써,
상기 기준임피던스에 대한 상기 신호임피던스의 상대적 변화를 통하여 상기 표적물질을 분석하는 것을 특징으로 한다.
상기 구동신호 인가부에서 인가되는 구동주파수는 10Hz ~100Hz 일 수 있다.
상기 기준교차전극부와 신호교차전극부 상에 채널이 각각 형성되도록 상기 기준교차전극부와 신호교차전극부 상에 보호캡이 각각 설치되는 것이 바람직하며, 이 때 상기 수용체가 설치되지 않은 상기 채널 내부의 면에 흡착방지층이 코팅되는 것이 더욱 바람직하다.
본 발명에 의하면, 종래와 같이 도전성 입자를 사용하지 않고서도 임피던스 측정을 통해서 생체 물질의 존재 유무 및 그 농도를 정밀하게 검출할 수 있다. 또한 표적 생체물질(32)이 변성 또는 손상되지 않도록 10Hz ~100Hz의 낮은 주파수를 사용하면서도 정밀 검출이 이루어질 수 있다는 장점이 있다. 그리고 차동증폭을 이용함으로써 소량의 생체물질에 대해서도 정밀 검출이 가능하다는 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 교차전극 바이오센서의 원리를 설명하기 위한 도면;
도 2는 수용체(31)와 표적 생체물질(32)의 반응에 의한 교차전극부(20)의 임피던스 변화를 설명하기 위한 그래프;
도 3은 차동증폭기가 적용된 본 발명에 따른 교차전극 바이오센서를 설명하기 위한 도면;
도 4는 도 1의 교차전극부(20)의 제조과정 및 표적 생체물질(32)의 특이적 결합을 설명하기 위한 도면;
도 5는 채널(50)을 설명하기 위한 도면;
도 6 및 도 7은 도 3의 교차전극 바이오센서의 검출능력을 설명하기 위한 도면들로서, 표적 생체물질(32)의 특이결합에 대한 기여를 살펴본 것;
도 8은 도 3의 교차전극 바이오센서의 검출능력을 설명하기 위한 100pg/mL 농도의 베타아밀로리이드 검출실험 결과 그래프로서, 차동증폭기(300)의 기여를 살펴본 것이다.
이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 아래의 실시예는 본 발명의 내용을 이해하기 위해 제시된 것일 뿐이며 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상 내에서 많은 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 권리범위가 이러한 실시예에 한정되는 것으로 해석돼서는 안 된다.
도 1은 본 발명에 따른 교차전극 바이오센서의 원리를 설명하기 위한 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 교차전극 바이오센서는 기판(10) 상에 교차전극부(20)가 설치되어 이루어진다. 상기 교차전극부(20)는 빗 모양을 하는 두 전극(21, 22)이 소정간격 이격되면서 엇갈리게 맞물리는 형태로 설치된 일반적으로 널리 알려진 다중선형전극(IDE)일 수 있고, 이것은 다중선형미세전극(interdigitated microelectrode : IME)인 것도 가능하다.
이 때, 두 전극(21, 22) 사이의 임피던스는 다음과 같이 정리된다.
Z = R + jX
= R + j(XL-XC)
= R - jXC
= R - j(1/wC)
여기서, Z는 임피던스(impedance), R은 저항(resistance), X는 리액턴스(reactance), C는 정전용량(capacitance), w는 각주파수(angular frequency)이다. 리액턴스 X는 인덕터 성분인 XL과 커패시터 성분인 XC 나뉘는데, 두 전극(21, 22) 사이는 전기적으로 직접 연결되어 있지 않기 때문에 인덕터 성분(XL)은 무시되고 커패시터 성분(XC)만 존재한다고 볼 수 있다.
두 전극(21, 22) 사이의 공간에 표적(target) 생체물질(32)에 특이적으로 반응하는 수용체(주로 항체, 압타머 등, 31))를 고정하고 표적 생체물질(32)이 수용체(31)에 반응 했을 때의 두 전극(21, 22) 사이에서의 임피던스 변화를 확인하면 표적 생체물질(32)의 정량분석이 가능하게 된다.
