KR101643148B1 - 반도체 제조설비용 덕트 내부 검사용 체크윈도우 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조용 덕트에 설치되어, 덕트의 내부를 개방하지 않고도 안정적으로 육안으로 덕트 내부를 검사함은 물론, 특히, 구조가 간단하여 제조가 용이하고 검사동작을 간편하게 수행할 수 있어, 작업의 편리를 구현할 수 있도록;
일단이 반도체 제조용 덕트의 말단에 결합하는 '관' 형상의 몸체와, 상기 몸체의 타단에 결합하며 상기 몸체와 덕트의 내부를 육안으로 검사하도록 된 투시창과, 상기 몸체의 내부를 개폐하도록 된 개폐수단을 포함하여 이루어져 덕트의 내부를 검사하도록 된 덕트 내부 검사용 체크윈도우에 있어서; 상기한 개폐수단은, 상기 몸체의 내부에 회전가능하게 축결합되어 회전시 몸체의 내부를 개폐하도록 된 개폐판과, 상기 개폐판을 관통하면서 상기 몸체에 회전가능하게 축결합하되 일단이 상기 몸체의 외부로 노출된 회전축과, 상기 회전축의 노출된 단부에 체결되어 상기 회전축을 회전시키도록 된 손잡이를 포함하여 이루어진 반도체 제조설비용 덕트 내부 검사용 체크윈도우를 제공한다.

Description

반도체 제조설비용 덕트 내부 검사용 체크윈도우{A damper for checking the inside of duct}

본 발명은 반도체 제조 설비에 사용되는 덕트에 접속고정되어 덕트의 내부 상태를 검사할 수 있도록 된 반도체 제조설비용 덕트 내부 검사용 덕트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 반도체 제조용 덕트에 설치되어, 덕트의 내부를 개방하지 않고도 안정적으로 육안으로 덕트 내부를 검사함은 물론, 특히, 구조가 간단하여 제조가 용이하고 검사동작을 간편하게 수행할 수 있어, 작업의 편리를 구현할 수 있도록 된 반도체 제조설비용 덕트 내부 검사용 체크윈도우에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조공정에 있어, 수소가스, 헬륨가스 및 질소가스 등의 각종 공정가스들과 실란, 산류, 염기류 및 비소화합물 등의 화학물질들이 필수적으로 사용되고 있다.

이러한 공정가스들이나 화학물질들을 사용할 때나 사용하고 난 후의 인출을 위해 적절한 유로가 구비되며, 주로 덕트(duct)를 통해 유로를 구현하게 된다.

이와 같은, 덕트에는, 덕트의 개폐 정도를 조정하기 위하여 덕트의 연결부위나 말단에 체크윈도우(damper)가 설치되어 있으며, 말단의 체크윈도우의 경우 덕트 내부 검사를 위해 사용된다.

한편, 공정가스들과 화학물질들은 설비 자체에 손상을 주거나 생산라인 내의 작업자들에게 유해한 경우가 많으며, 이에 따라 덕트를 통해 외부와 밀폐되어 적절하게 인출되어야 한다.

그러나, 덕트 내부가 노폐물 등에 의해 막힌 경우에 공정가스들의 공급과 인출이 원활하지 못하고 덕트 내부의 압력이 높아져 외부로 누출되는 경우가 발생하는 문제점이 발생한다.

이에 따라, 공정불량이 야기되고, 작업자에게 심각한 건강상의 피해를 주며, 전체 공정 라인을 장시간 폐쇄해야 하는 경우가 발생한다.

따라서, 덕트 내부 상태를 주기적으로 점검하여야 한다.

종래에는, 내시경이나 덕트 사이 사이의 점검 포트(port)를 이용하여 덕트 내부를 검사하였다.

그러나, 내시경에 의한 검사의 경우 내부 공정가스 및 증기(fume) 때문에 덕트 내부 확인이 곤란한 경우가 많고 또한, 내시경 자체가 화학물질 등으로 인해 자주 고장 나는 문제가 있었다.

한편, 포트를 이용하는 경우는 덕트의 일정부분을 개방하기 때문에 공정 라인의 압력이 감소되어 공정불량을 야기하는 문제점이 발생하고 있으며, 점검 포트가 설치되지 않은 곳은 아예 검사가 불가능한 문제점이 있었다.

상기와 같은, 종래의 덕트 내부 점검은 점검시 장시간이 소요되며, 내부를 명확하게 확인할 수 없는 경우가 많은 문제점이 있었다.