도 2는 수용체(31)와 표적 생체물질(32)의 반응에 의한 교차전극부(20)의 임피던스 변화를 설명하기 위한 그래프이다. 수용체(31)와 표적 생체물질(32)이 특이결합을 하게 되면 두 전극(21, 22) 사이에 존재하던 물(혹은 버퍼용액, 혈청, 혈액 등)을 밀어내고 표적 생체물질(32)이 위치하게 되므로 저항이 증가하게 된다. 또한, 리액턴스는 유전율이 물(혹은 버퍼용액, 혈청, 혈액 등)보다 작은 표적 생체물질(32)의 성질에 의해서 정전용량(C)의 값이 감소하게 되어 XC 값은 커지고 따라서 -XC 값은 감소하게 된다. 이러한 임피던스(저항과 리액턴스)의 변화량을 확인하여 표적 생체물질(32)의 양을 정확하게 검출 할 수 있다는 것이다.
위와 같이 인덕터 성분은 무시되고 커패시터 성분의 리액턴스만 주로 고려될 경우에는, 구동주파수가 높아야 임피던스의 변화를 확인하기가 용이하고, 구동 주파수가 낮으면 임피던스의 변화가 미미하여 그 변화를 확인하기가 어려운 것이 일반적이다. 따라서 미량의 표적 생체물질(32)을 검출하기 위해서는 높은 구동주파수를 사용할 수밖에 없다.
그러나 구동주파수의 주파수가 높으면, 특이적으로 결합된 표적 생체물질(32)의 윗 공간을 통해서, 즉 루트 A를 통해서 전류가 주로 흐르게 되므로 표적 생체물질(32)의 검출이 제대로 이루어지지 않게 된다. 뿐만 아니라 주파수가 높으면, 표적 생체물질(32)이 고주파에 의해 손상되어 제대로 검출되지 않을 우려가 있다.
표적 생체물질(32)의 검출이 이루어지기 위해서는 전류가 루트 B를 통해서 흐르는 것이 바람직하므로, 본 발명은 전류가 루트 B를 통해서 흐를 수 있도록 10Hz ~100Hz의 낮은 구동주파수를 사용하는 것을 특징으로 한다. 그러면 주파수가 낮기 때문에 표적 생체물질(32)이 손상되는 것도 방지되어 바람직하다. 물론, 이 경우 주파수가 낮기 때문에 루트 B에서의 미세 임피던스 변화를 검출하기 어렵다는 단점이 있지만, 이러한 단점은 후술하는 바와 같이 차동증폭기를 이용하여 극복할 수 있다.
본 발명에서와 같이 10Hz ~100Hz의 낮은 구동주파수를 사용하면서 루트 B 상에 있는 생체물질(32)을 검출코자 하는 경우에는 두 전극(21, 22)의 간극이 3~7㎛인 것이 바람직하다. 왜냐하면, 간극이 너무 작아 3㎛보다 작으면 검출신호의 편차가 너무 커서 신뢰성 있는 테스트가 이루어지 못하고, 간극이 너무 커서 7㎛보다 크면 민감도가 떨어져서 소량의 생체물질(32)을 검출하는데 부족함이 있기 때문이다. 편차와 민감도를 고려할 때에 5㎛인 경우가 가장 바람직하다.
도 3은 차동증폭기가 적용된 본 발명에 따른 교차전극 바이오센서를 설명하기 위한 도면이다. 도 3을 참조하면, 기판(1) 상에 신호교차전극부(120)와 기준교차전극부(220)가 설치되며, 신호교차전극부(120)와 기준교차전극부(220) 각각은 도 1의 교차전극부(20)와 같이 빗 모양을 하는 두 전극(21, 22)이 소정간격 이격되면서 엇갈리게 맞물리는 형태로 배치된다.
신호교차전극부(120)에서는 두 전극(21, 22) 사이에 설치되는 수용체(31)에 의하여 표적 생체물질(32)의 포획이 이루어지는 반면에 기준교차전극(220)에서는 이러한 포획이 이루어지지 않는다.
이는 신호교차전극부(120)와 기준교차전극부(220) 모두에 수용체(31)를 설치한 후에 신호교차전극부(120)에만 표적 생체물질932)을 제공함으로써 이루어질 수도 있고, 신호교차전극부(120)에만 수용체931)를 설치하고 신호교차전극부(120)와 기준교차전극부(220) 모두에 표적 생체물질(32)을 제공함으로써 이루어질 수도 있다.
신호교차전극부(120)와 기준교차전극부(220)에는 구동신호 인가부(1)를 통하여 구동주파수가 인가된다. 그러면 신호임피던스 측정부(125)에서는 신호교차전극부(120)에서의 임피던스가 신호임피던스로서 측정되고, 기준임피던스 측정부(225)에서는 기준교차전극부(220)에서의 임피던스가 기준임피던스로서 측정된다. 따라서 신호임피던스는 두 전극(21, 22) 사이에서 표적 생체물질(32)이 포획되는 경우에 대한 두 전극(21, 22) 사이의 임피던스가 될 것이고, 기준임피던스는 두 전극(21, 22) 사이에서 표적 생체물질(32)이 포획되지 않은 경우에 대한 두 전극(21, 22) 사이의 임피던스가 될 것이다.
차동증폭기(300)는 상기 신호임피던스와 기준임피던스를 각각 입력받아 상기 신호임피던스를 차동증폭하면서 결과신호를 출력한다.
도 1에서와 같이 차동증폭 없이 교차전극부(20)만을 사용하는 경우에는 10Hz ~ 100Hz 의 낮은 주파수 범위에서 루트 B에서의 임피던스 변화가 미미하여 미소량의 표적 생체물질(32)를 검출하기 어렵지만, 도 3에서와 같이 신호교차전극부(120)와 기준교차전극부(220)를 두어 기준교차전극부(220)의 임피던스를 기준으로 하여 신호교차전극부(120)의 임피던스를 차동증폭하면 이들 사이의 임피던스 차이가 명확하게 나타나기 때문에 표적 생체물질(32)이 미량이더라도 그 양을 정량적으로 정밀하게 검출할 수 있게 된다.
도 4는 도 1의 교차전극부(20)의 제조과정 및 표적 생체물질(32)의 특이적 결합을 설명하기 위한 도면이다.
먼저, 도 4a에 도시된 바와 같이, 실리콘 기판(10) 상에 열산화법(thermal oxidation)으로 500nm 두께의 실리콘 산화막(SiO2, 11)을 형성한 다음에, 실리콘 산화막(11) 상에 스퍼터링(sputtering)법으로 Ti 30nm, Pt 150nm를 순차적으로 적층하여 금속층(20a)을 형성한다. Ti층은 Pt층과 실리콘 산화막(11)의 결합력을 증가시키기 위한 접착층(adhesion layer)로서 사용된 것이다. 그 다음에 금속층(20a) 상에 감광막을 도포하고 포토리소그래프 공정으로 상기 감광막을 패터닝하여 감광막 패턴(40)을 형성한다.
이어서, 도 4b에 도시된 바와 같이 감광막 패턴(40)을 식각 마스크로 하여 실리콘 산화막(11)이 노출될 때까지 ICP-RIE(inductively coupled plasma reactive ion etcher)를 이용하여 금속층(20)을 식각하여 두 전극(21, 22)을 형성한 후, 도 4c에 도시된 바와 같이 감광막 패턴(40)을 제거한다.
표적 생체물질(32)의 특이적 결합은 다음과 같이 이루어진다.
도 4d에 도시된 바와 같이, 두 전극(21, 22) 사이의 실리콘 산화막(11) 표면에 베타아밀로이드 항체를 선택적으로 고정하기 위한 연결분자층(33)으로서 Calixcrown SAM(Self-Assembled Monolayer)을 형성한 후에, 연결분자층(33)에 수용체(31)로서 베타아밀로이드 항체를 고정시킨다. 그러면 도 4e에서와 같이 표적 생체물질(32)인 베타아밀로이드가 수용체(31)에 선택적으로 특이 결합된다.