한편, 한국특허공개번호 제10-2007-0079241호(명칭: 덕트 내부 검사용 체크윈도우)에서는, 공보에 공지된 바와 같이, 스테인리스강(SUS)으로 형성되고 관의 형상의 몸체를 가지며, 상기 몸체의 한쪽 입구는 덕트(duct)의 말단과 결합을 위한 상기 입구 외곽으로 결합부가 형성되어 있되, 상기 결합부가 상기 덕트의 하부 일정부분을 폐쇄할 수 있도록 형성된 몸체부(body part); 투명한 재질로 형성되고, 상기 몸체에 결합되어 상기 몸체의 다른 쪽 입구를 막는 윈도우(window); 및 상기 몸체의 중앙부로 인입될 수 있고, 상기 윈도우 앞쪽에서 상기 관을 폐쇄할 수 있는 셔터(shutter);를 포함하는 덕트 내부 검사용 체크윈도우가 기재되어 있다.

이에 따라, 평상시에는 셔터로 체크윈도우의 몸체부를 차단함으로써, 윈도우를 공정가스 등으로부터 보호하며, 덕트 내부 점검 시에는 셔터를 오픈하여 윈도우를 통해 덕트 내부를 검사하게 된다.

이에 따라, 덕트를 오픈하지 않아도 되기 때문에 공정가스의 압력을 정상적으로 유지하게 된다.

1, 한국특허공개번호 제10-2007-0079241호

그러나, 상기와 같은 종래의 반도체 제조용 덕트 내부 검사용 체크윈도우는, 덕트를 개방하지 않고도 육안으로 덕트의 내부를 검사할 수는 있으나, 그 구조가 복잡하여 제조가 어려워 비경제적인 문제점이 있었다.

이와 더불어, 셔터를 개방하고, 개장된 셔터를 고정하기 위한 별도의 작업이 필요함에 따라, 검사작업이 힘든 문제점이 있었다.

아울러, 외부로 노출되는 셔터와 몸체부의 사이 공간으로 누출이 발생할 우려가 높아 안전성이 떨어지는 문제점이 있었다.

본 발명은, 상기와 같은 종래의 문제점들 해결하기 위하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은, 반도체 제조용 덕트에 설치되어, 덕트의 내부를 개방하지 않고도 안정적으로 육안으로 덕트 내부를 검사함은 물론, 특히, 구조가 간단하여 제조가 용이하고 검사동작을 간편하게 수행할 수 있어, 작업의 편리를 구현함은 물론 안전성을 확보할 수 있도록 된 반도체 제조설비용 덕트 내부 검사용 체크윈도우를 제공하는 것에 있다.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 제조설비용 덕트 내부 검사용 체크윈도우는, 일단이 반도체 제조용 덕트의 말단에 결합하는 '관' 형상의 몸체와, 상기 몸체의 타단에 결합하며 상기 몸체와 덕트의 내부를 육안으로 검사하도록 된 투시창과, 상기 몸체의 내부를 개폐하도록 된 개폐수단을 포함하여 이루어져 덕트의 내부를 검사하도록 된 덕트 내부 검사용 체크윈도우에 있어서; 상기한 개폐수단은, 상기 몸체의 내부에 회전가능하게 축결합되어 회전시 몸체의 내부를 개폐하도록 된 개폐판과, 상기 개폐판을 관통하면서 상기 몸체에 회전가능하게 축결합하되 일단이 상기 몸체의 외부로 노출된 회전축과, 상기 회전축의 노출된 단부에 체결되어 상기 회전축을 회전시키도록 된 손잡이를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

상기한 회전축과 상기 몸체의 사이에는, 불소고무재질의 링부재가 게재되어 몸체의 내부를 밀폐하도록 된 것을 특징으로 한다.

상기한 몸체 내부의 단면적은, 상기 덕트의 내부 단면적보다 작은 단면적을 가지는 것을 특징으로 한다.

상기와 같이 이루어지는 본 발명의 반도체 제조설비용 덕트 내부 검사용 체크윈도우는, 반도체 제조용 덕트의 말단에 설치되어 개폐수단을 통해 개폐되는 몸체의 내부공간을 투시창을 통해 육안을 검사할 수 있어, 덕트의 내부를 개방하지 않고도 안정적으로 육안으로 덕트 내부를 검사할 수 있는 효과를 가진다.

이와 더불어, 구조가 간단하여 제조가 용이하여 경제적이 이익을 구현할 수 있고, 특히, 개폐수단의 개폐동작이 단순히 손잡이를 회전시키는 간단한 작업으로 이루어져 있어, 검사작업의 편리를 구현하는 효과를 가진다.