도 5는 채널(55)을 설명하기 위한 도면이다. 도 4e에서와 같이 표적 생체물질(32)이 특이적으로 결합되는 영역이 외부에 완전 노출되어 버리면 검출 에러가 발생할 수 있으므로 이 부분을 덮어줄 필요가 있다. 이를 위해 두 전극(21, 22)이 채널(55) 안에 놓이도록 두 전극(21, 22) 상에 보호캡(50)이 설치되는 것이 바람직하다. 보호캡(50)에 의한 채널(55)은 시료가 특이 결합 영역으로 유입되는 것을 도와주는 역할도 한다. 보호캡(50)은 PDMS(Polydimethylsiloxane) 재질의 것을 사용하는 것이 바람직하다.
여러 성분이 포함되어 있는 시료를 채널(55) 내에 투입하면 수용체(31)에 특이 반응하는 표적 생체물질(32) 만이 수용체(31)에 결합된다. 위의 경우 표적 생체물질(32)이 베타아밀로이드가 될 것이다. 이 때, 베타아밀로이드 이외의 다른 물질들이 채널(55) 내의 다른 부분에 비특이적으로 결합되어 버리는 것은 바람직하지 않으므로 이를 방지하기 위하여, 수용체(31)가 고정되지 않은 부분을 제외한 보호캡(50) 내벽 및 전극(21, 22)의 표면에 흡착방지층(51)이 코팅되는 것이 바람직하다. 여기서의 흡착방지층(51)은 BSA (Bovine Serum Albumin)으로 이루어지는 것이 바람직하다.
도 6 및 도 7은 도 3의 교차전극 바이오센서의 검출능력을 설명하기 위한 도면들로서, 표적 생체물질(32)의 특이결합에 대한 기여를 살펴본 것이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 실험부(100)와 대조부(200)로 구분하고 실험부(100)와 대조부(200) 각각에 도 3에서와 같이 신호교차전극부(120)와 기준교차전극부(220)를 한 쌍씩 형성하였다. 그리고 실험부(100)의 신호교차전극부(120)에는 베타아밀로이드 항체를 고정시키고, 대조부(200)의 신호교차전극부(120)에는 선택성 확인(negative control)을 위하여 PSA(Prostate-specific antigen) 항체를 고정하였다. 또한 실험부(100)와 대조부(200) 각각에 두 개의 마이크로 채널을 가지는 PDMS 칩을 부착시켰다.
두 채널 모두에 0.1X PBS 버퍼 용액을 주입하였고, 각 전극부에서 출력되는 임피던스 신호가 안정적으로 일정하게 유지되는 시점까지 신호를 관찰하며 안정화 작업을 진행하였다. 그리고 베타이밀로이드를 채널에 주입하여 임피던스 신호의 변화량을 관찰하여 베타아밀로이드의 항원항체 반응을 확인하였다.
도 7은 10, 100, 1000 pg/mL의 베타아밀로이드를 순차적으로 주입하였을 때의 실험부(100)와 대조부(200)에서의 임피던스 변화를 나타내는 그래프이다. 도 7을 참조하면, 실험부(100)의 임피던스 변화량은 베타아밀로이드의 농도가 증가할수록 더욱 증가하나(초록색), 비특이적 항체가 고정되어 있는 대조부(200)의 경우에는 베타아밀로이드를 주입하였을 때 그 신호의 변화가 매우 미비함을 알 수 있다(파란색). 이는 실험부(100)에서는 표적 생체물질(32)인 베타아밀로이드의 특이적 결합이 이루어지는 반면에 대조부(200)에서는 이러한 특이적 결합이 이루어지지 않고 있음을 반영하는 결과이다.
도 8은 도 3의 교차전극 바이오센서의 검출능력을 설명하기 위한 100pg/mL 농도의 베타아밀로리이드 검출실험 결과 그래프로서, 차동증폭기(300)의 기여를 살펴본 것이다.
도 8a는 신호교차전극부(120)와 기준교차전극부(220)에서 출력되는 임피던스를 차동 증폭하지 않고 그대로 검출한 것이다. 도 8a에서 알 수 있듯이 신호교차전극부(120)와 기준교차전극부(220)의 임피던스 변화가 제대로 구별되지 않기 때문에 표적 생체물질(32)의 양을 정량적으로 검출하기가 매우 어렵다.