아울러, 개폐수단의 작업공간이 몸체의 내부에서 이루어져 누출공간이 발생하지 않아 안전성을 확보할 수 있는 효과를 가진다.

도 1은, 본 발명에 따른 일 실시 예에 의한 반도체 제조설비용 덕트 내부 검사용 체크윈도우를 보인 개략 정면 예시도.
도 2는, 본 실시 예에 의한 반도체 제조설비용 덕트 내부 검사용 체크윈도우를 보인 개략 측면 예시도.
도 3은, 본 실시 예에 의한 반도체 제조설비용 덕트 내부 검사용 체크윈도우를 보인 개략 측단면 예시도.
도 4는, 본 실시 예에 의한 반도체 제조설비용 덕트 내부 검사용 체크윈도우를 보인 개략 정단면 예시도.
도 5는, 본 실시 예에 의한 반도체 제조설비용 덕트 내부 검사용 체크윈도우에 적용되는 몸체를 보인 개략 정단면 예시도.
도 6은, 본 실시 예에 의한 반도체 제조설비용 덕트 내부 검사용 체크윈도우에 적용되는 개폐수단을 보인 개략 정면 예시도.
도 7은, 본 실시 예에 의한 반도체 제조설비용 덕트 내부 검사용 체크윈도우의 사용상태를 보인 개략 예시도.
도 8은, 본 실시 예에 의한 반도체 제조설비용 덕트 내부 검사용 체크윈도우의 작용상태를 보인 개략 예시도
.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 바람직한 실시 예에 의한 반도체 제조설비용 덕트 내부 검사용 체크윈도우를 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상세히 설명하는 실시 예로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어 표현될 수 있다. 각 도면에서 동일한 부재는 동일한 참조부호로 도시한 경우가 있음을 유의하여야 한다. 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 기술은 생략된다.

도 1 내지 도 8은, 본 발명에 따른 일 실시 예에 의한 반도체 제조설비용 덕트 내부 검사용 체크윈도우를 보인 도면으로, 본 실시 예에 의한 덕트 내부 검사용 체크윈도우(1)는, 도 7에서 도시된 바와 같이, 일단이 반도체 제조용 덕트(10)의 말단에 결합하는 '관' 형상의 몸체(2)와, 상기 몸체(2)의 타단에 결합하며 상기 몸체(2)와 덕트(10)의 내부를 육안으로 검사하도록 된 투시창(3)을 가진다.

상기에서 몸체(2)는, 스테인레스재질로 이루어지며, 에틸렌 테트라 플로로 에틸렌(ethylene tetra fluoro ethylene:ETFE) 수지로 내외부가 코팅되는 것이 바람직하다.

이에 따라, 덕트(10) 내부를 통해 이동하는 가스에 의한 손상을 방지하도록 되어 있다.

한편, 상기한 몸체(2)의 일단에는, 상기 덕트(10)의 말단에서 외측으로 연장 형성된 플랜지와 볼트를 통해 체결되는 플랜지편(21)이 형성되며, 타단에는 상기 투시창(3)이 볼트체결하는 결합편(22)이 외측으로 연장 형성된 '플랜지관'으로 이루어지는 것이 가장 바람직하다.

상기에서 덕트(10)의 플랜지편과 상기 몸체(2)의 플랜지편(21)의 사이에는 밀폐가스켓(11)이 게재되어 누출을 방지하도록 되어 있으며, 상기한 밀폐가스켓(11)은, 불소고무 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.

그리고, 상기한 투시창(3)은, 유리 또는 투명한 PVC(polyvinyl chloride)로 이루어지는 것이 바람직하며, 상기 결합편(22)과의 사이에 접착가스켓(4)이 게재되어 결합함으로써 누출을 방지하도록 되어 있으며, 상기한 접착가스켓(4)은, 불소고무 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.

상기에서 투시창(3)의 테두리부위에는, 스테인레스재질로 이루어진 보강띠(5)가 배치되면서 결합되어 외부의 충격에 대한 내구성을 증대하도록 되는 것이 바람직하며, 상기 몸체(2)의 결합편(22)과 상기 투시창(3) 및 상기 보강띠(5)는, 단일의 결합볼트(6)가 관통하면서 동시에 나사결합하여 조립되는 것이 바람직하다.

이를 위해, 상기 몸체(2)의 결합편(22)과 상기 투시창(3) 및 상기 보강띠(5)에는 상기 결합볼트(6)가 관통하는 결합공들이 각각 형성된다.

이와 같이 이루어지는 본 실시 예에 의한 반도체 제조설비용 덕트 내부 검사용 체크윈도우(1)에서, 상기한 몸체(2)의 내부는, 상기 덕트(10)의 내부 단면적보다 작은 단면적을 가지도록 되는 것이 바람직하다.

즉, 대형의 단면적을 가지는 덕트(10)에 소형의 단면적을 가지는 상기 몸체(2)가 결합되어, 육안으로 검사할 수 있는 정도의 소형으로 제조하도록 되어 있어, 경제적인 이익을 구현하게 된다.

한편, 상기한 몸체(2)는, 도 1 및 도 4에서 도시된 바와 같이, 상기 플랜지편(21)의 전면에 대하여 중앙에서 상측에 편위된 위치에 배치되는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 플랜지편(21)에서 상기 덕트(10)의 내부와 접하는 위치에는, 조명등을 통해 덕트 내부로 조명광을 방사하도록 된 조명공(23)이 형성되고, 상기 조명공(23)은 덮개(24)에 의해 개폐되도록 되어 있다,

상기에서 덮개(24)는, 조명광이 투광하도록 된 투광성 재질로 이루어질 수 있으며, 상기 조명공(23)에는 투광성 재질의 투광체(25)가 구비되어 조명광을 투광하도록 됨과 더불어, 상기 투광체(25)와 상기 조명공(23)의 사이는 밀폐되어 덕트(10) 내부를 외부에 대하여 밀폐하도록 되는 것이 가장 바람직하다.

상기와 같이 이루어지는 본 실시 예에 의한 반도체 제조설비용 덕트 내부 검사용 체크윈도우(1)는, 상기 몸체(2)의 내부를 개폐하도록 된 개폐수단(7)을 더 포함하여 이루어진다.

즉, 상기 개폐수단(7)을 통해 개폐되는 상기 몸체(2)의 내부공간으로 상기 덕트의 내부를 상기 투시창(3)을 통해 육안을 검사할 수 있어, 덕트(10)의 내부를 개방하지 않고도 안정적으로 육안으로 덕트(10) 내부를 검사할 수 있게 된다.

상기에서 개폐수단(7)은, 상기 몸체(2)의 내부에 회전가능하게 축결합되어 회전시 상기 몸체(2)의 내부를 개폐하도록 된 개폐판(71)과, 상기 개폐판(71)을 관통하면서 상기 몸체(2)에 회전가능하게 축결합하되 일단이 상기 몸체(2)의 외부로 노출된 회전축(72)과, 상기 회전축(72)의 노출된 단부에 체결되어 상기 회전축(72)을 회전시키도록 레버형태로 형성된 손잡이(73)를 포함하여 이루어진다.

즉, 작업자가 상기 손잡이(73)를 손으로 잡고 상기 회전축(72)을 회전시키면, 상기 개폐판(71)이 상기 몸체(2)의 내부에서 회전하여, 상기 몸체(2)의 내부공간을 개폐하게 된다.

이에 따라, 상기 개폐수단(7)의 개폐작업공간이 상기 몸체(2)의 내부에서 이루어져 누출공간이 발생하지 않아 안전성을 확보하게 된다.

이와 더불어, 상기 개폐수단(7)의 구조가 간단하여 제조가 용이하여 경제적이 이익을 얻을 수 있으며, 상기 몸체(2)의 개폐동작이 단순히 손잡이(73)를 회전시키는 간단한 작업으로 이루어져 있어, 검사작업의 편리하게 이루어진다.

상기에서 회전축(72)과 상기 몸체(72)의 사이에는, 불소고무재질의 링부재(74)가 게재되어 몸체의 내부를 밀폐하도록 되어, 누출이 발생하지 않아 안전성을 확보하게 된다.

이와 같이 이루어지는 본 실시 예에 의한 반도체 제조설비용 덕트 내부 검사용 체크윈도우(1)에서, 상기한 회전축(72)은, 상기 몸체(2)의 내부의 중앙에서 상측 방향으로 편위된 위치에 회전가능하게 고정되어, 상기 개폐판(71)의 회전에 의해 개방되는 상기 몸체(2)의 내부를 육안으로 검사할 때, 상기 개폐판(71)이 작업자의 시야를 가리는 것을 방지하도록 되어 더욱 안정적으로 검사를 하게 된다.

한편, 상기 몸체(2)의 내부에서 상기 회전축(72)이 관통되면서 축고정되는 부위는, 내측으로 연장형성된 고정돌부(26)가 구비되어, 상기 회전축(72)과의 접촉면적을 증대하도록 되어 있다.

그리고 상기 고정돌부(26)와 상기 회전축(72)의 사이에 상기 링부재(74)가 배치되도록 되어 있어, 구조적 안정성을 더욱 확보할 수 있게 된다.