반면에, 도 8b는 신호교차전극부(120)에서 출력되는 신호임피던스(빨간색)를 기준교차전극부(220)에서 출력되는 기준임피던스(파란색)에 대해 차동증폭하여 그 결과를 출력한 것이다. 도 8b에서 알 수 있듯이 신호임피던스와 기준임피던스의 구별이 명확하게 이루어지기 때문에 100pg/mL 만큼 소량의 경우라도 제대로 측정할 수 있음을 확인할 수 있다.
본 발명에 의하면, 종래와 같이 도전성 입자를 사용하지 않고서도 임피던스 측정을 통해서 생체 물질의 존재 유무 및 그 농도를 정밀하게 검출할 수 있다. 또한 표적 생체물질(32)이 변성 또는 손상되지 않도록 10Hz ~100Hz의 낮은 주파수를 사용하면서도 정밀 검출이 이루어질 수 있다는 장점이 있다. 그리고 차동증폭을 이용함으로써 소량의 생체물질에 대해서도 정밀 검출이 가능하다는 장점이 있다.
1: 구동신호 인가부 10: 기판
11: 실리콘 산화막 20: 교차전극부
20a: 금속층 21, 22: 전극
31: 수용체 32: 표적 생체물질
33: 연결분자층 40: 감광막 패턴
50: 보호캡 55: 채널
100: 실험부 120: 신호교차전극부
125: 신호임피던스 측정부 200: 대조부
220: 기준교차전극부 225: 기준임피던스 측정부
300: 차동증폭기

Claims (5)

  1. 빗 모양을 하는 두 전극이 소정간격 이격되면서 엇갈리게 맞물리는 형태로 기판 상에 설치된 다중선형전극(interdigitated electrode : IDE)을 포함하고, 표적물질의 포획이 이루어지지 않는 기준교차전극부;
    빗 모양을 하는 두 전극이 소정간격 이격되면서 엇갈리게 맞물리는 형태로 상기 기판 상에 설치된 다중선형전극을 포함하고, 두 전극 사이에 설치되는 수용체에 의하여 표적물질의 포획이 이루어지는 신호교차전극부;
    상기 기준교차전극부와 신호교차전극부 각각의 두 전극 사이에 10Hz ~100Hz의 구동주파수를 각각 인가하도록 설치되는 구동신호 인가부;
    상기 기준교차전극부에 있는 두 전극 사이의 임피던스를 기준임피던스로서 측정하는 기준임피던스 측정부;
    상기 신호교차전극부에 있는 두 전극 사이의 임피던스를 신호임피던스로서 측정하는 신호임피던스 측정부; 및
    상기 기준임피던스 측정부 및 신호임피던스 측정부로부터 상기 기준임피던스와 신호임피던스를 각각 입력받아 차동 증폭하도록 설치되는 차동증폭기; 를 포함하여 이루어짐으로써,
    상기 기준임피던스에 대한 상기 신호임피던스의 상대적 변화를 통하여 상기 표적물질을 분석하는 것을 특징으로 하는 교차전극 바이오센서.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기준교차전극부와 신호교차전극부 상에 채널이 각각 형성되도록 상기 기준교차전극부와 신호교차전극부 상에 보호캡이 각각 설치되고, 상기 수용체가 설치되지 않은 상기 채널 내부의 면에 흡착방지층이 코팅되는 것을 특징으로 하는 교차전극 바이오센서.
  3. 제2항에 있어서, 상기 수용체가 설치되지 않은 상기 채널 내부의 면은, 상기 보호캡의 내벽 및 상기 기준교차전극부와 신호교차전극부의 전극 표면인 것을 특징으로 하는 교차전극 바이오센서.
  4. 제1항에 있어서, 상기 빗 모양을 하는 두 전극은 3㎛ 내지 7㎛ 범위 내의 간극을 갖는 것을 특징으로 하는 교차전극 바이오센서.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 다중선형전극(IDE)은 다중선형미세전극(interdigitated microelectrode : IME)인 것을 특징으로 하는 교차전극 바이오센서.
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