상기한 바와 같이 이루어지는 본 실시 예에 의한 반도체 제조설비용 덕트 내부 검사용 체크윈도우(1)는, 상기 몸체(2)의 플랜지편(21)을 통해 반도체 제조용 덕트(10)의 말단에 설치되어 필요 시 상기 투시창(3)을 통해 덕트(10)의 내부를 육안으로 검사하게 된다.

이때, 도 8에서 도시된 바와 같이, 작업자가 상기 손잡이(73)를 손으로 잡고 상기 회전축(72)을 회전시키면, 상기 개폐판(71)이 상기 몸체(2)의 내부에서 회전하여, 상기 몸체(2)의 내부공간을 개방된다.

그리고, 개방된 상기 몸체(2)의 내부공간과 덕트(10)의 내부를 상기 투시창(3)을 통해 육안을 검사하면 된다.

상술한 바와 같이 본 실시 예에 의한 반도체제조설비용 덕트 내부 검사용 체크윈도우(1)는, 몸체(2)의 내부를 개폐하는 개폐수단(7)의 작업공간이 몸체(2)의 내부에서 이루어져 누출이 발생하지 않아 안전성을 확보하도록 된 것을 기술적 구성의 특징으로 한다.

이상에서 설명된 본 발명의 일 실시 예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다. 그러므로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 형태로만 한정되는 것은 아님을 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다. 또한, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 그 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

1 : 체크윈도우 10 : 덕트
11 : 밀폐가스켓 2 : 몸체
21 : 플랜지편 22 : 결합편
23 : 조명공 24 : 덮개
25 : 투광체 26 : 고정돌부
3 : 투시창 4 : 접착가스켓
5 : 보강띠 6 : 결합볼트
7 : 개폐수단 71 : 개폐판
72 : 회전축 73 : 손잡이
74 : 링부재

Claims (3)

1. 일단이 반도체 제조용 덕트(10)의 말단에 결합하는 플래지편(21)을 가지는 '관' 형상의 몸체(2)와, 상기 몸체(2)의 타단에 결합하며 상기 몸체(2)와 덕트(10)의 내부를 육안으로 검사하도록 된 투시창(3)과, 상기 몸체(2)의 내부를 개폐하도록 된 개폐수단(7)을 포함하여 이루어져 덕트의 내부를 검사하도록 반도체제조설비용 된 덕트 내부 검사용 체크윈도우(1)에 있어서;
   상기한 개폐수단(7)은,
   상기 몸체(2)의 내부에 회전가능하게 축결합되어 회전시 몸체(2)의 내부를 개폐하도록 된 개폐판(71)과, 상기 개폐판(71)을 관통하면서 상기 몸체(2)에 회전가능하게 축결합하되 일단이 상기 몸체(2)의 외부로 노출된 회전축(72)과, 상기 회전축(72)의 노출된 단부에 체결되어 상기 회전축(72)을 회전시키도록 된 손잡이(73)를 포함하여 이루어지며;
   상기한 회전축(72)과 상기 몸체(2)의 사이에는,
   불소고무재질의 링부재(74)가 게재되어 몸체(2)의 내부를 밀폐하도록 되고;
   상기한 회전축(72)은,
   상기 몸체(2)의 내부의 중앙에서 상측 방향으로 편위된 위치에 회전가능하게 고정되며;
   상기한 몸체(2) 내부의 단면적은,
   상기 덕트(10)의 내부 단면적보다 작은 단면적을 가지며;
   상기한 투시창(3)은,
   상기 몸체(2)와의 사이에 불소고무재질로 이루어진 접착가스켓(4)이 게재되어 결합하고, 테두리부위에는, 스테인레스재질로 이루어진 보강띠(5)가 배치되며;
   상기한 몸체(2)와 상기 투시창(3) 및 상기 보강띠(5)에는,
   단일의 결합볼트(6)가 관통하면서 동시에 나사결합하여 조립되도록 상기 결합볼트(6)가 관통하는 결합공들이 각각 형성되며
   상기한 몸체(2)의 플랜지편(21)에서 상기 덕트(10)의 내부와 접하는 위치에는,
   조명등을 통해 덕트 내부로 조명광을 방사하도록 되며 투광성 재질로 이루어진 덮개(24)에 의해서 개폐되는 조명공(23)이 형성되고;
   상기한 조명공(23)에는,
   투광성 재질의 투광체(25)가 구비되어 조명광을 투광하도록 되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 덕트 내부 검사용 체크윈도우.
2. 삭제
3. 삭제

Images